CN114379014A - 树脂供给方法、树脂成形品的制造方法及树脂成形装置 - Google Patents

树脂供给方法、树脂成形品的制造方法及树脂成形装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种树脂供给方法、树脂成形品的制造方法及树脂成形装置，其中树脂供给方法能够通过适当地更换料盒来适当地进行树脂供给。一种树脂供给方法，包括：第一次树脂供给步骤，将余量小于向供给对象供给一次树脂所需的目标供给量的、收容于第一料盒中的液状树脂供给至所述供给对象；料盒更换步骤，在所述第一次树脂供给步骤之后，将所述第一料盒与进行了预喷后的第二料盒进行更换；以及第二次树脂供给步骤，在所述料盒更换步骤之后，将收容于所述第二料盒中的液状树脂供给至所述供给对象。

Description

树脂供给方法、树脂成形品的制造方法及树脂成形装置
技术领域
本发明涉及一种树脂供给方法、树脂成形品的制造方法及树脂成形装置的技术。
背景技术
专利文献1中公开了一种液状树脂供给装置，其向半导体芯片保持于承载板上的工件供给液状树脂。在所述液状树脂供给装置中，在将注射器中填充的液状树脂喷出并供给至工件的分配单元上，设有保持更换用的注射器的注射器供给部。分配单元可在注射器的液状树脂的余量变少时，从注射器供给部接收更换用的注射器，向保持在液状喷出位置的工件喷出并供给规定量的液状树脂。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2012-126075号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
然而，在专利文献1中，并未记载用于在注射器的余量在对一个工件供给树脂的中途用尽的情况下，更换注射器而继续供给树脂的具体方法。即，现状是并未提出在此种情况下更换注射器进行树脂供给的具体技术。
本发明是鉴于如以上所述的状况而完成，其所要解决的课题是提供一种能够通过适当地更换料盒来适当地进行树脂供给的树脂供给方法、树脂成形品的制造方法及树脂成形装置。
[解决问题的技术手段]
本发明所要解决的课题如以上所述，为了解决所述课题，本发明的树脂供给方法包括：第一次树脂供给步骤，将余量小于向供给对象供给一次树脂所需的目标供给量的、收容于第一料盒中的液状树脂供给至所述供给对象；料盒更换步骤，在所述第一次树脂供给步骤之后，将所述第一料盒与进行了预喷后的第二料盒进行更换；以及第二次树脂供给步骤，在所述料盒更换步骤之后，将收容于所述第二料盒中的液状树脂供给至所述供给对象。
另外，本发明的树脂成形品的制造方法是使用利用所述树脂供给方法供给的液状树脂来制造树脂成形品的方法。
另外，本发明的树脂成形装置包括：成形模，包括上模及与所述上模相向的下模；合模机构，将所述成形模合模；以及液状树脂供给机构，供给在所述成形模中使用的液状树脂，所述液状树脂供给机构将余量小于向供给对象供给一次树脂所需的目标供给量的、收容于第一料盒中的液状树脂供给至所述供给对象，将所述第一料盒与进行了预喷后的第二料盒进行更换，并将收容于所述第二料盒中的液状树脂供给至所述供给对象。
[发明的效果]
根据本发明，可通过适当地更换料盒来适当地进行树脂供给。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的树脂成形装置的整体结构的平面示意图。
图2的(a)是表示树脂供给模块的一部分的概略结构的侧面图。图2的(b)是表示由树脂面检测传感器进行检测的情形的侧面图。
图3是表示树脂成形模块的概略结构的侧面图。
图4是表示由液状树脂喷出机构供给树脂的情形的平面示意图。
图5是本发明的一实施方式的树脂供给方法的流程图。
图6是表示图5的后续的流程图。
图7是表示由液状树脂喷出机构进行填充动作的情形的侧面图。
[符号的说明]
1：树脂成形装置
5：成形前基板
6：成形后基板
10：脱模膜切断模块
11：卷状脱模膜(脱模膜)
12：脱模膜
13：膜载置台
14：膜夹持器
20：树脂供给模块
21：树脂输送机构
22：膜回收机构
23：液状树脂喷出机构
23a：马达
23b：杆
23c：移动机构
23d：树脂面检测传感器
23e：杆位置检测传感器
24：膜吸附台
25：计量器
26：料盒设置部
30：树脂成形模块
31：成形模
32：下模
32a：侧面构件
32b：底面构件
33：腔室
34：上模
35：合模机构
40：输送模块
41：基板装载机
42：吸附手
43：吸附手移动机构
45：成形前基板收纳部
46：成形后基板收纳部
70：液状树脂
C：料盒
C1：旧料盒
C2：新料盒
CTR：控制部
N：喷嘴
S101～S112：步骤
U：容器
X、Y、Z、θ：方向
具体实施方式
参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。再者，对于图中的相同或相当部分，赋予相同的符号，不重复其说明。再者，在本申请文件中，液状树脂的“液状”这一用语是指在常温下为液状，具有流动性。另外，在以下的说明中，将水平面上相互正交的两个方向分别定义为X方向及Y方向，将铅垂方向定义为Z方向，将以平行于Z方向的旋转轴为中心的旋转方向定义为θ方向来进行说明(参照图1)。
＜树脂成形装置1的整体结构＞
参照图1～图3说明本实施方式的树脂成形装置1的结构。图1所示的树脂成形装置1是通过压缩成形法进行树脂成形的树脂成形装置1。
如图1所示，实施方式的树脂成形装置1从此图右侧起包括脱模膜切断模块10、树脂供给模块20、树脂成形模块30及输送模块40。各模块分别独立地分开，但相对于邻接的模块能够相互装卸且能够增减。例如，可设为在树脂供给模块20与输送模块40之间配置两个或三个树脂成形模块30的结构。
如图1所示，脱模膜切断模块10主要包括卷状脱模膜11、膜载置台13、及膜夹持器14。利用膜夹持器14从卷状脱模膜11拉出长条的脱模膜，并将其一部分配置成覆盖膜载置台13。通过用刀具将其切断成圆形，可制成圆形形状的脱模膜12。膜载置台13可沿X方向、Y方向、Z方向移动，可在脱模膜切断模块10与树脂供给模块20之间移动。再者，脱模膜12的形状并不特别限定于圆形形状，例如也可为矩形形状。
如图1所示，树脂供给模块20主要包括树脂输送机构21、膜回收机构22、液状树脂喷出机构23、膜吸附台24、控制部CTR。树脂输送机构21与膜回收机构22一体化地构成，可在脱模膜切断模块10与后述的树脂成形模块30之间移动。树脂输送机构21可将被供给了液状树脂70的脱模膜12输送至后述的成形模31。膜回收机构22可从成形模31内回收已使用的脱模膜12。如图2的(a)及图2的(b)所示，液状树脂喷出机构23可从喷嘴N向脱模膜12上供给液状树脂70。膜吸附台24可吸附并保持被切断的脱模膜12。在膜吸附台24的下方包括计量器25，计量器25可计量喷出至脱模膜12上的液状树脂70的重量。控制部CTR可控制液状树脂喷出机构23的各部的动作。
液状树脂喷出机构23可喷出收容于料盒C中的液状树脂70。具体而言，液状树脂喷出机构23可在喷嘴N朝下的状态下保持料盒C。液状树脂喷出机构23使用能够利用来自马达23a的驱动力升降的杆23b，从上方挤出收容于料盒C中的液状树脂70，由此可将液状树脂70从喷嘴N向下方喷出。液状树脂喷出机构23可通过移动机构23c沿水平方向(X方向及Y方向)以及铅垂方向(Z方向)移动。液状树脂喷出机构23可通过将杆23b的驱动与利用移动机构23c的移动加以组合，向任意位置喷出液状树脂70，或者一边喷出液状树脂70一边移动。再者，本实施方式的液状树脂喷出机构23及杆23b分别是本发明的液状树脂供给机构及供给构件的实施形态的一种。
另外，在液状树脂喷出机构23上，作为用于检测收容于料盒C中的液状树脂70的余量的传感器，设置有树脂面检测传感器23d及杆位置检测传感器23e。
图2的(b)所示的树脂面检测传感器23d可检测从由液状树脂喷出机构23保持的料盒C的上方至收容于料盒C中的液状树脂70的上端面为止的距离。作为树脂面检测传感器23d，例如可使用光学式、超声波式、电波式等各种距离传感器。根据由树脂面检测传感器23d检测出的到液状树脂70的上端面为止的距离(上端面的位置)、料盒C的截面面积、液状树脂70的比重，可计算出收容于料盒C中的液状树脂70的量(余量)。
另外，图2的(a)所示的杆位置检测传感器23e可检测杆23b的位置。作为杆位置检测传感器23e，可使用例如电位计式、光学式、磁性式等各种位置传感器。基于由树脂面检测传感器23d检测出的初始的树脂余量、以及由杆位置检测传感器23e检测出的杆23b的位置，可计算出收容于料盒C中的液状树脂70的量(余量)。
在本实施方式中，通过树脂面检测传感器23d检测出在液状树脂70被杆23b挤出之前的料盒C(即，新品的料盒C)中收容的液状树脂70的余量(初始的树脂余量)。另外，在本实施方式中，通过杆位置检测传感器23e检测出在液状树脂70开始被杆23b挤出之后的料盒C中收容的液状树脂70的余量。
如图1及图3所示，树脂成形模块30主要包括成形模31及合模机构35。成形模31包括上模34及与上模34相向的下模32。下模32包括构成腔室33侧面的侧面构件32a及构成腔室33底面的底面构件32b。通过侧面构件32a及底面构件32b形成收容液状树脂70的凹部状的腔室33。另外，侧面构件32a及底面构件32b包括用于吸附脱模膜12的吸附槽(未图示)。从树脂供给模块20利用树脂输送机构21将供给了液状树脂70的脱模膜12输送到成形模31，且配置在下模32的腔室33上。在树脂成形模块30中，利用合模机构35对成形模31进行合模，从而对搭载有作为成形对象物的芯片的成形前基板5进行树脂成形，而可形成芯片经树脂密封的成形后基板6。作为基板，可列举硅晶片等半导体基板、引线框架、印刷配线基板、金属制基板、树脂制基板、玻璃制基板、陶瓷制基板等。另外，基板也可为用于扇出型晶片级封装(Fan Out Wafer Level Packaging，FOWLP)、扇出型面板级封装(Fan Out Panel LevelPackaging，FOPLP)的载体。进一步说，既可以是已实施了配线的基板，也可以是未配线的基板。
如图1所示，输送模块40主要包括基板装载机41、吸附手42、吸附手移动机构43、成形前基板收纳部45、成形后基板收纳部46。基板装载机41可保持基板并在树脂成形模块30与输送模块40之间移动。吸附手42配备在吸附手移动机构43，吸附手移动机构43可使吸附手42沿X方向、Y方向、Z方向移动并且沿θ方向旋转。关于旋转，既可使吸附手42沿水平方向旋转，也可使吸附手42沿铅垂方向旋转并反转。吸附手42可吸附保持收纳在成形前基板收纳部45中的成形前基板5，且可利用吸附手移动机构43将其输送至基板装载机41。另外，吸附手42可吸附保持被基板装载机41保持的成形后基板6，且可利用吸附手移动机构43将其收纳于成形后基板收纳部46。
＜使用树脂成形装置1的树脂成形品的制造方法＞
接着，参照图1～图4说明使用本实施方式的树脂成形装置1的本实施方式的树脂成形品的制造方法的一例。在本实施方式中，作为搭载芯片的基板，使用圆形形状的晶片进行说明，但并不特别限定于晶片，也可为矩形形状。
首先，如图1所示，将吸附手42插入到搭载有在成形前基板收纳部45中收容的芯片的成形前基板5的下侧，在吸附成形前基板5后，从成形前基板收纳部45取出成形前基板5。此处，成形前基板5以芯片的搭载侧为上侧而从成形前基板收纳部45取出。
接着，使吸附在吸附手42上的基板反转，将基板的芯片的搭载侧作为下侧。然后，利用吸附手移动机构43使吸附手42移动，将吸附在吸附手42上的基板的芯片的搭载面作为下侧，将成形前基板5交接到基板装载机41上。
此时，在脱模膜切断模块10中，正进行脱模膜12的切断。利用膜夹持器14将卷状脱模膜11拉出到膜载置台13上，利用刀具(未图示)切断所述脱模膜11，形成圆形形状的脱模膜12。
吸附保持有脱模膜12的膜载置台13移动至树脂输送机构21的前方。树脂输送机构21移动至膜载置台13的上方，接收脱模膜12并输送到树脂供给模块20的膜吸附台24。树脂输送机构21成为脱模膜12位于膜吸附台24的上方的状态。膜吸附台24从树脂输送机构21接收到脱模膜12后，吸附保持脱模膜12。
在脱模膜12被吸附保持在膜吸附台24上之后，液状树脂喷出机构23向脱模膜12上喷出液状树脂70。如图4所示，液状树脂喷出机构23一边沿着预定的路径在水平方向(X方向及Y方向)上移动，一边喷出液状树脂70。在本实施方式中，液状树脂喷出机构23通过沿着螺旋状的路径移动，向脱模膜12上螺旋状地供给液状树脂70。供给至脱模膜12上的液状树脂70的重量由图2的(a)及图2的(b)所示的计量器25进行计量。再者，本实施方式的脱模膜12是本发明的供给对象的实施形态的一种。另外，关于利用液状树脂喷出机构23供给液状树脂70的方法，将在下文中详细说明。
供给了目标供给量(目标重量)的液状树脂70的脱模膜12被输送至成形模31。脱模膜12通过树脂输送机构21被输送到树脂成形模块30的上模34与下模32之间。再者，在将脱模膜12配置于成形模31之前，使保持有成形前基板5的基板装载机41移动至上模34与下模32之间，并以芯片的搭载侧成为下侧的方式将成形前基板5配置于上模34。
如图3所示，由树脂输送机构21输送到上模34与下模32之间的脱模膜12配置在包括下模32的侧面构件32a及底面构件32b的腔室33内。在腔室33中配置脱模膜12后，通过侧面构件32a及底面构件32b的吸附槽(未图示)吸附脱模膜12。
如图3所示，在利用腔室33吸附保持脱模膜12后，将输送有脱模膜12的成形模31合模而进行树脂成形。具体而言，通过合模机构35使下模32上升。由此，上模34与下模32相互接近而合模，安装于成形前基板5下表面的芯片浸渍于腔室33内的液状树脂70中。在此状态下，液状树脂70被加热而硬化，由此可对成形前基板5进行树脂成形，从而可制造芯片经树脂密封的成形后基板6。树脂成形后，利用合模机构35使下模32下降。由此，上模34与下模32相互分离而开模。
成形后基板6由基板装载机41从上模34取出，以芯片的搭载侧为下侧而被保持。然后，基板装载机41从树脂成形模块30向输送模块40移动。此处，残留在腔室33中的脱模膜12被膜回收机构22回收，并被废弃到无用膜料盒(未图示)中。
保持在基板装载机41上的成形后基板6被输送到输送模块40后，利用吸附手42将芯片的搭载侧作为下侧，并利用吸附手42吸附保持。其后，使吸附在吸附手42上的成形后基板6反转，使成形后基板6的芯片的搭载侧为上侧，利用吸附手移动机构43使吸附手42移动。然后，吸附手42在以芯片的搭载侧为上侧的状态下将成形后基板6收容在成形后基板收纳部46中。
＜利用液状树脂喷出机构23的树脂供给方法＞
以下，对利用液状树脂喷出机构23供给液状树脂70的方法(树脂供给方法)进行具体说明。
在图5所示的步骤S101中，控制部CTR检测在保持于液状树脂喷出机构23的料盒C中收容的液状树脂70的量。具体而言，控制部CTR可使用树脂面检测传感器23d或杆位置检测传感器23e检测料盒C的液状树脂70的量。此时，若为液状树脂喷出机构23刚刚保持新品的料盒C之后(杆23b被安置于料盒C上之前)，则控制部CTR使用树脂面检测传感器23d检测液状树脂70的量(参照图2的(b))。另外，若液状树脂喷出机构23处于保持了使用中途的料盒C的状态(杆23b被安置于料盒C上的状态)，则控制部CTR使用杆位置检测传感器23e检测液状树脂70的量(参照图2的(a))。
控制部CTR在进行了步骤S101的处理后，转移到步骤S102的处理。
在步骤S102中，控制部CTR判定在步骤S101中检测出的料盒C的液状树脂70的量(余量)是否剩余向脱模膜12供给一次树脂所需的目标供给量以上。再者，在本实施方式中，所谓目标供给量，是应对一张脱模膜12供给的液状树脂70的量，而且，是利用树脂成形模块30进行一次树脂成形所需的液状树脂70的量。
在控制部CTR判定为料盒C的液状树脂70的量(余量)剩余目标供给量以上的情况下(步骤S102中为是(YES))，转移到步骤S106。另一方面，在控制部CTR判定为料盒C的液状树脂70的量(余量)小于(不足)目标供给量的情况下(步骤S102中为否(NO))，转移到步骤S103。
在步骤S103中，控制部CTR将保持于液状树脂喷出机构23中的料盒C(为了方便起见，也将此料盒C称为“旧料盒C1”)暂时更换为新品的料盒C(为了方便起见，也将此料盒C称为“新料盒C2”)，更换用的新料盒C2例如预先配置于膜吸附台24附近的料盒设置部26上(参照图1)。控制部CTR将旧料盒C1放置于料盒设置部26上，取而代之将新料盒C2保持于液状树脂喷出机构23上。再者，旧料盒C1及新料盒C2分别为本发明的第一料盒及第二料盒的实施形态的一种。
控制部CTR在进行了步骤S103的处理后，转移到步骤S104的处理。
在步骤S104中，控制部CTR向新料盒C2的喷嘴N填充液状树脂70。具体而言，如图7所示，控制部CTR使用适宜的输送装置将容器U配置于膜吸附台24上。然后，驱动杆23b，向下方按压收容于新料盒C2中的液状树脂70，从喷嘴N向下方的容器U喷出少量液状树脂70(预喷)。由此，可向新料盒C2的前端(喷嘴N)填充液状树脂70。
另外，在步骤S104中，控制部CTR确认利用液状树脂喷出机构23喷出液状树脂70是否正常地进行。具体而言，控制部CTR从新料盒C2喷出预定的规定量的液状树脂70。另外，控制部CTR利用计量器25计量喷出的液状树脂70的重量。控制部CTR通过比较规定量与实际计量的重量，确认(动作确认及精度确认)是否从液状树脂喷出机构23正常地喷出了液状树脂70。
再者，在通过所述确认发现了异常的情况下，控制部CTR可使用适宜的手段(例如利用画面显示或声音的告知)通知利用者存在异常的情况。
控制部CTR在进行了步骤S104的处理后，转移到步骤S105的处理。
在步骤S105中，控制部CTR将保持于液状树脂喷出机构23中的新料盒C2再次更换为旧料盒C1。即，控制部CTR将进行了预喷的新料盒C2保持于料盒设置部26中，取而代之将旧料盒C1保持于液状树脂喷出机构23中。
控制部CTR在进行了步骤S105的处理后，转移到步骤S106的处理。
在步骤S106中，控制部CTR开始利用液状树脂喷出机构23向脱模膜12供给液状树脂70(树脂喷洒)。具体而言，如图4所示，控制部CTR一边使液状树脂喷出机构23沿水平方向(X方向及Y方向)移动，一边喷出液状树脂70，向脱模膜12上螺旋状地供给液状树脂70。
此处，在通过步骤S103～步骤S105的处理转移到步骤S106的情况下，控制部CTR在先进行了新料盒C2的准备(预喷)的状态下，从旧料盒C1进行树脂供给。
控制部CTR在进行了步骤S106的处理后，转移到步骤S107的处理。
在图6所示的步骤S107中，控制部CTR使用杆位置检测传感器23e，判定液状树脂喷出机构23的杆23b相对于料盒C是否到达了最下位置(末端位置)。再者，所谓末端位置，是杆23b相对于料盒C的可动范围中的最下方的位置。即，所谓杆23b到达了末端位置的状态，是指液状树脂70从料盒C尽可能地喷出的状态。末端位置经预先任意设定。另外，末端位置也能够根据料盒C的种类适宜变更。
在控制部CTR判定为杆23b到达了料盒C的末端位置的情况下(步骤S107中为是)，转移到步骤S108。另一方面，在控制部CTR判定为杆23b未到达料盒C的末端位置的情况下(在步骤S107中为否)，转移到步骤S111。
在步骤S108中，控制部CTR暂时停止利用液状树脂喷出机构23向脱模膜12供给液状树脂70(树脂喷洒)。具体而言，控制部CTR停止液状树脂喷出机构23向水平方向(X方向及Y方向)的移动，并且停止液状树脂70的喷出(杆23b的下降)。此时，控制部CTR使用水平方向上的坐标(X方向及Y方向的坐标)存储液状树脂喷出机构23停止的位置。
再者，控制部CTR在停止液状树脂70的喷出后，使料盒C沿上下方向往复移动多次(断液动作)。由此，可使附着于料盒C(喷嘴N)上的液状树脂70落下到脱模膜12上。
控制部CTR在进行了步骤S108的处理后，转移到步骤S109的处理。
在步骤S109中，控制部CTR将保持于液状树脂喷出机构23中的旧料盒C1更换为在步骤S104中进行了喷嘴N的填充(预喷)的新料盒C2。
控制部CTR在进行了步骤S109的处理后，转移到步骤S110的处理。
在步骤S110中，控制部CTR从步骤S108中存储的位置(暂时停止的位置)重新开始利用液状树脂喷出机构23的液状树脂70的供给。具体而言，控制部CTR使保持有新料盒C2的液状树脂喷出机构23移动到在步骤S108中暂时停止的位置。控制部CTR使液状树脂喷出机构23从此位置再次沿着螺旋状的路径在水平方向上移动，并且喷出液状树脂70。即，在本实施方式中，步骤S108中停止液状树脂70的供给的位置(停止位置)与步骤S110中重新开始液状树脂70的供给的位置(开始位置)相同。
如此，通过从与停止位置相同的位置(开始位置)继续沿着螺旋状的路径重新开始树脂供给，可防止在相同的路径上重复地供给液状树脂70，进而可实现液状树脂70的均匀化。
再者，在步骤S110中，未必需要从步骤S108的停止位置重新开始液状树脂70的喷出。例如，也可将以停止位置为基准稍微偏移的位置(例如，沿着螺旋状路径的稍下游侧)作为开始位置，从所述开始位置重新开始液状树脂70的喷出。由此，可防止在停止位置重复地供给液状树脂70，从而可更有效地实现脱模膜12上的液状树脂70的均匀化。
控制部CTR在进行了步骤S110的处理后，转移到步骤S111的处理。
在步骤S111中，控制部CTR使用计量器25判定向脱模膜12上喷出的液状树脂70的重量是否达到了目标供给量。在控制部CTR判定为液状树脂70的重量达到了目标供给量的情况下(步骤S111中为是)，转移到步骤S112。另一方面，在控制部CTR判定为液状树脂70的重量未达到目标供给量的情况下(步骤S111中为否)，再次转移到步骤S107，反复进行步骤S107以后的处理直到液状树脂70的重量达到目标供给量为止。
在步骤S112中，控制部CTR停止并结束利用液状树脂喷出机构23向脱模膜12供给液状树脂70(树脂喷洒)。另外，与步骤S108同样，控制部CTR进行料盒C的断液动作。在此时间点，残留在液状树脂喷出机构23所保持的料盒C中的液状树脂70用于向下一个脱模膜12供给液状树脂70。
以此方式被供给了目标供给量的液状树脂70的脱模膜12如上所述被输送到成形模31，进行树脂成形。
如此，在旧料盒C1的液状树脂70的余量小于目标供给量的情况下(步骤S102中为否)，预先进行新料盒C2的填充动作(步骤S104)，并开始从旧料盒C1喷出液状树脂70(步骤S106)。然后，在旧料盒C1的余量用完的时间点(步骤S107中为是)，暂时停止树脂供给(步骤S108)，进行向新料盒C2的更换(步骤S109)。通过如此在一次树脂供给(对一张脱模膜12的树脂供给)的中途进行料盒C的更换，可在不废弃余量小于目标供给量的旧料盒C1的液状树脂70的情况下尽可能地用尽，因此可实现制造成本的降低。另外，通过更换为预先进行了预喷的新料盒C2，可实现更换时间的缩短，从而可迅速重新开始树脂供给。因此，可抑制供给至脱模膜12的液状树脂70的状态随着更换时的时间经过而变化，进而可进行适当的树脂供给。
如以上所述，本实施方式的树脂供给方法包括：
第一次树脂供给步骤(步骤S106)，将余量小于向脱模膜12(供给对象)供给一次树脂所需的目标供给量的、收容于旧料盒C1(第一料盒)中的液状树脂70供给至所述脱模膜12；
料盒更换步骤(步骤S109)，在所述第一次树脂供给步骤之后，将所述旧料盒C1与进行了预喷后的新料盒C2(第二料盒)进行更换；以及
第二次树脂供给步骤(步骤S110)，在所述料盒更换步骤之后，将收容于所述新料盒C2中的液状树脂70供给至所述脱模膜12。
通过如此构成，可通过适当地更换料盒C来适当地进行树脂供给。另外，可极力使用旧料盒C1的液状树脂70，从而可削减(降低制造成本)液状树脂70的废弃量。
另外，在所述第二次树脂供给步骤(步骤S110)中，从基于在所述第一次树脂供给步骤(步骤S106)中停止从所述旧料盒C1供给液状树脂70时的停止位置确定的开始位置开始液状树脂70的供给。
通过如此构成，可实现供给至脱模膜12的液状树脂70的均匀化。即，通过基于停止位置将适当的位置设为开始位置，可防止例如液状树脂70向重复的位置的供给，进而可实现液状树脂70的均匀化。
另外，所述停止位置及所述开始位置是使用在水平面上相互正交的两个方向(X方向及Y方向)的坐标来规定。
通过如此构成，可容易地管理停止位置及开始位置。即，由于可使用简单的两个方向的坐标来管理停止位置，因此可容易地进行位置的管理。
另外，在所述第一次树脂供给步骤(步骤S106)中，基于将收容于所述旧料盒C1中的液状树脂70挤出而供给的杆23b(供给构件)的位置，停止从所述旧料盒C1供给液状树脂70。
通过如此构成，可容易地检测停止液状树脂70的供给时的液状树脂70的余量。即，使用杆位置检测传感器23e来检测杆23b的位置，由此可容易地检测出收容于难以从外部视认的旧料盒C1中的液状树脂70的余量。
另外，本实施方式的树脂供给方法在所述第一次树脂供给步骤(步骤S106)之前，还包括树脂余量测量步骤(步骤S101)，测量收容于所述旧料盒C1中的液状树脂70的余量。
通过如此构成，事先掌握旧料盒C1的余量，由此可掌握更换为新料盒C2的必要性，进而可掌握填充动作(预喷)的必要性。由此，可在不需要更换的情况下省略填充动作(步骤S104等)的处理，从而可实现作业工序的简化。
另外，在所述树脂余量测量步骤(步骤S101)中，能够基于将收容于所述旧料盒C1中的液状树脂70挤出而供给的杆23b(供给构件)的位置，测量收容于所述旧料盒C1中的液状树脂70的余量。
通过如此构成，可容易地检测液状树脂70的余量。
另外，本实施方式的树脂供给方法在所述树脂余量测量步骤(步骤S101)之后且所述第一次树脂供给步骤(步骤S106)之前，还包括预喷步骤(步骤S103～步骤S105)，将安装于向所述脱模膜12供给液状树脂的液状树脂喷出机构23(液状树脂供给机构)上的所述旧料盒C1与所述新料盒C2进行更换，使用所述液状树脂喷出机构23进行所述新料盒C2的预喷，将安装于所述液状树脂喷出机构23上的所述新料盒C2与所述旧料盒C1进行再次更换。
通过如此构成，可实现装置的简化。即，可使用进行液状树脂70的供给的液状树脂喷出机构23进行预喷，因此无需另外准备用于预喷的机构，因而可实现装置的简化。
另外，在所述预喷步骤(步骤S103～步骤S105)中，确认收容于进行了预喷的所述新料盒C2中的液状树脂70能否正常地从所述液状树脂喷出机构23供给。
通过如此构成，可与预喷一起进行液状树脂喷出机构23的动作确认。特别是在本实施方式中，可使用对供给至脱模膜12的液状树脂70的重量进行计量的计量器25进行动作确认等，从而可实现作业工序的效率化。
另外，本实施方式的树脂成形品的制造方法是使用利用所述树脂供给方法供给的液状树脂70来制造树脂成形品的方法。
通过如此构成，可通过适当地更换料盒C来适当地进行树脂供给。
另外，本实施方式的树脂成形装置1包括：
成形模31，包括上模34及与所述上模34相向的下模32；
合模机构35，将所述成形模31合模；以及
液状树脂喷出机构23(液状树脂供给机构)，供给在所述成形模31中使用的液状树脂70，
所述液状树脂喷出机构23将余量小于向脱模膜12(供给对象)供给一次树脂所需的目标供给量的、收容于旧料盒C1(第一料盒)中的液状树脂70供给至所述脱模膜12，将所述旧料盒C1与进行了预喷后的新料盒C2(第二料盒)进行更换，并将收容于所述新料盒C2中的液状树脂70供给至所述脱模膜12。
通过如此构成，可通过适当地更换料盒C来适当地进行树脂供给。另外，可极力使用旧料盒C1的液状树脂70，从而可削减(降低制造成本)液状树脂70的废弃量。
以上对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于所述实施方式，能够在权利要求书所记载的发明的技术思想的范围内进行适宜的变更。
例如，在本实施方式中，示出了液状树脂喷出机构23一边螺旋状地移动一边供给液状树脂70的例子，但本发明并不限于此，液状树脂喷出机构23的移动路径能够任意变更。另外，也能够在不使液状树脂喷出机构23移动的情况下对脱模膜12上的一处供给液状树脂70。
另外，在本实施方式中，例示了使用树脂面检测传感器23d及杆位置检测传感器23e检测料盒C的液状树脂70的量的结构，但本发明并不限于此，能够使用例如重量传感器等利用任意的方法检测料盒C的液状树脂70的量。
另外，在本实施方式中，设为包括膜载置台13及膜吸附台24的结构，但也可设为将膜载置台13与膜吸附台24共用化，仅形成膜吸附台24的结构。此情况下，膜吸附台24可沿X方向、Y方向、Z方向移动，从而可在脱模膜切断模块10与树脂供给模块20之间移动。使配置有脱模膜12的膜吸附台24移动至树脂供给模块20的树脂喷出部下方，在此状态下，将液状树脂70喷出至脱模膜12上。

Claims (10)

1.一种树脂供给方法，包括：
第一次树脂供给步骤，将余量小于向供给对象供给一次树脂所需的目标供给量的、收容于第一料盒中的液状树脂供给至所述供给对象；
料盒更换步骤，在所述第一次树脂供给步骤之后，将所述第一料盒与进行了预喷后的第二料盒进行更换；以及
第二次树脂供给步骤，在所述料盒更换步骤之后，将收容于所述第二料盒中的液状树脂供给至所述供给对象。
2.根据权利要求1所述的树脂供给方法，其中
在所述第二次树脂供给步骤中，从基于在所述第一次树脂供给步骤中停止从所述第一料盒供给液状树脂时的停止位置确定的开始位置开始液状树脂的供给。
3.根据权利要求2所述的树脂供给方法，其中
所述停止位置及所述开始位置是使用在水平面上相互正交的两个方向的坐标来规定。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的树脂供给方法，其中
在所述第一次树脂供给步骤中，基于将收容于所述第一料盒中的液状树脂挤出而供给的供给构件的位置，停止从所述第一料盒供给液状树脂。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂供给方法，其中
在所述第一次树脂供给步骤之前，还包括树脂余量测量步骤，测量收容于所述第一料盒中的液状树脂的余量。
6.根据权利要求5所述的树脂供给方法，其中
在所述树脂余量测量步骤中，能够基于将收容于所述第一料盒中的液状树脂挤出而供给的供给构件的位置，测量收容于所述第一料盒中的液状树脂的余量。
7.根据权利要求5或6所述的树脂供给方法，其中
在所述树脂余量测量步骤之后且所述第一次树脂供给步骤之前，还包括预喷步骤，将安装于向所述供给对象供给液状树脂的液状树脂供给机构上的所述第一料盒与所述第二料盒进行更换，使用所述液状树脂供给机构进行所述第二料盒的预喷，将安装于所述液状树脂供给机构上的所述第二料盒与所述第一料盒进行再次更换。
8.根据权利要求7所述的树脂供给方法，其中
在所述预喷步骤中，确认收容于进行了预喷的所述第二料盒中的液状树脂能否正常地从所述液状树脂供给机构供给。
9.一种树脂成形品的制造方法，其中，使用利用如权利要求1至8中任一项所述的树脂供给方法供给的液状树脂来制造树脂成形品。
10.一种树脂成形装置，包括：
成形模，包括上模及与所述上模相向的下模；
合模机构，将所述成形模合模；以及
液状树脂供给机构，供给在所述成形模中使用的液状树脂，
所述液状树脂供给机构将余量小于向供给对象供给一次树脂所需的目标供给量的、收容于第一料盒中的液状树脂供给至所述供给对象，将所述第一料盒与进行了预喷后的第二料盒进行更换，并将收容于所述第二料盒中的液状树脂供给至所述供给对象。
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