TW202317384A - 樹脂成形裝置、及樹脂成形品的製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠詳細地把握樹脂壓力的樹脂成形裝置。所述樹脂成形裝置包括：下模，形成有收容樹脂材料的罐；上模，與所述下模相向設置且於與所述罐相向的部分形成有剔料池部；柱塞，能夠對收容於所述罐中的所述樹脂材料進行移送；以及第一感測器，設置於所述上模中與所述柱塞相向的位置、或所述柱塞的前端部，並對與壓力相關的值進行檢測。

Description

樹脂成形裝置、及樹脂成形品的製造方法

本發明是有關於一種樹脂成形裝置、及樹脂成形品的製造方法。

於專利文獻1中，揭示了一種樹脂成形裝置，其設置有對模腔（cavity）內部的樹脂壓力（模腔壓力）進行測定的壓力感測器。具體而言，專利文獻1揭示了於模腔中的澆口（gate）附近以及遠離澆口的位置配置壓力感測器的結構。基於由壓力感測器測定而得的樹脂壓力，對傳送機構的動作進行控制，藉此可對樹脂壓力或樹脂的填充速度進行調節。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2019-1122號公報

[發明所欲解決之課題]

然而，於專利文獻1記載的技術中，由於壓力感測器設置於模腔，因此於樹脂材料到達模腔之前無法測定樹脂壓力，從而難以詳細地測定樹脂壓力。樹脂壓力例如用於傳送機構的控制或固化時間的設定等，因此謀求一種能夠更詳細地把握樹脂壓力的技術。

本發明是鑒於以上狀況而成，其所欲解決之課題在於提供一種能夠詳細地把握樹脂壓力的樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法。 [解決課題之手段]

本發明所欲解決之課題如上所述，為了解決該課題，本發明的樹脂成形裝置包括：下模，形成有收容樹脂材料的罐（pot）；上模，與所述下模相向設置且於與所述罐相向的部分形成有剔料池（cull）部；柱塞，能夠對收容於所述罐中的所述樹脂材料進行移送；以及第一感測器，設置於所述上模中與所述柱塞相向的位置、或所述柱塞的前端部，並對與壓力相關的值進行檢測。

另外，本發明的樹脂成形品的製造方法是使用所述樹脂成形裝置對成形對象物進行樹脂成形。 [發明的效果]

藉由本發明，可詳細地把握樹脂壓力。

以下，將圖中所示的由箭頭U、箭頭D、箭頭L、箭頭R、箭頭F及箭頭B表示的方向分別定義為上方向、下方向、左方向、右方向、前方向及後方向來進行說明。

＜樹脂成形裝置1的整體結構＞ 首先，使用圖1對本發明的第一實施方式的樹脂成形裝置1的結構進行說明。樹脂成形裝置1是對半導體晶片等電子元件（以下簡稱為「晶片2a」）進行樹脂密封來製造樹脂成形品的裝置。特別是於本實施方式中，對利用轉注成型法進行樹脂成形的樹脂成形裝置1進行了例示。

樹脂成形裝置1包括供給模組10、樹脂成形模組20及搬出模組30作為構成元件。各構成元件相對於其他構成元件能夠裝卸且能夠更換。

＜供給模組10＞ 供給模組10將作為裝設有晶片2a的基板的一種的引線框架（以下，簡稱為「基板2」）、及樹脂片T供給至樹脂成形模組20。基板2是本發明的成形對象物的一實施方式。再者，於本實施方式中，作為基板2，例示有引線框架，但除了引線框架以外，亦能夠使用其他各種基板（玻璃環氧製基板、陶瓷製基板、樹脂製基板、金屬製基板等）。供給模組10主要包括框架送出部11、框架供給部12、樹脂送出部13、樹脂供給部14、裝載機（loader）15及控制部16。

框架送出部11將收容於供料箱單元（未圖示）中的未經樹脂密封的基板2輸送至框架供給部12。框架供給部12自框架送出部11接收基板2且使接收到的基板2適當排布並移交給裝載機15。

樹脂送出部13自儲料器（stocker）（未圖示）接收樹脂片T，將樹脂片T輸送至樹脂供給部14。樹脂供給部14自樹脂送出部13接收樹脂片T且使接收到的樹脂片T適當排布並移交給裝載機15。

裝載機15將自框架供給部12及樹脂供給部14接收到的基板2及樹脂片T搬送至樹脂成形模組20。

控制部16對樹脂成形裝置1的各模組的動作進行控制。藉由控制部16對供給模組10、樹脂成形模組20及搬出模組30的動作進行控制。另外，可使用控制部16來任意地變更（調整）各模組的動作。

再者，於本實施方式中，示出了將控制部16設置於供給模組10的例子，但亦能夠將控制部16設置於其他模組。另外，亦能夠設置多個控制部16。例如，亦能夠針對每個模組或每個裝置來設置控制部16，使各模組等的動作相互聯動的同時各別地進行控制。

＜樹脂成形模組20＞ 樹脂成形模組20對裝設於基板2的晶片2a進行樹脂密封。於本實施方式中，排列配置有兩個樹脂成形模組20。藉由利用兩個樹脂成形模組20並行地進行基板2的樹脂密封，可提高樹脂成形品的製造效率。樹脂成形模組20主要包括成形模（下模110及上模120）及合模機構21。

成形模（下模110及上模120）使用熔融後的樹脂材料，對裝設於基板2的晶片2a進行樹脂密封。成形模包括上下一對的模、即下模110及上模120（參照圖3）。於成型模設置加熱器等加熱部（未圖示）。

合模機構21藉由使下模110上下移動來對成形模（下模110及上模120）進行合模或開模。

＜搬出模組30＞ 搬出模組30自樹脂成形模組20接收經樹脂密封的基板2並將其搬出。搬出模組30主要包括卸載機31及基板收容部32。

卸載機31對經樹脂密封的基板2進行保持並將其搬出至基板收容部32。基板收容部32對經樹脂密封的基板2進行收容。

＜樹脂成形裝置1的動作的概要＞ 接著，使用圖1及圖2，對如上所述般構成的樹脂成形裝置1的動作（使用樹脂成形裝置1的樹脂成形品的製造方法）的概要進行說明。

本實施方式的樹脂成形品的製造方法主要包括搬入步驟S10、樹脂成形步驟S20及搬出步驟S30。

搬入步驟S10是將基板2及樹脂片T搬入至樹脂成形模組20的步驟。

於搬入步驟S10中，框架送出部11將收容於供料箱單元（未圖示）的基板2輸送至框架供給部12。框架供給部12使接收到的基板2適當排布並移交給裝載機15。

另外，樹脂送出部13將自儲料器（未圖示）接收到的樹脂片T輸送至樹脂供給部14。樹脂供給部14將接收到的樹脂片T中所需的個數移交給裝載機15。

裝載機15將接收到的基板2以及樹脂片T搬送至樹脂成形模組20的成形模中。於將基板2以及樹脂片T搬送至成形模後，自搬入步驟S10轉移至樹脂成形步驟S20。

樹脂成形步驟S20是對裝設於基板2的晶片2a進行樹脂密封的步驟。

於樹脂成形步驟S20中，合模機構21使下模110上升而對成形模進行合模。然後，藉由成形模的加熱部（未圖示）對樹脂片T進行加熱以使其熔融，使用所生成的熔融樹脂對基板2進行樹脂密封。於經過至樹脂材料硬化為止的規定時間（固化時間）之後，自樹脂成形步驟S20轉移至搬出步驟S30。具體而言，所謂固化時間是指，自使後述的傳送軸131停止上升起至樹脂材料硬化至至少於開模的情況下可使樹脂成形品適當地脫模的程度為止的時間。

搬出步驟S30是自樹脂成形模組20接收經樹脂密封的基板2並將其搬出的步驟。

於搬出步驟S30中，合模機構21將成形模開模。然後，使經樹脂密封的基板2脫模。其後，卸載機31將基板2自成形模搬出並收容至搬出模組30的基板收容部32中。此時，經樹脂成形的基板2的無用部分（剔料池、澆道（runner）等）被適當除去。

＜樹脂成形模組20的詳細結構＞ 接著，對樹脂成形模組20的結構進行更詳細地說明。如圖3所示，樹脂成形模組20主要包括下模110、上模120、傳送機構130、壓力感測器140、荷重元150及合模機構21。

＜下模110＞ 下模110形成成形模的下部。下模110主要包括罐區塊111及下模模腔區塊112。

罐區塊111是對自供給模組10供給的樹脂片T進行收容的部分。於罐區塊111，以前後排列的方式形成多個（於本實施方式中為五個）用於收容樹脂片T的貫通孔（罐111a）（參照圖1）。

下模模腔區塊112形成模腔C的底面。下模模腔區塊112分別配置於罐區塊111的左右。於下模模腔區塊112的上表面適當形成與基板2對應的形狀的凹部。於下模模腔區塊112的凹部可配置基板2。

＜上模120＞ 上模120形成成形模的上部。上模120主要包括剔料池區塊121及上模模腔區塊122。

剔料池區塊121配置於與下模110的罐區塊111相向的位置。於剔料池區塊121的下表面形成用於將樹脂材料引導至模腔C的槽狀的剔料池部121a及澆道部121b。剔料池部121a形成於與下模110的各罐111a上下相向的位置。

上模模腔區塊122形成模腔C的上表面。上模模腔區塊122分別配置於剔料池區塊121的左右。上模模腔區塊122配置於與下模模腔區塊112相向的位置。於上模模腔區塊122的底面，適當形成與樹脂成形品對應的形狀的凹部。

再者，於本實施方式中，示出了於上模120形成有澆道部121b或模腔C的上表面的例子，但本發明並不限於此。例如，可於下模110的下模模腔區塊112等形成澆道部或模腔C的下表面。

於如此構成的上下一對的下模110與上模120之間形成與樹脂成形品相對應的形狀的模腔C。另外，下模110可藉由合模機構21上下移動。

＜傳送機構130＞ 圖3及圖4所示的傳送機構130向模腔C供給樹脂材料。傳送機構130主要包括傳送軸131、安裝部132、柱塞133及荷重元134。

傳送軸131是能夠上下移動的構件。傳送軸131可藉由自例如伺服馬達或氣缸等驅動源（未圖示）傳遞的動力而上下任意地移動。傳送軸131相對於一個成形模（下模110）以於前後方向上排列的方式設置有多個（於本實施方式中為兩個）（參照圖4）。

安裝部132用於將柱塞133安裝於傳送軸131。安裝部132形成為大致長方體狀。安裝部132跨多個傳送軸131的上部而設置。

柱塞133將收容於罐區塊111的罐111a中的樹脂片T（樹脂材料）射出，並向模腔C移送。柱塞133配置成能夠於罐111a內上下移動（升降）。柱塞133的下部經由後述的荷重元150而安裝於安裝部132的上部。柱塞133以於前後方向上排列的方式設置多個（於本實施方式中為5個）（參照圖4）。

荷重元134用於對施加於傳送軸131的載荷進行檢測。荷重元134設置於傳送軸131的上部（傳送軸131與安裝部132之間）。將本實施方式的荷重元134設置於多個傳送軸131中的一個傳送軸131。藉由使用荷重元134對施加於傳送軸131的載荷進行檢測，可檢測對基於傳送機構130的樹脂材料的注入力（傳送輸出）。可基於該檢測值對傳送輸出或柱塞133的移動速度等進行控制。

＜壓力感測器140＞ 壓力感測器140用於對向模腔C移送的樹脂材料的壓力進行檢測。壓力感測器140是本發明的對與壓力相關的值進行檢測的第一感測器的一實施方式。壓力感測器140可基於設置於端面的能夠彈性變形的檢測面（隔膜）的變形量，對施加於檢測面的壓力進行檢測。作為壓力感測器140，例如可使用日本奇石樂（Kistler）股份有限公司製造的熱硬化性樹脂用/模內壓感測器（型號：6167A）。

壓力感測器140設置於剔料池區塊121的剔料池部121a中的與柱塞133相向的位置。更詳細而言，壓力感測器140設置於自柱塞133的移動方向（於本實施方式中為上下方向）觀察時與柱塞133重疊的位置。於本實施方式中，壓力感測器140與柱塞133設置於同軸上。即，壓力感測器140於圖3所示的剖面視圖中位於穿過柱塞133的中心的上下方向的直線上。此時，壓力感測器140位於柱塞133的正上方。壓力感測器140設置成於檢測面朝向下方的狀態下埋入剔料池區塊121中。壓力感測器140的下端面（檢測面）與剔料池部121a的下表面配置於大致同一平面上。藉由如此配置，壓力感測器140的檢測面可與向模腔C移送的樹脂材料直接接觸。即，壓力感測器140可不經由其他構件地直接檢測樹脂材料的壓力。

如圖4所示，壓力感測器140與多個柱塞133相對應地設置多個。於本實施方式中，於五個柱塞133各自的上方各設置一個壓力感測器140。如此，藉由於剔料池區塊121設置與各柱塞133相對應的壓力感測器140，可各別地檢測每個柱塞133的樹脂壓力，從而可將該檢測結果靈活運用於樹脂成形裝置1的動作的控制或樹脂成形時的狀態把握等。

荷重元150用於對施加於柱塞133的載荷進行檢測。荷重元150是本發明的對與力相關的值進行檢測的第二感測器的一實施方式。荷重元150設置於柱塞133的下部（柱塞133與安裝部132之間）。本實施方式的荷重元150與多個柱塞133相對應地設置多個。於本實施方式中，於五個柱塞133各自的下部各設置一個荷重元150。

＜固化時間的決定方法＞ 接下來，基於壓力感測器140的檢測值對決定固化時間的方法進行說明。

圖5中示出於樹脂成形步驟S20（參照圖2）中將樹脂材料向模腔C移送並對基板2進行樹脂密封時的壓力感測器140的檢測值的時間變化的一例。圖5的橫軸表示自藉由傳送機構130開始移送樹脂材料的時間點起經過的時間。圖5的縱軸表示壓力感測器140的檢測值（即，樹脂材料的壓力）。再者，以下為了便於說明，將藉由壓力感測器140檢測出的樹脂材料的壓力稱為「樹脂壓力」。

藉由傳送機構130使傳送軸131開始上升，從而開始樹脂材料的移送。於是，被柱塞133自罐區塊111擠出的樹脂材料之後立即與位於柱塞133正上方的壓力感測器140接觸（參照圖3）。因此，如圖5所示，壓力感測器140可於開始移送樹脂材料後立即檢測樹脂壓力。再者，圖5所示的三條線是將藉由設置有五個的壓力感測器140中的三個壓力感測器140進行檢測而得的檢測結果作為一例而示出。

當藉由傳送機構130開始移送樹脂材料時，樹脂材料通過剔料池部121a及澆道部121b而向模腔C供給。如圖5所示，自開始移送樹脂材料起至時間t1為止，與樹脂材料於澆道部121b等中流動時的流動阻力相對應地，樹脂壓力上下變動的同時逐漸上升。

當於時間t1完成樹脂材料向模腔C的注入時，於時間t1以後，直至經過固化時間為止，傳送機構130於對注入後的樹脂材料施加規定壓力的狀態下停止傳送軸131的上升，並維持該狀態。經過固化時間之後（於圖5的例子中，達到時間t2之後），轉移至搬出步驟S30（參照圖2），將經樹脂密封的基板2自成形模搬出。

此處，就樹脂成形品的品質提高及生產的效率化的觀點而言，重要的是將固化時間決定為怎樣的值。於本實施方式中，可基於藉由壓力感測器140檢測出的樹脂壓力，將固化時間決定為適當的值。

如圖5所示，樹脂材料向模腔C的注入完成後（時間t1以後），樹脂壓力逐漸下降。其原因在於樹脂材料逐漸硬化而收縮，施加於壓力感測器140的壓力下降。進而於經過一定程度的時間以後（時間t2以後），樹脂壓力大致固定。其原因在於樹脂材料的硬化大致結束，樹脂材料的收縮結束。

因此，將樹脂壓力的下降結束且樹脂壓力大致成為固定的時間t2決定為固化時間，藉此於樹脂材料的硬化結束後可轉移至搬出步驟S30而不無謂地長時間待機。固化時間可藉由於實際開始製造樹脂成形品之前，以試驗的方式進行樹脂成形，對樹脂壓力的時間變化進行檢測而預先決定。

另外，固化時間的決定亦能夠藉由控制部16自動地進行。例如，控制部16可基於圖5所示的壓力感測器140的檢測結果，自動地將自樹脂材料向模腔C的注入完成的時間t1起至樹脂壓力大致成為固定的時間t2為止的時間決定為固化時間。

＜罐111a的污垢的檢測方法＞ 接著，對將壓力感測器140及荷重元150的檢測值進行比較來檢測罐111a內有無污垢的方法進行說明。

圖6示意性地示出污垢A附著於罐111a內（罐111a的內側面）的狀態。可認為由於反覆進行樹脂成形，如圖6所示在罐111a內附著有由樹脂材料引起的污垢A。若污垢A附著於罐111a內，則有可能柱塞133的滑動受到阻礙，而無法正常地向模腔C移送樹脂材料。因此，理想的是對罐111a內有無污垢A進行檢測並於適合的時機進行清潔。

於本實施方式中，可將壓力感測器140及荷重元150的檢測值進行比較來檢測罐111a內有無污垢A。具體而言，於罐111a內未附著有污垢A的情況下，使柱塞133上升而向模腔C注入樹脂材料時（至圖5中的時間t1為止）的壓力感測器140的檢測值和與該壓力感測器140對應的荷重元150的檢測值具有一定的關係。

與此相對，當於罐111a內附著污垢A時，柱塞133的滑動阻力增加，因此相對於壓力感測器140的檢測值，荷重元150的檢測值增加。藉由對此種壓力感測器140的檢測值與荷重元150的檢測值的關係的變化進行檢測，可檢測出污垢A附著於罐111a內。並且藉由對荷重元150的檢測值相對於壓力感測器140的檢測值的增加量進行檢測，不僅可檢測有無污垢A，亦可檢測污垢A的量（污垢情況）。

於本實施方式中，於樹脂成形品的製造時，控制部16將壓力感測器140的檢測值與荷重元150的檢測值進行比較來檢測柱塞133的滑動阻力的變化，藉此可迅速地檢測出罐111a的污垢A，並於適合的時機實施罐111a的清潔。此處，樹脂成形品的製造時例如是指使柱塞133上升而向模腔C注入樹脂材料的時刻。

特別是於本實施方式中，由於壓力感測器140配置於柱塞133的正上方（柱塞133的滑動方向的延長線上），因此藉由柱塞133擠出的樹脂材料的壓力不經由澆道部121b等而藉由壓力感測器140檢測。因此，壓力感測器140的檢測值不易受到樹脂材料的流動阻力的影響，可明確地把握壓力感測器140的檢測值與荷重元150的檢測值的關係。因此，可精度良好地檢測污垢A。

再者，亦能夠使用設置於傳送軸131的荷重元134（參照圖4）而非設置於各柱塞133的荷重元150的檢測值來檢測罐111a內有無污垢A。於此情況下，藉由將設置於傳送機構130的荷重元134的檢測值的合計與對藉由該傳送機構130移送的樹脂的壓力進行檢測的壓力感測器140的檢測值的合計進行比較，可檢測罐111a的污垢A。例如，於本實施方式（參照圖4）中，藉由將設置於傳送軸131的一個荷重元134的檢測值與五個壓力感測器140的檢測值的合計值進行比較，可檢測罐111a的污垢A。

＜第二實施方式＞ 以下，對壓力感測器140的配置的變形例（第二實施方式）進行說明。

於所述第一實施方式（參照圖3等）中，示出了將壓力感測器140設置於剔料池區塊121的剔料池部121a的例子，但壓力感測器140的配置並不限於此。於第二實施方式（參照圖7）中，示出了將壓力感測器140設置於柱塞133的前端部的例子。

如圖7所示，第二實施方式的壓力感測器140配置於柱塞133的中心（柱塞133的軸線上）。壓力感測器140設置成以檢測面朝上的狀態埋入柱塞133中。壓力感測器140的上端面（檢測面）與柱塞133的上表面大致配置於同一平面上。藉由如此配置，壓力感測器140的檢測面可與向模腔C移送的樹脂材料直接接觸。

藉由使用第二實施方式的壓力感測器140，與第一實施方式同樣地，可於藉由傳送機構130開始移送樹脂材料後立即檢測樹脂壓力。另外，與第一實施方式同樣地，可使用壓力感測器140進行固化時間的決定及罐111a內的污垢A的檢測。

如上所述，所述實施方式的樹脂成形裝置1包括：下模110，形成有收容樹脂材料的罐111a；上模120，與所述下模110相向設置且於與所述罐111a相向的部分形成有剔料池部121a；柱塞133，能夠對收容於所述罐111a中的所述樹脂材料進行移送；以及壓力感測器140（第一感測器），設置於所述上模120中與所述柱塞133相向的位置（參照圖3）或所述柱塞133的前端部（參照圖7），並對與壓力相關的值進行檢測。

藉由如此構成，可詳細地把握樹脂壓力。具體而言，藉由設置於與柱塞133相向的位置或柱塞133的前端部的壓力感測器140，能夠於藉由柱塞133移送樹脂材料後立即檢測樹脂壓力。基於以所述方式檢測出的樹脂壓力，可進行固化時間的決定或罐111a的清潔時期的決定等。

另外，於假設為了檢測樹脂壓力而於模腔C直接設置壓力感測器的情況下，於樹脂成形後的產品表面上會形成壓力感測器的痕跡。於經樹脂密封的產品被單片化而成為最終產品的情況下，若存在於外觀上有壓力感測器的痕跡的產品以及無壓力感測器的痕跡的產品，則該些有可能不會被認為是相同品質的產品，因此欠佳。相對於此，於本實施方式（第一實施方式及第二實施方式）中，由於並非於模腔C直接設置壓力感測器140的結構，因此不會對產品的品質造成影響。

另外，為了把握樹脂壓力，亦可設想如下結構：於與模腔C相向設置的頂出銷設置壓力感測器，對施加於頂出銷的壓力進行檢測，藉此檢測樹脂壓力。但是，由於頂出銷的滑動阻力，實際的樹脂壓力與壓力感測器的檢測值會產生誤差，因此難以檢測正確的樹脂壓力。相對於此，於本實施方式（第一實施方式及第二實施方式）中，由於在直接與樹脂材料接觸的部分（柱塞133的前端部等）設置壓力感測器140，因此不會產生誤差，而可精度良好地檢測樹脂壓力。

另外，一般亦存在於模腔C不設置壓力感測器或頂出銷的產品（樹脂成形裝置1）。於此種產品中，如本實施方式（第一實施方式及第二實施方式）般於柱塞133的前端部等設置壓力感測器140的結構是有用的。

另外，所述壓力感測器140是與設置有多個的所述柱塞133對應地設置多個的構件。

藉由如此構成，可對藉由各柱塞133而移送的樹脂的壓力各別地進行檢測，從而可更詳細地把握樹脂壓力。

另外，樹脂成形裝置1更包括基於所述壓力感測器140的檢測值來決定固化時間的控制部16。

藉由如此構成，可容易地決定固化時間。特別是如所述實施方式般，可使用藉由壓力感測器140而詳細地檢測出的樹脂壓力來決定固化時間，因此可設定適合的固化時間。

另外，樹脂成形裝置1更包括荷重元150（第二感測器），所述荷重元150設置於所述柱塞133中與所述前端部不同的部分、並對與施加於所述柱塞133的力相關的值進行檢測，所述控制部16將所述壓力感測器140的檢測值與所述荷重元150的檢測值進行比較。

藉由如此構成，對於樹脂壓力相對於施加於柱塞133的載荷取怎樣的值，可藉由比較來把握。另外，可將該比較結果用作對樹脂成形裝置1的狀態（例如，樹脂壓力有無異常等）進行把握的資訊。

另外，所述控制部16藉由將所述壓力感測器140的檢測值與所述荷重元150的檢測值進行比較來檢測所述柱塞133的滑動阻力。

藉由如此構成，可檢測設置有柱塞133的罐111a內有無污垢。藉此，可於適合的時機進行罐111a的清潔。

另外，所述荷重元150是與設置有多個的所述柱塞133對應地設置多個的構件。

藉由如此構成，可對施加於各柱塞133的載荷各別地進行檢測。藉此，可各別地檢測各罐111a有無污垢。

另外，本實施方式的樹脂成形品的製造方法是使用樹脂成形裝置1對成形對象物進行樹脂成形。

藉由如此構成，可詳細地把握樹脂壓力。另外，由於可決定適合的固化時間或檢測罐111a有無污垢，因此可達成樹脂成形品的品質提高或生產效率的提高。

以上，對本發明的實施方式進行了說明，但本發明並不限定於所述實施方式，能夠於申請專利範圍所記載的發明的技術思想的範圍內進行適當的變更。

例如，所述實施方式的樹脂成形裝置1中使用的構成元件（供給模組10等）是一例，能夠適當裝卸或更換。例如，能夠變更樹脂成形模組20的個數。另外，本實施方式的樹脂成形裝置1中使用的構成元件（供給模組10等）的結構或動作是一例，能夠適當變更。

另外，於所述實施方式中示出了使用片狀的樹脂材料（樹脂片T）的例子，但本發明並不限於此。即，作為樹脂材料，不僅能夠使用片狀的樹脂材料，亦能夠使用粉粒體狀（包括顆粒狀、粉末狀）、液狀等任意形態的樹脂材料。

另外，於所述實施方式中例示出的傳送軸131、柱塞133、罐111a等的個數並無限定，能夠任意變更。另外，各種感測器（荷重元134、壓力感測器140及荷重元150）的個數亦無特別限定，能夠任意變更。

另外，於所述實施方式中，示出了與多個柱塞133對應地設置多個壓力感測器140的例子，但本發明並不限於此。即，無需設置與柱塞133相同數量的壓力感測器140，能夠使壓力感測器140的個數較柱塞133的個數少或多。例如，亦能夠與任意一個柱塞133對應地僅設置一個壓力感測器140。另外，關於荷重元150亦同樣地，無需設置與多個柱塞133相同的數量而能夠任意設定個數。

另外，於所述第一實施方式中，示出了將壓力感測器140設置於剔料池區塊121（剔料池部121a）的例子，但本發明並不限於此。壓力感測器140只要是設置於與柱塞133相向的位置、或柱塞133的前端部、且可於開始移送樹脂後立即檢測樹脂壓力的構件即可，對所安裝的構件並無限定。

另外，於所述實施方式中，分別示出了將壓力感測器140設置於與柱塞133相向的位置（剔料池區塊121）的例子（參照圖3）、及將壓力感測器140設置於柱塞133的前端部的例子（參照圖7），但本發明並不限於此。即，並非僅於剔料池區塊121或柱塞133中的任一者設置壓力感測器140，而是亦能夠設置於兩者。

另外，於所述實施方式中，示出了控制部16對固化時間的決定或柱塞133的滑動阻力（有無污垢A）進行檢測的例子，但本發明並不限於此，固化時間等亦可藉由人的判斷來決定。於此情況下，例如控制部16亦能夠設為如下結構：藉由將壓力感測器140等的檢測值、或壓力感測器140的檢測值與荷重元150的檢測值的比較結果等輸出至顯示器等輸出裝置，從而將固化時間的決定等所需的資訊報告給人。

另外，於所述實施方式中，使用了壓力感測器140，但亦能夠根據使用對力進行檢測的感測器而檢測出的值以及面積來算出壓力。 另外，於所述實施方式中，使用了對載荷進行檢測的荷重元134，但取而代之亦能夠使用對力進行檢測的感測器。

1:樹脂成形裝置 2:基板 2a:晶片 10:供給模組 11:框架送出部 12:框架供給部 13:樹脂送出部 14:樹脂供給部 15:裝載機 16:控制部 20:樹脂成形模組 21:合模機構 30:搬出模組 31:卸載機 32:基板收容部 T:樹脂片 110:下模 111:罐區塊 111a:罐 112:下模模腔區塊 120:上模 121:剔料池區塊 122:上模模腔區塊 121a:剔料池部 121b:澆道部 130:傳送機構 131:傳送軸 132:安裝部 133:柱塞 134:荷重元 C:模腔 140:壓力感測器 150:荷重元 S10:搬入步驟 S20:樹脂成形步驟 S30:搬出步驟 t1、t2:時間 A:污垢

圖1是表示第一實施方式的樹脂成形裝置的整體結構的平面示意圖。 圖2是表示樹脂成形品的製造方法的一例的流程圖。 圖3是表示成形模的結構的正面剖面圖。 圖4是表示傳送機構、壓力感測器及荷重元的配置的示意圖。 圖5是表示樹脂壓力的時間變化的一例的圖。 圖6是示意性地表示罐內附著有污垢的狀態的正面剖面圖。 圖7是表示第二實施方式的成形模的結構的正面剖面圖。

2:基板

2a:晶片

20:樹脂成形模組

110:下模

111:罐區塊

111a:罐

112:下模模腔區塊

120:上模

121:剔料池區塊

121a:剔料池部

121b:澆道部

122:上模模腔區塊

130:傳送機構

131:傳送軸

132:安裝部

133:柱塞

134:荷重元

C:模腔

140:壓力感測器

150:荷重元

Claims (7)

1. 一種樹脂成形裝置，包括： 下模，形成有收容樹脂材料的罐； 上模，與所述下模相向設置且於與所述罐相向的部分形成有剔料池部； 柱塞，能夠對收容於所述罐中的所述樹脂材料進行移送；以及 第一感測器，設置於所述上模中與所述柱塞相向的位置、或所述柱塞的前端部，並對與壓力相關的值進行檢測。
2. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，其中， 與設置有多個的所述柱塞對應地設置多個所述第一感測器。
3. 如請求項1或請求項2所述的樹脂成形裝置，更包括控制部，所述控制部基於所述第一感測器的檢測值來決定固化時間。
4. 如請求項3所述的樹脂成形裝置，更包括第二感測器，所述第二感測器設置於所述柱塞中與所述前端部不同的部分，且對與施加於所述柱塞的力相關的值進行檢測， 所述控制部將所述第一感測器的檢測值與所述第二感測器的檢測值進行比較。
5. 如請求項4所述的樹脂成形裝置，其中， 所述控制部藉由將所述第一感測器的檢測值與所述第二感測器的檢測值進行比較來檢測所述柱塞的滑動阻力。
6. 如請求項4或請求項5所述的樹脂成形裝置，其中， 與設置有多個的所述柱塞對應地設置多個所述第二感測器。
7. 一種樹脂成形品的製造方法，使用如請求項1至請求項6中任一項所述的樹脂成形裝置對成形對象物進行樹脂成形。

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