CN218726694U - 一种半导体器件缺陷视觉检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体器件缺陷检测技术领域，尤其涉及一种半导体器件缺陷视觉检测装置，包括检测台，所述检测台顶端两侧对称设置立板，立板顶端之间设置顶板，顶板底端设置光学检测机构，立板相对的一侧下部中心处通过转轴固定连接有固定框，固定框内壁前后两侧对称设置双向丝杆，双向丝杆一端与第一减速电机的输出端通过联轴器相连接，第一减速电机与固定框内壁相连接，双向丝杆外壁对称螺合设置有螺套，前后螺套之间设置夹板，检测台顶端立板内侧通过转轴对称设置旋转机构。本实用新型能够实现对检测器件的固定，确保检测效果，而且通过第二减速电机实现固定框转动，带动夹板及器件自动翻面，实现对器件正反面的检测，提高检测速率。

Description

一种半导体器件缺陷视觉检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体器件缺陷检测技术领域，尤其涉及一种半导体器件缺陷视觉检测装置。

背景技术

缺陷检测通常是指对物体表面缺陷的检测，表面缺陷检测是采用机器视觉检测技术，对工件表面的斑点、凹坑、划痕、色差和缺损等缺陷进行检测，视觉检测通常利用图像信号，依据像素分布和亮度、颜色等信息，系统进行运算并抽取目标特征，进而根据判别的结果来控制现场设备操作。

一般的缺陷视觉检测装置不能将半导体器件等在测试台上进行固定，而且如果要同时检测单个器件的两个面，目前通用的检测方法都是一个相机占用一个工位检测一个面，如果需要同时检测两个面或以上，就需要采用多个相机占用多个工位检测，增加了安装复杂性，因此，我们提出一种半导体器件缺陷视觉检测装置。

本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本发明构思的背景技术，并且因此，它可以包含不构成现有技术的信息。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体器件缺陷视觉检测装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体器件缺陷视觉检测装置，包括检测台，所述检测台顶端两侧对称设置立板，立板顶端之间设置有顶板，顶板底端中心处设置有光学检测机构，立板相对的一侧下部中心处通过转轴固定连接有固定框，固定框内壁前后两侧对称设置有双向丝杆，双向丝杆一端与固定框内壁转动连接，双向丝杆另一端与第一减速电机的输出端通过联轴器相连接，第一减速电机与固定框内壁相连接，双向丝杆外壁对称螺合设置有螺套，前后对应螺套之间设置有夹板，检测台顶端立板内侧通过转轴对称设置有旋转机构。

优选的，所述转轴一端与固定框固定连接，另一端通过轴承转动连接于立板内壁。

优选的，所述旋转机构包括设置于检测台顶端的第二减速电机，第二减速电机输出端固定连接主动锥齿轮，转轴外壁套设从动锥齿轮，从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接。

优选的，所述夹板相对的一侧设置有缓冲垫。

优选的，所述螺套与夹板之间为可拆卸连接。

优选的，所述一侧立板外侧设置有控制面板，控制面板与第一减速电机和第二减速电机通过电连接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型中，通过第一减速电机带动双向丝杆转动，从而带动与双向丝杆螺合连接的两螺套及与螺套相连接的夹板相向运动，实现对检测器件的固定，确保半导体器件的检测效果；通过第二减速电机带动主动锥齿轮及从动锥齿轮转动，实现转轴及固定框转动，带动夹板及器件自动翻面，实现对器件正反面的检测，相比于传统的人工手动翻面，降低劳动强度，提高检测速率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种半导体器件缺陷视觉检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种半导体器件缺陷视觉检测装置的固定框俯视图。

图中：1检测台、2立板、3顶板、4光学检测机构、5固定框、6双向丝杆、7第一减速电机、8螺套、9夹板、10转轴、11旋转机构、12轴承、13第二减速电机、14主动锥齿轮、15从动锥齿轮、16缓冲垫、17控制面板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1-2，一种半导体器件缺陷视觉检测装置，包括检测台1，检测台1顶端两侧对称设置立板2，立板2顶端之间设置有顶板3，顶板3底端中心处设置有光学检测机构4，立板2相对的一侧下部中心处通过转轴10固定连接有固定框5，固定框5内壁前后两侧对称设置有双向丝杆6，双向丝杆6一端与固定框5内壁转动连接，双向丝杆6另一端与第一减速电机7的输出端通过联轴器相连接，第一减速电机7与固定框5内壁相连接，双向丝杆6外壁对称螺合设置有螺套8，前后对应螺套8之间设置有夹板9；

在其他实施例中，转轴10一端与固定框5固定连接，另一端通过轴承12转动连接于立板2内壁；

通过该设计，第一减速电机7正反转带动双向丝杆6转动，从而实现与双向丝杆6螺合设置的螺套8及与螺套8相连接的夹板9靠近或远离，实现对检测器件的固定，确保检测效果，其中光学检测机构4包括环形光源、相机和镜头。

在其他实施例中，螺套8与夹板9之间为可拆卸连接，可拆卸的设计便于针对不同的半导体器件更换不同的夹板9，从而达到对器件的良好夹持与检测。

检测台1顶端立板2内侧通过转轴10对称设置有旋转机构11；

在其他实施例中，旋转机构11包括设置于检测台1顶端的第二减速电机13，第二减速电机13输出端固定连接主动锥齿轮14，转轴10外壁套设有从动锥齿轮15，从动锥齿轮15与主动锥齿轮14啮合连接；

通过该设计，启动第二减速电机13，第二减速电机13带动主动锥齿轮14及从动锥齿轮15转动，实现转轴10及固定框5转动，带动夹板9及器件自动翻面，实现对器件正反面的检测，相比于传统的人工手动翻面，降低劳动强度，提高检测速率，其中两个第二减速电机13的转动方向相反，实现对转轴10的同向转动。

在其他实施例中，夹板9相对的一侧设置有缓冲垫16，缓冲垫16的设计防止夹板9对器件的夹持力度过大造成对器件的损伤。

在其他实施例中，一侧立板2外侧设置有控制面板17，控制面板17与第一减速电机7和第二减速电机13通过电连接，控制面板17用于控制第一减速电机7和第二减速电机13的通电与断电，而且通过设定第二减速电机13的转动时间可以确保固定框5翻转后的水平状态。

本实施例中，通过第一减速电机7带动双向丝杆6转动，从而带动与双向丝杆7螺合连接的两螺套8及与螺套8相连接的夹板9相向运动，实现对检测器件的固定，确保半导体器件的检测效果；通过第二减速电机13带动主动锥齿轮14及从动锥齿轮15转动，实现转轴10及固定框5转动，带动夹板9及器件自动翻面，实现对器件正反面的检测，相比于传统的人工手动翻面，降低劳动强度，提高检测速率。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种半导体器件缺陷视觉检测装置，包括检测台(1)，其特征在于，所述检测台(1)顶端两侧对称设置立板(2)，立板(2)顶端之间设置有顶板(3)，顶板(3)底端中心处设置有光学检测机构(4)，立板(2)相对的一侧下部中心处通过转轴(10)固定连接有固定框(5)，固定框(5)内壁前后两侧对称设置有双向丝杆(6)，双向丝杆(6)一端与固定框(5)内壁转动连接，双向丝杆(6)另一端与第一减速电机(7)的输出端通过联轴器相连接，第一减速电机(7)与固定框(5)内壁相连接，双向丝杆(6)外壁对称螺合设置有螺套(8)，前后对应螺套(8)之间设置有夹板(9)，检测台(1)顶端立板(2)内侧通过转轴(10)对称设置有旋转机构(11)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述转轴(10)一端与固定框(5)固定连接，另一端通过轴承(12)转动连接于立板(2)内壁。

3.根据权利要求1所述的一种半导体器件缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述旋转机构(11)包括设置于检测台(1)顶端的第二减速电机(13)，第二减速电机(13)输出端固定连接主动锥齿轮(14)，转轴(10)外壁套设有从动锥齿轮(15)，从动锥齿轮(15)与主动锥齿轮(14)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体器件缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述夹板(9)相对的一侧设置有缓冲垫(16)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体器件缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述螺套(8)与夹板(9)之间为可拆卸连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体器件缺陷视觉检测装置，其特征在于，所述一侧立板(2)外侧设置有控制面板(17)，控制面板(17)与第一减速电机(7)和第二减速电机(13)通过电连接。

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