CN111180612A - 柔性显示装置及其制造方法 - Google Patents

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徐东均
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Abstract

公开了柔性显示装置及柔性显示装置的制造方法。柔性显示装置的制造方法包括：制备衬底；在衬底上形成具有第一电荷的第一电荷粘合层；在第一电荷粘合层上形成具有与第一电荷相反的第二电荷的第二电荷粘合层；通过去除第一电荷粘合层和第二电荷粘合层中的每个的边缘，形成第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案；在形成有第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案的衬底上形成柔性衬底；在柔性衬底上形成显示单元；沿切割线切割衬底、第一电荷粘合图案、第二电荷粘合图案、柔性衬底和显示单元；以及分离衬底和柔性衬底。

Description

柔性显示装置及其制造方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2018年11月9日提交的韩国专利申请第10-2018-0137566号的优先权和权益，该韩国专利申请出于所有目的通过引用并入本文，如同在本文中全面阐述一样。
技术领域
本发明的示例性实施方式/实现方式通常涉及柔性显示装置及其制造方法，并且更具体地，涉及透明柔性显示装置及其制造方法。
背景技术
显示装置是用于显示图像的装置。近年来，有机发光显示装置已受到关注。有机发光显示装置具有低功耗、高亮度和高响应速度的特征。
有机发光装置可通过采用柔性有机发光显示面板而具有柔性性质以及通过采用透明有机发光显示面板而具有透明性质。为了制造有机发光显示面板，引入了将柔性衬底接合在衬底上，然后执行后续工艺，并且将柔性衬底与衬底分离的方法。
然而，在使用激光将柔性衬底与衬底分离的工艺中，它们可能不会彼此均匀地分离，或者柔性显示装置被热劣化而降低了其透射率。
在本背景技术部分中公开的上述信息仅用于理解本发明构思的背景，并因此，其可能包含不构成现有技术的信息。
发明内容
本公开提供了通过在不用激光照射的情况下，容易地分离衬底和柔性衬底而具有高透射率的透明柔性显示装置。
本公开也提供了在形成显示单元的工艺中，由于衬底与柔性衬底之间的直接接触而使得衬底与柔性衬底不容易被分离的透明柔性显示装置的制造方法。
本发明构思的额外特征将在下面的描述中阐述，并且部分地将通过该描述而显而易见，或者可通过本发明构思的实践而习得。
本发明构思的实施方式提供了柔性显示装置的制造方法，该方法包括：制备衬底；在衬底上形成具有第一电荷的第一电荷粘合层；在第一电荷粘合层上形成具有与第一电荷相反的第二电荷的第二电荷粘合层；通过去除第一电荷粘合层和第二电荷粘合层中的每个的边缘来形成第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案；在形成有第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案的衬底上形成柔性衬底；在柔性衬底上形成显示单元；沿切割线切割衬底、第一电荷粘合图案、第二电荷粘合图案、柔性衬底和显示单元；以及分离衬底和柔性衬底。
在实施方式中，第一电荷粘合层可包括氧化石墨烯。
在实施方式中，第二电荷粘合层可包括蒙脱石、二硫化钼或六方氮化硼(hBN)。
在实施方式中，形成第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案可通过喷射氮气和空气混合的等离子体状态的气体来去除第一电荷粘合层和第二电荷粘合层中的每个的一部分。
在实施方式中，衬底的顶表面的一部分可通过形成第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案而暴露。
在实施方式中，通过形成柔性衬底，柔性衬底可与由第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案暴露的衬底的部分接触。
在实施方式中，形成柔性衬底可通过将聚合物材料施加在比由第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案占据的区域更大的区域上来形成柔性衬底。
在实施方式中，切割线可限定为在平面上与第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案重叠。
在实施方式中，切割线可在平面上具有闭环形状，并且可沿第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案中的每个的边缘限定。
在实施方式中，第二电荷粘合层可通过将衬底与柔性衬底分离而保留在柔性衬底上。
在本发明构思的实施方式中，柔性显示装置的制造方法包括：制备衬底；在衬底上形成具有第一电荷的下部第一电荷粘合层；在下部第一电荷粘合层上形成具有与第一电荷相反的第二电荷的下部第二电荷粘合层；在下部第二电荷粘合层上形成具有第一电荷的上部第一电荷粘合层；在上部第一电荷粘合层上形成具有第二电荷的上部第二电荷粘合层；通过去除下部第一电荷粘合层、下部第二电荷粘合层、上部第一电荷粘合层和上部第二电荷粘合层中的每个的边缘来形成下部第一电荷粘合图案、下部第二电荷粘合图案、上部第一电荷粘合图案和上部第二电荷粘合图案；在形成有下部第一电荷粘合图案、下部第二电荷粘合图案、上部第一电荷粘合图案和上部第二电荷粘合图案的衬底上形成柔性衬底；在柔性衬底上形成显示单元；沿切割线切割衬底、下部第一电荷粘合图案、下部第二电荷粘合图案、上部第一电荷粘合图案、上部第二电荷粘合图案、柔性衬底和显示单元；以及分离衬底和柔性衬底。
在实施方式中，下部第一电荷粘合层可包括氧化石墨烯，并且上部第一电荷粘合层可包括聚乙烯亚胺(PEI)。
在实施方式中，下部第二电荷粘合层和上部第二电荷粘合层中的每个可包括蒙脱石、二硫化钼或六方氮化硼(hBN)。
在实施方式中，上部第一电荷粘合图案和上部第二电荷粘合图案可通过将衬底与柔性衬底分离而保留在柔性衬底上。
在实施方式中，下部第二电荷粘合图案、上部第一电荷粘合图案和上部第二电荷粘合图案可通过将衬底与柔性衬底分离而保留在柔性衬底上。
在本发明构思的实施方式中，柔性显示装置包括柔性衬底、布置在柔性衬底上的电路元件层、布置在电路元件层上并且包括有机发光二极管的显示元件层、布置在显示元件层上以密封显示元件层的封装层以及与柔性衬底的下部接触的电荷粘合层，电荷粘合层具有电荷并且包括蒙脱石、二硫化钼或六方氮化硼(hBN)。
在实施方式中，电荷粘合层可具有带有凹凸形状的底表面。
在实施方式中，电荷粘合层的底表面的凹凸形状可为随机分布的。
在实施方式中，电荷粘合层的底表面的凹凸形状可具有约1nm或更小的高度。
在实施方式中，柔性显示装置还可包括与电荷粘合层的下部接触的下部电荷粘合层，并且下部电荷粘合层可包括聚乙烯亚胺(PEI)。
应理解，前面的一般描述和下面的详细描述都是示例性和解释性的，并且旨在提供对所要求保护的本发明的进一步解释。
附图说明
附图被包括以提供对本发明的进一步理解，并且被并入并构成本说明书的一部分，附图示出了本发明的示例性实施方式，并且与说明书一同用于解释本发明构思，在附图中：
图1是表示根据本发明构思的实施方式的柔性显示装置的制造方法的流程图；
图2A、图3A、图4A和图5A是示出根据本发明构思的实施方式的形成柔性显示装置的制造工艺的平面图，并且图2B、图3B、图4B、图5B、图6和图7是示出根据本发明构思的实施方式的形成柔性显示装置的制造工艺的剖面图；
图8是示出第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案的粘合力的测试结果的曲线图；
图9是示出根据图7中的本发明构思的实施方式的透明柔性显示模块的底表面的照片；
图10A是示出图7中的透明柔性显示模块DPA的平面图，并且图10B是沿图10A的线II-II'截取的剖面图；以及
图11和图12是示出根据本发明构思的另一实施方式的用于形成柔性显示装置的制造工艺的剖面图。
具体实施方式
在下面的描述中，为了解释的目的，阐述了许多具体细节以提供对本发明的各种示例性实施方式或实现方式的透彻理解。如本文中所使用的，“实施方式”和“实现方式”为可互换的词，它们是采用本文中所公开的本发明构思的一种或更多种的设备或方法的非限制性示例。然而，显而易见的是，各种示例性实施方式可在没有这些具体细节的情况下，或者用一个或更多个等同布置的情况下实践。在其它实例中，公知的结构和设备以框图形式示出以避免不必要地混淆各种示例性实施方式。此外，各种示例性实施方式可为不同的，但不必是排他的。例如，在不背离本发明构思的情况下，示例性实施方式的具体形状、配置和特性可使用或实现在另一示例性实施方式中。
除非另有说明，否则所示的示例性实施方式应被理解为提供能够在实践中实现本发明构思的一些方式的不同细节的示例性特征。因此，除非另有说明，否则各种实施方式的特征、部件、模块、层、膜、面板、区和/或方面等(在下文中单独称为或统称为“元件”)可在不背离本发明构思的情况下，以其它方式组合、分离、互换和/或重新布置。
交叉影线和/或阴影在附图中的使用通常被提供以阐明相邻元件之间的边界。由此，除非说明，否则无论交叉影线或阴影的存在与否都不会传达或指示对特定材料、材料性质、尺寸、比例、所示元件之间的共性和/或元件的任何其它特性、属性、性质等的任何偏好或要求。此外，在附图中，出于清楚和/或描述的目的，元件的尺寸和相对尺寸可被夸大。当示例性实施方式可不同地实现时，具体工艺顺序可与所描述的顺序不同地执行。例如，两个连续描述的工艺可基本上同时执行或者以与描述的顺序相反的顺序执行。而且，相同的附图标记表示相同的元件。
当元件或层被称为“在”另一元件或层“上”、“连接到”或“耦接到”另一元件或层时，其可直接在另一元件或层上、连接到或耦接到另一元件或层，或者可存在有中间元件或层。然而，当元件或层被称为“直接在”另一元件或层“上”、“直接连接到”或“直接耦接到”另一元件或层时，则不存在中间元件或层。为此，术语“连接”可指示在具有或不具有中间元件的情况下的物理的、电气的和/或流体的连接。此外，D1-轴、D2-轴和D3-轴不限于直角坐标系的三个轴(诸如x-轴、y-轴和z-轴)，并且可被解释为更广泛的含义。例如，D1-轴、D2-轴和D3-轴可彼此垂直，或者可表示彼此不垂直的不同方向。为了这种公开的目的，“X、Y和Z中的至少一个”和“选自由X、Y和Z构成的集群中的至少一个”可被解释为仅X、仅Y、仅Z，或X、Y和Z中的两个或更多个的任何组合，诸如例如XYZ、XYY、YZ和ZZ。如本文中所使用的，术语“和/或”包括相关所列项目中的一个或更多个的任何和所有组合。
尽管术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种类型的元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语用于将一个元件与另一个元件区分开。因此，在不背离本公开的教导的情况下，下面讨论的第一元件可被称为第二元件。
空间相对术语，诸如“下面(beneath)”、“下方(below)”、“在…之下(under)”、“下(lower)”、“上方(above)”、“上(upper)”、“越过(over)”、“更高(higher)”、“侧(side)”(例如，如在“侧壁(sidewall)”中)等可在本文中出于描述性目的使用，并因此，用以描述如附图中所示的一个元件与另一个元件的关系。除了附图中描绘的取向以外，空间相对术语还旨在涵盖装置在使用、操作和/或制造中的不同取向。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为在其它元件或特征“下方”或“下面”的元件将随后被取向为在其它元件或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可包含上方和下方的取向这两者。再者，装置可为其它方式取向(例如，旋转90度或在其它取向)，并由此，本文中使用的空间相对描述词被相应地解释。
本文中所使用的术语是出于描述特定实施方式的目的，并不旨在限制。除非上下文另有明确指示，否则如本文所使用的单数形式“一(a)”、“一(an)”和“该(the)”也旨在包括复数形式。此外，当术语“包括(comprise)”、“包括有(comprising)”、“包含(include)”和/或“包含有(including)”在本说明书中使用时，说明所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其集群的存在，但不排除一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其集群的存在或添加。还注意，如本文所使用的，术语“基本上(substantially)”、“约(about)”以及其它相似术语用作近似的术语而不是程度的术语，并且由此，利用于考虑本领域普通技术人员将认识到的测量值、计算值和/或提供值的固有偏差。
本文中参考作为理想化的示例性实施方式和/或中间结构的示意性图示的剖面图和/或分解图对各种示例性实施方式进行描述。由此，由例如制造技术和/或公差的结果所导致的图示的形状的变化是可预期的。因此，本文中所公开的示例性实施方式不应必须被解释为受限于特定所示的区形状，而是包括由例如制造导致的形状上的偏差。通过这种方式，附图中所示的区本质上可为示意性的，并且这些区的形状可不反映设备的区的实际形状，并由此并不一定旨在限制。
除非另有定义，否则本文中所使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本公开所属技术领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。除非在本文中明确地这样定义，否则诸如常用词典中定义的那些术语应被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且不应以理想化或过于正式的含义来解释。
在下文中，将参考附图对根据本发明构思的实施方式的显示装置进行描述。
图1是表示根据本发明构思的实施方式的柔性显示装置的制造方法的流程图，图2A、图3A、图4A和图5A是示出根据本发明构思的实施方式的柔性显示装置的制造工艺的平面图，并且图2B、图3B、图4B、图5B、图6和图7是示出根据本发明构思的实施方式的柔性显示装置的制造工艺的剖面图。图2B、图3B、图4B和图5B分别是沿图2A、图3A、图4A和图5A的线I-I'截取的剖面图。
参照图1，首先，在操作S0中制备衬底100。
图2B的衬底100可为玻璃衬底、聚合物膜或硅晶片，其支承柔性衬底300(参照图4A和图4B)以形成柔性显示装置。然而，本发明构思的实施方式不限于此。例如，衬底100可由具有电荷的任何材料制成。
此后，可增加对衬底100的表面进行处理，以使得衬底100(参照图2A和图2B)的表面具有与第一电荷相反的第二电荷的工艺。此处，衬底100可被等离子体处理以具有第二电荷。在本发明构思的实施方式中，第二电荷可为负电荷。
参照图1、图2A和图2B，在操作S10中，在衬底100上形成具有第一电荷的第一电荷粘合层。
可将包含具有第一电荷的氧化石墨烯的溶液施加在衬底100上。除浸涂以外，涂覆方法可为选自由喷涂、旋涂、丝网印刷、胶版印刷、喷墨印刷、移印、刮涂、吻涂、凹版涂覆、刷涂、超声微喷涂和喷雾喷涂构成的集群中的一种。然而，本发明构思的实施方式不限于此，并且可根据需要使用任何涂覆方法。
此后，通过执行去除施加在衬底100上的氧化石墨烯溶液中的异物的操作和干燥的工艺可形成具有第一电荷的第一电荷粘合层210a。在本发明构思的实施方式中，第一电荷可为正电荷。
此后，在操作S20中，在第一电荷粘合层210a上形成具有第二电荷的第二电荷粘合层220a。
第二电荷粘合层220a可包括透明蒙脱石、二硫化钼(MoS2)和六方氮化硼(hBN)中的一种。可将包含具有第二电荷的蒙脱石、二硫化钼(MoS2)或六方氮化硼(hBN)的溶液施加在第一电荷粘合层210a上。除了浸涂以外，涂覆方法可为选自由喷涂、旋涂、丝网印刷、胶版印刷、喷墨印刷、移印、刮涂、吻涂、凹版涂覆、刷涂、超声微喷涂和喷雾喷涂构成的集群中的一种。然而，本发明构思的实施方式不限于此，并且可包括任何其它涂覆方法。
此后，具有第二电荷的第二电荷粘合层220a可通过执行在包含蒙脱石、二硫化钼(MoS2)或六方氮化硼(hBN)的溶液中去除异物的工艺和干燥的工艺来形成。在本发明构思的实施方式中，第二电荷可为负电荷。
蒙脱石和二硫化钼中的每个可基本上为透明材料。相应地，如稍后描述的，尽管在制造透明柔性显示装置时溶液可能部分地保留在柔性衬底的后表面上，但是可确保高透射率。
在参考图2A和图2B描述的本发明构思的实施方式中，尽管示例性地描述了一对第一电荷粘合层210a和第二电荷粘合层220a，但是可重复参考图2A和图2B描述的工艺以形成两对或更多对的第一电荷粘合层210a和第二电荷粘合层220a。
此后，参照图1、图3A和图3B，在操作S30中，通过去除第一电荷粘合层210a和第二电荷粘合层220a中的每个的边缘的一部分而形成第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220。
在平面上，第一区域AR1和第二区域AR2可限定在层压的第一电荷粘合层210a和第二电荷粘合层220a上。第一区域AR1可具有矩形形状。第二区域AR2可围绕第一区域AR1而作为第一区域AR1的边缘区域。然而，本发明构思的实施方式不限于此。例如，第二区域AR2可围绕第一区域AR1的三个侧面，而不是完全地围绕第一区域AR1。
此后，可通过喷射氮气和空气混合的等离子体状态的气体来去除第一电荷粘合层210a和第二电荷粘合层220a中的每个的对应于第二区域AR2的一部分。
执行操作S30，且然后可暴露衬底100的顶表面的一部分。
之后，参照图1、图4A和图4B，在操作S40中，在形成有第二电荷粘合图案220的衬底100上形成柔性衬底300。
柔性衬底300是具有柔性的基本上透明或透反射的塑料衬底。柔性衬底300可由选自由聚酯、乙烯聚合物、聚碳酸酯、聚乙烯、聚乙酸酯、聚酰亚胺、聚醚砜(PES)、聚丙烯酸酯(PAR)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)和聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)构成的集群中的材料制成。
通过在第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220上施加和固化聚合物材料可形成柔性衬底300。此处，聚合物材料可施加在比第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220所占据的区域更大的区域上。所施加的聚合物材料可以完全覆盖第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220。除了浸涂以外，涂覆方法可为选自由喷涂、旋涂、丝网印刷、胶版印刷、喷墨印刷、移印、刮涂、吻涂、凹版涂覆、刷涂、超声微喷涂和喷雾喷涂构成的集群中的一种。然而，本发明构思的实施方式不限于此。例如，涂覆方法可包括另一种涂覆方法。
通过操作S40，柔性衬底300可与在操作S30中暴露的衬底的顶表面的一部分接触。
此后，参照图1、图5A和图5B，在操作S50中，在柔性衬底300上形成显示单元400。
显示单元400可通过顺序地形成电路元件层、显示元件层和封装层来形成。稍后将对显示单元400的结构进行描述，但是对于形成显示单元400的详细方法的描述将被省略。
参照图4A、图4B、图5A和图5B，中心区域CTA和外围区域PRA可限定在柔性衬底300上。中心区域CTA与第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220重叠，外围区域PRA不与第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220重叠。
具有彼此相反极性的第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220在中心区域CTA上位于衬底100与柔性衬底300之间。范德华力作为一种分子力，作用于第一电荷粘合图案210与第二电荷粘合图案220之间。相应地，中心区域CTA上的衬底100与柔性衬底300之间的粘合力相对较低。
衬底100与柔性衬底300在外围区域PRA上彼此直接接触。外围区域PRA上的衬底100与柔性衬底300之间的粘合力相对大于中心区域CTA上的衬底100与柔性衬底300之间的粘合力。在衬底100与柔性衬底300彼此直接接触的外围区域PRA上，衬底100与柔性衬底300之间的粘合力可通过在柔性衬底300上形成显示单元400的工艺来增加，特别是通过在柔性衬底300上形成阻挡层以用于防止湿气或氧气进入的工艺来增加。
在形成显示单元400时，其上形成有衬底100、第一电荷粘合图案210、第二电荷粘合图案220和柔性衬底300的模块可被移动或翻转。在外围区域PRA中，柔性衬底300用比在其间具有不同的电荷区域的中心区域CTA的粘合力更强的粘合力直接放置在衬底100上。因为中心区域CTA中的衬底100与柔性衬底300由于第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220而具有低粘合力，因此在没有柔性衬底300与衬底100直接接触的外围区域PRA的情况下，衬底100与柔性衬底300可容易被分离并且后续工艺可能不被执行。
在根据本发明构思的实施方式的柔性显示装置的制造方法中，由于衬底100与柔性衬底300在外围区域PRA中彼此直接接触，以在它们之间具有相对大的粘合力，因此在形成显示单元400的工艺中，衬底100与柔性衬底300可不容易被分离。
布置在衬底100与柔性衬底300之间的第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220具有比衬底100与柔性衬底300彼此直接接触的区域的粘合力相对弱的粘合力。然而，第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220必须具有不小于基准值的粘合力。当第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220具有小于基准值的粘合力时，并且其上形成有衬底100、第一电荷粘合图案210、第二电荷粘合图案220和柔性衬底300的模块被翻转，尽管衬底100与柔性衬底300在外围区域PRA中彼此附接，但是随着衬底100与柔性衬底300在中心区域CTA中彼此分离，柔性衬底300可能由于自身重量而偏转。
因此，第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220可具有约1gf/in至约10gf/in范围的粘合力。
图8是示出第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220的粘合力的测试结果的曲线图。在图8中，提供了两对到四对第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220时的粘合力。
当提供有两对到四对第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220时，它们之间的粘合力满足约1gf/in至约10gf/in的范围，特别是3gf/in至约8gf/in的范围。
参照图5A至图5B，在操作S60中，沿切割线CTL切割衬底100、第一电荷粘合图案210、第二电荷粘合图案220、柔性衬底300和显示单元400。
切割线CTL可在平面上与第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220重叠。切割线CTL可在平面上具有闭环形状，并且沿第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220中的每个的边缘限定。
相应地，柔性衬底300的外围区域PRA被去除，并且仅中心区域CTA保留。也就是说，衬底100与柔性衬底300仅通过第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220彼此附接。
参照图6，随着切割衬底100、第一电荷粘合图案210、第二电荷粘合图案220、柔性衬底300和显示单元400，生成显示模块DM。
此后，参照图1和图7，在操作S70中，衬底100和柔性衬底300与显示模块DM分离。
衬底100和柔性衬底300可通过真空抽吸设备来分离。衬底100和柔性衬底300可通过使用将显示单元400固定在真空抽吸台上，且然后对衬底100进行抽吸以在向上方向上向衬底100施加力来分离。然而，本发明构思的实施方式不限于此。例如，衬底100与柔性衬底300可通过各种其它方法来分离。
作为分离衬底100与柔性衬底300的结果，生成透明柔性显示模块DPA。
第二电荷粘合图案220可保留在经分离的柔性衬底300的底部处，并且第一电荷粘合图案210可保留在衬底100的顶表面处。
由于第二电荷粘合图案220为基本上透明的，因此第二电荷粘合图案220可基本上不影响透明柔性显示模块DPA的透光率。
此后，切割透明柔性显示模块DPA以形成多个显示面板DP。此后，可通过使用显示面板DP来制造透明柔性显示装置。
图9是示出根据图7中的本发明构思的实施方式的透明柔性显示模块DPA的底表面的照片。
参照图7和图9，当第二电荷粘合图案220和第一电荷粘合图案210分离时，第二电荷粘合图案220的表面的一部分也可被去除。相应地，第二电荷粘合图案220的底表面可具有凹凸形状。第二电荷粘合图案220的凹凸形状可在平面上随机分布。而且，第二电荷粘合图案220的凹凸形状可具有约1纳米或更小的高度T1。
通过根据本发明构思的实施方式的柔性显示装置的制造方法，由于衬底100与柔性衬底300之间的粘合力相对低于第一电荷粘合图案210和第二电荷粘合图案220之间的粘合力，因此衬底100和柔性衬底300可在不执行额外工艺的情况下容易被分离。
当额外地执行通过从下方照射激光来弱化衬底100与柔性衬底300之间的粘合力的工艺时，除了额外工艺以外，柔性衬底300的底表面由于激光照射而燃烧或变为具有黄色(变黄、黄色指数增加)。因此，额外工艺不适合于透明柔性显示装置。
根据本发明构思的实施方式的柔性显示装置的制造方法可通过在没有激光照射的情况下，容易地分离衬底100与柔性衬底300来防止柔性衬底300的底表面燃烧并且变黄，并因此能够制造出具有较高透射率的透明柔性显示装置。
图10A是示出图7中的透明柔性显示模块DPA的平面图，并且图10B是沿图10A的线II-II'截取的剖面图。图10B是示出显示面板DP的一部分，特别是与一个像素对应的部分的剖面图。
参照图10A和图10B，透明柔性显示模块DPA可包括多个显示面板DP。显示面板DP可彼此间隔开。显示面板DP可单独切割并采用于显示装置中。
参照图10B，显示单元400可包括电路元件层CL、显示元件层DPL和封装层TFE。虽未示出，但是显示单元400还可包括触摸传感器、防反射层和窗构件中的至少一个。
电路元件层CL可包括信号线、扫描线GL、数据线DL和电源线PL。而且，电路元件层CL可包括多个晶体管和电容器。在图10B中，示例性地描述了第一晶体管T1。
电路元件层CL可包括阻挡层BR、有源层ACT、栅极绝缘层GI、栅电极GE、层间绝缘层ILD、输入电极SE和输出电极DE以及中间绝缘层VLD。
阻挡层BR布置在柔性衬底300上，并且防止引入阻挡层BR以外的异物。
虽未示出，但是显示单元400还可包括布置在阻挡层BR上的缓冲层(未示出)。缓冲层(未示出)改善柔性衬底300与布置在其上的层之间的耦合力。缓冲层(未示出)和阻挡层BR可选择性地被提供或省略。
有源层ACT布置在阻挡层BR上。有源层ACT可用作第一晶体管T1的沟道区。有源层ACT可选自非晶硅、多晶硅或金属氧化物半导体。
栅极绝缘层GI可布置在有源层ACT上。栅极绝缘层GI可使栅电极GE与有源层ACT绝缘。
栅电极GE可布置在栅极绝缘层GI上。栅电极GE可与有源层ACT重叠。
提供信号线的第一导电层(未示出)可布置在与栅电极GE相同的层上。
层间绝缘层ILD布置在栅电极GE上。层间绝缘层ILD使栅电极GE与输入电极SE和输出电极DE电绝缘。层间绝缘层ILD可包含无机材料。无机材料可包括氮化硅、氮氧化硅、氧化硅等。
输入电极SE和输出电极DE布置在层间绝缘层ILD上。输入电极SE和输出电极DE可分别通过限定在层间绝缘层ILD和栅极绝缘层GI中的第一接触孔CH1和第二接触孔CH2电连接到有源层ACT。
提供信号线的第二导电层(未示出)可布置在与输入电极SE和输出电极DE相同的层上。
尽管在本发明构思的实施方式中，显示面板DP具有栅电极GE布置在有源层ACT上的顶栅结构，但是在另一实施方式中，显示面板DP可具有栅电极GE布置在有源层ACT下方的底栅结构。
中间绝缘层VLD布置在输入电极SE和输出电极DE上。中间绝缘层VLD可提供平坦化表面。中间绝缘层VLD可包括有机材料。有机材料可包括丙烯酸基树脂、甲基丙烯酸基树脂、聚异戊二烯基树脂、乙烯基树脂、环氧基树脂、氨基甲酸酯基树脂、纤维素基树脂、硅氧烷基树脂、聚酰亚胺基树脂、聚酰胺基树脂和苝基树脂中的至少一种。
显示元件层DPL布置在中间绝缘层VLD上。显示元件层DPL可包括像素限定层PDL和显示元件。在本发明构思的实施方式中，显示元件可为有机发光二极管OLED。有机发光二极管OLED包括第一电极AE、空穴控制层HCL、发光层EML、电子控制层ECL和第二电极CE。
像素限定层PDL可包含有机材料。第一电极AE布置在中间绝缘层VLD上。第一电极AE通过穿过中间绝缘层VLD的第三接触孔CH3连接到输出电极DE。像素限定层PDL中限定有第一开口OP1。像素限定层PDL的第一开口OP1暴露第一电极AE的至少一部分。
透明柔性显示面板DP上可限定有发光区域PXA和与发光区域PXA相邻地布置的非发光区域NPXA。非发光区域NPXA可围绕发光区域PXA。在实施方式中，发光区域PXA可与第一电极AE的由第一开口OP1暴露的部分相对应地限定。
空穴控制层HCL可公共地布置在发光区域PXA和非发光区域NPXA上。虽未单独示出，但是诸如空穴控制层HCL的公共层可公共地布置在多个有机发光二极管OLED上。
发光层EML布置在空穴控制层HCL上。发光层EML可布置在与第一开口OP1对应的区域上。也就是说，发光层EML可被划分并提供在多个有机发光二极管OLED中的每个上。发光层EML可包含有机材料和/或无机材料。尽管在实施方式中示例性地示出了经图案化的发光层EML，但是发光层EML可公共地布置在多个有机发光二极管OLED上。此处，发光层EML可生成白色光。而且，发光层EML可具有多层结构。
电子控制层ECL布置在发光层EML上。虽未单独示出，但是电子控制层ECL可公共地布置在多个有机发光二极管OLED上。
第二电极CE布置在电子控制层ECL上。第二电极CE公共地布置在多个有机发光二极管OLED上。
封装层TFE密封显示元件层DPL。封装层TFE布置在第二电极CE上。封装层TFE公共地布置在多个有机发光二极管OLED上。在实施方式中，封装层TFE直接覆盖第二电极CE。在本发明构思的另一实施方式中，覆盖第二电极CE的覆盖层还可布置在封装层TFE与第二电极CE之间。此处，封装层TFE可直接覆盖覆盖层。
封装层TFE包括至少一个无机层(下文中称为封装无机层)。封装层TFE还可包括至少一个有机层(下文中称为封装有机层)。封装无机层保护显示元件层DPL免受湿气/氧气的影响，并且封装有机层保护显示元件层DPL免受诸如灰尘颗粒的异物的影响。封装无机层可包括氮化硅层、氮氧化硅层、氧化硅层、氧化钛层或氧化铝层。封装有机层可包括丙烯酸基有机层。然而，本发明构思的实施方式不限于此。
图11和图12是示出根据本发明构思的另一实施方式的用于形成柔性显示装置的制造工艺的剖面图。
图11是示出在本发明构思的另一实施方式中与图4B和图1中的操作S40对应的工艺的剖面图。
参照图11，将对与图1中的操作S10至操作S40对应的工艺进行描述，并且未描述的工艺将遵循图1至图4B中相关的描述。
参照图11，在衬底100上形成第一电荷粘合图案230和第二电荷粘合图案240。第一电荷粘合图案230具有第一电荷，并且第二电荷粘合图案240具有第二电荷。
第一电荷粘合图案230具有下部第一电荷粘合图案231和上部第一电荷粘合图案233。第二电荷粘合图案240具有下部第二电荷粘合图案241和上部第二电荷粘合图案243。
下部第一电荷粘合图案231、下部第二电荷粘合图案241、上部第一电荷粘合图案233和上部第二电荷粘合图案243可顺序地层叠在衬底100上。下部第一电荷粘合图案231、下部第二电荷粘合图案241、上部第一电荷粘合图案233和上部第二电荷粘合图案243可通过在衬底100上执行下部第一电荷粘合层、下部第二电荷粘合层、上部第一电荷粘合层和上部第二电荷粘合层中的每个的涂覆、清洁和干燥的工艺，且然后去除四个层中的每个的边缘来形成。
尽管在图11中示例性地示出了各自具有两个层的第一电荷粘合图案230和第二电荷粘合图案240，但是第一电荷粘合图案230和第二电荷粘合图案240中的每个可具有三个层或更多个层。
在本发明构思的实施方式中，下部第一电荷粘合图案231可包括氧化石墨烯，下部第二电荷粘合图案241可包括蒙脱石、二硫化钼或六方氮化硼(hBN)，上部第一电荷粘合图案233可包括聚乙烯亚胺(PEI)，并且上部第二电荷粘合图案243可包括蒙脱石、二硫化钼或六方氮化硼(hBN)。
图12是示出在本发明构思的实施方式中执行与图1中的操作S50至操作S70对应的工艺的状态的剖面图。
当执行与图1中的操作S70对应的工艺时，可分离衬底100与柔性衬底300，以使得至少下部第一电荷粘合图案231保留在衬底100上，并且使得下部第二电荷粘合图案241、上部第一电荷粘合图案233和上部第二电荷粘合图案243中的至少一个保留在柔性衬底300上。在图12中，示例性地示出了上部第一电荷粘合图案233和上部第二电荷粘合图案243保留在柔性衬底300上的状态。然而，本发明构思的实施方式不限于此。例如，上部第一电荷粘合图案233、上部第二电荷粘合图案243和下部第二电荷粘合图案241可保留在柔性衬底300上。
聚乙烯亚胺(PEI)具有比氧化石墨烯的透射率更大的透射率。
在参考图11和图12描述的本发明构思的实施方式中，与柔性衬底300相邻地布置的多个第一电荷粘合图案230的一个层包含聚乙烯亚胺(PEI)，并且与衬底100相邻地布置的其它层包括氧化石墨烯。此后，当衬底100与柔性衬底300分离时，多个第一电荷粘合图案230中的包含聚乙烯亚胺(PEI)的层保留在柔性衬底300上，并且包含氧化石墨烯的层与衬底100一起被去除。相应地，当使用多个第一电荷粘合图案230和第二电荷粘合图案240时，随着使用氧化石墨烯，在制造工艺期间的粘合可靠性可得到改善，并且同时，制造出具有更高透射率的透明柔性显示装置。
根据本发明构思的实施方式的柔性显示装置的制造方法，可通过在没有激光照射的情况下，容易地分离衬底和柔性衬底来防止柔性衬底的底表面燃烧并且变黄，并因此制造出具有更高透射率的透明柔性显示装置。
通过根据本发明构思的实施方式的柔性显示装置的制造方法，由于衬底和柔性衬底在外围区域中彼此直接接触以具有高粘合力，因此衬底和柔性衬底可在形成显示单元的工艺中不容易分离。
尽管已描述了本发明的示例性实施方式，但是应理解，本发明不应限于这些示例性实施方式，而是能够由本领域普通技术人员在所要求保护的本发明的精神和范围内，进行各种改变和修改。
因此，本发明构思的实际保护范围应由所附权利要求书的技术范围确定。

Claims (20)

1.一种柔性显示装置的制造方法，所述方法包括：
制备衬底；
在所述衬底上形成具有第一电荷的第一电荷粘合层；
在所述第一电荷粘合层上形成具有第二电荷的第二电荷粘合层；
通过去除所述第一电荷粘合层和所述第二电荷粘合层中的每个的边缘来形成第一电荷粘合图案和第二电荷粘合图案；
在形成有所述第一电荷粘合图案和所述第二电荷粘合图案的所述衬底上形成柔性衬底；
在所述柔性衬底上形成显示单元；
沿切割线切割所述衬底、所述第一电荷粘合图案、所述第二电荷粘合图案、所述柔性衬底和所述显示单元；以及
分离所述衬底和所述柔性衬底。
2.如权利要求1所述的方法，其中，所述第一电荷粘合层包括氧化石墨烯。
3.如权利要求1所述的方法，其中，所述第二电荷粘合层包括蒙脱石、二硫化钼或六方氮化硼(hBN)。
4.如权利要求1所述的方法，其中，形成所述第一电荷粘合图案和所述第二电荷粘合图案通过喷射氮气和空气混合的等离子体状态的气体来去除所述第一电荷粘合层和所述第二电荷粘合层中的每个的一部分。
5.如权利要求1所述的方法，其中，通过形成所述第一电荷粘合图案和所述第二电荷粘合图案，暴露所述衬底的顶表面的一部分。
6.如权利要求5所述的方法，其中，通过形成所述柔性衬底，所述柔性衬底与由所述第一电荷粘合图案和所述第二电荷粘合图案暴露的所述衬底的所述部分接触。
7.如权利要求1所述的方法，其中，形成所述柔性衬底通过将聚合物材料涂覆在比由所述第一电荷粘合图案和所述第二电荷粘合图案占据的区域更大的区域上来形成所述柔性衬底。
8.如权利要求1所述的方法，其中，所述切割线限定为在平面上与所述第一电荷粘合图案和所述第二电荷粘合图案重叠。
9.如权利要求1所述的方法，其中，所述切割线在平面上具有闭环形状，并且沿所述第一电荷粘合图案和所述第二电荷粘合图案中的每个的边缘限定。
10.如权利要求1所述的方法，其中，所述第二电荷粘合层通过将所述衬底与所述柔性衬底分离而保留在所述柔性衬底上。
11.一种柔性显示装置的制造方法，所述方法包括：
制备衬底；
在所述衬底上形成具有第一电荷的下部第一电荷粘合层；
在所述下部第一电荷粘合层上形成具有与所述第一电荷相反的第二电荷的下部第二电荷粘合层；
在所述下部第二电荷粘合层上形成具有所述第一电荷的上部第一电荷粘合层；
在所述上部第一电荷粘合层上形成具有所述第二电荷的上部第二电荷粘合层；
通过去除所述下部第一电荷粘合层、所述下部第二电荷粘合层、所述上部第一电荷粘合层和所述上部第二电荷粘合层中的每个的边缘来形成下部第一电荷粘合图案、下部第二电荷粘合图案、上部第一电荷粘合图案和上部第二电荷粘合图案；
在形成有所述下部第一电荷粘合图案、所述下部第二电荷粘合图案、所述上部第一电荷粘合图案和所述上部第二电荷粘合图案的所述衬底上形成柔性衬底；
在所述柔性衬底上形成显示单元；
沿切割线切割所述衬底、所述下部第一电荷粘合图案、所述下部第二电荷粘合图案、所述上部第一电荷粘合图案、所述上部第二电荷粘合图案、所述柔性衬底和所述显示单元；以及
分离所述衬底和所述柔性衬底。
12.如权利要求11所述的方法，其中，所述下部第一电荷粘合层包括氧化石墨烯，并且所述上部第一电荷粘合层包括聚乙烯亚胺(PEI)。
13.如权利要求11所述的方法，其中，所述下部第二电荷粘合层和所述上部第二电荷粘合层中的每个包括蒙脱石、二硫化钼或六方氮化硼(hBN)。
14.如权利要求11所述的方法，其中，所述上部第一电荷粘合图案和所述上部第二电荷粘合图案通过将所述衬底与所述柔性衬底分离而保留在所述柔性衬底上。
15.如权利要求11所述的方法，其中，所述下部第二电荷粘合图案、所述上部第一电荷粘合图案和所述上部第二电荷粘合图案通过将所述衬底与所述柔性衬底分离而保留在所述柔性衬底上。
16.一种柔性显示装置，包括：
柔性衬底；
电路元件层，所述电路元件层布置在所述柔性衬底上；
显示元件层，所述显示元件层布置在所述电路元件层上，并且包括有机发光二极管；
封装层，所述封装层布置在所述显示元件层上以密封所述显示元件层；以及
电荷粘合层，所述电荷粘合层与所述柔性衬底的下表面接触，
其中，所述电荷粘合层具有电荷，并且包括蒙脱石、二硫化钼或六方氮化硼(hBN)。
17.如权利要求16所述的柔性显示装置，其中，所述电荷粘合层具有带有凹凸形状的底表面。
18.如权利要求17所述的柔性显示装置，其中，所述电荷粘合层的所述底表面的凹凸形状是随机分布的。
19.如权利要求17所述的柔性显示装置，其中，所述电荷粘合层的所述底表面的凹凸形状具有1nm或更小的高度。
20.如权利要求16所述的柔性显示装置，还包括：
下部电荷粘合层，所述下部电荷粘合层与所述电荷粘合层的下表面接触，
其中，所述下部电荷粘合层包括聚乙烯亚胺(PEI)。
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