CN114643782A - 头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置 - Google Patents

Abstract

提供能够确保吐出压力的头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。本公开的一个形态所涉及的头芯片(50)具备形成有第一吐出通道(62)和第二吐出通道(63)的促动器板(53)以及设置于促动器板(53)的下端面上的返回板(52)。第一吐出通道(62)被在X方向上相向的一对上游驱动壁(71、72)包围。第二吐出通道(63)被在X方向上相向的一对下游驱动壁(73、74)包围。

Description

头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置

技术领域

本公开涉及头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。

背景技术

搭载于喷墨打印机的喷墨头通过搭载于喷墨头的头芯片将墨水吐出至被记录介质。头芯片具备：促动器板，其形成有吐出通道和非吐出通道；和喷嘴板，其具有与吐出通道连通的喷嘴孔。吐出通道和非吐出通道隔着驱动壁而交替地排列。

在头芯片中，为了使墨水吐出，将电压施加至形成于驱动壁的电极之间，使驱动壁发生厚度滑动变形。由此，吐出通道内的容积变化，从而吐出通道内的墨水通过喷嘴孔吐出。

例如，在下述专利文献1中，公开了使墨水在相对于一个非吐出通道配置于两侧的一对吐出通道之间循环的所谓的循环式头芯片。具体而言，下述专利文献1中记载的头芯片在促动器板与喷嘴板之间设置有使一对吐出通道和喷嘴孔之间连通的返回路。

依据该构成，伴随着驱动壁的变形的吐出通道内的压力变动传播至流通于返回路的墨水，从而流通于返回路的墨水通过喷嘴孔吐出。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-30314号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，关于上述的专利文献1的头芯片，是仅有将一对吐出通道与非吐出通道之间分隔的部分作为驱动壁起作用的构成。即，在专利文献1中记载的头芯片中，相对于一个吐出通道仅在单侧设置有驱动壁，因而在墨水吐出时的吐出通道内的容积变化量存在界限。因此，在现有的头芯片中，在确保吐出压力这点上，仍有改善余地。

本公开提供能够确保吐出压力的头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题，本公开采用以下的形态。

(1)本公开的一个形态所涉及的头芯片具备：促动器板，其形成有沿第一方向隔开间隔而排列并且在朝向与前述第一方向交叉的第二方向的一侧的端面上开口的第一喷射通道和第二喷射通道；和末端部件，其设置于前述促动器板的前述端面上，具有将前述第一喷射通道和前述第二喷射通道之间连接的连接路和将前述连接路内外连通的喷射孔，前述第一喷射通道被在前述第一方向上相向并且以使前述第一喷射通道扩大或缩小的方式变形的一对第一驱动壁包围，前述第二喷射通道被在前述第一方向上相向并且以使前述第二喷射通道扩大或缩小的方式变形的一对第二驱动壁包围。

依据本形态，夹着连接路而位于两侧的第一喷射通道和第二喷射通道分别被一对驱动壁包围。在液体喷射时，使第一驱动壁和第二驱动壁分别变形，从而能够增大液体路径(从第一喷射通道经过连接路到达第二喷射通道的流路)内的容积变化。其结果是，能够对液体流路内的液体产生强压力波。因此，能够确保液体的喷射压力。

(2)在上述(1)的形态所涉及的形态的头芯片中，优选的是，在前述促动器板，形成有：第一非喷射通道，其相对于前述第一喷射通道位于与前述第二喷射通道相反的一侧，沿前述第二方向延伸；第二非喷射通道，其位于前述第一喷射通道和前述第二喷射通道之间，沿前述第二方向延伸；以及第三非喷射通道，其相对于前述第二喷射通道位于与前述第一喷射通道相反的一侧，沿前述第二方向延伸，前述一对第一驱动壁中的一个前述第一驱动壁是位于前述第一喷射通道与前述第一非喷射通道之间的部分，前述一对第一驱动壁中的另一个前述第一驱动壁是位于前述第一喷射通道与前述第二非喷射通道之间的部分，前述一对第二驱动壁中的一个前述第二驱动壁是位于前述第二喷射通道与前述第二非喷射通道之间的部分，前述一对第二驱动壁中的另一个前述第二驱动壁是位于前述第二喷射通道与前述第三非喷射通道之间的部分。

依据本形态，在各喷射通道之间形成非喷射通道，从而在被喷射通道和非喷射通道包围的部分形成驱动壁。由此，能够在各喷射通道的两侧简单地形成驱动壁。

(3)在上述(2)的形态所涉及的形态的头芯片中，优选的是，前述第一非喷射通道、前述第二非喷射通道和前述第三非喷射通道在前述促动器板的前述端面上开口，前述末端部件具备将前述第一非喷射通道、前述第二非喷射通道和前述第三非喷射通道闭塞的闭塞部。

依据本形态，由末端部件将在非喷射通道中的促动器板的端面上的开口部闭塞，从而能够使驱动壁延伸直至端面。由此，容易使液体的喷射压力有效地传播直至喷射孔。

(4)在上述(1)至(3)中的任一个形态所涉及的形态的头芯片中，优选的是，如果将从前述第二方向观察而与前述第一方向交叉的方向作为前述促动器板的厚度方向，则前述第一喷射通道至少在前述促动器板中的前述厚度方向的第一主面上开口，前述第二喷射通道至少在前述促动器板中的前述厚度方向的第二主面上开口，在前述促动器板的前述第一主面侧，设置有形成有与前述第一喷射通道内连通的第一液体流路的第一盖板，在前述促动器板的前述第二主面侧，设置有形成有与前述第二喷射通道内连通的第二液体流路的第二盖板。

依据本形态，第一喷射通道和第二喷射通道至少在促动器板的不同主面处开口，从而能够相对于促动器板分别在厚度方向的两侧设置盖板。由此，与在一块盖板形成第一液体流路和第二液体流路相比，能够谋求构成的简化。

(5)在上述(4)的形态所涉及的形态的头芯片中，优选的是，前述促动器板具备相对于前述第一喷射通道位于前述第二方向的另一侧的尾部，前述第二喷射通道沿前述厚度方向贯通前述促动器板，在前述促动器板，形成有：第一布线部，其遍及前述第一喷射通道的内表面和前述尾部中的前述第一主面形成；和第二布线部，其遍及前述第二喷射通道的内表面和前述尾部中的前述第一主面形成。

依据本形态，能够将与各喷射通道对应的布线部在促动器板的第一主面侧处连接至外部布线。由此，能够谋求构成的简化。

(6)在上述(5)的形态所涉及的形态的头芯片中，优选的是，前述第一喷射通道的内表面中的暴露于前述第二方向的一侧的面具备第一导向面，该第一导向面构成在前述第一主面上的前述第一喷射通道的开口缘的一部分，并且随着在前述厚度方向上朝向前述第二主面侧而沿前述第二方向朝向一侧延伸，前述第二喷射通道的内表面中的暴露于前述第二方向的一侧的面具备：第二导向面，其随着在前述厚度方向上朝向前述第一主面侧而沿前述第二方向朝向一侧延伸；和倾斜面，其随着在前述厚度方向上朝向前述第一主面侧而沿前述第二方向朝向另一侧延伸，并且构成在前述第一主面上的前述第二喷射通道的开口缘的一部分，前述第一布线部具备：第一对置电极，其形成于前述第一喷射通道的内表面中的在前述第一方向上相向的内侧面；第一端子，其形成于前述尾部中的前述第一主面；以及第一连接部，其形成于前述第一导向面，将前述第一对置电极和前述第一端子之间电连接，前述第二布线部具备：第二对置电极，其形成于前述第二喷射通道的内表面中的在前述第一方向上相向的内侧面；第二端子，其形成于前述尾部中的前述第一主面；以及第二连接部，其形成于前述倾斜面，将前述第二对置电极和前述第二端子之间电连接。

依据本形态，在例如将第一液体流路作为入口侧流路且将第二液体流路作为出口侧流路的情况下，从第一液体流路流入至第一喷射通道内的液体沿着第一导向面朝向末端部件(连接路)顺畅地流动。另一方面，从连接路流入至第二喷射通道内的液体沿着第二导向面朝向第二液体流路顺畅地流动。由此，能够减轻喷射通道内的压力损失，使液体在液体路径内高效地循环。

而且，在本形态中，第一喷射通道的第一导向面通过第一喷射通道的开口部暴露于第一主面侧，第二喷射通道的倾斜面通过第二喷射通道的开口部暴露于第一主面侧。由此，当将第一布线部和第二布线部的电极材料通过第一主面侧的开口部供给至各喷射通道内时，能够将第一布线部的电极材料有效地成膜于第一导向面，并且能够将第二布线部的电极材料有效地成膜于倾斜面。由此，能够确保对置电极与端子部的电连接。

(7)本公开的一个形态所涉及的头芯片具备：促动器板，其形成有沿第一方向隔开间隔而排列并且在朝向与前述第一方向交叉的第二方向的一侧的端面上开口的第一喷射通道和第二喷射通道；和末端部件，其设置于前述促动器板的前述端面上，具有将前述第一喷射通道和前述第二喷射通道之间连接的连接路和将前述连接路内外连通的喷射孔，前述第一喷射通道在从前述第一方向观察而与前述第二方向交叉的厚度方向上至少在前述促动器板的第一主面上开口，并且在暴露于前述第二方向的一侧的面具备第一导向面，该第一导向面构成在前述第一主面上的前述第一喷射通道的开口缘的一部分，并且随着在前述厚度方向上朝向前述第二主面侧而沿前述第二方向朝向一侧延伸，前述第二喷射通道至少在前述促动器板中的前述厚度方向的第二主面上开口，并且在暴露于前述第二方向的一侧的面具备第二导向面，前述第二导向面随着在前述厚度方向上朝向前述第一主面侧而沿前述第二方向朝向一侧延伸，在前述促动器板的前述第一主面侧，在与前述第一导向面在前述厚度方向上相向的位置，设置有形成有与前述第一喷射通道内连通的第一液体流路的第一盖板，在前述促动器板的前述第二主面侧，在与前述第二导向面在前述厚度方向上相向的位置，设置有形成有与前述第二喷射通道内连通的第二液体流路的第二盖板。

依据本形态，在例如将第一液体流路作为入口侧流路且将第二液体流路作为出口侧流路的情况下，从第一液体流路流入至第一喷射通道内的液体沿着第一导向面朝向末端部件(连接路)顺畅地流动。另一方面，从连接路流入至第二喷射通道内的液体沿着第二导向面朝向第二液体流路顺畅地流动。由此，能够减轻喷射通道内的压力损失，使液体在液体路径内高效地循环。

(8)本公开的一个形态所涉及的液体喷射头具备上述(1)至(7)中的任一个形态所涉及的头芯片。

依据本形态，能够确保吐出压力，提供高性能的液体喷射头。

(9)本公开的一个形态所涉及的液体喷射记录装置具备上述(8)的任一个形态所涉及的液体喷射头。

依据本形态，能够确保吐出压力，提供高性能的液体喷射记录装置。

发明的效果

依据本公开的一个形态，能够提供能够确保吐出压力的头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。

附图说明

图1是实施方式所涉及的喷墨打印机的概略构成图。

图2是实施方式所涉及的喷墨头和墨水循环机构的概略构成图。

图3是实施方式所涉及的头芯片的分解立体图。

图4是与图5的IV-IV线对应的截面图。

图5是与图4的V-V线对应的截面图。

图6是与图4的VI-VI线对应的截面图。

图7是与图4的VII-VII线对应的截面图。

图8是与图4的VIII-VIII线对应的截面图。

图9是与图4的IX-IX线对应的截面图。

图10是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图3对应的立体图。

图11是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图3对应的立体图。

图12是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图3对应的立体图。

图13是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图3对应的立体图。

图14是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图3对应的立体图。

图15是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图3对应的立体图。

图16是实施方式的变形例所涉及的与图6对应的截面图。

图17是实施方式的变形例所涉及的与图9对应的截面图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本公开所涉及的实施方式进行说明。在以下所说明的实施方式或变形例中，有时对于对应的构成附以同一符号并省略说明。此外，在以下的说明中，示出例如“平行”或“正交”、“中心”、“同轴”等相对或绝对配置的表达不仅表示严格地那样的配置，而且还表示以公差或可得到相同功能的程度的角度或距离相对地位移的状态。在以下的实施方式中，举例说明利用墨水(液体)来在被记录介质进行记录的喷墨打印机(以下，仅称为打印机)。此外，在以下的说明中所使用的附图中，为了成为能够识别各部件的大小，适当变更各部件的比例尺。

[打印机1]

图1是打印机1的概略构成图。

如图1所示，本实施方式的打印机(液体喷射记录装置)1具备一对搬送机构2、3、墨水罐4、喷墨头(液体喷射头)5、墨水循环机构6以及扫描机构7。

在以下的说明中，根据需要而使用X、Y、Z正交坐标系来说明。在此情况下，X方向(第一方向)与被记录介质P(例如，纸等)的搬送方向(副扫描方向)一致。Y方向(厚度方向)与扫描机构7的扫描方向(主扫描方向)一致。Z方向(第二方向)示出与X方向和Y方向正交的高度方向(重力方向)。在以下的说明中，将X方向、Y方向和Z方向中的图中箭头侧作为正(+)侧并将与箭头相反的一侧作为负(-)侧而说明。在本实施方式中，+Z侧相当于重力方向的上方，-Z侧相当于重力方向的下方。

搬送机构2、3将被记录介质P向+X侧搬送。搬送机构2、3分别包括例如沿Y方向延伸的一对辊11、12。

墨水罐4分别容纳例如黄色、品红色、青色、黑色四种颜色的墨水。各喷墨头5以能够根据所连接的墨水罐4而分别吐出黄色、品红色、青色、黑色四种颜色的墨水的方式构成。此外，容纳于墨水罐4的墨水可以是导电性墨水，也可以是非导电性墨水。

图2是喷墨头5和墨水循环机构6的概略构成图。

如图1、图2所示，墨水循环机构6使墨水循环于墨水罐4与喷墨头5之间。具体而言，墨水循环机构6具备：循环流路23，其具有墨水供给管21和墨水排出管22；加压泵24，其连接至墨水供给管21；以及吸引泵25，其连接至墨水排出管22。

加压泵24对墨水供给管21内进行加压，通过墨水供给管21将墨水送出至喷墨头5。由此，墨水供给管21侧相对于喷墨头5成为正压。

吸引泵25对墨水排出管22内进行减压，通过墨水排出管22内从喷墨头5吸引墨水。由此，墨水排出管22侧相对于喷墨头5成为负压。墨水能够通过加压泵24和吸引泵25的驱动来通过循环流路23在喷墨头5与墨水罐4之间循环。

扫描机构7使喷墨头5沿Y方向往复扫描。扫描机构7具备沿Y方向延伸的导轨28和能够移动地支撑于导轨28的滑架29。

<喷墨头5>

如图1所示，喷墨头5搭载于滑架29。在图示的示例中，多个喷墨头5沿Y方向并排地搭载于一个滑架29。喷墨头5具备头芯片50(参照图3)、将墨水循环机构6与头芯片50之间连接的墨水供给部(未图示)以及将驱动电压施加至头芯片50的控制部(未图示)。

<头芯片50>

图3是头芯片50的分解立体图。图4是与图5的IV-IV线对应的截面图。

图3、图4所示的头芯片50是使墨水在与墨水罐4之间循环并且将墨水从后述的吐出通道62、63中的延展方向(Z方向)的端部吐出的所谓的纵向循环式边缘喷射型头芯片50。头芯片50具备喷嘴板51(末端部件：参照图4)、返回板(末端部件)52、促动器板53、第一盖板54以及第二盖板55。

促动器板53由PZT(钛酸锆酸铅)等压电材料形成。促动器板53是例如极化方向在Y方向(厚度方向)的整个区域上为一个方向的所谓的单极基板。但是，促动器板53也可以是将极化方向在Y方向上不同的两块压电板层叠而成的所谓的V形基板。

在促动器板53，设置有多个循环通道58。循环通道58在促动器板53中沿X方向并排地设置。循环通道58具备第一吐出通道(喷射通道)62和相对于第一吐出通道(喷射通道)62配置于-X侧的第二吐出通道63。

在促动器板53中的位于各吐出通道62、63之间的部分，形成有不填充墨水的非吐出通道(非喷射通道)64-66。非吐出通道64-66中的第一非吐出通道64相对于一个循环通道58配置于+X侧。非吐出通道64-66中的第二非吐出通道65在一个循环通道58中配置于第一吐出通道62和第二吐出通道63之间。非吐出通道64-66中的第三非吐出通道66相对于一个循环通道58配置于-X侧。即，各通道62-66在X方向上以第一非吐出通道64、第一吐出通道62、第二非吐出通道65和第二吐出通道63和第三非吐出通道66的顺序并排。

在本实施方式中，配置于一个循环通道58的+X侧的第一非吐出通道64与相对于一个循环通道58配置于+X侧的另一循环通道58的第三非吐出通道66共用。另外，配置于一个循环通道58的-X侧的第三非吐出通道66与相对于一个循环通道58配置于-X侧的另一循环通道58的第一非吐出通道64共用。但是，第一非吐出通道64和第三非吐出通道66也可以分别与各循环通道58对应地配备。即，也可以在位于相邻的循环通道58之间的部分配置有与一个循环通道58对应的第一非吐出通道64和与另一循环通道58对应的第三非吐出通道66。

各通道62-66在促动器板53中沿Z方向延伸，并且在至少一部分处沿Y方向贯通促动器板53。此外，在本实施方式中，对通道延展方向与Z方向一致的构成进行说明，但通道延展方向也可以与Z方向交叉。

以下，对各通道62-66详细地进行说明。在以下的说明中，将+Y侧作为表面侧、将-Y侧作为背面侧、将+Z侧作为上侧并将-Z侧作为下侧来说明。

图5是与图4的V-V线对应的截面图。

如图5所示，第一吐出通道62是填充墨水的通道，在循环通道58内的墨水的流通过程中构成上游侧流路。第一吐出通道62使例如圆板状切割机200(参照图10)从促动器板53的表面侧进入而形成。

第一吐出通道62具备延展部62a和上切部62b。

延展部62a沿Y方向贯通促动器板53，并且沿Z方向延伸。延展部62a在促动器板53的下端面(朝向第二方向的一侧的端面)处开放。

上切部62b连结至延展部62a的上端。关于上切部62b，随着朝向上方，Y方向的深度逐渐变浅。具体而言，上切部62b的底面(以下，称为第一导向面62c。)形成为随着朝向上方而朝向表面侧弯曲并同时延伸的倾斜面。此外，第一导向面62c只要是随着朝向上方而朝向表面侧延伸的构成即可。

图6是与图4的VI-VI线对应的截面图。

如图6所示，第二吐出通道63与第一吐出通道62将第二非吐出通道65夹在之间而在X方向上相向。第二吐出通道63是填充墨水的通道，在循环通道58内的墨水的流通过程中构成下游侧流路。第二吐出通道63的Z方向的最大尺寸与第一吐出通道62同等。第二吐出通道63使例如圆板状切割机200(参照图10)从促动器板53的表面侧和背面侧进入而形成。

第二吐出通道63具备延展部63a、背面侧上切部63b以及表面侧上切部63c。

延展部63a沿Y方向贯通促动器板53，并且沿Z方向延伸。延展部63a在促动器板53的下端面处开放。延展部63a的上端分成背面侧上切部63b和表面侧上切部63c两股。

背面侧上切部63b在从X方向观察的侧视观察下以朝向表面侧凸出的圆弧状形成。关于背面侧上切部63b，随着朝向上方，Y方向的深度逐渐变浅。具体而言，背面侧上切部63b的底面(以下，称为第二导向面63d。)形成为随着朝向上方而朝向背面侧弯曲并同时延伸的倾斜面。在Z方向上，背面侧上切部63b的上端位置位于与上切部62b的上端位置同等的高度。此外，第二导向面63d只要是随着朝向上方而朝向背面侧延伸的构成即可。

表面侧上切部63c在侧视观察下以朝向背面侧凸出的圆弧状形成。关于表面侧上切部63c，随着朝向上方，Y方向的深度逐渐变浅。具体而言，表面侧上切部63c的底面(以下，称为成膜面63f。)形成为随着朝向上方而朝向表面侧弯曲并同时延伸的倾斜面。此外，成膜面(倾斜面)63f只要是随着朝向上方而朝向表面侧延伸的构成即可。另外，在图示的示例中，各导向面62c、63d和成膜面63f的曲率半径互相可以一样，也可以不同。

在本实施方式中，优选的是，背面侧上切部63b的最大深度与表面侧上切部63c的最大深度相比而变深。因此，表面侧上切部63c的上端位置比背面侧上切部63b的上端位置更位于下方。但是，背面侧上切部63b的最大深度也可以与表面侧上切部63c的最大深度同等，也可以比表面侧上切部63c更浅。

背面侧上切部63b和表面侧上切部63c彼此经由边缘部63g连结。即，第二吐出通道63的内表面中的第二导向面63d和成膜面63f暴露于下方。在本实施方式中，例如，“暴露”于下方是指在侧视观察下沿在第二导向面63d和成膜面63f的任意位置处的法线方向包括Z方向的分量即可。

在此，在侧视观察下，促动器板53的表面与成膜面63f所成的第一角度θ1比促动器板53的表面与第二导向面63d所成的第二角度θ2更小地设定。在本实施方式中，第一角度θ1是指在截面观察下、通过成膜面63f中的第二吐出通道63的表面侧开口缘的第一切线L1与促动器板53的表面所成的角度。第二角度θ2是指在截面观察下、通过第二导向面63d中的边缘部63g的第二切线L2与促动器板53的表面所成的角度。在本实施方式中，第一角度θ1成锐角，第二角度θ2成钝角。另外，在图示的示例中，边缘部63g成锐角。但是，边缘部63g也可以成钝角。

图7是与图4的VII-VII线对应的截面图。

如图7所示，第一非吐出通道64在X方向上与第一吐出通道62相向。第一非吐出通道64沿Z方向和Y方向贯通促动器板53。

图8是与图4的VIII-VIII线对应的截面图。

如图8所示，第二非吐出通道65位于第一吐出通道62和第二吐出通道63之间。第二非吐出通道65沿Z方向和Y方向贯通促动器板53。

如图7所示，第三非吐出通道66在X方向上与第二吐出通道63相向。第三非吐出通道66沿Z方向和Y方向贯通促动器板53。此外，对于至少与吐出通道62、63在X方向上对置的部分，各非吐出通道64-66沿Z方向贯通促动器板53即可。

图9是与图4的IX-IX线对应的截面图。

如图4、图9所示，促动器板53中的位于第一非吐出通道64和第一吐出通道62之间的部分构成第一上游驱动壁(第一驱动壁)71。促动器板53中的位于第一吐出通道62和第二非吐出通道65之间的部分构成第二上游驱动壁(第一驱动壁)72。即，关于第一吐出通道62，X方向的两侧被第一上游驱动壁71和第二上游驱动壁72包围。

促动器板53中的位于第二非吐出通道65和第二吐出通道63之间的部分构成第一下游驱动壁(第二驱动壁)73。促动器板53中的位于第二吐出通道63和第三非吐出通道66之间的部分构成第二下游驱动壁(第二驱动壁)74。即，关于第二吐出通道63，X方向的两侧被第一下游驱动壁73和第二下游驱动壁74包围。

照此，由上游驱动壁71、72划分第一吐出通道62且由下游驱动壁73、74划分第二吐出通道63而构成上述的循环通道58。在本实施方式中，与第一吐出通道62对应的第一上游驱动壁71和第二上游驱动壁72以及与第二吐出通道63对应的第一下游驱动壁73和第二下游驱动壁74构成将流通于一个循环通道58内的墨水从一个喷嘴孔141吐出的驱动单元67。因此，一个驱动单元67的第一上游驱动壁71隔着第一非吐出通道64而与在+X侧相邻的另一驱动单元67的第二下游驱动壁74相向。另一方面，一个驱动单元67的第二下游驱动壁74隔着第三非吐出通道66而与在-X侧相邻的另一驱动单元67的第一上游驱动壁71相向。

如图3、图4所示，在促动器板53，形成有第一公共布线(第一布线部)81、第二公共布线(第二布线部)82、第一驱动布线83和第二驱动布线84。

第一公共布线81具备第一公共电极91和第一公共端子(第一端子)92。

如图5所示，第一公共电极91形成于第一吐出通道62的内表面。第一公共电极91具备对置电极91a和连接部91b。对置电极91a分别形成于第一吐出通道62的内侧面(上游驱动壁71、72中的在X方向上相向的面)。在Y方向上，对置电极91a遍及第一吐出通道62的内侧面中的自促动器板53的表面侧起Y方向的一半以上的深度形成。在Z方向上，对置电极91a遍及第一吐出通道62的内侧面整个区域形成。

连接部91b形成于第一导向面62c上。连接部91b在第一吐出通道62内架设于对置电极91a彼此之间。此外，连接部91b形成于第一导向面62c中的至少连结至第一吐出通道62的表面侧开口缘的既定区域即可。

如图4、图5所示，第一公共端子92形成于促动器板53中的相对于第一吐出通道62位于上方的部分(以下，称为尾部95。)的表面上。第一公共端子92在尾部95的表面中的位于第一吐出通道62的在X方向上的宽度内的部分沿Z方向以直线状延伸。第一公共端子92的X方向的宽度变得与第一吐出通道62的宽度同等。

第一公共端子92的下端缘在第一吐出通道62的表面侧开口缘处电连接至形成于第一导向面62c的连接部91b。另一方面，第一公共端子92的上端缘终止于尾部95上。

如图6所示，第二公共布线82具备第二公共电极93和第二公共端子(第二端子)94。

第二公共电极93形成于第二吐出通道63的内表面。第二公共电极93具备对置电极93a和连接部93b。对置电极93a分别形成于第二吐出通道63的内侧面(下游驱动壁73、74中的在X方向上相向的面)。在Y方向上，对置电极93a遍及第二吐出通道63的内侧面中的自促动器板53的表面侧起Y方向的一半以上的深度形成。具体而言，对置电极93a在Y方向上遍及表面侧上切部63c的整个区域形成，并且遍及延展部63a的一半以上的区域形成。

连接部93b遍及成膜面63f的整个区域形成。连接部93b在第二吐出通道63内架设于对置电极93a彼此之间。此外，连接部93b形成于成膜面63f中的至少连结至第二吐出通道63的表面侧开口缘的既定区域即可。

如图4、图6所示，第二公共端子94在尾部95的表面中的位于第二吐出通道63的在X方向上的宽度内的部分沿Z方向以直线状延伸。第二公共端子94的X方向的宽度变得与第二吐出通道63的宽度同等。

第二公共端子94的下端缘在第二非吐出通道63的表面侧开口缘处电连接至形成于成膜面63f的连接部93b。另一方面，第二公共端子94的上端缘终止于尾部95上。

如图4、图7所示，第一驱动布线83具备第一单独电极97和第一单独端子98。

第一单独电极97形成于第一上游驱动壁71中的面向第一非吐出通道64的内侧面和第二上游驱动壁72中的面向第二非吐出通道65的内侧面。在图示的示例中，第一单独电极97在各非吐出通道64、65的内侧面遍及自促动器板53的表面侧起Y方向的一半以上的深度形成。

第一单独端子98在尾部95的表面处形成于比第一公共端子92更位于上方的部分。第一单独端子98为沿X方向延伸的带状。第一单独端子98在将第一吐出通道62夹在之间而在X方向上对置的非吐出通道64、65的开口缘处连接将第一吐出通道62夹在之间而在X方向上对置的第一单独电极97彼此。

如图4、图8所示，第二驱动布线84具备第二单独电极100和第二单独端子101。

第二单独电极100形成于第一下游驱动壁73中的面向第二非吐出通道65的内侧面和第二下游驱动壁74中的面向第三非吐出通道66的内侧面。在图示的示例中，第二单独电极100在各非吐出通道65、66的内侧面遍及自促动器板53的表面侧起Y方向的一半以上的深度形成。

第二单独端子101在尾部95的表面处形成于比第二公共端子94更位于上方的部分。第二单独端子101为沿X方向延展的带状。第二单独端子101在将第二吐出通道63夹在之间而在X方向上对置的非吐出通道65、66的开口缘处连接将第二吐出通道63夹在之间而在X方向上对置的第二单独电极100彼此。

在尾部95处，在位于第一公共端子92与第一单独端子98之间和第二公共端子94与第二单独端子101之间的部分，形成有划分槽105。划分槽105在尾部95处沿X方向延伸。划分槽105分别将第一公共端子92与第一单独端子98之间和第二公共端子94与第二单独端子101之间分离。

柔性印刷基板108压接于尾部95的表面。柔性印刷基板108在尾部95的表面处连接至公共端子92、94和单独端子98、101。柔性印刷基板108向上方伸出。

<第一盖板54>

如图3、图5、图6所示，第一盖板54通过粘接等来固定于促动器板53的表面。具体而言，第一盖板54将Y方向作为厚度方向配置。在Z方向上，第一盖板54的下端面与促动器板53的下端面共面地配置。在Z方向上，第一盖板54的上端面比促动器板53的划分槽105更位于下方。因此，第一盖板54以在尾部95的表面处使第一公共端子92和第二公共端子94的至少一部分露出的状态固定于促动器板53的表面。

在第一盖板54中，在从Y方向观察而与循环通道58的上端部叠合的位置，形成有入口公共墨水室110。入口公共墨水室110以例如跨越各循环通道58的长度沿X方向延伸，并且在第一盖板54的表面上开口。

在入口公共墨水室110中，在从Y方向观察而与第一吐出通道62叠合的位置，形成有入口狭缝(第一液体流路)111。入口狭缝111将各第一吐出通道62的上端部与入口公共墨水室110内之间分别连通。入口狭缝111沿Y方向与第一导向面62c相向。因此，入口狭缝111分别与各第一吐出通道62连通，另一方面，不与第二吐出通道63和各非吐出通道64-66连通。

<第二盖板55>

第二盖板55通过粘接等来固定于促动器板53的背面。具体而言，第二盖板55将Y方向作为厚度方向配置。在Z方向上，第二盖板55的下端面与促动器板53的下端面共面地配置。在Z方向上，第二盖板55的上端面与促动器板53的上端面共面地配置。

在第二盖板55中，在从Y方向观察而与循环通道58的上端部叠合的位置，形成有出口公共墨水室115。出口公共墨水室115以例如跨越各循环通道58的长度沿X方向延伸，并且在第二盖板55的背面上开口。

在出口公共墨水室115中，在从Y方向观察而与第二吐出通道63叠合的位置，形成有出口狭缝(第二液体流路)116。出口狭缝116将各第二吐出通道63的上端部与出口公共墨水室115内之间分别连通。出口狭缝116沿Y方向与第二导向面63d相向。因此，出口狭缝116分别与各第二吐出通道63连通，另一方面，不与第一吐出通道62和各非吐出通道64-66连通。

<返回板52>

如图4-图6所示，返回板52通过粘接等来统一地固定于促动器板53、第一盖板54和第二盖板55的下端面。具体而言，返回板52将Z方向作为厚度方向且将X方向作为长度方向配置。

在返回板52，形成有多个连接路120。各连接路120使构成一个循环通道58的第一吐出通道62和第二吐出通道63彼此连通。连接路120在与Y方向正交的截面观察下以U字状形成。具体而言，连接路120具备流出流路121、流入流路122和通过流路123。

流出流路121形成于返回板52中的在俯视观察下与第一吐出通道62的下端开口部叠合的位置。流出流路121在返回板52的上表面处开口，并且沿Z方向延伸。

流入流路122形成于返回板52中的在俯视观察下与第二吐出通道63的下端开口部叠合的位置。流入流路122在返回板52的上表面处开口，并且沿Z方向延伸。

通过流路123将流出流路121和流入流路122的下端开口部彼此连接。具体而言，通过流路123在返回板52的下表面处开口，并且沿X方向延伸。通过流路123在+X侧端部处与流出流路121连通，在-X侧端部处与流入流路122连通。

返回板52中的相对于一个连接路120位于+X侧的部分构成将与一个驱动单元67(循环通道58)对应的第一非吐出通道64(与在+X侧相邻的驱动单元67对应的第三非吐出通道66)的下端开口部闭塞的第一闭塞部131。

返回板52中的位于一个连接路120的流出流路121和流入流路122之间的部分构成将与一个驱动单元67(循环通道58)对应的第二非吐出通道65的下端开口部闭塞的第二闭塞部132。

返回板52中的相对于一个连接路120位于-X侧的部分构成将与一个驱动单元67(循环通道58)对应的第三非吐出通道66(与在-X侧相邻的另一驱动单元67对应的第一非吐出通道64)的下端开口部闭塞的第三闭塞部133。

因此，返回板52使构成一个驱动单元67(循环通道58)的吐出通道62、63彼此连通并同时将非吐出通道64-66闭塞。

此外，在本实施方式中，将返回板52作为单层部件示出，但不限于该构成。返回板52也可以是例如形成有流出流路121和流入流路122的第一板与形成有通过流路123的第二板的层叠构造等。

如图4所示，喷嘴板51通过粘接等来固定于返回板52的下表面。喷嘴板51将Z方向作为厚度方向且将X方向作为长度方向配置。在本实施方式中，喷嘴板51由聚酰亚胺等树脂材料厚度为50 μm左右地形成。但是，喷嘴板51也可以是除了树脂材料以外利用金属材料(SUS或Ni-Pd等)、玻璃、硅等的单层构造或层叠构造。

在喷嘴板51，形成有沿Z方向贯通喷嘴板51的多个喷嘴孔141。各喷嘴孔141分别形成于喷嘴板51中的在俯视观察下与各通过流路123重叠的位置。因此，连接路120通过喷嘴孔141与头芯片50的外部连通。各喷嘴孔141以例如随着从上方朝向下方而内径逐渐缩小的渐缩状形成。在图示的示例中，喷嘴孔141的上端开口部在通过流路123中的X方向的中央部(在俯视观察下与第二闭塞部132重叠的位置)处开口。但是，喷嘴孔141只要是与通过流路123内连通的构成，就也可以例如配置于X方向的任意位置。

[打印机1的动作方法]

接着，在以下对利用如上所述地构成的打印机1来将文字或图形等记录于被记录介质P的情况进行说明。

此外，作为初始状态，假设在图1所示的四个墨水罐4充分地封入有各自不同颜色的墨水。另外，墨水罐4内的墨水经由墨水循环机构6成为填充至喷墨头5内的状态。

在这样的初始状态下，如果使打印机1工作，则被记录介质P被搬送机构2、3的辊11、12夹入并同时向+X侧搬送。另外，与此同时，滑架29沿Y方向移动，从而搭载于滑架29的喷墨头5沿Y方向往复移动。

在喷墨头5往复移动期间，使墨水从各喷墨头5适当吐出至被记录介质P。由此，能够对被记录介质P进行文字或图像等的记录。

在此，在以下对各喷墨头5的活动详细地进行说明。

在如本实施方式那样的纵向循环式边缘喷射型喷墨头5中，首先，使图2所示的加压泵24和吸引泵25工作，从而使墨水流通于循环流路23内。在此情况下，流通于墨水供给管21的墨水通过入口公共墨水室110和入口狭缝111供给至各循环通道58的第一吐出通道62内。供给至第一吐出通道62内的墨水被第一导向面62c引导，并同时在第一吐出通道62内向下方流通。此后，墨水通过第一吐出通道62的下端开口部流出至连接路120内(流出流路121)。流动于连接路120的墨水经过流出流路121、通过流路123和流入流路122通过第二吐出通道63的下端开口部流入至第二吐出通道63内。流入至第二吐出通道63内的墨水在第二吐出通道63内向上方流通，被第二导向面63d引导，并同时朝向出口狭缝116流动。然后，墨水在通过出口狭缝116排出至出口公共墨水室115之后，通过墨水排出管22回到墨水罐4。由此，能够使墨水在喷墨头5与墨水罐4之间循环。

如果通过滑架29(参照图1)的移动来开始进行喷墨头5的往复移动，则经由柔性印刷基板108在第一公共电极91和第一单独电极97之间以及第二公共电极93和第二单独电极100之间施加驱动电压。此时，使单独电极97、100成为驱动电位Vdd并使公共电极91、93成为基准电位GND来在各电极之间施加驱动电压。于是，分别在将第一吐出通道62划界的上游驱动壁71、72和将第二吐出通道63划界的下游驱动壁73、74发生厚度滑动变形。由此，各驱动壁71-74以Y方向的中间部分为中心而以V字状发生弯折变形。即，上游驱动壁71、72以第一吐出通道62的容积扩大的方式变形，下游驱动壁73、74以第二吐出通道63的容积扩大的方式变形。

在使各吐出通道62、63的容积增大之后，使在第一公共电极91和第一单独电极97之间以及第二公共电极93和第二单独电极100之间施加的电压成为零。于是，驱动壁71-74复原，暂且增大了的吐出通道62、63的容积回到原容积。由此，吐出通道62、63的内部的压力增加，墨水被加压。然后，由于吐出通道62、63内的压力增加而产生的压力波传播至连接路120。其结果是，通过流路123内的墨水通过喷嘴孔141以液滴状吐出。从喷嘴孔141吐出的墨水命中于被记录介质P上，从而能够将文字或图像等记录于被记录介质P。

<头芯片50的制造方法>

接着，对上述的头芯片50的制造方法进行说明。图10-图15是用于说明头芯片50的制造方法的工序图，是与图3对应的立体图。在以下的说明中，为了方便起见，将以芯片级制造头芯片50的情况作为示例而说明。

头芯片50的制造方法具备背面加工工序、第二盖板层叠工序、磨削工序、图案形成工序、表面加工工序、成膜工序以及第一盖板层叠工序。此外，假设在叠合工序以前已经在各板53-55施行需要的加工。

如图10所示，在背面加工工序中，相对于促动器板53形成背面侧凹部150。背面侧凹部150构成图6所示的第二吐出通道63中的背面侧上切部63b和延展部63a的一部分(背面侧)。在背面加工工序中，使圆板状切割机200从促动器板53的背面侧相对于促动器板53中的第二吐出通道63的加工区域进入。此时，切割机的进入量比促动器板53的厚度更浅地设定。通过背面加工工序来在促动器板53形成朝向表面侧凸出的圆弧状背面侧凹部150。

如图11所示，在第二盖板层叠工序中，将第二盖板55层叠于促动器板53的背面。具体而言，以对应的出口狭缝116分别与一个背面侧凹部150连通的方式使促动器板53和第二盖板55贴合。

如图12所示，在磨削工序中，对促动器板53的表面施行磨削加工。此时，优选的是，磨削加工的加工量设定成背面侧凹部150不从促动器板53的表面开口的程度。

如图13所示，在掩模形成工序中，在促动器板53的表面上形成掩模图案220。具体而言，继在促动器板53的表面上形成掩模材料(例如，抗蚀膜)之后，使用光刻技术来将掩模材料图案化。此时，形成掩模材料中的至少公共端子92、94和单独端子98、101的加工区域开口的掩模图案220。在图示的示例中，形成于掩模图案220第一公共端子92用掩模开口221和第二公共端子94用掩模开口222分别在尾部95的表面上沿Z方向延伸。掩模开口221的下端部从Y方向观察而与第一吐出通道62的加工区域的一部分叠合。掩模开口222的下端部从Y方向观察而与第二吐出通道63的加工区域的一部分叠合。但是，关于掩模开口221、222，至少下端部到达对应的吐出通道62、63的加工区域即可。

另一方面，掩模开口221、222的上端部从Y方向观察而与划分槽105的加工区域(参照图13中的点划线105)叠合。

形成于掩模图案220的单独端子98、101用掩模开口223在尾部95的表面上沿X方向延伸。掩模开口223的一部分在俯视观察下与划分槽105的加工区域叠合。但是，掩模开口223也可以不到达划分槽105的加工区域。

在图14所示的表面加工工序中，对促动器板53形成第一吐出通道62、表面侧凹部151和非吐出通道64-66。表面侧凹部151构成第二吐出通道63中的表面侧上切部63c和延展部63a的一部分(表面侧)。在表面加工工序中，为了加工第一吐出通道62，使圆板状切割机200从促动器板53的表面侧相对于促动器板53中的第一吐出通道62的加工区域进入。此时，切割机200的进入量比促动器板53的厚度稍深地设定。由此，第一吐出通道62沿Y方向贯通促动器板53。

在表面加工工序中，为了加工表面侧凹部151，使圆板状切割机200从促动器板53的表面侧相对于促动器板53中的第二吐出通道63的加工区域进入。此时，切割机200的进入量比背面侧凹部150与促动器板53的表面之间的最小距离更深且比在上述的背面加工工序中的切割机200的进入量更浅地设定。如果使切割机200相对于促动器板53进入，则促动器板53与掩模图案220中的覆盖第二吐出通道63的加工区域的部分一起被切削。由此，在促动器板53，形成朝向背面侧凸出的圆弧状表面侧凹部151。另外，表面侧凹部151和背面侧凹部150互相连通来形成第二吐出通道63。此时，关于表面侧凹部151，形成于表面侧上切部63c的成膜面63f通过第二吐出通道63的表面侧开口部暴露于表面侧。

在表面加工工序中，为了形成非吐出通道64-66，通过使切割机200从促动器板53的表面侧相对于促动器板53中的非吐出通道64-66的加工区域进入来进行。此时，切割机200的进入量比促动器板53的厚度稍深地设定。由此，非吐出通道64-66沿Y方向贯通促动器板53。

在成膜工序中，通过从促动器板53的表面侧将电极材料成膜来形成布线81-84。在本实施方式中，成膜工序通过例如斜向蒸镀等来对促动器板53的表面从沿X方向倾斜的方向将电极材料成膜。于是，通过掩模图案220的掩模开口221-223在促动器板53的表面上将电极材料成膜，并且通过通道62-66的表面侧开口部在通道62-66的内表面将电极材料成膜。在电极材料成膜之后，通过剥离等来将掩模图案220除去，成膜工序结束。

如图15所示，在第一盖板层叠工序中，将第一盖板54层叠于促动器板53的表面。具体而言，以对应的入口狭缝111分别与一个表面侧凹部151连通的方式使促动器板53和第一盖板54贴合。由此，形成促动器板53与盖板54、55的接合体230。

此后，使返回板52贴合于接合体230的下端面。此时，以连接路120与构成一个循环通道58的第一吐出通道62和第二吐出通道63连通的方式使返回板52贴合于接合体230。

接下来，使喷嘴板51贴合于返回板52的下端面。此时，以喷嘴孔141与对应的连接路120连通的方式使喷嘴板51贴合于返回板52，。

通过以上来制造头芯片50。

此外，头芯片50也可以以晶圆级制造。在以晶圆级制造的情况下，首先，将多个促动器板53连结的促动器晶圆、多个第一盖板54连结的第一盖晶圆以及多个第二盖板55连结的盖晶圆接合来形成晶圆接合体。接下来，在将晶圆接合体切断之后，将上述的返回板52或喷嘴板51安装于晶圆接合体，从而形成多个头芯片50。

照此，在本实施方式的头芯片50中，为如下的构成：夹着连接路120而位于墨水的流通方向的两侧的吐出通道62、63中的第一吐出通道62被一对上游驱动壁71、72包围，第二吐出通道63被一对下游驱动壁73、74包围。

依据该构成，在吐出时，使上游驱动壁71、72和下游驱动壁73、74分别变形，从而能够增大墨水路径(从第一吐出通道62经过连接路120到达第二吐出通道63的路径)内的容积变化。其结果是，能够对墨水路径内的墨水产生强压力波。因此，能够确保墨水的吐出压力。

在本实施方式中，为如下的构成：在一对上游驱动壁71、72中，第一上游驱动壁71是位于第一吐出通道62与第一非吐出通道64之间的部分，第二上游驱动壁72是位于第一吐出通道62与第二非吐出通道65之间的部分。另外，为如下的构成：在一对下游驱动壁73、74中，第一下游驱动壁73是位于第二吐出通道63与第二非吐出通道65之间的部分，第二下游驱动壁74是位于第二吐出通道63与第三非吐出通道66之间的部分。

依据该构成，在各吐出通道62、63之间形成非吐出通道64-66，从而在被各吐出通道62、63和非吐出通道64-66包围的部分形成驱动壁71-74。由此，能够在各吐出通道62、63的两侧简单地形成驱动壁71-74。

在本实施方式中，返回板52为具备将非吐出通道64-66的下端开口部闭塞的闭塞部131-133的构成。

依据该构成，由返回板52将非吐出通道64-66的下端开口部闭塞，从而能够使驱动壁71-74延伸直至促动器板53的下端面。由此，容易使墨水的吐出压力有效地传播直至喷嘴孔。

在本实施方式中，为如下的构成：在促动器板53的表面侧，设置有形成有与第一吐出通道62内连通的入口狭缝111的第一盖板54，在促动器板53的背面侧，设置有形成有与第二吐出通道63内连通的出口狭缝116的第二盖板55。

依据该构成，第一吐出通道62和第二吐出通道63至少在促动器板53的不同面处开口，从而能够相对于促动器板53在厚度方向的两侧分别设置入口侧和出口侧的盖板54、55。由此，与在一块盖板形成入口狭缝和出口狭缝的情况相比，能够谋求构成的简化。

在本实施方式中，为如下的构成：在促动器板53，形成有遍及第一吐出通道62的内表面和尾部95的表面形成的第一公共布线81和遍及第二吐出通道63的内表面和尾部95的表面形成的第二公共布线82。

依据该构成，能够将与各吐出通道62、63对应的公共布线81，82在促动器板53的表面侧处连接至柔性印刷基板108。由此，能够谋求构成的简化。

在本实施方式中，为如下的构成：第一吐出通道62具备随着朝向背面侧而向下方延伸的第一导向面62c，第二吐出通道63具备随着朝向表面侧而向下方延伸的第二导向面63d。

依据该构成，从入口狭缝111流入至第一吐出通道62内的墨水沿着第一导向面62c朝向连接路120顺畅地流动。另一方面，从连接路120流入至第二吐出通道63内的墨水沿着第二导向面63d朝向出口狭缝116顺畅地流动。由此，能够减轻吐出通道62、63内的压力损失，使墨水在墨水路径内高效地循环。

本实施方式的头芯片50具备成膜面63f，成膜面63f在第二吐出通道63的内表面中的暴露于下方的面构成第二吐出通道63的表面侧开口缘的一部分，并且随着朝向背面侧而朝向下方延伸。在本实施方式的头芯片50中，为如下的构成：促动器板53的表面与成膜面63f所成的第一角度θ1比促动器板53的表面与第二导向面63d所成的第二角度θ2更小地设定。

依据该构成，成膜面63f通过第二吐出通道63的表面侧开口部暴露于外部。因此，当将第二公共电极93的电极材料通过第二吐出通道63的表面侧开口部导入至第二吐出通道63内时，能够将第二公共电极93的电极材料有效地成膜于成膜面63f。然后，通过在连接部93b处将第二公共电极93和第二公共端子94连接，能够通过第二吐出通道63的表面侧开口缘确保第二公共电极93与第二公共端子94的电连接。

(变形例)

接着，对上述的实施方式的变形例进行说明。在上述的实施方式中，对第二吐出通道63具备成膜面63f的构成进行了说明，但不限于该构成。例如，也可以如图16所示的头芯片50那样是第二吐出通道63仅具有朝向与第一吐出通道62的第一导向面62c相反的一侧延伸的第二导向面63d的构成。即，在本变形例的促动器板53中，第一导向面62c随着朝向上方而朝向表面侧延伸，另一方面，第二导向面63d随着朝向上方而朝向背面侧延伸。在此情况下，第二公共端子94经过第二导向面63d迂回至尾部95的背面上。第二公共端子94也可以另外将柔性印刷基板压接于尾部95的背面侧，也可以通过尾部95的上端面或尾部95的通孔等迂回至尾部95的表面侧。

在本变形例中，第一导向面62c也在Y方向上与入口狭缝111相向，第二导向面63d也在Y方向上与出口狭缝116相向。

因此，从入口狭缝111流入至第一吐出通道62内的墨水沿着第一导向面62c朝向连接路120顺畅地流动。另一方面，从连接路120流入至第二吐出通道63内的墨水沿着第二导向面63d朝向出口狭缝116顺畅地流动。由此，能够减轻吐出通道62、63内的压力损失，使墨水在墨水路径内高效地循环。

另外，在上述的实施方式中，对各吐出通道62、63分别被一对驱动壁71-74包围的构成进行了说明，但不限于该构成。例如，也可以如图17所示的头芯片50那样是相对于第一吐出通道62在+X侧设置有上游驱动壁71且相对于第二吐出通道63在-X侧设置有下游驱动壁74的所谓的单侧驱动式。在此情况下，促动器板53中的位于各吐出通道62、63之间的部分作为将吐出通道62、63分隔的分隔壁250起作用。即，在本实施方式中，上游驱动壁71和下游驱动壁74构成通过两个驱动壁71、74的驱动来将流通于一个循环通道58内的墨水从一个喷嘴孔141吐出的驱动单元67。

(其它变形例)

此外，本公开的技术范围不限定于上述的实施方式，在不脱离本公开的宗旨的范围内，能够添加各种变更。

例如，在上述的实施方式中，作为液体喷射记录装置的一个示例，举例说明了喷墨打印机1，但不限于打印机。例如，也可以是传真或按需印刷机等。

在上述的实施方式中，以在印刷时喷墨头相对于被记录介质移动的构成(所谓的往返机（シャトル機）)作为示例而进行了说明，但不限于该构成。本公开所涉及的构成也可以在将喷墨头固定的状态下使被记录介质相对于喷墨头移动的构成(所谓的固定头机)中采用。

在上述的实施方式中，对被记录介质P为纸的情况进行了说明，但不限于该构成。被记录介质P不限于纸，也可以是金属材料或树脂材料，也可以是食品等。

在上述的实施方式中，对液体喷射头搭载于液体喷射记录装置的构成进行了说明，但不限于该构成。即，从液体喷射头喷射的液体不限于命中于被记录介质的液体，也可以是例如在调剂中配合的药液或添加至食品的调料或香料等食品添加物、喷射至空气中的芳香剂等。

在上述的实施方式中，对Z方向与重力方向一致的构成进行了说明，但不仅限于该构成，也可以使Z方向沿着水平方向。

在上述的实施方式中，对第一方向与X方向一致且第二方向与Z方向一致的构成进行了说明，但不限于该构成。第一方向和第二方向也可以不同于X方向和Z方向而确定。

在上述的实施方式中，是第二角度θ2为钝角的构成，但不限于该构成。例如，第二角度θ2只要是比第一角度θ1更大的构成，就也可以是锐角，也可以是直角。

在上述的实施方式中，对公共端子92、94设置于吐出通道62、63中的在X方向上的宽度内的构成进行了说明，但不限于该构成。公共端子92、94也可以相对于吐出通道62、63在X方向的两侧超出。

在上述的实施方式中，对使用切割机200来切削各通道62-66的构成进行了说明，但不限于该构成。各通道62-66也可以通过喷砂或激光加工、蚀刻等来形成。

在上述的实施方式中，对将位于吐出通道62、63与非吐出通道64-66之间的部分作为驱动壁71-74使用的构成进行了说明，但不限于该构成。只要驱动壁71-74能够将吐出通道62、63分别划界并沿使吐出通道62、63扩大或缩小的方向变形即可。

在上述的实施方式中，以将第一吐出通道62作为上游侧流路并将第二吐出通道63作为下游侧流路的循环式头芯片50作为示例而说明，但不限于该构成。也可以成为第一吐出通道62和第二吐出通道63内的墨水分别朝向连接路120流动的构成。

在上述的实施方式中，对在促动器板53的两面分别设置有盖板54、55的构成进行了说明，但不限于该构成。形成有入口狭缝和出口狭缝的盖板也可以仅设置于促动器板53的任一个主面。

在上述的实施方式中，对各布线81-84迂回至促动器板53的表面上的构成进行了说明，但不限于该构成。各布线81-84也可以是在促动器板53的两面处分别连接至外部布线的构成。

在上述的实施方式中，作为本公开所涉及的末端部件，对分别具有喷嘴板51和返回板52的构成进行了说明，但不限于该构成。末端部件只要是至少具有连接路和喷嘴孔的构成，就也可以一体地形成。

此外，在不脱离本公开的宗旨的范围内，能够适当将上述的实施方式中的构成元件置换成众所周知的构成元件，另外，也可以使上述的各变形例适当组合。

符号说明

1……喷墨打印机(液体喷射记录装置)

5……喷墨头(液体喷射头)

50……头芯片

51……喷嘴板(末端部件)

52……返回板(末端部件)

53……促动器板

54……第一盖板

55……第二盖板

62……第一吐出通道(第一喷射通道)

62c……第一导向面

63……第二吐出通道(第二喷射通道)

63d……第二导向面

63f……成膜面(倾斜面)

64……第一非吐出通道(第一非喷射通道)

65……第二非吐出通道(第二非喷射通道)

66……第三非吐出通道(第三非喷射通道)

71……第一上游驱动壁(第一驱动壁)

72……第二上游驱动壁(第一驱动壁)

73……第一下游驱动壁(第二驱动壁)

74……第二下游驱动壁(第二驱动壁)

81……第一公共布线(第一布线部)

82……第二公共布线(第二布线部)

91a……对置电极(第一对置电极)

91b……连接部(第一连接部)

92……第一公共端子(第一端子)

93a……对置电极(第二对置电极)

93b……连接部(第二连接部)

94……第二公共端子(第二端子)

95……尾部

111……入口狭缝(第一液体流路)

116……出口狭缝(第二液体流路)

120……连接路

131……第一闭塞部(闭塞部)

132……第二闭塞部(闭塞部)

133……第三闭塞部(闭塞部)

141……喷嘴孔(喷射孔)。

Claims (9)

1. 一种头芯片，具备：

促动器板，其形成有沿第一方向隔开间隔而排列并且在朝向与所述第一方向交叉的第二方向的一侧的端面上开口的第一喷射通道和第二喷射通道；和

末端部件，其设置于所述促动器板的所述端面上，具有将所述第一喷射通道和所述第二喷射通道之间连接的连接路和将所述连接路内外连通的喷射孔，

所述第一喷射通道被在所述第一方向上相向并且以使所述第一喷射通道扩大或缩小的方式变形的一对第一驱动壁包围，

所述第二喷射通道被在所述第一方向上相向并且以使所述第二喷射通道扩大或缩小的方式变形的一对第二驱动壁包围。

2.根据权利要求1所述的头芯片，其中，

在所述促动器板，形成有：

第一非喷射通道，其相对于所述第一喷射通道位于与所述第二喷射通道相反的一侧，沿所述第二方向延伸；

第二非喷射通道，其位于所述第一喷射通道和所述第二喷射通道之间，沿所述第二方向延伸；以及

第三非喷射通道，其相对于所述第二喷射通道位于与所述第一喷射通道相反的一侧，沿所述第二方向延伸，

所述一对第一驱动壁中的一个所述第一驱动壁是位于所述第一喷射通道与所述第一非喷射通道之间的部分，

所述一对第一驱动壁中的另一个所述第一驱动壁是位于所述第一喷射通道与所述第二非喷射通道之间的部分，

所述一对第二驱动壁中的一个所述第二驱动壁是位于所述第二喷射通道与所述第二非喷射通道之间的部分，

所述一对第二驱动壁中的另一个所述第二驱动壁是位于所述第二喷射通道与所述第三非喷射通道之间的部分。

3.根据权利要求2所述的头芯片，其中，

所述第一非喷射通道、所述第二非喷射通道和所述第三非喷射通道在所述促动器板的所述端面上开口，

所述末端部件具备将所述第一非喷射通道、所述第二非喷射通道和所述第三非喷射通道闭塞的闭塞部。

4.根据权利要求1至权利要求3中的任一项所述的头芯片，其中，

如果将从所述第二方向观察而与所述第一方向交叉的方向作为所述促动器板的厚度方向，则：

所述第一喷射通道至少在所述促动器板中的所述厚度方向的第一主面上开口，

所述第二喷射通道至少在所述促动器板中的所述厚度方向的第二主面上开口，

在所述促动器板的所述第一主面侧，设置有形成有与所述第一喷射通道内连通的第一液体流路的第一盖板，

在所述促动器板的所述第二主面侧，设置有形成有与所述第二喷射通道内连通的第二液体流路的第二盖板。

5.根据权利要求4所述的头芯片，其中，

所述促动器板具备相对于所述第一喷射通道位于所述第二方向的另一侧的尾部，

所述第二喷射通道沿所述厚度方向贯通所述促动器板，

在所述促动器板，形成有：

第一布线部，其遍及所述第一喷射通道的内表面和所述尾部中的所述第一主面形成；和

第二布线部，其遍及所述第二喷射通道的内表面和所述尾部中的所述第一主面形成。

6.根据权利要求5所述的头芯片，其中，

所述第一喷射通道的内表面中的暴露于所述第二方向的一侧的面具备第一导向面，所述第一导向面构成在所述第一主面上的所述第一喷射通道的开口缘的一部分，并且随着在所述厚度方向上朝向所述第二主面侧而沿所述第二方向朝向一侧延伸，

所述第二喷射通道的内表面中的暴露于所述第二方向的一侧的面具备：

第二导向面，其随着在所述厚度方向上朝向所述第一主面侧而沿所述第二方向朝向一侧延伸；和

倾斜面，其随着在所述厚度方向上朝向所述第一主面侧而沿所述第二方向朝向另一侧延伸，并且构成在所述第一主面上的所述第二喷射通道的开口缘的一部分，

所述第一布线部具备：

第一对置电极，其形成于所述第一喷射通道的内表面中的在所述第一方向上相向的内侧面；

第一端子，其形成于所述尾部中的所述第一主面；以及

第一连接部，其形成于所述第一导向面，将所述第一对置电极和所述第一端子之间电连接，

所述第二布线部具备：

第二对置电极，其形成于所述第二喷射通道的内表面中的在所述第一方向上相向的内侧面；

第二端子，其形成于所述尾部中的所述第一主面；以及

第二连接部，其形成于所述倾斜面，将所述第二对置电极和所述第二端子之间电连接。

7. 一种头芯片，具备：

促动器板，其形成有沿第一方向隔开间隔而排列并且在朝向与所述第一方向交叉的第二方向的一侧的端面上开口的第一喷射通道和第二喷射通道；和

末端部件，其设置于所述促动器板的所述端面上，具有将所述第一喷射通道和所述第二喷射通道之间连接的连接路和将所述连接路内外连通的喷射孔，

所述第一喷射通道在从所述第一方向观察而与所述第二方向交叉的厚度方向上至少在所述促动器板的第一主面上开口，并且在暴露于所述第二方向的一侧的面具备第一导向面，所述第一导向面构成在所述第一主面上的所述第一喷射通道的开口缘的一部分，并且随着在所述厚度方向上朝向所述第二主面侧而沿所述第二方向朝向一侧延伸，

所述第二喷射通道至少在所述促动器板中的所述厚度方向的第二主面上开口，并且在暴露于所述第二方向的一侧的面具备第二导向面，所述第二导向面随着在所述厚度方向上朝向所述第一主面侧而沿所述第二方向朝向一侧延伸，

在所述促动器板的所述第一主面侧，在与所述第一导向面在所述厚度方向上相向的位置，设置有形成有与所述第一喷射通道内连通的第一液体流路的第一盖板，

在所述促动器板的所述第二主面侧，在与所述第二导向面在所述厚度方向上相向的位置，设置有形成有与所述第二喷射通道内连通的第二液体流路的第二盖板。

8.一种液体喷射头，具备根据权利要求1至权利要求7中的任一项所述的头芯片。

9.一种液体喷射记录装置，具备根据权利要求8所述的液体喷射头。

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