CN113165933B - 玻璃微粒沉积体制造用燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法 - Google Patents

玻璃微粒沉积体制造用燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法 Download PDF

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Abstract

一种玻璃微粒沉积体制造用的燃烧器，具备：作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及覆盖气体供给管的罩子，气体供给管与罩子构成为一体，气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖气体供给管、以及连接在气体供给管的侧面的配管的连接部。

Description

玻璃微粒沉积体制造用燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置 以及制造方法
技术领域
本发明涉及玻璃微粒沉积体制造用燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法。
本专利申请要求基于2018年12月4日提出的日本专利申请第2018-227117号的优先权，并且援引该专利申请中记载的全部记载内容。
背景技术
专利文献1中记载了使用硅氧烷作为原料以形成玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造用燃烧器和玻璃微粒沉积体的制造方法。
专利文献2中记载了随着玻璃微粒沉积体生长且其内径增大，使燃烧器后退。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2014-224007号公报
专利文献2：日本特开2012-62203号公报
发明内容
本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体制造用燃烧器，
是一种用于制造玻璃微粒沉积体的燃烧器，其具备：
作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及
覆盖所述气体供给管的罩子，
所述气体供给管与所述罩子构成为一体，
所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，
所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。
本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置，
是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造装置，具备：
壁部，其与所述起始棒隔开配置，并在壁面上设有燃烧器穿过其中的通孔；
清洁空气供给部，其从所述壁部的外侧向内侧供给清洁空气；
燃烧器，其具备作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、覆盖所述气体供给管并与所述气体供给管构成为一体的罩子；以及
移动机构，其使所述燃烧器随着所述玻璃微粒沉积体的生长而后退，
所述燃烧器的所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，
所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。
另外，本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造方法，
是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造方法，
在与所述起始棒隔开配置的壁部的壁面上设置燃烧器穿过其中的通孔，
所述燃烧器具备一体形式的作为燃烧器主体的金属制的气体供给管以及覆盖所述气体供给管的罩子，所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部，
随着所述玻璃微粒沉积体的生长，使所述燃烧器与所述通孔的间隙保持恒定的同时使其后退，
将清洁空气从所述间隙导入到所述反应容器内。
附图说明
[图1]图1是本发明实施方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置的示意性构成图。
[图2]图2是本发明实施方式涉及的玻璃微粒沉积体制造用燃烧器的示意性构成图。
[图3]图3是图2的向视C-C线的剖面图。
具体实施方式
(本发明要解决的课题)
在OVD(Outside Vapor Deposition：外部气相沉积)法和MMD(MultiburnerMultilayer Deposition：多燃烧器多层沉积)法中，通过将清洁空气导入到反应容器内，并由处于相对位置处的排气口排出，从而将没有沉积在玻璃微粒沉积体上的玻璃微粒等(以下，称为剩余残渣)排出，调整火焰使其可以稳定地沉积玻璃微粒。此时，随着玻璃微粒沉积体的生长，其直径增大，燃烧器与沉积面之间的距离发生变化，从而沉积面的温度和沉积效率发生变化。因此，随着玻璃微粒沉积体的直径增大，需要使燃烧器后退。
另外，在使用硅氧烷作为原料以形成玻璃微粒沉积体时，希望在燃烧器与燃烧器周围的壁面之间设有间隙，并从该间隙流入清洁空气，使得在燃烧器的周围可以形成稳定的清洁空气的气流。
另外，硅氧烷的沸点高，需要在高温下加热燃烧器，当使用在采用四氯化硅作为原料的工艺中所用的石英燃烧器时，难以选择用于与配管连接的材料。因此，在使用硅氧烷的情况下，虽然使用金属制的燃烧器，但是当将金属制的燃烧器制作成如石英燃烧器那样的外径精度且较长时，会变得非常昂贵，因而需要将定径部分的长度缩短。因此，仅通过定径部分难以确保用于使燃烧器后退的举动，除了定径部分以外的、连接有配管的部分等也需要穿过壁面。
因此，随着玻璃微粒沉积体的生长(燃烧器的后退)，清洁空气经过的上述间隙的截面积发生变化，从而清洁空气的流速发生变化。当清洁空气的流速发生变化而气流不稳定时，会对玻璃微粒的沉积状态产生影响。为了稳定沉积效率，例如需要使沉积面的温度保持在一定范围内，但是当间隙的截面积在沉积中发生变化时，沉积面的温度可能无法稳定。
因此，本发明的目的在于提供在制造过程中，可以使玻璃微粒沉积体的沉积面的温度稳定，同时有效地进行排气以除去反应容器内的剩余残渣的玻璃微粒沉积体制造用的燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法。
(本发明的效果)
根据本发明涉及的玻璃微粒沉积体制造用燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法，在制造过程中，能够使玻璃微粒沉积体的沉积面的温度稳定，同时有效地进行排气以除去反应容器内的剩余残渣。
(本发明实施方式的说明)
首先，列举本发明的实施方式并进行说明。
本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体制造用燃烧器是，
(1)一种玻璃微粒沉积体制造用的燃烧器，具备：
作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及
覆盖所述气体供给管的罩子，
所述气体供给管与所述罩子构成为一体，
所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，
所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。
根据上述构成，罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖气体供给管、以及连接在气体供给管的侧面的配管的连接部。因此，在与反应容器内的玻璃微粒沉积体隔开配置的一侧壁面上安装燃烧器，在制造玻璃微粒沉积体的过程中，即使使燃烧器后退，也能够使与壁面之间的间隙的截面积保持恒定。通过使用上述构成的燃烧器来进行玻璃微粒沉积体的制造，在制造过程中，由于可以从恒定的间隙导入清洁空气，因此能够使玻璃微粒沉积体的沉积面的温度稳定，同时有效地进行排气以除去反应容器内的剩余残渣。
另外，本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置是，
(2)在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造装置，具备：
壁部，其与所述起始棒隔开配置，并在壁面上设有燃烧器穿过其中的通孔；
清洁空气供给部，其从所述壁部的外侧向内侧供给清洁空气；
燃烧器，其具备作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及覆盖所述气体供给管并与所述气体供给管构成为一体的罩子；以及
移动机构，其使所述燃烧器随着所述玻璃微粒沉积体的生长而后退，
所述燃烧器的所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，
所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。
根据上述构成，穿过与起始棒隔开配置的壁部的壁面与罩子之间的间隙而贯通地安装的燃烧器中，罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖气体供给管、以及连接在气体供给管的侧面的配管的连接部。因此，在制造玻璃微粒沉积体的过程中，即使使燃烧器后退，也能够使与壁面之间的间隙的截面积保持恒定。由此，在制造过程中，由于可以从恒定的间隙导入清洁空气，因此能够使玻璃微粒沉积体的沉积面的温度稳定，同时有效地进行排气以除去反应容器内的剩余残渣。
另外，本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造方法是，
(3)在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造方法，
在与所述起始棒隔开配置的壁部的壁面上设置燃烧器穿过其中的通孔，
所述燃烧器具备一体形式的作为燃烧器主体的金属制的气体供给管与覆盖所述气体供给管的罩子，所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部，
随着所述玻璃微粒沉积体的生长，使所述燃烧器与所述通孔的间隙保持恒定的同时使其后退，
将清洁空气从所述间隙导入到所述反应容器内。
根据上述方法，穿过与起始棒隔开配置的壁部的壁面与罩子之间的间隙而贯通地安装的燃烧器中，罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖气体供给管、以及连接在气体供给管的侧面的配管的连接部。因此，在制造玻璃微粒沉积体的过程中，即使使燃烧器后退，也能够使与壁面之间的间隙的截面积保持恒定。由此，在制造过程中，由于可以从恒定的间隙导入清洁空气，因此能够使玻璃微粒沉积体的沉积面的温度稳定，同时有效地进行排气以除去反应容器内的剩余残渣。
根据上述(3)所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，
(4)可以使用OMCTS(八甲基环四硅氧烷)作为原料，并将所述气体供给管加热至230℃以上。
在使用OMCTS作为原料的情况下，由于将气体供给管加热至OMCTS的沸点温度以上，即230℃以上，因此可以防止OMCTS在气体供给管内即燃烧器内部发生液化。
(本发明实施方式的详细说明)
参照附图对本发明实施方式涉及的玻璃微粒沉积体制造用燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法的具体例子进行说明。
需要说明的是，本发明不限于这些示例，而是由权利要求书表示，并且意图包括与权利要求书等同的意义和范围内的所有变化。
图1是表示本发明实施方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置的一个例子的示意性构成图。
如图1所示，玻璃微粒沉积体的制造装置1(以下，称为制造装置1)是在配置于反应容器100内的起始棒110上沉积玻璃微粒m以制作玻璃微粒沉积体M的装置。制造装置1具备：将玻璃微粒m喷向起始棒110的燃烧器2、燃烧器2穿透的壁部6、使燃烧器2移动的移动机构7、以及供给清洁空气的清洁空气供给部8。
反应容器100的上壁中设有通孔，起始棒110以沿上下方向穿过该通孔的方式配置。起始棒110的上端被旋转往复装置(省略图示)把持，使其在反应容器100内旋转的同时，沿上下方向往返移动。
另外，在反应容器100中，将起始棒110夹在中间，在一个侧部(左侧部)配置有燃烧器2、并且在与燃烧器2相反一侧的侧部(右侧部)连接有排气管101。排气管101是进行预定量的气体的排气的管，将没有沉积在玻璃微粒沉积体M上而漂浮在反应容器100内的玻璃微粒m排除到外部。
燃烧器2穿透将反应容器100内划分为两个室的壁部6，并且被设置为使得喷出面与起始棒110相对。朝向起始棒110的轴向(上下方向)等间隔地排列设有多个(在本例中为6个)燃烧器2。各个燃烧器2均以能够独立地向起始棒110喷射玻璃微粒m的方式构成。
壁部6形成在与起始棒110隔开的位置。通过壁部6将反应容器100内划分为进行玻璃微粒m的喷附的反应室100A(右侧的室)和流入清洁空气的清洁空气室100B(左侧的室)。壁部6的壁面上设有通孔61，以使得反应容器100的左右两个室连通。朝向起始棒110的轴向等间隔地排列设有多个(在本例中为6个)通孔61。各个通孔61中均插有燃烧器2。通孔61的直径R1例如形成为约70～80mm。
移动机构7是可以支持处于插入在通孔61中的状态下的燃烧器2、同时使燃烧器2相对于反应容器100内的起始棒110后退(箭头A方向)或前进(箭头B方向)的机构。移动机构7例如设置在清洁空气室100B内。移动机构7具备可以使燃烧器2直线移动的驱动部，该驱动部例如由线性电机或步进电机等构成。
这样，在本例子的制造装置1中，利用MMD法制造玻璃微粒沉积体M，即，多个燃烧器2一边相对于起始棒110进行相对地移动，一边沉积玻璃微粒m。
清洁空气供给部8是用于将作为清洁化气体的清洁空气供给到反应容器100内的装置。清洁空气供给部8经由空气供给管81与清洁空气室100B连接。
图2是从侧面观察燃烧器2的示意性构成图。图3是图2的向视C-C线的剖面图。需要说明的是，在图3中，从向视的方向观察，虚线的阴影示出了比气体供给管20的外周侧面更外侧的区域处于被罩子30封闭(阻挡)的状态。
如图2和图3所示，燃烧器2具备气体供给管20和覆盖气体供给管20的周围的罩子30。
作为原料气体，例如可以使用熔点为17.5℃且沸点为175℃的八甲基环四硅氧烷(OMCTS)、熔点为-38℃且沸点为210℃的十甲基环五硅氧烷(DMCPS)、熔点为64℃且沸点为134℃的六甲基环三硅氧烷、熔点为-68℃且沸点为100℃的六甲基二硅氧烷等，但是OMCTS是最理想的。
将作为原料气体的硅氧烷、作为火焰形成气体的氢气(H2)和氧气(O2)等、作为密封气体的氮气(N2)或氩气(Ar)等惰性气体供给到燃烧器2中。在燃烧器2中，在由助燃性气体(氧气)和可燃性气体(氢气)产生的氢氧火焰中，喷出气化后的硅氧烷并使其发生氧化反应，从而合成玻璃微粒m。
气体供给管20是构成燃烧器2的主体的部分，例如形成为圆筒状。气体供给管20由金属材料构成，例如耐腐蚀性优异的不锈钢等。气体供给管20的轴向(左右方向)上的长度L例如约为75～105mm。为了确保气体供给管20的热容量，气体供给管20的长度L例如可以根据硅氧烷的供给量而进行变化。
在气体供给管20的侧面设有连接部21a～21d，其连接有用于供给氢氧气体和密封气体的配管。连接部21a例如连接有供给密封气体的配管22a。连接部21b例如连接有供给氢气的配管22b。连接部21c、21d例如连接有供给氧气的配管22c、22d。各个连接部21a～21d例如形成为这样的形状：从气体供给管20的侧面垂直延伸后，连接有各个配管22a～22d的连接口朝向气体供给管20的背面方向延伸。
燃烧器2的中央具有喷出作为原料气体的硅氧烷的原料气体喷口23。在原料气体喷口23的周围，呈同心圆状地配置有多个喷出作为密封气体的N2的密封气体喷口24。在密封气体喷口24的周围，呈同心圆状地配置有多个喷出作为可燃性气体的H2的可燃性气体喷口25。在可燃性气体喷口25的周围，呈双重同心圆状地配置有多个喷出作为助燃性气体的O2的助燃性气体喷口26、27。原料气体喷口23的直径例如约为1mm以上4mm以下。另外，密封气体喷口24、可燃性气体喷口25以及助燃性气体喷口26、27的直径例如约为1mm以上2mm以下。
密封气体喷口24经由连接部21a与配管22a连接。可燃性气体喷口25经由连接部21b与配管22b连接。助燃性气体喷口26经由连接部21c与配管22c连接。助燃性气体喷口27经由连接部21d与配管22d连接。另外，原料气体喷口23还连接到用于供给硅氧烷的配管22e，该配管22e与气体供给管20的背面连接。配管22a～22d的直径约为1/4～3/8英寸。另外，配管22e的直径约为1/4英寸。
罩子30例如形成为具有恒定外径的圆筒状。罩子30以下述方式设置：在气体供给管20的长度方向(左右方向)上以预定长度覆盖气体供给管20和连接部21a～21d的外周。例如，罩子30形成为至少具有燃烧器2相对于起始棒110移动(后退)的距离以上的长度。
罩子30与气体供给管20构成为一体。在燃烧器2移动的过程中，罩子30与气体供给管20一体地移动。形成为圆筒状的罩子30的背面侧处于开放状态。与此相对，在罩子30的前面侧，除了容纳在罩子30内的气体供给管20的前面以外的区域，即比气体供给管20的外周侧面更外侧的区域处于封闭(堵塞)状态。因此，成为在从前面侧观察燃烧器2的情况下仅能观察到气体供给管20的前面的构成。由此，使得从清洁空气供给部8传送到清洁空气室100B内的清洁空气可以从罩子30的背面侧流入到罩子30内，但是已流入到罩子30内的清洁空气无法从罩子30的前面侧流出到罩子30外。
例如，以罩子30的外径R2比壁部6的通孔61的直径R1小10mm左右的方式形成。因此，在罩子30的外周面与壁部6的通孔61的内周面之间设有间隙S。燃烧器2插入在通孔61的中央部分，使得在壁部6的通孔61内，上述间隙S的径向距离在罩子30的整个外周上是相等的。
为了使气体供给管20的温度保持在高温，可以在气体供给管20的外周部分设置作为发热体的加热器(省略图示)。例如，可以使用带式加热器作为加热器。例如，通过给加热器通电来加热气体供给管20，以达到硅氧烷的沸点温度以上(在硅氧烷为OMCTS的情况下，例如加热至230℃以上)。由此，配管22e内的硅氧烷被加热至沸点温度以上，并且保持硅氧烷的温度不变使得配管22e内的硅氧烷不会液化。
接下来，对使用了制造装置1的玻璃微粒沉积体的制造方法进行说明。需要说明的是，在下述玻璃微粒沉积体的制造方法中，使用OMCTS作为原料的硅氧烷。
首先，通过移动机构7移动各个燃烧器2，使得穿透了通孔61的各个燃烧器2相对于起始棒110而位于制造开始时的预定位置。
然后，将清洁空气从清洁空气供给部8供给到清洁空气室100B内。已供给到清洁空气室100B内的清洁空气从燃烧器2的罩子30的外周面与壁部6的通孔61的内周面之间的间隙S导入到反应容器100内。由于间隙S以垂直于燃烧器2的轴向的截面积保持恒定的方式形成，因此在制造过程中，可以将清洁空气从间隙S均匀地导入到反应容器100内。
通过设置在气体供给管20的外周部分的加热器，将气体供给管20加热至230℃以上。通过燃烧器2喷出火焰形成气体、密封气体、原料气体等。由此，在所形成的火焰中气化了的原料气体发生氧化反应，从而合成玻璃微粒m。将所合成的玻璃微粒m喷附到起始棒110上并在起始棒110的表面上沉积，从而玻璃微粒沉积体M进行生长。
随着玻璃微粒沉积体M的生长，其直径增大，在使罩子30的外周面与通孔61的内周面之间的间隙S的截面积保持恒定的同时，将各个燃烧器2沿箭头A方向后退。
根据如上所述的玻璃微粒沉积体制造用的燃烧器2、玻璃微粒沉积体的制造装置1以及制造方法，通过具有恒定外径R2的罩子30来覆盖气体供给管20、以及配管22a～22d的连接部21a～21d。因此，在使插入在壁部6的通孔61中的燃烧器2沿着通孔61移动(后退)的过程中，可以以使罩子30的外周面与通孔61的内周面之间的间隙S的截面积保持恒定的方式使燃烧器2后退。由此，可以使通过该间隙S而从清洁空气室100B流入到反应容器100内的清洁空气的气流变得均匀。因此，在制造过程中，可以使玻璃微粒沉积体M的沉积面的温度稳定，并且能够有效地沉积玻璃微粒m。另外，可以有效地从反应容器100的排气管101进行排气，从而可以除去反应容器100内的剩余玻璃微粒m。
另外，在原料气体为OMCTS的情况下，由于在玻璃微粒沉积体M的沉积中将气体供给管20加热至230℃以上，因此可以防止OMCTS在气体供给管20内即配管22e内发生液化。
在上述实施方式中，罩子30固定在气体供给管20上，但不限于此。罩子30例如也可以固定在设置于移动机构7上的用于支持气体供给管20的支架上。另外，在上述实施方式中，虽然以MMD法为例子进行了说明，但不限于此。也适用于与MMD法同样地沉积玻璃微粒的(例如)OVD法。
以上，虽然参照特定的实施方式详细地说明了本发明，但是对于本领域技术人员而言已知的是，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以进行各种变化和修改。另外，上述所说明的构成部件的数量、位置、形状等不限于上述实施方式，也可以变化为适用于实施本发明的数量、位置、形状等。
需要说明的是，罩子的外径恒定不是严格意义上的恒定，而是指在发挥本发明效果的范围内具有幅度。
符号的说明
1：制造装置
2：燃烧器
6：壁部
7：移动机构
8：清洁空气供给部
20：气体供给管
21a～21d：连接部
22a～22e：配管
23：原料气体喷口
24：密封气体喷口
25：可燃性气体喷口
26、27：助燃性气体喷口
30：罩子
61：通孔
81：空气供给管
100：反应容器
100A：反应室
100B：清洁空气室
101：排气管
110：起始棒
m：玻璃微粒
M：玻璃微粒沉积体
S：间隙

Claims (4)

1.一种燃烧器，其是用于制造玻璃微粒沉积体的燃烧器，具备：
作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及
覆盖所述气体供给管的罩子，
所述气体供给管与所述罩子构成为一体，
所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，
所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。
2.一种玻璃微粒沉积体的制造装置，其是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造装置，具备：
壁部，其与所述起始棒隔开配置，并在壁面上设有燃烧器穿过其中的通孔；
清洁空气供给部，其从所述壁部的外侧向内侧供给清洁空气；
燃烧器，其具备作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及覆盖所述气体供给管并与所述气体供给管构成为一体的罩子；以及
移动机构，其使所述燃烧器随着所述玻璃微粒沉积体的生长而后退，
所述燃烧器的所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，
所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。
3.一种玻璃微粒沉积体的制造方法，其是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造方法，
在与所述起始棒隔开配置的壁部的壁面上设置燃烧器穿过其中的通孔，
所述燃烧器具备一体形式的作为燃烧器主体的金属制的气体供给管以及覆盖所述气体供给管的罩子，所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部，
随着所述玻璃微粒沉积体的生长，使所述燃烧器与所述通孔的间隙保持恒定的同时使所述燃烧器后退，
将清洁空气从所述间隙导入到所述反应容器内。
4.根据权利要求3所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，使用OMCTS作为原料，并且将所述气体供给管加热至230℃以上。
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