CN117561154A - 树脂成形装置、及树脂成形品的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够详细地把握树脂压力的树脂成形装置。所述树脂成形装置包括：下模，形成有收容树脂材料的罐；上模，与所述下模相向设置且在与所述罐相向的部分形成有剔料池部；柱塞，能够对收容于所述罐中的所述树脂材料进行移送；以及第一传感器，设置于所述上模中与所述柱塞相向的位置、或所述柱塞的前端部，并对与压力相关的值进行检测。

Description

树脂成形装置、及树脂成形品的制造方法

技术领域

本发明涉及一种树脂成形装置、及树脂成形品的制造方法。

背景技术

在专利文献1中，公开了一种树脂成形装置，其设置有对模腔(cavity)内部的树脂压力(模腔压力)进行测定的压力传感器。具体而言，专利文献1公开了在模腔中的浇口(gate)附近以及远离浇口的位置配置压力传感器的结构。基于由压力传感器测定而得的树脂压力，对传送机构的动作进行控制，由此可对树脂压力或树脂的填充速度进行调节。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2019-1122号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在专利文献1记载的技术中，由于压力传感器设置于模腔，因此在树脂材料到达模腔之前无法测定树脂压力，从而难以详细地测定树脂压力。树脂压力例如用于传送机构的控制或固化时间的设定等，因此谋求一种能够更详细地把握树脂压力的技术。

本发明是鉴于以上状况而成，其所要解决的问题在于提供一种能够详细地把握树脂压力的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。

解决问题的技术手段

本发明所要解决的问题如上所述，为了解决所述课题，本发明的树脂成形装置包括：下模，形成有收容树脂材料的罐(pot)；上模，与所述下模相向设置且在与所述罐相向的部分形成有剔料池(cull)部；柱塞，能够对收容于所述罐中的所述树脂材料进行移送；以及第一传感器，设置于所述上模中与所述柱塞相向的位置、或所述柱塞的前端部，并对与压力相关的值进行检测。

另外，本发明的树脂成形品的制造方法是使用所述树脂成形装置对成形对象物进行树脂成形。

发明的效果

通过本发明，可详细地把握树脂压力。

附图说明

[图1]是表示第一实施方式的树脂成形装置的整体结构的平面示意图。

[图2]是表示树脂成形品的制造方法的一例的流程图。

[图3]是表示成形模的结构的正面剖面图。

[图4]是表示传送机构、压力传感器及荷重元的配置的示意图。

[图5]是表示树脂压力的时间变化的一例的图。

[图6]是示意性地表示罐内附着有污垢的状态的正面剖面图。

[图7]是表示第二实施方式的成形模的结构的正面剖面图。

具体实施方式

以下，将图中所示的由箭头U、箭头D、箭头L、箭头R、箭头F及箭头B表示的方向分别定义为上方向、下方向、左方向、右方向、前方向及后方向来进行说明。

＜树脂成形装置1的整体结构＞

首先，使用图1对本发明的第一实施方式的树脂成形装置1的结构进行说明。树脂成形装置1是对半导体芯片等电子元件(以下简称为“芯片2a”)进行树脂密封来制造树脂成形品的装置。特别是在本实施方式中，对利用传送模制法进行树脂成形的树脂成形装置1进行了例示。

树脂成形装置1包括供给模块10、树脂成形模块20及搬出模块30作为构成元件。各构成元件相对于其他构成元件能够装卸且能够更换。

＜供给模块10＞

供给模块10将作为装设有芯片2a的基板的一种的引线框架(以下，简称为“基板2”)、及树脂片T供给至树脂成形模块20。基板2是本发明的成形对象物的一实施方式。此外，在本实施方式中，作为基板2，例示有引线框架，但除了引线框架以外，也能够使用其他各种基板(玻璃环氧制基板、陶瓷制基板、树脂制基板、金属制基板等)。供给模块10主要包括框架送出部11、框架供给部12、树脂送出部13、树脂供给部14、装载机(loader)15及控制部16。

框架送出部11将收容于供料箱单元(未图示)中的未经树脂密封的基板2输送至框架供给部12。框架供给部12自框架送出部11接收基板2且使接收到的基板2适当排布并移交给装载机15。

树脂送出部13自储料器(stocker)(未图示)接收树脂片T，将树脂片T输送至树脂供给部14。树脂供给部14自树脂送出部13接收树脂片T且使接收到的树脂片T适当排布并移交给装载机15。

装载机15将自框架供给部12及树脂供给部14接收到的基板2及树脂片T搬送至树脂成形模块20。

控制部16对树脂成形装置1的各模块的动作进行控制。通过控制部16对供给模块10、树脂成形模块20及搬出模块30的动作进行控制。另外，可使用控制部16来任意地变更(调整)各模块的动作。

此外，在本实施方式中，示出了将控制部16设置于供给模块10的例子，但也能够将控制部16设置于其他模块。另外，也能够设置多个控制部16。例如，也能够针对每个模块或每个装置来设置控制部16，使各模块等的动作相互联动的同时各别地进行控制。

＜树脂成形模块20＞

树脂成形模块20对装设于基板2的芯片2a进行树脂密封。在本实施方式中，排列配置有两个树脂成形模块20。通过利用两个树脂成形模块20并行地进行基板2的树脂密封，可提高树脂成形品的制造效率。树脂成形模块20主要包括成形模(下模110及上模120)及合模机构21。

成形模(下模110及上模120)使用熔融后的树脂材料，对装设于基板2的芯片2a进行树脂密封。成形模包括上下一对的模、即下模110及上模120(参照图3)。在成型模设置加热器等加热部(未图示)。

合模机构21通过使下模110上下移动来对成形模(下模110及上模120)进行合模或开模。

＜搬出模块30＞

搬出模块30自树脂成形模块20接收经树脂密封的基板2并将其搬出。搬出模块30主要包括卸载机31及基板收容部32。

卸载机31对经树脂密封的基板2进行保持并将其搬出至基板收容部32。基板收容部32对经树脂密封的基板2进行收容。

＜树脂成形装置1的动作的概要＞

接着，使用图1及图2，对如上所述那样构成的树脂成形装置1的动作(使用树脂成形装置1的树脂成形品的制造方法)的概要进行说明。

本实施方式的树脂成形品的制造方法主要包括搬入工序S10、树脂成形工序S20及搬出工序S30。

搬入工序S10是将基板2及树脂片T搬入至树脂成形模块20的工序。

在搬入工序S10中，框架送出部11将收容于供料箱单元(未图示)的基板2输送至框架供给部12。框架供给部12使接收到的基板2适当排布并移交给装载机15。

另外，树脂送出部13将自储料器(未图示)接收到的树脂片T输送至树脂供给部14。树脂供给部14将接收到的树脂片T中所需的个数移交给装载机15。

装载机15将接收到的基板2以及树脂片T搬送至树脂成形模块20的成形模中。在将基板2以及树脂片T搬送至成形模后，自搬入工序S10转移至树脂成形工序S20。

树脂成形工序S20是对装设于基板2的芯片2a进行树脂密封的工序。

在树脂成形工序S20中，合模机构21使下模110上升而对成形模进行合模。然后，通过成形模的加热部(未图示)对树脂片T进行加热以使其熔融，使用所生成的熔融树脂对基板2进行树脂密封。在经过至树脂材料硬化为止的规定时间(固化时间)之后，自树脂成形工序S20转移至搬出工序S30。具体而言，所谓固化时间是指，自使后述的传送轴131停止上升起至树脂材料硬化至至少在开模的情况下可使树脂成形品适当地脱模的程度为止的时间。

搬出工序S30是自树脂成形模块20接收经树脂密封的基板2并将其搬出的工序。

在搬出工序S30中，合模机构21将成形模开模。然后，使经树脂密封的基板2脱模。其后，卸载机31将基板2自成形模搬出并收容至搬出模块30的基板收容部32中。此时，经树脂成形的基板2的无用部分(剔料池、浇道(runner)等)被适当除去。

＜树脂成形模块20的详细结构＞

接着，对树脂成形模块20的结构进行更详细地说明。如图3所示，树脂成形模块20主要包括下模110、上模120、传送机构130、压力传感器140、荷重元150及合模机构21。

＜下模110＞

下模110形成成形模的下部。下模110主要包括罐区块111及下模模腔区块112。

罐区块111是对自供给模块10供给的树脂片T进行收容的部分。在罐区块111，以前后排列的方式形成多个(在本实施方式中为五个)用于收容树脂片T的贯通孔(罐111a)(参照图1)。

下模模腔区块112形成模腔C的底面。下模模腔区块112分别配置于罐区块111的左右。在下模模腔区块112的上表面适当形成与基板2对应的形状的凹部。在下模模腔区块112的凹部可配置基板2。

＜上模120＞

上模120形成成形模的上部。上模120主要包括剔料池区块121及上模模腔区块122。

剔料池区块121配置于与下模110的罐区块111相向的位置。在剔料池区块121的下表面形成用于将树脂材料引导至模腔C的槽状的剔料池部121a及浇道部121b。剔料池部121a形成于与下模110的各罐111a上下相向的位置。

上模模腔区块122形成模腔C的上表面。上模模腔区块122分别配置于剔料池区块121的左右。上模模腔区块122配置于与下模模腔区块112相向的位置。在上模模腔区块122的底面，适当形成与树脂成形品对应的形状的凹部。

此外，在本实施方式中，示出了在上模120形成有浇道部121b或模腔C的上表面的例子，但本发明并不限于此。例如，可在下模110的下模模腔区块112等形成浇道部或模腔C的下表面。

在如此构成的上下一对的下模110与上模120之间形成与树脂成形品相对应的形状的模腔C。另外，下模110可通过合模机构21上下移动。

＜传送机构130＞

图3及图4所示的传送机构130向模腔C供给树脂材料。传送机构130主要包括传送轴131、安装部132、柱塞133及荷重元134。

传送轴131是能够上下移动的构件。传送轴131可通过自例如伺服马达或气缸等驱动源(未图示)传递的动力而上下任意地移动。传送轴131相对于一个成形模(下模110)以在前后方向上排列的方式设置有多个(在本实施方式中为两个)(参照图4)。

安装部132用于将柱塞133安装于传送轴131。安装部132形成为大致长方体状。安装部132跨多个传送轴131的上部而设置。

柱塞133将收容于罐区块111的罐111a中的树脂片T(树脂材料)射出，并向模腔C移送。柱塞133配置成能够在罐111a内上下移动(升降)。柱塞133的下部经由后述的荷重元150而安装于安装部132的上部。柱塞133以在前后方向上排列的方式设置多个(在本实施方式中为5个)(参照图4)。

荷重元134用于对施加于传送轴131的载荷进行检测。荷重元134设置于传送轴131的上部(传送轴131与安装部132之间)。将本实施方式的荷重元134设置于多个传送轴131中的一个传送轴131。通过使用荷重元134对施加于传送轴131的载荷进行检测，可检测对基于传送机构130的树脂材料的注入力(传送输出)。可基于所述检测值对传送输出或柱塞133的移动速度等进行控制。

＜压力传感器140＞

压力传感器140用于对向模腔C移送的树脂材料的压力进行检测。压力传感器140是本发明的对与压力相关的值进行检测的第一传感器的一实施方式。压力传感器140可基于设置于端面的能够弹性变形的检测面(隔膜)的变形量，对施加于检测面的压力进行检测。作为压力传感器140，例如可使用日本奇石乐(Kistler)股份有限公司制造的热硬化性树脂用/模内压传感器(型号：6167A)。

压力传感器140设置于剔料池区块121的剔料池部121a中的与柱塞133相向的位置。更详细而言，压力传感器140设置于自柱塞133的移动方向(在本实施方式中为上下方向)观察时与柱塞133重叠的位置。在本实施方式中，压力传感器140与柱塞133设置于同轴上。即，压力传感器140在图3所示的剖面图中位于穿过柱塞133的中心的上下方向的直线上。此时，压力传感器140位于柱塞133的正上方。压力传感器140设置成在检测面朝向下方的状态下埋入剔料池区块121中。压力传感器140的下端面(检测面)与剔料池部121a的下表面配置于大致同一平面上。通过如此配置，压力传感器140的检测面可与向模腔C移送的树脂材料直接接触。即，压力传感器140可不经由其他构件地直接检测树脂材料的压力。

如图4所示，压力传感器140与多个柱塞133相对应地设置多个。在本实施方式中，在五个柱塞133各自的上方各设置一个压力传感器140。如此，通过在剔料池区块121设置与各柱塞133相对应的压力传感器140，可各别地检测每个柱塞133的树脂压力，从而可将所述检测结果灵活运用于树脂成形装置1的动作的控制或树脂成形时的状态把握等。

荷重元150用于对施加于柱塞133的载荷进行检测。荷重元150是本发明的对与力相关的值进行检测的第二传感器的一实施方式。荷重元150设置于柱塞133的下部(柱塞133与安装部132之间)。本实施方式的荷重元150与多个柱塞133相对应地设置多个。在本实施方式中，在五个柱塞133各自的下部各设置一个荷重元150。

＜固化时间的决定方法＞

接下来，基于压力传感器140的检测值对决定固化时间的方法进行说明。

图5中示出在树脂成形工序S20(参照图2)中将树脂材料向模腔C移送并对基板2进行树脂密封时的压力传感器140的检测值的时间变化的一例。图5的横轴表示自通过传送机构130开始移送树脂材料的时间点起经过的时间。图5的纵轴表示压力传感器140的检测值(即，树脂材料的压力)。此外，以下为了便于说明，将通过压力传感器140检测出的树脂材料的压力称为“树脂压力”。

通过传送机构130使传送轴131开始上升，从而开始树脂材料的移送。于是，被柱塞133自罐区块111挤出的树脂材料之后立即与位于柱塞133正上方的压力传感器140接触(参照图3)。因此，如图5所示，压力传感器140可在开始移送树脂材料后立即检测树脂压力。此外，图5所示的三条线是将通过设置有五个的压力传感器140中的三个压力传感器140进行检测而得的检测结果作为一例而示出。

当通过传送机构130开始移送树脂材料时，树脂材料通过剔料池部121a及浇道部121b而向模腔C供给。如图5所示，自开始移送树脂材料起至时间t1为止，与树脂材料在浇道部121b等中流动时的流动阻力相对应地，树脂压力上下变动的同时逐渐上升。

当在时间t1完成树脂材料向模腔C的注入时，在时间t1以后，直至经过固化时间为止，传送机构130在对注入后的树脂材料施加规定压力的状态下停止传送轴131的上升，并维持所述状态。经过固化时间之后(在图5的例子中，达到时间t2之后)，转移至搬出工序S30(参照图2)，将经树脂密封的基板2自成形模搬出。

此处，就树脂成形品的品质提高及生产的效率化的观点而言，重要的是将固化时间决定为怎样的值。在本实施方式中，可基于通过压力传感器140检测出的树脂压力，将固化时间决定为适当的值。

如图5所示，树脂材料向模腔C的注入完成后(时间t1以后)，树脂压力逐渐下降。其原因在于树脂材料逐渐硬化而收缩，施加于压力传感器140的压力下降。进而在经过一定程度的时间以后(时间t2以后)，树脂压力大致固定。其原因在于树脂材料的硬化大致结束，树脂材料的收缩结束。

因此，将树脂压力的下降结束且树脂压力大致成为固定的时间t2决定为固化时间，由此在树脂材料的硬化结束后可转移至搬出工序S30而不无谓地长时间待机。固化时间可通过在实际开始制造树脂成形品之前，以试验的方式进行树脂成形，对树脂压力的时间变化进行检测而预先决定。

另外，固化时间的决定也能够通过控制部16自动地进行。例如，控制部16可基于图5所示的压力传感器140的检测结果，自动地将自树脂材料向模腔C的注入完成的时间t1起至树脂压力大致成为固定的时间t2为止的时间决定为固化时间。

＜罐111a的污垢的检测方法＞

接着，对将压力传感器140及荷重元150的检测值进行比较来检测罐111a内有无污垢的方法进行说明。

图6示意性地示出污垢A附着于罐111a内(罐111a的内侧面)的状态。可认为由于反复进行树脂成形，如图6所示在罐111a内附着有由树脂材料引起的污垢A。若污垢A附着于罐111a内，则有可能柱塞133的滑动受到阻碍，而无法正常地向模腔C移送树脂材料。因此，理想的是对罐111a内有无污垢A进行检测并在适合的时机进行清洁。

在本实施方式中，可将压力传感器140及荷重元150的检测值进行比较来检测罐111a内有无污垢A。具体而言，在罐111a内未附着有污垢A的情况下，使柱塞133上升而向模腔C注入树脂材料时(至图5中的时间t1为止)的压力传感器140的检测值和与所述压力传感器140对应的荷重元150的检测值具有一定的关系。

与此相对，当在罐111a内附着污垢A时，柱塞133的滑动阻力增加，因此相对于压力传感器140的检测值，荷重元150的检测值增加。通过对此种压力传感器140的检测值与荷重元150的检测值的关系的变化进行检测，可检测出污垢A附着于罐111a内。并且通过对荷重元150的检测值相对于压力传感器140的检测值的增加量进行检测，不仅可检测有无污垢A，也可检测污垢A的量(污垢情况)。

在本实施方式中，在树脂成形品的制造时，控制部16将压力传感器140的检测值与荷重元150的检测值进行比较来检测柱塞133的滑动阻力的变化，由此可迅速地检测出罐111a的污垢A，并在适合的时机实施罐111a的清洁。此处，树脂成形品的制造时例如是指使柱塞133上升而向模腔C注入树脂材料的时刻。

特别是在本实施方式中，由于压力传感器140配置于柱塞133的正上方(柱塞133的滑动方向的延长线上)，因此通过柱塞133挤出的树脂材料的压力不经由浇道部121b等而通过压力传感器140检测。因此，压力传感器140的检测值不易受到树脂材料的流动阻力的影响，可明确地把握压力传感器140的检测值与荷重元150的检测值的关系。因此，可精度良好地检测污垢A。

此外，也能够使用设置于传送轴131的荷重元134(参照图4)而非设置于各柱塞133的荷重元150的检测值来检测罐111a内有无污垢A。在此情况下，通过将设置于传送机构130的荷重元134的检测值的合计与对通过所述传送机构130移送的树脂的压力进行检测的压力传感器140的检测值的合计进行比较，可检测罐111a的污垢A。例如，在本实施方式(参照图4)中，通过将设置于传送轴131的一个荷重元134的检测值与五个压力传感器140的检测值的合计值进行比较，可检测罐111a的污垢A。

＜第二实施方式＞

以下，对压力传感器140的配置的变形例(第二实施方式)进行说明。

在所述第一实施方式(参照图3等)中，示出了将压力传感器140设置于剔料池区块121的剔料池部121a的例子，但压力传感器140的配置并不限于此。在第二实施方式(参照图7)中，示出了将压力传感器140设置于柱塞133的前端部的例子。

如图7所示，第二实施方式的压力传感器140配置于柱塞133的中心(柱塞133的轴线上)。压力传感器140设置成以检测面朝上的状态埋入柱塞133中。压力传感器140的上端面(检测面)与柱塞133的上表面大致配置于同一平面上。通过如此配置，压力传感器140的检测面可与向模腔C移送的树脂材料直接接触。

通过使用第二实施方式的压力传感器140，与第一实施方式同样地，可在通过传送机构130开始移送树脂材料后立即检测树脂压力。另外，与第一实施方式同样地，可使用压力传感器140进行固化时间的决定及罐111a内的污垢A的检测。

如上所述，所述实施方式的树脂成形装置1包括：下模110，形成有收容树脂材料的罐111a；上模120，与所述下模110相向设置且在与所述罐111a相向的部分形成有剔料池部121a；柱塞133，能够对收容于所述罐111a中的所述树脂材料进行移送；以及压力传感器140(第一传感器)，设置于所述上模120中与所述柱塞133相向的位置(参照图3)或所述柱塞133的前端部(参照图7)，并对与压力相关的值进行检测。

通过如此构成，可详细地把握树脂压力。具体而言，通过设置于与柱塞133相向的位置或柱塞133的前端部的压力传感器140，能够在通过柱塞133移送树脂材料后立即检测树脂压力。基于以所述方式检测出的树脂压力，可进行固化时间的决定或罐111a的清洁时期的决定等。

另外，在假设为了检测树脂压力而在模腔C直接设置压力传感器的情况下，在树脂成形后的产品表面上会形成压力传感器的痕迹。在经树脂密封的产品被单片化而成为最终产品的情况下，若存在于外观上有压力传感器的痕迹的产品以及无压力传感器的痕迹的产品，则这些有可能不会被认为是相同品质的产品，因此不优选。相对于此，在本实施方式(第一实施方式及第二实施方式)中，由于并非在模腔C直接设置压力传感器140的结构，因此不会对产品的品质造成影响。

另外，为了把握树脂压力，也可设想如下结构：在与模腔C相向设置的顶出销设置压力传感器，对施加于顶出销的压力进行检测，由此检测树脂压力。但是，由于顶出销的滑动阻力，实际的树脂压力与压力传感器的检测值会产生误差，因此难以检测正确的树脂压力。相对于此，在本实施方式(第一实施方式及第二实施方式)中，由于在直接与树脂材料接触的部分(柱塞133的前端部等)设置压力传感器140，因此不会产生误差，而可精度良好地检测树脂压力。

另外，一般也存在于模腔C不设置压力传感器或顶出销的产品(树脂成形装置1)。在此种产品中，如本实施方式(第一实施方式及第二实施方式)那样在柱塞133的前端部等设置压力传感器140的结构是有用的。

另外，所述压力传感器140是与设置有多个的所述柱塞133对应地设置多个的构件。

通过如此构成，可对通过各柱塞133而移送的树脂的压力各别地进行检测，从而可更详细地把握树脂压力。

另外，树脂成形装置1还包括基于所述压力传感器140的检测值来决定固化时间的控制部16。

通过如此构成，可容易地决定固化时间。特别是如所述实施方式那样，可使用通过压力传感器140而详细地检测出的树脂压力来决定固化时间，因此可设定适合的固化时间。

另外，树脂成形装置1还包括荷重元150(第二传感器)，所述荷重元150设置于所述柱塞133中与所述前端部不同的部分、并对与施加于所述柱塞133的力相关的值进行检测，所述控制部16将所述压力传感器140的检测值与所述荷重元150的检测值进行比较。

通过如此构成，对于树脂压力相对于施加于柱塞133的载荷取怎样的值，可通过比较来把握。另外，可将所述比较结果用作对树脂成形装置1的状态(例如，树脂压力有无异常等)进行把握的信息。

另外，所述控制部16通过将所述压力传感器140的检测值与所述荷重元150的检测值进行比较来检测所述柱塞133的滑动阻力。

通过如此构成，可检测设置有柱塞133的罐111a内有无污垢。由此，可在适合的时机进行罐111a的清洁。

另外，所述荷重元150是与设置有多个的所述柱塞133对应地设置多个的构件。

通过如此构成，可对施加于各柱塞133的载荷各别地进行检测。由此，可各别地检测各罐111a有无污垢。

另外，本实施方式的树脂成形品的制造方法是使用树脂成形装置1对成形对象物进行树脂成形。

通过如此构成，可详细地把握树脂压力。另外，由于可决定适合的固化时间或检测罐111a有无污垢，因此可实现树脂成形品的品质提高或生产效率的提高。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于所述实施方式，能够在权利要求所记载的发明的技术思想的范围内进行适当的变更。

例如，所述实施方式的树脂成形装置1中使用的构成元件(供给模块10等)是一例，能够适当装卸或更换。例如，能够变更树脂成形模块20的个数。另外，本实施方式的树脂成形装置1中使用的构成元件(供给模块10等)的结构或动作是一例，能够适当变更。

另外，在所述实施方式中示出了使用片状的树脂材料(树脂片T)的例子，但本发明并不限于此。即，作为树脂材料，不仅能够使用片状的树脂材料，也能够使用粉粒体状(包括颗粒状、粉末状)、液状等任意形态的树脂材料。

另外，在所述实施方式中例示出的传送轴131、柱塞133、罐111a等的个数并无限定，能够任意变更。另外，各种传感器(荷重元134、压力传感器140及荷重元150)的个数也无特别限定，能够任意变更。

另外，在所述实施方式中，示出了与多个柱塞133对应地设置多个压力传感器140的例子，但本发明并不限于此。即，无需设置与柱塞133相同数量的压力传感器140，能够使压力传感器140的个数较柱塞133的个数少或多。例如，也能够与任意一个柱塞133对应地仅设置一个压力传感器140。另外，关于荷重元150也同样地，无需设置与多个柱塞133相同的数量而能够任意设定个数。

另外，在所述第一实施方式中，示出了将压力传感器140设置于剔料池区块121(剔料池部121a)的例子，但本发明并不限于此。压力传感器140只要是设置于与柱塞133相向的位置、或柱塞133的前端部、且可在开始移送树脂材料后立即检测树脂压力的构件即可，对所安装的构件并无限定。

另外，在所述实施方式中，分别示出了将压力传感器140设置于与柱塞133相向的位置(剔料池区块121)的例子(参照图3)、及将压力传感器140设置于柱塞133的前端部的例子(参照图7)，但本发明并不限于此。即，并非仅在剔料池区块121或柱塞133中的任一者设置压力传感器140，而是也能够设置于两者。

另外，在所述实施方式中，示出了控制部16对固化时间的决定或柱塞133的滑动阻力(有无污垢A)进行检测的例子，但本发明并不限于此，固化时间等也可通过人的判断来决定。在此情况下，例如控制部16也能够设为如下结构：通过将压力传感器140等的检测值、或压力传感器140的检测值与荷重元150的检测值的比较结果等输出至显示器等输出装置，从而将固化时间的决定等所需的信息报告给人。

另外，在所述实施方式中，使用了压力传感器140，但也能够根据使用对力进行检测的传感器而检测出的值以及面积来算出压力。

另外，在所述实施方式中，使用了对载荷进行检测的荷重元134，但取而代之也能够使用对力进行检测的传感器。

符号的说明

1：树脂成形装置

16：控制部

110：下模

111a：罐

120：上模

121a：剔料池部

133：柱塞

140：压力传感器

150：荷重元

Claims (7)

1.一种树脂成形装置，包括：

下模，形成有收容树脂材料的罐；

上模，与所述下模相向设置且在与所述罐相向的部分形成有剔料池部；

柱塞，能够对收容于所述罐中的所述树脂材料进行移送；以及

第一传感器，设置于所述上模中与所述柱塞相向的位置、或所述柱塞的前端部，并对与压力相关的值进行检测。

2.根据权利要求1所述的树脂成形装置，其中，

与设置有多个的所述柱塞对应地设置多个所述第一传感器。

3.根据权利要求1或2所述的树脂成形装置，还包括控制部，

所述控制部基于所述第一传感器的检测值来决定固化时间。

4.根据权利要求3所述的树脂成形装置，还包括第二传感器，

所述第二传感器设置于所述柱塞中与所述前端部不同的部分，且对与施加于所述柱塞的力相关的值进行检测，

所述控制部将所述第一传感器的检测值与所述第二传感器的检测值进行比较。

5.根据权利要求4所述的树脂成形装置，其中，

所述控制部通过将所述第一传感器的检测值与所述第二传感器的检测值进行比较来检测所述柱塞的滑动阻力。

6.根据权利要求4或5所述的树脂成形装置，其中，

与设置有多个的所述柱塞对应地设置多个所述第二传感器。

7.一种树脂成形品的制造方法，使用如权利要求1至6中任一项所述的树脂成形装置对成形对象物进行树脂成形。