JP2008187098A - 基板の吸着方法および吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】通気性を有さないチャックテーブル31の裏面に、外周部を残して凹所35を形成し、凹所35の底面から表面の保持面33にわたって、厚さ方向のみに連通する多数の通気部材36を埋設し、吸着エリアを形成する。凹所35に、保持する基板W1と同寸・同形状の孔51aが形成された目張り部材51aを嵌合して底面に密着させ、基板W1の非載置領域33aに存在する通気部材36を塞ぐ。この状態でチャックテーブル31の裏面側を真空引きし、基板W1のみに対して真空引き作用を生じさせる。
【選択図】図2
Description
図1は、一実施形態に係る吸着装置が適用された研削装置を示している。この研削装置1は、直方体状の基台11を備えている。図1では、基台11の長手方向、幅方向および鉛直方向を、それぞれY方向、X方向およびZ方向で示している。基台11の上面のY方向一端部(奥側の端部)には、コラム12が立設されている。このコラム12の前面(基台11側に向いたX・Z方向に沿った面)には、研削ユニット20が昇降可能に装備されている。
31…チャックテーブル(吸着テーブル)
33…保持面
33a…非載置領域
34…チャックテーブルの裏面
36…通気部材(真空引き通路)
51,52…目張り部材
W1,W2…基板
Claims (6)
- 基板を吸着して保持する保持面、および該保持面に対応する裏面を有するとともに、裏面から保持面にわたって複数の真空引き通路が貫通形成された吸着テーブルの保持面に該保持面よりも小さい基板を載置し、
前記基板が載置されていない前記保持面の非載置領域に対応する前記吸着テーブルにおける前記裏面領域を目張り部材で被覆し、
前記吸着テーブルの裏面側を真空引きすることを特徴とする基板の吸着方法。 - 前記吸着テーブルの前記保持面に前記基板を載置するに際し、該保持面の前記非載置領域を位置決め部材で被覆し、該位置決め部材の内側に形成されている前記基板形状の開口部に基板を当てはめて該基板を保持面に載置することを特徴とする請求項1に記載の基板の吸着方法。
- 前記基板が不定形であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板の吸着方法。
- 基板が載置されて保持される保持面、および該保持面に対応する裏面を有し、裏面から保持面にわたって複数の真空引き通路が貫通形成されている板状の吸着テーブルと、
該吸着テーブルの裏面側から前記真空引き通路を経て前記保持面側の空気を吸引するバキューム手段と、
前記基板が載置されていない前記保持面の非載置領域に対応する前記吸着テーブルにおける前記裏面領域を被覆する目張り部材と
を備えることを特徴とする基板の吸着装置。 - 前記吸着テーブルの前記保持面の、前記非載置領域を被覆する位置決め部材を備えることを特徴とする請求項4に記載の基板の吸着装置。
- 前記基板が不定形であることを特徴とする請求項4または5に記載の基板の吸着装置。
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