CN114203326B - 石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜及其制备方法、应用 - Google Patents
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 62
- PXHVJJICTQNCMI-RNFDNDRNSA-N nickel-63 Chemical compound [63Ni] PXHVJJICTQNCMI-RNFDNDRNSA-N 0.000 title claims abstract description 40
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 105
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 101
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims abstract description 101
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims abstract description 66
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims abstract description 66
- 229910021586 Nickel(II) chloride Inorganic materials 0.000 claims abstract description 53
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims abstract description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 7
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 claims description 3
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims description 3
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 4
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000002659 electrodeposit Substances 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000026683 transduction Effects 0.000 description 1
- 238000010361 transduction Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21H—OBTAINING ENERGY FROM RADIOACTIVE SOURCES; APPLICATIONS OF RADIATION FROM RADIOACTIVE SOURCES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; UTILISING COSMIC RADIATION
- G21H1/00—Arrangements for obtaining electrical energy from radioactive sources, e.g. from radioactive isotopes, nuclear or atomic batteries
- G21H1/06—Cells wherein radiation is applied to the junction of different semiconductor materials
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
- B05D7/50—Multilayers
- B05D7/56—Three layers or more
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/32—Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
- C23C28/321—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer with at least one metal alloy layer
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/56—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D9/00—Electrolytic coating other than with metals
- C25D9/04—Electrolytic coating other than with metals with inorganic materials
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Abstract
本发明公开了石墨烯封装超薄镍‑63辐射源薄膜及其制备方法、应用,其制备方法包括以下步骤:S1、在PMMA/石墨烯薄膜上制备63NiCl2薄膜,获得PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜;S2、将步骤S1制备的PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜与PMMA/石墨烯薄膜面对面接触,使63NiCl2薄膜置于两层石墨烯之间,获得PMMA/石墨烯/63NiCl2/石墨烯/PMMA薄膜,然后真空干燥处理;S3、去除PMMA/石墨烯/63NiCl2/石墨烯/PMMA薄膜中的PMMA,获得石墨烯/63NiCl2/石墨烯薄膜;S4、将步骤S3获得的石墨烯/63NiCl2/石墨烯薄膜置于真空环境进行还原处理,将63NiCl2还原成63Ni膜,获得石墨烯封装超薄镍‑63辐射源薄膜。通过本发明所述制备方法制备的封装整体厚度较薄,且封装结构中的镍‑63辐射源薄膜的厚度仅约为1μm。
Description
技术领域
本发明涉及薄膜制备技术领域,具体涉及石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜及其制备方法、应用。
背景技术
β伏特同位素电池是利用β伏特效应将同位素β辐射能直接转为电能的装置,通过收集β粒子在半导体材料中激发出的电子和空穴,实现电流倍增和能量转换。目前微型同位素电池的辐射源普遍选择仅辐射电子的β放射源,低能β辐射源辐射电子能量多处于keV量级,不会对换能材料产生辐照损伤,当活度较低时也不会对人体产生永久性损伤,是一种较为安全的放射源。63Ni辐射源的半衰期长,β粒子能量适中,电子辐射对人体损害可忽略不计,因此常被作为同位素电池的辐射源。
现有专利镍-63辐射源的制备方法是将63NiCl2电解液中63Ni电沉积在10*20mm2的镍片或其他金属衬底上,其缺点是所制备的辐射源厚度较厚,受其厚度所限,辐射源无法用于微型器件,而对于封装结构,在镍-63辐射源薄膜的两侧均是金属衬底,厚度较大。
发明内容
本发明的目的在于提供石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜的制备方法,通过本发明所述制备方法制备的封装整体厚度较薄,且封装结构中的镍-63辐射源薄膜的厚度仅约为1μm。
此外,本发明还提供基于上述制备方法制备的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜及其应用。
本发明通过下述技术方案实现:
石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜的制备方法,包括以下步骤:
S1、在PMMA/石墨烯薄膜上制备63NiCl2薄膜,获得PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜,PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜中石墨烯的两侧分别为63NiCl2薄膜和PMMA薄膜;
S2、将步骤S1制备的PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜与PMMA/石墨烯薄膜面对面接触,使63NiCl2薄膜置于两层石墨烯之间,获得PMMA/石墨烯/63NiCl2/石墨烯/PMMA薄膜,然后真空干燥处理;
S3、去除PMMA/石墨烯/63NiCl2/石墨烯/PMMA薄膜中的PMMA,获得石墨烯/63NiCl2/石墨烯薄膜;
S4、将步骤S3获得的石墨烯/63NiCl2/石墨烯薄膜置于真空环境进行还原处理,将63NiCl2还原成63Ni膜,获得石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜。
本发明在步骤S1中,选用石墨烯作为基底,直接将63NiCl2于石墨烯表面形成63NiCl2薄膜,且由于真空干燥以及还原过程中,烘箱(真空干燥)或者管式炉抽真空(还原处理)会使得位于上、下面的石墨烯紧密贴附在一起,依靠上下两片石墨烯片间的范德瓦尔斯力实现对辐射源的封装,从而制备出厚度约为1μm的自支撑(不需要其它不必要的支撑基底)镍-63辐射源。
本发明制得的石墨烯封装超薄镍-63辐射源可直接拿去制备肖特基结构的叠层核电池。但如果选用传统方法在金属基底表面电沉积Ni源,无法制备超薄叠层核电池。
本发明整个合成过程简单、高效。制备得到的辐射源薄膜完整可自支撑,厚度可控,且应用范围广泛,特别适用于肖特基结型叠层β辐射电池的制备。
进一步地,步骤S1中,所述PMMA/石墨烯薄膜的制备过程如下:
首先采用CVD方法在Cu箔表面生长大面积单晶石墨烯,依次用丙酮,乙醇,去离子水清洗干净,之后在其表面旋涂PMMA,使PMMA与石墨烯紧密贴附。随后将其置于FeCl3溶液中,去除Cu基底,得到大面积PMMA/石墨烯薄膜漂浮在去离子水表面待用。
进一步地,步骤S1中,采用旋涂法制备63NiCl2薄膜:配置一定浓度的63NiCl2溶液,并在PMMA/石墨烯表面旋涂一层63NiCl2薄膜。
进一步地,步骤S2中,真空干燥处理的温度为50-80℃。
进一步地,步骤S3中,采用温度为70-100℃的丙酮去除PMMA:PMMA/石墨烯/63NiCl2/石墨烯/PMMA薄膜浸泡在丙酮溶液中,缓慢加热丙酮至70-100℃从而去除PMMA薄膜,得到漂浮于液体表面的大面积石墨烯/63NiCl2/石墨烯薄膜待用。
进一步地,步骤S4中,还原处理在管式炉中进行,采用H2还原处理,温度大于等于500℃,时间大于等于4小时:将待还原的样品放入管式炉中,先抽真空排出空气,再通入氢气至炉内压力为1.8×105Pa,进行还原反应。每隔两小时进行一次排气、充气循环,达到预期反应时间后,停止加热,继续通氢气直至试样完全冷却。
采用上述制备方法制备的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜,所述石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜包括镍-63辐射源薄膜层,所述镍-63辐射源薄膜层的两侧均与石墨烯层连接。
采用上述制备方法制备的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜在制备肖特基结型叠层β辐射电池中的应用。
本发明制备的石墨烯封装辐射源适于肖特基结型叠层β辐射电池的制备。石墨烯一方面起到封装的作用,另一方面作为金属,可与其他半导体材料构成肖特基型换能器件。
本发明与现有技术相比,具有如下的优点和有益效果:
1、本发明所述制备方法的直接将63NiCl2旋涂于石墨烯表面,且由于真空干燥以及氢气还原过程中,烘箱或者管式炉抽真空会使得位于上、下面的石墨烯紧密贴附在一起,从而凭借石墨烯片与片之间的范德瓦尔斯力,实现对63Ni辐射源的有效封装,所制备的镍-63辐射源厚度可降至1μm左右,且辐射源薄膜完整可自支撑。
2、利用本发明得到的自支撑石墨烯封装镍-63辐射源薄膜厚度可控,且应用范围广泛,特别适用于肖特基结型叠层β辐射电池的制备。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解,构成本申请的一部分,并不构成对本发明实施例的限定。在附图中:
图1为本发明石墨烯封装的超薄镍-63辐射源薄膜制备流程图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下面结合实施例和附图,对本发明作进一步的详细说明,本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明,并不作为对本发明的限定。
实施例1:
如图1所示,石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜的制备方法,包括以下步骤:
S1、在PMMA/石墨烯薄膜上旋涂63NiCl2制备63NiCl2薄膜,获得PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜,PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜中石墨烯的两侧分别为63NiCl2薄膜和PMMA薄膜;
PMMA/石墨烯薄膜的制备过程如下:
用CVD方法在Cu箔表面生长15*5cm2的单晶石墨烯,随后依次用丙酮,乙醇,去离子水将其表面清洗干净;将Cu基的石墨烯安放于匀胶机上,用滴管取适量PMMA溶液滴在石墨烯的表面,打开匀胶机,先以100-500rpm的转速匀胶1-5s,再以3500rpm转速旋胶10-30s,PMMA薄膜层的厚度为300-650nm。随后将涂有PMMA层的样品,放置到135-170℃热板上烘烤30-50min,使PMMA与石墨烯层紧密贴附。烘烤结束后,将样品从热板上取下,冷却至室温。随后将样品放入三氯化铁(FeCl3)溶液中,使之漂浮在溶液表面。刻蚀30-60min,使Cu完全去除。待Cu去除干净后,用一个清洁抛光后的硅基片(或其它抛光基片)将PMMA/石墨烯膜轻轻拖出移至去离子水中,使其保持漂浮状态,浸泡10min,再移至干净离子水中浸泡10min,如此3次,以保证残余的三氯化铁去除干净;
S2、将步骤S1制备的PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜与同样尺寸的PMMA/石墨烯薄膜面对面接触,使63NiCl2薄膜置于两层石墨烯之间,相贴,获得PMMA/石墨烯/63NiCl2/石墨烯/PMMA薄膜,并用模具将其夹紧固定放入真空烘箱中,在60℃下进行干燥处理;
S3、将PMMA/石墨烯/63NiCl2/石墨烯/PMMA薄膜放入盛有丙酮的烧杯中,缓慢加热丙酮至70-80℃,30min后将烧杯中的样品取出再次放入干净的烧杯中重复以上步骤3次,将PMMA完全除去,获得石墨烯/63NiCl2/石墨烯薄膜;
S4、将步骤S3获得的石墨烯/63NiCl2/石墨烯薄膜置于真空环境进行还原处理,将63NiCl2还原成63Ni膜,具体的步骤如下:将干燥后的样品放入管式炉内,先抽真空排出空气,再通入氢气至炉内压力为1.8×105Pa,进行还原反应。每隔2h进行一次排气、充气循环,达到预期反应时间后,停止加热,继续通氢气直至试样完全冷却;反应温度为500-550℃,还原时间为4-6小时,获得石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜。
本实施例的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜依靠石墨烯片层之间的范德瓦尔斯力,将63Ni膜进行封装,所述石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜完整可自支撑,其长度约为15cm,宽度约为5cm,63Ni辐射源厚度约为1μm。
以上所述的具体实施方式,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施方式而已,并不用于限定本发明的保护范围,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、在PMMA/石墨烯薄膜上制备63NiCl2薄膜,获得PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜;
S2、将步骤S1制备的PMMA/石墨烯/63NiCl2薄膜与PMMA/石墨烯薄膜面对面接触,使63NiCl2薄膜置于两层石墨烯之间,获得PMMA/石墨烯/63NiCl2/石墨烯/PMMA薄膜,然后真空干燥处理;
S3、去除PMMA/石墨烯/63NiCl2/石墨烯/PMMA薄膜中的PMMA,获得石墨烯/63NiCl2/石墨烯薄膜;
S4、将步骤S3获得的石墨烯/63NiCl2/石墨烯薄膜置于真空环境进行还原处理,将63NiCl2还原成63Ni膜,获得石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜;
步骤S2中,真空干燥处理的温度为50-80℃;
步骤S4中,还原处理在管式炉中进行,采用H2还原处理,温度大于等于500 ℃,时间大于等于4小时:将待还原的样品放入管式炉中,先抽真空排出空气,再通入氢气至炉内压力为1.8×105 Pa,进行还原反应;每隔两小时进行一次排气、充气循环,达到预期反应时间后,停止加热,继续通氢气直至试样完全冷却。
2.根据权利要求1所述的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S1中,所述PMMA/石墨烯薄膜的制备过程如下:
先采用CVD方法在铜箔表面生长单晶石墨烯,再在石墨烯表面制备PMMA薄膜,最后去除铜箔。
3.根据权利要求2所述的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜的制备方法,其特征在于,采用旋涂法制备PMMA薄膜。
4.根据权利要求2所述的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜的制备方法,其特征在于,采用FeCl3溶液浸泡去除铜箔。
5.根据权利要求1所述的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S1中,采用旋涂法制备63NiCl2薄膜。
6.根据权利要求1所述的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S3中,采用温度为70-100 ℃的丙酮去除PMMA。
7.如权利要求1-6任一项所述制备方法制备的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜,其特征在于,所述石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜包括镍-63辐射源薄膜层,所述镍-63辐射源薄膜层的两侧均与石墨烯层连接。
8.如权利要求1-6任一项所述制备方法制备的石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜在制备肖特基结型叠层β辐射电池中的应用。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202111517496.6A CN114203326B (zh) | 2021-12-13 | 2021-12-13 | 石墨烯封装超薄镍-63辐射源薄膜及其制备方法、应用 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114203326A CN114203326A (zh) | 2022-03-18 |
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---|---|---|---|
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CN (1) | CN114203326B (zh) |
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