JP4583271B2 - 着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物及びこれを用いたカラーフィルタ - Google Patents

着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物及びこれを用いたカラーフィルタ Download PDF

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本発明は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスパネル、ビデオカメラ等に使用されるカラーフィルタのパターンの形成に好適な着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物、及びこれを用いたカラーフィルタに関する。
着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和結合を有する特定の化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物に、顔料又は染料等の着色剤、及び光重合開始剤を含有させたものである。この着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、紫外線若しくは電子線を照射することによって重合硬化させることができるので、液晶ディスプレイ等に用いられるカラーフィルタ、光硬化性インキ、感光性印刷版、プリント配線版、各種フォトレジスト等に用いられている。特に液晶ディスプレイは、カラーテレビにも用いられるようになり、赤、緑、青の三原色の色純度向上やブラックマトリックスの高遮光率化が進み、着色剤の高濃度化が求められている。
上記アルカリ現像型感光性樹脂組成物に関し、下記特許文献1には、光重合性不飽和化合物及び該化合物を含有するアルカリ現像型感光性樹脂組成物が提案されており、下記特許文献2には、ポリカルボン酸樹脂を含有する樹脂組成物及び該樹脂組成物を含有する感光性樹脂組成物が提案されており、下記特許文献3には、アルカリ可溶性不飽和樹脂及び該樹脂を含有する感放射線性樹脂組成物が提案されている。
また、下記特許文献4には、カラーフィルタ等を形成し得る特定の可塑剤を含有する無機粒子含有組成物が提案されており、下記特許文献5には、イミド基含有共重合体を含有する感光性着色組成物が提案されている。
通常、カラーフィルタは、ブラックマトリックス用の黒色アルカリ現像型感光性樹脂組成物を塗工後、露光、現像してパターンを形成し、焼成した後、赤、緑、青の各色のアルカリ現像型感光性樹脂組成物で同工程を繰り返して製造される。しかし、上記の公知のアルカリ現像型感光性樹脂組成物等では、着色剤の濃度を上げると、画素のパターン形状が、オーバーハングと呼ばれる逆テーパー形状となって著しく悪化し、次工程での塗工ムラが発生し、品質や歩留まりの低下を招いていた。そのため、画素パターンが順テーパー形状となるような、パターン形成性に優れた着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物が望まれていた。
特許第3148429号公報 特開2003−107702号公報 特開2003−89716号公報 特開2003−96305号公報 特開2004−341245号公報
解決しようとする問題点は、上述したように、着色剤濃度を上げた時のパターン形状の悪化を防ぐことができ、特にブラックマトリックスのオーバーハング形状を防止することができる着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物が、これまでなかったということである。
従って、本発明の目的は、順テーパー形状となるパターンを与える着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供することにある。
本発明は、着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物の一成分として可塑剤を用いることにより、カラーフィルタ製造工程の焼成時に膜を軟化させて、上記目的を達成し得ることを知見した。
本発明は、上記知見に基づきなされたもので、必須成分として、(A)可塑剤、(B)着色剤、(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂、(D)不飽和基を少なくとも一つ有するモノマー、(E)光重合開始剤及び/又は増感剤、並びに(F)溶剤を含有し、上記(A)可塑剤が、後記の一般式(I)又は(II)で表されるポリエーテルポリオールであることを特徴とする着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供するものである。
また、本発明は、該着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物からなるブラックマトリックス、及び該ブラックマトリックスを有するカラーフィルタを提供するものである。
本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、着色剤濃度を上げても画素パターンの順テーパー形状を維持することが出来、カラーフィルタ用着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物、特にカラーフィルタのブラックマトリックスを形成するための着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物として好適に用いることが出来る。
以下、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物について、好ましい実施形態に基づき詳細に説明する。
上記(A)可塑剤としては、下記一般式(I)又は(II)で表されるポリエーテルポリオールを用いる。下記一般式(I)又は(II)で表されるポリエーテルポリオールは、融点又は軟化点が高く、(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂との相溶性が高い。
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上記一般式(I)中、R1及びR2で表される炭素原子数1〜4のアルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、第二ブチル、第三ブチル、イソブチル等が挙げられる。上記一般式(II)中、R4で表される炭素原子数1〜4のアルキル基としては、上記一般式(I)中のR1及びR2として例示のものが挙げられる。
上記一般式(I)及び(II)において、m及びrの値は、得られるポリエーテル化合物の質量平均分子量が、250〜50000、特に300〜10000となるように選択するのが好ましい。
上記可塑剤としては、市販のものを用いることができ、例えば、上記ポリエーテル化合物としては、エマルスターELシリーズ、PFシリーズ、XSシリーズ(旭硝子社製)、アクトコールEDシリーズ、MNシリーズ(三井武田ケミカル社製)、アデカポリエーテルPシリーズ、EDPシリーズ、BPXシリーズ、SPシリーズ、BEXシリーズ、SCシリーズ、Gシリーズ、MGシリーズ、Tシリーズ、AMシリーズ、BMシリーズ、CMシリーズ、EMシリーズ、GMシリーズ、RMシリーズ、GRシリーズ(旭電化工業社製)等を挙げることができる。
上記(A)可塑剤の含有量は、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物において0.01〜10質量%、特に1〜5質量%が好ましい。
上記(B)着色剤としては、顔料及び染料を挙げることができる。どちらを添加するかについては特に制限されず、顔料及び染料のいずれか一方を用いても、あるいは両方を併用してもよい。本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、特に顔料分散法及び染色法によるカラーフィルタの作成に適している。
上記顔料としては、複数の顔料を組み合わせて用いることもできる。以下に、有機顔料の具体例をカラーインデックス(C.I.)ナンバーで示す。
・Pigment Blue:
<C.I>1,1:2,1:x,9:x,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:5,15:6,16,24,24:x,56,60,61,62
・Pigment Green:
<C.I>1,1:x,2,2:x,4,7,10,36
・Pigment Orange
<C.I>2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,59,60,61,62,64
・Pigment Red
<C.I>1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:3,81:x,83,88,90,112,119,122,123,144,146,149,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,224、226
・Pigment Violet:
<C.I>1,1:x,3,3:3,3:x,5:1,19,23,27,32,42
・Pigment Yellow
<C.I>1,3,12,13,14,16,17,24,55,60,65,73,74,81,83,93,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,116,117,119,120,126,127,128,129,138,139,150,151,152,153,154,156,175
また、黒色顔料としては、三菱化学社製のカーボンブラック#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#970、#960、#950、#900、#850、MCF88、#650、MA600、MA7、MA8、MA11、MA100、MA220、IL30B、IL31B、IL7B、IL11B、IL52B、#4000、#4010、#55、#52、#50、#47、#45、#44、#40、#33、#32、#30、#20、#10、#5、CF9、#3050、#3150、#3250、#3750、#3950、ダイヤブラックA、ダイヤブラックN220M、ダイヤブラックN234、ダイヤブラックI、ダイヤブラックLI、ダイヤブラックLH、ダイヤブラックN339、ダイヤブラックSH、ダイヤブラックSHA、ダイヤブラックLH、ダイヤブラックH、ダイヤブラックHA、ダイヤブラックSF,ダイヤブラックN550M、ダイヤブラックE、ダイヤブラックG、ダイヤブラックR、ダイヤブラックN760M、ダイヤブラックLR、キャンカーブ社製のカーボンブラックサーマックスN990、N991、N907、N908、N990、N991、N908、旭カーボン社製のカーボンブラック旭#80、旭#70、旭#70L、旭F−200、旭#66、旭#66U、旭#50、旭#35、旭#15、アサヒサーマル、デグザ社製のカーボンブラックColorBlack Fw200、ColorBlack Fw2、ColorBlack Fw2V、ColorBlack Fw1、ColorBlack Fw18、ColorBlack S170、ColorBlack S160、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、SpecialBlack4A、SpecialBlack250、SpecialBlack350、PrintexU、PrintexV、Printex140U、Printex140V(いずれも商品名)等が挙げられる。
また、ミロリブルー、酸化鉄、酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、シリカ、アルミナ、コバルト系、マンガン系、タルク、クロム酸塩、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫化物、セレン化物、リン酸塩群青、紺青、コバルトブルー、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、コバルトグリーン等の無機顔料も使用することができる。
これらの顔料は複数を混合して用いることができる。
上記染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用いてもよい。
上記(B)着色剤の含有量は、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物において1〜30質量%、特に5〜20質量%が好ましい。
また、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、カラーフィルタの作成に用いる場合、三原色の色純度向上やブラックマトリックスの高遮光率化のために、上記(B)着色剤を多量(具体的には5〜15質量%)に含有していても、パターン形状の悪化を防ぐことが可能である。
上記(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂としては、アクリル酸エステルの共重合体や、フェノール及び/又はクレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、下記一般式(III)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を用いることができる。これらの中でも、下記一般式(III)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物に、不飽和一塩基酸を作用させ、更に多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂が好ましい。
また、上記(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂は、不飽和基を0.2〜1.0当量含有していることが好ましい。
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上記フェノール及び/又はクレゾールノボラックエポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂、上記一般式(III)で表されるエポキシ化合物等のエポキシ化合物としては、下記化合物No.1〜No.20が挙げられる。化合物No.1〜No.13が、上記一般式(III)で表されるエポキシ化合物であり、化合物No.14〜No.17が、フェノール及び/又はクレゾールノボラックエポキシ樹脂であり、化合物No.18〜No.20が、多官能エポキシ基を有するポリフェニルメタン型エポキシ樹脂である。尚、化合物No.1〜No.13におけるnは、上記一般式(III)と同じであり、化合物No.14〜No.17におけるnは、0〜10の整数を表す。
Figure 0004583271
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上記エポキシ化合物に作用させる上記不飽和一塩基酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリレート・マレート、ヒドロキシエチルアクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート等が挙げられる。
また、上記不飽和一塩基酸を作用させた後に作用させる上記多塩基酸無水物としては、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、ビフタル酸無水物、無水マレイン酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、2,2’−3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、3,3’−4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等が挙げられる。
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応モル比は、以下の通りとすることが好ましい。すなわち、上記エポキシ化合物のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸のカルボキシル基が0.1〜1.0個で付加させた構造を有するエポキシ付加物において、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率となるようにするのが好ましい。
上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸及び上記多塩基酸無水物の反応は、常法に従って行なうことができる。反応は溶剤中で行なってもよく、反応に用いた溶剤は、除去せず、得られた(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂と共存させたまま、上記(F)溶剤として供することができる。
上記(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂としては、酸価調整して本発明の着色アルカリ現像型樹脂組成物の現像性を改良するため、さらに単官能又は多官能エポキシ化合物を作用させたものを用いることができる。上記(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂は、固形分の酸価が60〜120mgKOH/gの範囲であることが好ましく、単官能又は多官能エポキシ化合物の使用量は、上記酸価を満たすように選択するのが好ましい。
上記単官能エポキシ化合物としては、グリシジルメタクリレート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、t−ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、p−メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p−メトキシグリシジルエーテル、p−ブチルフェノールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、2−メチルクレジルグリシジルエーテル、4−ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、p−クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、2,3−エポキシプロピルメタクリレート、エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油、グリシジルブチレート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、下記化合物No.21、No.22等が挙げられる。
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上記多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ化合物及びグリシジルエーテル類からなる群から選択される一種以上を用いると、特性の一層良好な着色アルカリ現像型樹脂組成物を得ることができるので好ましい。該ビスフェノール型エポキシ化合物としては、上記一般式(III)で表されるエポキシ化合物を用いることができる他、例えば、水添ビスフェノール型エポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物も用いることができる。該グリシジルエーテル類としては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,8−オクタンジオールジグリシジルエーテル、1,10−デカンジオールジグリシジルエーテル、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)プロパン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)エタン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)メタン、1,1,1,1−テトラ(グリシジルオキシメチル)メタンが挙げられる。
その他、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物;3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル類;テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルP−アミノフェノール、N,N−ジグリシジルアニリン等のグリシジルアミン類;1,3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物;ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物;ナフタレン型エポキシ化合物、トリフェニルメタン型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物等を用いることもできる。
上記(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂の含有量は、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物において1〜20質量%、特に3〜12質量%が好ましい。
上記(D)不飽和基を少なくとも一つ有するモノマーとしては、アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、アクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸N−オクチル、アクリル酸イソオクチル、アクリル酸イソノニル、アクリル酸ステアリル 、アクリル酸メトキシエチル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸亜鉛、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル、メタクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ターシャリーブチル、メタクリル酸シクロヘキシル、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリシクロデカンジメチロールジアクリレート等が挙げられる。これらの中でも、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレートが好ましい。
上記(D)不飽和基を少なくとも一つ有するモノマーの含有量は、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物において0.1〜10質量%、特に0.5〜5質量%が好ましい。
上記(E)光重合開始剤及び/又は増感剤としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、1−ヒドロキシ−1−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンジル、ベンジルジメチルケタール、1−ベンジル−1−ジメチルアミノ−1−(4'−モルホリノベンゾイル)プロパン、2−モルホリル−2−(4'−メチルメルカプト)ベンゾイルプロパン、チオキサントン、1−クロル−4−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、4−ベンゾイル−4'−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、2−ヒドロキシ−2−ベンゾイルプロパン、2−ヒドロキシ−2−(4'−イソプロピル)ベンゾイルプロパン、4−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、4−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、1,7−ビス(9'−アクリジニル)ヘプタン、9−n−ブチル−3,6−ビス(2'−モルホリノイソブチロイル)カルバゾール、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ナフチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、下記化合物No.23、No.24等が挙げられる。これらの中でも、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、ベンゾフェノンが好ましい。
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Figure 0004583271
上記(E)光重合開始剤及び/又は増感剤の含有量は、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物において合計で0.1〜10質量%、特に0.5〜5質量%が好ましい。
上記(F)溶剤としては、前記の各成分を溶解又は分散し得る溶媒であれば特に制限はないが、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2−ジメトキシエタン、1,2−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル等のエステル系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のセルソルブ系溶媒;メタノール、エタノール、イソ−又はn−プロパノール、イソ−又はn−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶媒;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;テレピン油、D−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油(株))、ソルベッソ#100(エクソン化学(株))等のパラフィン系溶媒;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒;カルビトール系溶媒、アニリン、トリエチルアミン、ピリジン、酢酸、アセトニトリル、二硫化炭素、テトラヒドロフラン、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン等が挙げられ、中でも、ケトン類あるいはセロソルブ系溶媒が好ましい。これらの溶媒は1種で又は2種以上の混合溶媒として使用することができる。
上記(F)溶剤の含有量は、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物中の40〜95質量%、特に65〜90質量%が好ましい。
また、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物には、必要に応じて、アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、第三ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤;連鎖移動剤;可塑剤;接着促進剤;充填剤;消泡剤;レベリング剤;シランカップリング剤等の慣用の添加物を加えることができる。
本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、スピンコーター、スピンレスコーター、ロールコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、ガラス、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用することができる。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。
本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、その用途に特に制限はなく、光硬化性塗料、光硬化性接着剤、印刷版、印刷配線板用フォトレジスト等の各種の用途に使用することができるが、特に、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスパネル、ビデオカメラ等に使用されるカラーフィルタの画素部の形成に用いるのに好適であり、とりわけ、上記(B)着色剤として黒色の顔料及び/又は染料を使用して、カラーフィルタのブラックマトリックスの形成に用いるのに好適である。
また、本発明の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物を硬化させる際に用いられる活性光の光源としては、波長300〜450nmの光を発光するものを用いることができ、例えば、超高圧水銀、水銀蒸気アーク、カーボンアーク、キセノンアーク等を用いることができる。
以下、実施例等を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。尚、下記製造例1〜3は、(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂を含有するアルカリ現像性樹脂組成物の製造例を示す。
[製造例1] アルカリ現像性樹脂組成物No.1の製造
<ステップ1>1,1−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタンの製造
ビフェニルシクロヘキシルケトン70.5g、フェノール200.7g及びチオ酢酸10.15gを仕込み、トリフルオロメタンスルホン酸40.0gを18℃で20分かけて滴下した。17〜19℃で18時間反応後、水500gを加えて反応を停止させ、トルエン500gを加え、有機層をpH3〜4になるまで水洗して有機層を抽出した。トルエン、水及び過剰のフェノールを留去した。残さにトルエンを加えて析出した固体をろ別し、トルエンで分散洗浄して淡黄色結晶59.2g(収率51%)を得た。該淡黄色結晶の融点は239.5℃であり、該淡黄色結晶は目的物であることを確認した。
<ステップ2>1,1−ビス(4’−エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン〔化合物No.7〕の製造
ステップ1で得られた1,1−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン57.5g及びエピクロルヒドリン195.8gを仕込み、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド0.602gを加えて64℃で18時間攪拌した。続いて54℃まで降温し、24重量%水酸化ナトリウム水溶液43.0gを滴下し、30分攪拌した。エピクロルヒドリン及び水を留去し、メチルイソブチルケトン216gを加えて水洗後、24重量%水酸化ナトリウム2.2gを滴下した。80℃で2時間攪拌後、室温まで冷却し、3重量%モノリン酸ナトリウム水溶液で中和し、水洗を行った。溶媒を留去して、黄色固体57g(収率79%)を得た。該黄色固体は目的物である化合物No.7であることを確認した。得られた化合物No.7は、融点64.2℃、エポキシ当量282であり、〔化12〕に示した化学式におけるnが、0.04(平均値)であった。
<ステップ3>アルカリ現像性樹脂組成物No.1の製造
ステップ2で得られた1,1−ビス(4’−エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン43g、アクリル酸11g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.05g、テトラブチルアンモニウムアセテート0.11g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート23gを仕込み、120℃で16時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート35g及びビフェニルテトラカルボン酸ニ無水物9.4gを加えて120℃で8時間攪拌した。更にテトラヒドロ無水フタル酸6.0gを加えて120℃で4時間、100℃で3時間、80℃で4時間、60℃で6時間、40℃で11時間攪拌後、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート29gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として、目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.1を得た。
得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1は、(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂を44.3質量%含有し、(F)溶剤であるプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテートを55.6質量%含有していた。また、得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1に含有される(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂は、Mw=4000、Mn=2100、酸価(固形分)86mgKOH/gであった。
[製造例2] アルカリ現像性樹脂組成物No.2の製造
[製造例1]のステップ2で得られた1,1−ビス(4’−エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン1695g、アクリル酸443g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール6g、テトラブチルアンモニウムアセテート11g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート1425gを仕込み、120℃で16時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート718g及び無水コハク酸482g及びテトラブチルアンモニウムアセテート25gを加えて100℃で5時間攪拌した。更に、ステップ2で得られた1,1−ビス(4’−エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン508g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート218gを加えて120℃で12時間、80℃で2時間、40℃で2時間攪拌後、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート1463gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.2を得た。
得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.2は、(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂を44.7質量%含有し、(F)溶剤であるプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテートを54.7質量%含有していた。また、得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.2に含有される(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂は、Mw=4200、Mn=2100、酸価(固形分)55mgKOH/gであった。
[製造例3] アルカリ現像性樹脂組成物No.3の製造
ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量231)184g、アクリル酸58g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.26g、テトラブチルアンモニウムアセテート0.11g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート23gを仕込み、120℃で16時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート35g、ビフタル酸無水物59g及びテトラ−n−ブチルアンモニウムブロミド0.24gを加えて120℃で4時間攪拌した。更にテトラヒドロ無水フタル酸20gを加え、120℃で4時間、100℃で3時間、80℃で4時間、60℃で6時間、40℃で11時間攪拌後、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート90gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として、目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.3を得た。
得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.3は、(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂を68.3質量%含有し、(F)溶剤であるプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテートを31.5質量%含有していた。また、得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.3に含有される(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂は、Mw=5000、Mn=2100、酸価(固形分)92.7mgKOH/gであった。
[実施例1]着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.1の製造
製造例1で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1の13.5gに対し、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート2.5g、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O−ベンゾイルオキシム)2.5g、カーボンブラック9.0g、シクロヘキサノン40g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート32.5g、アデカポリエーテルG−400(上記一般式(I)において、R1及びR2が水素原子であり、質量平均分子量が400であるポリエーテルポリオール)を0.9g加えてよく混合し、着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.1を得た。
[実施例2]着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.2の製造
製造例1で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1の13.5gに対し、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート2.5g、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O−ベンゾイルオキシム)2.5g、カーボンブラック9.0g、シクロヘキサノン40g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート32.5g、アデカポリエーテルSC−800(上記一般式(II)において、R4がメチル基であり、質量平均分子量が800であるポリエーテルポリオール)を0.9g加えてよく混合し、着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.2を得た。
[実施例3]着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.3の製造
製造例2で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.2の13.3gに対し、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート2.5g、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O−ベンゾイルオキシム)2.5g、カーボンブラック9.0g、シクロヘキサノン40g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート32.7g、アデカポリエーテルG−400を0.9g加えてよく混合し、着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.3を得た。
[実施例4]着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.4の製造
製造例3で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.3の8.8gに対し、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート2.5g、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O−ベンゾイルオキシム)2.5g、カーボンブラック9.0g、シクロヘキサノン40g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート37.2g、アデカポリエーテルG−400を0.9g加えてよく混合し、着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.4を得た。
[比較例1]着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.5の製造
アデカポリエーテルG−400を添加しないこと以外は実施例1と同様にして、着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.5を得た。
[比較例2]着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.6の製造
アデカポリエーテルG−400を添加しないこと以外は実施例3と同様にして、着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.6を得た。
[比較例3]着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.7の製造
アデカポリエーテルG−400を添加しないこと以外は実施例4と同様にして、着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.7を得た。
得られた着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物No.1〜No.7の評価を以下のようにして行なった。
すなわち、ガラス基板上に上記着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物をスピンコート(600rpm、7秒間)して10分間風乾させた後、90℃で2分間ホットプレートにより加熱した。次いで、画素サイズ30μm×100μmのマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光し、2.5%炭酸ナトリウム水溶液で現像した後、良く水洗し、230℃で30分焼成してパターンを定着させた。得られたパターンについて走査型電子顕微鏡(SEM)を用いてパターン形状の観察を行なった。パターン形状が順テーパーであるものを○、垂直形状であるものを△、オーバーハング(逆テーパー)であるものを×とした。結果を表1に示す。
Figure 0004583271
表1から明らかなように、実施例1〜4の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、パターン形状が順テーパーでパターン形成性が良好であった。これに対し、比較例1〜3の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物は、パターン形状が垂直形状若しくはオーバーハング(逆テーパー)でパターン形成性は思わしくなかった。

Claims (5)

  1. 必須成分として、(A)可塑剤、(B)着色剤、(C)不飽和基含有アルカリ現像性樹脂、(D)不飽和基を少なくとも一つ有するモノマー、(E)光重合開始剤及び/又は増感剤、並びに(F)溶剤を含有し、上記(A)可塑剤が、下記一般式(I)又は(II)で表されるポリエーテルポリオールであることを特徴とする着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物。
    Figure 0004583271
    Figure 0004583271
  2. 上記(B)着色剤が、黒色の顔料及び/又は染料である請求項記載の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物。
  3. 上記(A)可塑剤の含有量が、0.01〜10質量%である請求項1又は2記載の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物。
  4. 請求項1〜のいずれか一項に記載の着色アルカリ現像型感光性樹脂組成物からなるブラックマトリックス。
  5. 請求項記載のブラックマトリックスを有するカラーフィルタ。
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