KR200463820Y1

KR200463820Y1 - 보트

Info

Publication number: KR200463820Y1
Application number: KR2020100002828U
Authority: KR
Inventors: 강호영
Original assignee: 주식회사 테라세미콘
Priority date: 2010-03-18
Filing date: 2010-03-18
Publication date: 2012-11-27
Also published as: KR20110009124U

Abstract

기판의 양 장변측에 배치되는 수직 프레임을 지지 로드에 의해 연결하고 지지 로드 상에는 최소한의 면적으로 기판과 접촉하며 기판을 지지하는 지지핀을 설치하여 기판처리시 기판의 온도가 전체적으로 균일하도록 하고 기판처리 도중 기판의 변형을 방지하는 보트가 개시된다. 본 고안에 의한 보트는, 배치식 기판처리 장치에서 기판처리 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하는 챔버 내에 배치되고 복수개의 기판이 로딩되는 보트로서, 기판(10)의 장변 방향을 따라 배치되는 복수개의 단위 보트 유닛(200)을 포함하고, 단위 보트 유닛(200)은 기판(10)의 양 장변측에 대향되게 배치되는 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B), 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)을 연결하는 복수개의 지지 로드(320), 지지 로드(320) 상에 설치되는 복수개의 지지핀(330)을 포함하며, 기판(10)은 지지핀(330) 상에 안착되는 것을 특징으로 한다.

Description

보트{Boat}

본 고안은 배치식 기판처리 장치에서 기판이 로딩되어 지지되는 보트에 관한 것이다. 보다 상세하게는 기판의 양측에 배치되는 수직 프레임을 지지 로드에 의해 연결하고 지지 로드 상에는 최소한의 면적으로 기판과 접촉하며 기판을 지지하는 지지핀을 안착시켜 기판처리시 기판의 온도가 전체적으로 균일하도록 하고 기판처리 도중 기판의 변형을 방지하는 보트에 관한 것이다.

평판 디스플레이 제조시 사용되는 기판처리 시스템은 크게 증착 장치와 어닐링 장치로 구분될 수 있다.

증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 단계를 담당하는 장치로서, 예를 들어 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)와 같은 화학 증착 장치와 스퍼터링(sputtering)과 같은 물리 증착 장치가 있다. 또한, 어닐링 장치는 증착 공정 후에 증착된 막의 특성을 향상시키는 단계를 담당하는 장치로서, 예를 들어 증착된 막을 결정화 또는 상 변화시키기 위한 열처리 장치가 있다.

통상적으로 기판처리 장치에는 하나의 기판에 대하여 기판처리를 수행할 수 있는 매엽식과 복수개의 기판에 대하여 기판처리를 수행할 수 있는 배치식이 있다. 매엽식은 장치의 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있어서 대량 생산용으로는 배치식이 각광을 받고 있다.

배치식 기판처리 장치에는 복수개의 기판에 대하여 동시에 기판처리가 가능하도록 기판처리 공간을 제공하는 챔버 내에 복수개의 기판이 로딩되어 지지될 수 있게 하는 보트의 사용이 필수적이다.

한편 최근 평판 디스플레이의 사이즈가 증가함에 따라 대면적 기판을 안정적으로 로딩시켜서 지지할 수 있는 보트의 필요성이 점점 증가하고 있다. 특히 종래의 보트에서는 기판처리 도중에 기판의 자체 하중에 의하여 기판의 휨과 같은 변형이 발생하여 평판 디스플레이의 특성이 저하되는 문제점이 있었다.

이를 방지하기 위하여 기판을 홀더에 안착시킨 상태에서 기판처리를 수행하였다. 그러나, 홀더를 사용하는 경우에는 기판처리 후 기판이 홀더의 잠열에 의해 변형이 발생되고, 기판과 별도로 홀더 스테이지 및 홀더 로봇을 사용함에 따라 기판처리 시스템의 사이즈 및 가격이 증대되는 문제점이 있었다.

이에 본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 배치식 기판처리 장치에서 복수개로 로딩된 기판에 대하여 기판처리 공정을 수행할 때, 로딩된 기판 양측에 배치된 수직 프레임을 연결하는 지지 로드와 지지 로드 상의 지지핀에 의해 기판의 지지함으로써 기판처리시 기판의 온도가 전체적으로 균일하도록 하는 보트를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 고안은, 배치식 기판처리 장치에서 복수개로 로딩된 기판에 대하여 기판처리 공정을 수행할 때, 로딩된 기판 양측의 수직 프레임을 연결하는 지지 로드 상에 배치된 지지핀에 의해 기판을 지지함으로써 기판처리시 홀더에 의해 기판을 지지하지 않아도 기판처리 도중 기판의 변형을 방지할 수 있는 보트를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 보트는, 배치식 기판처리 장치에서 기판처리 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하는 챔버 내에 배치되고 복수개의 기판이 로딩되는 보트로서, 상기 기판의 단변 방향을 따라 배치되는 복수개의 단위 보트 유닛을 포함하고, 상기 단위 보트 유닛은 상기 기판의 양 단변측에 대향되게 배치되는 제1 및 제2 수직 프레임, 상기 제1 및 제2 수직 프레임을 연결하는 복수개의 지지 로드, 및 상기 지지 로드 상에 설치되는 복수개의 지지핀을 포함하며, 상기 기판은 상기 지지핀 상에 안착되는 것을 특징으로 하는 한다.

상기 단위 보트 유닛의 개수 및 상기 단위 보트 유닛간의 거리 중 적어도 하나는 상기 기판의 크기에 대응하여 변경 가능할 수 있다.

삭제

상기 수직 프레임의 하측에 상기 수직 프레임을 지지하는 지지 프레임이 연결될 수 있다.

상기 제1 및 제2 수직 프레임에 상기 지지 로드는 교체 가능하게 조립식으로 연결될 수 있다.

상기 지지 로드에 상기 지지핀은 교체 가능하게 조립식으로 연결될 수 있다.

상기 지지핀의 선단부는 라운드 처리될 수 있다.

상기 단위 보트 유닛의 재질은 석영 또는 내열성 플라스틱을 포함할 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 고안에 따르면, 배치식 기판처리 장치의 복수개의 기판이 로딩되는 보트에 있어서, 기판의 양측에 배치되는 수직 프레임을 연결하는 지지 로드 및 지지 로드 상에 기판을 지지하는 지지핀을 포함함으로써 기판처리를 위한 온도 상승 및 하강시 기판 전체의 온도가 균일하게 되어 평판 디스플레이의 표시 특성이 향상되는 효과가 있다.

또한, 본 고안에 의한 보트는 지지핀에 의해 기판의 하부측이 전체적으로 지지되므로 기판처리 도중 기판이 홀더에 의해 지지되지 않아도 기판의 변형이 일어나지 않는 효과가 있다.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 보트의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 보트의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 보트에 기판이 로딩되어 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 보트에 기판이 로딩되어 있는 상태를 나타내는 측면도이다.
도 5는 도 4의 A 부분의 상세 도면이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.

본 고안에 의한 보트는 복수개의 기판에 대하여 동시에 기판처리가 진행되는 배치식 기판처리 장치에서 사용될 수 있다. 이러한 배치식 기판처리 장치는 내부에 기판처리 공간이 제공되는 챔버, 기판을 가열하기 위한 히터, 및 기판처리 분위기 조절을 위한 분위기 가스의 공급과 배기를 위한 가스 공급관과 가스 배기관 등을 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같은 배치식 기판처리 장치의 구성과 배치식 기판처리 장치를 이용한 기판처리 공정은 이 분야에서는 널리 알려져 있는 공지 기술이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 보트(100)의 구성을 나타내는 도면이다.

도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 보트(100)의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.

도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 보트에 기판이 로딩되어 있는 상태를 나타내는 사시도이다.

도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 보트에 기판이 로딩되어 있는 상태를 나타내는 측면도이다.

도 5는 도 4의 A 부분의 상세 도면이다.

우선, 배치식 기판처리 장치에서는 기판처리 공간을 제공하는 챔버(미도시)의 내부에 보트(100)가 설치되어 있는 상태에서 기판(10)을 로딩한 후 기판처리 공정을 진행할 수 있으며, 경우에 따라서는 챔버의 외부에 설치된 보트(100)에 기판(10)을 로딩하고 그 상태에서 보트(100)를 챔버의 내부로 장입한 후 기판처리 공정을 진행할 수도 있다.

도 1과 도 2를 참조하면, 보트(100)는 복수개의 단위 보트 유닛(200)을 포함한다.

단위 보트 유닛(200)은 챔버(미도시)의 내부에 복수개로 배치된다.

단위 보트 유닛(200)은 보트(100)에 로딩되는 기판(10)의 장변과 평행을 이루면서 단변측에 배치되는 것이 바람직하다.

복수개의 단위 보트 유닛(200)은 기판(10)의 단변측에 소정의 이격 간격을 두고 배치된다. 단위 보트 유닛(200)간의 이격 간격은 로딩되는 기판(10)의 단변의 길이에 대응하여 결정될 수 있다. 또한, 단위 보트 유닛(200)의 배치 개수는 기판(10)의 크기에 대응하여 결정될 수 있다.

이를 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.

보트(100)에 로딩되는 기판(10)의 크기는 다양하게 변화할 수 있다. 다양한 크기를 갖는 기판(10)의 안정적인 로딩을 위해서 단위 보트 유닛(200)은 이동 가능하게 배치됨으로써, 단위 보트 유닛(200)간의 이격 간격을 조절할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 특히, 단위 보트 유닛(200)간의 이격 간격은 기판(10)의 단변 길이에 대응하여 조절 가능하도록 배치되는 것이 바람직하다.

또한, 기판(10)의 크기 변화에 대응하여, 기판(10) 단변측에 배치되는 단위 보트 유닛(200)의 개수는 변화될 수 있다. 즉, 도 1을 참조하면, 기판(10)의 단변측에는 3 개의 단위 보트 유닛(200)이 배치되어 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 기판(10)의 크기에 따라서는 단위 보트 유닛(200)의 개수는 3 개를 초과하거나 3 개 미만일 수 있다.

도 1 및 도 2를 더 참조하면, 단위 보트 유닛(200)은 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B), 지지 로드(320) 및 지지핀(330) 등을 포함하여 구성될 수 있다.

제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)은 기판(10)의 양 단변측에 배치되어 상호 대향하며 단위 보트 유닛(200), 나아가 보트(100)의 기본적인 골격을 이룬다.

제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)이 안정적으로 고정되고 지지될 수 있도록 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)의 하부에는 지지 프레임(310)이 형성될 수 있다. 지지 프레임(310)은 기판(10)의 내측을 향하여 소정의 길이와 소정의 폭으로 형성된다. 다만, 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)의 안정적인 고정 및 지지를 수행할 수 있다면 지지 프레임(310)은 다른 형태로 형성될 수도 있다. 이로써 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)과 지지 프레임(310)에 의하여 단위 보트 유닛(200)은 전체적으로 ‘┗ ’및 ‘ ┛’형태를 이룰 수 있다.

보트(100) 전체에 걸쳐서 모든 단위 보트 유닛(200)을 이루는 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)의 형상 및 길이는 모두 동일한 것이 바람직하다.

지지 로드(320)는 기판(10)의 양 단변측에 배치되어 대향하는 제1 수직 프레임(300A)과 제2 수직 프레임(300B)을 연결한다. 따라서, 지지 로드(320)는 기판(10)의 장변과 평행을 이루고, 기판(10)의 장변의 길이와 대략 대응된다. 지지 로드(320)는 보트(100)에 로딩되는 기판(10)을 지지하는 역할을 한다.

하나의 단위 보트 유닛(200)의 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)간에는 복수개의 지지 로드(320)가 연결될 수 있다. 복수개의 지지 로드(320)는 서로 평행을 이루면서 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)에 연결되는 것이 바람직하다.

제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)을 연결하는 지지 로드(320)의 개수는 보트(100)에 로딩될 수 있는 기판(10)의 총 개수와 동일한 것이 바람직하다. 따라서, 본 고안에서, 보트(100)에 포함되는 지지 로드(320)의 총 개수는 기판(10) 개수의 3 배가 될 수 있다. 예를 들어, 도 1을 참조할 때, 보트(100)에 6개의 기판(10)이 로딩될 수 있다면 지지 로드(320)의 총 개수는 18 개가 될 수 있다.

지지 로드(320)의 길이와 폭은 기판(10)을 안정적으로 지지할 수 있도록 다양하게 변경할 수 있다. 즉, 기판(10)의 크기에 따라 기판(10)의 장변의 길이와 대응되게 지지 로드(320)의 길이를 변화시켜 제1 수직 프레임(300A)과 제2 수직 프레임(300B) 사이의 간격을 조절하고, 단위 보트 유닛(200)간의 거리를 조절하여 기판(10)의 단변측과 대응되게 한다.

한편, 본 고안에서, 지지 로드(320)는 다음과 같이 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)에 교체 가능하게 조립식으로 설치되는 것이 바람직하다.

먼저, 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)의 대향면에 일정한 간격을 갖는 복수개의 로드 삽입홈(302)을 형성한다. 일 수직 프레임(300A, 300B)당 로드 삽입홈(302)의 개수는 보트(100)에 로딩되는 기판(10)의 최대 개수와 동일할 수 있다. 보트(100) 전체에 걸쳐서 모든 수직 프레임(300A, 300B)에 형성되는 로드 삽입홈(302)의 소정의 기준점에 대한 높이는 모두 동일할 수 있다.

이후, 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)간의 이격 간격, 즉 기판(10)의 장변 길이에 대응하는 길이를 갖는 지지 로드(320)를 준비한다. 지지 로드(320)의 양측 단부를 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)의 로드 삽입홈(302)에 삽입하여 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)간을 연결한다.

보트(100)에 로딩되는 기판(10)의 크기가 변화하여 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)간의 이격 간격이 조절된다면, 지지 로드(320)는 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)간의 이격 간격에 대응하는 길이의 것으로 교체될 수 있다.

지지 로드(320) 상에는 기판(10)을 지지하는 복수개의 지지핀(330)이 설치된다. 지지핀(330)은 보트(100)에 로딩되는 기판(10)의 하부측을 지지 로드(320) 상에서 소정의 높이로 이격시킨 상태에서 지지한다.

지지핀(330)은 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B)을 연결하는 지지 로드(320) 상에 교체 가능하게 조립식으로 설치되는 것이 바람직하다. 즉, 지지핀(330)은 지지 로드(320)의 상부면에 핀 삽입홈(322)을 형성한 후, 핀 삽입홈(322)에 삽입되어 설치될 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 지지 로드(320)와 지지핀(330)을 일체로 형성하거나 용접 방식을 이용하여 지지 로드(320)의 상부면에 지지핀(330)을 설치할 수도 있다.

지지핀(330)의 선단부는 라운드 처리하여 지지핀(330)과 기판(10)의 접촉면이 최소화되도록 하여 지지핀(330)에 의하여 기판(10)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 지지핀(330)은 선단부로 갈수록 폭이 좁게 형성되는 원기둥 또는 원뿔 형상을 갖도록 형성될 수도 있다.

지지 로드(320) 상에 설치되는 지지핀(330)의 개수는 기판(10)을 안정적으로 지지할 수 있는 범위 내에서 다양하게 변경될 수 있다. 예를 들어, 첨부의 도면을 참조하면, 일 지지 로드(320) 상에 5 개의 지지핀(330)이 설치될 수 있으며, 이 경우 본 고안에서 보트(100)는 총 90 개의 지지핀(330)을 포함할 수 있다.

지지핀(330)의 높이는 기판(10)을 안정적으로 지지할 수 있는 범위 내에서 다양하게 변경할 수 있다. 다만, 보트(100) 전체에 걸쳐서 모든 지지핀(330)의 상단부가 실질적으로 동일면 상에 배열되게 하여 모든 지지핀(330)에 의해 기판(10)이 수평을 이루면서 동시에 지지되게 하는 것이 바람직하다.

단위 보트 유닛(200)를 이루는 제1 및 제2 수직 프레임(300A, 300B), 지지 로드(330) 및 지지핀(330)의 재질은 석영 또는 내열성 플라스틱인 것이 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

한편, 도 3, 도 4 및 도 5를 참조하면, 상술한 바와 같은 본 고안의 일 실시예에 따른 보트(100)는 지지핀(330)에 의하여 기판(10)의 하부측을 지지한다. 이때, 기판(10)은 지지핀(330)과 최소한의 면적으로 접촉되고 지지 로드(320)로부터 소정의 높이로 이격된 상태로 지지된다.

따라서, 본 고안에 의한 보트(100)는 기판(10)과의 접촉 면적을 최소화 함으로써 챔버 내에서 기판처리 공정의 수행을 위한 온도 상승 및 하강 도중에 보트(100)의 잠열에 의해 기판(10)의 온도 균일성이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 평판 디스플레이의 표시 특성이 저하되는 것을 억제할 수 있는 이점이 있다. 또한, 본 고안에 의한 보트(100)는 복수개의 지지핀(330)에 의해 기판(10)의 하부측이 전체적으로 지지되므로 기판처리 도중 기판(10)이 홀더에 의해 지지되지 않아도 기판(10)의 변형이 일어나지 않는 이점이 있다.

본 고안은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 고안의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 고안과 첨부된 실용신안등록청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.

10: 기판
100: 보트
200: 단위 보트 유닛
300A, 300B: 제1 및 제2 수직 프레임
310: 지지 프레임
320: 지지 로드
330: 지지핀

Claims

기판의 양 단변측에 배치되어 대향하는 제1 및 제2 수직 프레임, 상기 기판의 장변과 평행을 이루면서 상기 제1 및 제2 수직 프레임을 연결하는 복수개의 지지 로드, 상기 지지 로드 상에 각각 설치되며 상기 기판이 안착 지지되는 복수개의 지지핀 및 상기 수직 프레임의 하측에 설치되어 상기 수직 프레임을 지지하는 지지 프레임을 각각 가지면서 상기 기판의 단변측으로 상호 간격을 가지는 복수의 단위 보트 유닛을 포함하며, 배치식 기판처리 장치에서 기판처리 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하는 챔버 내에 배치되어 복수개의 기판이 로딩되는 보트로서,
상기 제1 및 제 2 수직 프레임의 대향면에는 상기 지지 로드의 일단부측 및 타단부측이 각각 삽입 지지되는 복수의 로드 삽입홈이 상호 대향되게 형성되고,
상기 지지 로드는 상기 기판의 장변 길이와 대응되는 길이로 교체 가능하게 상기 로드 삽입홈에 지지되어 상기 제1 수직 프레임과 상기 제2 수직 프레임 사이의 간격을 조절하며,
복수의 상기 단위 보트 유닛 사이의 간격은 상기 기판의 단변 길이와 대응되게 조절이 가능하고,
상기 지지 로드에는 상기 지지핀이 교체 가능하게 삽입 지지되는 핀 삽입홈이 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
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제1항에 있어서,
상기 지지핀의 선단부는 라운드 처리된 것을 특징으로 하는 보트.
제1항에 있어서,
상기 단위 보트 유닛의 재질은 석영 또는 내열성 플라스틱을 포함하는 것을 특징으로 하는 보트.