JP7437872B2 - 隔壁用感光性樹脂組成物及びその硬化物並びにその製造方法 - Google Patents
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Description
(A)成分である不飽和基含有感光性樹脂は、1分子中に重合性不飽和基と、アルカリ可溶性を発現するための酸性基を有していることが好ましく、重合性不飽和基とカルボキシル基との両方を含有していることがより好ましい。上記樹脂であれば、特に限定されることなく、広く使用することができる。
(B)成分である樹枝状ポリマーは、2つ以上のエチレン性の重合性基を末端に有する多分岐型のポリマーである。エチレン性の重合性基は、(メタ)アクリレートに由来するものであることが好ましい。ここで、エチレン性の重合性基は、炭素-炭素二重結合を有する基であり、この炭素-炭素二重結合にカルボニル基が結合したα,β-不飽和カルボニル化合物のような共役した化合物においては、メルカプト化合物のような求核剤との相互作用が最も強いビニル基でマイケル付加反応が起こることが知られている。したがって、α,β-不飽和カルボニル化合物のような複数のエチレン性の重合性基を有する化合物と、多価メルカプト化合物のような複数の求核性基を有する化合物とを反応させることにより、カルボニル基に対しβ位の炭素に付加反応が生じる。ここで、付加反応が生じる基が複数ある場合には、多くの分岐が生じて樹枝状ポリマーとなる。このような樹枝状ポリマーは、特許文献2などにより公知であり、かかる文献に記載の方法により得ることができる。
光硬化性を制御するために、(A)成分と(B)成分に加えて、少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー(B’成分)を併用することができる。上記光重合性モノマーの例には、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類等が含まれる。これらの光重合性モノマーは、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
(C)光重合開始剤の例には、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類;2-(o-クロロフェニル)-4,5-フェニルビイミダゾール、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)ビイミダゾール、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2,4,5-トリアリールビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物類;2-トリクロロメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-シアノスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-メトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール等のハロメチルチアゾール化合物類;2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-クロロフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(3,4,5-トリメトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メチルチオスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン等のハロメチル-S-トリアジン系化合物類;1,2-オクタンジオン、1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-,2-(O-ベンゾイルオキシム)、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-ベンゾアート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-アセタート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1-オンオキシム-O-アセタート等のO-アシルオキシム系化合物類;ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、2-クロロチオキサンソン、2,4-ジエチルチオキサンソン、2-メチルチオキサンソン、2-イソプロピルチオキサンソン等のイオウ化合物;2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類;アゾビスイソブチルニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物;2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物、トリエタノールアミン、トリエチルアミン等の第3級アミン等が含まれる。これらの光重合開始剤は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
(D)成分の撥インキ剤は、隔壁にインキに対する撥インキ性を付与するものである。隔壁に囲まれた領域内に所定量の有機層の材料を含むインクを注入する場合には、撥インキ剤を含有することが好ましい。隣接する隔壁内にインクが流入すること、及び隔壁にインクが付着することを抑制できるからである。
本発明で使用できる(E)成分の黒色顔料、混色有機顔料及び白色顔料の着色剤は、1~1000nmの平均粒径(レーザー回折・散乱法粒径分布計又は動的光散乱法粒径分布計測定された平均粒径)で分散されたものであれば、公知の着色剤を特に制限なく使用することができる。
ピグメント・レッド2、3、4、5、9、12、14、22、23、31、38、112、122、144、146、147、149、166、168、170、175、176、177、178、179、184、185、187、188、202、207、208、209、210、213、214、220、221、242、247、253、254、255、256、257、262、264、266、272、279等
ピグメント・オレンジ5、13、16、34、36、38、43、61、62、64、67、68、71、72、73、74、81等
ピグメント・イエロー1、3、12、13、14、16、17、55、73、74、81、83、93、95、97、109、110、111、117、120、126、127、128、129、130、136、138、139、150、151、153、154、155、173、174、175、176、180、181、183、185、191、194、199、213、214等
ピグメント・グリーン7、36、58等
ピグメント・ブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、60、80等 ピグメント・バイオレット19、23、37等
本発明の感光性樹脂組成物には、(A)~(E)の成分の他に(F)成分である溶剤を使用することが好ましい。溶剤の例には、メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;α-もしくはβ-テルピネオール等のテルペン類;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、N-メチル-2-ピロリドン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類が含まれる。これらを単独又は2種類以上を併用して溶解、混合させることにより、均一な溶液状の組成物とすることができる。
BPFE :ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物(9,9-ビス(4-ヒドロ
キシフェニル)フルオレンとクロロメチルオキシランとの反応物(エポキ
シ当量250g/eq)。
AA :アクリル酸
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
TEAB :臭化テトラエチルアンモニウム
BPDA :3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
THPA :テトラヒドロ無水フタル酸
MAA :メタクリル酸
MMA :メタクリル酸メチル
CHMA :メタクリル酸シクロヘキシル
AIBN :アゾビスイソブチロニトリル
GMA :グリシジルメタクリレート
TPP :トリフェニルホスフィン
TBPC :2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾール
PTMA :ペンタエリスリトールテトラ(メルカプトアセテート)
DPHA :ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサアクリレートとの
混合物
HQ :ハイドロキノン
BzDMA:ベンジルジメチルアミン
還留冷却器付き500ml四つ口フラスコ中に、BPFE(114.4g(0.23モル)、AA(33.2g(0.46モル))、PGMEA(157g)及びTEAB(0.48g)を仕込み、100~105℃で20時間撹拌して反応させた。次いで、フラスコ内にBPDA(35.3g(0.12モル))、THPA(18.3g(0.12モル))を仕込み、120~125℃で6時間撹拌し、不飽和基含有感光性樹脂(A)-1を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.1質量%であり、酸価(固形分換算)は103mgKOH/gであり、GPC分析によりMwは3600であった。
窒素導入管及び還流管付き1000ml四つ口フラスコ中に、MAA(51.65g(0.60モル))、MMA(36.04g(0.36モル))、CHMA(40.38g(0.24モル))、AIBN(5.91g)、及びPGMEA(360g)を仕込み、窒素気流下、80~85℃で8時間撹拌して重合させた。さらに、フラスコ内にGMA(61.41g(0.43モル))、TPP(2.27g)及びTBPC(0.086g)を仕込み、80~85℃で16時間撹拌し、不飽和基含有感光性樹脂(A)-2を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は、35.7質量%であり、酸価(固形分換算)は50mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは19600であった。
1Lの四つ口フラスコ内に、PTMA(20g(メルカプト基:0.19モル))、DPHA(212g(アクリル基:2.12モル))、PGMEA(58g)、HQ(0.1g)、及びBzDMA(0.01g)を仕込み、60℃で12時間撹拌して重合させ、樹枝状ポリマー(B)を得た。得られた樹枝状ポリマーの固形分濃度は80質量%であり、GPC分析によるMwは10000であった。上記樹枝状ポリマーは、ヨードメトリー法でメルカプト基の消失が確認された。
合成例中で得られた樹脂溶液1gをガラスフィルター〔重量:W0(g)〕に含浸させて秤量し〔W1(g)〕、160℃にて2時間加熱した後の重量〔W2(g)〕から次式より求めた。
固形分濃度(重量%)=100×(W2-W0)/(W1-W0)
樹脂溶液をジオキサンに溶解させ、電位差滴定装置〔平沼産業株式会社製、商品名COM-1600〕を用いて1/10N-KOH水溶液で滴定して求めた。
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(GPC)[東ソー株式会社製 商品名:HLC-8220GPC、溶媒:テトラヒドロフラン、カラム:TSKgelSuperH-2000(2本)+TSKgelSuperH-3000(1本)+TSKgelSuperH-4000(1本)+TSKgelSuper-H5000(1本)〔東ソー株式会社製〕、温度:40℃、速度:0.6ml/min]にて測定し、標準ポリスチレン〔東ソー株式会社製PS-オリゴマーキット〕換算値として重量平均分子量(Mw)を求めた。
(A)不飽和基含有感光性樹脂
(A)-1:合成例1で得られた樹脂
(A)-2:合成例2で得られた樹脂
(B)樹枝状ポリマー:合成例3で得られた樹枝状ポリマー
(B’)光重合性モノマー:ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサアクリレートとの混合物(DPHA、日本化薬株式会社製)
(C)光重合開始剤:オキシムエステル系光重合開始剤(アデカアークルズNCI -831、ADEKA株式会社製、「アデカアークルズ」は同社の登録商標)
(D)撥インキ剤:(メガファックRS-72-K、DIC株式会社、「メガファック」は同社の登録商標)
(E)着色剤
(E)-1:カーボンブラック
(E)-2:ラクタムブラック
(E)-3:酸化チタン
(E’)分散剤
(F)溶剤:PGMEA
(A)~(F)までの各成分を表1に記載の割合で配合して、均一に混合することにより実施例1に係る隔壁用感光性樹脂組成物を得た。
上記隔壁用感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス板(EAGLE XG、コーニング社製、「EAGLE XG」は同社の登録商標)上に、ポストベーク後の膜厚が1μmとなるように塗布し、90℃で1分間プレベークした。熱風乾燥機を用いて230℃、30分間熱ポストベークした後、マクベス透過濃度計を用いて測定を行い、光学濃度(OD)を評価した。
光学濃度(OD)=-log10T (1)
(Tは透過率を示す)
上記隔壁用感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス板(EAGLE XG、コーニング社製)上に、ポストベーク後の膜厚が10μmとなるように塗布し、90℃で1分間プレベークした。乾燥塗膜の上に、20μm開口のネガ型フォトマスクを露光ギャップ100μmに調整して被せ、i線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで80mJ/cm2の紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。次に、この露光済み塗板を25℃、0.05%水酸化カリウム水溶液を用いて、1kgf/cm2のシャワー現像圧にて、パターンが現れ始める現像時間を評価した。
(評価)
○:パターンが現れ始める現像時間が2分未満
△:パターンが現れ始める現像時間が2分以上3分未満
×:パターンが現れ始める現像時間が3分以上
ポストベーク後の膜厚が2μmとなるようにした以外は、上記膜厚(10μm)の現像時間の操作と同様にして評価を行った。
(評価)
○:パターンが現れ始める現像時間が20秒以上
△:パターンが現れ始める現像時間が20秒未満
×:パターンが現れ始める現像時間が5秒未満
上記隔壁用感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス板(EAGLE XG、コーニング社製)上に、ポストベーク後の膜厚が10μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。乾燥塗膜の上に、5μm開口のネガ型フォトマスクを露光ギャップ100μmに調整して被せ、i線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで80mJ/cm2の紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。次に、この露光済み塗板を25℃、0.05%水酸化カリウム水溶液を用いて、1kgf/cm2のシャワー現像圧にて、パターンが現れ始める現像時間から、さらに10秒経過後の現像後、5kgf/cm2圧のスプレー水洗を行い、塗膜の未露光部を除去して、ガラス基板上に画素パターンが形成されるかを確認した。
ネガ型フォトマスクの開口を5μmから20μmに変更した以外は、上記細線のパターニング性と同様にしてガラス基板上に画素パターンが形成されるかを確認した。
(評価)
○:パターンが形成される
△:パターンが形成されるが一部に剥離が見られる
×:パターンが形成されない
上記隔壁用感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス板(EAGLE XG、コーニング社製)上に、ポストベーク後の膜厚が10μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。乾燥塗膜の上に、20μm開口のネガ型フォトマスクを露光ギャップ100μmに調整して被せ、i線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで80mJ/cm2の紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。次に、この露光済み塗板を25℃、0.05%水酸化カリウム水溶液を用いて、1kgf/cm2のシャワー現像圧にて、パターンが現れ始める現像時間から、さらに10秒経過後の現像後、5kgf/cm2圧のスプレー水洗を行い、塗膜の未露光部を除去して、ガラス基板上に画素パターンを形成した。形成した画素パターン(格子状の隔壁)を切断して、断面観察用のサンプルを作製し、走査型電子顕微鏡(株式会社キーエンス製)を用いて隔壁の断面形状を観察し、そのテーパー角度を測定した。
(評価)
◎:テーパー角度が51~90°
○:テーパー角度が21~50°
×:テーパー角度が5~20°
テーパー角度評価用サンプルについて、形成した画素パターンの表面を光学顕微鏡で観察し、シワの有無を評価した。
(評価)
○:表面にシワがない
△:次工程に影響を及ぼさない程度のシワがある
×:表面にシワがある
実施例1と同様に、実施例2~17及び比較例1についても(A)~(F)までの各成分を表1に記載の割合で配合して、均一に混合することにより実施例2~17及び比較例1に係る隔壁用感光性樹脂組成物を得た。実施例2~17及び比較例1に係る隔壁用感光性樹脂組成物の各評価は、実施例1と同様にして行った。
Claims (7)
- (A)不飽和基含有感光性樹脂と、
(B)2つ以上のエチレン性の重合性基を末端に有する、重量平均分子量(Mw)が1000~20000である樹枝状ポリマーと、
(C)光重合開始剤と、
(D)架橋基を含有するフッ素系化合物である撥インキ剤と、
を含み、
(A)及び(B)成分の含有量の割合((A)/(B))は60/40~50/50であり、
(D)成分の含有量は全固形分に対して0.05質量%以上8質量%以下である、
隔壁用感光性樹脂組成物。 - 前記(A)成分は、一般式(1)で表されるビスフェノール類から誘導される2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物を更に多塩基カルボン酸又はその無水物と反応させて得られた不飽和基含有感光性樹脂であることを特徴とする、請求項1に記載の隔壁用感光性樹脂組成物。
- 前記(B)成分は、一般式(3)で示される多官能(メタ)アクリレートの(メタ)アクリロイル基中の炭素-炭素二重結合の一部に、一般式(4)で示される多価メルカプト化合物を付加させて得られる樹枝状ポリマーであることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の隔壁用感光性樹脂組成物。
- 前記隔壁用感光性樹脂組成物は、(E)成分として黒色顔料、混色有機顔料及び白色顔料から選ばれた少なくとも1種の着色剤を含むことを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の隔壁用感光性樹脂組成物。
- 請求項1~4のいずれか一項に記載の隔壁用感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化物。
- (E)成分が黒色顔料または混色有機顔料である請求項4に記載の隔壁用感光性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成し、前記塗膜を乾燥させる工程と、
前記塗膜を紫外線露光装置で露光する工程と、
前記塗膜をアルカリ水溶液で現像し、熱焼成する工程と、
を有する隔壁の製造方法であって、
前記隔壁の光学濃度(OD)は0.2~4.0/μmであることを特徴とする、隔壁の製造方法。 - (E)成分が白色顔料である請求項4に記載の隔壁用感光性樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を形成し、前記塗膜を乾燥させる工程と、
前記塗膜を紫外線露光装置で露光する工程と、
前記塗膜をアルカリ水溶液で現像し、熱焼成する工程と、
を有する隔壁の製造方法であって、
前記隔壁の光学濃度(OD)は0.1~0.3/μmであることを特徴とする、隔壁の製造方法。
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