CN110888301B - 遮光膜用感光性树脂组合物、使其硬化而成的遮光膜及彩色滤光片 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种遮光膜用感光性树脂组合物、使其硬化而成的遮光膜及彩色滤光片。所述感光性树脂组合物可获得遮光膜，所述遮光膜维持高遮光与高电阻，即使在形成细线的情况下显影密接性也优异，且与基板的密接性优异。所述遮光膜是使用该感光性树脂组合物，利用光刻法而形成，所述彩色滤光片包含所述遮光膜。本发明是一种遮光膜用感光性树脂组合物，其包含(A)酸值为80mgKOH/g～120mgKOH/g的规定的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂、(B)光聚合性单体、(C)光聚合引发剂、(D)遮光成分、及(E)溶剂作为必须成分；而且是一种使该感光性树脂组合物硬化而所得的遮光膜、包含所述遮光膜的彩色滤光片。

Description

遮光膜用感光性树脂组合物、使其硬化而成的遮光膜及彩色 滤光片

本发明是2015年3月30日所提出的申请号为201510146024.2、发明名称为《遮光膜用感光性树脂组合物、使其硬化而成的遮光膜及彩色滤光片》的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种遮光膜用感光性树脂组合物、及使其硬化而成的遮光膜，详细而言涉及一种适于在透明基板上形成微细的遮光膜的碱性水溶液显影型遮光膜用感光性树脂组合物、及使其硬化而成的遮光膜，硬化而所得的遮光膜可以在形成彩色滤光片的黑色矩阵等时适宜地利用。

背景技术

彩色液晶显示装置以控制光的透射量或反射量的液晶部与彩色滤光片为构成元件，该彩色滤光片的制造方法通常使用如下的方法：在玻璃、塑料片材等透明基板的表面形成黑色的矩阵，继而顺次以条纹状或马赛克状等彩色图案而形成红、绿、蓝的不同的色相。

最近数年来，在液晶电视、液晶显示器、彩色液晶移动电话等各种领域中使用彩色液晶显示装置。彩色滤光片是影响彩色液晶显示装置的视认性的重要的构件之一，为了提高视认性、也即获得鲜明的图像，需要对构成彩色滤光片的红(R)、绿(G)、蓝(B)等像素进行比以前更高的色纯度化，且在黑色矩阵中达成高遮光化，因此必需在感光性树脂组合物中添加比现在更多量的着色剂。

而且，在液晶显示装置中活跃地进行用以使视角、对比度、响应速度等特性提高的改善，接着有彩色滤光片的面板的结构复杂化，对树脂黑色矩阵图案的基板的密接性、绝缘性等要求特性变严格。

然而，树脂黑色矩阵用遮光材料(黑色色材)一般已知有炭黑，但炭黑的电阻低，因此存在成为引起显示装置的误操作的原因的情况。特别是在获得广视角的平面转换(InPlane Switching，IPS)方式的液晶显示装置中，在液晶层面内方向施加电场，因此如果黑色矩阵的电阻值低，则不能正常地施加电场，在液晶取向上产生混乱而成为显示不均的原因。

因此，作为使用炭黑而使黑色矩阵的电阻变大的方法，应用在炭黑的表面被覆树脂的技术(参照专利文献1)，但是如果为了使电阻变高而增加树脂被覆量，则在充分保持光图案化性上能够实现的遮光度有限，变得难以实现所要求的水准的高遮光、高电阻。因此，开发了使用能够以比较高的电阻实现高遮光的钛黑作为遮光材料的技术(参照专利文献2)，但担心光图案化性或保存稳定性不足。

现在所使用的黑色矩阵一般是指体积电阻率(施加电压为1V～10V)为1×10¹⁰Ω·cm以上，在所述专利文献2中记载了1×10¹²Ω·cm的体积电阻率。其中，其是施加数V左右的交流电流而测定的数值，一般情况下施加电压越变大则体积电阻率值越变小，因此担心在10V的施加电压下体积电阻率值进一步降低。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2001-207079号公报

[专利文献2]日本专利特开2008-260927号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

本发明是鉴于所述问题点而成的，其目的在于提供具有如下性质的遮光膜用感光性树脂组合物：维持高遮光与高电阻(在感光性树脂组合物中，光密度OD为3.5/μm以上且不足4.0/μm，在施加10V电压时保持1×10¹²Ω·cm以上的体积电阻率，而且OD为4.0/μm以上，在施加10V电压时保持1×10¹¹Ω·cm以上的体积电阻率)，即使在形成例如10μm以下的细线的情况下显影密接性也优异，且还可以形成8μm或6μm的细线，还可以充分确保与玻璃基板的密接性。本发明还提供一种使用该感光性树脂组合物，利用光刻法而形成的遮光膜图案等硬化物，进一步提供包含该硬化物的彩色滤光片或触摸屏。

[解决问题的技术手段]

本发明人等人为了解决所述课题而进行了研究，结果发现通过调配具有特定结构及酸值的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂而作为包含含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂、光聚合性单体、光聚合引发剂、遮光成分、及溶剂的感光性树脂组合物的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂，可制成光图案化特性优异的感光性树脂组合物，可获得高遮光与高电阻的特性优异的遮光性硬化膜，从而完成本发明。

也即，本发明的主旨如下所述。

(1)本发明是一种遮光膜用感光性树脂组合物，其是包含下述(A)成分～(E)成分作为必须成分的遮光膜用感光性树脂组合物：

(A)含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂，其是使下述通式(I)所表示的化合物与(甲基)丙烯酸的反应物进一步与多元羧酸或其酸酐反应而所得、

(B)具有至少1个乙烯性不饱和键的光聚合性单体、

(C)光聚合引发剂、

(D)选自由黑色有机颜料、混色有机颜料及遮光材料所构成的群组的1种以上遮光成分、及

(E)溶剂；

其中：(A)成分是使作为所述多元羧酸或其酸酐的(a)二羧酸或三羧酸或其酸酐、及(b)四羧酸或其酸二酐以(a)/(b)的摩尔比成为0.01～0.5的范围进行反应而获得，且酸值为80mgKOH/g～120mgKOH/g的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂；

[化1]

其中，在通式(I)中，R₁及R₂独立地表示氢原子、碳数为1～5的烷基、或卤素原子，X表示-CO-、-SO₂-、-C(CF₃)₂-、-Si(CH₃)₂-、-CH₂-、-C(CH₃)₂-、-O-、或芴-9,9-二基或单键，n表示平均值0～10。

(2)本发明也是根据(1)所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其中：(A)成分与(B)成分的质量比例(A)/(B)为50/50～90/10，相对于(A)成分与(B)成分的合计100质量份而含有2质量份～30质量份的(C)成分，且在遮光膜用感光性树脂组合物的包含由于光硬化而成为固体成分的成分的固体成分中包含40质量％～70质量％的(D)成分。

(3)本发明也是根据(1)或(2)所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其中：还包含(F)分散剂，使(D)成分与(A)成分的一部分及(F)分散剂一同预先分散于(E)成分的一部分中之后，与剩余的(A)成分、(B)成分、(C)成分、及剩余的(E)成分混合而制造。

(4)本发明也是根据(1)～(3)中任一项所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其中：(D)遮光成分是炭黑。

(5)本发明也是根据(1)～(4)中任一项所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其中：用以形成在光密度OD为3.5/μm以上且不足4.0/μm时，施加10V电压时的体积电阻率成为1×10¹²Ω·cm以上的涂膜。

(6)本发明也是根据(1)～(4)中任一项所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其中：用以形成在光密度OD为4.0/μm以上时，施加10V电压时的体积电阻率成为1×10¹¹Ω·cm以上的涂膜。

(7)本发明也是一种遮光膜，其中：使如(1)～(6)中任一项所述的遮光膜用感光性树脂组合物硬化而形成。

(8)本发明也是一种彩色滤光片，其中包含遮光膜，所述遮光膜是将如(1)～(6)中任一项所述的遮光膜用感光性树脂组合物涂布于透明基板上，进行预烘烤后，利用紫外线曝光装置进行曝光、利用碱性水溶液进行显影、及后烘烤而制作。

[发明的效果]

本发明的遮光膜用感光性树脂组合物在OD为3.5/μm左右的高遮光的遮光膜中，即使在10V的施加电压下也可以维持体积电阻率为1×10¹²Ω·cm以上的高电阻，即使在形成线宽为10μm、进一步为8μm、6μm的细线的情况下，显影密接性也优异，且可充分确保与玻璃基板的密接性。

具体实施方式

以下，关于本发明而加以详细说明。

(A)成分的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂是使通式(I)所表示的环氧化合物与(甲基)丙烯酸(其表示“丙烯酸和/或甲基丙烯酸”)反应，使所得的具有羟基的化合物与(a)二羧酸或三羧酸或其酸酐、及(b)四羧酸或其酸二酐反应而所得的环氧(甲基)丙烯酸酯酸加成物。通式(I)所表示的环氧化合物表示双酚类与表卤醇反应而所得的环氧化合物或其同等物。(A)成分同时具有聚合性不饱和双键与羧基，因此可对感光性树脂组合物提供优异的光硬化性、良好的显影性、图案化特性，从而使遮光膜的物性提高。

[化2]

其中，于通式(I)中，R₁及R₂独立地表示氢原子、碳数为1～5的烷基、或卤素原子，X表示-CO-、-SO₂-、-C(CF₃)₂-、-Si(CH₃)₂-、-CH₂-、-C(CH₃)₂-、-O-、或、芴-9,9-二基或单键，n是0～10的平均值。

提供通式(I)的环氧化合物的双酚类可列举双(4-羟基苯基)酮、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)酮、双(4-羟基-3,5-二氯苯基)酮、双(4-羟基苯基)砜、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)砜、双(4-羟基-3,5-二氯苯基)砜、双(4-羟基苯基)六氟丙烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)六氟丙烷、双(4-羟基-3,5-二氯苯基)六氟丙烷、双(4-羟基苯基)二甲基硅烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)二甲基硅烷、双(4-羟基-3,5-二氯苯基)二甲基硅烷、双(4-羟基苯基)甲烷、双(4-羟基-3,5-二氯苯基)甲烷、双(4-羟基-3,5-二溴苯基)甲烷、2,2-双(4-羟基苯基)丙烷、2,2-双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)丙烷、2,2-双(4-羟基-3,5-二氯苯基)丙烷、2,2-双(4-羟基-3-甲基苯基)丙烷、2,2-双(4-羟基-3-氯苯基)丙烷、双(4-羟基苯基)醚、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)醚、双(4-羟基-3,5-二氯苯基)醚、9,9-双(4-羟基苯基)芴、9,9-双(4-羟基-3-甲基苯基)芴、9,9-双(4-羟基-3-氯苯基)芴、9,9-双(4-羟基-3-溴苯基)芴、9,9-双(4-羟基-3-氟苯基)芴、9,9-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)芴、9,9-双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)芴、9,9-双(4-羟基-3,5-二氯苯基)芴、9,9-双(4-羟基-3,5-二溴苯基)芴、4,4'-联苯酚、3,3'-联苯酚等。其中，可特别优选使用通式(I)中的X是芴-9,9-二基的双酚类。

用以衍生为(A)的碱可溶性树脂的通式(I)的化合物是使所述双酚类与表氯醇反应而所得的具有2个缩水甘油醚基的环氧化合物。在该反应时，一般随着二缩水甘油醚化合物的寡聚物化，n通常混合存在有多个值，因此成为平均值0～10(并不限为整数)，优选的n的平均值是0～3。如果n的平均值超过上限值，则在制成使用碱可溶性树脂(所述碱可溶性树脂是使用该环氧化合物而合成的树脂)的感光性树脂组合物时，组合物的粘度过于变大而变得不能很好地进行涂布，无法充分赋予碱可溶性而造成碱性显影性变得非常差。

其次，使例如作为含有不饱和基的单羧酸的丙烯酸或甲基丙烯酸或其两者与通式(I)的化合物反应，使(a)二羧酸或三羧酸或其酸酐、及(b)四羧酸或其酸二酐与由此获得的具有羟基的反应物反应。此时，在(a)/(b)的摩尔比成为0.01～0.5的范围内进行反应。由此反应而获得具有环氧(甲基)丙烯酸酯酸加成物的结构的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂。

环氧(甲基)丙烯酸酯酸加成物中所利用的(a)二羧酸或三羧酸或其酸酐可使用链式烃二羧酸或三羧酸或其酸酐或者脂环式二羧酸或三羧酸或其酸酐、芳香族二羧酸或三羧酸或其酸酐。此处，链式烃二羧酸或三羧酸或其酸酐例如存在有琥珀酸、乙酰基琥珀酸、马来酸、己二酸、衣康酸、壬二酸、柠苹酸、丙二酸、戊二酸、柠檬酸、酒石酸、氧代戊二酸、庚二酸、癸二酸、辛二酸、二甘醇酸等化合物，还可以是进一步导入有任意取代基的二羧酸或三羧酸或其酸酐。而且，脂环式二羧酸或三羧酸或其酸酐例如存在有环丁烷二羧酸、环戊烷二羧酸、六氢邻苯二甲酸、四氢邻苯二甲酸、降冰片烷二羧酸等化合物，还可以是进一步导入有任意取代基的二羧酸或三羧酸或其酸酐。进一步而言，芳香族二羧酸或三羧酸或其酸酐例如存在有邻苯二甲酸、间苯二甲酸、偏苯三甲酸等化合物，还可以是进一步导入有任意取代基的二羧酸或三羧酸或其酸酐。

而且，环氧(甲基)丙烯酸酯酸加成物中所利用的(b)四羧酸或其酸二酐可使用链式烃四羧酸或其酸二酐或脂环式四羧酸或其酸二酐、或者芳香族多元羧酸或其酸二酐。此处，链式烃四羧酸或其酸二酐例如存在有丁烷四羧酸、戊烷四羧酸、己烷四羧酸等，还可以是进一步导入有任意取代基的四羧酸或其酸二酐。而且，脂环式四羧酸或其酸二酐例如存在有环丁烷四羧酸、环戊烷四羧酸、环己烷四羧酸、环庚烷四羧酸、降冰片烷四羧酸等，还可以是进一步导入有任意取代基的四羧酸或其酸二酐。另外，芳香族四羧酸或其酸二酐例如可列举均苯四甲酸、二苯甲酮四羧酸、联苯四羧酸、联苯醚四羧酸或其酸二酐，还可以是进一步导入有任意取代基的四羧酸或其酸二酐。

环氧(甲基)丙烯酸酯酸加成物中所使用的(a)二羧酸或三羧酸或其酸酐与(b)四羧酸或其酸二酐的摩尔比(a)/(b)如上所述为0.01～0.5，优选为0.02以上且不足0.1。如果摩尔比(a)/(b)偏离所述范围，则不能获得用以制成本发明的高遮光且高电阻、而且具有良好的光图案化性的感光性树脂组合物的最适宜的分子量，因此并不优选。另外，摩尔比(a)/(b)越小则碱溶解性越变大，存在分子量变大的倾向。

环氧(甲基)丙烯酸酯酸加成物可通过所述工序，利用已知的方法(例如日本专利特开平8-278629号公报或日本专利特开2008-9401号公报等中所记载的方法)而制造。首先，使(甲基)丙烯酸与通式(I)的环氧化合物反应的方法例如存在有：将与环氧化合物的环氧基等摩尔的(甲基)丙烯酸添加于溶剂中，在催化剂(三乙基苄基氯化铵、2,6-二异丁基苯酚等)的存在下，一面吹入空气一面在90℃～120℃下进行加热、搅拌而使其反应的方法。其次，作为使酸酐与反应产物环氧丙烯酸酯化合物的羟基反应的方法存在有：将环氧丙烯酸酯化合物与酸二酐及酸单酐的规定量添加于溶剂中，在催化剂(四乙基溴化铵、三苯基膦等)的存在下，在90℃～130℃下进行加热、搅拌而使其反应的方法。

关于含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂(A)的重量平均分子量(Mw)，优选为4000～20000的范围，更优选为4500～7000之间。如果重量平均分子量(Mw)不足4000，则发现难以在1V～10V之间维持使用(A)的感光性树脂组合物的高电阻的倾向，而且如果重量平均分子量(Mw)超过20000，则在制成高遮光的感光性树脂组合物时，变得容易残留显影残渣或未曝光部的残膜。另外，(A)的酸值是80mgKOH/g～120mgKOH/g的范围。如果该值小于80mgKOH/g，则在使用(A)的感光性树脂组合物的碱性显影时变得容易残留残渣；如果超过120mgKOH/g，则碱性显影液在使用(A)的高遮光的感光性树脂组合物中的渗透过于变快，从而产生剥离显影，因此均不优选。另外，关于(A)的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂，可使用其仅仅1种，也可以使用2种以上的混合物。

其次，(B)具有至少1个乙烯性不饱和键的光聚合性单体例如可列举(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基己酯等具有羟基的(甲基)丙烯酸酯类，乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亚丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、甘油(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、或二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇六(甲基)丙烯酸酯、膦腈的环氧烷改性六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯类，可使用这些的1种或2种以上。另外，(B)具有至少1个乙烯性不饱和键的光聚合性单体并不具有游离的羧基。

这些(A)成分与(B)成分的调配比例以质量比(A)/(B)计而言可为50/50～90/10，优选为60/40～80/20。如果(A)成分的调配比例以(A)/(B)计而言少于50/50，则产生如下问题：光硬化后的硬化物变脆，而且在未曝光部中涂膜的酸值低，因此对碱性显影液的溶解性降低，图案边缘成为锯齿状变得不清晰；而且，如果以(A)/(B)计而言多于90/10，则可能会产生如下问题：树脂中所占的光反应性官能基的比例少而并不充分地形成交联结构，另外树脂成分中的酸值度过高，曝光部中的相对于碱性显影液的溶解性变高，因此所形成的图案变得比目标线宽更细，变得容易产生图案缺口等。

而且，(C)成分的光聚合引发剂例如可列举苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、对二甲基苯乙酮、对二甲基氨基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、对叔丁基苯乙酮等苯乙酮类，二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、p,p'-双二甲基氨基二苯甲酮等二苯甲酮类，苯偶酰、安息香、安息香甲醚、安息香异丙醚、安息香异丁醚等安息香醚类，2-(邻氯苯基)-4,5-苯基联咪唑、2-(邻氯苯基)-4,5-二(间甲氧基苯基)联咪唑、2-(邻氟苯基)-4,5-二苯基联咪唑、2-(邻甲氧基苯基)-4,5-二苯基联咪唑、2,4,5-三芳基联咪唑等联咪唑系化合物类，2-三氯甲基-5-苯乙烯基-1,3,4-恶二唑、2-三氯甲基-5-(对氰基苯乙烯基)-1,3,4-恶二唑、2-三氯甲基-5-(对甲氧基苯乙烯基)-1,3,4-恶二唑等卤代甲基二唑化合物类，2,4,6-三(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-苯基-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(4-氯苯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(4-甲氧基萘基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(3,4,5-三甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(4-甲硫基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪等卤代甲基均三嗪系化合物类，1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲酰肟)、1-(4-苯磺酰基苯基)丁烷-1,2-二酮-2-肟-O-苯甲酸酯、1-(4-甲磺酰基苯基)丁烷-1,2-二酮-2-肟-O-乙酸酯、1-(4-甲磺酰基苯基)丁烷-1-酮肟-O-乙酸酯等O-酰基肟系化合物类，苄基二甲基缩酮、噻吨酮、2-氯噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮等硫化合物，2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-二苯基蒽醌等蒽醌类，偶氮双异丁基腈、过氧化苯甲酰、过氧化枯烯等有机过氧化物，2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并恶唑、2-巯基苯并噻唑等硫醇化合物等。其中，自容易获得高感度的遮光膜用感光性树脂组合物的观点考虑，优选使用O-酰基肟系化合物类。而且，还可以使用2种以上这些光聚合引发剂。另外，本发明中所谓的“光聚合引发剂”，以包含增感剂的含义而使用。

这些光聚合引发剂或增感剂可以单独使用其仅仅1种，除此以外还可以将2种以上组合使用。而且，还可以添加虽然其自身并不作为光聚合引发剂或增感剂而起作用，但通过组合使用而可使光聚合引发剂或增感剂的能力增大的化合物。此种化合物例如可列举如果与二苯甲酮组合使用而具有效果的三乙醇胺、三乙胺等叔胺。

至于(C)成分的光聚合引发剂的使用量，以(A)成分与(B)成分的合计100质量份为基准而言可以是2质量份～30质量份，优选为5质量份～25质量份。在(C)成分的调配比例不足2质量份的情况下，光聚合的速度变慢，感度降低；另一方面，在超过30质量份的情况下，可能会产生如下问题：感度过强，成为图案线宽相对于图案掩模而变粗的状态，无法相对于掩模而再现忠实的线宽，或者图案边缘成为锯齿状而无法变清晰(sharp)。

(D)成分是选自黑色有机颜料、混色有机颜料或遮光材料的遮光成分，可以是耐热性、耐光性及耐溶剂性优异的成分。此处，黑色有机颜料例如可列举苝黑、苯胺黑、花青黑等。混色有机颜料可列举将选自红、蓝、绿、紫、黄色、花青、品红等的2种以上颜料混合而进行模拟黑色化而成的颜料。遮光材料可列举炭黑、氧化铬、氧化铁、钛黑等。遮光成分还可以适宜选择2种以上而使用，特别是在遮光性、表面平滑性、分散稳定性、与树脂的相容性良好的方面而言，优选炭黑。而且，在想要使用炭黑更进一步提高遮光膜的电阻值的情况下，也可以使用以染料、颜料、树脂等被覆炭黑表面而成的表面被覆炭黑。

而且，(E)成分的溶剂例如可列举甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、乙二醇、丙二醇等醇类，α-松油醇或β-松油醇等萜烯类等，丙酮、甲基乙基酮、环己酮、N-甲基-2-吡咯烷酮等酮类，甲苯、二甲苯、四甲基苯等芳香族烃类，溶纤剂、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、卡必醇、甲基卡必醇、乙基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚等二醇醚类，乙酸乙酯、乙酸丁酯、溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、丁基溶纤剂乙酸酯、卡必醇乙酸酯、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯等乙酸酯类等，通过使用这些溶剂进行溶解、混合，可制成均一的溶液状组合物。

而且，这些遮光成分优选预先与(F)分散剂一同分散于溶剂中而制成遮光性分散液，然后调配为遮光膜用感光性树脂组合物。此处，使其分散的溶剂成为(E)成分的一部分，因此如果是在所述(E)成分中所列举的化合物则可使用，例如可适宜使用丙二醇单甲醚乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯等。关于形成遮光性分散液的(D)遮光成分的调配比例，可以是相对于本发明的遮光膜用感光性树脂组合物的所有固体成分而言在40质量％～70质量％的范围内使用，特别优选40质量％～60质量％的范围。如果少于40质量％，则作为高遮光用途而言，遮光性变得不充分。如果超过70质量％，则本来成为粘合剂的感光性树脂的含量减少，因此产生有损显影特性且损及膜形成能力等而并不优选的问题。

而且，在遮光性分散液中，为了使遮光成分稳定地分散而使用(F)分散剂，在该目的中可使用各种高分子分散剂等公知的分散剂。作为分散剂的例子，可并无特别限制地使用现有颜料分散中所使用的公知的化合物(以分散剂、分散湿润剂、分散促进剂等名称而市售的化合物等)，例如可列举阳离子性高分子系分散剂、阴离子性高分子系分散剂、非离子性高分子系分散剂、颜料衍生物型分散剂(分散助剂)等。特别适宜的是具有咪唑基、吡咯基、吡啶基、伯氨基、仲氨基或叔氨基等阳离子性官能基作为在颜料上的吸附点，胺值为1mgKOH/g～100mgKOH/g、数量平均分子量处于1千～10万的范围的阳离子性高分子系分散剂。关于该分散剂的调配量，相对于遮光成分而言为1质量％～30质量％，优选为2质量％～25质量％。

另外，在制备遮光性分散液时，除了所述分散剂以外而共分散(A)成分的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂的一部分，由此而在制成遮光膜用感光性树脂组合物时，可制成容易将曝光感度维持为高感度、显影时的密接性良好且难以产生残渣的问题的感光性树脂组合物。(A)成分的调配量优选为遮光性分散液中的2质量％～20质量％，更优选为5质量％～15质量％。如果(A)成分不足2质量％，则无法获得共分散的效果(感度提高、密接性提高、残渣减低等效果)。而且，如果是20质量％以上，则特别是在遮光材料的含量大时，遮光性分散液的粘度高，变得难以均一地分散或者非常需要时间，变得难以获得用以获得高电阻的涂膜的感光性树脂组合物。而且，所得的遮光性分散液可通过与剩余的(A)成分、(B)成分、(C)成分、及剩余的(E)成分混合而制成遮光膜用感光性树脂组合物。

而且，在本发明的感光性树脂组合物中，可以视需要调配硬化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、填充材料、溶剂、流平剂、消泡剂、偶联剂、表面活性剂等添加剂。热聚合抑制剂可列举对苯二酚、对苯二酚单甲醚、邻苯三酚、叔丁基儿茶酚、吩噻嗪等，增塑剂可列举邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二辛酯、磷酸三甲苯酯等，填充材料可列举玻璃纤维、二氧化硅、云母、氧化铝等，消泡剂或流平剂可列举硅酮系、氟系、丙烯酸系的化合物。而且，表面活性剂可列举氟系表面活性剂、硅酮系表面活性剂等，偶联剂可列举3-(缩水甘油氧基)丙基三甲氧基硅烷、3-异氰酸基丙基三乙氧基硅烷、3-脲基丙基三乙氧基硅烷等硅烷偶联剂。

本发明的感光性树脂组合物含有所述(A)成分～(E)成分作为主成分。在除了溶剂的固体成分(固体成分中包括在硬化后成为固体成分的单体)中，包含合计为80质量％、优选90质量％以上的(A)成分～(D)成分。(E)溶剂的量根据目标粘度而变化，可以是在感光性树脂组合物中以70质量％～90质量％的范围包含(E)溶剂。

本发明中的遮光膜用感光性树脂组合物例如作为彩色滤光片遮光膜形成用感光性树脂组合物而优异，遮光膜的形成方法存在有如下所述的光刻法。可列举如下的方法：首先，将感光性树脂组合物涂布于透明基板上，其次使溶剂干燥(预烘烤)，然后在如上所述而所得的覆膜上放置光掩模，照射紫外线而使曝光部硬化，进一步进行使用碱性水溶液而使未曝光部溶出的显影，从而形成图案，进一步为进行后干燥而进行后烘烤(热烧成)。

涂布感光性树脂组合物的透明基板除了玻璃基板以外，可例示在透明膜(例如聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚醚砜等)上蒸镀或图案化有ITO或金等透明电极的基板等。在透明基板上涂布感光性树脂组合物的溶液的方法除了公知的溶液浸渍法、喷雾法以外，还可以采用使用辊涂机、砂涂机、狭缝涂布机或旋转机的方法等任意方法。利用该些方法而涂布为所期望的厚度后，将溶剂除去(预烘烤)，由此而形成覆膜。预烘烤可通过利用烘箱、加热板等进行加热而进行预烘烤。预烘烤的加热温度及加热时间可根据所使用的溶剂而适宜选择，例如在60℃～110℃的温度下进行1分钟～3分钟。

在预烘烤后所进行的曝光可利用紫外线曝光装置而进行，经由光掩模而进行曝光，由此而仅仅使与图案对应的部分的抗蚀剂感光。曝光装置及其曝光照射条件可适宜选择，使用超高压水银灯、高压水银灯、金卤灯、远紫外线灯等光源而进行曝光，使涂膜中的感光性树脂组合物光硬化。

曝光后的碱性显影是出于将未曝光的部分的抗蚀剂除去的目的而进行，利用该显影而形成所期望的图案。适于该碱性显影的显影液例如可列举碱金属或碱土类金属的碳酸盐的水溶液、碱金属的氢氧化物的水溶液等，特别是可使用含有0.05质量％～3质量％碳酸钠、碳酸钾、碳酸锂等碳酸盐的弱碱性水溶液，在23℃～28℃的温度下进行显影，可使用市售的显影机或超声波清洗机等精密地形成微细的图像。

于显影后，优选在180℃～250℃的温度及20分钟～60分钟的条件下进行热处理(后烘烤)。以提高经图案化的遮光膜与基板的密接性等为目的而进行该后烘烤。其与预烘烤同样地通过利用烘箱、加热板等进行加热而进行。本发明的经图案化的遮光膜是经过以上的利用光刻法的各工序而形成。

本发明的感光性树脂组合物适于如上所述地利用曝光、碱性显影等操作而形成微细的图案。而且，本发明的遮光膜用感光性树脂组合物可作为涂布材料而适宜地使用，特别适合作为在液晶的显示装置或成像元件中所使用的彩色滤光片用墨水，由此而形成的遮光膜可用作彩色滤光片、液晶投影用黑色矩阵、遮光膜、触摸屏用遮光膜等。

本发明中所得的高遮光、高电阻的遮光膜在OD为3.5/μm以上且OD不足4.0/μm时，在10V的施加电压下成为1×10¹²Ω·cm以上的体积电阻率。而且，即使在OD为4.0/μm以上的遮光水准中，在10V的施加电压下也可以确保1×10¹¹Ω·cm以上的体积电阻率，优选在10V的施加电压下可以确保1×10¹²Ω·cm以上的体积电阻率。另外，使用本发明的感光性树脂组合物而形成的图案在后烘烤时难以过热，将图案的剖面形状维持为矩形，适于形成图案侧面相对于基材垂直的形状的遮光膜图案。

以下，基于实施例及比较例而对本发明的实施方式加以具体说明，但本发明并不限定于这些例子。

[实施例]

首先，表示本发明的(A)含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂的合成例。合成例中的树脂的评价可如下所述地进行。

[固体成分浓度]

将合成例中所得的树脂溶液1g含浸于玻璃过滤器[重量：W₀(g)]中而进行称量[W₁(g)]，根据在160℃下加热2hr后的重量[W₂(g)]，由下式而求出。

固体成分浓度(重量％)＝100×(W₂-W₀)/(W₁-W₀)。

[酸值]

使树脂溶液溶解于二恶烷中，使用电位滴定装置[平沼产业股份有限公司制造、商品名COM-1600]，用1/10N-KOH水溶液进行滴定而求出。

[分子量]

用凝胶渗透色谱仪(gel permeation chromatography，GPC)[东曹(Tosoh)股份有限公司制造、商品名为HLC-8220GPC、溶剂：四氢呋喃、管柱：TSKgel SuperH-2000(2根)+TSKgel SuperH-3000(1根)+TSKgel SuperH-4000(1根)+TSKgel Super-H5000(1根)[东曹股份有限公司制造]、温度：40℃、速度：0.6ml/min]进行测定，设为标准聚苯乙烯[东曹股份有限公司制造、PS-寡聚物试剂盒]换算值而求出重量平均分子量(Mw)。

而且，合成例及比较合成例中所使用的略号如下所示。

BPFE：9,9-双(4-羟基苯基)芴与氯甲基氧杂环丙烷的反应物。在通式(I)的化合物中，X为芴-9,9-二基、R₁、R₂为氢的化合物。

BPDA：3,3',4,4'-联苯四羧酸二酐

THPA：1,2,3,6-四氢邻苯二甲酸酐

TPP：三苯基膦

PGMEA：丙二醇单甲醚乙酸酯

[合成例1]

在带回流冷凝器的1L四口烧瓶中加入BPFE 244.3g(0.50mol)、丙烯酸72.1g(1.0mol)、TPP 0.45g、及PGMEA 334g，在100℃～105℃的加热下进行12hr搅拌而获得反应产物。

其次，在所得的反应产物中加入BPDA 94.15g(0.32mol)及THPA 22.82g(0.15mol)，在115℃～120℃的加热下进行6hr搅拌，获得含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂溶液(A)-1。所得的树脂溶液的固体成分浓度为56.5wt％，酸值(固体成分换算)为102mgKOH/g，利用GPC分析的Mw是5200。

[合成例2]

在带回流冷凝器的1L四口烧瓶中加入BPFE 244.3g(0.50mol)、丙烯酸72.1g(1.0mol)、TPP 0.45g、及PGMEA 318g，在100℃～105℃的加热下进行12hr搅拌而获得反应产物。

其次，在所得的反应产物中加入BPDA 94.15g(0.32mol)及THPA 3.04g(0.02mol)，在115℃～120℃的加热下进行6hr搅拌，获得含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂的溶液(A)-2。所得的树脂溶液的固体成分浓度为56.5wt％，酸值(固体成分换算)为90mgKOH/g，利用GPC分析的Mw为4600。

[合成例3]

在带回流冷凝器的1L四口烧瓶中加入BPFE 219.9g(0.45mol)、丙烯酸64.9g(0.9mol)、TPP 0.45g、及PGMEA 294g，在100℃～105℃的加热下进行12hr搅拌而获得反应产物。

其次，在所得的反应产物中加入BPDA 94.15g(0.32mol)及THPA 3.04g(0.02mol)，在115℃～120℃的加热下进行6hr搅拌，获得含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂溶液(A)-3。所得的树脂溶液的固体成分浓度为56.5wt％，酸值(固体成分换算)为97mgKOH/g，利用GPC分析的Mw为5500。

[比较合成例1]

在带回流冷凝器的1L四口烧瓶中加入BPFE 244.3g(0.50mol)、丙烯酸72.1g(1.0mol)、TPP 0.45g、及PGMEA 329g，在100℃～105℃的加热下进行12hr搅拌而获得反应产物。

其次，在所得的反应产物中加入BPDA 73.56g(0.25mol)及THPA 38.03g(0.25mol)，在115℃～120℃的加热下进行6hr搅拌，获得含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂的溶液(A)-4。所得的树脂溶液的固体成分浓度为56.5wt％，酸值(固体成分换算)为70mgKOH/g，利用GPC分析的Mw是3600。

[制备例1]染料被覆炭黑的制备

将炭黑1000g与水混合而制备浆料10L，在95℃下搅拌1小时，放置冷却后进行水洗。将其再次与水进行混合处理而制备浆料10L，添加70％的硝酸42.9g而在40℃下进行4小时搅拌。将其放置冷却而进行水洗，然后再次与水混合而制备浆料10L，添加13％的次氯酸钠水溶液769.2g而在40℃下进行6小时搅拌。将其放置冷却而进行水洗，然后再次与水混合而制备浆料10L，添加纯度为38.4％的染料(直接深黑(Direct Deep BLACK))38.1g而在40℃下进行1小时搅拌，其后进一步添加硫酸铝10.1g而在40℃下进行1小时搅拌。将其放置冷却后进行水洗，对其进行过滤干燥而获得染料被覆炭黑。

(实施例1～实施例4、比较例1)

其次，基于遮光膜用感光性树脂组合物及其硬化物的制造的实施例及比较例而对本发明进行具体的说明，但本发明并不限定于这些例子。此处，以后的实施例及比较例的遮光膜用感光性树脂组合物及其硬化物的制造中所使用的原料及略号如下所示。

(含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂)

(A)-1成分：所述合成例1中所得的碱可溶性树脂的溶液

(A)-2成分：所述合成例2中所得的碱可溶性树脂的溶液

(A)-3成分：所述合成例3中所得的碱可溶性树脂的溶液

(A)-4成分：所述比较合成例1中所得的碱可溶性树脂的溶液

(光聚合性单体)

(B)：二季戊四醇六丙烯酸酯与二季戊四醇五丙烯酸酯的混合物(日本化药股份有限公司制造、商品名为DPHA)

(光聚合引发剂)

(C)：乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-,1-(O-乙酰肟)(日本巴斯夫公司制造、产品名为艳佳固(Irgacure)OXE02)

(遮光性分散颜料)

(D)-1：炭黑浓度为25.0质量％、高分子分散剂浓度为5.0质量％的丙二醇单甲醚乙酸酯分散液(固体成分为30.0％)

(D)-2：用珠磨机对制备例1中所制备的染料被覆炭黑300.0g、胺基甲酸酯系分散剂24.0g、合成例2中所得的碱可溶性树脂的溶液146.0g、丙二醇单甲醚乙酸酯729.6g进行分散而所得的分散液(固体成分为33.9％)

(溶剂)

(E)-1：丙二醇单甲醚乙酸酯

(E)-2：环己酮

(硅烷偶联剂)

(F)：3-巯基丙基三甲氧基硅烷(商品名：KBM-803；信越化学股份有限公司制造)

(表面活性剂)

(G)：BYK-330(毕克化学公司制造)

以表1中所示的比例对所述调配成分进行调配，制备实施例1～实施例4及比较例1的感光性树脂组合物。另外，表1中的数值均表示质量份。而且，溶剂一栏中的(E)-1是不含含有不饱和基的树脂的溶液(含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂的溶液)中的PGMEA(与(E)-1相同)、及遮光性分散液中的PGMEA(与(E)-1相同)的量。

[表1]

[评价]

使用实施例1～实施例4及比较例1的遮光膜用感光性树脂组合物而进行以下所记载的评价。将这些评价的结果表示于表2中。

＜显影特性(图案线宽/图案直线性)的评价＞

用旋涂机将所述所得的各感光性树脂组合物以后烘烤后的膜厚成为1.1μm的方式涂布在125mm×125mm的玻璃基板(康宁1737)上，在90℃下进行1分钟预烘烤。其后，将曝光间距调整为100μm，在干燥涂膜上覆盖10μm或6μm的负型光掩模，用i射线照度为30mW/cm²的超高压水银灯照射80mJ/cm²的紫外线，进行感光部分的光硬化反应。

其次，将该曝光后的涂板在25℃、0.05％氢氧化钾水溶液中、1kgf/cm²的喷淋显影压力下，进行自图案开始出现的显影时间(出像时间＝BT)起+20秒及+30秒的显影后，进行5kgf/cm²压力的喷雾水洗，将涂膜的未曝光部除去而在玻璃基板上形成像素图案，其后使用热风干燥机而进行230℃、30分钟的热后烘烤，其后评价相对于10μm线及6μm线的掩模宽度的线宽、图案直线性。在即使显影时间超过80秒也不出现图案图像的情况下，设为无法显影。另外，各评价方法如下所示。

图案线宽：使用测长显微镜(尼康公司制造的“XD-20”)而测定掩模宽度为10μm及6μm的图案线宽。

图案直线性：用显微镜观察后烘烤后的10μm或6μm的掩模图案，将未发现相对于基板的剥离或图案边缘部分的锯齿状的情况评价为“○”，将发现一部分的情况评价为“△”，将经整体发现的情况评价为“×”。

＜OD/μm的评价＞

用旋涂机将所述所得的各感光性树脂组合物以后烘烤后的膜厚成为1.1μm的方式涂布在125mm×125mm的玻璃基板(康宁1737)上，在90℃下进行1分钟预烘烤。其后，并不覆盖负型光掩模而用i射线照度为30mW/cm²的超高压水银灯照射80mJ/cm²的紫外线，进行感光部分的光硬化反应。

其次，将该曝光后的涂板在25℃、0.05％氢氧化钾水溶液中、1kgf/cm²的喷淋显影压力下进行60秒的显影，然后进行5kgf/cm²压力的喷雾水洗，其后使用热风干燥机而进行230℃、30分钟的热后烘烤，然后使用麦克贝斯透射密度计而评价光照射部的OD。进一步测定光照射部的膜厚，将OD值除以膜厚而得的值作为OD/μm。

＜与玻璃基板的密接强度的评价＞

用旋涂机将所述所得的各感光性树脂组合物以后烘烤后的膜厚成为1.1μm的方式涂布在125mm×125mm的玻璃基板(康宁1737)上，在90℃下进行1分钟预烘烤。其后，并不使用负型光掩模而以i线照度30mW/cm²的超高压水银灯且以80mJ/cm²进行整体曝光，使用热风干燥机在230℃下进行30分钟的热后烘烤。其次，关于所述所得的后烘烤基板，利用基于JISK6856-1994的3点弯曲密接试验方法的评价法，如下所述地评价与玻璃基板的密接强度。将所述进行了后烘烤的带有涂膜的基板、及未涂布树脂组合物的玻璃基板(康宁1737)(没有涂膜的基板)分别切断为20mm×63mm的长条状而准备试片。将进行了后烘烤的带有涂膜的基板与没有涂膜的基板经由一定量的密封剂环氧系接着剂重合，以宽度成为8mm的方式将两基板(试片)贴合。重合时的密封剂环氧系接着剂的形状为圆形且直径为约5mm。其后，将重合的试片在90℃下实施20分钟的预烘烤，其次在150℃下实施2小时的后烘烤，制成三点弯曲试片。进一步制成将20mm×63mm的没有涂膜的基板试片彼此也用与所述相同的方法贴合而成的比较试验用样品。

在所述所得的试片中，以重合部位成为中心的方式，将带有涂膜的基板与没有涂膜的基板贴合而成的样品、或者比较试验用样品用2点的支撑体进行支撑(2点的支撑体的间隔为3cm)，使用艾安德(ORIENTEC)(制)商品名UCT-100而以1mm/min的速度自重合部的正上方向正下方施加负载而使贴合部剥离。在此时，读取剥离时的负载，除以密封剂环氧系接着剂的涂布面积，将每单位面积的负载作为密接强度。而且，在121℃、100％RH、2atm、及5小时的条件下实施压力锅试验(Pressure Cooker Test，PCT)后，实施同样的密接强度试验，求出PCT前后的密接强度。在PCT前后的比较试验用样品的密接强度分别设为100时，将各组成中的密接强度表示为相对值。在PCT前后，将为70以上的情况作为“○”。

＜体积电阻率的评价＞

用旋涂机将所述所得的各感光性树脂组合物以后烘烤后的膜厚成为3.0μm的方式涂布在125mm×125mm的玻璃基板(康宁1737)上，在90℃下进行1分钟预烘烤。其后，使用热风干燥机在230℃下进行180分钟的热后烘烤，然后使用静电计(吉时利(Keithley)公司制造、“6517A型”)，测定施加电压为1V～10V的体积电阻率。以1V的间隔，在各施加电压下各保持60秒的电压的条件下进行测定，将施加1V时与施加10V时的体积电阻率表示于表2中。

[表2]

在使用实施例1～实施例4的遮光膜用感光性树脂组合物的情况下，在BT+20秒时存在线宽一定程度地变粗的倾向，有必要使显影时间变长一定程度，但具有充分的光图案化性，在OD为3.8/μm时，施加电压为10V时的体积电阻率成为1×10¹³Ω·cm，可知可实现所需的1×10¹²Ω·cm以上的体积电阻率。其中，特别是实施例4，即使在提高了遮光度的OD为4.0/μm时，体积电阻率维持为1×10¹³Ω·cm，可知可实现高遮光高电阻化且与玻璃基板的密接强度(密封密接)也高。可知这些效果可通过将含有不饱和基的碱可溶性树脂共分散于炭黑分散体而获得显影密接性等的改善效果，且可充分地表现高电阻、适于高密封密着的染料被覆炭黑的特征。

在比较例1中，虽然体积电阻率在施加1V时可确保1×10¹²Ω·cm以上，但在施加10V时不足1×10¹²Ω·cm，体积电阻率降低，可知并不满足目前的液晶显示器的彩色滤光片用途等的高遮光、高电阻的要求特性。

Claims (8)

1.一种遮光膜用感光性树脂组合物，其包含下述(A)成分～(E)成分作为必须成分：

(A)含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂，其是使下述通式(I)所表示的化合物与(甲基)丙烯酸的反应物进一步与多元羧酸或其酸酐反应而所得、

(B)具有至少1个乙烯性不饱和键的光聚合性单体、

(C)光聚合引发剂、

(D)选自由黑色有机颜料、混色有机颜料及遮光材料所构成的群组的1种以上遮光成分、及

(E)溶剂；

其特征在于：所述(A)成分是使作为所述多元羧酸或其酸酐的(a)二羧酸或三羧酸或其酸酐、及(b)四羧酸或其酸二酐以(a)/(b)的摩尔比成为0.01～0.5的范围进行反应而获得，且酸值为80mgKOH/g～120mgKOH/g的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂；

所述(A)成分与所述(B)成分的质量比例(A)/(B)为50/50～90/10；

其中，在通式(I)中，R₁及R₂独立地表示氢原子、碳数为1～5的烷基、或卤素原子，X表示芴-9,9-二基，n表示平均值0～10。

2.根据权利要求1所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其特征在于：相对于所述(A)成分与所述(B)成分的合计100质量份而含有2质量份～30质量份的所述(C)成分，且在遮光膜用感光性树脂组合物的包含由于光硬化而成为固体成分的成分的固体成分中包含40质量％～70质量％的所述(D)成分。

3.根据权利要求1或2所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其特征在于：还包含(F)分散剂，使所述(D)成分与所述(A)成分的一部分及所述(F)分散剂一同预先分散于所述(E)成分的一部分中，之后与剩余的所述(A)成分、所述(B)成分、所述(C)成分、及剩余的所述(E)成分混合而制造。

4.根据权利要求1或2所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其特征在于：所述(D)遮光成分是炭黑。

5.根据权利要求1或2所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其特征在于：用以形成在光密度OD为3.5/μm以上且不足4.0/μm时，施加10V电压时的体积电阻率成为1×10¹²Ω·cm以上的涂膜。

6.根据权利要求1或2所述的遮光膜用感光性树脂组合物，其特征在于：用以形成在光密度OD为4.0/μm以上时，施加10V电压时的体积电阻率成为1×10¹¹Ω·cm以上的涂膜。

7.一种遮光膜，其特征在于：使如权利要求1至6中任一项所述的遮光膜用感光性树脂组合物硬化而形成。

8.一种彩色滤光片，其特征在于包含遮光膜，所述遮光膜是将如权利要求1至6中任一项所述的遮光膜用感光性树脂组合物涂布于透明基板上，进行预烘烤后，利用紫外线曝光装置进行曝光、利用碱性水溶液进行显影、及后烘烤而制作。