CN111584379B - 浮式结构的探针装置 - Google Patents

Abstract

本发明的浮式结构的探针装置包括：探针单元，在一端形成能够插入传递电信号的针的槽，在另一端形成引导部；以及板单元，具有能够插入上述引导部并支撑上述引导部的一部分的内部空间，上述引导部可根据施加于上述针的外力，从上述内部空间隔开规定距离。

Description

浮式结构的探针装置

技术领域

本发明涉及浮式结构的探针装置，更详细地，涉及能够以与所施加的外力相对应的方式补偿规定角度倾斜的浮式结构的探针装置。

背景技术

半导体芯片通过如下工序制造，即，首先进行在晶片上形成电路图案的工序，而各个电池组通过对各个单元组装成模块而成，之后对形成电路图案的晶片和模块进行组装，为了检查各个单元的电特性，在制造工序与组装工序之间使用多个探针装置。

但是，现有的大部分探针装置存在如下的问题，当随着接触的部位进行点接触来使得电流流动时，在点接触部分发生过电流现象。这种过电流现象可引发电火花，从而成为产生不良产品的原因。

作为解决该问题的解决方法，有通过让整体面均匀地接触的方式替代点接触的面接触探针装置。但是，这种面接触探针装置存在如下的问题，即，在组装端子的过程中，有可能在倾斜的状态下组装。

并且，上述面接触探针装置无法补偿因外力而弯曲的程度，在为了与包装端子相结合而向针施加外力的情况下，存在如下的问题，即，有可能导致使针根据外力的大小和方向弯曲，随着针的弯曲，对端子起到不利影响。

现有技术文献

专利文献

专利文献0001：韩国授权专利公报第10-1334458号

发明内容

要解决的问题

本发明用于解决如上所述的现有技术的问题，本发明的目的在于，提供可补偿施加于针的外力的浮式结构的探针装置。

并且，本发明的目的在于，提供可在消除外力的情况下提供对于倾斜的复原力的浮式结构的探针装置。

本发明的目的并不仅限于以上提及的目的，本发明所属技术领域的普通技术人员可从下述记载中明确理解到未提及的其他多个目的。

解决问题的方案

用于实现上述目的的本发明的浮式结构的探针装置的特征在于，包括：探针单元，在一端形成能够插入传递电信号的针的槽，在另一端形成引导部；以及板单元，具有能够插入上述引导部并支撑上述引导部的一部分的内部空间，上述引导部可根据施加于上述针的外力，从上述内部空间隔开规定距离。

在此情况下，上述探针单元可包括弹性部，上述弹性部将施加于上述针的外力向上述引导部传递，若消除施加于上述针的外力，则使上述引导部与上述内部空间相接触。

而且，上述引导部的一部分的宽度沿着长度方向逐渐变大。

用于实现上述目的的本发明的浮式结构的探针装置可包括：探针单元，在一端形成能够插入传递电信号的针的槽，在另一端形成引导部；板单元，在一端部插入设置上述引导部的一部分；以及弹性单元，连接上述探针单元的另一端与上述板单元的一端，通过施加于上述针的外力来收缩或松弛。

在此情况下，上述引导部可包括；引导部件，一端部形成球形；以及收容空间，收容上述引导部件。

而且，本发明的特征在于，可具有多个上述弹性单元，上述探针单元的轴可通过上述外力来以上述引导部的轴为基准倾斜。

并且，上述板单元可包括：板部件，插入设置上述引导部；以及弹簧部件，若消除上述外力，则向上述板部件提供复原力。

发明的效果

用于实现上述目的的本发明的浮式结构的探针装置具有如下效果。

第一，能够以与外力相对应的方式来对以板单元为基准的探针单元的倾斜进行补偿。

第二，通过在消除外力的情况下提供复原力来使探针装置复原成施加外力前的状态。

本发明的效果并不仅限于上述效果，本发明所属技术领域的普通技术人员可从发明要求保护范围的记载中明确理解到未提及的其他多个效果。

附图说明

图1至图4示出本发明的浮式结构的探针装置的第一实施例。

图5至图7示出本发明的浮式结构的探针装置的第二实施例。

具体实施方式

以下参照附图详细说明用于具体实现本发明的目的的优选实施例。在对本实施例进行说明的过程中，对于相同的结构赋予相同的名称及相同的附图标记，将省略与之相应的附加说明。

并且，在对本发明的实施例进行说明的过程中，对于具有相同功能的结构要素赋予相同的名称及相同的附图标记，实际上不与以往完全相同。

并且，本发明的实施例中所使用的术语仅用于说明特定实施例，并不限制本发明。除非在文脉上明显表示不同含义，否则单数的表达形式包括复数的表达形式。

并且，应当理解，在本发明的实施例中所使用的“包括”或“具有”等的术语应理解为仅指定说明书中所记载的特征、数字、步骤、动作、结构要素、部件或它们的组合的存在，并不排除一个或一个以上的其他特征、数字、步骤、动作、结构要素、部件或它们的组合的存在或附加可能性。

参照图1至图4来说明本发明的浮式结构的探针装置的第一实施例。图1至图4示出本发明的浮式结构的探针装置的第一实施例。

根据第一实施例，本发明的浮式结构的探针装置可包括探针单元及板单元。

探针单元可在一端形成能够插入传递电信号的针的槽，可在另一端形成引导部。

上述针可起到如向端子输入的尖端的作用，能够以多种类型形成接触面积或接触方式。上述槽能够以与使上述针接触的接触面积或接触方式相对应的方式形成，上述针可通过与上述槽相结合来传递电信号。

上述引导部可补偿因施加于上述探针单元的外力而倾斜的变形。

板单元具有能够插入上述引导部并支撑上述引导部的一部分的内部空间。

即，上述引导部的至少一部分可位于上述板单元的内部空间。如图1所示，上述板单元可以为包装端子架的一部分或与包装端子架相结合的部件，可采用多种方式。

在上述引导部与上述板单元之间的关系方面，上述引导部可根据施加于上述针的外力来从上述内部空间隔开规定距离。

具体地，在上述针不与上述槽相结合的状态下，即，在从上述槽去除上述针的状态下，上述引导部的一部分可与上述内部空间的一部分相接触。因此，优选地，上述内部空间以与上述引导部的形状相对应的方式形成。但是，只要是可以执行如上所述的功能，则内部空间的形状并不受限制。

而且，随着上述针与上述槽相结合，根据施加的外力，可使上述引导部从上述内部空间隔开规定距离。

在此情况下，上述探针单元可包括弹性部。

弹性部能够以在向上述引导部传递施加于上述针的外力或消除施加于上述针的外力的情况下使得上述引导部与上述内部空间相接触的方式设置。

具体地，在上述针通过外力来与上述槽相结合的情况下，上述弹性部能够以上述引导部从上述内部空间隔开规定距离的方式向上述引导部传递上述外力。

并且，在从上述槽去除上述针的情况下，上述弹性部能够以使上述引导部的一部分与上述内部空间的一部分相接触并被支撑的方式向上述引导部提供复原力。

随着使上述引导部通过上述弹性部来从上述内部空间隔开规定距离，本发明可补偿因上述针与上述槽相结合而产生的上述引导部的轴的倾斜。

具体地，如图4所示，根据施加上述外力的方向，形成上述槽的上述探针单元的轴相对于上述板单元的轴倾斜。在此情况下，通过使上述引导部从上述板单元隔开规定距离，直到倾斜的上述引导部填充所隔开的上述空间为止，上述引导部将倾斜并应对外力。

为了实现上述效果，上述引导部的一部分的宽度沿着长度方向逐渐变大。

例如，优选地，上述引导部形成截面为梯形的圆锥形状。但这仅为一个例示，并不限定于上述形状。

在以下内容中，参照图5至图7说明本发明的浮式结构的探针装置的第二实施例。图5至图7示出本发明的浮式结构的探针装置的第二实施例。

根据第二实施例，本发明的浮式结构的探针装置可包括探针单元、板单元及弹性单元。

探针单元可在一端形成能够插入传递电信号的针的槽，可在另一端形成引导部。

上述针可起到如向端子输入的尖端的作用，能够以多种类型形成接触面积或接触方式。上述槽能够以与使上述针接触的接触面积或接触方式相对应的方式形成，上述针可通过与上述槽相结合来传递电信号。

上述引导部可包括引导部件及收容空间。

优选地，上述引导部件的一端部形成球形。但并不限定于上述形状。

上述收容空间能够以收容上述引导部件的方式形成。

优选地，上述收容空间以与上述引导部件的形状相对应的方式形成。例如，如图5至图7所示，上述引导部件形成球形，上述收容空间以至少围绕上述引导部件的一部分的形态形成，上述引导部件可在上述收容空间中自由旋转。

可在板单元的一端部插入设置上述引导部的一部分。

即，上述引导部的一部分可位于上述板单元的内部。上述板单元可以为包装端子架的一部分或与包装端子架相结合的部件，可采用多种方式。

在此情况下，上述板单元可包括板部件及弹簧部件。

可在板部件插入设置上述引导部。

上述引导部的一部分能够以与位于收容空间的引导部件相向的方式固定于上述板部件。因此，即使在施加外力的情况下，上述引导部也能够使得轴相对于上述板单元维持恒定。

在消除上述外力的情况下，上述弹簧部件可向上述板部件提供复原力。

即，在从上述槽去除上述针的情况下，上述弹簧部件可向上述板部件提供复原力，以便上述板部件复原到上述针与上述槽相结合前的状态。

而且，弹性单元连接上述探针单元的另一端与上述板单元的一端，可通过施加于上述针的外力来收缩或松弛。

例如，可通过设置多个上述弹性单元，来使上述探针单元的轴根据上述外力来以上述引导部的轴为基准倾斜。

如图6及图7所示，当针与槽相结合时，上述弹性单元可通过施加于上述针的外力的方向来收缩或松弛。因此，通过使上述弹性单元与上述引导部件联动，本发明可补偿因上述针与上述槽相结合而产生的上述引导部的一部分的轴的倾斜。

具体地，如图6所示，即使上述引导部的一部分的轴以上述板单元为基准来向左侧倾斜，左侧的弹性单元收缩，右侧的弹性单元松弛，同时，上述引导部件可在上述收容空间自由旋转，从而可对上述倾斜进行补偿。

并且，如图7所示，即使上述引导部的一部分的轴以上述板单元为基准来向右侧倾斜，左侧的弹性单元松弛，右侧的弹性单元收缩，同时，上述引导部件可在上述收容空间自由旋转，从而可对上述倾斜进行补偿。

如上所述，了解了本发明的优选实施例，本发明所属技术领域的普通技术人员能够理解，除了以上说明的实施例之外，在不脱离本发明的宗旨或范围的情况下，可通过其他特定形态来体现本发明。所以，应将上述实施例视为例示，而不是限定性的实施例，因此，本发明并不限定于以上说明，还可在发明要求保护范围的范畴及同等范围内进行更改。

Claims (3)

1.一种浮式结构的探针装置，其特征在于，

包括：

探针单元，在一端形成能够插入传递电信号的针的槽，在另一端形成引导部；

板单元，在一端部插入设置上述引导部的一部分；以及

弹性单元，连接上述探针单元的另一端与上述板单元的一端，通过施加于上述针的外力来收缩或松弛，

上述引导部包括：

引导部件，一端部形成球形；以及

收容空间，收容上述引导部件。

2.根据权利要求1所述的浮式结构的探针装置，其特征在于，具有多个上述弹性单元，上述探针单元的轴通过上述外力来以上述引导部的轴为基准倾斜。

3.根据权利要求1所述的浮式结构的探针装置，其特征在于，上述板单元包括：

板部件，插入设置上述引导部；以及

弹簧部件，若消除上述外力，则向上述板部件提供复原力。