KR101649471B1 - 디스플레이장치 제조용 가열장치 - Google Patents

디스플레이장치 제조용 가열장치 Download PDF

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    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

본 발명은 디스플레이장치의 제조에 이용되는 가열장치에 관한 것으로서, 특히, 가열부재가 열에 의해 변형되더라도 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있는, 디스플레이장치 제조용 가열장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 이를 위해, 본 발명에 따른 디스플레이 제조용 가열장치는, 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 증착할 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 가열부를 구성하는 가열부재; 상기 가열부재를 커버하고 있는 케이스; 상기 케이스를 지지하고 있는 받침대; 상기 가열부재의 끝단으로부터 연장되어 있으며, 상기 케이스의 하단 방향으로 노출되어 있는 연결부재; 및 상기 받침대에 장착되어 있으며, 상기 연결부재와 연결되어 상기 연결부재를 통해 상기 가열부재로 전원을 공급하는 전원공급단자를 포함하며, 상기 연결부재에는, 상기 연결부재가 절곡되는 것에 의해 형성된 탄성부가 형성되어 있다.

Description

디스플레이장치 제조용 가열장치{Heating Apparatus for Manufacturing Display Device}
본 발명은 디스플레이장치의 제조에 이용되는 가열장치에 관한 것이다.
OLED(Organic Light Emitting Diodes), LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치는 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정에는 기판에 박막을 증착하는 증착공정 및 박막을 소정 패턴에 따라 제거하는 식각공정 등이 포함된다. 예컨대, OLED는 무기 재료, 금속 재료 등을 증발(Evaporation)시켜서 기판에 박막을 증착하는 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 공정에 사용되는 장치는 대한민국 등록특허 제10-0670360호(2007. 01. 16)에 개시되어 있다.
도 1은 종래의 증착장치 및 이에 사용되는 가열장치를 개략적으로 나타낸 측면도이며, 도 2는 종래의 가열장치에 적용되는 연결부재가 전원공급단자에 체결되는 상태를 나타낸 예시도이다.
종래의 증착장치(10)는, 기판(20)에 박막을 형성하는 공정이 이루어지는 챔버(11) 및 박막을 형성하기 위한 재료를 증발시키기 위한 가열장치(12)를 포함한다.
상기 가열장치(12)는 재료가 수용된 용기(12a) 및 상기 용기(12a)에 수용된 재료를 가열하기 위한 가열부재(12b)를 포함한다. 상기 가열부재(12b)는 열을 발생시키는 필라멘트(Filament)의 기능을 수행한다.
상기 가열부재(12b)는 고온의 열을 방출하는 과정에서 중력에 의해 하측방향(A 화살표 방향)으로 변형됨에 따라 상기 하측방향(A 화살표 방향)으로 처짐이 발생한다. 종래의 가열장치(12)에서는, 상기 가열부재(12a)가 처짐에 따라, 상기 용기(12a)에 결합된 위치가 변동되며, 이에 따라, 상기 용기(12a)에 수용된 재료가 균일하게 가열될 수 없었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0142838호(이하, 간단히 '인용문헌'이라 함)에서는, 새로운 가열장치(이하, 간단히 가 제안되었다. 즉, 상기 인용문헌에 기재된 가열장치는, 열을 발생시키는 가열부재(필라멘트(Filament))가 처지는 현상을 방지하기 위해 제안되었다.
그러나, 상기 인용문헌에 기재된 가열장치에서도, 상기 가열부재가 열팽창에 의해 휘는 현상이 발생될 수 있다.
예를 들어, 상기 인용문헌에 기재되어 있지는 않지만, 상기 인용문헌에 게시되어 있는 종래의 가열장치에 적용되는 연결부재(30)는, 상기 가열장치에서 열을 발생시키는 가열부재(필라멘트(Filament))의 끝단으로서, 전원을 공급받아 상기 가열부재로 공급하는 기능을 수행한다. 상기 연결부재(30)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 전원공급단자(40)에 직선형태로 체결되어 있으며, 상기 전원공급단자(40)는 상기 가열장치를 구성하는 지지부(미도시)에 고정되어 있다.
상기 가열부재가 열팽창되는 경우, 상기 가열부재의 끝단인 상기 연결부재(30)가 팽창된다. 그러나, 상기 연결부재(30)의 끝단이 상기 전원공급단자(40)에 고정되어 있기 때문에, 상기 연결부재(30) 상단에 형성되어 있는 상기 가열부재가 열팽창에 의해 휘어진다.
즉, 인용문헌에 기재되어 있는 종래의 가열장치에서도, 가열부재가 열팽창에 의해 휘어지는 현상이 발생된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 가열부재가 열에 의해 변형되더라도 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있는, 디스플레이장치 제조용 가열장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스플레이 제조용 가열장치는, 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 증착할 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 가열부를 구성하는 가열부재; 상기 가열부재를 커버하고 있는 케이스; 상기 케이스를 지지하고 있는 받침대; 상기 가열부재의 끝단으로부터 연장되어 있으며, 상기 케이스의 하단 방향으로 노출되어 있는 연결부재; 및 상기 받침대에 장착되어 있으며, 상기 연결부재와 연결되어 상기 연결부재를 통해 상기 가열부재로 전원을 공급하는 전원공급단자를 포함하며, 상기 연결부재에는, 상기 연결부재가 절곡되는 것에 의해 형성된 탄성부가 형성되어 있다.
본 발명은 가열부재가 열에 의해 변형됨에 따라 신축되는 과정에서 휘어지는 것을 방지함으로써, 가열부재가 부분적으로 단선되거나 쇼트가 발생하는 등 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 이에 따라 가열부재에 대한 교체 주기가 연장될 수 있다.
본 발명은 가열부재가 열에 의해 변형됨에 따라 가열부재와 재료 간의 이격 거리가 변화하는 것을 방지함으로써, 재료를 균일하게 가열할 수 있고, 이에 따라 기판에 증착된 박막에 대한 균일성이 향상될 수 있다.
도 1은 종래의 증착장치 및 이에 사용되는 가열장치를 개략적으로 나타낸 측면도.
도 2는 종래의 가열장치에 적용되는 연결부재가 전원공급단자에 체결되는 상태를 나타낸 예시도.
도 3은 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치의 개략적인 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 가열부재의 일실시예 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치의 개략적인 분해 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치의 일부를 절개하여 나타낸 개략적인 사시도.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 연결부재와 전원공급단자의 체결상태를 나타낸 예시도.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 연결부재와 전원공급단자의 체결상태를 나타낸 예시도.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 연결부재와 전원공급단자의 체결상태를 나타낸 예시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치의 개략적인 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 가열부재의 일실시예 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치의 개략적인 분해 사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치의 일부를 절개하여 나타낸 개략적인 사시도이다.
본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 증착할 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 가열부(100)를 구성하는 가열부재(102), 상기 가열부재(102)를 커버하고 있는 케이스(200), 상기 케이스(200)의 하단에 장착되어 있는 적어도 세 개 이상의 지지대들, 상기 지지대들을 지지하고 있는 받침대(300), 상기 가열부재(102)의 끝단으로부터 연장되어 있으며, 상기 케이스(200)의 하단 방향으로 노출되어 있는 연결부재(110) 및 상기 받침대(300)에 장착되어 있으며, 상기 연결부재(110)와 연결되어 상기 연결부재(110)를 통해 상기 가열부재(102)로 전원을 공급하는 전원공급단자(400)를 포함하며, 상기 연결부재(110)에는, 상기 연결부재(110)가 절곡되는 것에 의해 형성된 탄성부(미도시)가 형성되어 있다.
특히, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에서, 상기 연결부재(110)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 가열부재(102)에 제1극성의 전원을 공급하기 위한 제1연결부재(111) 및 상기 가열부재(102)에 제2극성의 전원을 공급하기 위한 제2연결부재(112)를 포함하고, 상기 전원공급단자(400)는, 상기 제1연결부재와 체결되는 제1전원공급단자(410) 및 상기 제2연결부재(112)와 체결되는 제2전원공급단자(420)를 포함하며, 상기 탄성부(미도시)는, 상기 제1연결부재(111)와 상기 제2연결부재(112) 각각에 형성되어 있다. 본 발명에서는, 상기 탄성부(미도시)에 특징이 있는 것으로서, 상기 탄성부의 구체적인 형태 및 기능은, 도 7 내지 도 9를 참조하여 상세히 설명된다.
이하에서는, 우선, 도 3 내지 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치를 구성하는, 상기 가열부재(102)가 설명되며, 다음으로, 상기 케이스(200) 및 상기 받침대(300)가 설명된다.
우선, 상기 가열부재(102)를 포함하고 있는 상기 가열부(100)에 대하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는, OLED(Organic Light Emitting Diodes), LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치를 제조하기 위한 것이다. 도 2에 도시된 바와 같은, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는, 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판(20, 도 1에 도시됨)에 박막을 증착하기 위한 증착장치에 설치될 수 있다. 예를 들어, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 재료를 증발(Evaporation)시켜서 기판에 박막을 증착하는 장치에 설치되어 재료를 가열하는 기능을 담당할 수 있다.
가열에 의해 증발된 재료는 상기 기판(20, 도 1에 도시됨) 쪽으로 이동하여 상기 기판(20, 도 1에 도시됨)에 증착됨으로써 박막을 형성한다. 상기 재료는 유기 재료 또는 무기 재료가 될 수 있으며, 캐소드(Cathode)를 형성하기 위한 금속 재료가 될 수도 있다.
상기 재료는 용기(미도시)에 담겨진 상태로 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 의해 가열될 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 상기 가열부(100)는, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 재료를 가열하기 위한 열을 방출하는 가열부재(102), 상기 가열부재(102)를 지지하기 위한 제1설치기구(103) 및 상기 제1설치기구(103)로부터 이격되게 설치되는 제2설치기구(104)를 포함한다.
상기 가열부재(102)는 일측이 상기 제1설치기구(103)에 설치되고, 타측이 상기 제2설치기구(104)에 설치된다.
여기서, 상기 가열부재(102)는 열을 방출하는 과정에서 열에 의해 변형됨에 따라 신축(伸縮)된다. 이 경우, 상기 제1설치기구(103)와 상기 제2설치기구(104) 각각에 상기 가열부재(102)가 삽입되어 결합되면, 상기 가열부재(102)는 열에 의해 팽창되더라도 양단이 상기 제1설치기구(103)와 상기 제2설치기구(104)에 지지되므로, 휘어질 수 있다. 이에 따라, 상기 가열부재(102)가 부분적으로 단선되거나 쇼트가 발생하는 등 손상 내지 파손됨으로써, 재료를 가열하는 공정을 수행할 수 없게 되는 문제가 있다. 또한, 상기 가열부재(102)가 휘어짐에 따라 재료로부터 이격된 거리가 부분적으로 달라지게 됨으로써, 재료를 균일하게 가열할 수 없게 되는 문제가 있다.
이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제2설치기구(104)에 상기 가열부재(102)를 통과시키기 위한 통과공(141)이 형성된다. 상기 가열부재(102)는 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 과정에서 열에 의해 변형되면, 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)를 통과하여 신축될 수 있다. 즉, 상기 가열부재(102)는 열에 의해 팽창되면, 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)에 방해됨이 없이 팽창될 수 있다. 또한, 상기 가열부재(102)는 열에 의해 수축되면, 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)에 방해됨이 없이 수축될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 열에 의해 변형됨에 따라 신축되더라도 상기 가열부재(102)를 상기 통과공(141)을 통해 통과시킴으로써 상기 가열부재(102)가 휘어지는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 열을 방출하는 과정에서 부분적으로 단선되거나 쇼트가 발생하는 등 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 재료를 가열하는 공정에 대한 안정성을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 기판(20, 도 1에 도시됨)에 박막을 증착하는 공정에 대한 안정성을 향상시키는데 기여할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 열에 의해 변형됨에 따라 휘어지는 것을 방지함으로써, 상기 가열부재(102)에 대한 교체 주기를 연장시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)를 수리 내지 교체하는 과정에서 작업시간이 손실되는 정도를 줄임으로써, 디스플레이장치 제조 공정에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.
셋째, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 열에 의해 변형됨에 따라 휘어지는 것을 방지함으로써, 상기 가열부재(102)와 재료 간의 이격 거리가 변화하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 재료를 균일하게 가열함으로써, 기판(20, 도 1에 도시됨)에 증착된 박막에 대한 균일성을 향상시킬 수 있다.
상기 가열부재(102)가 휘어지는 현상을 방지하는 방법은, 상기한 바와 같은 구조에 의해서도 달성될 수 있으나, 상기 가열부재(102)의 끝단에 연결되어, 상기 전원공급단자(400)에 체결되는 상기 연결부재(110)의 탄성부에 의해서도 달성될 수 있다. 이에 대해서는, 도 7 내지 도 9를 참조하여 상세히 설명된다.
상기 가열부재(102)는 재료를 가열하기 위한 열을 방출한다. 상기 가열부재(102)는 상기 제1설치기구(103) 및 상기 제2설치기구(104)에 설치된다. 재료는 용기(미도시)에 담겨진 상태로 상기 가열부재(102) 내측에 위치된다. 상기 용기는 도가니일 수 있다. 상기 가열부재(102)는 상기 용기를 감싸는 형태로 형성된다. 예를 들어, 상기 가열부재(102)는 상기 용기를 감싸는 중공의 원통 형태로 형성될 수 있다.
상기 가열부재(102)는 전원공급단자(400)에 연결되는 연결부재(110)를 포함할 수있다. 상기 전원공급단자(400)로부터 상기 연결부재(110)를 통해 전원이 공급되면, 상기 가열부재(102)는 열을 방출함으로써 재료를 가열할 수 있다.
상기 연결부재(110)는, 2개의 연결부재들(111, 112)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1연결부재(111)는 전력원(미도시)이 갖는 양극(+)에 연결되고, 제2연결부재(112)는 전력원이 갖는 음극(-)에 연결될 수 있다. 상기 가열부재(102)가 상기 제1설치기구(103)와 상기 제2설치기구(104)에 설치되면, 상기 연결부재들(111, 112)은 상기 제2설치기구(104)로부터 돌출되어 상기 전력원과 연결되어 있는 상기 전원공급단자(410, 420)에 연결될 수 있다.
상기 가열부재(102)는 양극(+)에 연결된 제1연결부재(111)로부터 음극(-)에 연결된 연결부재(112)까지 일체로 연결되어 형성될 수 있다. 상기 가열부재(102)는 전원이 공급되면 발열할 수 있는 것으로, 예컨대 필라멘트일 수 있다. 상기 가열부재(102)는, 텅스텐(W), Sheath, 탄탈(Ta) 및 몰리브덴(MO) 등으로 제조될 수 있다.
상기 가열부재(102)는 일측이 상기 제1설치기구(103)에 지지되도록 상기 제1설치기구(103)에 설치된다. 상기 가열부재(102)는 타측이 상기 통과공(141)을 통과하도록 상기 제2설치기구(104)에 설치된다. 상기 가열부재(102)는 열에 의해 변형됨에 따라 상기 제1설치기구(103)에 지지된 부분을 기준으로 신축될 수 있다. 이 경우, 상기 가열부재(102)는 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)에 방해됨이 없이 팽창되거나 신축됨으로써, 휘어지는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 부분적으로 단선되거나 쇼트가 발생하는 등 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있고, 상기 가열부재(102)에 대한 교체 주기를 연장시킬 수 있다.
상기 가열부재(102)는 상기 제1설치기구(103)가 삽입되기 위한 삽입홈(121, 도 5의 부분 확대도에 도시됨)을 포함한다. 상기 삽입홈(121)은 상기 제2설치기구(104)에서 상기 제1설치기구(103)를 향하는 방향(이하 '제1방향'이라 함, B화살표 방향)으로 형성된다. 상기 삽입홈(121)은 상기 제1방향(B 화살표 방향)으로 상기 가열부재(102)에 홈을 가공함으로써 형성될 수 있다. 상기 가열부재(102)는 상기 삽입홈(121)에 삽입된 제1설치기구(103)에 지지됨으로써, 열에 의해 변형되면 상기 제1설치기구(103)에 지지된 부분을 기준으로 신축될 수 있다. 상기 삽입홈(121)은 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1설치기구(103)가 삽입될 수 있는 형태이면 타원형 등 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 가열부재(102)는 상기 삽입홈(121)을 복수개 포함할 수도 있다. 상기 삽입홈(121)들은 원통 형태를 이루는 가열부재(102)의 옆면을 따라 서로 이격되게 형성될 수 있다.
상기 가열부재(102)는 상기 제1설치기구(103)에서 상기 제2설치기구(104)를 향하는 방향(이하 '제2방향'이라 함, C 화살표 방향)으로 형성된 이격홈(122, 도 5의 부분 확대도에 도시됨)을 포함한다. 상기 이격홈(122)은 상기 제2방향(C 화살표 방향)으로 상기 가열부재(102)에 홈을 가공함으로써 형성될 수 있다. 상기 이격홈(122)은 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 타원형 등 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 이격홈(122)은 상기 삽입홈(121)과 동일한 형태 및 크기를 갖고, 서로 반대되는 방향을 향하도록 형성될 수 있다. 상기 가열부재(102)는 상기 이격홈(122)을 복수개 포함할 수도 있다. 상기 이격홈(122)들은 원통 형태를 이루는 가열부재(102)의 옆면을 따라 서로 이격되게 형성될 수 있다.
상기 가열부재(102)는 상기 이격홈(122)과 상기 삽입홈(121)이 교대로 배치되어 굴곡지게 형성될 수 있다. 상기 이격홈(122)과 상기 삽입홈(121)은 서로 동일한 거리로 이격되도록 상기 가열부재(102)의 옆면을 따라 복수개가 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 이격홈(122)들과 상기 삽입홈(121)들에 의해 나누어진 부분들은 서로 동일한 면적을 갖도록 형성됨으로써, 서로 동일한 전기저항을 갖도록 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 방출하는 온도의 균일성을 향상시킴으로써, 재료를 더 균일하게 가열할 수 있다. 또한, 상기 가열부재(102)는 상기 이격홈(122)들과 상기 삽입홈(121)들에 의해 원통 형태를 이루도록 용이하게 변형됨으로써, 상기 제1설치기구(103)와 상기 제2설치기구(104)에 용이하게 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)를 상기 제1설치기구(103)와 상기 제2설치기구(104)에 설치하는 작업에 대한 용이성을 향상시킬 수 있다. 상기 가열부재(102)는 양극(+)에 연결되는 제1연결부재(111)에서부터 상기 이격홈(122)과 상기 삽입홈(121)이 형성된 부분을 지나 음극(-)에 연결되는 제2연결부재(112)까지 연결되도록 일체로 형성될 수 있다.
상기 가열부재(102)는 제1돌출부재(123)를 포함할 수 있다. 상기 가열부재(102)는 상기 제1방향(B 화살표 방향)으로 상기 제1돌출부재(123)가 상기 제1설치기구(103)로부터 돌출되게 상기 제1설치기구(103)에 지지된다. 상기 가열부재(102)는 상기 제1돌출부재(123)가 상기 제1설치기구(103)에 지지됨으로써, 상기 제1설치기구(103)에 설치될 수 있다. 상기 제1돌출부재(123)는 상기 가열부재(102)에서 상기 삽입홈(121)이 형성됨에 따라 2개로 나누어진 부분들을 연결하도록 형성된다. 상기 가열부재(102)는 상기 제1돌출부재(123)를 복수개 포함할 수 있다.
상기 제1돌출부재(123)는 상기 제1설치기구(103)로부터 돌출되는 면이 곡면을 이루도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 가열부재(102)는 상기 이격홈(122)과 상기 삽입홈(121)에 의해 나누어진 부분들 각각 및 상기 제1돌출부재(123)가 서로 대략 일치하는 면적을 갖도록 형성됨으로써, 서로 대략 일치하는 전기저항을 갖도록 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 방출하는 온도의 균일성을 향상시킴으로써, 재료를 더 균일하게 가열할 수 있다.
상기 가열부재(102)는 제2돌출부재(124)를 포함할 수 있다. 상기 가열부재(102)는 상기 제2방향(C 화살표 방향)으로 상기 제2돌출부재(124)가 상기 제2설치기구(104)로부터 돌출되게 설치될 수 있다. 상기 제2돌출부재(124)는 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)로부터 돌출될 수 있다. 상기 제2돌출부재(124)는 상기 가열부재(102)에서 상기 이격홈(122)이 형성됨에 따라 2개로 나누어진 부분들을 연결하도록 형성된다. 상기 가열부재(102)는 상기 제2돌출부재(124)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제2돌출부재(124)는 사각형태로 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2돌출부재(124)는 상기 제2설치기구(104)로부터 돌출되는 면이 곡면을 이루도록 형성될 수도 있다. 도시되지 않았지만, 상기 이격홈(122)에서 상기 제2돌출부재(124)에 근접한 부분은, 상기 제2돌출부재(124)와 동일한 곡률로 곡면을 이루며 형성될 수도 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2돌출부재(124)는 상기 가열부재(102)가 수축됨에 따라 상기 제2돌출부재(124)로부터 돌출되지 않도록 상기 제2설치기구(104) 내부에 위치될 수도 있다.
상기 제1설치기구(103)는 상기 가열부재(102)를 지지한다. 상기 제1설치기구(103)는 상기 제1방향(B 화살표 방향)으로 상기 제2설치기구(104)로부터 이격되게 설치된다. 상기 제1설치기구(103)는 상기 케이스(200)에 결합될 수 있다. 상기 케이스(200)는 상기 제1설치기구(103)를 감싸도록 형성된다. 상기 케이스(200)는 내부에 상기 가열부재(102), 상기 제1설치기구(103) 및 상기 제2설치기구(104)를 수용할 수 있도록 중공의 원통 형태로 형성될 수 있다. 상기 제1설치기구(103)는 볼트 등과 같은 체결수단에 의해 상기 케이스(200)에 결합됨으로써, 상기 가열부재(102)를 지지할 수 있다. 상기 제1설치기구(103)는 절연 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1설치기구(103)는 세라믹(Ceramic)으로 형성될 수 있다.
상기 제1설치기구(103)는 상기 가열부재(102)를 지지하기 위한 지지부재(132)를 포함한다. 상기 지지부재(132)는 상기 삽입홈(121)에 삽입되어 상기 가열부재(102)를 지지할 수 있다. 상기 지지부재(132)는 상기 제1돌출부재(123)를 지지함으로써, 상기 가열부재(102)를 지지할 수 있다. 상기 제2돌출부재(124)가 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)에 지지되지 않도록 설치되므로, 상기 가열부재(102)는 열에 의해 변형됨에 따라 상기 지지부재(132)를 기준으로 신축될 수 있다.
상기 지지부재(132)는 상기 가열부재(102)에서 상기 삽입홈(121)에 의해 나누어진 부분들이 서로 접촉되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 지지부재(132)의 양측에 위치된 부분들이 상기 지지부재(132)에 의해 서로 이격된 상태로 유지되도록 함으로써, 상기 삽입홈(121)에 의해 나누어진 부분들이 서로 접촉됨에 따라 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기 제2설치기구(104)는 상기 제2방향(C 화살표 방향)으로 상기 제1설치기구(103)로부터 이격되게 설치된다. 상기 제2설치기구(104)는 볼트 등과 같은 체결수단에 의해 상기 케이스(200)에 결합될 수 있다. 상기 제2설치기구(104)는 절연 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2설치기구(104)는 세라믹으로 형성될 수 있다.
상기 제2설치기구(104)는 상기 가열부재(102)의 타측을 통과시키기 위한 통과공(141)을 포함한다. 상기 통과공(141)은 상기 제2설치기구(104)를 관통하여 형성된다. 이에 따라, 상기 가열부재(102)는 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 과정에서 열에 의해 변형되면, 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)를 통과하여 신축될 수 있다. 즉, 상기 가열부재(102)는 열에 의해 팽창되면, 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)에 방해됨이 없이 팽창될 수 있다. 또한, 상기 가열부재(102)는 열에 의해 수축되면, 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)에 방해됨이 수축될 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 열에 의해 변형됨에 따라 신축되더라도 상기 가열부재(102)를 상기 통과공(141)을 통해 통과시킴으로써 상기 가열부재(102)가 휘어지는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 열을 방출하는 과정에서 부분적으로 단선되거나 쇼트가 발생하는 등 손상 내지 파손되는 것을 방지함으로써, 재료를 가열하는 공정에 대한 안정성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 열에 의해 변형됨에 따라 휘어지는 것을 방지함으로써, 상기 가열부재(102)에 대한 교체 주기를 연장시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치(1)는 상기 가열부재(102)를 수리 내지 교체하는 과정에서 작업시간이 손실되는 정도를 줄임으로써, 디스플레이장치 제조 공정에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.
상기 제2설치기구(104)는 원형 고리 형태로 형성될 수 있다. 상기 통과공(141)은 상기 제2설치기구(104)의 원주를 따라 상기 제2설치기구(104)를 관통하여 형성된다. 상기 통과공(141)은 상기 가열부재(102)의 두께와 대략 일치하거나 상기 가열부재(102)의 두께에 비해 큰 크기를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 통과공(141)은 상기 제2돌출부재(124)와 대략 일치하거나 상기 제2돌출부재(124)에 비해 큰 크기를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제2설치기구(104)는 상기 통과공(141)을 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 통과공(141)들은 상기 제2설치기구(104)의 원주를 따라 서로 이격되게 형성될 수 있다. 상기 연결부재들(111, 112)은 상기 통과공(141)을 통해 상기 제2설치기구(104)를 통과하여 상기 제1전원공급단자(410) 및 상기 제2전원공급단자(42)에 연결될 수 있다.
상기 통과공(141)은 열에 의해 변형되어 중력이 작용하는 하측방향으로 팽창되는 가열부재(102)를 상기 하측방향으로 통과시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2설치기구(104)는 상기 하측방향으로 상기 제1설치기구(103)로부터 이격되게 설치될 수 있다. 즉, 상기 제2방향(C 화살표 방향)은 상기 가열부재(102)에 중력이 작용하는 방향과 동일한 방향일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 열에 의해 변형되어 팽창되는 경우, 중력을 이용하여 상기 가열부재(102)가 상기 제1설치기구(103)에 지지된 부분을 기준으로 상기 통과공(141)이 형성된 방향으로 팽창되도록 유도할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 휘어지는 것을 방지함으로써 상기 가열부재(102)가 부분적으로 단선되거나 쇼트가 발생하는 등 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있고, 상기 가열부재(102)에 대한 교체 주기를 연장시킬 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 가열부재(102)가 설치되는 제3설치기구(105)를 더 포함한다. 상기 제3설치기구(105)는 볼트 등과 같은 체결수단에 의해 상기 케이스(200)에 결합될 수 있다. 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 제3설치기구(105)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 제3설치기구들(105, 105')은 상기 제2방향(C 화살표 방향)으로 서로 이격되게 설치된다.
본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 제1설치기구(103)와 상기 제2설치기구(104) 사이에 위치되게 설치되는 스페이서(106)를 더 포함한다. 상기 스페이서(106)는 상기 가열부재(102)에서 상기 제1설치기구(103)와 상기 제2설치기구(104) 사이에 위치되는 부분을 감싸도록 설치된다. 이에 따라, 상기 스페이서(106)는 상기 가열부재(102)에서 상기 제1설치기구(103)와 상기 제2설치기구(104) 사이에 위치되는 부분이 진동, 흔들림 등에 의해 이동되는 것을 제한할 수 있다. 상기 스페이서(106)는 볼트 등과 같은 체결수단에 의해 상기 케이스(200)에 결합될 수 있다. 상기 스페이서(106)는 상기 제3설치기구(105)에 결합될 수도 있다. 상기 스페이서(106)는 원형 고리 형태로 형성될 수 있다. 상기 스페이서(106)는 상기 삽입홈(121)에 삽입되기 위한 삽입부재(161)를 포함할 수 있다. 상기 삽입부재(161)는 상기 가열부재(102)가 위치되는 내측 방향으로 돌출되게 형성된다. 이에 따라, 상기 삽입부재(161)는 상기 가열부재(102)에서 상기 삽입홈(121) 에 의해 나누어진 부분들을 서로 이격된 상태로 유지시킴으로써, 상기 삽입홈(121)에 의해 나누어진 부분들이 서로 접촉되는 것을 방지할 수 있다. 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는 상기 스페이서(106)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 스페이서들(106, 106')은 상기 제2방향(C 화살표 방향)으로 서로 이격되게 설치된다.
상기 가열부재(102)는, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 1단으로 형성될 수도 있으나, 2단 또는 3단 이상으로 형성될 수도 있다.
예를 들어, 상기 가열부재(102)는, 도 5의 C, B 방향으로, 2단 이상 분리될 수 있다. 여기서, 분리란, 서로 이격된 부분이 있는 것을 의미하는 것으로서, 이격되어 있는 두 개 이상의 부분들은 전기적으로 서로 연결되어 있다. 즉, 상기에서 설명된 바와 같이, 상기 제1연결부재(111)와 두 개 이상으로 이격된 부분들 및 상기 제2연결부재(112)는 하나의 라인으로 형성될 수 있다.
상기한 바와 같이, 상기 가열부재(102)가 2단 이상으로 분리되면, 열변형에 의한 변형량이 감소될 수 있다.
또한, 적어도 두 개 이상으로 이격된 부분들의 길이는 동일하게 형성될 수도 있으나, 서로 다르게 형성될 수도 있다. 1단과 2단의 길이를 달리 가져감으로써, 상기 전원공급단자(400)와 연결되는 부분의 길이는 최대 104mm 까지 단축될 수 있다.
1단과 2단의 길이를 달리 가져감으로써, 다양한 높이의 도가니(Crucible)가 수용될 수 있다. 또한, 1단과 2단의 길이를 변화시키면, 최대 온도 지점의 조절이 가능하다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 연결부재와 전원공급단자의 체결상태를 나타낸 예시도이다.
본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는, 상기에서 설명된 바와 같이, 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 증착할 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 가열부(100)를 구성하는 가열부재(102), 상기 가열부재(102)를 커버하고 있는 케이스(200), 상기 케이스(200)의 하단에 장착되어 있는 적어도 세 개 이상의 지지대들, 상기 지지대들을 지지하고 있는 받침대(300), 상기 가열부재(102)의 끝단으로부터 연장되어 있으며, 상기 케이스(200)의 하단 방향으로 노출되어 있는 연결부재(110) 및 상기 받침대(300)에 장착되어 있으며, 상기 연결부재(110)와 연결되어 상기 연결부재(110)를 통해 상기 가열부재(102)로 전원을 공급하는 전원공급단자(400)를 포함한다.
여기서, 상기 연결부재(110)에는, 상기 연결부재(110)가 절곡되는 것에 의해 형성된 탄성부가 형성되어 있다.
또한, 상기 연결부재(110)는, 상기 가열부재(102)에 제1극성의 전원을 공급하기 위한 제1연결부재(111) 및 상기 가열부재(102)에 제2극성의 전원을 공급하기 위한 제2연결부재(112)를 포함하고, 상기 전원공급단자(400)는, 상기 제1연결부재(111)와 체결되는 제1전원공급단자(410) 및 상기 제2연결부재(112)와 체결되는 제2전원공급단자(420)를 포함하며, 상기 탄성부는, 상기 제1연결부재(111)와 상기 제2연결부재(112) 각각에 형성되어 있다.
상기 연결부재(110)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 케이스(200)의 하단방향에서 상기 전원공급단자(400)의 상단방향으로 연장되어 있는 연결부(111a, 112a), 상기 연결부(111a, 112a)와 상기 가열부재(102)가 이루는 직선방향으로부터 돌출되어 있는 탄성부(111b, 112b) 및 상기 탄성부(111b, 112b)의 끝단을 형성하며 상기 전원공급단자에 체결되는 체결부(111c, 112c)를 포함한다.
즉, 상기 제1연결부재(111)는 제1연결부(111a), 제1탄성부(111b) 및 제1체결부(111c)를 포함하며, 상기 제2연결부재(112)는 제2연결부(112a), 제2탄성부(112b) 및 제2체결부(112c)를 포함한다.
상기 제1전원공급단자(410)는, 상기 받침대(300)에 장착되며 미도시된 전원공급장치와 연결되어 있는 제1단자지지부(411) 및 제1체결수단에 의해 상기 제1단자지지부(411)에 체결되면서 상기 제1체결부(111c)를 상기 제1단자지지부(411)에 체결시키기 위한 제1단자커버부(412)를 포함한다. 상기 전원공급단자(410, 420)는 구리(Cu)로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제2전원공급단자(420)는, 상기 받침대(300)에 장착되며 미도시된 전원공급장치와 연결되어 있는 제2단자지지부(421) 및 제2체결수단(423)에 의해 상기 제2단자지지부(421)에 체결되면서 상기 제2체결부(112c)를 상기 제2단자지지부(421)에 체결시키기 위한 제2단자커버부(422)를 포함한다.
특히, 본 발명의 제1실시예에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 상기 탄성부(111b, 112b)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 연결부재(110)가 절곡되는 것에 의해 형성된다. 또한, 상기 탄성부(111b, 112b)는, 상기 전원공급단자(400)의 상단에서 상기 전원공급단자(400)의 전면방향으로 돌출되어 있으며, 상기 체결부(111c, 112c)는 상기 전원공급단자(400)의 하단에서 상기 전원공급단자(400)에 체결된다.
상기한 바와 같은 본 발명의 제1실시예에 의하면, 상기 가열부재(102)가 열팽창되어 상기 연결부재(111, 112)가 상기 전원공급단자(400) 방향으로 밀리는 경우, 상기 탄성부(111b, 112b)가 곡선을 형성하며 팽창된다. 상기 탄성부(111b, 112b)가 곡선을 형성하며 팽창됨에 따라, 상기 가열부재(102)로는 열팽창에 의한 압력이 인가되지 않는다. 따라서, 상기 가열부재(102)가 상단 또는 좌우측 방향으로 휘어지지 않는다.
즉, 본 발명의 제1실시예에 의하면, 상기 가열부재(102)가 팽창될 때, 상기 탄성부(111b, 112b)의 외주길이가 증가되기 때문에, 상기 가열부재(102)가 휘는 현상이 발생되지 않는다.
특히, 상기 체결부(111c, 112c)가 상기 전원공급단자(400)의 하단 방향에서, 상기 단자지지부(411, 421) 및 상기 단자커버부(412, 422)에 체결되기 때문에, 상기 탄성부(111b, 112b)의 외주길이가 증가되더라도, 다른 구성들이 영향을 받지 않는다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 연결부재와 전원공급단자의 체결상태를 나타낸 예시도이다. 이하의 설명 중 상기에서 설명된 내용과 동일하거나 또는 유사한 내용은 생략되거나 또는 간단히 설명된다.
본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는, 상기에서 설명된 바와 같이, 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 증착할 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 가열부(100)를 구성하는 가열부재(102), 상기 가열부재(102)를 커버하고 있는 케이스(200), 상기 케이스(200)의 하단에 장착되어 있는 적어도 세 개 이상의 지지대들, 상기 지지대들을 지지하고 있는 받침대(300), 상기 가열부재(102)의 끝단으로부터 연장되어 있으며, 상기 케이스(200)의 하단 방향으로 노출되어 있는 연결부재(110) 및 상기 받침대(300)에 장착되어 있으며, 상기 연결부재(110)와 연결되어 상기 연결부재(110)를 통해 상기 가열부재(102)로 전원을 공급하는 전원공급단자(400)를 포함한다.
여기서, 상기 연결부재(110)에는, 상기 연결부재(110)와 상기 가열부재(102)가 이루는 직선방향으로부터 돌출되어 있는 탄성부가 형성되어 있다.
특히, 본 발명의 제2실시예에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 상기 탄성부(111b, 112b)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 전원공급단자(410, 420)의 상단에서 상기 전원공급단자(410, 420)의 전면방향으로 돌출되어 있으며, 상기 체결부(111c, 112c)는 상기 전원공급단자(410, 420)의 상단에서 상기 전원공급단자(410, 420)에 체결된다.
여기서, 상기 탄성부(111b, 112b)는 상기 연결부(111a, 112a)와 상기 체결부(111c, 112c)가 이격되도록 굴곡되어 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 제2실시예에 의하면, 상기 가열부재(102)가 열팽창되어 상기 연결부재(111, 112)가 상기 전원공급단자(400) 방향으로 밀리는 경우, 상기 탄성부(111b, 112b)에 의해 상기 체결부(111c, 112c)와 이격되어 있는 상기 연결부(111a, 112a)와 상기 체결부(111c, 112c) 방향으로 하강할 수 있다. 상기 연결부(111a, 112a)가 상기 탄성부(111b, 112b)에 의해 자연스럽게 하강함에 따라, 상기 가열부재(102)로는 열팽창에 의한 압력이 인가되지 않는다. 따라서, 상기 가열부재(102)가 상단 또는 좌우측 방향으로 휘어지지 않는다.
즉, 본 발명의 제2실시예에 의하면, 상기 가열부재(102)가 팽창될 때, 상기 탄성부(111b, 112b)에 의해 상기 연결부(111a, 112a)가 상기 전원공급단자(410, 420) 방향으로 하강할 수 있기 때문에, 상기 가열부재(102)가 휘는 현상이 발생되지 않는다.
특히, 상기 체결부(111c, 112c)가 상기 전원공급단자(400)의 상단 방향에서, 상기 체결수단(413, 423)에 의해 상기 단자지지부(411, 421) 및 상기 단자커버부(412, 422) 사이에 체결되기 때문에, 상기 연결부(111a, 112a)가 상기 전원공급단자(400) 방향으로 하강하더라도, 다른 구성들이 영향을 받지 않는다.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 연결부재와 전원공급단자의 체결상태를 나타낸 예시도이다. 이하의 설명 중 상기에서 설명된 내용과 동일하거나 또는 유사한 내용은 생략되거나 또는 간단히 설명된다.
본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치는, 상기에서 설명된 바와 같이, 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 증착할 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 가열부(100)를 구성하는 가열부재(102), 상기 가열부재(102)를 커버하고 있는 케이스(200), 상기 케이스(200)의 하단에 장착되어 있는 적어도 하나 이상의 지지대, 상기 지지대를 통해 상기 케이스를 지지하고 있는 받침대(300), 상기 가열부재(102)의 끝단으로부터 연장되어 있으며, 상기 케이스(200)의 하단 방향으로 노출되어 있는 연결부재(110) 및 상기 받침대(300)에 장착되어 있으며, 상기 연결부재(110)와 연결되어 상기 연결부재(110)를 통해 상기 가열부재(102)로 전원을 공급하는 전원공급단자(400)를 포함한다. 상기 지지대는, 상기 케이스의 하단에, 적어도 하나 이상 형성될 수 있으며, 안정적으로는 3개 이상의 지지대들이 상기 케이스의 하단에 형성될 수 있다.
여기서, 상기 연결부재(110)에는, 상기 연결부재(110)와 상기 가열부재(102)가 이루는 직선방향으로부터 돌출되어 있는 탄성부가 형성되어 있다.
특히, 본 발명의 제3실시예에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치에 적용되는 상기 탄성부(111b, 112b)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 두 개의 절곡부들을 가지고 있다.
또한, 상기 탄성부(111b, 112b)를 형성하는 금속물질과, 상기 연결부(111a, 112a)를 형성하는 금속물질은 서로 다른 물질이다. 즉, 상기 연결부(111a, 112a)와 상기 탄성부(111b, 112b)는 서로 다른 금속물질로 개별적으로 제조된 후, 용접등에 의해 하나로 연결되어 있다. 이 경우, 상기 연결부(111a, 112a)를 형성하는 금속물질은 텅스텐(W)일 될 수 있으며, 상기 탄성부(111b, 112b)를 형성하는 금속물질은, 탄탈(Ta) 또는 몰리브덴(MO)이 될 수 있다. 그러나, 상기 금속물질들은 다양하게 변경될 수 있다.
그러나, 본 발명에서 상기 탄성부와 상기 연결부가 반드시 서로 다른 금속물질로 형성될 필요는 없다. 예를 들어, 상기 연결부(111a, 112a), 상기 탄성부(111b, 112b) 및 상기 체결부(111c, 112c)가 하나의 금속물질로 일체로 형성될 수 있으며, 상기 탄성부(111b, 112b)에는 두 개의 절곡부가 형성될 수도 있다.
예를 들어, 상기 탄성부(111b, 112b)는 S자형태로 형성될 수 있다. 그러나, 상기 탄성부는, S자 형태 이외에도 다양한 형태로 형성될 수 있으며, 상기 탄성부에는 두 개 이상의 절곡부가 형성될 수도 있다.
본 발명의 제3실시예에서, 상기 탄성부(111b, 112b)의 일측은, 상기 연결부(111a, 112a)의 끝단에 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 탄성부의 타측은, 상기 전원공급단자(410, 420)의 상단에서 상기 전원공급단자(410, 420)에 체결되어 있다.
또한, 상기 탄성부(111b, 112b)는 상기 전원공급단자의 전면 또는 배면 방향에 배치되며, 상기 체결부(111c, 112c)는 상기 전원공급단자의 상단에서 상기 전원공급단자에 체결된다. 도 9에는, 상기 탄성부가 상기 전원공급단자의 배면 방향에 배치되어 있는 것으로 도시되어 있으며, 도 9에 도시된 확대도에는, 상기 탄성부(112)가 상기 전원공급단자의 전면 방향에 배치되어 있는 것으로 도시되어 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 제3실시예에 의하면, 상기 가열부재(102)가 열팽창되어 상기 연결부재(111, 112)가 상기 전원공급단자(400) 방향으로 밀리는 경우, 상기 탄성부(111b, 112b)의 상기 절곡부들이 곡선을 형성하며 팽창된다. 상기 절곡부들이 곡선을 형성하며 팽창됨에 따라, 상기 가열부재(102)로는 열팽창에 의한 압력이 인가되지 않는다. 따라서, 상기 가열부재(102)가 상단 또는 좌우측 방향으로 휘어지지 않는다.
즉, 본 발명의 제3실시예에 의하면, 상기 가열부재(102)가 팽창될 때, 상기 탄성부(111b, 112b)의 전체 길이가 증가되며, 증가된 길이만큼, 상기 절곡부들이 곡선을 이루며 팽창되기 때문에, 상기 가열부재(102)가 휘는 현상이 발생되지 않는다.
특히, 상기 체결부(111c, 112c)가 상기 전원공급단자(400)의 상단 방향에서, 상기 체결수단(413, 423)에 의해 상기 단자지지부(411, 421) 및 상기 단자커버부(412, 422) 사이에 체결되기 때문에, 상기 탄성부(111b, 111b)의 길이가 증가되어 상기 절곡부들이 심하게 절곡되더라도, 다른 구성들이 영향을 받지 않는다.
부연하여 설명하면, 본 발명의 제3실시예에서는, 상기 탄성부(111b, 112b)가 S자 또는 U자 형태로 구부려져 있기 때문에, 상기 가열부재(102)의 열팽창에 의한 휨정도가 완화될 수 있다.
이 경우, 하나의 금속물질로 일체로 형성되어 있는 상기 연결부재(111, 112) 자체의 구조가 상기에서 설명된 바와 같은 형태로 변경될 수도 있으며, 또는, 텅스텐으로 형성된 상기 연결부(111a, 112a)에 플렉서블한 금속물질 예를 들어, 탄탈(Ta) 또는 몰리브덴(MO)과 같은 금속물질이 용접될 수도 있다. 이 경우, 상기 플렉서블한 금속물질은 상기 탄성부(111b, 112b)이며, 상기 탄성부에는 적어도 두 개 이상의 절곡부가 형성될 수 있다.
상기 두 개의 절곡부의 구부린 정도(R 값)는 다양하게 설정될 수 있다. 예를 들어, 도 9의 확대된 원에서, 상기 연결부(112a)와 연결되어 있는 부분에 형성되어 있는 절곡부의 구부린정도가, 상기 체결부(112c)와 연결되어 있는 부분에 형성되어 있는 절곡부의 구부린정도보다 크게 형성될 수 있으며, 이 경우, 상기 연결부(112a)는 상기 전원공급단자(420)의 외곽, 즉, 상기 전원공급단자(420)의 전면 방향으로 팽창될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 가열장치의 특징을 정리하면 다음과 같다.
일반적으로, 디스플레이장치, 특히 유기발광표시장치 제조용 가열장치에 적용되는 상기 가열부재(Filament)로는 텅스텐(W), Sheath, 탄탈(Ta) 및 몰리브덴(MO) 등이 이용된다. 예를 들어, 유기발광다이오드를 형성하는 캐소드는 금속재료로 형성되는데, 특히, 알루미늄이 메인으로 사용된다. 알루미늄의 특성 상 고온 환경(약 1,000℃ 이상의 고진공 환경)에서 증착이 이루어져 한다. 이 수준의 열에너지를 내기 위한 가열부재의 재질에는, 텅스텐(W), 탄탈(Ta) 및 몰리브덴(Mo) 등이 포함된다. 상기 캐소드를 제외한 유/무기 재료들은 대략, 3~500℃수준에서 성막된다. 상기 텅스텐, 탄탈 및 몰리브덴 중에서, 텅스텐(W)을 이용하여 상기 가열부재를 제조하는 것이 가장 안정적이며 효과적이다. 그러나, 텅스텐(W)의 특성상 열팽창에 의한 휨 때문에 쇼트 및 단선의 사고가 발생되고 있으며, 그 결과 유기발광표시패널의 양산이 영향을 받고 있다.
본 발명은 상기 가열부재(Filament)가 고온으로 가열됨에 따라, 상기 가열부재가 변형되는 것을 방지하기 위한 것이며, 이를 위해, 상기 가열부재에 전원을 공급하기 위한 전원공급단자에 체결되는 상기 가열부재의 끝단(연결부재)에 탄성부가 형성되어 있다.
즉, 열에 의해 상기 가열부재가 팽창되는 현상은 피할 수 없는 현상이며, 이러한 가열부재의 열팽창에 의한 가열부재의 뒤틀림을 최소화시키기 위해, 본 발명에서는, 상기 전원공급단자에 체결되는 상기 가열부재의 끝단인, 상기 연결부재의 형태가 변경되었다. 예를 들어, 상기 연결부재에 라운드진 형태의 탄성부를 구비함으로써, 상기 가열부재가 열팽창되어 상기 연결부재가 뒤틀리는 경우, 상기 탄성부가 상기 뒤틀림을 흡수함으로써, 상기 가열부재의 뒤틀림 현상이 최소화될 수 있다.
특히, 본 발명에서는, 상기 탄성부의 형태가 다양하게 변경될 수 있다.
예를 들어, 상기 탄성부는, 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같은 세 가지 형태로 형성될 수 있다. 도 9에 도시된 실시예에서는, 상기 연결부(111a, 112a)와 상기 탄성부(111b, 112b)가 서로 다른 물질로 형성되어 있으나, 상기 연결부, 상기 탄성부 및 상기 체결부는 일체로 형성될 수도 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.　 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 가열부 102 : 가열부재
200 : 케이스 110 : 연결부재
111 : 제1연결부재 112 : 제2연결부재
300 : 받침대 400 : 전원공급단자
410 : 제1전원공급단자 420 : 제2전원공급단자

Claims (15)

  1. 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 증착할 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 가열부를 구성하는 가열부재;
    상기 가열부재를 커버하고 있는 케이스;
    상기 케이스를 지지하고 있는 받침대;
    상기 가열부재의 끝단으로부터 연장되어 있으며, 상기 케이스의 하단 방향으로 노출되어 있는 연결부재; 및
    상기 받침대에 장착되어 있으며, 상기 연결부재와 연결되어 상기 연결부재를 통해 상기 가열부재로 전원을 공급하는 전원공급단자를 포함하며,
    상기 연결부재에는, 상기 연결부재가, 상기 연결부재의 연장 방향에 수직한 방향으로 절곡되는 것에 의해 형성된 탄성부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결부재는, 상기 가열부재에 제1극성의 전원을 공급하기 위한 제1연결부재; 및 상기 가열부재에 제2극성의 전원을 공급하기 위한 제2연결부재를 포함하고,
    상기 전원공급단자는, 상기 제1연결부재와 체결되는 제1전원공급단자; 및 상기 제2연결부재와 체결되는 제2전원공급단자를 포함하며,
    상기 탄성부는, 상기 제1연결부재와 상기 제2연결부재 각각에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결부재는,
    상기 케이스의 하단방향에서 상기 전원공급단자의 상단방향으로 연장되어 있는 연결부;
    상기 연결부와 상기 가열부재가 이루는 직선방향으로부터 돌출되어 있는 탄성부; 및
    상기 탄성부의 끝단을 형성하며 상기 전원공급단자에 체결되는 체결부를 포함하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 탄성부는 상기 전원공급단자의 상단에서 상기 전원공급단자의 전면방향으로 돌출되어 있으며, 상기 체결부는 상기 전원공급단자의 하단에서 상기 전원공급단자에 체결되는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 탄성부는 상기 전원공급단자의 상단에서 상기 전원공급단자의 전면방향으로 돌출되어 있으며, 상기 체결부는 상기 전원공급단자의 상단에서 상기 전원공급단자에 체결되는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 탄성부를 형성하는 금속물질과, 상기 연결부를 형성하는 금속물질은 서로 다른 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 탄성부의 일측은, 상기 연결부의 끝단에 전기적으로 연결되어 있으며,
    상기 탄성부의 타측은, 상기 전원공급단자의 상단에서 상기 전원공급단자에 체결되어 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 탄성부에는, 두 개의 절곡부들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  9. 제 3 항에 있어서,
    상기 연결부, 상기 탄성부 및 상기 체결부는 일체로 형성되어 있으며, 상기 탄성부에는 두 개의 절곡부들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 탄성부는 상기 전원공급단자의 전면 또는 배면 방향에 배치되며, 상기 체결부는 상기 전원공급단자의 상단에서 상기 전원공급단자에 체결되는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  11. 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 증착할 재료를 가열하기 위해 열을 방출하는 가열부를 구성하는 가열부재;
    상기 가열부재를 커버하고 있는 케이스;
    상기 케이스를 지지하고 있는 받침대;
    상기 가열부재의 끝단으로부터 연장되어 있으며, 상기 케이스의 하단 방향으로 노출되어 있는 연결부재; 및
    상기 받침대에 장착되어 있으며, 상기 연결부재와 연결되어 상기 연결부재를 통해 상기 가열부재로 전원을 공급하는 전원공급단자를 포함하고,
    상기 연결부재에는, 상기 연결부재가 절곡되는 것에 의해 형성된 탄성부가 형성되어 있고,
    상기 연결부재는,
    상기 케이스의 하단방향에서 상기 전원공급단자의 상단방향으로 연장되어 있는 연결부;
    상기 연결부와 상기 가열부재가 이루는 직선방향으로부터 돌출되어 있는 탄성부; 및
    상기 탄성부의 끝단을 형성하며 상기 전원공급단자에 체결되는 체결부를 포함하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  12. 표시 장치용 기판에 증착할 재료를 가열할 열을 방출하며 폭과 길이를 가진 원통 형상의 가열부;
    상기 가열부의 끝단에 있으며, 상기 가열부가 열팽창에 의하여 상기 가열부의 길이 방향으로 신축 가능하도록, 소정의 폭을 가지는 띠 형상의 금속판으로 구성되며, 상기 금속판의 전면 또는 후면 중 적어도 어느 하나의 일부가 서로 마주보도록 굽어져, 상기 가열부의 길이 방향에 대한 탄성력을 가지도록 형성된 탄성부; 및
    상기 가열부에 전원이 가해지도록 상기 탄성부에 연결된 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 가열부의 끝단은 두 개의 평행하고 이격된 단자들로 구성되며, 상기 탄성부는 상기 두 개의 평행하고 이격된 단자들이 연장 형성되어 열팽창에 의하여 상기 가열부의 길이 방향으로 신축 가능하도록 절곡에 의한 곡선 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 가열부의 끝단은 두 개의 평행하고 이격된 단자들로 구성되며, 상기 탄성부는 상기 두 개의 평행하고 이격된 단자들에 부착되며 열팽창에 의하여 상기 가열부의 길이 방향으로 신축 가능하도록 절곡에 의한 곡선 형상의 별도 부재로 구성된 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
  15. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서, 상기 탄성부의 곡선 형상은 상기 가열부의 원통형상으로부터 외부 방향 또는 내부 방향으로 돌출된 것을 특징으로 하는 디스플레이장치 제조용 가열장치.
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