JP2020134529A - フローティング構造のプローブ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
100:プローブユニット
120:溝
140:ガイド部
160:弾性部
200:プレートユニット
220:内部空間
300:プローブユニット
320:溝
340:ガイド部
342:ガイド部材
344:収容空間
400:プレートユニット
420:プレート部材
440:スプリング部材
500:弾性ユニット
Claims (7)
- 一端に電気的信号を伝達するニードルが挿入される溝が形成され、他端にガイド部が形成されるプローブユニット;及び
前記ガイド部が挿入され、前記ガイド部の一部を支持するように形成される内部空間が備えられるプレートユニット;
を含み、
前記ガイド部は、前記ニードルに加えられる外力によって前記内部空間から一定間隔離隔されることを特徴とするフローティング構造のプローブ装置。 - 前記プローブユニットは、
前記ニードルに加えられる外力を前記ガイド部に伝達したり前記ニードルに加えられる外力が排除される場合、前記ガイド部が前記内部空間に接するように備えられる弾性部;
を含む請求項1に記載のフローティング構造のプローブ装置。 - 前記ガイド部は、
一部が長手方向に行くほど幅が大きくなるように形成されることを特徴とする請求項1に記載のフローティング構造のプローブ装置。 - 一端に電気的信号を伝達するニードルが挿入される溝が形成され、他端にガイド部が形成されるプローブユニット;
一端部に前記ガイド部の一部が挿入されて取り付けられるプレートユニット;及び
前記プローブユニットの他端と前記プレートユニットの一端を連結し、前記ニードルに加えられる外力によって収縮弛緩されるように形成される弾性ユニット;
を含むフローティング構造のプローブ装置。 - 前記ガイド部は、
一端部が球状で形成されるガイド部材;及び
前記ガイド部材を収容するように形成される収容空間;
を含む請求項4に記載のフローティング構造のプローブ装置。 - 前記弾性ユニットは、複数個が備えられて前記外力によって前記プローブユニットの軸が前記ガイド部の軸を基準にして傾くことを特徴とする請求項4に記載のフローティング構造のプローブ装置。
- 前記プレートユニットは、
前記ガイド部が挿入されて取り付けられるプレート部材;及び
前記外力が排除される場合、前記プレート部材に復元力を提供するスプリング部材;
を含む請求項4に記載のフローティング構造のプローブ装置。
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