CN111254388B - 掩膜外框和掩膜组件 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜外框和掩膜组件。掩膜外框，包括主框体和至少两个热膨胀部；主框体围合形成蒸镀区域；至少两个热膨胀部，设置于主框体上且将主框体至少划分为第一框体和第二框体，热膨胀部的热膨胀系数大于主框体的热膨胀系数，用于在受热膨胀时使第一框体相对于第二框体向远离第二框体的方向移动。本发明实施例的技术方案，减少了高温蒸镀过程中掩膜部的下垂量，降低了掩膜部的像素位置精度的偏差，提升OLED的蒸镀精度及显示效果。另外，本实施例的技术方案无需对掩膜部进行加工改进，掩膜外框能够适用于多种掩膜部，在改善掩膜部下垂现象的同时，降低了蒸镀工艺的制造成本，提升了掩膜组件使用的便利性。

Description

掩膜外框和掩膜组件

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜外框和掩膜组件。

背景技术

在有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode，OLED)制造技术中，用于真空蒸镀的掩膜板是至关重要的部件，掩膜板可以控制有机材料沉积在OLED基板上的位置。

在张网过程中，掩膜板受自身重力影响会发生下垂，在蒸镀过程中，掩膜板受热会发生热膨胀，掩膜板的下垂会进一步加剧，影响了掩膜板自身的像素位置精度(PixelPosition Accuracy，PPA)，从而导致蒸镀后OLED基板上的像素位置发生偏移，对OLED的蒸镀精度及显示效果造成不良影响。

发明内容

本发明提供一种掩膜外框和掩膜组件，以实现减少高温蒸镀过程中掩膜部的下垂量，降低掩膜部的像素位置精度的偏差，提升OLED的蒸镀精度及显示效果。

第一方面，本发明实施例提供了一种掩膜外框，包括：

主框体，围合形成蒸镀区域；

至少两个热膨胀部，设置于所述主框体上且将所述主框体至少划分为第一框体和第二框体，所述热膨胀部的热膨胀系数大于所述主框体的热膨胀系数，用于在受热膨胀时使所述第一框体相对于所述第二框体向远离所述第二框体的方向移动。

进一步地，所述主框体具有间断区，所述热膨胀部置于所述间断区中；

或者，所述主框体的部分区域具有贯穿所述主框体的内侧与外侧的凹槽，所述热膨胀部置于所述凹槽中，且所述凹槽的底部设有缝隙，其中，所述主框体的内侧为所述主框体靠近所述蒸镀区域的一侧，所述主框体的外侧与所述主框体的内侧相对。

进一步地，所述热膨胀部由热膨胀材料构成；或者所述热膨胀部由所述主框体的部分区域掺杂热膨胀材料形成；

优选地，所述热膨胀材料包括铜、铁和铝中的至少一种。

进一步地，所述主框体包括依次连接的第一侧边框、第二侧边框、第三侧边框和第四侧边框，所述第一侧边框和所述第三侧边框相对设置；

所述热膨胀部设置于所述第一侧边框和所述第三侧边框上；

优选地，所述第一侧边框和/或所述第三侧边框上设置有至少两个相间隔的所述热膨胀部。

可选地，还包括：

至少一个热收缩部，设置于所述主框体的内侧，用于固定掩膜单元，所述热收缩部能够受热收缩，其中，所述主框体的内侧为所述主框体靠近所述蒸镀区域的一侧。

进一步地，所述热收缩部包括热缩材料；

优选地，所述热缩材料包括镍酸铋和镍酸铅中的至少一种。

进一步地，所述主框体包括与所述掩膜单元的固定位置对应的至少一个张网子区域，每个所述张网子区域设置有一个所述热收缩部；

优选地，在由所述主框体的外侧指向所述主框体的内侧的方向上，所述热收缩部的厚度从其中间向两端逐渐减小。

进一步地，所述主框体包括依次连接的第一侧边框、第二侧边框、第三侧边框和第四侧边框，所述第一侧边框和所述第三侧边框相对设置；

所述热收缩部设置于所述第一侧边框和所述第三侧边框的内侧；或者，所述热收缩部设置于所述第一侧边框、所述第二侧边框、所述第三侧边框和所述第四侧边框的内侧。

第二方面，本发明实施例还提供了一种掩膜组件，所述掩膜组件包括掩膜部和如第一方面所述的掩膜外框，所述掩膜部上设置有掩模图案且位于所述掩模外框的蒸镀区域，所述掩膜部的第一端固定于所述掩模外框的第一框体上，所述掩膜部的与所述第一端相对的第二端固定于所述掩模外框的第二框体上。

进一步地，所述掩膜组件还包括固定部，用于固定所述掩膜外框的至少部分。

本发明实施例提供了一种掩膜外框和掩膜组件，掩膜外框包括主框体和至少两个热膨胀部；主框体围合形成蒸镀区域；至少两个热膨胀部设置于所述主框体上且将所述主框体至少划分为第一框体和第二框体，所述热膨胀部的热膨胀系数大于所述主框体的热膨胀系数，用于在受热膨胀时使所述第一框体相对于所述第二框体向远离所述第二框体的方向移动。热膨胀部受到高温加热会发生膨胀，热膨胀部的沿膨胀方向的长度形变量会增加，使热膨胀部微动并推动第一框体向远离第二框体的方向移动，这样能够使掩膜外框上的掩膜部张紧并从下垂状态逐渐恢复正常状态，有助于改善掩膜部受自身重力及温度影响发生下垂而导致的自身像素位置精度的偏差，以及影响OLED的蒸镀精度和显示效果的技术问题，减少了高温蒸镀过程中掩膜部的下垂量，降低了掩膜部的像素位置精度的偏差，提升OLED的蒸镀精度及显示效果。另外，本实施例的技术方案无需对掩膜部进行加工改进，掩膜外框能够适用于多种掩膜部，在改善掩膜部下垂现象的同时，降低了蒸镀工艺的制造成本，提升了掩膜组件使用的便利性。

附图说明

图1为现有技术中的一种掩膜版的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种掩膜外框的俯视结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种掩膜组件的俯视结构示意图；

图4为图3所示掩膜组件的正视结构示意图；

图5为图2所示掩膜外框的正视结构示意图；

图6为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图；

图7为本发明实施例提供的另一种掩膜外框的俯视结构示意图；

图8为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图；

图9为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图；

图10为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图；

图11为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图；

图12为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。贯穿本说明书中，相同或相似的附图标号代表相同或相似的结构、元件或流程。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

正如前述背景技术所述：在有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode，OLED)制造技术中，用于真空蒸镀的掩膜板是至关重要的部件，掩膜板可以控制有机材料沉积在OLED基板上的位置。在张网过程中，掩膜板受自身重力影响会发生下垂，在蒸镀过程中，掩膜板受热会发生热膨胀，掩膜板的下垂会进一步加剧，影响了掩膜板自身的像素位置精度(Pixel Position Accuracy，PPA)，从而导致蒸镀后OLED基板上的像素位置发生偏移，对OLED的蒸镀精度及显示效果造成不良影响。

图1为现有技术中的一种掩膜版的结构示意图。如图1所示，现有技术在掩模版10之间增加应力缓冲区，应力缓冲区包括至少一个凸部11和至少一个凹部12，并且凸部11和凹部12一一对应地设置于掩模版10的相对的两个表面。在对该掩模版10进行张网的过程中，在应力缓冲区形成的凸部11和凹部12有助于减小该区域的应力，并且使掩模版10上的应力分布更均匀，可以提高掩模版10的抵抗变形能力，在相同张网拉力下掩模版10的下垂量有所减小。然而，若该掩模版10作废之后，还需要对新的掩模版进行如此加工，增加了蒸镀工艺的制造成本。

本发明实施例提供了一种掩膜外框和掩膜组件，掩膜外框包括主框体和至少两个热膨胀部，热膨胀部受到高温加热会发生膨胀，热膨胀部的沿膨胀方向的长度形变量会增加，使热膨胀部微动并推动第一框体向远离第二框体的方向移动，这样能够使掩膜外框上的掩膜部张紧并从下垂状态逐渐恢复正常状态，有助于改善掩膜部受自身重力及温度影响发生下垂而导致的自身像素位置精度的偏差，以及影响OLED的蒸镀精度和显示效果的技术问题，减少了高温蒸镀过程中掩膜部的下垂量，降低了掩膜部的像素位置精度的偏差，提升OLED的蒸镀精度及显示效果。另外，本实施例的技术方案无需对掩膜部进行加工改进，掩膜外框能够适用于多种掩膜部，在改善掩膜部下垂现象的同时，降低了蒸镀工艺的制造成本，提升了掩膜组件使用的便利性。

以上是本发明的核心思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图2为本发明实施例提供的一种掩膜外框的俯视结构示意图；图3为本发明实施例提供的一种掩膜组件的俯视结构示意图；图4为图3所示掩膜组件的正视结构示意图。参考图2-图4，掩膜外框包括主框体100和至少两个热膨胀部300。主框体100围合形成蒸镀区域200；至少两个热膨胀部300设置于主框体100上且将主框体100至少划分为第一框体101和第二框体102，热膨胀部300的热膨胀系数大于主框体100的热膨胀系数，用于在受热膨胀时使第一框体101相对于第二框体102向远离第二框体102的ab方向移动。

具体地，参考图2-图4，该掩膜外框可以在OLED真空蒸镀中通过主框体100支撑掩膜部50并固定掩膜部50的第一端501和第二端502，使掩膜部50控制蒸镀区域200中的有机材料沉积在OLED基板上的位置。热膨胀系数表示物体受单位温度影响导致的长度量变化值，主框体100受到高温加热时，在ab方向上热膨胀部300产生的长度形变量相对主框体100其他区域的长度形变量较大。高温真空蒸镀过程中，掩膜部50由于受自身重力及温度影响会发生下垂，如图4中掩膜部50b所示，掩膜部50b下垂会导致掩模图案510发生形变，使掩膜部50自身的像素位置精度出现偏差，从而影响OLED蒸镀的精确度。本实施例中的热膨胀部300受到高温加热会发生膨胀，热膨胀部300沿膨胀方向ab的长度形变量增加，向方向ab微动并推动第一框体101向远离第二框体102的ab方向移动，这样能够使掩膜部50张紧并逐渐恢复至图4中掩膜部50a所示的正常状态，有助于减少掩膜部50的下垂量，改善掩膜部50下垂导致的自身像素位置精度的偏差，提升OLED的蒸镀精度及显示效果。另外，本实施例的技术方案无需对掩膜部50进行加工改进，掩膜外框能够适用于多种掩膜部50，在改善掩膜部50下垂现象的同时，降低了蒸镀工艺的制造成本，提升了掩膜组件使用的便利性。

需要说明的是，图2-图3仅示意性地示出了掩膜外框包括热膨胀部301和热膨胀部302，以及对应的第一框体101和第二框体102的划分情况，实际应用中，热膨胀部300在掩膜外框中的数量和位置，以及第一框体101和第二框体102的划分情况可以结合具体应用情况进行确定，本实施例对此不进行限制。

结合图3和图4，可选地，主框体100具有间断区A，热膨胀部300置于间断区A中。图3示出了主框体100具有两个间断区A的情况，间断区A1和间断区A2能够将主框体100划分为第一框体101和第二框体102，可以通过间断区A中的热膨胀部300连接第一框体101和第二框体102，间断区A的设置，有助于热膨胀部300受热膨胀时发生微动并推动第一框体101沿ab方向运动，从而减少掩膜部50的下垂量，改善掩膜部50的像素位置精度偏差，并且间断区A的加工工艺简单，有利于降低工艺制造成本。间断区A在主框体100中的数量和位置还可以结合实际应用情况进行确定，本实施例对此不进行限制。

图5为图2所示掩膜外框的正视结构示意图。结合图2和图5，可选地，主框体100的部分区域具有贯穿主框体100的内侧与外侧的凹槽B，热膨胀部300置于凹槽B中，且凹槽B的底部设有缝隙C，其中，主框体100的内侧为主框体100靠近蒸镀区域200的一侧，主框体100的外侧与主框体100的内侧相对。示例性地，凹槽B和缝隙C能够将主框体100划分为第一框体101和第二框体102，可以通过凹槽B中的热膨胀部300连接第一框体101和第二框体102，在高温蒸镀过程中，凹槽B中的热膨胀部300受热膨胀时发生微动，能够使第一框体101向方向ab运动，并使第二框体102向方向cd运动，缝隙C的间隙扩大，有利于第一框体101和第二框体102相背离运动将主框体100拉伸，从而张紧掩膜部，减少掩膜部的下垂量，主框体100不受热时，第一框体101和第二框体102仅通过较小的缝隙C间隔，有助于维持主框体100的稳定性。

参考图2-图5，可选地，热膨胀部300由热膨胀材料构成。示例性地，可以将热膨胀材料镶嵌入间断区A或凹槽B中，使热膨胀材料连接第一框体101和第二框体102，热膨胀材料的镶嵌，在保证主框体100的稳定性的同时，又使主框体100具有一定的形变裕量。可选地，热膨胀部300由主框体100的部分区域掺杂热膨胀材料形成。示例性地，在主框体100的制作加工过程中，可以通过材料改性的方式在主框体100的间断区A或凹槽B所在区域的原有主框体100基材中掺杂热膨胀材料来形成热膨胀部300，例如，可以通过渗碳的方式将碳原子渗入到主框体100的部分区域以使该区域形成热膨胀材料，或者通过淬火加高温回火的双重热处理方法将主框体100的部分区域调质处理形成热膨胀材料，使渗碳或调质后的区域形成的热膨胀材料的热膨胀系数大于主框体100基材的热膨胀系数，从而主框体100在蒸镀受热过程中发生膨胀而张紧掩膜部50，减少掩膜部50的下垂量，这样既能够保证主框体100结构的完整性，又能保证蒸镀精度。优选地，热膨胀材料包括铜、铁和铝中的至少一种。铜、铁和铝的热膨胀系数大于主框体100基材的热膨胀系数，保证了主框体100受热时能够发生形变而张紧掩膜部50。

图6为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图。如图6所示，可选地，主框体100包括依次连接的第一侧边框110、第二侧边框120、第三侧边框130和第四侧边框140，第一侧边框110和第三侧边框130相对设置，热膨胀部300设置于第一侧边框110和第三侧边框130上。具体地，可以将热膨胀部300设置于相对的第一侧边框110和第三侧边框130上，并将第一侧边框110和第三侧边框130设置为可夹持固定的夹持侧，在蒸镀过程中，夹持第一侧边框110和第三侧边框130，能够便于固定有掩膜部50的主框体100与OLED基板的对位，膨胀部300受热膨胀发生形变过程中，第四侧边框140向ab方向运动，第二侧边框120向cd方向运动，主框体100张紧掩膜部50的同时，保持了主框体100与OLED基板的相对位置不会发生过大的变化，有利于提升蒸镀后OLED基板上的像素位置精度。

优选地，第一侧边框110和/或第三侧边框130上设置有至少两个相间隔的热膨胀部300。示例性地，参考图6，可以在第一侧边框110的两端对称设置相间隔的热膨胀部301和热膨胀部303，在第三侧边框130的两端对称设置相间隔的热膨胀部302和热膨胀部304，并使热膨胀部301与热膨胀部302对称，热膨胀部303和热膨胀部304对称，在蒸镀过程中，夹持第一侧边框110与第三侧边框130中的至少一侧，以提升主框体100与OLED基板的对位精度，热膨胀部301-热膨胀部304受热发生膨胀后，可以同时向掩膜部50的四角施加拉力，使掩膜部50均匀受力而张紧，以减少掩膜部50的下垂量，降低掩膜部50自身的像素位置精度偏差以及蒸镀后的OLED基板上的像素位置精度偏差。

图7为本发明实施例提供的另一种掩膜外框的俯视结构示意图；图8为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图。参考图7和图8，可选地，掩膜外框还包括至少一个热收缩部400；热收缩部400设置于主框体100的内侧，用于固定掩膜单元500，热收缩部400能够受热收缩，其中，主框体100的内侧为主框体100靠近蒸镀区域200的一侧。

参考图7和图8，具体地，在主框体100的内侧设置热收缩部400，并将掩膜单元500的网面连接在热收缩部400和主框体100上，固定有掩膜单元500的主框体100可与OLED基板进行对位。在蒸镀过程中，热收缩部400受热沿ab方向收缩而体积缩小，从而张紧掩膜单元500的网面，减少掩膜单元500的下垂量，在改善掩膜单元500自身像素位置精度偏差的同时，又能保证主框体100与OLED基板对位的精确度，从而提升蒸镀后OLED基板上的像素位置精度，并改善OLED的显示效果。图7和图8示意性地示出了热收缩部400紧靠第一框体101设置的情况，这种情况下，可以将第二框体102中与第一框体101相对的一侧设置为可夹持固定的夹持侧，在蒸镀过程中，热膨胀部300受到高温加热仍然会发生膨胀，由于夹持侧不发生运动，热膨胀部300会推动第一框体101向远离第二框体102的ab方向移动，这样，热膨胀部300与热收缩部400共同作用，能够进一步张紧掩膜单元500的网面，减少掩膜单元500下垂量的效果更佳。参考图7和图8，可选地，热收缩部400包括热缩材料；优选地，热缩材料包括镍酸铋和镍酸铅中的至少一种。镍酸铋和镍酸铅均为遇热收缩的负膨胀热缩材料，选用热缩材料制作热收缩部400，能够保证高温蒸镀过程中热收缩部400具有收缩的形变量。

图9为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图。参考图8和图9，可选地，主框体100包括与掩膜单元500的固定位置对应的至少一个张网子区域，每个张网子区域设置有一个热收缩部400。具体地，图8示出了主框体100支撑的掩膜单元500为整张掩膜版，与整张掩膜单元500的固定位置对应的一个张网子区域设置有一个热收缩部400的情况，图9示出了主框体100支撑三个掩膜单元500，与掩膜单元501的固定位置对应的一个张网子区域设置有热收缩部401，与掩膜单元502的固定位置对应的一个张网子区域设置有热收缩部402，与掩膜单元503的固定位置对应的一个张网子区域设置有热收缩部403的情况，在蒸镀过程中，每个热收缩部400均能受热收缩而张紧对应的掩膜单元500，分别减少每个掩膜单元500的下垂量，改善掩膜单元500下垂导致的像素位置精度偏差。

图10为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图，图10示出了主框体100支撑的掩膜单元500为整张掩膜版时，热收缩部400厚度的设置情况。参考图10，优选地，在由主框体100的外侧指向主框体100的内侧的cd方向上，热收缩部400的厚度从其中间向两端逐渐减小。参考图4，当掩膜单元500受自身重力及温度影响而发生下垂时，掩膜单元500中心的下垂量大于四周的下垂量，设置热收缩部400沿cd方向的中间的厚度大于两端的厚度，这样热收缩部400在受热收缩后，中间的收缩形变量大于两端的收缩形变量，热收缩部400中间部分能够向掩膜单元500施加更大的拉力而使掩膜单元500下垂程度较大的部分张紧，有效减少了掩膜单元500的下垂量。

图11为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图。如图11所示，可选地，主框体100包括依次连接的第一侧边框110、第二侧边框120、第三侧边框130和第四侧边框140，第一侧边框110和第三侧边框130相对设置；热收缩部400设置于第一侧边框110和第三侧边框130的内侧。示例性地，在蒸镀过程中，设置于第一侧边框110的热收缩部410能够受热向ab方向收缩，设置于第三侧边框130的热收缩部430能够受热向cd方向收缩，热收缩部410与热收缩部430同时收缩，能够向两侧张紧掩膜单元500，同时有效减少掩膜单元500中间区域以及整体的下垂量。可选地，热膨胀部301可以设置在第一侧边框110，热膨胀部302可以设置在第三侧边框130，热膨胀部301和热膨胀部302受到高温加热发生膨胀，还可以推动第二侧边框120向ef方向微动，并推动第四侧边框140向gh方向运动，这样，热收缩部430受热后张紧掩膜单元500两侧的同时，两个热膨胀部300受热也能张紧掩膜单元500的另外两侧，紧掩膜单元500的四边均可以受力，从而进一步减少掩膜单元500的下垂量。

图12为本发明实施例提供的另一种掩膜组件的俯视结构示意图。如图12所示，可选地，热收缩部400设置于第一侧边框110、第二侧边框120、第三侧边框130和第四侧边框140的内侧。示例性地，在蒸镀过程中，设置于第一侧边框110的热收缩部410能够受热向ab方向收缩，设置于第二侧边框120的热收缩部420能够受热向ef方向收缩，设置于第三侧边框130的热收缩部430能够受热向cd方向收缩，设置于第四侧边框140的热收缩部440能够受热向gh方向收缩，四个热收缩部400同时收缩，能够分别从四个方向张紧掩膜单元500，同时有效减少掩膜单元500中间区域以及整体的下垂量，有助于改善掩膜单元500下垂导致的自身像素位置精度偏差。另外，热膨胀部301和热膨胀部302受到高温加热发生膨胀，还可以推动第二侧边框120向ef方向微动，并推动第四侧边框140向gh方向运动，这样能够进一步张紧掩膜单元500，缓解掩膜单元500下垂量的效果更佳。

本发明实施例还提供了一种掩膜组件，参考图3，掩膜组件包括掩膜部50和本发明实施例提供的掩膜外框，掩膜部50上设置有掩模图案510且位于掩模外框的蒸镀区域200，掩膜部50的第一端501固定于掩模外框的第一框体101上，掩膜部50的与第一端501相对的第二端502固定于掩模外框的第二框体102上。具体地，掩膜外框可用于支撑并固定掩膜部50，将掩膜组件与OLED基板对位完成后进行真空蒸镀，使有机材料通过掩膜部50上镂空的掩模图案510沉积在蒸镀区域200中形成OLED像素。蒸镀过程中，热膨胀部301和热膨胀部302受热发生膨胀使掩膜部50张紧，从而减少掩膜部50的下垂量。本发明实施例提供的掩膜组件包括本发明上述实施例所述的掩膜外框，因而具备上述有益效果，在此不再赘述。

可选地，掩膜组件还包括固定部，用于固定掩膜外框的至少部分。示例性地，参考图3，固定部可以仅设置在掩膜外框靠近掩膜部50的第一端502一侧的框体附近，以固定该侧的框体，蒸镀过程中主框体100由于热膨胀部300受热膨胀而向ab方向拉伸，但主框体100本身的位置并不发生变化，在张紧掩膜部50的同时又保证了掩膜组件与OLED基板对位的准确性。参考图6，也可以将固定部设置在掩膜外框的第一侧边框110和第三侧边框130中的至少一个边框附近，通过固定第一侧边框110和/或第三侧边框130，保证热膨胀部300受热发生形变时掩膜组件与OLED基板对位的准确性，固定部的设置，能够有效提升OLED的蒸镀精度。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (13)

1.一种掩膜外框，其特征在于，包括：

主框体，围合形成蒸镀区域；

至少两个热膨胀部，设置于所述主框体上且将所述主框体至少划分为第一框体和第二框体，所述热膨胀部的热膨胀系数大于所述主框体的热膨胀系数，用于在受热膨胀时使所述第一框体相对于所述第二框体向远离所述第二框体的方向移动；

所述主框体具有间断区，所述热膨胀部置于所述间断区中；

或者，所述主框体的部分区域具有贯穿所述主框体的内侧与外侧的凹槽，所述热膨胀部置于所述凹槽中，且所述凹槽的底部设有缝隙，其中，所述主框体的内侧为所述主框体靠近所述蒸镀区域的一侧，所述主框体的外侧与所述主框体的内侧相对。

2.根据权利要求1所述的掩膜外框，其特征在于，所述热膨胀部由热膨胀材料构成；或者所述热膨胀部由所述主框体的部分区域掺杂热膨胀材料形成。

3.根据权利要求2所述的掩膜外框，其特征在于，所述热膨胀材料包括铜、铁和铝中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的掩膜外框，其特征在于，所述主框体包括依次连接的第一侧边框、第二侧边框、第三侧边框和第四侧边框，所述第一侧边框和所述第三侧边框相对设置；

所述热膨胀部设置于所述第一侧边框和所述第三侧边框上。

5.根据权利要求4所述的掩膜外框，其特征在于，所述第一侧边框和/或所述第三侧边框上设置有至少两个相间隔的所述热膨胀部。

6.根据权利要求1所述的掩膜外框，其特征在于，还包括：

至少一个热收缩部，设置于所述主框体的内侧，用于固定掩膜单元，所述热收缩部能够受热收缩，其中，所述主框体的内侧为所述主框体靠近所述蒸镀区域的一侧。

7.根据权利要求6所述的掩膜外框，其特征在于，所述热收缩部包括热缩材料。

8.根据权利要求7所述的掩膜外框，其特征在于，所述热缩材料包括镍酸铋和镍酸铅中的至少一种。

9.根据权利要求6所述的掩膜外框，其特征在于，所述主框体包括与所述掩膜单元的固定位置对应的至少一个张网子区域，每个所述张网子区域设置有一个所述热收缩部。

10.根据权利要求6所述的掩膜外框，其特征在于，在由所述主框体的外侧指向所述主框体的内侧的方向上，所述热收缩部的厚度从其中间向两端逐渐减小。

11.根据权利要求6所述的掩膜外框，其特征在于，所述主框体包括依次连接的第一侧边框、第二侧边框、第三侧边框和第四侧边框，所述第一侧边框和所述第三侧边框相对设置；

所述热收缩部设置于所述第一侧边框和所述第三侧边框的内侧；或者，所述热收缩部设置于所述第一侧边框、所述第二侧边框、所述第三侧边框和所述第四侧边框的内侧。

12.一种掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括掩膜部和如权利要求1-11任一项所述的掩膜外框，所述掩膜部上设置有掩膜图案且位于所述掩膜外框的蒸镀区域，所述掩膜部的第一端固定于所述掩膜外框的第一框体上，所述掩膜部的与所述第一端相对的第二端固定于所述掩膜外框的第二框体上。

13.根据权利要求12所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件还包括固定部，用于固定所述掩膜外框。

Images