DE102022204468A1 - Herstellungsverfahren für ein mit einer schutzkomponente versehenes werkstück - Google Patents

Herstellungsverfahren für ein mit einer schutzkomponente versehenes werkstück Download PDF

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protective
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Norihisa Arifuku
Masamitsu Kimura
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Disco Corp
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Abstract

Es wird ein Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück bereitgestellt. Das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück weist auf: einen Schritt, bei dem ein thermoplastisches Harz, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, in einem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz gelöst wird, um ein flüssiges gemischtes Harz vorzubereiten, einen Schritt, bei dem das gemischte Harz zu einer Trägerfläche eines Trägertisches zugeführt wird, um eine Harzschicht mit einer vorbestimmten Dicke zu bilden, einen Schritt, bei dem die Harzschicht mit Ultraviolettstrahlen bestrahlt wird und die Harzschicht gehärtet wird, um die Schutzkomponente mit einer Schichtform zu bilden, und einen Schritt, bei dem die schichtförmige Schutzkomponente erwärmt wird, bevor oder nachdem eine Fläche der schichtförmigen Schutzkomponente und eine Fläche des Werkstücks in engen Kontakt miteinander gebracht werden, und bewirkt wird, dass die schichtförmige Schutzkomponente in engen Kontakt mit dem Werkstück kommt und sich mit dem Werkstück integriert.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, ein Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und eine Schutzkomponente für ein Werkstück.
  • Beschreibung des verwandten Standes der Technik
  • Wenn verschiedene plattenförmige Werkstücke, wie z.B. ein Halbleiter-Wafer, ein Harzgehäusesubstrat, ein Keramiksubstrat und ein Glassubstrat, durch eine Schleifvorrichtung geschliffen und gedünnt oder durch eine Schneidklinge oder einen Laserstrahl geteilt werden, werden die Werkstücke durch einen Einspanntisch unter einem Saugen gehalten. Um eine Beschädigung, Verunreinigung usw. des Werkstücks zu verhindern, die verursacht wird, wenn eine Fläche des Werkstücks, das durch den Einspanntisch gehalten werden soll, mit einer Haltefläche des Einspanntischs in Kontakt kommt, und um alle Chips (chipförmige Bauelemente) gemeinsam zu befördern, nachdem das Werkstück in die Vielzahl von Chips aufgeteilt wurde, wird normalerweise ein Klebeband als Schutzkomponente auf die Fläche des Werkstücks, das gehalten werden soll, geklebt (siehe z. B. japanische Patentveröffentlichung Nr. 2013-021017 ).
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Im Allgemeinen hat das Klebeband eine schichtweise Struktur, die eine Grundschicht aus einem Harz und eine Klebstoffschicht mit einem Klebstoff aus einem Harz enthält. Wenn die Klebstoffschicht des Klebebandes in engen Kontakt mit der Fläche des zu haltenden Werkstücks gebracht und darauf geklebt wird, besteht das Problem, dass ein Rückstand des Klebstoffs auf dem Werkstück zurückbleibt, wenn das Klebeband von dem Werkstück getrennt wird. Außerdem neigt das Werkstück aufgrund der Wirkung der Klebstoffschicht als Polsterung dazu, bei der Bearbeitung zu vibrieren. Infolgedessen besteht das Problem, dass es zu einem Bruch des Werkstücks kommen kann oder dass Chips, die beim Teilen des Werkstücks anfallen, möglicherweise verstreut werden.
  • Daher wurde ein Verfahren entwickelt, bei dem ein Werkstück mit einer Schutzkomponente gebildet wird, indem ein thermoplastisches Harz, das auf eine Fläche eines Werkstücks aufgebracht wird, geschmolzen wird, so dass eine Schicht gebildet wird, die die Schutzkomponente wird. Dies ermöglicht die Abwesenheit einer Klebstoffschicht, so dass einen Effekt gibt, dass keine Klebstoffreste zurückbleiben. Allerdings ist eine Erwärmungszeit von mehreren zehn Sekunden bis zu mehreren zehn Minuten erforderlich, um das thermoplastische Harz unter Anwendung von Wärme und Druck in eine uniforme Schicht zu bilden, was zu einer Verringerung der Effizienz führt. Ferner wurde ein Verfahren entwickelt, bei dem ein thermoplastischer Kunststoff, auf den zuvor Wärme und Druck ausgeübt werden, zur Bildung einer Schicht verwendet wird und ein Thermokompressionskleben durchgeführt wird, um die gebildete Schicht mit einem Werkstück zu verbinden. Doch selbst wenn die Schicht durch das thermoplastische Harz unter Anwendung von Wärme und Druck gebildet wird, schrumpft die Schicht beim Abkühlen, und die Dicke und Größe der Schicht ändern sich. Dies führt zu dem Problem, dass es schwierig ist, die Schicht in eine uniforme Größe ohne Variationen zu formen und dass sich das Werkstück aufgrund der Schrumpfung der Schicht biegt.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, ein Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und eine Schutzkomponente für ein Werkstück bereitzustellen, die die Schrumpfung einer Schicht aufgrund von Abkühlung reduzieren und die Variation in der Dicke und Größe der Schicht reduzieren kann.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück bereitgestellt, bei dem eine Schutzkomponente, die ein plattenförmiges Werkstück schützt, in engen Kontakt mit einer Fläche des Werkstücks zur Herstellung des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks gebracht wird. Das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück weist auf: einen Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz, bei dem ein thermoplastisches Harz, dessen Löslichkeitsparameter (engl. solubility parameter) gleich oder größer als 8,5 ist, in einem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz gelöst wird, um ein flüssiges gemischtes Harz vorzubereiten, einen Harzschichtbildungsschritt, bei dem das gemischte Harz zu einer Trägerfläche eines Trägertisches zugeführt wird, um eine Harzschicht mit einer vorbestimmten Dicke zu bilden, einen Schutzkomponentenbildungsschritt bei dem die Harzschicht mit Ultraviolettstrahlen bestrahlt wird und die Harzschicht gehärtet wird, um die Schutzkomponente mit einer Schichtform zu bilden, und einen Schritt zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks, bei dem die schichtförmige Schutzkomponente erwärmt wird, bevor oder nachdem eine Fläche der schichtförmigen Schutzkomponente und die eine Fläche des Werkstücks in engen Kontakt miteinander gebracht werden, und bewirkt wird, dass die schichtförmige Schutzkomponente in engen Kontakt mit dem Werkstück kommt und sich mit dem Werkstück integriert.
  • Vorzugsweise enthält das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück ferner einen Schutzkomponentenkühlschritt bei dem die Schutzkomponente nach dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks abgekühlt wird.
  • Ferner bevorzugt sind Bauelemente auf der einen Fläche des Werkstücks gebildet sind.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück zur Bearbeitung des Werkstücks mit einer Plattenform bereitgestellt. Das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück weist auf: einen Bearbeitungsschritt zum Halten, durch einen Einspanntisch, einer schichtförmigen Schutzkomponente eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks, bei dem eine Fläche der Schutzkomponente und eine Fläche des Werkstücks in engem Kontakt miteinander sind, wobei die Schutzkomponente durch Aufbringen von Ultraviolettstrahlen auf und Härten eines gemischten Harzes, das durch Mischen eines thermoplastischen Harzes, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, mit einem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz erhalten wird, gebildet wird, und zum Bearbeiten des Werkstücks, und einen Schutzkomponententrennschritt zum Trennen der Schutzkomponente von dem Werkstück, nachdem der Bearbeitungsschritt ausgeführt wurde.
  • Bevorzugt weist das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück auf: einen Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz, bei dem vor dem Bearbeitungsschritt das thermoplastische Harz, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, in dem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz gelöst wird, um das gemischte Harz in einem flüssigen Zustand vorzubereiten, einen Harzschichtbildungsschritt, bei dem nach dem Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz, aber vor dem Bearbeitungsschritt, das gemischte Harz zu einer Trägerfläche eines Trägertisches zugeführt wird, um eine Harzschicht mit einer vorbestimmten Dicke zu bilden, einen Schutzkomponentenbildungsschritt, bei dem nach dem Harzschichtbildungsschritt, aber vor dem Bearbeitungsschritt, die Harzschicht mit Ultraviolettstrahlen bestrahlt wird und die Harzschicht gehärtet wird, um die schichtförmige Schutzkomponente zu bilden, und einen Schritt zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks, bei dem nach dem Schutzkomponentenbildungsschritt, aber vor dem Bearbeitungsschritt, die eine Fläche der schichtförmigen Schutzkomponente, die erwärmt wird, und die eine Fläche des Werkstücks in engen Kontakt miteinander gebracht werden, um das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück zu bilden.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Schutzkomponente für ein Werkstück bereitgestellt, die in engem Kontakt mit einer Fläche des Werkstücks ist, das eine kreisförmige Scheibenform aufweist, und das Werkstück schützt. Die Schutzkomponente ist in einer Schichtform gebildet, durch Aufbringen von Ultraviolettstrahlen auf und Aushärten eines gemischten Harzes, das durch Mischen eines thermoplastischen Harzes, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, mit einem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz erhalten wird..
  • Gemäß der Erfindung der vorliegenden Anmeldung kann die Schrumpfung der Schicht aufgrund der Abkühlung verringert werden, und die Variation in der Dicke und Größe der Schicht können reduziert werden.
  • Die obigen und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher aus, und die Erfindung selbst wird am besten verstanden durch, ein Studium der folgenden Beschreibung und der beigefügten Ansprüche unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen, die bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Werkstück darstellt, das Gegenstand eines Herstellungsverfahrens für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, eines Bearbeitungsverfahrens für ein Werkstück und einer Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß einer ersten Ausführungsform ist;
    • 2 ist ein Flussdiagramm, das einen Bearbeitungsvorgang des Herstellungsverfahrens für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück und das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform darstellt;
    • 3 ist eine perspektivische Ansicht zur Erläuterung eines Vorbereitungsschritts für ein gemischtes Harz in 2;
    • 4 ist eine perspektivische Ansicht zur Erläuterung des Vorbereitungsschritts für ein gemischtes Harz in 2;
    • 5 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Harzschichtbildungsschrittes in 2;
    • 6 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Schutzkomponentenbildungsschritts in 2;
    • 7 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Schrittes zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks in 2;
    • 8 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung des Schrittes zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks in 2;
    • 9 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung des Schrittes zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks in 2;
    • 10 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Schrittes zum Abtrennen des äußeren Umfangsbereichs der Schutzkomponente;
    • 11 ist eine perspektivische Ansicht, die ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück darstellt, das durch das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform hergestellt wurde;
    • 12 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung einer Schneidbearbeitung, die ein erstes Beispiel für einen Bearbeitungsschritt in 2 ist;
    • 13 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung einer Schleifbearbeitung, die ein zweites Beispiel für den Bearbeitungsschritt in 2 ist;
    • 14 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung einer Laserbearbeitung, die ein drittes Beispiel für den Bearbeitungsschritt in 2 ist;
    • 15 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Schrittes zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks, der in einem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß einer zweiten Ausführungsform enthalten ist;
    • 16 ist eine perspektivische Ansicht, die ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück darstellt, das durch das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der zweiten Ausführungsform hergestellt wurde;
    • 17 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Harzschichtbildungsschritts und eines Schutzkomponentenbildungsschritts, die in einem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß einer dritten Ausführungsform enthalten sind;
    • 18 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Schrittes zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks, der in einem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß einer dritten Ausführungsform enthalten ist;
    • 19 ist ein Diagramm zur Erläuterung der Wirkung und der Effekte des Herstellungsverfahrens für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, des Bearbeitungsverfahrens für ein Werkstück und der Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden im Folgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist nicht durch die Details der folgenden Ausführungsbeispielen beschränkt. Ferner ist in den nachfolgend beschriebenen konstituierenden Elementen das umfasst, was für den Fachmann leicht vorstellbar ist und das was im Wesentlichen gleich ist. Ferner können die im Folgenden beschriebenen Konfigurationen in geeigneter Weise kombiniert werden. Ferner können verschiedene Arten des Weglassens, Ersetzens oder Änderns einer Konfiguration durchgeführt werden, ohne vom Kern der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
  • [Erste Ausführungsform]
  • Ein Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, ein Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und eine Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden anhand von Zeichnungen beschrieben. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Werkstück 1 darstellt, das Gegenstand des Herstellungsverfahrens für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, des Bearbeitungsverfahrens für ein Werkstück und der Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform ist. In der ersten Ausführungsform ist das Werkstück 1 ein Wafer, wie z.B. ein kreisförmiger, plattenförmiger Halbleiterwafer oder ein Wafer für eine optische Vorrichtung, und enthält als Substrat 2 Silizium, Saphir, Galliumarsenid, ein SiC-Substrat, ein GaN-Substrat, ein Lithiumtantalat (LT)-Substrat, ein einkristallines Diamantsubstrat oder dergleichen. Es ist zu beachten, dass das Werkstück 1 nicht auf das kreisförmige plattenförmige Werkstück in der vorliegenden Erfindung beschränkt ist und ein Harzpaketsubstrat, ein Metallsubstrat oder ein anderes plattenförmiges Objekt sein kann.
  • In der ersten Ausführungsform, wie in 1 dargestellt, weist das Werkstück 1 eine Vorderfläche 4 auf, die durch eine Vielzahl geplanter Teilungslinien 3 unterteilt ist, die sich schneiden (in der ersten Ausführungsform sind sie orthogonal), und in den jeweiligen Bereichen der Vorderfläche 4 sind chipförmige Bauelemente 5 gebildet. Das Werkstück 1 ist entlang der jeweiligen geplanten Teilungslinien 3 in die individuellen Bauelemente 5 (Chips) unterteilt. Es ist zu beachten, dass das Werkstück 1 im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht auf das oben beschriebene Werkstück 1 beschränkt ist und die Bauelemente 5 nicht an diesem gebildet sein müssen. In dem Werkstück 1 sind in der ersten Ausführungsform mehrere Vorsprünge 6 von Elektroden auf einem Bereich der Vorderfläche 4 angebracht, die dem Bauelement 5 entsprechen, und stehen von der Vorderfläche 4 vor. Da die Vorsprünge 6 auf der Vorderfläche 4 angebracht sind, weisen das Werkstück 1 und die Bauelemente 5 eine ungleichmäßige Struktur auf. Es ist zu beachten, dass das Werkstück 1 und die Bauelemente 5 im Rahmen der vorliegenden Erfindung die Vorsprünge 6 und die ungleichmäßige Struktur auf der Vorderfläche 4 nicht aufweisen müssen. In der ersten Ausführungsform weist das Werkstück 1 eine Rückfläche 7 auf, die der Vorderfläche 4 gegenüberliegt, und die Rückfläche 7 ist eben ausgebildet. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Konfiguration beschränkt, und auf der Rückfläche 7 kann eine ungleichmäßige Struktur gebildet sein.
  • 2 ist ein Flussdiagramm, das einen Bearbeitungsvorgang des Herstellungsverfahrens für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück und das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform darstellt. Wie in 2 dargestellt, enthält das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform einen Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz 1001, einen Harzschichtbildungsschritt 1002, einen Schutzkomponentbildungsschritt 1003, einen Schritt zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 und einen Schutzkomponentenkühlschritt 1005. Das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform enthält einen Bearbeitungsschritt 1006 und einen Schutzkomponententrennschritt 1007. In dem Bearbeitungsschritt 1006 wird ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück 120 (siehe 11), das durch die jeweiligen Schritte (Schritte 1001 bis 1005), die in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform enthalten sind, gebildet wird, bearbeitet.
  • Bei dem Herstellungsverfahrens für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform wird das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 120 hergestellt, indem die Vorderfläche 4, die eine Oberfläche des Werkstücks 1 ist, als Haltefläche verwendet wird und eine schichtförmige Schutzkomponente 110 (siehe 6 usw.) in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 gebracht wird, um die Schutzkomponente 110 mit dem Werkstück 1 zu integrieren. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Konfiguration beschränkt. Die Rückfläche 7 des Werkstücks 1 kann als zu haltende Fläche verwendet werden, und die Schutzkomponente 110 kann in engen Kontakt mit der Rückfläche 7 gebracht werden, um die Schutzkomponente 110 mit dem Werkstück 1 zu integrieren. Es ist zu beachten, dass die zu haltende Fläche eine Fläche ist, auf der das Werkstück 1 und die Bauelemente 5 bei dem Bearbeitungsverfahren für ein Werkstücks gemäß der ersten Ausführungsform durch einen Einspanntisch 145, 155 oder 165 (siehe 12, 13 und 14) unter einem Saugen gehalten werden.
  • 3 und 4 sind perspektivische Ansichten zur Erläuterung des Vorbereitungsschritts für ein gemischtes Harz 1001 in 2. Wie in 3 und 4 dargestellt, ist der Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz 1001 ein Schritt des Auflösens eines thermoplastischen Harzes 101, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder höher als 8,5 ist, in einem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz 100, um ein flüssiges gemischtes Harz 102 herzustellen. In dem Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz 1001, wie in 3 dargestellt, wird das thermoplastische Harz 101, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder höher als 8,5 ist, zugeführt und in einen Behälter 10 gegeben, in dem sich das flüssige, ultraviolett-härtbare Harz 100 befindet. Dann wird, wie in 4 dargestellt, das Innere des Behälters 10 mit einem Rührstab 11 umgerührt. So erhält man das flüssige gemischte Harz 102, in dem das ultraviolett-härtbare Harz 100 und das thermoplastische Harz 101 homogen vermischt sind. Hier bezieht sich der Zustand, in dem das ultraviolett-härtbare Harz 100 und das thermoplastische Harz 101 homogen gemischt sind, auf den Zustand, in dem das ultraviolett-härtbare Harz 100 und das thermoplastische Harz 101 nicht voneinander isoliert sind, sondern ineinander gelöst sind, und in dem das ultraviolett-härtbare Harz 100 und das thermoplastische Harz 101 beide homogen im Ganzen verteilt sind. Im Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz 1001 ist es vorteilhaft, das thermoplastische Harz 101 in dem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz 100 so aufzulösen, dass das Massenverhältnis des flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harzes 100 zu dem thermoplastischen Harz 101 zu dem Zeitpunkt, zu dem das flüssige gemischte Harz 102 erhalten wird, 3:7 bis 7:3 beträgt. Das heißt, im Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz 1001 ist es bevorzugt, das thermoplastische Harz 101 mit einer Masse, die mindestens 3/7 und höchstens 7/3 der Masse des flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harzes 100 beträgt, in dem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz 100 aufzulösen, um das flüssige gemischte Harz 102 zu erhalten.
  • In der ersten Ausführungsform hat das thermoplastische Harz 101, das in dem Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz 1001 zugeführt wird, eine Partikelform. Die Form des thermoplastischen Harzes 101 ist jedoch im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt und kann jede Form haben, solange es sich um einen Feststoff handelt. Beispielsweise kann das thermoplastische Harz 101, das im Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz 1001 zugeführt wird, neben der oben beschriebenen Partikelform auch eine körnige Form, eine Faserform, eine Schichtform, eine Pulverform, eine Klumpenform, eine Plattenform, eine Fadenform, eine Folienform oder dergleichen aufweisen und eine Form haben, die es dem thermoplastischen Harz 101 ermöglicht, sich leicht in dem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz 100 zu lösen. Darüber hinaus kann das thermoplastische Harz 101, das bei Raumtemperatur ein Feststoff ist, so weit erwärmt werden, dass es zum Zeitpunkt der Zuführung eine Fließfähigkeit aufweist.
  • In der ersten Ausführungsform können als ultraviolett-härtbares Harz 100 insbesondere Harze auf Acrylbasis, wie z. B. ein ethylenungesättigtes Monomer und ein ethylenungesättigtes Oligomer, oder Harze auf Epoxidbasis, wie z. B. ein alicyclisches epoxidgruppenhaltiges Monomer, ein alicyclisches epoxidgruppenhaltiges Oligomer, ein glycidylgruppenhaltiges Monomer und ein glycidylgruppenhaltiges Oligomer, verwendet werden. Das ultraviolett-härtbare Harz 100 kann mit einer anderen ultraviolett-härtbaren Harzverbindung, einem Zusatzstoff oder dergleichen gemischt werden, so dass es zu einer Flüssigkeit wird. Als ultraviolett-härtbares Harz 100 kann eine Substanz verwendet werden, deren Löslichkeitsparameter gleich oder kleiner als 12 ist.
  • Das thermoplastische Harz 101 lässt sich leicht mit dem ultraviolett-härtbaren Harz 100 mischen und ist gut löslich, da sein Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist. In der ersten Ausführungsform kann insbesondere als thermoplastisches Harz 101 eine Substanz verwendet werden, die hauptsächlich aus einem Methacrylsäurepolymer, einem Acrylsäurepolymer, Polystyrol, einem Vinylacetatharz, einem Vinylchloridharz, Acetylcellulose, einem Epoxidharz, einem Vinylidenchloridharz, einem Nylonharz oder dergleichen gebildet ist. Hier beträgt, in einem Fall, in dem das thermoplastische Harz 101 hauptsächlich aus einem Methacrylsäurepolymer, einem Acrylsäurepolymer oder dergleichen zusammengesetzt ist, das Verhältnis der Masse des Methacrylsäurepolymers, des Acrylsäurepolymers oder dergleichen zu der Masse, die durch Entfernen von Füllstoffen, einschließlich der später zu beschreibenden Nanofüllstoffe und anderer verschiedener Compoundierungsmittel, aus dem gesamten thermoplastischen Harz 101 erhalten wird, mindestens 1 Massenprozent und ist vorzugsweise gleich oder höher als 5 Massenprozent und ist noch bevorzugter gleich oder höher als 10 Massenprozent. Das thermoplastische Harz 101 kann mit einer anderen thermoplastischen Harzverbindung, einem Zusatzstoff oder dergleichen gemischt werden, damit der Löslichkeitsparameter gleich oder höher als 8,5 wird. Das thermoplastische Harz, dessen Löslichkeitsparameter niedriger als 8,5 ist, wird weniger leicht mit dem ultraviolett-härtbaren Harz 100 gemischt, und es ist schwierig, das flüssige gemischte Harz 102 zu erhalten, in dem diese Harze homogen gemischt sind. Ferner wird der Unterschied im Löslichkeitsparameter zwischen dem thermoplastischen Harz 101 und dem ultraviolett-härtbaren Harz 100 gleich oder kleiner als 3, vorzugsweise gleich oder kleiner als 1, eingestellt.
  • Als weitere thermoplastische Harzverbindung, die je nach Bedarf in das thermoplastische Harz 101 gemischt wird, können insbesondere eine Art oder zwei oder mehr Arten von Substanzen genannt werden, die aus den folgenden Substanzen ausgewählt werden: ein Acrylharz, ein Methacrylharz, ein Harz auf Vinylbasis, Polyacetal, Naturkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Chloroprenkautschuk, ein Polyolefin wie Polyethylen, Polypropylen, Poly(4-methyl-1-penten) und Poly(1-buten), Polyester wie Polyethylenterephthalat und Polybutylenterephthalat, ein Polyamid wie Nylon 6, Nylon 66 und Poly(meta-Xylol-Adipamid), Polyacrylat, Polymethacrylat, Polyvinylchlorid, Polyetherimid, Polyacrylnitril, Polycarbonat, Polystyrol, Polysulfon, Polyethersulfon, Polyphenylen, ein Ether-Polybutadien-Harz, ein Polycarbonat-Harz, ein thermoplastisches Polyimid-Harz, ein thermoplastisches Polyurethan-Harz, ein Phenoxy-Harz, ein Polyamidimid-Harz, ein Fluor-Harz, ein Ethylen-ungesättigtes Carbonsäure-Copolymer-Harz, ein Ethylen-Vinylacetat-Copolymerharz, ein lonomer, ein ternäres Ethylen-Vinylacetat-Maleinsäureanhydrid-Copolymerharz, ein verseiftes Ethylen-Vinylacetat-Copolymerharz, ein Ethylen-Vinylalkohol-Copolymerharz und so weiter.
  • Als ungesättigte Carbonsäure, die das oben beschriebene Ethylen-ungesättigte Carbonsäure-Copolymer konfiguriert, das als eine andere thermoplastische Harzverbindung verwendet wird, die gegebenenfalls in das thermoplastische Harz 101 gemischt wird, werden Maleinsäure, Itaconsäure, Monomethylmaleat, Monoethylmaleat, Maleinsäureanhydrid, Itaconsäureanhydrid und so weiter als Beispiele genannt. Dabei umfasst das Ethylen-ungesättigte Carbonsäure-Copolymer nicht nur ein binäres Copolymer aus Ethylen und ungesättigter Carbonsäure, sondern auch ein Mehrkomponenten-Copolymer, mit dem ein weiteres anderes Monomer copolymerisiert ist. Als das oben beschriebene andere Monomer, das mit dem Ethylen-ungesättigte Carbonsäure-Copolymer copolymerisiert werden kann, werden Vinylester wie Vinylacetat und Vinylpropionat, ungesättigte Carboxylatester wie Dimethylmaleat und Diethylmaleat usw. als Beispiele genannt.
  • In der ersten Ausführungsform liegt der Erweichungspunkt des thermoplastischen Harzes 101 bei einer Temperatur im Bereich von 0°C bis 300°C. Da die oben als Beispiele genannte Verbindungsgruppe für das thermoplastische Harz 101 verwendet wird, liegt der Erweichungspunkt in einem Temperaturbereich von 0°C bis 300°C. Für das thermoplastische Harz 101 kann der Erweichungspunkt durch Mischen verschiedener Arten von Verbindungen, die oben als Beispiele genannt wurden, angepasst werden. Durch Einstellen des Erweichungspunktes auf eine Temperatur, die höher ist als etwa 40°C bis 100°C, was der Temperatur des Werkstücks 1 bei der Trockenpolierbearbeitung entspricht, kann zum Beispiel verhindert werden, dass das thermoplastische Harz 101 bei der Trockenpolierbearbeitung in den erweichten Zustand übergeht.
  • In der ersten Ausführungsform ist das thermoplastische Harz 101 im ausgehärteten Zustand bei einer Temperatur unterhalb des Erweichungspunktes ein starrer Körper, der keine Fließfähigkeit aufweist und im Wesentlichen keine Haftfähigkeit wie ein Klebstoff aufweist. Daher wird ein übermäßiges Haften an der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 unterdrückt. Ferner weist das thermoplastische Harz 101 auch im erweichten Zustand bei einer höheren Temperatur als dem Erweichungspunkt im Wesentlichen keine Haftfähigkeit wie ein Klebstoff auf. Daher wird ein übermäßiges Haften an der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 reduziert.
  • Der thermoplastische Kunststoff 101 enthält weder Natrium noch Zink, die Metalle sind, die möglicherweise einen Betriebsausfall der Bauelemente 5 verursachen, wenn sie mit dem Werkstück 1 in Kontakt kommen und in die Bauelemente 5 gelangen. Es ist zu beachten, dass Natrium und Zink im Allgemeinen absichtlich zugesetzt werden, um der Grundschicht eines Klebebandes Zähigkeit (d. h. Flexibilität und Festigkeit) zu verleihen, und dass sie grundsätzlich nicht enthalten sind, wenn sie nicht absichtlich zugesetzt werden. Hier wird davon ausgegangen, dass, wenn das thermoplastische Harz 101 weder Natrium noch Zink enthält, die Mengen von sowohl Natrium als auch Zink kleiner als die Nachweisgrenze sind, selbst wenn das thermoplastische Harz 101 unter Verwendung eines Komponentennachweisverfahrens analysiert wird, das für das thermoplastische Harz 101 ausgeführt werden kann und das zum Zeitpunkt der vorliegenden Anmeldung bekannt ist, wie z. B. induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie (ICP-MS), Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) oder dergleichen.
  • Das gemischte Harz 102 wird mit Füllstoffen vermischt, deren Größe mindestens 0,1 nm und höchstens 400 nm beträgt. In der ersten Ausführungsform haben die Füllstoffe eine Partikelform. Die Füllstoffe sind jedoch im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt und können eine Form wie z. B. eine säulenartige Form wie eine Faser haben. Es ist zu beachten, dass in der vorliegenden Beschreibung die Größe der Füllstoffe auf der Grundlage des Partikeldurchmessers der Füllstoffe definiert ist. Für die Darstellung des Partikeldurchmessers gibt es bekannte Verfahren wie den geometrischen Durchmesser und den äquivalenten Durchmesser. Als geometrischer Durchmesser gibt es den Feret-Durchmesser, den unidirektionalen Maximaldurchmesser (d.h. Krummbein-Durchmesser), den Martin-Durchmesser, den Siebdurchmesser usw. Als den äquivalenten Durchmesser gibt es den projizierten Flächendurchmesser (d. h. Heywood-Durchmesser), den äquivalenten Oberflächendurchmesser, den äquivalenten Volumendurchmesser, den Stokes-Durchmesser, den Lichtstreuungsdurchmesser usw. Selbst wenn die Füllstoffe eine Form wie eine säulenförmige Faser haben, kann die Größe der Füllstoffe durch ein ähnliches Verfahren wie in dem oben beschriebenen Fall definiert werden, in dem die Füllstoffe eine Partikelform haben. Ferner werden in der vorliegenden Beschreibung die Füllstoffe, deren Größe mindestens 0,1 nm und höchstens 400 nm beträgt, als Füllstoffe mit einer Größe in der Größenordnung von Nanometern betrachtet und entsprechend als Nanofüllstoffe bezeichnet.
  • Das mit solchen Nanofüllstoffen gemischte Harz 102 wird nahezu transparent, weil die Größe der gemischten Nanofüllstoffe kleiner ist als die Wellenlänge des sichtbaren Lichts und das gemischte Harz 102 das sichtbare Licht nicht absorbieren oder streuen kann. Somit ist eine Betrachtung des Werkstücks 1 durch die Schutzkomponente 110 nicht ausgeschlossen, und daher kann eine Ausrichtung, bei der die Bauelemente 5 durch die Schutzkomponente 110 betrachtet werden, problemlos durchgeführt werden. Es ist zu beachten, dass die Schutzkomponente, die durch die Verwendung eines thermoplastischen Harzes mit Füllstoffen größer als 400 nm gebildet wird, die Möglichkeit beinhaltet, dass der Anteil der Absorption oder Streuung von sichtbarem Licht durch die gemischten Füllstoffe hoch wird und die Transparenz sinkt.
  • Vorzugsweise sind die Füllstoffe in dem gemischten Harz 102 in einer solchen Weise enthalten, dass das Mischungsverhältnis der Nanofüllstoffe zu allen Füllstoffen 50 Gew.-% (Masseprozent) übersteigt. Wenn beispielsweise Füllstoffe mit einer Größe von 500 nm unter allen Füllstoffen in einem Verhältnis von 40 Gew.-%, 50 Gew.-% und 60 Gew.-% gemischt werden, ist die Sichtbarkeit der Bauelemente 5 durch die Schutzkomponente 110, die durch die Formgebung dieses gemischten Harzes 102 erhalten wird, im Fall von 40 Gew.-% günstig. In den Fällen von 50 Gew.-% und 60 Gew.-% können die Bauelemente 5 zwar visuell durch die Schutzkomponente 110, die durch die Formgebung dieses gemischten Harzes 102 erhalten wird, erkannt werden, aber die Sichtbarkeit nimmt im Vergleich zum Fall von 40 Gew.-% ab.
  • Die in das gemischte Harz 102 gemischten Nanofüllstoffe sind ein Füllstoff mit einem kleineren Wärmeausdehnungskoeffizienten als der des gemischten Harzes 102, und vorzugsweise wird ein anorganischer Füllstoff oder ein organischer Füllstoff mit einem kleineren Wärmeausdehnungskoeffizienten als der des gemischten Harzes 102 verwendet. Das gemischte Harz 102, das mit solchen Nanofüllstoffen vermischt ist, kann die Schrumpfung der Schutzkomponente 110 reduzieren, wenn die Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht und dann abgekühlt wird. In Assoziierung damit kann die Biegung und Verformung des Werkstücks 1, mit dem das Schutzbauteil 110 in engen Kontakt gebracht wird, reduziert werden.
  • Vorzugsweise handelt es sich bei den Nanofüllstoffen, die in das gemischte Harz 102 gemischt werden, um ein anorganisches Füllmittel. Insbesondere wird vorzugsweise Quarzglas, kristallines Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Kalziumkarbonat, Kalziumsilikat, Bariumsulfat, Talk, Ton, Magnesiumoxid, Aluminiumoxid, Berylliumoxid, Eisenoxid, Titanoxid, Aluminiumnitrid, Siliziumnitrid, Bornitrid, Glimmer, Glas, Quarz oder dergleichen verwendet. Darüber hinaus können zwei oder mehr Arten von Substanzen aus den oben beschriebenen Substanzen gemischt und als Nanofüllstoffe in dem gemischten Harz 102 verwendet werden. Vorzugsweise werden Silika, wie z. B. Quarzglas und kristallines Siliziumdioxid, unter den oben beschriebenen anorganischen Füllmitteln als die Nanofüllstoffe verwendet, die in dem gemischten Harz 102 gemischt werden. In diesem Fall können die Kosten für die Nanofüllstoffe vorteilhaft gesenkt werden.
  • Der Anteil (Mischungsverhältnis) der Nanofüllstoffe in der Harzmischung 102 kann in einem Bereich von 0,01 bis 90 Gew.-% verändert werden. Wenn der Anteil der Nanofüllstoffe höher ist, wird der thermische Ausdehnungskoeffizient der Schutzkomponente 110 kleiner, und der Dressing-Effekt (engl. dressing effect) wird ebenfalls höher. Es besteht jedoch die Möglichkeit, dass die gesamte Schutzkomponente 110 brüchig wird, wenn der Anteil zu hoch ist. Daher wird die Schutzkomponente 110 mit einem angemessenen Anteil gebildet.
  • Dem gemischten Harz 102 wird ein Initiator zugesetzt, um die Aushärtung des ultraviolett-härtbaren Harzes 100 einzuleiten. Zusätzlich zum Initiator können je nach Bedarf verschiedene Compoundierungsmittel wie ein Antioxidationsmittel, ein Lichtstabilisator, ein Bindemittelharz, ein antistatisches Mittel, ein Silankopplungsmittel, ein Trennmittel, ein Tensid, ein Farbstoff, ein Pigment, ein Fluoreszenzmittel und ein Ultraviolettabsorber hinzugefügt werden.
  • 5 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung des Harzschichtbildungsschritts 1002 in 2. Der Harzschichtbildungsschritt 1002 ist ein Schritt des Zuführens des gemischten Harzes 102 zu einer Trägerfläche 21 eines Trägertisches 20, um eine Harzschicht 103 mit einer vorbestimmten Dicke zu bilden, wie in 5 dargestellt. Im Harzschichtbildungsschritt 1002, wie in 5 dargestellt, breitet sich das gemischte Harz 102, wenn es der Trägerfläche 21 des Trägertischs 20 zugeführt wird, aufgrund seines Eigengewichts über die Trägerfläche 21 aus, da sich das gemischte Harz 102 im flüssigen Zustand befindet, oder indem es durch eine flache Fläche oder dergleichen gepresst wird. Dadurch wird die Harzschicht 103 mit der vorgegebenen Dicke auf der Trägerfläche 21 gebildet. Da das flüssige gemischte Harz 102, das durch Lösen des thermoplastischen Harzes 101 in dem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz 100 erhalten wird, in dem Harzschichtbildungsschritt 1002 zu der Trägerfläche 21 zugeführt wird, kann das gemischte Harz 102 in kurzer Zeit in die Harzschicht 103 mit der vorbestimmten Dicke geformt werden, ohne dass insbesondere Wärme und Druck angewendet werden müssen.
  • In der Harzschicht 103, die in dem Harzschichtbildungsschritt 1002 gebildet wird, werden das ultraviolett-härtbare Harz 100 und das thermoplastische Harz 101 homogen gemischt. Ferner hat die im Harzschichtbildungsschritt 1002 gebildete Harzschicht 103 ein solches Volumen, dass sie die Vorsprünge 6 auf der gesamten Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 bedeckt. Das heißt, die Harzschicht 103 hat ein solches Volumen, dass die schichtförmige Schutzkomponente 110, die in dem späteren Schutzkomponentenbildungsschritt 1003 gebildet wird, die Vorderfläche 4 in dem späteren Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 nahtlos abdecken kann und so geformt werden kann, dass sie dicker ist als die durch die Vorsprünge 6 gebildeten Vertiefungen und Erhebungen an der Vorderfläche 4. Vorzugsweise weist die Harzschicht 103 ein solches Volumen auf, dass sie nicht über die Außenkante der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 hinausragt, wenn sie auf die vorbestimmte Dicke geformt wird. Die vorbestimmte Dicke der Harzschicht 103 kann z. B. durch Ändern der Viskosität des gemischten Harzes 102 oder durch Ändern des Volumens des gemischten Harzes 102, das im Harzschichtbildungsschritt 1002 zugeführt wird, geändert werden.
  • 6 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung des Schutzkomponentenbildungsschritts 1003 in 2. Der Schutzkomponentenbildungsschritt 1003 ist ein Schritt der Bestrahlung der Harzschicht 103 mit Ultraviolettstrahlen 29 und der Aushärtung der Harzschicht 103 zur Bildung der schichtförmigen Schutzkomponente 110, wie in 6 dargestellt. In dem in 6 dargestellten Schutzkomponentenbildungsschritt 1003 wird eine Ultraviolettbestrahlungsvorrichtung 25 nahe über die auf der Trägerfläche 21 des Trägertisches 20 gebildete Harzschicht 103 gebracht, und die gesamte Fläche der Harzschicht 103 wird mit den Ultraviolettstrahlen 29 durch die Ultraviolettbestrahlungsvorrichtung 25 bestrahlt. Auf diese Weise wird das ultraviolett-härtbare Harz 100, das homogen in dem gemischten Harz 102, das die Harzschicht 103 bildet, verteilt ist, einer Ultraviolett-Aushärtungsreaktion unterzogen, und das gemischte Harz 102 wird gehärtet, um die schichtförmige Schutzkomponente 110 zu bilden. In der auf diese Weise gebildeten schichtförmigen Schutzkomponente 110 sind das ultraviolett-härtbare Harz 100 und das thermoplastische Harz 101 homogen gemischt. Ferner werden in der auf diese Weise gebildeten schichtförmigen Schutzkomponente 110 die Form und die Größe (z. B. die vorbestimmte Dicke) in der gesamten Harzschicht 103 beibehalten, da die Harzschicht 103 mit dem gleichmäßig verteilten ultraviolett härtbaren Harz 100 ausgehärtet wird. Da die schichtförmige Schutzkomponente 110 außerdem das thermoplastische Harz 101 homogen verteilt enthält, kann die schichtförmige Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 gebracht und mit einer im Wesentlichen uniformen Haftkraft integriert werden, indem sie in der Gesamtheit der Flächen 113 und 114 (siehe 7 und so weiter) der schichtförmigen Schutzkomponente 110 erwärmt und erweicht wird.
  • Auf die oben beschriebene Weise wird die schichtförmige Schutzkomponente 110 geformt, ohne dass das thermoplastische Harz 101 zum Erweichen oder Schmelzen erwärmt wird. Daher treten Erweichung und Ausdehnung aufgrund von Erwärmung und Schrumpfung aufgrund von Abkühlung nicht auf, und die Schutzkomponente 110 kann in eine gewünschte Größe (Dicke und Fläche) geformt werden, wobei das Auftreten von Variation in der Dicke, Verzug usw. unterdrückt wird. Ferner kann die Harzschicht 103 durch den Trägertisch 20, der die Harzschicht 103 trägt, mit den Ultraviolettstrahlen 29 bestrahlt werden.
  • 7, 8 und 9 sind Schnittansichten zur Erläuterung des Schrittes zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 in 2. Es ist zu beachten, dass in 7 bis 9 die schematische Darstellung der Vorsprünge 6 weggelassen ist. Der Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 ist ein Schritt des Erwärmens der schichtförmigen Schutzkomponente 110, die in dem Schutzkomponentenbildungsschritt 1003 gebildet wurde, bevor oder nachdem eine Fläche der schichtförmigen Schutzkomponente 110 und eine Fläche des Werkstücks 1 in engen Kontakt miteinander gebracht werden, und des Bewirkens, dass die schichtförmige Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 kommt und sich mit dem Werkstück 1 integriert. In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird in der ersten Ausführungsform, wie in 7, 8 und 9 dargestellt, die schichtförmige Schutzkomponente 110 erwärmt, nachdem die eine Fläche der schichtförmigen Schutzkomponente 110 und die eine Fläche des Werkstücks 1 in engen Kontakt miteinander gebracht worden sind. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Konfiguration beschränkt, und die schichtförmige Schutzkomponente 110 kann erwärmt werden, bevor die eine Fläche der schichtförmigen Schutzkomponente 110 und die eine Fläche des Werkstücks 1 in engen Kontakt miteinander gebracht werden.
  • In dem Schritt zur Bildung des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird das Werkstück 1 zunächst, wie in 7 dargestellt, mit der Vorderseite 4 nach oben auf eine Trägerbasis 32 gelegt. Die Trägerbasis 32 befindet sich in einem zentralen Bereich an der Unterseite in einer Vakuumkammer 31 einer Schicht-Nahkontaktvorrichtung 30 (engl. sheet close-contact apparatus 30). Die Trägerbasis 32 hat eine Wärmequelle und erwärmt das aufgelegte Werkstück 1, um die schichtförmige Schutzkomponente 110 in engem Kontakt mit dem Werkstück 1 zu erwärmen und zu erweichen. In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird als nächstes die Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 nach unten gerichtet, und das Ende der schichtförmigen Schutzkomponente 110 wird zwischen einem oberen Deckel und einem Hauptkörperteil eingeklemmt und befestigt, die ein Gehäuse, das die Vakuumkammer 31 bildet, vertikal unterteilen. Auf diese Weise ist im Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 die Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 in Richtung der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 auf der Trägerbasis 32 ausgerichtet und so angeordnet, dass sie die Oberseite der Vorderfläche 4 abdeckt.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004, nachdem die schichtförmige Schutzkomponente 110 über dem Werkstück 1 angeordnet ist, wird die atmosphärische Luft in der Vakuumkammer 31 zur Verringerung des Drucks von einem ersten Verbindungspfad 34, der in einem zentralen Bereich auf der Oberseite der Vakuumkammer 31 gebildet ist, und einem zweiten Verbindungspfad 35, der außerhalb der Trägerbasis 32 auf der Unterseite der Vakuumkammer 31 gebildet ist, evakuiert, wie in 7 dargestellt. Im Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird durch diese Druckverringerungsbehandlung das Einfangen von Luft zwischen der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 und der Fläche113 der Schutzkomponente 110 reduziert und verhindert. In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird in der ersten Ausführungsform der Druck in der Vakuumkammer 31 auf einen absoluten Druck von etwa 105 bis 101 Pa durch eine trockene Pumpe, eine Ölkreiselpumpe oder dergleichen reduziert, die so angeordnet ist, dass sie beispielsweise mit dem ersten Verbindungspfad 34 und dem zweiten Verbindungspfad 35 kommuniziert.
  • In the protective-component-provided workpiece forming step 1004, after the air in the vacuum chamber 31 is evacuated and the pressure is reduced from the first communication path 34 and the second communication path 35, as illustrated in 8, a gas is introduced from the first communication path 34 into the vacuum chamber 31 in the state in which the air pressure of the main body part of the vacuum chamber 31 is maintained. Im Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird, indem der Luftdruck auf der Oberseite der schichtförmigen Schutzkomponente 110 höher eingestellt wird als der Luftdruck auf der Unterseite der schichtförmigen Schutzkomponente 110, die Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des unter der schichtförmigen Schutzkomponente 110 angeordneten Werkstücks 1 gebracht, wie in 8 dargestellt.
  • Es ist zu beachten, dass im Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 die Position der schichtförmigen Schutzkomponente 110 und die Position des Werkstücks 1 in vertikaler Richtung vertauscht werden können und die Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 in engen Kontakt mit der Fläche 113 der unter dem Werkstück 1 angeordneten schichtförmigen Schutzkomponente 110 gebracht werden kann, indem das Werkstück 1 von oben gedrückt wird.
  • Ferner kann in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 die Trägerbasis 32, die das Werkstück 1 trägt, angehoben werden, um die Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 in engen Kontakt mit der Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 zu bringen, die über dem Werkstück 1 platziert ist. In diesem Fall ist es bevorzugt, dass die Seite der Fläche 114 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 von oben durch eine Trägerfläche einer vorbestimmten Trägerkomponente niedergehalten wird. Darüber hinaus können Wärmequellen, die den später zu beschreibenden Wärmequellen 42 und 52 ähnlich sind, im Inneren der Trägerbasis 32, die das Werkstück 1 trägt, und im Inneren der Trägerkomponente, die die Seite der Fläche 114 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 trägt, angeordnet sein.
  • Im Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 werden, nachdem die Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 gebracht worden ist, die schichtförmige Schutzkomponente 110 und das Werkstück 1 aus dem Inneren der Vakuumkammer 31 der Schicht-Nahkontaktvorrichtung 30 herausgenommen. Dann wird, wie in 9 dargestellt, die Rückfläche 7, die die andere Fläche des Werkstücks 1 ist, zu einer Haltefläche 41 eines Saughaltetisches 40 ausgerichtet, und das Werkstück 1 wird auf dem Saughaltetisch 40 platziert und unter Saugwirkung gehalten. Dabei umfasst der Saughaltetisch 40 ein Halteteil 43, in dem die Haltefläche 41 angeordnet ist und das aus einer porösen Keramik oder dergleichen gebildet ist. Das Halteteil 43 ist mit einer in der Abbildung nicht dargestellten Vakuumsaugquelle verbunden und hält das Werkstück 1 unter einem Saugen durch die Haltefläche 41, indem es von der Vakuumsaugquelle angesaugt wird.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird dann die schichtförmige Schutzkomponente 110 von der Seite der Haltefläche 41 durch das Werkstück 1 hindurch durch die innerhalb des Saughaltetisches 40 angeordnete Wärmequelle 42 erwärmt und erweicht. Ferner wird in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004, wie in 9 dargestellt, eine flache Druckfläche 51 einer Druckkomponente 50 nahe an und in Kontakt mit der Fläche 114 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 gebracht, die in engem Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 steht, das durch den Saughaltetisch 40 unter einem Saugen gehalten wird, von der Seite, die der Seite der Haltefläche 41 gegenüberliegt. Ferner wird in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 die schichtförmige Schutzkomponente 110 von der Druckfläche 51 durch die Wärmequelle 52, die innerhalb der Druckkomponente 50 angeordnet ist, erwärmt und erweicht.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004, während die schichtförmige Schutzkomponente 110 und das Werkstück 1 auf eine vorbestimmte Temperatur (in der ersten Ausführungsform beispielsweise 50°C bis 150°C) durch die Wärmequellen 42 und 52 wie oben erwärmt werden, wird die Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 gegen die Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 durch die Druckfläche 51, die parallel zu der Haltefläche 41 eingestellt ist, mit einer vorbestimmten Druckkraft (in der ersten Ausführungsform zum Beispiel 0. 3 MPa oder höher) für eine vorbestimmte Zeit (in der ersten Ausführungsform z.B. 30 Sekunden) oder länger gedrückt. Auf diese Weise werden die schichtförmige Schutzkomponente 110 und das Werkstück 1 miteinander verbunden.
  • Es ist zu beachten, dass in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 in der ersten Ausführungsform die schichtförmige Schutzkomponente 110 mit dem Werkstück integriert wird, wobei die schichtförmige Schutzkomponente 100 auf der Oberseite positioniert ist und wobei das Werkstück 1 auf der Unterseite positioniert ist. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Konfiguration beschränkt, und die Position der schichtförmigen Schutzkomponente 110 und die Position des Werkstücks 1 in vertikaler Richtung können getauscht werden, und die schichtförmige Schutzkomponente 110 kann mit dem Werkstück 1 integriert werden.
  • Im dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird, da die Haltefläche 41 und die Druckfläche 51 beide flach und parallel zueinander sind, die schichtförmige Schutzkomponente 110 mit dem Werkstück 1 so integriert, dass die Fläche 114, die eine freiliegende Fläche der schichtförmigen Schutzkomponente 110 ist, und die Rückfläche 7 des Werkstücks 1 parallel zueinander werden.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird die schichtförmige Schutzkomponente 110, die durch Aufbringen der Ultraviolettstrahlen 29 auf und Aushärten des gemischten Harzes 102 gebildet wird, das durch homogenes Mischen des thermoplastischen Harzes 101, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, mit dem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz 100 erhalten wird, in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 gebracht und mit dieser integriert. Dadurch werden die Erwärmungstemperatur und die Erwärmungszeit im Vergleich zu dem Fall, in dem das thermoplastische Harz 101 erweicht und in eine Schichtform auf dem Werkstück 1 gebildet wird, reduziert. Daher wird die Schrumpfung aufgrund der Abkühlung des thermoplastischen Harzes 101 unterdrückt, und die gewünschte Form und Größe zum Zeitpunkt der Bildung der schichtförmigen Schutzkomponente 110 kann beibehalten werden.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wird vorzugsweise ein Bereich der schichtförmigen Schutzkomponente 110, der in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht wird, durch die Wärmequellen 42 und 52 in begrenzter Weise erwärmt und erweicht. So können die Wärmequellen 42 und 52 in begrenzter Weise so angeordnet sein, so dass sie dem Bereich der schichtförmigen Schutzkomponente 110 zugewandt sind, der in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht wird. In der ersten Ausführungsform, wie in 9 dargestellt, ist die Wärmequelle 42 in begrenzter Weise so angeordnet, dass sie dem Bereich der schichtförmigen Schutzkomponente 110 zugewandt ist, der in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht und mit diesem integriert wird.
  • Ferner ist der Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 nicht auf das Verfahren beschränkt, bei dem die schichtförmige Schutzkomponente 110 durch den Saughaltetisch 40 und die Druckkomponente 50 in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht und mit diesem integriert wird. Die schichtförmige Schutzkomponente 110 kann in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht werden, indem eine Walze von einem Ende der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 zu dem anderen Ende rotierend bewegt wird, unter Zwischenschaltung der schichtförmigen Schutzkomponente 110, die in Richtung der Vorderfläche des Werkstücks 1 orientiert ist. Zu diesem Zeitpunkt, während die schichtförmige Schutzkomponente 110 auf eine vorbestimmte Temperatur (in der ersten Ausführungsform z.B. 150°C oder höher) erwärmt wird und durch eine vorbestimmte Wärmequelle, die auf der Seite angeordnet ist, wo das Werkstück 1 gehalten wird, eine Wärmequelle, die innerhalb der Walze angeordnet ist, oder dergleichen, erweicht wird, wird die schichtförmige Schutzkomponente 110 von der Seite der Fläche 114 durch die Walze mit einer vorbestimmten Druckkraft (in der ersten Ausführungsform z.B. 0,3 MPa oder höher) gegen das Werkstück 1 gedrückt. Somit wird ein Thermokompressionskleben der Fläche 113 der erweichten schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 durchgeführt, um den engen Kontakt und die Integration zu bewirken. Darüber hinaus kann der Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 wie folgt ausgeführt werden. Die schichtförmige Schutzkomponente 110 wird nacheinander von einem Ende der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 platziert, indem eine Walze in ähnlicher Weise rotierend bewegt wird. Dann wird die schichtförmige Schutzkomponente 110 erwärmt und erweicht, indem Heißluft mit einer vorbestimmten Temperatur (in der ersten Ausführungsform z.B. 150°C oder höher) durch einen Trockner für den industriellen Gebrauch von der Seite der schichtförmigen Schutzkomponente 110 eingeblasen wird. Auf diese Weise wird die Fläche 113 der erweichten schichtförmigen Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 gebracht und mit dieser verbunden, ohne dass die schichtförmige Schutzkomponente 110 gegen das Werkstück 1 gepresst wird, d.h. unter der Bedingung, in der die Druckkraft 0 MPa beträgt.
  • Ferner kann der Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 in einer Unterdruckkammer durchgeführt werden. In diesem Fall kann das Eindringen von Luftblasen in einen Raum zwischen der schichtförmigen Schutzkomponente 110 und dem Werkstück 1 unterdrückt werden.
  • Der Schutzkomponentenkühlschritt 1005 ist ein Schritt des Abkühlens der schichtförmigen Schutzkomponente 110, die in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht und mit diesem integriert wird, nach dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004. In dem Schutzkomponentenkühlschritt 1005 wird die schichtförmige Schutzkomponente 110 gekühlt, unmittelbar nachdem die schichtförmige Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht und mit diesem integriert wurde, und das in der schichtförmigen Schutzkomponente 110 enthaltene thermoplastische Harz 101 wird somit ausgehärtet. Daher kann die Form und Größe der schichtförmigen Schutzkomponente 110 stabilisiert werden.
  • In dem Schutzkomponentenkühlschritt 1005 in der ersten Ausführungsform wird beispielsweise die Kühlung der schichtförmigen Schutzkomponente 110 gestartet, indem die Wärmequellen 42 und 52 abgeschaltet werden, um die Erwärmung der schichtförmigen Schutzkomponente 110 durch die Wärmequellen 42 und 52 zu stoppen, und die schichtförmige Schutzkomponente 110 wird beispielsweise durch die atmosphärische Luft auf etwa die Temperatur der atmosphärischen Luft abgekühlt.
  • Der Schutzkomponentenkühlschritt 1005 ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung nicht auf den oben beschriebenen Schritt beschränkt. Nachdem die Wärmequellen 42 und 52 ausgeschaltet sind, kann die schichtförmige Schutzkomponente 110 von der Seite der Haltefläche 41 und der Seite der Druckfläche 51 durch nicht dargestellte Kühlmechanismen wie Luftkühlung, Wasserkühlung oder dergleichen, die innerhalb des Saughaltetisches 40 und der Druckkomponente 50 angeordnet sind, in dem Zustand gekühlt werden, in dem die schichtförmige Schutzkomponente 110 durch die Druckkomponente 50 unter Druck gesetzt wird. Ferner kann in dem Schutzkomponentenkühlschritt 1005 die Erwärmung der schichtförmigen Schutzkomponente 110 durch die Wärmequelle 52 gestoppt werden, indem die Druckkomponente 50 von der schichtförmigen Schutzkomponente 110 getrennt wird, anstatt die Wärmequelle 52 abzuschalten. Der Schutzkomponentenkühlschritt 1005 kann entsprechend geändert werden, je nachdem, ob die Wärmequellen 42 und 52 jeweils zum Erwärmen und Erweichen der schichtförmigen Schutzkomponente 110 verwendet werden oder nicht.
  • In der ersten Ausführungsform wird die schichtförmige Schutzkomponente 110, nachdem sie unter Verwendung des gemischten Harzes 102 gebildet wurde, in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht und erwärmt, um mit dem Werkstück 1 integriert zu werden. Dadurch werden die Erwärmungstemperatur und die Erwärmungszeit im Vergleich zu dem Fall reduziert, in dem das thermoplastische Harz 101 erweicht wird und in eine Schichtform auf dem Werkstück 1 gebildet wird. Daher wird auch die durch die Abkühlung verursachte Schrumpfung in dem Schutzkomponentenkühlschritt 1005 unterdrückt.
  • Nachdem der Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 und der Schutzkomponentenkühlschritt 1005 ausgeführt wurden, wird die Druckkomponente 50 von der schichtförmigen Schutzkomponente 110 getrennt, und das Werkstück 1, mit dem die schichtförmige Schutzkomponente 110 in engen Kontakt gebracht und integriert wurde, wird von dem Saughaltetisch 40 entfernt.
  • 10 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Schrittes zum Abtrennen des äußeren Umfangsbereichs der Schutzkomponente. In 10 ist die schematische Darstellung der Vorsprünge 6 weggelassen. In der ersten Ausführungsform wird, nachdem das Werkstück 1, mit dem die schichtförmige Schutzkomponente 110 in engen Kontakt gebracht und integriert wurde, von dem Saughaltetisch 40 entfernt wurde, der Schritt zum Abtrennen des äußeren Umfangsbereichs der Schutzkomponente ausgeführt, bei dem ein äußerer Umfangsbereich 116 abgetrennt wird, wie in 10 dargestellt. Der äußere Umfangsbereich 116 ist ein Teil der schichtförmigen Schutzkomponente 110, der in radialer Richtung von der Außenkante des Werkstücks 1 vorsteht.
  • In dem Schritt zum Abtrennen des äußeren Umfangsbereichs der Schutzkomponente wird zunächst, wie in 10 dargestellt, die Rückfläche 7 des Werkstücks 1, mit der die schichtförmige Schutzkomponente 110 in engen Kontakt gebracht und integriert wird, durch eine Haltefläche 61 eines Saughaltetisches 60 unter einem Saugen gehalten. Dabei unterscheidet sich der Saughaltetisch 60 von dem Saughaltetisch 40 dadurch, dass die Wärmequelle 42 nicht vorgesehen ist und dass anstelle des Halteteils 43 ein Halteteil 63 vorgesehen ist. Das Halteteil 63 enthält eine kreisförmige Ringnut 65, die einen ähnlichen Durchmesser wie der Außendurchmesser des Werkstücks 1 aufweist und in der Haltefläche 61 gebildet ist.
  • Im Schritt zum Abtrennen des äußeren Umfangsbereichs der Schutzkomponente wird als nächstes, wie in 10 dargestellt, der äußere Umfangsbereich 116 der schichtförmigen Schutzkomponente 110, der in engen Kontakt mit dem Werkstück 1, das von der Haltefläche 61 des Saughaltetisches 60 gehalten wird, gebracht und mit diesem integriert wird, durch eine Schneidevorrichtung 71 einer Abtrennvorrichtung 70 abgetrennt. Die Abtrennvorrichtung 70 enthält dabei eine kreisförmige Platte 72, die die Schneidevorrichtung 71 in Richtung des äußeren Randes des Werkstücks 1 hält, und eine Drehantriebsquelle, die die kreisförmige Platte 72 um die axiale Mitte rotierend antreibt und die in der Abbildung nicht dargestellt ist. Durch Drehen der kreisförmigen Platte 72 um die axiale Mitte durch die Drehantriebsquelle in dem Zustand, in dem die Schneidkante der Schneidvorrichtung 71 in die Nut 65 eingeführt ist, bewirkt die Abtrennvorrichtung 70 eine Drehbewegung der Schneidvorrichtung 71 entlang der Außenkante des Werkstücks 1 und trennt den äußeren Umfangsbereich 116 der Schutzkomponente 110 ab.
  • 11 ist eine perspektivische Ansicht, die das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 120 darstellt, das durch das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform hergestellt wurde. Das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 120 ist durch die jeweiligen Schritte (Schritte 1001 bis 1005) gebildet, die in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform enthalten sind, und weist das plattenförmige Werkstück 1 und die Schutzkomponente 110 gemäß der ersten Ausführungsform auf, wie in 11 dargestellt. Die Schutzkomponente 110 gemäß der ersten Ausführungsform steht in engem Kontakt mit der Vorderfläche 4, die eine Fläche des Werkstücks 1 ist, und schützt das Werkstück 1 bei der Bearbeitung. Ferner hat die Schutzkomponente 110 gemäß der ersten Ausführungsform eine Schichtform und ist gebildet, indem die Ultraviolettstrahlen 29 auf das gemischte Harz 102, das durch homogenes Mischen des thermoplastischen Harzes 101, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder höher als 8,5 ist, mit dem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz 100 erhalten wurde, aufgebracht und gehärtet werden. Das heißt, in der Schutzkomponente 110 gemäß der ersten Ausführungsform sind sowohl das ausgehärtete ultraviolett-härtbare Harz 100 als auch das thermoplastische Harz 101, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, in der Gesamtheit davon homogen verteilt. Somit werden bei der Schutzkomponente 110 gemäß der ersten Ausführungsform Ausdehnung und Schrumpfung aufgrund von Temperaturänderungen in der Gesamtheit davon unterdrückt, und die gewünschte Form und Größe kann beibehalten werden, wenn die Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht und in dieses integriert wird. Somit können Biegung und Verformung des Werkstücks 1 unterdrückt werden. Ferner ist bei der Schutzkomponente 110 gemäß der ersten Ausführungsform die Fläche 113, die mit dem Werkstück 1 in Kontakt kommt und daran befestigt ist, mit dem thermoplastischen Harz 101 (gemischtes Harz 102) gebildet, das weder Natrium noch Zink enthält, und daher ist die Möglichkeit des Auftretens einer Fehlfunktion in dem Bauelement 5 des Werkstücks 1 unterdrückt.
  • 12 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung einer Schneidbearbeitung, die ein erstes Beispiel für den Bearbeitungsschritt 1006 in 2 darstellt. 13 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung einer Schleifbearbeitung, die ein zweites Beispiel für den Bearbeitungsschritt 1006 in 2 darstellt. 14 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung einer Laserbearbeitung, die ein drittes Beispiel für den Bearbeitungsschritt 1006 in 2 darstellt. Es ist zu beachten, dass in 12 bis 14 die schematische Darstellung der Vorsprünge 6 weggelassen wurde. Der Bearbeitungsschritt 1006 ist ein Schritt des Haltens des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 120, das durch die jeweiligen Schritte (Schritte 1001 bis 1005), die in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform enthalten sind, von der Seite, an der die schichtförmige Schutzkomponente 110 platziert ist, durch einen Einspanntisch 145, 155 oder 165 und der Bearbeitung des Werkstücks 1, wie in 12, 13 und 14 dargestellt.
  • In der ersten Ausführungsform ist das erste Beispiel für den Bearbeitungsschritt 1006 ein Beispiel, bei dem eine Schneidbearbeitung an dem Werkstück 1 des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 120 von der Seite der Rückfläche 7 durch eine Schneidbearbeitungsvorrichtung 140 durchgeführt wird. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf dieses Beispiel beschränkt. Bei einem mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstück, bei dem die Schutzkomponente 110 in engem Kontakt mit der Rückfläche 7 des Werkstücks 1 steht und mit dieser integriert ist, kann die Schneidbearbeitung an dem Werkstück 1 von der Seite der Vorderfläche 4 aus erfolgen. Das erste Beispiel für den Bearbeitungsschritt 1006 ist ein Verfahren, bei dem das Werkstück 1 von der Seite der Rückfläche 7 wie folgt geschnitten wird. Wie in 12 dargestellt, wird in dem Zustand, in dem das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 120 von einer Haltefläche 146 des Einspanntisches 145 von der Seite der Schutzkomponente 110 unter einem Saugen gehalten wird, eine in der Schneidbearbeitungsvorrichtung 140 montierte Schneidklinge 141 um die axiale Mitte gedreht, während der Rückfläche 7 des Werkstücks 1 eine Schneidflüssigkeit zugeführt wird. Ferner werden ein Bearbeitungsvorschub, ein Indexiervorschub und ein Einschneidevorschub des Einspanntisches 145 oder der Schneidklinge 141 der Schneidbearbeitungsvorrichtung 140 durch eine in der Abbildung nicht dargestellte Antriebsquelle ausgeführt. Im ersten Beispiel des Bearbeitungsschrittes 1006 werden z.B. durch Schneiden des Werkstücks 1 von der Seite der Rückfläche 7 entlang der geplanten Teilungslinien 3 jeweils zwischen benachbarten der Bauelemente 5 des Werkstücks 1 Schnittnuten 149 gebildet. Im ersten Beispiel des Bearbeitungsschrittes 1006 kann die mit Füllstoffen gemischte Schutzkomponente 110 verwendet werden. In diesem Fall wird, indem die Schneidklinge 141 veranlasst wird, in die Schutzkomponente 110 zu schneiden, ein Verschleiß der Schneidklinge 141 durch die Füllstoffe gefördert und ein Dressing-Effekt (engl. dressing effect) der Schneidklinge 141 erzeugt.
  • In der ersten Ausführungsform ist das zweite Beispiel des Bearbeitungsschritts 1006 ein Beispiel, bei dem eine Schleifbearbeitung an dem Werkstück 1 des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 120 von der Seite der Rückfläche 7 durch eine Schleifvorrichtung 150 durchgeführt wird. In der ersten Ausführungsform ist das zweite Beispiel des Bearbeitungsschritts 1006 ein Beispiel, bei dem eine Schleifbearbeitung an der gesamten Rückfläche 7 des Werkstücks 1 ausgeführt wird. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf dieses Beispiel beschränkt, und die als TAIKO (eingetragenes Markenzeichen) bezeichnete Schleifbearbeitung kann durchgeführt werden. Bei der TAIKO-Schleifbearbeitung wird ein seitliches Endteil am äußersten Umfang des Werkstücks 1 belassen und nur dessen Innenumfang von der Seite der Rückfläche 7 geschliffen, um das Werkstück 1 zu verdünnen. In dem zweiten Beispiel des Bearbeitungsschrittes 1006, wie in 13 dargestellt, wird der Einspanntisch 155 durch eine in der Abbildung nicht dargestellte Drehantriebsquelle um das axiale Zentrum gedreht, in dem Zustand, in dem das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 120 durch eine Haltefläche 156 des Einspanntisches 155 von der Seite der Schutzkomponente 110 unter einem Saugen gehalten wird. Zur gleichen Zeit werden, während eine Schleifflüssigkeit 152 der Rückseite 7 des Werkstücks 1 von einem Schleifflüssigkeitszufuhrteil 151 der Schleifbearbeitungsvorrichtung 150 zugeführt wird, in der Schleifbearbeitungsvorrichtung 150 montierte Schleifsteine 153 um das axiale Zentrum gedreht und in Kontakt mit der Rückfläche 7 des Werkstücks 1 gebracht, um den Schleifvorgang durchzuführen.
  • In der ersten Ausführungsform ist das dritte Beispiel des Bearbeitungsschritts 1006 ein Beispiel, bei dem eine Laserbearbeitung des Werkstücks 1 des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 120 von der Seite der Rückfläche 7 durch eine Laserbearbeitungsvorrichtung 160 durchgeführt wird. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf dieses Beispiel beschränkt. Bei einem mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstück, bei dem die Schutzkomponente 110 in engem Kontakt mit der Rückfläche 7 des Werkstücks 1 steht und mit dieser integriert ist, kann die Laserbearbeitung des Werkstücks 1 von der Seite der Vorderfläche 4 aus erfolgen. Das dritte Beispiel für den Bearbeitungsschritt 1006 ist ein Verfahren, das wie folgt ausgeführt wird. Wie in 14 dargestellt, wird in dem Zustand, in dem das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 120 von einer Haltefläche 166 des Einspanntisches 165 von der Seite der Schutzkomponente 110 angesaugt wird, der Einspanntisch 165 oder eine Laserbestrahlungseinrichtung 161 durch eine nicht dargestellte Antriebsquelle relativ bewegt, während die Rückfläche 7 des Werkstücks 1 von der Laserbestrahlungseinrichtung 161 aus mit einem Laserstrahl 164 mit einer Wellenlänge bestrahlt wird, die in Bezug auf das Werkstück 1 absorbierbar ist, oder mit einer Wellenlänge, die in Bezug auf das Werkstück 1 durchlässig ist. Somit wird eine sogenannte Ablationsbearbeitung durchgeführt, bei der das Werkstück 1 von der Seite der Rückfläche 7 durch den Laserstrahl 164 sublimiert oder verdampft wird, oder es wird eine modifizierte Schicht im Inneren des Werkstücks 1 gebildet. Im dritten Beispiel des Bearbeitungsschrittes 1006 gemäß der ersten Ausführungsform wird beispielsweise eine Laserbearbeitung (Ablationsbearbeitung) an dem Werkstück 1 von der Seite der Rückfläche 7 entlang der geplanten Teilungslinien 3 durchgeführt, so dass laserbearbeitete Nuten 169 gebildet werden. So wird das Werkstück 1 in die jeweiligen Bauelemente 5 geteilt (vollständig geschnitten), oder die modifizierte Schicht ist z.B. im Inneren des Werkstücks 1 gebildet. Es ist zu beachten, dass im dritten Beispiel des Bearbeitungsschrittes 1006 der Laserstrahl 164 in einer gepulsten Weise verwendet werden kann.
  • Im dritten Beispiel des Bearbeitungsschritts 1006 kann die Laserbearbeitung an dem Werkstück 1 des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 120 von der Seite aus erfolgen, an der die Schutzkomponente 110 befestigt ist. In diesem Fall unterdrückt die Schutzkomponente 110 das Anhaften von Trümmern, die bei der Ablationsbearbeitung entstehen, an dem Werkstück 1 oder den Bauelementen 5.
  • Bei der Schneidbearbeitung des ersten Beispiels und der Laserbearbeitung des dritten Beispiels bezüglich des Bearbeitungsschritts 1006 kann das Werkstück 1 bearbeitet werden, nachdem ein Bild eines Musters der Bauelemente 5 oder der geplanten Teilungslinien 3 auf der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 von der Seite der Rückfläche 7 durch eine über dem Einspanntisch 145 oder 165 angeordnete Kameraeinheit 142 oder 162 einer Kamera für sichtbares Licht, einer Infrarotkamera oder dergleichen aufgenommen wurde und eine Ausrichtung zur Identifizierung der geplanten Teilungslinie 3, die ein zu bearbeitender Bereich ist, auf der Grundlage der Position des aufgenommenen Musters ausgeführt wird. Ferner kann bei der Schneidbearbeitung des ersten Beispiels und der Laserbearbeitung des dritten Beispiels bezüglich des Bearbeitungsschritts 1006 in dem Fall, in dem das Werkstück 1 unter Verwendung des Einspanntischs 145 oder 165 aus Glas oder dergleichen mit Lichtdurchlässigkeit gehalten wird und die Ausrichtung an dem Werkstück 1 von der Seite aus ausgeführt wird, an der die Schutzkomponente 110 befestigt ist, die Ausrichtung mit hoher Genauigkeit ausgeführt werden, da die Schutzkomponente 110 so gebildet werden kann, dass sie Lichtdurchlässigkeit aufweist. Darüber hinaus kann auch in dem Fall, in dem die Nanofüllstoffe in der Schutzkomponente 110 gemischt sind, die Ausrichtung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden, weil die Schutzkomponente 110 eine günstige Transluzenz aufweist.
  • Der Schutzkomponententrennschritt 1007 ist ein Schritt zum Trennen der schichtförmigen Schutzkomponente 110 von dem Werkstück 1 nach der Durchführung des Bearbeitungsschrittes 1006. In dem Schutzkomponententrennschritt 1007 hat die Schutzkomponente 110 des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 120 oder dergleichen im Wesentlichen kein Haftvermögen wie das eines Klebstoffs. Somit wird eine übermäßige Adhäsion an der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 unterdrückt, und die Schutzkomponente 110 steht mit einer im Wesentlichen uniformen Haftkraft in engem Kontakt mit dem Werkstück 1, da das thermoplastische Harz 101 homogen verteilt ist. Daher lässt sich die Schutzkomponente 110 leicht von dem Werkstück 1 trennen.
  • Bei dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, dem Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und der Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform mit der oben beschriebenen Konfiguration weist die Schutzkomponente 110 im Gegensatz zu einer Klebeschicht, die für ein Klebeband verwendet wird, im Wesentlichen kein solches übermäßiges Haftvermögen auf, wie es ein Klebstoff im Allgemeinen aufweist, und hat eine solche Eigenschaft, dass sie im Wesentlichen kein übermäßiges Haftvermögen aufweist, wenn die Schutzkomponente 110 abgekühlt und verfestigt ist. Daher verbleibt die Schutzkomponente 110 nicht als Rückstand auf dem Werkstück 1, wenn sie von dem Werkstück 1 getrennt wird. Ferner wird das Auftreten der Situation, in der die Schutzkomponente 110 zu einer Polsterung bei der Bearbeitung wird, unterdrückt, und somit kann die Möglichkeit des Auftretens eines Phänomens, in dem das Werkstück 1 aufgrund der Ausführung der Bearbeitungsbehandlung bricht, reduziert werden.
  • Darüber hinaus wird bei dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, dem Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und der Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform das gemischte Harz 102 durch die Ultraviolettstrahlen 29 gehärtet und in eine Schichtform gebildet. Auf diese Weise kommt es nicht zu einer Erweichung und Ausdehnung durch Erwärmung und nicht zu einer Schrumpfung durch Abkühlung. Folglich können die Form und die Größe beibehalten werden. Daher sind solche Wirkungen und Effekte vorgesehen, die eine Formung in die gewünschte Form und Größe (Dicke und Fläche) und eine Verringerung der Variation in der Form und Größe ermöglichen.
  • Ferner enthält bei dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, dem Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und der Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform die Fläche 113 der Schutzkomponente 110, die mit dem Werkstück 1 in Kontakt gebracht und an diesem befestigt wird, weder Natrium noch Zink. Daher sind eine solche Wirkung und ein solcher Effekt, die die Möglichkeit des Auftretens einer Fehlfunktion in dem Bauelement 5 des Werkstücks 1 unterdrücken, vorgesehen. Es ist zu beachten, dass bei dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, bei dem Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und bei der Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform auf der Fläche 114 der Schutzkomponente 110, die der Fläche 113, die mit dem Werkstück 1 in Kontakt gebracht und an diesem befestigt wird, gegenüberliegt, eine Schicht aus einem beliebigen thermoplastischen Harz in einem solchen Bereich gestapelt werden kann, dass sie der Aufgabe der vorliegenden Erfindung nicht widerspricht.
  • [Zweite Ausführungsform]
  • Ein Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, ein Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und eine Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden anhand von Zeichnungen beschrieben. 15 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Schrittes zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004, der in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der zweiten Ausführungsform enthalten ist. 16 ist eine perspektivische Ansicht, die ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück 130 darstellt, das durch das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der zweiten Ausführungsform hergestellt wurde. Es ist zu beachten, dass in 15 die schematische Darstellung der Vorsprünge 6 weggelassen wurde. In 15 und 16 ist das gleiche Teil wie in der ersten Ausführungsform mit dem gleichen Bezugszeichen versehen, und seine Beschreibung entfällt.
  • Das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der zweiten Ausführungsform ist ein Verfahren, das durch Änderung des Schrittes zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 in der ersten Ausführungsform erhalten wird. Das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück gemäß der zweiten Ausführungsform ist ein Schritt, der durch Änderung des Schrittes zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 und des Bearbeitungsschrittes 1006 in der ersten Ausführungsform erhalten wird. In dem Schritt zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform, wie in 15 dargestellt ist, wird, wenn die Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 gebracht wird, um die Schutzkomponente 110 mit dem Werkstück 1 wie in der ersten Ausführungsform zu integrieren, die Fläche 113 auch in engen Kontakt mit einer Fläche 9-2 eines Metallrahmens 9 gebracht, der das Werkstück 1 aufnimmt, um die Schutzkomponente 110 mit dem Metallrahmen 9 zu integrieren. Auf diese Weise wird das in 16 mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 130 mit dem Metallrahmen 9 hergestellt.
  • Der Metallrahmen 9, der in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform verwendet wird, ist aus Metall und ist beispielsweise aus rostfreiem Stahl (SUS). Der Metallrahmen 9 weist in seiner Mitte eine kreisförmige Öffnung 9-1 auf, die in einer Plattenform gebildet ist. Der Innendurchmesser der Öffnung 9-1 des Metallrahmens 9 ist größer als der Außendurchmesser des Werkstücks 1.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform, wie in 15 dargestellt, wird der Metallrahmen 9 auf einem Rahmenplatzierungsteil 94 platziert, der in einer kreisringförmigen Weise ausgespart und in einem Bereich am äußeren Umfang einer Haltefläche 91 eines Saughaltetisches 90 gebildet ist. Ferner wird das Werkstück 1, mit dem die schichtförmige Schutzkomponente 110 ähnlich zur ersten Ausführungsform in engen Kontakt gebracht wird, auf der Haltefläche 91 des Saughaltetisches 90 entsprechend der Position, in der das Werkstück 1 in der Öffnung 9-1 des Metallrahmens 9 untergebracht ist, mit der Seite des Werkstücks 1 nach unten gerichtet platziert und durch den Saughaltetisch 90 unter einem Saugen gehalten. Der Saughaltetisch 90 enthält ein dem Saughaltetisch 40 ähnliches Halteteil 93 und hält das Werkstück 1 über die Haltefläche 91 mit einem dem Saughaltetisch 40 ähnlichen Mechanismus unter einem Saugen. In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform wird, während das Werkstück 1 durch die Haltefläche 91 unter einem Saugen gehalten wird, ein äußerer Umfangsbereich 115 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 auf der Fläche 9-2 des Metallrahmens 9 platziert.
  • Es ist zu beachten, dass in der schichtförmigen Schutzkomponente 110, die in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform verwendet wird, der kreisringförmige äußere Umfangsbereich 115 (siehe 15 und 16) auf der Fläche 113, die in Kontakt mit dem Metallrahmen 9 gebracht und an diesem befestigt wird, aus dem gemischten Harz 102 gebildet sein kann, das das thermoplastische Harz 101 mit einem Ethylen-ungesättigten Carbonsäure-Copolymer als Hauptkomponente enthält. Hier wird angenommen, dass in einem Fall, in dem das thermoplastische Harz 101 ein Ethylen-ungesättigtes Carbonsäure-Copolymer (Ethylen-ungesättigtes Carbonsäure-Copolymer-Harz) als Hauptkomponente enthält, das Verhältnis der Masse der ungesättigten Carbonsäure zu der Masse, die durch Entfernen von Füllstoffen, einschließlich der Nanofüllstoffe und anderer verschiedener Compoundierungsmittel, von der Gesamtheit des thermoplastischen Harzes 101 erhalten wird, mindestens 1 Massenprozent beträgt und vorzugsweise gleich oder höher als 5 Massenprozent ist und weiter bevorzugt gleich oder höher als 10 Massenprozent ist. Es ist zu beachten, dass das Verhältnis der Masse der ungesättigten Carbonsäure zu der Masse, die durch Entfernen der Füllstoffe, einschließlich der Nanofüllstoffe und anderer verschiedener Compoundierungsmittel, von der Gesamtheit des thermoplastischen Harzes 101 erhalten wird, gleich oder kleiner als 50 Massenprozent ist. In einem solchen thermoplastischen Harz 101 enthält das Ethylen-ungesättigte Carbonsäure-Copolymer beispielsweise ein Methacrylsäure-Polymer, ein Acrylsäure-Polymer oder dergleichen. Eine solche schichtförmige Schutzkomponente 110 übt eine hohe Fixierkraft für den Metallrahmen 9 aus und wird vorteilhaft an dem Metallrahmen 9 befestigt. Somit kann das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 130 vorteilhaft gebildet werden. Dies ermöglicht es, die Befürchtung zu verringern, dass sich diese schichtförmige Schutzkomponente 110 bei der Bearbeitung oder beim Transport von dem Metallrahmen 9 löst.
  • Ferner kann in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform eine haftungsfördernde Komponente, die die Haftung des thermoplastischen Harzes 101 an dem Metallrahmen 9 fördert, zwischen der Fläche 9-2 des Metallrahmens 9 und dem äußeren Umfangsbereich 115 der Schutzkomponente 110 angeordnet werden. Darüber hinaus kann die haftungsfördernde Komponente auf der Fläche 9-2 des Metallrahmens 9 angeordnet sein. Dabei ist die haftungsfördernde Komponente aus einem Material gebildet, das die Haftreaktion zwischen dem Metallrahmen 9 und dem thermoplastischen Kunststoff 101 fördert.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform wird dann die schichtförmige Schutzkomponente 110 von der Seite der Haltefläche 91 durch das Werkstück 1 und den Metallrahmen 9 hindurch durch eine im Inneren des Saughaltetischs 90 angeordnete Wärmequelle 92 erwärmt und erweicht. Ferner wird in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform, wie in 15 dargestellt, die flache Druckfläche 51 der Druckkomponente 50 nahe an die Vorderfläche 4 des Werkstücks 1, das durch den Saughaltetisch 90 unter einem Saugen gehalten wird, und an die Fläche 114 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit der Fläche 9-2 des Metallrahmens 9 gebracht und von der Seite, die der Seite gegenüberliegt, auf der die Haltefläche 91 angeordnet ist, in Kontakt mit der Fläche 114 gebracht. Darüber hinaus wird in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform die schichtförmige Schutzkomponente 110 von der Seite der Druckfläche 51 durch die innerhalb der Druckkomponente 50 angeordnete Wärmequelle 52 erwärmt und erweicht.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform wird, während die Seite der einen Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 und die Seite der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 wie oben durch die Wärmequellen 52 und 92 erwärmt werden, die Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 durch die parallel zur Haltefläche 91 eingestellte Druckfläche 51 für eine vorbestimmte Zeit oder länger gegen die Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 und die Fläche 9-2 des Metallrahmens 9 gedrückt. Auf diese Weise werden die schichtförmige Schutzkomponente 110, das Werkstück 1 und der Metallrahmen 9 integriert.
  • Ferner kann in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform, ähnlich wie in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der ersten Ausführungsform, eine Thermokompressionsklebebehandlung der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Werkstück 1 und dem Metallrahmen 9 unter Verwendung einer Walze unter einer ähnlichen Temperaturbedingung und einer ähnlichen Druckbedingung durchgeführt werden. Darüber hinaus kann in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform, ähnlich wie in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der ersten Ausführungsform, eine Behandlung des engen Kontakts und der Integration der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Werkstück 1 und dem Metallrahmen 9 unter Verwendung eines Trockners für den industriellen Gebrauch unter einer ähnlichen Temperaturbedingung ausgeführt werden, nachdem die schichtförmige Schutzkomponente 110 in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 und dem Metallrahmen 9 gebracht und mit diesem integriert wurde, indem eine Walze unter einer ähnlichen Druckbedingung verwendet wird.
  • Nach dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der zweiten Ausführungsform wird das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 130, das durch Veranlassen der schichtförmigen Schutzkomponente 110, in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 und der Fläche 9-2 des Metallrahmens 9 zu kommen und sich mit diesen zu verbinden, gebildet ist, von dem Saughaltetisch 90 entfernt. Wie in 16 dargestellt, weist das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 130 das plattenförmige Werkstück 1, die Schutzkomponente 110 gemäß der zweiten Ausführungsform und den Metallrahmen 9 auf, der das Werkstück 1 in der Öffnung 9-1 auf der Fläche 113 der Schutzkomponente 110 aufnimmt. Die Schutzkomponente 110 gemäß der zweiten Ausführungsform ist die gleiche wie die Schutzkomponente 110 gemäß der ersten Ausführungsform, außer dass die Schutzkomponente 110 in engem Kontakt mit der Fläche 9-2 des Metallrahmens 9 steht und mit dem Metallrahmen 9 integriert ist.
  • Der Bearbeitungsschritt 1006, der in dem Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück gemäß der zweiten Ausführungsform enthalten ist, ist ein Schritt des Haltens, durch den Einspanntisch 145, 155 oder 165, der schichtförmigen Schutzkomponente 110 des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 130, das durch die jeweiligen Schritte (Schritte 1001 bis 1005), die in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der zweiten Ausführungsform enthalten sind, gebildet wird, und des Bearbeitens des Werkstücks 1 ähnlich zu dem oben erwähnten Bearbeitungsschritt 1006. Das heißt, der Bearbeitungsschritt 1006, der in dem Herstellungsverfahren für ein Werkstück gemäß der zweiten Ausführungsform enthalten ist, unterscheidet sich von dem der ersten Ausführungsform dadurch, dass ein Ziel, das von dem Einspanntisch 145, 155 oder 165 gehalten wird, um das Werkstück 1 zu bearbeiten, in das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 130 mit dem Metallrahmen 9 oder dergleichen geändert wird.
  • [Dritte Ausführungsform]
  • Ein Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, ein Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und eine Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden anhand von Zeichnungen beschrieben. 17 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Harzschichtbildungsschritts 1002 und eines Schutzkomponentenbildungsschritts 1003, die in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der dritten Ausführungsform enthalten sind. 18 ist eine Schnittansicht zur Erläuterung eines Schrittes zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004, der in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der dritten Ausführungsform enthalten ist. Es ist zu beachten, dass in 18 die schematische Darstellung der Vorsprünge 6 weggelassen ist. In 17 und 18 ist das gleiche Teil wie in der ersten und zweiten Ausführungsform mit dem gleichen Bezugszeichen versehen, und die Beschreibung davon wird weggelassen.
  • Das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der dritten Ausführungsform ist ein Verfahren, das durch Änderung des Harzschichtbildungsschrittes 1002, des Schutzkomponentenbildungsschrittes 1003 und des Schrittes zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 in der ersten Ausführungsform erhalten wird. Das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück gemäß der dritten Ausführungsform ist ein Verfahren, das durch eine weitere Änderung des Bearbeitungsschritts 1006 in der zweiten Ausführungsform erhalten wird.
  • Der Harzschichtbildungsschritt 1002 gemäß der dritten Ausführungsform ist ein Schritt, bei dem ferner ein Teil 139 mit großer Dicke des flüssigen gemischten Harzes 102 an dem äußeren Umfangsrand der in der ersten Ausführungsform verwendeten Harzschicht 103 gebildet wird, wie in 17 dargestellt. Ferner ist der Schutzkomponentenbildungsschritt 1003 gemäß der dritten Ausführungsform ein Schritt, bei dem ferner der Teil 139 mit großer Dicke des flüssigen gemischten Harzes 102 an dem äußeren Umfangsrand der in der ersten Ausführungsform verwendeten schichtförmigen Schutzkomponente 110 gebildet wird, wie in 17 dargestellt. Hier bezieht sich der Teil mit großer Dicke 139 auf einen Teil, der dicker ist als der innere Bereich (schichtförmiger Bereich) der Harzschicht 103 oder der schichtförmigen Schutzkomponente 110. In der dritten Ausführungsform ist das Teil 139 mit großer Dicke beispielsweise um die Dicke dicker als der schichtförmige Bereich der Harzschicht 103 oder der schichtförmigen Schutzkomponente 110, die äquivalent zu der Dicke des Metallrahmens 9 in der zweiten Ausführungsform ist.
  • Bei dem Harzschichtbildungsschritt 1002 gemäß der dritten Ausführungsform wird das flüssige gemischte Harz 102 einer ebenen Trägerfläche 181 eines Trägertisches 180 und einem Nutteil 184 zugeführt, das in einer kreisringförmigen Weise vertieft und in einem Bereich am Außenumfang der Trägerfläche 181 gebildet ist. Dabei ist der Innendurchmesser des Nutteils 184 größer als der Außendurchmesser des Werkstücks 1. In dem in 17 dargestellten Schutzkomponentenbildungsschritt 1003 wird die Ultraviolettbestrahlungsvorrichtung 25 nahe über die Harzschicht 103 gebracht, die auf der Trägerfläche 181 des Trägertisches 180 gebildet und in dem Nutteil 184 gebildet ist, und die Bestrahlung mit den Ultraviolettstrahlen 29 wird über die gesamte Fläche der Harzschicht 103 durch die Ultraviolettbestrahlungsvorrichtung 25 ausgeführt. Auf diese Weise wird das gemischte Harz 102 ausgehärtet und die schichtförmige Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke aus dem gemischten Harz 102 an dem äußeren Umfangsrand wird ausgebildet.
  • Es ist zu beachten, dass in der dritten Ausführungsform in dem Harzschichtbildungsschritt 1002 ein ringförmiges Rahmenkernmaterial in den Nutteil 184 eingebracht werden kann, und dass in dem Nutteil 184 in dem Schutzkomponentenbildungsschritt 1003 das Teil 139 mit großer Dicke mit dem ringförmigen Rahmenkernmaterial und dem gemischten Harz 102 gebildet werden kann. Hier ist das ringförmige Rahmenkernmaterial zum Beispiel ein Kernmaterial, bei dem der Durchmesser in der Mitte in der radialen Richtung gleich dem des Nutteils 184 ist und die Breite und die Dicke in der radialen Richtung kleiner als die des Nutteils 184 sind.
  • Der Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der dritten Ausführungsform unterscheidet sich von demjenigen der ersten Ausführungsform dadurch, dass ein Ziel, das in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 zu bringen und mit dieser zu integrieren ist, zu der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke geändert wird, wie in 18 dargestellt. In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der dritten Ausführungsform wird zunächst die Fläche 113 des schichtförmigen Bereichs der schichtförmigen Schutzkomponente 110, bei der es sich um eine Fläche handelt, von der das Teil 139 mit großer Dicke vorsteht (Bodenfläche der Vertiefung, die von dem Teil 139 mit großer Dicke umgeben ist), durch ein Verfahren ähnlich der ersten Ausführungsform in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 gebracht.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der dritten Ausführungsform wird, nachdem die Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 in engen Kontakt mit der Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke gebracht wurde, wie in 18 dargestellt ist, wird die schichtförmige Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke in Richtung einer Haltefläche 191 eines Saughaltetisches 190 ausgerichtet, darauf platziert und unter einem Saugen gehalten, und die schichtförmige Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke wird von der Seite der Haltefläche 191 aus durch eine innerhalb des Saughaltetisches 190 angeordnete Wärmequelle 192 erwärmt und erweicht. Der Saughaltetisch 190 enthält ein Halteteil 193 ähnlich dem Saughaltetisch 40 und hält das Werkstück 1 durch die Haltefläche 191 mit einem Mechanismus ähnlich dem Saughaltetisch 40 unter einem Saugen. Ferner wird in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der dritten Ausführungsform eine Druckfläche 51 einer Druckkomponente 50-2 nahe an und in Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht, mit dem die Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke, die durch den Saughaltetisch 190 unter einem Saugen gehalten wird, in engem Kontakt steht, von der Seite, die der Seite, auf der die Haltefläche 191 platziert ist, gegenüberliegt, und die schichtförmige Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 großer Dicke wird von der Seite der Druckfläche 51 durch das Werkstück 1 hindurch durch eine Wärmequelle 52 der Druckkomponente 50-2 weiter erwärmt und erweicht. Ferner wird in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der dritten Ausführungsform das Werkstück 1 durch die parallel zur Haltefläche 191 eingestellte Druckfläche 51 gegen die erweichte schichtförmige Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke gedrückt, um das Werkstück 1 mit der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke zu integrieren. Dabei wird die Druckkomponente 50-2 dadurch erhalten, dass die Breite der Druckkomponente 50 in radialer Richtung kleiner als der Innendurchmesser der Fläche 113 der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Teil mit großer Dicke 139 eingestellt wird.
  • Ferner kann in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der dritten Ausführungsform, ähnlich wie in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der ersten Ausführungsform, eine Thermokompressionsklebebehandlung der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke an dem Werkstück 1 unter Verwendung einer Walze unter einer ähnlichen Temperaturbedingung und einer ähnlichen Druckbedingung durchgeführt werden. Darüber hinaus kann in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der dritten Ausführungsform, ähnlich wie in dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß der ersten Ausführungsform, eine Behandlung des engen Kontakts und der Integration der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke mit dem Werkstück 1 unter Verwendung eines Trockners für den industriellen Gebrauch unter einer ähnlichen Temperaturbedingung ausgeführt werden, nachdem die schichtförmige Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke in engen Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht und mit diesem integriert wurde, indem eine Walze unter einer ähnlichen Druckbedingung verwendet wird.
  • In dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004 gemäß dieser dritten Ausführungsform wird ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück 130-3 erhalten. Das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 130-3 gemäß der dritten Ausführungsform ist eine Form, die dadurch gebildet wird, dass der Metallrahmen 9, der in dem mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstück 130 gemäß der zweiten Ausführungsform verwendet wird, zu dem Teil 139 mit großer Dicke geändert wird, der das Werkstück 1 in einer Öffnung 139-1 aufnimmt. Wie in 18 dargestellt, weist das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück 130-3 das plattenförmige Werkstück 1 und die Schutzkomponente 110 gemäß der dritten Ausführungsform auf. Die Schutzkomponente 110 gemäß der dritten Ausführungsform wird durch weiteres Herstellen des Teils 139 mit großer Dicke erhalten, das aus dem flüssigen gemischten Harz 102 an dem äußeren Umfangsrand der Schutzkomponente 110 gemäß der ersten Ausführungsform gebildet ist. Das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück gemäß der dritten Ausführungsform ist im Wesentlichen ähnlich zu dem der zweiten Ausführungsform, und anstelle des Metallrahmens 9 wird das Teil 139 mit großer Dicke durch den Einspanntisch 145, 155 oder 165 bei der Bearbeitung des Werkstücks 1 in dem Bearbeitungsschritt 1006 gehalten.
  • Das Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück und die Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß der dritten Ausführungsform mit der obigen Konfiguration unterscheiden sich von denen der ersten Ausführungsform dadurch, dass ein Ziel, das in engen Kontakt mit der Vorderfläche 4 des Werkstücks 1 zu bringen und mit dieser zu integrieren ist, zu der schichtförmigen Schutzkomponente 110 mit dem Teil 139 mit großer Dicke geändert wird, und bieten daher die Wirkung und die Effekte ähnlich denen der ersten Ausführungsform und der zweiten Ausführungsform.
  • [Ausführungsbeispiel]
  • Ferner untersuchten die Erfinder der vorliegenden Erfindung die Wirkung und die Effekte des Herstellungsverfahrens für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, des Bearbeitungsverfahrens für ein Werkstück und der Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform. 19 ist ein Diagramm zur Erläuterung der Wirkung und der Effekte des Herstellungsverfahrens für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, des Bearbeitungsverfahrens für ein Werkstück und der Schutzkomponente für ein Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform. 19 stellt zusammenfassend die Ergebnisse dar, die bei der Untersuchung der Wirkung und der Effekte der ersten Ausführungsform erzielt wurden.
  • 19 stellt die folgenden Faktoren dar: das Mischungsverhältnis eines ultraviolett-härtbaren Harzes zu einem thermoplastischen Harz, wenn ein flüssiges gemischtes Harz durch Mischen des flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harzes mit dem thermoplastischen Harz durch ein Verfahren erhalten wurde, das dem Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz 1001 ähnlich ist, der in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform enthalten ist; die Formgebungsevaluation einer Schutzkomponente, wenn die schichtförmige Schutzkomponente durch ein Verfahren erhalten wurde, das dem Harzschichtbildungsschritt 1002 und dem Schutzkomponentenbildungsschritt 1003 ähnlich ist, die in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der ersten Ausführungsform enthalten sind; und die Trennungsevaluation der Schutzkomponente, wenn die schichtförmige Schutzkomponente, die mit dem Werkstück 1 integriert worden war und deren Werkstück 1 bearbeitet worden war, von dem Werkstück 1 durch ein Verfahren getrennt wurde, das dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks 1004, dem Bearbeitungsschritt 1006 und dem Schutzkomponententrennschritt 1007 ähnlich ist, die in dem Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück gemäß der ersten Ausführung enthalten sind.
  • Die Spalte „Mischungsverhältnis“ in 19 stellt das Massenverhältnis des ultraviolett härtbaren Harzes zu dem thermoplastischen Harz dar, die gemischt wurden, um das flüssige gemischte Harz zu erhalten. In der Spalte der „Formgebungsevaluation“ in 19 zeigt „◯“ ein Ergebnis an, bei dem die Zeit, die das flüssig gemischte Harz benötigt, um eine Harzschicht mit einer vorbestimmten Dicke zu bilden, ausreichend kurz war und bei dem die Variation in der Dicke der gebildeten Harzschicht ausreichend gering war. Darüber hinaus zeigt „ד ein Ergebnis an, bei dem die Zeit, die das flüssige gemischte Harz benötigt, um die Harzschicht mit der vorbestimmten Dicke zu bilden, gleich oder länger als eine bestimmte Zeit war oder bei dem die Variation in der Dicke der gebildeten Harzschicht gleich oder größer als ein bestimmtes Maß war. In der Spalte der „Trennungsevaluation“ in 19 zeigt „◯“ ein Ergebnis an, bei dem die schichtförmige Schutzkomponente leicht und ohne Rückstände von dem Werkstück 1 getrennt werden konnte, und „ד zeigt ein Ergebnis an, bei dem ein Rückstand auf dem Werkstück 1 verblieb, von dem die schichtförmige Schutzkomponente getrennt worden war, oder bei dem die schichtförmige Schutzkomponente nicht leicht getrennt werden konnte.
  • Es ist zu beachten, dass in allen Vergleichsbeispielen 1 und 2 und den erfindungsgemäßen Produkten oder dergleichen 1, 2 und 3 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel dasselbe ultraviolett-härtbare Harz und thermoplastische Harz verwendet wurden. Wie in 19 dargestellt, ist im „Vergleichsbeispiel 1“ die schichtförmige Schutzkomponente durch Verwendung des gemischten Harzes gebildet worden, das durch Mischen des ultraviolett-härtbaren Harzes und des thermoplastischen Harzes in einem Massenverhältnis von 2:8 erhalten wurde. In dem „erfindungsgemäßen Produkt oder dergleichen 1“ ist die schichtförmige Schutzkomponente unter Verwendung des gemischten Harzes gebildet worden, das durch Mischen des ultraviolett-härtbaren Harzes und des thermoplastischen Harzes in einem Massenverhältnis von 3:7 erhalten wurde. In dem „erfindungsgemäßen Produkt oder dergleichen 2“ ist die schichtförmige Schutzkomponente unter Verwendung des gemischten Harzes gebildet worden, das durch Mischen des ultraviolett-härtbaren Harzes und des thermoplastischen Harzes in einem Massenverhältnis von 6:4 erhalten wurde. In dem „erfindungsgemäßen Produkt oder dergleichen 3“ wurde die schichtförmige Schutzkomponente unter Verwendung des gemischten Harzes gebildet, das durch Mischen des ultraviolett-härtbaren Harzes und des thermoplastischen Harzes in einem Massenverhältnis von 7:3 erhalten wurde. In dem „Vergleichsbeispiel 2“ wurde die schichtförmige Schutzkomponente unter Verwendung des gemischten Harzes gebildet, das durch Mischen des ultraviolett-härtbaren Harzes und des thermoplastischen Harzes in einem Massenverhältnis von 8:2 erhalten wurde.
  • Wie in den erfindungsgemäßen Produkten oder dergleichen 1, 2 und 3 in 19 dargestellt, wenn die schichtförmige Schutzkomponente unter Verwendung des gemischten Harzes gebildet wurde, das durch Mischen des ultraviolett-härtbaren Harzes und des thermoplastischen Harzes im Verhältnis 3:7 bis 7:3 erhalten wurde, konnte die Harzschicht, d.h. die schichtförmige Schutzkomponente, die eine vorbestimmte Dicke hatte und deren Variation in der Dicke hinreichend gering ist, in einer hinreichend kurzen Zeit gebildet werden konnte, und die schichtförmige Schutzkomponente konnte leicht und ohne Rückstände an dem Werkstück 1 getrennt werden, wenn sie von dem Werkstück 1, mit dem die schichtförmige Schutzkomponente in engen Kontakt gebracht und integriert wurde, getrennt wurde. Andererseits, wie in dem Vergleichsbeispiel 1 in 19 dargestellt, wenn die schichtförmige Schutzkomponente unter Verwendung des gemischten Harzes gebildet wurde, das durch Mischen des ultraviolett-härtbaren Harzes und des thermoplastischen Harzes im Verhältnis 2:8 erhalten wurde, war es aufgrund der geringen Menge an ultraviolett-härtbarem Harz schwierig, das gesamte Harz uniform auszuhärten, es dauerte lange, bis das Harz ausgehärtet war, und die Variation der Dicke wurde groß. Außerdem war aufgrund der großen Menge an thermoplastischem Harz die Haftung an dem Werkstück 1 zu hoch, und die schichtförmige Schutzkomponente ließ sich nicht leicht trennen, wenn sie von dem Werkstück 1 getrennt wurde, mit dem die schichtförmige Schutzkomponente in engen Kontakt gebracht und integriert worden war. Ferner, wie in Vergleichsbeispiel 2 in 19 dargestellt, wenn die schichtförmige Schutzkomponente unter Verwendung des gemischten Harzes gebildet wurde, das durch Mischen des ultraviolett-härtbaren Harzes und des thermoplastischen Harzes im Verhältnis 8:2 erhalten wurde, blieb, obwohl eine ausreichende Formgebungsevaluation erzielt wurde, ein restliches ultraviolett-härtbares Harz an dem Werkstück 1 zurück, wenn die schichtförmige Schutzkomponente von dem Werkstück 1, mit dem die schichtförmige Schutzkomponente in engen Kontakt gebracht und integriert wurde, entfernt wurde.
  • Dementsprechend stellt sich in dem in 19 dargestellten Beispiel heraus, dass durch die Bildung der schichtförmigen Schutzkomponente unter Verwendung des gemischten Harzes, das durch Mischen des ultraviolett-härtbaren Harzes und des thermoplastischen Harzes im Verhältnis 3:7 bis 7:3 erhalten wird, sowohl der Effekt der Beibehaltung der Form und der Größe durch das ultraviolett-härtbare Harz als auch der Effekt des engen Kontakts durch das thermoplastische Harz erzielt wird. Als Ergebnis kann die schichtförmige Schutzkomponente gebildet werden, mit der eine ausreichende Formgebungsevaluation und Trennungsevaluation erzielt wird.
  • Ferner wurde ein ähnliches Ergebnis wie in dem in 19 dargestellten Beispiel erzielt, wenn eine schichtförmige Schutzkomponente unter Verwendung des gemischten Harzes gebildet wurde, das durch Mischen bei einem Massenverhältnis des ultraviolett-härtbaren Harzes zu dem thermoplastischen Harz entstanden ist, das dem Massenverhältnis in dem in 19 dargestellten Beispiel ähnlich ist, und zwar durch Verfahren, die denjenigen der zweiten Ausführungsform und der dritten Ausführungsform ähnlich sind.
  • Es ist zu beachten, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt ist. Das heißt, die vorliegende Erfindung kann mit verschiedenen Modifikationen durchgeführt werden, ohne vom Kern der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Zum Beispiel können das ultraviolett-härtbare Harz 100 und das thermoplastische Harz 101, die in den oben beschriebenen Ausführungsformen und Modifikationsbeispielen verwendet werden, zum Schutz der Schaltung vor Ultraviolettstrahlen und zum Verstecken der Schaltung eine dunkle Farbe, wie z.B. schwarz, haben, und ein Ultraviolettabsorber kann darin gemischt und geknetet sein. Ferner kann bei der Vorbereitung des gemischten Harzes 102 das flüssige ultraviolett-härtbare Harz 100 erwärmt werden, um das thermoplastische Harz 101 darin aufzulösen, und das Rühren kann weggelassen werden. Ferner können Füllstoffe zugegeben werden, nachdem das ultraviolett-härtbare Harz 100 und das thermoplastische Harz 101 gemischt wurden.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert, und alle Änderungen und Modifikationen, die in den Äquivalenzbereich der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2013021017 [0002]

Claims (6)

  1. Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück, bei dem eine Schutzkomponente, die ein plattenförmiges Werkstück schützt, in engen Kontakt mit einer Fläche des Werkstücks gebracht wird, um das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück herzustellen, wobei das Herstellungsverfahren aufweist: einen Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz, bei dem ein thermoplastisches Harz, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, in einem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz gelöst wird, um ein flüssiges gemischtes Harz vorzubereiten; einen Harzschichtbildungsschritt, bei dem das gemischte Harz zu einer Trägerfläche eines Trägertisches zugeführt wird, um eine Harzschicht mit einer vorbestimmten Dicke zu bilden; einen Schutzkomponentenbildungsschritt bei dem die Harzschicht mit Ultraviolettstrahlen bestrahlt wird und die Harzschicht gehärtet wird, um die Schutzkomponente mit einer Schichtform zu bilden; und einen Schritt zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks, bei dem die schichtförmige Schutzkomponente erwärmt wird, bevor oder nachdem eine Fläche der schichtförmigen Schutzkomponente und die eine Fläche des Werkstücks in engen Kontakt miteinander gebracht werden, und bewirkt wird, dass die schichtförmige Schutzkomponente in engen Kontakt mit dem Werkstück kommt und sich mit dem Werkstück integriert.
  2. Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück nach Anspruch 1, das ferner aufweist: einen Schutzkomponentenkühlschritt bei dem die Schutzkomponente nach dem Schritt zum Bilden des mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks abgekühlt wird.
  3. Herstellungsverfahren für ein mit einer Schutzkomponente versehenes Werkstück nach Anspruch 1 oder 2, wobei Bauelemente auf der einen Fläche des Werkstücks gebildet sind.
  4. Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück zur Bearbeitung des Werkstücks mit einer Plattenform, wobei das Bearbeitungsverfahren aufweist: einen Bearbeitungsschritt zum Halten, durch einen Einspanntisch, einer schichtförmigen Schutzkomponente eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks, bei dem eine Fläche der Schutzkomponente und eine Fläche des Werkstücks in engem Kontakt miteinander sind, wobei die Schutzkomponente durch Aufbringen von Ultraviolettstrahlen auf und Härten eines gemischten Harzes, das durch Mischen eines thermoplastischen Harzes, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, mit einem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz erhalten wird, gebildet wird, und Bearbeiten des Werkstücks; und einen Schutzkomponententrennschritt zum Trennen der Schutzkomponente von dem Werkstück, nachdem der Bearbeitungsschritt ausgeführt wurde.
  5. Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück nach Anspruch 4, ferner aufweisend: einen Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz, bei dem vor dem Bearbeitungsschritt das thermoplastische Harz, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, in dem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz gelöst wird, um das gemischte Harz in einem flüssigen Zustand vorzubereiten; einen Harzschichtbildungsschritt, bei dem nach dem Vorbereitungsschritt für ein gemischtes Harz, aber vor dem Bearbeitungsschritt, das gemischte Harz zu einer Trägerfläche eines Trägertisches zugeführt wird, um eine Harzschicht mit einer vorbestimmten Dicke zu bilden; einen Schutzkomponentenbildungsschritt, bei dem nach dem Harzschichtbildungsschritt, aber vor dem Bearbeitungsschritt, die Harzschicht mit Ultraviolettstrahlen bestrahlt wird und die Harzschicht gehärtet wird, um die schichtförmige Schutzkomponente zu bilden; und einen Schritt zum Bilden eines mit einer Schutzkomponente versehenen Werkstücks, bei dem nach dem Schutzkomponentenbildungsschritt, aber vor dem Bearbeitungsschritt, die eine Fläche der schichtförmigen Schutzkomponente, die erwärmt wird, und die eine Fläche des Werkstücks in engen Kontakt miteinander gebracht werden, um das mit einer Schutzkomponente versehene Werkstück zu bilden.
  6. Schutzkomponente für ein Werkstück, die in engem Kontakt mit einer Fläche des Werkstücks ist, das eine kreisförmige Scheibenform aufweist, und das Werkstück schützt, wobei die Schutzkomponente in eine Schichtform gebildet ist, durch Aufbringen von Ultraviolettstrahlen auf und Aushärten eines gemischten Harzes, das durch Mischen eines thermoplastischen Harzes, dessen Löslichkeitsparameter gleich oder größer als 8,5 ist, mit einem flüssigen, ultraviolett-härtbaren Harz erhalten wird.
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