CN115416322A - 带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件 - Google Patents

带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件 Download PDF

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CN115416322A CN202210484796.7A CN202210484796A CN115416322A CN 115416322 A CN115416322 A CN 115416322A CN 202210484796 A CN202210484796 A CN 202210484796A CN 115416322 A CN115416322 A CN 115416322A
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China
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workpiece
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resin
forming step
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有福法久
木村昌照
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Abstract

本发明提供带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件，能够降低由于冷却所导致的片的收缩，能够降低片的厚度或大小的偏差。该带保护部件的被加工物的制造方法包含：混合树脂准备步骤，在液态的紫外线固化型树脂中溶解溶解度参数8.5以上的热塑性树脂，准备液态的混合树脂；树脂层形成步骤，向支承台的支承面提供混合树脂而形成规定厚度的树脂层；保护部件形成步骤，对树脂层照射紫外线，使树脂层固化而形成片状的保护部件；带保护部件的被加工物形成步骤，在使片状的保护部件的一面侧与被加工物的一面侧相互紧贴之前或紧贴之后，对片状的保护部件进行加热，使片状的保护部件紧贴于被加工物而与被加工物一体化。

Description

带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和 被加工物的保护部件
技术领域
本发明涉及带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件。
背景技术
在将半导体晶片或树脂封装基板、陶瓷基板、玻璃基板等各种板状的被加工物利用磨削装置进行磨削而薄化、或者利用切削刀具或激光束进行分割的情况下，利用卡盘工作台对被加工物进行吸引保持。在防止由于被加工物的被保持面侧与卡盘工作台的保持面接触所导致的被加工物的损伤、污染等的目的、或将被加工物分割成多个芯片(芯片状的器件)之后将所有的芯片一并地搬送的目的下，通常在被加工物的被保持面侧粘贴作为保护部件的粘接带(例如参照专利文献1)。
专利文献1：日本特开2013-021017号公报
粘接带通常具有树脂制的基材层和由树脂制的粘接剂形成的糊料层的层叠构造。当使粘接带的糊料层紧贴于被保持面侧而进行粘贴时，存在如下的问题：在将粘接带剥离时，粘接剂的残渣残留于被加工物。另外，糊料层作为缓冲层发挥作用，由此在加工中被加工物容易振动，其结果是，存在如下的问题：有可能在被加工物上产生缺损、或分割后的芯片飞散。
因此，考虑了使提供至被加工物的一面上的热塑性树脂熔融而形成作为保护部件的层从而形成带保护部件的被加工物的方法。由此，没有糊料层，因此具有不产生糊料残留的效果。但是，为了一边施加热或压力一边使热塑性树脂成为均匀的层，花费数十秒至数十分钟的加热时间，因此存在效率差的课题。另外，还考虑了在预先利用施加了热或压力的热塑性树脂形成片之后热压接于被加工物的方法，但在施加热或压力而利用热塑性树脂形成片的情况下，在冷却时片也收缩而使片的厚度或大小改变，因此残留如下的问题：无法以均匀且没有偏差的尺寸形成片，由于片的收缩而使被加工物挠曲。
发明内容
由此，本发明的目的在于提供能够降低由于冷却所导致的片的收缩且能够降低片的厚度或大小的偏差的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件。
根据本发明的一个方式，提供被加工物的制造方法，是使保护该被加工物的保护部件紧贴于板状的被加工物的一面侧而制造带保护部件的被加工物的带保护部件的被加工物的制造方法，其中，该带保护部件的被加工物的制造方法具有如下的步骤：混合树脂准备步骤，在液态的紫外线固化型树脂中溶解溶解度参数8.5以上的热塑性树脂，准备液态的混合树脂；树脂层形成步骤，向支承台的支承面提供该混合树脂而形成规定厚度的树脂层；保护部件形成步骤，对该树脂层照射紫外线，使该树脂层固化而形成片状的保护部件；以及带保护部件的被加工物形成步骤，在使片状的该保护部件的一面侧与该被加工物的该一面侧相互紧贴之前或紧贴之后，对该片状的保护部件进行加热，使片状的该保护部件紧贴于该被加工物而与该被加工物一体化。
优选在该带保护部件的被加工物形成步骤之后，还具有对该保护部件进行冷却的保护部件冷却步骤。
另外，优选在该被加工物的该一面上形成有器件。
根据本发明的另一方式，提供被加工物的加工方法，对板状的被加工物进行加工，其中，该被加工物的加工方法具有如下的步骤：加工步骤，利用卡盘工作台对在液态的紫外线固化型树脂中混合有溶解度参数8.5以上的热塑性树脂的混合树脂利用紫外线固化而成的片状的保护部件的一面侧与该被加工物的一面侧相互紧贴的状态的带保护部件的被加工物的该保护部件进行保持，对该被加工物进行加工；以及保护部件剥离步骤，在该加工步骤实施后，从该被加工物剥离该保护部件。
优选该被加工物的加工方法还具有如下的步骤：混合树脂准备步骤，在该加工步骤之前，在液态的该紫外线固化型树脂中溶解溶解度参数8.5以上的该热塑性树脂，准备液态的该混合树脂；树脂层形成步骤，在该混合树脂准备步骤之后且在该加工步骤之前，向支承台的支承面提供该混合树脂而形成规定厚度的树脂层；保护部件形成步骤，在该树脂层形成步骤之后且在该加工步骤之前，对该树脂层照射紫外线，使该树脂层固化而形成片状的该保护部件；以及带保护部件的被加工物形成步骤，在该保护部件形成步骤之后且在该加工步骤之前，使加热的片状的该保护部件的该一面侧与该被加工物的该一面侧相互紧贴，形成该带保护部件的被加工物。
根据本发明的又一方式，提供被加工物的保护部件，其紧贴于圆盘状的被加工物的一面侧而对该被加工物进行保护，其中，在液态的紫外线固化型树脂中混合有溶解度参数8.5以上的热塑性树脂的混合树脂利用紫外线固化而形成片状。
根据本申请发明，能够降低由于冷却所导致的片的收缩，能够降低片的厚度或大小的偏差。
附图说明
图1是示出第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件的对象的被加工物的立体图。
图2是示出第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法和被加工物的加工方法的处理过程的流程图。
图3是对图2的混合树脂准备步骤进行说明的立体图。
图4是对图2的混合树脂准备步骤进行说明的立体图。
图5是对图2的树脂层形成步骤进行说明的剖视图。
图6是对图2的保护部件形成步骤进行说明的剖视图。
图7是对图2的带保护部件的被加工物形成步骤进行说明的剖视图。
图8是对图2的带保护部件的被加工物形成步骤进行说明的剖视图。
图9是对图2的带保护部件的被加工物形成步骤进行说明的剖视图。
图10是对保护部件外周区域切除步骤进行说明的剖视图。
图11是示出通过第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法制造的带保护部件的被加工物的立体图。
图12是对作为图2的加工步骤的第1例的切削加工进行说明的剖视图。
图13是对作为图2的加工步骤的第2例的磨削加工进行说明的剖视图。
图14是对作为图2的加工步骤的第3例的激光加工进行说明的剖视图。
图15是对第2实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的带保护部件的被加工物形成步骤进行说明的剖视图。
图16是示出通过第2实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法制造的带保护部件的被加工物的立体图。
图17是对第3实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的树脂层形成步骤和保护部件形成步骤进行说明的剖视图。
图18是对第3实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的带保护部件的被加工物形成步骤进行说明的剖视图。
标号说明
1：被加工物；4：正面；5：器件；6：凸块；7：背面；100：紫外线固化型树脂；101：热塑性树脂；102：混合树脂；103：树脂层；110：保护部件；113、114：面；120、130、130-3：带保护部件的被加工物；140：切削加工装置；141：切削刀具；145、155、165：卡盘工作台；150：磨削加工装置；153：磨削磨具；160：激光加工装置；161：激光照射器。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。
[第1实施方式]
根据附图对本发明的第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件进行说明。图1是示出第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件的对象的被加工物1的立体图。在第1实施方式中，被加工物1是以硅、蓝宝石、砷化镓、SiC基板、GaN基板、LT(钽酸锂)基板、单晶金刚石基板等作为基板2的圆板状的半导体晶片或光器件晶片等晶片。另外，在本发明中，被加工物1不限于圆板状，也可以是树脂封装基板或金属基板等其他板状。
在第1实施方式中，如图1所示，被加工物1在由交叉(在第1实施方式中为垂直)的多条分割预定线3划分的正面4的各区域内分别形成有芯片状的器件5。将被加工物1沿着各分割预定线3进行分割而分割成各个器件5(芯片)。另外，在本发明中，被加工物1不限于此，也可以不形成器件5。在第1实施方式中，被加工物1在器件5的正面4上搭载有从器件5的正面4突出的多个电极的凸块6。被加工物1和器件5通过在正面4上搭载有凸块6而具有凹凸的构造物。另外，在本发明中，被加工物1和器件5可以不在正面4上具有凸块6或凹凸的构造物。在第1实施方式中，被加工物1和器件5的正面4的相反侧的背面7形成为平坦，但在本发明中不限于此，也可以在背面7侧形成有凹凸的构造物。
图2是示出第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法和被加工物的加工方法的处理过程的流程图。如图2所示，第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法具有：混合树脂准备步骤1001、树脂层形成步骤1002、保护部件形成步骤1003、带保护部件的被加工物形成步骤1004以及保护部件冷却步骤1005。第1实施方式的被加工物的加工方法具有对经由第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的各步骤(步骤1001～1005)而形成的带保护部件的被加工物120(参照图11)进行加工的加工步骤1006以及保护部件剥离步骤1007。
另外，在第1实施方式中，带保护部件的被加工物的制造方法将被加工物1的一面侧即正面4作为被保持面，在正面4上紧贴片状的保护部件110(参照图6等)而一体化，由此制造带保护部件的被加工物120，但在本发明中不限于此，也可以将被加工物1的背面7作为被保持面，在背面7上紧贴保护部件110而一体化。另外，在第1实施方式的被加工物的加工方法中，被保持面是被加工物1和器件5被卡盘工作台145、155、165(参照图12、图13和图14)吸引保持的面。
图3和图4是对图2的混合树脂准备步骤1001进行说明的立体图。如图3和图4所示，混合树脂准备步骤1001是在液态的紫外线固化型树脂100中溶解溶解度参数为8.5以上的热塑性树脂101而准备液态的混合树脂102的步骤。如图3所示，在混合树脂准备步骤1001中，向加入有液态的紫外线固化型树脂100的容器10中提供溶解度参数为8.5以上的热塑性树脂101而进行添加，如图4所示，利用搅拌棒11对容器10内进行搅拌，由此得到紫外线固化型树脂100与热塑性树脂101均质地混合的液态的混合树脂102。这里，紫外线固化型树脂100与热塑性树脂101均质地混合的状态是指紫外线固化型树脂100与热塑性树脂101相互未分离、相互溶解，紫外线固化型树脂100与热塑性树脂101均整体上均质地分布的状态。在混合树脂准备步骤1001中，优选按照得到液态的混合树脂102时的液态的紫外线固化型树脂100与热塑性树脂101的质量比率为3：7～7：3的方式在液态的紫外线固化型树脂100中溶解热塑性树脂101。即，在混合树脂准备步骤1001中，优选在液态的紫外线固化型树脂100中溶解液态的紫外线固化型树脂100的质量的3/7以上7/3以下的热塑性树脂101而得到液态的混合树脂102。
在第1实施方式中，在混合树脂准备步骤1001中所提供的热塑性树脂101为粒状，但在本发明中不限于此，只要为固体，则形状不限。例如在混合树脂准备步骤1001中所提供的热塑性树脂101除了上述的粒状以外，还可以为颗粒状、纤维状、片状、粉状、块状、板状、绳状或膜状等，可以采取容易溶解于液态的紫外线固化型树脂100的形状。另外，热塑性树脂101在室温下为固体，但在提供时可以加热至示出流动性的程度。
在第1实施方式中，具体而言，紫外线固化型树脂100可以使用：烯属不饱和单体或烯属不饱和低聚物等丙烯酸系树脂、含脂环环氧基的单体或含脂环环氧基的低聚物和含缩水甘油基的单体或含缩水甘油基的低聚物等环氧系树脂等。紫外线固化型树脂100可以按照成为液态的方式适当地混合其他紫外线固化型树脂化合物或添加物等。紫外线固化型树脂100可以使用溶解度参数为12以下的物质。
热塑性树脂101的溶解度参数为8.5以上，因此容易混合于紫外线固化型树脂100中，适当地溶解。在第1实施方式中，具体而言，热塑性树脂101可以使用：甲基丙烯酸聚合物或丙烯酸聚合物、聚苯乙烯、乙酸乙烯酯树脂、氯乙烯树脂、乙酸纤维素、环氧树脂、偏二氯乙烯树脂、尼龙树脂等为主成分的物质。这里，热塑性树脂101中甲基丙烯酸聚合物或丙烯酸聚合物等为主成分是指：甲基丙烯酸聚合物或丙烯酸聚合物等的质量相对于从热塑性树脂101整体除去后述的包含纳米填料的填料和其他各种混配剂的质量的比例至少为1质量％以上，优选为5质量％以上，更优选为10质量％以上。热塑性树脂101可以按照溶解度参数为8.5以上的方式适当地混合其他热塑性树脂化合物或添加物等。另外，溶解度参数小于8.5的热塑性树脂不容易与紫外线固化型树脂100混合，无法得到均质地混合的液态的混合树脂102。另外，热塑性树脂101与紫外线固化型树脂100的溶解度参数的差设定为3以下、更优选设定为1以下。
适当地混合至热塑性树脂101的其他热塑性树脂化合物具体地可以举出从丙烯酸系树脂、甲基丙烯酸系树脂、乙烯基树脂、聚缩醛、天然橡胶、丁基橡胶、异戊二烯橡胶、氯丁橡胶、聚乙烯、聚丙烯、聚(4-甲基-1-戊烯)、聚(1-丁烯)等聚烯烃、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯等聚酯、尼龙-6、尼龙-66、聚己二酰间苯二甲胺等聚酰胺、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯、聚氯乙烯、聚醚酰亚胺、聚丙烯腈、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚砜、聚醚砜、聚苯醚、聚丁二烯树脂、聚碳酸酯树脂、热塑性聚酰亚胺树脂、热塑性聚氨酯树脂、苯氧基树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、氟树脂、乙烯-不饱和羧酸共聚树脂、乙烯-乙酸乙烯酯共聚树脂、离聚物、乙烯-乙酸乙烯酯-马来酸酐三元共聚树脂、乙烯-乙酸乙烯酯共聚体皂化树脂以及乙烯-乙烯醇共聚树脂等进行选择的一种或两种以上。
构成在适当地混合至热塑性树脂101的其他热塑性树脂化合物中使用的上述乙烯-不饱和羧酸共聚物的不饱和羧酸可以例示出：马来酸、衣康酸、马来酸单甲酯、马来酸单乙酯、马来酸酐和衣康酸酐等。这里，乙烯-不饱和羧酸共聚物中，除了乙烯与不饱和羧酸的二元共聚物以外，还包含其他单体共聚合而得的多元共聚物。作为可以与乙烯-不饱和羧酸共聚物共聚合的上述其他单体，可以例示出：乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯那样的乙烯基酯、马来酸二甲酯、马来酸二乙酯那样的不饱和羧酸酯等。
在第1实施方式中，热塑性树脂101的软化点为0℃以上300℃以下的范围内的温度。热塑性树脂101使用上述例示出的化合物组，因此软化点为0℃以上300℃以下的范围内的温度。热塑性树脂101通过混合上述例示出的不同种类的化合物，能够调整软化点，例如通过将软化点调整为比干研磨加工中的被加工物1的温度即40℃～100℃的程度高的温度，能够防止在干研磨加工中成为软化状态。
在第1实施方式中，热塑性树脂101在温度低于软化点的固化状态下是不具有流动性的刚体，实质上不具有粘接剂那样的粘接性，因此能够抑制与被加工物1的正面4过度地粘接。另外，热塑性树脂101即使在温度高于软化点的软化状态下，实质上也几乎未发现粘接剂那样的粘接性，因此能够降低与被加工物1的正面4过度地粘接。
热塑性树脂101不含有通过与被加工物1接触而进入器件5从而有可能产生器件5的动作不良的作为金属的钠和锌中的任意一种。另外，钠和锌通常是为了使粘接带的基材层具有韧性(即、柔软性和结实性)而有意添加的物质，若不有意添加，则基本上不含有。这里，热塑性树脂101不含有钠和锌中的任意一种是指，即使使用能够对热塑性树脂101实施的在本申请时间周知的成分检测方法、例如电感耦合等离子体质量分析法(InductivelyCoupled Plasma Mass Spectrometry、ICP-MS)或二次离子质量分析法(Secondary IonMass Spectrometry、SIMS)等对热塑性树脂101进行分析，钠和锌也均为检测限以下。
混合树脂102混合有大小为0.1nm以上400nm以下的填料。在第1实施方式中，填料为粒状，但在本发明中不限于此，也可以具有纤维那样的柱状等形状。另外，在本说明书中，填料的大小利用填料的粒径定义。粒径的表示方法有几何学直径、当量直径等已知的方法。几何学直径有Feret直径、定向最大直径(即、Krummbein直径)、Martin直径、筛直径等，当量直径有投影面积圆当量直径(即、Heywood直径)、等表面积球当量直径、等体积球当量直径、斯托克斯直径、光散射直径等。在填料具有纤维那样的柱状等形状的情况下，也能够利用与上述的填料为粒状的情况同样的方法定义填料的大小。另外，在本说明书中，将大小为0.1nm以上400nm以下的填料作为nm级大小的填料，适当地称为纳米填料。
混合树脂102通过混合这样的纳米填料，由于所混合的纳米填料的大小小于可见光的波长而无法吸收或散射可见光，因此变得接近透明，从而不妨碍隔着保护部件110而观察被加工物1，因此能够容易地实施隔着保护部件110观察器件5的对准。另外，使用混合有大于400nm的填料的热塑性树脂而形成的保护部件中，所混合的填料吸收或散射可见光的比例可能会增大，从而透明度可能会降低。
混合树脂102优选以所混合的比例超过50wt％(质量％)而含有全部填料中的纳米填料。另外，例如全部填料中的大小为500nm的填料分别以40wt％、50wt％、60wt％的比例进行混合，结果在40wt％的情况下，隔着将该混合树脂102成型而得到的保护部件110进行观察的器件5的视认性良好，但在50wt％、60wt％的情况下，隔着将该混合树脂102成型而得到的保护部件110能够视认器件5，但与40wt％的情况相比，其视认性降低。
混合至混合树脂102的纳米填料是热膨胀系数小于混合树脂102的填充剂，适当地使用热膨胀系数小于混合树脂102的无机填充剂或有机填充剂。混合树脂102通过混合这样的纳米填料，在使保护部件110紧贴于被加工物1之后进行冷却时，能够降低保护部件110收缩的情况，与此相伴，能够降低紧贴有保护部件110的被加工物1挠曲、变形的情况。
混合至混合树脂102的纳米填料优选无机填充剂，具体而言，适当地使用熔融二氧化硅、结晶性二氧化硅、氧化铝、碳酸钙、硅酸钙、硫酸钡、滑石、粘土、氧化镁、氧化铝、氧化铍、氧化铁、氧化钛、氮化铝、氮化硅、氮化硼、云母、玻璃、石英、云母等。另外，混合至混合树脂102的纳米填料可以混合上述两种以上而使用。混合至混合树脂102的纳米填料优选使用上述无机填充剂中的熔融二氧化硅或结晶性二氧化硅等二氧化硅类，在该情况下，能够适当地抑制纳米填料的成本。
混合树脂102中的纳米填料的含有比例(混合比例)可以在0.01wt％～90wt％的范围内进行变更，纳米填料的含有比例越多，保护部件110的热膨胀系数越小，修整效果也越高，但当过多时，保护部件110整体可能变脆，因此选择适当的比例而形成保护部件110。
在混合树脂102中追加地添加用于引发紫外线固化型树脂100的固化的引发剂。另外，除此以外，还可以根据需要添加抗氧化剂、光稳定剂、粘合剂树脂、抗静电剂、硅烷偶联剂、脱模剂、表面活性剂、染料、颜料、荧光剂、紫外线吸收剂等各种混配剂。
图5是对图2的树脂层形成步骤1002进行说明的剖视图。如图5所示，树脂层形成步骤1002是向支承台20的支承面21提供混合树脂102而形成规定厚度的树脂层103的步骤。如图5所示，在树脂层形成步骤1002中，当向支承台20的支承面21提供混合树脂102时，混合树脂102为液态，因此混合树脂102通过自重或利用平坦的面等进行按压而在支承面21上扩展，由此在支承面21上形成规定厚度的树脂层103。在树脂层形成步骤1002中，将使热塑性树脂101溶解于液态的紫外线固化型树脂100而形成的液态的混合树脂102提供至支承面21上，因此无需特别施加热或压力也能够在短时间内形成为规定厚度的树脂层103。
在树脂层形成步骤1002中形成的树脂层103中，紫外线固化型树脂100与热塑性树脂101均质地混合。另外，在树脂层形成步骤1002中形成的树脂层103具有能够在被加工物1的整个正面4上覆盖凸块6的体积。即，树脂层103能够使在之后的保护部件形成步骤1003中形成的片状的保护部件110在之后的带保护部件的被加工物形成步骤1004中没有间断地覆盖正面4，具有能够形成得比由凸块6形成的正面4上的凹凸厚的体积。树脂层103优选是在成型为规定厚度时不从被加工物1的正面4的外缘探出的体积。树脂层103的规定厚度例如可以通过变更混合树脂102的粘度、或变更在树脂层形成步骤1002中提供的混合树脂102的体积而变更。
图6是对图2的保护部件形成步骤1003进行说明的剖视图。如图6所示，保护部件形成步骤1003是对树脂层103照射紫外线29使树脂层103固化而形成片状的保护部件110的步骤。如图6所示，在保护部件形成步骤1003中，使紫外线照射器25接近形成于支承台20的支承面21上的树脂层103，通过紫外线照射器25对整个树脂层103照射紫外线29，由此使均质地分布在形成树脂层103的混合树脂102的紫外线固化型树脂100发生紫外线固化反应，使混合树脂102固化而形成片状的保护部件110。这样形成的片状的保护部件110中，紫外线固化型树脂100与热塑性树脂101均质地混合。另外，这样形成的片状的保护部件110通过包含均质地分布的紫外线固化型树脂100并使其固化，能够在树脂层103整体上维持形状或尺寸(例如规定厚度)，并且通过包含均质地分布的热塑性树脂101，能够在片状的保护部件110的整个面113、114(参照图7等)上通过加热发生软化而以大致均匀的紧贴力与被加工物1的正面4紧贴和一体化。
片状的保护部件110像这样未对热塑性树脂101进行加热使其软化或熔融而形成，因此没有产生由于加热所导致的软化或伸长、由于冷却所导致的收缩，抑制厚度的偏差或翘曲等的产生，能够形成为期望的尺寸(厚度或大小)。另外，照射至树脂层103的紫外线29可以隔着支承树脂层103的支承台20而进行照射。
图7、图8、图9是对图2的带保护部件的被加工物形成步骤1004进行说明的剖视图。另外，在图7至图9中，省略了凸块6的图示。带保护部件的被加工物形成步骤1004是在使在保护部件形成步骤1003中形成的片状的保护部件110的一面侧与被加工物1的一面侧相互紧贴之前或紧贴之后对片状的保护部件110进行加热使片状的保护部件110紧贴于被加工物1而与被加工物1一体化的步骤。在第1实施方式中，如图7、图8和图9所示，在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，在使片状的保护部件110的一面侧与被加工物1的一面侧紧贴之后，对片状的保护部件110进行加热，但在本发明中不限于此，也可以在使片状的保护部件110的一面侧与被加工物1的一面侧紧贴之前对片状的保护部件110进行加热。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，首先如图7所示，将被加工物1按照正面4侧朝向上方的方式载置于设置在片紧贴装置30的真空腔室31内的下方的中央区域的支承台32上。支承台32具有热源，对所载置的被加工物1进行加热，对所紧贴的片状的保护部件110进行加热而使其软化。在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，接着使片状的保护部件110的面113朝向下方，将片状的保护部件110的端夹持在将形成真空腔室31的壳体上下分割的上盖和主体部之间而进行固定。在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，这样将片状的保护部件110的面113配置成朝向支承台32上的被加工物1的正面4侧而覆盖正面4的上方。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，在将片状的保护部件110配置于被加工物1的上方之后，如图7所示，从设置于真空腔室31的上方的中央区域的第1连通路34和设置于真空腔室31的下方的支承台32的外侧的第2连通路35对真空腔室31内的大气进行排气而进行减压。在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，通过该减压处理，降低和防止在被加工物1的正面4与保护部件110的面113之间咬入空气。在第1实施方式中，在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，例如通过与第1连通路34和第2连通路35连通而设置的干式泵或油旋转泵等，将真空腔室31内减压至以绝对压力计为105Pa～101Pa的程度。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，在从第1连通路34和第2连通路35对真空腔室31内进行排气而进行减压之后，如图8所示，在维持真空腔室31的主体部的气压的状态下，从第1连通路34向真空腔室31内导入气体。在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，这样使片状的保护部件110的上方的气压高于片状的保护部件110的下方的气压，由此如图8所示，使片状的保护部件110的面113紧贴于处于片状的保护部件110的下方的被加工物1的正面4上。
另外，在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，也可以切换片状的保护部件110和被加工物1的上下方向的位置关系，从上方按压被加工物1而使被加工物1的正面4紧贴于处于被加工物1的下方的片状的保护部件110的面113上。
另外，在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，也可以使支承被加工物1的支承台32上升而使被加工物1的正面4紧贴于处于被加工物1的上方的片状的保护部件110的面113上。在该情况下，优选通过规定的支承部件的支承面从上方按压片状的保护部件110的面114侧。另外，也可以在支承被加工物1的支承台32的内部和支承片状的保护部件110的面114侧的支承部件的内部具有与后述的热源42、52同样的热源。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，在使片状的保护部件110的面113紧贴于被加工物1的正面4之后，将片状的保护部件110和被加工物1从片紧贴装置30的真空腔室31内取出，如图9所示，将作为被加工物1的另一面侧的背面7侧朝向吸引保持工作台40的保持面41而进行载置并进行吸引保持。这里，吸引保持工作台40具有设置有保持面41且由多孔陶瓷等形成的保持部43，与未图示的真空吸引源连接，通过真空吸引源进行吸引，由此利用保持面41对被加工物1进行吸引保持。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，然后通过设置于吸引保持工作台40的内部的热源42，从保持面41侧隔着被加工物1而对片状的保护部件110进行加热使其软化。如图9所示，在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，还使按压部件50的平坦的按压面51从保持面41侧的相反侧朝向吸引保持工作台40所吸引保持的紧贴于被加工物1的正面4的片状的保护部件110的面114侧接近而接触。在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，还通过设置于按压部件50的内部的热源52，从按压面51对片状的保护部件110进行加热使其软化。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，一边这样通过热源42、52以规定的温度(在第1实施方式中例如为50～150℃)加热片状的保护部件110和被加工物1一边利用与保持面41平行的按压面51以规定的按压力(在第1实施方式中例如为0.3MPa以上)将片状的保护部件110的一面113侧按压至被加工物1的正面4侧规定的时间(在第1实施方式中例如为30秒)以上，由此使片状的保护部件110与被加工物1一体化。
另外，在第1实施方式中，在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，将片状的保护部件110定位于上侧、将被加工物1定位于下侧而使片状的保护部件110与被加工物1一体化，但在本发明中不限于此，也可以切换片状的保护部件110和被加工物1的上下方向的位置关系而使片状的保护部件110与被加工物1一体化。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，保持面41与按压面51均平坦且相互平行，因此按照片状的保护部件110的露出面即面114与被加工物1的背面7相互平行的方式使片状的保护部件110与被加工物1一体化。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，将利用紫外线29使在液态的紫外线固化型树脂100中均质地混合有溶解度参数为8.5以上的热塑性树脂101的混合树脂102固化而形成的片状的保护部件110紧贴于被加工物1的正面4而一体化，因此与在被加工物1上使热塑性树脂101软化而成型为片状的情况相比，抑制加热温度或加热时间，因此能够抑制热塑性树脂101由于冷却所导致的收缩，能够维持形成片状的保护部件110时的期望的形状或尺寸。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004中，优选通过热源42、52限定地加热片状的保护部件110的紧贴于被加工物1的区域而使其软化。因此，热源42、52可以与片状的保护部件110的紧贴于被加工物1的区域对置而限定地设置。另外，在第1实施方式中，如图9所示，热源42与片状的保护部件110的紧贴于被加工物1而一体化的区域对置而限定地设置。
另外，带保护部件的被加工物形成步骤1004不限于通过吸引保持工作台40和按压部件50使片状的保护部件110紧贴于被加工物1而一体化的方法，也可以使辊隔着朝向被加工物1的正面4侧的片状的保护部件110而从被加工物1的正面4侧的一端朝向另一端旋转移动，由此使片状的保护部件110紧贴于被加工物1。此时，一边通过设置于保持被加工物1的侧的规定的热源或设置于辊的内部的热源等将片状的保护部件110加热至规定的温度(在第1实施方式中例如为150℃以上)而使其软化，一边通过辊将片状的保护部件110从面114侧朝向被加工物1以规定的按压力(在第1实施方式中例如为0.3MPa以上)进行按压，由此将软化的片状的保护部件110的面113热压接于被加工物1的正面4上，由此使它们紧贴而一体化。另外，带保护部件的被加工物形成步骤1004可以同样地使辊旋转移动而从被加工物1的正面4侧的一端依次载置片状的保护部件110，然后从片状的保护部件110侧利用工业用干燥机吹送规定的温度(在第1实施方式中例如为150℃以上)的热风，由此对片状的保护部件110进行加热而使其软化，从而不将片状的保护部件110朝向被加工物1按压、即在按压力为0MPa下，使软化的片状的保护部件110的面113紧贴于被加工物1的正面4而一体化。
另外，带保护部件的被加工物形成步骤1004可以在减压腔室内实施，在该情况下，能够抑制在片状的保护部件110与被加工物1之间混入气泡。
保护部件冷却步骤1005是在带保护部件的被加工物形成步骤1004之后对紧贴于被加工物1而一体化的片状的保护部件110进行冷却的步骤。在保护部件冷却步骤1005中，立即对紧贴于被加工物1而一体化的片状的保护部件110进行冷却，由此使片状的保护部件110所包含的热塑性树脂101固化，因此能够使片状的保护部件110的形状或尺寸稳定化。
在第1实施方式中，在保护部件冷却步骤1005中，例如将热源42、52关闭而停止热源42、52对片状的保护部件110的加热，由此开始片状的保护部件110的冷却，例如通过大气将片状的保护部件110冷却至大气的温度左右。
在保护部件冷却步骤1005中，在本发明中不限于此，也可以在将热源42、52关闭之后，在利用按压部件50对片状的保护部件110进行加压的状态下，通过设置于吸引保持工作台40和按压部件50的内部的未图示的空冷或水冷等冷却机构从保持面41侧和按压面51侧对片状的保护部件110进行冷却。在保护部件冷却步骤1005中，还可以代替将热源52关闭而使按压部件50从片状的保护部件110离开，由此停止热源52对片状的保护部件110的加热。保护部件冷却步骤1005可以根据是否将热源42、52分别用于片状的保护部件110的加热和软化而适当地变更。
在保护部件冷却步骤1005中，在使用混合树脂102形成片状的保护部件110之后，使片状的保护部件110紧贴于被加工物1并进行加热而一体化，因此与在被加工物1上使热塑性树脂101软化而成型为片状的情况相比，抑制加热温度或加热时间，因此也抑制由于冷却所导致的收缩。
在带保护部件的被加工物形成步骤1004和保护部件冷却步骤1005的实施后，使按压部件50从片状的保护部件110离开，将使片状的保护部件110紧贴而一体化的被加工物1从吸引保持工作台40取下。
图10是对保护部件外周区域切除步骤进行说明的剖视图。另外，在图10中省略了凸块6的图示。在第1实施方式中，在将使片状的保护部件110紧贴而一体化的被加工物1从吸引保持工作台40取下之后，如图10所示，实施将片状的保护部件110中的从被加工物1的外缘沿径向探出的部分即外周区域116切除的保护部件外周区域切除步骤。
在保护部件外周区域切除步骤中，首先如图10所示，利用吸引保持工作台60的保持面61对使片状的保护部件110紧贴而一体化的被加工物1的背面7侧进行吸引保持。这里，吸引保持工作台60是在吸引保持工作台40中没有热源42且将保持部43变更成保持部63的吸引保持工作台。保持部63在保持面61侧形成有具有与被加工物1的外径同样的直径的圆环状的槽65。
在保护部件外周区域切除步骤中，接着如图10所示，利用切除装置70的切割器71将吸引保持工作台60的保持面61所保持的紧贴于被加工物1而一体化的片状的保护部件110的外周区域116切除。这里，切除装置70具有：朝向被加工物1的外缘而保持切割器71的圆板72；以及使圆板72绕轴心旋转驱动的未图示的旋转驱动源，在使切割器71的刃尖插入至槽65的状态下，通过旋转驱动源使圆板72绕轴心旋转，由此使切割器71沿着被加工物1的外缘旋转移动，将保护部件110的外周区域116切除。
图11是示出通过第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法制造的带保护部件的被加工物120的立体图。带保护部件的被加工物120是经由上述的第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的各步骤(步骤1001～1005)而形成的，如图11所示，具有板状的被加工物1和第1实施方式的保护部件110。第1实施方式的保护部件110紧贴于作为被加工物1的一面的正面4而对加工中的被加工物1进行保护，利用紫外线29使在液态的紫外线固化型树脂100中均质地混合有溶解度参数为8.5以上的热塑性树脂101的混合树脂102固化而形成为片状。即，第1实施方式的保护部件110中，固化的紫外线固化型树脂100和溶解度参数为8.5以上的热塑性树脂101均整体上均质地分布。因此，第1实施方式的保护部件110整体上能够抑制由于温度变化所导致的伸缩，能够维持紧贴于被加工物1而一体化时的期望的形状或尺寸，能够抑制被加工物1挠曲或变形。另外，第1实施方式的保护部件110中，与被加工物1接触而固定的面113由不含有钠和锌中的任意一种的热塑性树脂101(混合树脂102)形成，因此抑制被加工物1的器件5产生不良动作的可能性。
图12是对作为图2的加工步骤1006的第1例的切削加工进行说明的剖视图。图13是对作为图2的加工步骤1006的第2例的磨削加工进行说明的剖视图。图14是对作为图2的加工步骤1006的第3例的激光加工进行说明的剖视图。另外，在图12至图14中，省略了凸块6的图示。如图12、图13和图14所示，加工步骤1006是利用卡盘工作台145、155、165对经由第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的各步骤(步骤1001～1005)而形成的带保护部件的被加工物120的片状的保护部件110侧进行保持并对被加工物1进行加工的步骤。
在第1实施方式中，加工步骤1006的第1例在带保护部件的被加工物120中通过切削加工装置140从背面7侧对被加工物1进行切削加工，但在本发明中不限于此，在保护部件110紧贴于被加工物1的背面7而一体化的带保护部件的被加工物中，可以从正面4侧对被加工物1进行切削加工。如图12所示，加工步骤1006的第1例是如下的方法：在利用卡盘工作台145的保持面146从保护部件110侧吸引保持带保护部件的被加工物120的状态下一边向被加工物1的背面7提供切削液一边使安装于切削加工装置140的切削刀具141绕轴心旋转，通过未图示的驱动源将卡盘工作台145或切削加工装置140的切削刀具141进行加工进给、分度进给和切入进给，由此从背面7侧对被加工物1进行切削。在加工步骤1006的第1例中，例如沿着分割预定线3从背面7侧对被加工物1进行切削而形成切削槽149，由此例如在被加工物1的各器件5间形成切削槽149。在加工步骤1006的第1例中，可以使用混合有填料的保护部件110，在该情况下，使切削刀具141切入至保护部件110，由此通过填料促进切削刀具141的消耗，从而产生切削刀具141的修整效果。
在第1实施方式中，加工步骤1006的第2例在带保护部件的被加工物120中通过磨削加工装置150从背面7侧对被加工物1进行磨削加工。在第1实施方式中，加工步骤1006的第2例对被加工物1的整个背面7侧进行磨削加工，但在本发明中不限于此，也可以进行所谓的TAIKO(注册商标)磨削加工：使被加工物1的最外周的侧端部分残留而从背面7侧仅磨削其内周来将被加工物1薄化。如图13所示，加工步骤1006的第2例在利用卡盘工作台155的保持面156从保护部件110侧吸引保持带保护部件的被加工物120的状态下，通过未图示的旋转驱动源使卡盘工作台155绕轴心旋转，并且一边从磨削加工装置150的磨削液提供部151向被加工物1的背面7提供磨削液152一边使安装于磨削加工装置150的磨削磨具153绕轴心旋转，与被加工物1的背面7接触而进行磨削。
在第1实施方式中，加工步骤1006的第3例在带保护部件的被加工物120中通过激光加工装置160从背面7侧对被加工物1进行激光加工，但在本发明中不限于此，在保护部件110紧贴于被加工物1的背面7而一体化的带保护部件的被加工物中，也可以从正面4侧对被加工物1进行激光加工。如图14所示，加工步骤1006的第3例是如下的方法：在利用卡盘工作台165的保持面166从保护部件110侧吸引保持带保护部件的被加工物120的状态下，一边从激光照射器161朝向被加工物1的背面7照射对于被加工物1具有吸收性的波长或对于被加工物1具有透过性的波长的激光束164一边通过未图示的驱动源使卡盘工作台165或激光照射器161相对地移动，由此进行通过激光束164从背面7侧使被加工物1升华或蒸发的所谓的烧蚀加工、或者在被加工物1的内部形成改质层。在第1实施方式的加工步骤1006的第3例中，例如沿着分割预定线3从背面7侧对被加工物1进行激光加工(烧蚀加工)而形成激光加工槽169，由此例如将被加工物1分割(全切割)成各器件5、或在被加工物1的内部形成改质层。另外，在加工步骤1006的第3例中，可以使用脉冲状的激光束164。
在加工步骤1006的第3例中，在带保护部件的被加工物120等中，可以从固定有保护部件110的侧对被加工物1进行激光加工。在该情况下，保护部件110抑制因烧蚀加工而产生的碎屑附着于被加工物1或器件5。
在加工步骤1006的第1例的切削加工或第3例的激光加工中，可以在利用设置于卡盘工作台145、165的上方的可见光相机或红外线相机等相机单元142、162从被加工物1的背面7侧对正面4侧的器件5或分割预定线3的图案进行拍摄，根据相机单元142、162所拍摄的图案的位置而实施对作为加工的区域的分割预定线3进行分度的对准，然后对被加工物1进行加工。另外，在加工步骤1006的第1例的切削加工或第3例的激光加工中，在进一步使用玻璃等具有透光性的卡盘工作台145、165对被加工物1进行保持并从固定有保护部件110的侧对被加工物1实施对准的情况下，保护部件110能够形成为具有透光性，因此能够精度良好地实施对准。另外，在保护部件110中混合有纳米填料的情况下，也具有良好的透光性，因此能够精度良好地实施对准。
保护部件剥离步骤1007是在加工步骤1006实施后从被加工物1剥离片状的保护部件110的步骤。在保护部件剥离步骤1007中，带保护部件的被加工物120等的保护部件110实质上不具有粘接剂那样的粘接性，抑制与被加工物1的正面4过度地粘接，通过均质地分布的热塑性树脂101以大致均匀的紧贴力紧贴于被加工物1，因此能够从被加工物1容易地剥离。
对于具有以上那样的结构的第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件，保护部件110与在粘接带中使用的粘接层不同，实质上几乎未发现粘接剂那样的过度的粘接性，具有通过冷却而固化从而实质上不具有过度的粘接性的性质，因此即使从被加工物1剥离，也不会作为残渣而残留于被加工物1，并且抑制在加工中成为缓冲层，因此能够降低引起由于实施加工处理而使被加工物1缺损的现象的可能性。
另外，对于第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件，混合树脂102利用紫外线29发生固化而形成为片状，因此没有由于加热所导致的软化或伸长且没有由于冷却所导致的收缩，能够维持形状或尺寸，因此起到如下的作用效果：能够形成为期望的形状或尺寸(厚度或大小)，并且能够降低形状或尺寸的偏差。
另外，对于第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件，保护部件110的与被加工物1接触而固定的面113不含有钠和锌中的任意一种，因此起到能够抑制被加工物1的器件5产生不良动作的可能性的作用效果。另外，对于第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件，可以在保护部件110的与被加工物1接触而固定的面113的相反侧的面114上，在不违反本发明的目的的范围内层叠任意的热塑性树脂的片。
[第2实施方式]
根据附图，对本发明的第2实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件进行说明。图15是对第2实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的带保护部件的被加工物形成步骤1004进行说明的剖视图。图16是示出通过第2实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法制造的带保护部件的被加工物130的立体图。另外，在图15中，省略了凸块6的图示。图15至图17中，对与第1实施方式相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。
第2实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法是在第1实施方式中变更了带保护部件的被加工物形成步骤1004的制造方法。第2实施方式的被加工物的加工方法是在第1实施方式中变更了带保护部件的被加工物形成步骤1004和加工步骤1006的加工方法。如图15所示，在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，在第1实施方式中将片状的保护部件110的一面113侧紧贴于作为被加工物1的一面的正面4侧而一体化时，还一起紧贴于收纳被加工物1的金属框架9的面9-2而一体化，由此得到图16所示的带金属框架9的带保护部件的被加工物130。
在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中使用的金属框架9是金属制，例如是SUS制。金属框架9在中央具有圆形状的开口9-1，形成为板状。金属框架9的开口9-1的内径大于被加工物1的外径。
如图15所示，在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，在吸引保持工作台90的保持面91的外周的区域呈圆环状凹陷而形成的框架载置部94上载置金属框架9，将与实施方式同样地紧贴有片状的保护部件110的被加工物1按照被加工物1侧朝向下方的方式载置于相当于收纳在金属框架9的开口9-1内的位置的吸引保持工作台90的保持面91并进行吸引保持。另外，吸引保持工作台90具有与吸引保持工作台40同样的保持部93，通过与吸引保持工作台40同样的机构，利用保持面91对被加工物1进行吸引保持。在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，利用保持面91对被加工物1进行吸引保持，由此将片状的保护部件110的外周区域115载置在金属框架9的面9-2上。
另外，在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中使用的片状的保护部件110可以利用包含具有乙烯-不饱和羧酸共聚物作为主成分的热塑性树脂101的混合树脂102形成与金属框架9接触而固定的面113侧的圆环状的外周区域115(参照图15和图16)。这里，热塑性树脂101具有乙烯-不饱和羧酸共聚物(乙烯-不饱和羧酸共聚树脂)作为主成分是指，不饱和羧酸的质量相对于从热塑性树脂101整体除去包含纳米填料的填料和其他各种混配剂的质量的比例至少为1质量％以上，优选为5质量％以上，更优选为10质量％以上。另外，不饱和羧酸的质量相对于从热塑性树脂101整体除去包含纳米填料的填料和其他各种混配剂的质量的比例为50质量％以下。在这样的热塑性树脂101中，例如乙烯-不饱和羧酸共聚物由甲基丙烯酸聚合物或丙烯酸聚合物等构成。这样的片状的保护部件110对于金属框架9发挥较高的固定力而适当地固定于金属框架9，由此能够适当地形成带保护部件的被加工物130，能够降低该片状的保护部件110在加工中或搬送中从金属框架9剥离的可能。
另外，在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，可以在金属框架9的面9-2与片状的保护部件110的外周区域115之间设置促进热塑性树脂101对于金属框架9的粘接的粘接促进部件。另外，粘接促进部件可以配置于金属框架9的面9-2上。这里，粘接促进部件由促进在金属框架9与热塑性树脂101之间产生的粘接反应的材料形成。
在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，然后通过设置于吸引保持工作台90的内部的热源92从保持面91侧隔着被加工物1和金属框架9对片状的保护部件110进行加热而使其软化。如图15所示，在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，还将按压部件50的平坦的按压面51从保持面91侧的相反侧朝向吸引保持工作台90所吸引保持的紧贴于被加工物1的正面4和金属框架9的面9-2的片状的保护部件110的面114侧接近而接触。在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，还通过设置于按压部件50的内部的热源52从按压面51侧对片状的保护部件110进行加热而使其软化。
在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，这样一边通过热源52、92对片状的保护部件110的一面113侧和被加工物1的正面4侧进行加热一边利用与保持面91平行的按压面51将片状的保护部件110的一面113侧按压至被加工物1的正面4侧和金属框架9的面9-2上规定的时间以上，由此使片状的保护部件110与被加工物1和金属框架9一体化。
另外，在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，也可以与第1实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004同样地使用辊，利用同样的温度条件和按压条件进行片状的保护部件110向被加工物1和金属框架9的热压接处理。另外，在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，也可以与第1实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004同样地使用辊，利用同样的按压条件使片状的保护部件110紧贴而一体化之后，使用工业用烘干机，利用同样的温度条件进行片状的保护部件110对被加工物1和金属框架9的紧贴和一体化处理。
在第2实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004之后，将通过使片状的保护部件110紧贴于被加工物1的正面4和金属框架9的面9-2进行一体化而形成的带保护部件的被加工物130从吸引保持工作台90取下。如图16所示，带保护部件的被加工物130具有：板状的被加工物1；第2实施方式的保护部件110；以及在保护部件110的面113上在开口9-1内收纳被加工物1的金属框架9。第2实施方式的保护部件110除了紧贴于金属框架9的面9-2而与金属框架9一体化以外，与第1实施方式的保护部件110相同。
第2实施方式的被加工物的加工方法的加工步骤1006与上述的加工步骤1006同样地是利用卡盘工作台145、155、165对经过第2实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的各步骤(步骤1001～1005)而形成的带保护部件的被加工物130的片状的保护部件110侧进行保持并对被加工物1进行加工的步骤。即，第2实施方式的被加工物的加工方法的加工步骤1006是将在第1实施方式中利用卡盘工作台145、155、165进行保持并对被加工物1进行加工的对象变更为带金属框架9的带保护部件的被加工物130等的加工步骤。
[第3实施方式]
根据附图，对本发明的第3实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件进行说明。图17是对第3实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的树脂层形成步骤1002和保护部件形成步骤1003进行说明的剖视图。图18是对第3实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的带保护部件的被加工物形成步骤1004进行说明的剖视图。另外，在图18中，省略了凸块6的图示。图17和图18中，对与第1实施方式和第2实施方式相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。
第3实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法是在第1实施方式中变更了树脂层形成步骤1002、保护部件形成步骤1003和带保护部件的被加工物形成步骤1004的制造方法。第3实施方式的被加工物的加工方法是进一步在第2实施方式中变更了加工步骤1006的加工方法。
如图17所示，第3实施方式的树脂层形成步骤1002是在第1实施方式中进一步在树脂层103的外周缘形成液态的混合树脂102的厚壁部139的步骤。另外，如图17所示，第3实施方式的保护部件形成步骤1003是在第1实施方式中进一步在片状的保护部件110的外周缘形成液态的混合树脂102的厚壁部139的步骤。这里，厚壁部139是指比树脂层103或片状的保护部件110的内侧的区域(片状的区域)厚的部分，在第3实施方式中，例如按照与第2实施方式的金属框架9同等的厚度比树脂层103或片状的保护部件110的片状的区域厚。
在第3实施方式的树脂层形成步骤1002中，向支承台180的平坦的支承面181和在支承面181的外周的区域呈圆环状凹陷而形成的槽部184提供液态的混合树脂102。这里，槽部184的内径大于被加工物1的外径。如图17所示，在保护部件形成步骤1003中，使紫外线照射器25接近形成于支承台180的支承面181上和槽部184内的树脂层103，通过紫外线照射器25对树脂层103的整个面照射紫外线29，由此使混合树脂102固化，形成在外周缘带混合树脂102的厚壁部139的片状的保护部件110。
另外，在第3实施方式中，可以在树脂层形成步骤1002中向槽部184提供环状的框架芯材，在保护部件形成步骤1003中在槽部184内通过环状的框架芯材和混合树脂102形成厚壁部139。这里，环状的框架芯材例如是径向中央的直径与槽部184相等、径向的宽度和厚度小于槽部184的芯材。
如图18所示，第3实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004是在第1实施方式中将紧贴于作为被加工物1的一面的正面4侧而一体化的对象变更为带厚壁部139的片状的保护部件110的步骤。在第3实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，首先利用与第1实施方式同样的方法，使带厚壁部139的片状的保护部件110的片状的区域的厚壁部139的突出侧的面(厚壁部139所围绕的凹部的底面)即面113紧贴于被加工物1的正面4上。
在第3实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，在使被加工物1的正面4紧贴于带厚壁部139的片状的保护部件110的面113之后，如图18所示，使带厚壁部139的片状的保护部件110侧朝向吸引保持工作台190的保持面191而载置并进行吸引保持，通过设置于吸引保持工作台190的内部的热源192，从保持面191侧对带厚壁部139的片状的保护部件110进行加热而使其软化。另外，吸引保持工作台190具有与吸引保持工作台40同样的保持部193，通过与吸引保持工作台40同样的机构，利用保持面191对被加工物1进行吸引保持。在第3实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，还将按压部件50-2的按压面51从保持面191侧的相反侧朝向吸引保持工作台190所吸引保持的紧贴有带厚壁部139的片状的保护部件110的面113的被加工物1接近而接触，通过按压部件50-2的热源52从按压面51侧隔着被加工物1进一步对带厚壁部139的片状的保护部件110进行加热而使其软化。在第3实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，然后利用与保持面191平行的按压面51将被加工物1按压至软化的带厚壁部139的片状的保护部件110，由此使带厚壁部139的片状的保护部件110与被加工物1一体化。这里，按压部件50-2是使按压部件50的径向的宽度小于带厚壁部139的片状的保护部件110的面113的内径而得的。
另外，在第3实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，也可以与第1实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004同样地使用辊，利用同样的温度条件和按压条件进行带厚壁部139的片状的保护部件110对被加工物1的热压接处理。另外，在第3实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，也可以与第1实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004同样地使用辊，利用同样的按压条件使带厚壁部139的片状的保护部件110紧贴而一体化之后，使用工业用烘干机，利用同样的温度条件进行带厚壁部139的片状的保护部件110对被加工物1的紧贴和一体化处理。
在该第3实施方式的带保护部件的被加工物形成步骤1004中，得到在第2实施方式的带保护部件的被加工物130中将金属框架9变更为在开口139-1内收纳被加工物1的厚壁部139的方式即第3实施方式的带保护部件的被加工物130-3。如图18所示，带保护部件的被加工物130-3具有板状的被加工物1和第3实施方式的保护部件110。第3实施方式的保护部件110是在第1实施方式的保护部件110中进一步在外周缘具有由液态的混合树脂102形成的厚壁部139而得到的。第3实施方式的被加工物的加工方法与第2实施方式大致相同，在加工步骤1006中，在被加工物1的加工中，代替金属框架9而将厚壁部139利用框架保持部147、157、167进行保持。
具有以上那样的结构的第3实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件是在第1实施方式中将紧贴于作为被加工物1的一面的正面4侧而一体化的对象变更为带厚壁部139的片状的保护部件110而得到的，因此起到与第1实施方式和第2实施方式同样的作用效果。
[实施例]
接着，本发明的发明人确认了第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件的作用效果。表1是对第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法、被加工物的加工方法和被加工物的保护部件的作用效果进行说明的表。表1汇总示出确认第1实施方式的作用效果时得到的结果。
表1
混合比 成型评价 剥离评价
比较例1 2:8 × ×
本发明品等1 3:7 ○ ○
本发明品等2 6:4 ○ ○
本发明品等3 7:3 ○ ○
比较例2 8:2 ○ ×
表1示出：利用与第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的混合树脂准备步骤1001同样的方法在液态的紫外线固化型树脂中混合热塑性树脂而得到液态的混合树脂时的紫外线固化型树脂与热塑性树脂的混合比；利用与第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的树脂层形成步骤1002和保护部件形成步骤1003同样的方法得到片状的保护部件时的保护部件的成型评价；以及利用与第1实施方式的带保护部件的被加工物的制造方法的带保护部件的被加工物形成步骤1004、加工步骤1006和保护部件剥离步骤1007同样的方法使片状的保护部件与被加工物1一体化，对被加工物1进行加工并从被加工物1剥离时的保护部件的剥离评价。
表1的“混合比”这行示出为了得到液态的混合树脂而混合的紫外线固化型树脂与热塑性树脂的质量比。表1的“成型评价”这行中，“○”示出至液态的混合树脂形成规定厚度的树脂层为止所花费的时间为充分短的时间且所形成的树脂层的厚度偏差充分小的结果，“×”示出至液态的混合树脂形成规定厚度的树脂层为止所花费的时间为规定时间以上、或所形成的树脂层的厚度偏差大致一定以上的结果。表1的“剥离评价”这行中，“○”示出能够将片状的保护部件没有残渣且容易地从被加工物1剥离的结果，“×”示出在剥离了片状的保护部件的被加工物1上残留有残渣、或无法将片状的保护部件容易地剥离的结果。
另外，在本实施例的比较例1、2和本发明品等1、2、3中，均使用相同的紫外线固化型树脂、热塑性树脂。如表1所示，在“比较例1”中，利用以2：8的质量比混合紫外线固化型树脂和热塑性树脂而得到的混合树脂形成片状的保护部件，在“本发明品等1”中，利用以3：7的质量比混合紫外线固化型树脂和热塑性树脂而得到的混合树脂形成片状的保护部件，在“本发明品等2”中，利用以6：4的质量比混合紫外线固化型树脂和热塑性树脂而得到的混合树脂形成片状的保护部件，在“本发明品等3”中，利用以7：3的质量比混合紫外线固化型树脂和热塑性树脂而得到的混合树脂形成片状的保护部件，在“比较例2”中，利用以8：2的质量比混合紫外线固化型树脂和热塑性树脂而得到的混合树脂形成片状的保护部件。
如表1的本发明品等1、2、3所示，在利用以3：7～7：3混合紫外线固化型树脂和热塑性树脂而得到的混合树脂形成片状的保护部件的情况下，能够以充分短的时间形成厚度偏差充分小的规定厚度的树脂层、即片状的保护部件，在从紧贴而一体化的被加工物1剥离时，能够在被加工物1上没有残渣且容易地剥离。另一方面，如表1的比较例1所示，在利用以2：8混合紫外线固化型树脂和热塑性树脂而得到的混合树脂形成片状的保护部件的情况下，由于紫外线固化型树脂较少，整体难以均匀地固化，并且固化花费时间，厚度偏差较大，由于热塑性树脂较多，对被加工物1的紧贴性过高，在从紧贴而一体化的被加工物1剥离时，无法在被加工物1上容易地剥离。另外，如表1的比较例2所示，在利用以8：2混合紫外线固化型树脂和热塑性树脂而得到的混合树脂形成片状的保护部件的情况下，虽然得到充分的成型评价，但在从紧贴而一体化的被加工物1剥离时会在被加工物1上残留有紫外线固化型树脂的残渣。
由此，在表1所示的例子中，利用将紫外线固化型树脂和热塑性树脂以3：7～7：3混合而得到的混合树脂形成片状的保护部件，由此一起得到基于紫外线固化型树脂的形状或尺寸的维持的效果以及基于热塑性树脂的紧贴的效果，结果可知能够形成得到充分的成型评价和剥离评价的片状的保护部件。
另外，利用与第2实施方式和第3实施方式同样的方法，利用以与表1所示的例子同样的紫外线固化型树脂与热塑性树脂的质量比混合而得到的混合树脂形成片状的保护部件，结果得到与表1所示的例子同样的结果。
另外，本发明并不限于上述实施方式。即，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形并实施。例如在上述的各实施方式和变形例中使用的紫外线固化型树脂100或热塑性树脂101可以着色为黑色等暗色以保护电路或隐匿电路而免受紫外线影响，也可以混炼紫外线吸收剂。另外，在准备混合树脂102时，可以对液态的紫外线固化型树脂100进行加热而使热塑性树脂101溶解，可以不进行搅拌。另外，填料可以在将紫外线固化型树脂100和热塑性树脂101混合之后追加地加入。

Claims (6)

1.一种带保护部件的被加工物的制造方法，使保护该被加工物的保护部件紧贴于板状的被加工物的一面侧而制造带保护部件的被加工物，其中，该带保护部件的被加工物的制造方法具有如下的步骤：
混合树脂准备步骤，在液态的紫外线固化型树脂中溶解溶解度参数8.5以上的热塑性树脂，准备液态的混合树脂；
树脂层形成步骤，向支承台的支承面提供该混合树脂而形成规定厚度的树脂层；
保护部件形成步骤，对该树脂层照射紫外线，使该树脂层固化而形成片状的保护部件；以及
带保护部件的被加工物形成步骤，在使片状的该保护部件的一面侧与该被加工物的该一面侧相互紧贴之前或紧贴之后，对该片状的保护部件进行加热，使片状的该保护部件紧贴于该被加工物而与该被加工物一体化。
2.根据权利要求1所述的带保护部件的被加工物的制造方法，其中，
在该带保护部件的被加工物形成步骤之后，还具有对该保护部件进行冷却的保护部件冷却步骤。
3.根据权利要求1或2所述的带保护部件的被加工物的制造方法，其中，
在该被加工物的该一面上形成有器件。
4.一种被加工物的加工方法，对板状的被加工物进行加工，其中，该被加工物的加工方法具有如下的步骤：
加工步骤，利用卡盘工作台对在液态的紫外线固化型树脂中混合有溶解度参数8.5以上的热塑性树脂的混合树脂利用紫外线固化而成的片状的保护部件的一面侧与该被加工物的一面侧相互紧贴的状态的带保护部件的被加工物的该保护部件进行保持，对该被加工物进行加工；以及
保护部件剥离步骤，在该加工步骤实施后，从该被加工物剥离该保护部件。
5.根据权利要求4所述的被加工物的加工方法，其中，该被加工物的加工方法还具有如下的步骤：
混合树脂准备步骤，在该加工步骤之前，在液态的该紫外线固化型树脂中溶解溶解度参数8.5以上的该热塑性树脂，准备液态的该混合树脂；
树脂层形成步骤，在该混合树脂准备步骤之后且在该加工步骤之前，向支承台的支承面提供该混合树脂而形成规定厚度的树脂层；
保护部件形成步骤，在该树脂层形成步骤之后且在该加工步骤之前，对该树脂层照射紫外线，使该树脂层固化而形成片状的该保护部件；以及
带保护部件的被加工物形成步骤，在该保护部件形成步骤之后且在该加工步骤之前，使加热的片状的该保护部件的该一面侧与该被加工物的该一面侧相互紧贴，形成该带保护部件的被加工物。
6.一种被加工物的保护部件，其紧贴于圆盘状的被加工物的一面侧而对该被加工物进行保护，其中，
在液态的紫外线固化型树脂中混合有溶解度参数8.5以上的热塑性树脂的混合树脂利用紫外线固化而形成片状。
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