CN110117768A - 掩膜装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种掩膜装置，其包括框架结构、至少一个掩膜板及至少一个收缩片，该掩膜板与所述框架结构连接；所述收缩片连接所述掩膜板与所述框架结构，和/或所述收缩片连接相邻所述掩膜板；其中，所述收缩片能够在收缩过程中向所述掩膜板施加拉力，从而可减轻掩膜板的褶皱和下垂量，以提高蒸镀良率。

Description

掩膜装置

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种掩膜装置。

背景技术

目前，OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)通常采用真空蒸镀工艺沉积而成，在此工艺过程中需要使用掩模装置。该掩模装置包括框架结构和掩膜板，该掩膜板需要先通过张网装置张紧，然后再固定在框架结构上。但在张网过程中，由于掩模板需要通过夹抓加持进行拉伸，这样加持部位与未加持部位受力情况不一致，因此，使得掩膜板容易产生褶皱；此外，掩膜板在自身重力作用下容易下垂，这样会严重影响蒸镀良率。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本申请的目的在于提供一种掩膜装置，能够提高蒸镀良率。

本申请提供了一种掩膜装置，其包括：

框架结构；

至少一个掩膜板，与所述框架结构连接；

至少一个收缩片，所述收缩片连接所述掩膜板与所述框架结构，和/或所述收缩片连接相邻所述掩膜板；

其中，所述收缩片能够在收缩过程中向所述掩膜板施加拉力。

在本申请的一种示例性实施例中，所述收缩片包括取向层和粘接层，所述取向层通过所述粘接层与所述掩膜板或所述框架结构连接，所述取向层能够在预设温度下进行收缩以向所述掩膜板施加拉力。

在本申请的一种示例性实施例中，所述框架结构包括框架主体及竖向遮挡片，所述竖向遮挡片在第一方向上延伸且其相对两端分别与所述框架主体连接；

所述掩膜板设置有多个，并在第二方向上间隔排布，各所述掩膜板与所述框架主体连接，

其中，在所述掩膜板的厚度方向上得到的投影中，相邻所述掩膜板之间的间隙投影位于所述竖向遮挡片的投影内，所述第一方向、所述第二方向及所述厚度方向之间两两相互垂直。

在本申请的一种示例性实施例中，所述掩膜板具有在所述厚度方向上相对设置的第一面和第二面，

所述掩膜板包括工作区和固定区，所述工作区在所述第一方向上的相对两侧分别设置有所述固定区；

其中，所述第一面上与所述固定区相对的部位与所述框架主体连接。

在本申请的一种示例性实施例中，所述工作区包括多个在所述第一方向上间隔设置的开槽区及限定在相邻所述开槽区之间的蒸镀区；

其中，所述蒸镀区中设置有多个贯穿所述第一面和所述第二面的蒸镀孔，所述第二面上与所述开槽区相对的部位开设有安装槽，所述安装槽中安装有所述收缩片的端部。

在本申请的一种示例性实施例中，所述收缩片的厚度小于或等于所述安装槽的深度。

在本申请的一种示例性实施例中，所述安装槽在所述第二方向上贯穿所述第一面的相对两侧。

在本申请的一种示例性实施例中，所述框架结构还包括横向遮挡片，所述横向遮挡片在所述第二方向上延伸且其相对两端分别与所述框架主体连接；

所述开槽区中设有多个贯穿所述安装槽的槽底和所述第一面的通孔，各所述通孔与所述蒸镀孔相同；

其中，在所述厚度方向上得到的投影中，所述安装槽的投影位于所述横向遮挡片的投影内。

在本申请的一种示例性实施例中，所述收缩片设置有多个，多个所述收缩片包括第一收缩片和第二收缩片，所述第一收缩片的一端部安装于所述掩膜板的安装槽，另一端部连接所述框架主体；所述第二收缩片的一端部安装于所述掩膜板的安装槽，另一端部连接所述竖向遮挡片。

在本申请的一种示例性实施例中，所述竖向遮挡片位于所述框架主体内。

在本申请的一种示例性实施例中，所述收缩片设置有多个，多个所述收缩片包括第一收缩片和第二收缩片，所述第一收缩片的一端部安装于所述掩膜板的安装槽，另一端部连接所述框架主体；所述第二收缩片的一端部安装于相邻所述掩膜板中一者的安装槽，另一端部安装于相邻所述掩膜板中另一者的安装槽。

在本申请的一种示例性实施例中，所述收缩片设置在所述第一面背离所述第二面的一侧；

所述竖向遮挡片安装在所述框架主体背离所述掩膜板的一侧，所述竖向遮挡片上设置有装配开口，在所述厚度方向上得到的投影中，所述装配开口的投影与所述收缩片的投影重合。

本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：

本申请所提供的掩膜装置，通过收缩片将掩膜板与框架结构和/或通过收缩片将相邻掩膜板连接，在收缩片的收缩过程中可拉紧掩膜板，从而可减轻掩膜板的褶皱和下垂量，以提高蒸镀良率。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本申请一实施例所述的掩膜装置在掩膜板的第二面的视角下的结构示意图；

图2示出了本申请实施例所述的框架结构的结构示意图；

图3示出了本申请一实施例所述的掩膜板在其第二面的视角下的结构示意图；

图4示出了本申请一实施例所述的掩膜板中部分区域的剖视结构示意图；

图5示出了本申请另一实施例所述的掩膜板中部分区域的结构示意图；

图6示出了本申请一实施例所述的掩膜板与收缩片装配后的结构示意图；

图7示出了本申请另一实施例所述的掩膜装置在掩膜板的第二面的视角下的结构示意图；

图8示出了图7中Q部的放大结构示意图；

图9示出了本申请实施例所述的框架结构与竖向遮挡片装配后的结构示意图；

图10至图12示出了不同类型的竖向遮挡片的截面示意图；

图13示出了本申请又一实施例所述的掩膜装置中掩膜板与框架结构在掩膜板的第一面的视角下的装配结构示意图；

图14示出了图13中G部的放大结构示意图；

图15示出了本申请又一实施例所述的掩膜装置在掩膜板的第一面的视角下的结构示意图；

图16示出了图15中P部的放大结构示意图；

图17示出了本申请一实施例所述的竖向遮挡片的结构示意图；

图18示出了本申请另一实施例所述的掩膜板的结构示意图；

图19示出了本申请一实施例所述的掩膜装置中掩膜板在收缩片处于未收缩状态下的示意图；

图20示出了本申请一实施例所述的掩膜装置中掩膜板在收缩片处于收缩状态下的示意图。

附图标记：

10、框架主体；100、横向边框；101、竖向边框；11、横向遮挡片；12、竖向遮挡片；120、装配开口；2、掩膜板；20、第一面；21、第二面；210、安装槽；22、蒸镀孔；23、通孔；3a、第一收缩片；3b、第二收缩片；30、取向层；31、粘接层。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本申请将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“一个”、“一”、“该”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。

目前，为了抵御掩膜板因蒸镀受热而发生下垂的情况，通常采用张网装置将掩模板张紧，然后固定到框架结构上；在张网过程中，使掩模板内部产生拉应力以用于抵御掩膜板蒸镀受热所产生的热应力，从而避免金属掩模板下垂。

但在张网过程中，由于掩膜板需要通过夹抓加持进行拉伸，这样加持部位与未加持部位受力情况不一致，容易产生褶皱，在中大尺寸掩膜板张网过程中，由于需要多个夹爪进行夹持，且中间位置的夹爪与边缘夹爪的形状不一致，因此，更容易产生褶皱。具体地，在利用多个夹爪对掩膜板进行张网时，夹爪夹持的区域由于受到的拉伸作用较强，因此，在此区域内产生的应力为负值，此区域内的材料沿着夹爪的排布方向(此方向与张网方向和掩膜板的厚度方向垂直)受压，而没有夹爪夹持的区域内产生应力为正值，此区域内的材料沿着排布方向受拉，这样焊接区在此排布方向上应力分布不均匀，当张网拉力加大至某一临界值后，掩膜板会发生屈曲失稳，从而造成褶皱。此外，由于中大尺寸掩膜板的尺寸较大，因此，在其重力作用下，下垂量也较大。在褶皱和下垂量作用的叠加状况下，会严重影响掩膜装置的蒸镀良率。

为了解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种掩膜装置，可应用于蒸镀设备，但不限于此。如图1、图7及图15所示，该掩膜装置可包括框架结构、至少一个掩膜板2及至少一个收缩片。其中，

框架结构可采用金属材料制作而成，即：该框架结构可为金属框架，但不限于此。其中，该框架结构可包括框架主体10、竖向遮挡片12和横向遮挡片11，该竖向遮挡片12在第一方向X上延伸且其相对两端分别与框架主体10连接，横向遮挡片11在第二方向Y上延伸且其相对两端分别与框架主体10连接。该竖向遮挡片12和横向遮挡片11不仅能够用于遮挡被蒸镀屏体上不需要蒸镀材料的地方，而且还可提高框架结构的强度，以更好地支撑掩膜板2。需要说明的是，该第一方向X、第二方向Y及掩膜板2的厚度方向Z之间两两相互垂直。

举例而言，如图2和图9所示，此框架主体10可呈矩形，该框架主体10可具有两在第一方向X上相对设置的横向边框100和两个在第二方向Y上相对设置的竖向边框101，各竖向边框101的相对两端分别与两横向边框100的端部连接，以形成矩形框架；且在框架主体10为矩形框架时，竖向遮挡片12的相对两端分别与两横向边框100连接；横向遮挡片11的相对两端分别与两竖向边框101连接。

应当理解的是，该框架主体10不限于矩形，也可为其他形状。

掩膜板2可为金属掩膜板(Common Metal Mask，简称：CMM)及精密金属掩膜板(Fine Metal Mask，简称：FMM)，其中，通用金属掩膜板主要用于蒸镀共通层，精密金属掩膜板主要用于蒸镀发光层。

掩膜板2可与框架结构连接。举例而言，如图1、图7、图13及图15所示，掩膜板2可设置有多个，各掩膜板2可在第二方向Y上间隔排布，且各掩膜板2可与框架主体10连接，其中，在掩膜板2的厚度方向Z上得到的投影中，相邻掩膜板2之间的间隙投影位于竖向遮挡片12的投影内，即：相邻掩膜板2之间的间隙可通过一竖向遮挡片12进行遮挡，以保证蒸镀良率。应当理解的是，在掩膜板2与框架主体10之间具有间隙时，该掩膜板2与框架主体10之间的间隙也可通过一竖向遮挡片12进行遮挡。

详细说明，如图4至图6所示，掩膜板2具有在厚度方向Z上相对设置的第一面20和第二面21，此第一面20可为蒸镀面，此蒸镀面为掩膜板2靠近蒸镀源的一面，第二面21可为玻璃接触面，此玻璃接触面为掩膜板2朝向被蒸镀屏体的一面。可选地，第一面20可与框架主体10连接，这样可使掩膜板2相比于框架结构更靠近被蒸镀屏体，可防止蒸镀时产生阴影现象。

此掩膜板2可包括固定区和工作区，此固定区为图3和图18中虚线B和虚线C所限定的区域，工作区为图3和图18中两虚线C所限定的区域，如图3和图18所示，此工作区与固定区之间的位置关系可为：工作区在第一方向X上的相对两侧分别设置有固定区。其中，掩膜板2中第一面20与固定区相对的部位可与框架主体10连接。而工作区可包括蒸镀区，此蒸镀区可包括图3中虚线D和虚线E所限定的区域和图3中虚线D和虚线F所限定的区域，即：图3中两虚线D所限定的区域中除了虚线E和虚线F所限定的区域之外的区域可为蒸镀区。如图4和图5所示，该蒸镀区中设置有多个贯穿第一面20和第二面21的蒸镀孔22，有机材料可通过蒸镀区中的蒸镀孔22沉积在被蒸镀屏体上的位置，从而形成有机图案。其中，该蒸镀区可与横向遮挡片11和竖向遮挡片12之间所限定的区域相对应，还可与横向遮挡片11和框架主体10之间所限定的区域或竖向遮挡片12和框架主体10之间所限定的区域相对应。

应当理解的是，在框架主体10为前述提到的矩形框架时，该掩膜板2上与固定区相对的部位可分别与两横向边框100连接，该连接方式可为焊接，但不限于此。由于掩膜板2在与框架结构连接之前，需要通过张网装置进行张紧，因此，该掩膜板2还可包括拉伸夹持区，此拉伸夹持区为图3和图18中虚线A和虚线B所限定的区域，此拉伸夹持区位于固定区背离工作区的一侧，也就是说，拉伸夹持区、固定区及工作区在第一方向X上排布，此第一方向X为掩膜板2的张网方向。

如图1、图7及图15所示，收缩片可连接掩膜板2与框架结构，和/或收缩片可连接相邻掩膜板2，其中，收缩片能够在收缩过程中向掩膜板2施加拉力，以实现掩膜板2的拉紧，从而可减轻掩膜板2的褶皱和下垂量，以提高蒸镀良率。

举例而言，如图6所示，此收缩片可包括取向层30和粘接层31，该取向层30通过粘接层31与掩膜板2或框架结构连接。其中，该取向层30可采用高分子材料制作而成，此高分子材料在拉伸过程中，其分子链会沿着其拉伸方向取向，即：分子链的晶区与非晶区都沿着拉伸方向取向，若是在拉伸过程中的温度小于玻璃化转变温度，该高分子材料大部分取向都会保留下来，但当高分子材料受热时，随着温度增高，晶体间的非晶区由于熵力增大，解取向发生，宏观上表现为逆拉伸进行收缩。通过利用此性质，将具有该取向层30的收缩片与掩膜板2和框架结构连接或与相邻掩膜板2连接，当掩膜装置受热后，取向层30收缩，即：从图19的状态变化为图20的状态，从而使得相邻掩膜板2之间互相产生拉力或使得掩膜板2与框架结构之间互相产生拉力，即：取向层30能够在预设温度下进行收缩以向掩膜板2施加拉力，从而可减轻掩膜板2的褶皱和下垂量。此预设温度可为蒸镀腔室的温度，大约为40℃至80℃。

应当理解的是，为了保证收缩片与掩膜板2或框架结构的连接稳定性，取向层30在收缩过程中向掩膜板2施加的拉力需小于粘接层31与取向层30之间的粘接力以及小于粘接层31与掩膜板2或框架结构之间的粘接力。

此外，本实施例中可以控制收缩片的拉伸比来控制收缩片所产生的拉力，从而保证掩膜板2中蒸镀区的位置精度。进一步，可以在设计掩模板时，设置合适的补偿量来抵消收缩片拉伸导致掩模板中蒸镀区位置偏移的情况，从而可提高蒸镀良率。

由于前述提到在掩膜板2进行张网过程时，掩膜板2在夹爪的排布方向(该排布方向可为前述提到的第二方向Y)上容易出现应力分布不均匀的情况，因此，为了更好地减轻掩膜板2的褶皱，该收缩片的收缩方向可与第二方向Y平行。

需要说明的是，为了提高收缩片的收缩效果，可将收缩片在第二方向Y上划分为三段结构，三段结构中位于两边的结构为连接段，此连接段与掩膜板2或框架结构连接，如图19和图20所示，而三段结构中位于中间的结构不需要与掩膜板2或框架结构连接，这样可保证整个收缩片的中间部分的收缩程度，从而可增大收缩片在收缩过程中对掩膜板2的拉力，进一步减轻掩膜板2的褶皱和下垂量，以提高蒸镀良率。

下面结合附图对本申请的掩膜装置进行详细阐述。

实施例一：

如图1所示，收缩片可设置在掩膜板2中第二面21背离第一面20的一侧，也就是说，该收缩片可与掩膜板2的第二面21连接。但由于前述提到第二面21可为玻璃接触面，因此，再将收缩片与掩膜板2的第二面21连接时，收缩片的厚度可能会导致掩膜板2与被蒸镀屏体之间的距离增大，从而可能会导致蒸镀时产生阴影的现象，为了解决这一问题，本实施例的掩膜板2的工作区不仅包括前述提到的蒸镀区，还可包括多个在第一方向X上间隔设置的开槽区，该开槽区包括图3中虚线C和虚线D所限定的区域及虚线E和虚线F所限定的区域，如图3所示，蒸镀区限定在相邻开槽区之间。其中，如图4至图6所示，掩膜板2中第二面21上与开槽区相对的部位开设有安装槽210，此安装槽210中安装有收缩片的端部，也就是说，通过将收缩片的端部安装在安装槽210中，可实现收缩片与掩膜板2的连接。

本实施例中，通过将收缩片的端部安装在第二面21的安装槽210中，这样可缓解收缩片的厚度对掩膜板2与被蒸镀屏体之间的距离的影响，从而可缓解蒸镀时产生阴影的现象。

进一步地，如图6所示，收缩片的厚度小于或等于安装槽210的深度，以避免收缩片的厚度对掩膜板2与被蒸镀屏体之间的距离的影响。

其中，如图3所示，安装槽210可在第二方向Y上贯穿第一面20的相对两侧，以起到平衡应力的作用。

可选地，如图5所示，开槽区中设有多个贯穿安装槽210的槽底和第一面20的通孔23，各通孔23与蒸镀孔22相同，以更好地平衡应力。其中，为了避免各通孔23影响蒸镀效果，在厚度方向Z上得到的投影中，安装槽210的投影可位于横向遮挡片11的投影内，即：横向遮挡片11可遮挡住各通孔23。

应当理解的是，该安装槽210也可类似于半蚀刻区，其槽底不开通孔23，如图4所示。

举例而言，收缩片可设置有多个，多个收缩片可包括第一收缩片3a和第二收缩片3b，此第一收缩片3a的一端部可安装于掩膜板2的安装槽210，另一端部可连接框架主体10；如图7和图8所示，第二收缩片3b的一端部可安装于掩膜板2的安装槽210，另一端部可连接竖向遮挡片12，该竖向遮挡片12在提供收缩片一端部的支撑作用的同时，还可实现对掩膜板2的支撑作用，以减少掩膜板2的下垂。本实施例中，每个掩膜板2的收缩片都各自独立，即：相邻掩膜板2不共用收缩片，这样可方便各掩膜板2的调整。

如图9所示，本实施例中的竖向遮挡片12可位于框架主体10内，使得竖向遮挡片12更靠近掩膜板2，以方便第二收缩片3b与竖向遮挡片12连接。可选地，该竖向遮挡片12可与框架主体10一体成型设置，但不限于此，也可通过焊接或其他连接手段连接在框架主体10上。

其中，此竖向遮挡片12在第二方向Y上的截面形状可类似为矩形(如图10所示)、三角形(如图11所示)或半圆形(如图12所示)，这样在保证竖向遮挡片12的刚性的同时，还可尽量减小蒸镀中阴影效应。

实施例二：

本实施例相比于实施例一，其主要区别点在于：如图1所示，第二收缩片3b的一端部安装于相邻掩膜板2中一者的安装槽210，另一端部安装于相邻掩膜板2中另一者的安装槽210。也就是说，相邻掩膜板2可共用同一收缩片。其他结构可与实施例一相同，在此不再重复赘述。

实施例三：

本实施例相比于实施例一和实施例二，其主要区别点在于：如图15所示，收缩片设置在第一面20背离第二面21的一侧；也就是说，该收缩片可与掩膜板2的第一面20连接。但由于在组装掩膜装置时，都是先将框架结构组装好后，再将掩膜板2的第一面20与框架结构连接的，如图13所示；因此，为了方便将收缩片与掩膜板2和框架主体10连接，如图17所示，本实施例中的竖向遮挡片12上可设置有装配开口120；如图13和图14所示，该装配开口120可暴露出框架主体10和掩膜板2上需要与收缩片连接的部位，这样可使收缩片通过此装配开口120与掩膜板2和框架主体10连接。需要说明的是，在厚度方向Z上得到的投影中，装配开口120的投影与收缩片的投影重合，如图15和图16所示。

可选地，收缩片设置有多个，多个收缩片可包括第一收缩片3a和第二收缩片3b，如图15所示，此第一收缩片3a的一端部可与掩膜板2连接，另一端部可连接框架主体10；而第二收缩片3b的相对两端部可分别连接相邻掩膜板2。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims (12)

1.一种掩膜装置，其特征在于，包括：

框架结构；

至少一个掩膜板，与所述框架结构连接；

至少一个收缩片，所述收缩片连接所述掩膜板与所述框架结构，和/或所述收缩片连接相邻所述掩膜板；

其中，所述收缩片能够在收缩过程中向所述掩膜板施加拉力。

2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，

所述收缩片包括取向层和粘接层，所述取向层通过所述粘接层与所述掩膜板或所述框架结构连接，所述取向层能够在预设温度下进行收缩以向所述掩膜板施加拉力。

3.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，

所述框架结构包括框架主体及竖向遮挡片，所述竖向遮挡片在第一方向上延伸且其相对两端分别与所述框架主体连接；

所述掩膜板设置有多个，并在第二方向上间隔排布，各所述掩膜板与所述框架主体连接，

其中，在所述掩膜板的厚度方向上得到的投影中，相邻所述掩膜板之间的间隙投影位于所述竖向遮挡片的投影内，所述第一方向、所述第二方向及所述厚度方向之间两两相互垂直。

4.根据权利要求3所述的掩膜装置，其特征在于，

所述掩膜板具有在所述厚度方向上相对设置的第一面和第二面，

所述掩膜板包括工作区和固定区，所述工作区在所述第一方向上的相对两侧分别设置有所述固定区；

其中，所述第一面上与所述固定区相对的部位与所述框架主体连接。

5.根据权利要求4所述的掩膜装置，其特征在于，

所述工作区包括多个在所述第一方向上间隔设置的开槽区及限定在相邻所述开槽区之间的蒸镀区；

其中，所述蒸镀区中设置有多个贯穿所述第一面和所述第二面的蒸镀孔，所述第二面上与所述开槽区相对的部位开设有安装槽，所述安装槽中安装有所述收缩片的端部。

6.根据权利要求5所述的掩膜装置，其特征在于，所述收缩片的厚度小于或等于所述安装槽的深度。

7.根据权利要求5所述的掩膜装置，其特征在于，所述安装槽在所述第二方向上贯穿所述第一面的相对两侧。

8.根据权利要求5所述的掩膜装置，其特征在于，

所述框架结构还包括横向遮挡片，所述横向遮挡片在所述第二方向上延伸且其相对两端分别与所述框架主体连接；

所述开槽区中设有多个贯穿所述安装槽的槽底和所述第一面的通孔，各所述通孔与所述蒸镀孔相同；

其中，在所述厚度方向上得到的投影中，所述安装槽的投影位于所述横向遮挡片的投影内。

9.根据权利要求5所述的掩膜装置，其特征在于，

所述收缩片设置有多个，多个所述收缩片包括第一收缩片和第二收缩片，所述第一收缩片的一端部安装于所述掩膜板的安装槽，另一端部连接所述框架主体；所述第二收缩片的一端部安装于所述掩膜板的安装槽，另一端部连接所述竖向遮挡片。

10.根据权利要求9所述的掩膜装置，其特征在于，所述竖向遮挡片位于所述框架主体内。

11.根据权利要求5所述的掩膜装置，其特征在于，

所述收缩片设置有多个，多个所述收缩片包括第一收缩片和第二收缩片，所述第一收缩片的一端部安装于所述掩膜板的安装槽，另一端部连接所述框架主体；所述第二收缩片的一端部安装于相邻所述掩膜板中一者的安装槽，另一端部安装于相邻所述掩膜板中另一者的安装槽。

12.根据权利要求4所述的掩膜装置，其特征在于，

所述收缩片设置在所述第一面背离所述第二面的一侧；

所述竖向遮挡片安装在所述框架主体背离所述掩膜板的一侧，所述竖向遮挡片上设置有装配开口，在所述厚度方向上得到的投影中，所述装配开口的投影与所述收缩片的投影重合。