CN111270201A

CN111270201A - 掩膜版

Info

Publication number: CN111270201A
Application number: CN202010102990.5A
Authority: CN
Inventors: 潘旭; 张帅; 古春笑; 杨斌; 杨硕
Original assignee: Kunshan Govisionox Optoelectronics Co Ltd
Current assignee: Kunshan Govisionox Optoelectronics Co Ltd
Priority date: 2020-02-19
Filing date: 2020-02-19
Publication date: 2020-06-12
Anticipated expiration: 2040-02-19
Also published as: CN111270201B

Abstract

本发明公开了一种掩膜版。该掩膜版包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部；至少一个第一弹性连接部固定于掩膜版框架上，并与一掩膜条第一方向的一个端部连接，弹性连接部对掩膜条具有第一拉力，第一拉力对掩膜条产生的形变在掩膜条的弹性形变范围内，且第一拉力的方向为掩膜条第一方向的端部指向第一弹性连接部的方向。掩膜条第一方向的一个端部通过第一弹性连接部固定于掩膜版框架上，使第一弹性连接部对掩膜条具有第一拉力，从而可以降低掩膜条因重力引起的掩膜条的下垂，提高蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，进而提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。

Description

掩膜版

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜版。

背景技术

在有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示面板的制作过程中，蒸镀用掩膜版可以控制有机材料沉积在基板上的位置。当掩膜版存在下垂等情况时，掩膜版与基板的贴合不好，增加了蒸镀后像素错位及混色等风险。

发明内容

本发明提供一种掩膜版，以减少掩膜版的下垂量，提高掩膜版的蒸镀精度。

第一方面，本发明实施例提供了一种掩膜版，包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部；

至少一个所述第一弹性连接部固定于所述掩膜版框架上，并与一所述掩膜条第一方向的一个端部连接，所述第一弹性连接部对所述掩膜条具有第一拉力，所述第一拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内，且所述第一拉力的方向为所述掩膜条第一方向的端部指向所述第一弹性连接部的方向，其中，所述第一方向为所述掩膜条的长度方向。

可选地，所述第一弹性连接部的数量与所述掩膜条的数量相等，每一所述掩膜条第一方向的一个端部与一个所述第一弹性连接部连接。

可选地，沿所述第一方向，所述掩膜条包括相对设置的第一端部和第二端部，所述掩膜版框架包括相对设置的第一边框和第二边框；所述第一弹性连接部包括固定部和弹性部，所述第一弹性连接部的固定部固定于所述第一边框上，所述第一弹性连接部的弹性部与对应的所述掩膜条的第一端部固定连接，所述掩膜条的第二端部与所述第二边框固定连接。

可选地，所述掩膜条为至少两条，所述掩膜版还包括至少一条支撑条和至少一个第二弹性连接部，所述支撑条固定于所述掩膜版框架上，并位于相邻所述掩膜条之间，所述支撑条与所述掩膜条平行设置；

沿第二方向，所述掩膜条包括相对设置的第三端部和第四端部；每一所述掩膜条的第三端部与一个所述第二弹性连接部连接，所述第二弹性连接部对所述掩膜条具有第二拉力，所述第二拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内，且所述第二拉力的方向为所述掩膜条第二方向的端部指向所述第二弹性连接部的方向；其中，所述第二方向为所述掩膜条的宽度方向。

可选地，沿所述第二方向，所述掩膜版框架包括相对设置的第三边框和第四边框；所述第二弹性连接部包括固定部和弹性部，所述第二弹性连接部的固定部固定于所述第三边框或所述支撑条上，所述第二弹性连接部的弹性部与所述掩膜条的第三端部固定连接；所述掩膜条的第四端部与所述第四边框或所述支撑条固定连接。

可选地，所述第一弹性连接部和/或所述第二弹性连接部为笔形涡卷弹簧；所述弹性连接部包括固定部和弹性部，所述固定部为所述笔形涡卷弹簧的笔形外壳，所述弹性部为所述笔形涡卷弹簧的卷簧。

可选地，所述笔形涡卷弹簧的卷簧材料为金属；所述笔形涡卷弹簧的卷簧的宽度与连接的所述掩膜条的端部宽度相等。

可选地，所述掩膜条包括蒸镀区和遮挡区；所述遮挡区设置有多条应力分散条，所述应力分散条的延伸方向与所述掩膜条的长度方向相交。

可选地，所述遮挡区包括第一遮挡区和第二遮挡区，所述第一遮挡区设置于所述蒸镀区靠近所述掩膜条第一方向的第一端部的一侧，所述第二遮挡区设置于所述蒸镀区靠近所述掩膜条第一方向的第二端部的一侧；

所述第一遮挡区和所述第二遮挡区均包括多条所述应力分散条；所述应力分散条为凸起结构；沿所述掩膜条的第一端部指向所述蒸镀区的方向，所述第一遮挡区的多条应力分散条的凸起高度依次减小；沿所述掩膜条的第二端部指向所述蒸镀区的方向，所述第二遮挡区的多条应力分散条的凸起高度依次减小。

可选地，沿所述掩膜条的第一端部指向所述蒸镀区的方向，所述第一遮挡区的多条应力分散条的长度依次减小；沿所述掩膜条的第二端部指向所述蒸镀区的方向，所述第二遮挡区的多条应力分散条的长度依次减小。

本发明实施例的技术方案，掩膜条第一方向的一个端部通过第一弹性连接部固定于掩膜版框架上，使第一弹性连接部对掩膜条具有第一拉力，从而可以至少部分抵消掩膜条因重力导致的掩膜条的端部受到由端部指向掩膜条中间的力，进而降低了掩膜条因重力引起的掩膜条的下垂，从而可以提高蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种掩膜版的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种掩膜版的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的另一种掩膜版的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种弹性连接部的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种掩膜版的俯视结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种掩膜版的主视结构示意图；

图7为本发明实施例提供的另一种掩膜版的俯视结构示意图；

图8为本发明实施例提供的另一种掩膜版的主视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

目前，OLED显示面板通常采用真空蒸镀工艺沉积形成OLED器件。在蒸镀工艺中需要使用掩膜版将待沉积材料沉积于OLED显示面板的像素区。在此过程中，掩膜版的开口区与待蒸镀的OLED显示面板上的像素区对应设置。而掩膜版包括掩膜版框架和掩膜条，在蒸镀之前，先通过张网设备对掩膜条的端部施加一定的拉力，使掩膜条张紧，然后将掩膜条焊接在掩膜版框架上，从而形成蒸镀用掩膜版。在张网过程中，张网设备对掩膜条施加的压力比较小时，掩膜条容易出现下垂现象。张网设备对掩膜条施加的压力比较大时，掩膜条容易因拉力分布不均出现褶皱现象。因此形成的蒸镀用掩膜版容易出现开口区与待蒸镀的OLED显示面板上对应的像素区的位置出现偏移，增加了待蒸镀的OLED显示面板上像素错位及混色的风险，降低了掩膜版的蒸镀精度。同时掩膜版的下垂和褶皱会导致与待蒸镀的OLED显示面板之间的间隙增大，待沉积材料容易在掩膜版和待蒸镀OLED显示面板之间的间隙处发生衍射，进一步地降低了掩膜版蒸镀时的蒸镀精度，进而降低了OLED显示面板的良率。

针对上述技术问题，本发明实施例提供了一种掩膜版。图1为本发明实施例提供的一种掩膜版的结构示意图。如图1所示，该掩膜版包括掩膜版框架110、至少一条掩膜条120和至少一个第一弹性连接部130；至少一个第一弹性连接部130固定于掩膜版框架110上，并与一掩膜条120第一方向X的一个端部连接，第一弹性连接部130对掩膜条120具有第一拉力F，第一拉力F的方向为掩膜条120第一方向X的端部指向第一弹性连接部130的方向，其中，第一方向X为掩膜条120的长度方向。

具体地，图1中示例性地示出了掩膜版包括4条掩膜条120，每一掩膜条120包括多个开口121(图1中示例性地示出了包括两个开口121)，每个开口121用于蒸镀待沉积材料。图1中示例性地示出了掩膜版包括一个第一弹性连接部130。当第一弹性连接部130与其中一条掩膜条120的第一方向X一个端部连接时，第一弹性连接部130处于拉伸状态，能够为掩膜条120提供第一拉力F，第一弹性连接部130可以根据掩膜条120的受力情况适应性的对掩膜条120施加拉力F。例如，掩膜条120受到垂直方向的重力，使得掩膜条120第一方向X的端部受到由端部指向掩膜条120中间的力时，掩膜条120第一方向X的端部会对第一弹性连接部130施加由端部指向掩膜条120的中间的力，此时第一弹性连接部130的收缩力会作用于掩膜条120的端部，即第一弹性连接部130对掩膜条120施加第一拉力F，且第一拉力F的方向为掩膜条120第一方向X的端部指向弹性连接部130的方向，从而可以至少部分抵消掩膜条120因重力导致的掩膜条120第一方向X的端部受到由端部指向掩膜条120中间的力，进而降低了掩膜条120因受到垂直方向的重力引起的掩膜条120的下垂量，从而可以提高蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。另外，第一拉力F对掩膜条120产生的形变在掩膜条120的弹性形变范围内，使得掩膜条120在第一拉力F作用下产生的形变能够根据第一拉力F的大小适应性改变，而第一拉力F的大小与掩膜条120受到的重力相关，因此从而可以更好的降低掩膜条120因重力引起的掩膜条120的下垂现象。

可选地，第一弹性连接部的数量与掩膜条的数量相等，每一掩膜条第一方向的一个端部与一个第一弹性连接部连接。

具体地，第一弹性连接部的数量可以与掩膜条的数量相等，使得每个掩膜条第一方向的第一个端部与一个第一弹性连接部连接，从而可以使第一弹性连接部可以对所有的掩膜条施加第一压力，从而可以至少部分抵消每条掩膜条受到的由掩膜条第一方向的端部指向掩膜条中间的力，进而降低了所有掩膜条的下垂量，整体提高蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。示例性地，图2为本发明实施例提供的另一种掩膜版的结构示意图。如图2所示，掩膜版包括4个掩膜条120，同时包括4个第一弹性连接部130，每个第一弹性连接部130与一条掩膜条120第一方向X的一个端部连接。

可选地，沿第一方向X，掩膜条120包括相对设置的第一端部122和第二端部123，掩膜版框架110包括相对设置的第一边框111和第二边框112；第一弹性连接部130包括固定部1301和弹性部1302，第一弹性连接部130的固定部1301固定于第一边框111上，第一弹性连接部130的弹性部1302与对应的掩膜条120的第一端部122固定连接，掩膜条120的第二端部123与第二边框112固定连接。每条掩膜条120均会受到垂直方向的重力，因此每条掩膜条120对应的第一弹性连接部130均会对与其对应的掩膜条120施加拉力，且拉力的方向为掩膜条120第一方向X的端部指向第一弹性连接部130的方向，从而可以抵消每条掩膜条120因重力导致的掩膜条120第一方向X的第一端部122受到由第一端部122指向掩膜条120中间的力，进而降低了每条掩膜条120因受到垂直方向的重力引起的掩膜条120的下垂量，进一步地提高了蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。

需要说明的是，在图2中，掩膜条120第一方向X的一个端部通过第一弹性连接部130固定于第一边框111上，另一端部直接固定于第二边框112上，从而实现了掩膜条120的张网。而且，相邻掩膜条120之间可以互相接触，以更好的避免在蒸镀过程中待沉积材料由相邻掩膜条120之间沉积至待蒸镀基板。

可选地，掩膜条为至少两条，掩膜版还包括至少一条支撑条和至少一个第二弹性连接部，支撑条固定于掩膜版框架上，并位于相邻掩膜条之间，支撑条与掩膜条平行设置；沿第二方向，掩膜条包括相对设置的第三端部和第四端部；每一掩膜条的第三端部与一个第二弹性连接部连接，第二弹性连接部对掩膜条具有第二拉力，第二拉力对掩膜条产生的形变在掩膜条的弹性形变范围内，且第二拉力的方向为掩膜条第二方向的端部指向第二弹性连接部的方向；其中，第二方向为掩膜条的宽度方向。

具体地，当掩膜条为多条时，相邻掩膜条之间可以设置支撑条，支撑条固定在掩膜版框架上，并设置于相邻掩膜条之间，用于支撑与之相接的掩膜条。此时，沿第二方向，掩膜条的第三端部和第四端部均具有支撑。即沿第二方向，第一条掩膜条的第四端部通过掩膜版边框支撑，最后一条掩膜条的第三端部通过掩膜版边框支撑。第一条掩膜条的第三端部、最后一条掩膜条的第四端部、以及其余掩膜条的第三端部和第四端部均通过支撑条支撑。

第二弹性连接部可以设置在支撑条上。掩膜条第二方向的第三端部可以通过第二弹性连接部与掩膜版框架或支撑条连接。掩膜条受到垂直方向的重力时，掩膜条第二方向的端部受到由端部指向掩膜条中间的力，掩膜条第二方向的端部会对第二弹性连接部施加由端部指向掩膜条的中间的力，此时第二弹性连接部的收缩力会作用于掩膜条第二方向的端部，即第二弹性连接部对掩膜条施加第二拉力，且第二拉力方向为掩膜条第二方向的端部指向第二弹性连接部的方向，从而可以至少部分抵消掩膜条因重力导致的掩膜条第二方向的端部受到由端部指向掩膜条中间的力，进而降低了掩膜条因受到垂直方向的重力引起的掩膜条的下垂量，从而可以提高蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。同理，第二拉力对掩膜条产生的形变在掩膜条的弹性形变范围内，使得掩膜条在第二拉力作用下产生的形变能够根据第二拉力的大小适应性改变，而第二拉力的大小与掩膜条受到的重力相关，因此从而可以更好的降低掩膜条因重力引起的掩膜条的下垂现象。

可以理解，掩膜条与第二弹性连接部具有连接关系时，在一种实施例中，第二弹性连接部均连接于掩膜条的第三端部，另一种实施例中，第二弹性连接部均连接于掩膜条的第四端部，如此，能够保证掩膜条的位置精度。

另外，当掩膜版包括第二弹性连接部时，掩膜条第一方向的一个端部通过第一弹性连接部与掩膜版框架连接，掩膜条第二方向的第一端部通过第二弹性连接部与掩膜版框架或支撑条连接，从而可以分别在第一方向和第二方向分别对掩膜条施加拉力，同时从第一方向和第二方向抵消掩膜条因重力导致的掩膜条的端部受到由端部指向掩膜条中间的力，进一步地降低了掩膜条因受到垂直方向的重力引起的掩膜条的下垂量，提高了蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。

示例性地，图3为本发明实施例提供的另一种掩膜版的结构示意图。如图3所示，沿第二方向Y，掩膜版框架110包括相对设置的第三边框113和第四边框114；第二弹性连接部131包括固定部1311和弹性部1312，第二弹性连接部131的固定部1311固定于第三边框113或支撑条140上，第二弹性连接部131的弹性部1312与掩膜条120的第三端部124固定连接；掩膜条120的第四端部125与第四边框114或支撑条140固定连接。

具体地，图3示例性地示出了掩膜版包括4条掩膜条120，每条掩膜条120对应一个第二弹性连接部131。第二弹性连接部131设置于掩膜版框架110的第三边框113或支撑条140上。沿第二方向Y，第一个掩膜条120的第三端部124通过一个第二弹性连接部131设置于掩膜版框架110上，第一个掩膜条120的第四端部125固定于支撑条140上。最后一个掩膜条120的第三端部124通过一个第二弹性连接部131设置于支撑条140上，最后一个掩膜条120的第四端部125直接固定于掩膜版框架110的第四边框114。其余的掩膜条120的第三端部124和第四端部125均固定于支撑条140上。此时每条掩膜条120的第三端部124与第二弹性连接部131连接，张网完成后，第二弹性连接部131在弹性范围内被拉伸，产生回缩趋势，对掩膜条120的第三端部124具有拉力，且第二拉力方向为掩膜条120第二方向Y的第三端部124指向第二弹性连接部131的方向，从而可以抵消掩膜条120因重力导致的掩膜条120第二方向Y的端部受到由端部指向掩膜条120中间的力，进而降低了掩膜条120因受到垂直方向的重力引起的掩膜条120的下垂量。

需要说明的是，第二弹性连接部131的数量不做限定。当包括一个第二弹性连接部131时，第二弹性连接部131与其中一条掩膜条120对应，第二弹性连接部131可以设置于掩膜版框架110的第三边框113或支撑条140上。当包括多个第二弹性连接部131时，第二弹性连接部131可以与多条掩膜条120一一对应，第二弹性连接部131设置于掩膜版框架110的第三边框113和支撑条140上。

可选地，弹第一弹性连接部130和第二弹性连接部131的数量可以相等，且均与掩膜条120一一对应，此时可以使每条掩膜条120的第一方向X和第二方向Y均受到弹性连接部130的拉力，同时从第一方向X和第二方向Y降低掩膜条120因重力导致的掩膜条120的下垂，最大限度的提高了蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。

可选的，第一弹性连接部和/或第二弹性连接部为笔形涡卷弹簧；弹性连接部包括固定部和弹性部，固定部为笔形涡卷弹簧的笔形外壳，弹性部为笔形涡卷弹簧的卷簧。示例性的，图4为本发明实施例提供的一种第一弹性连接部的结构示意图。如图4所示，第一弹性连接部130为笔形涡卷弹簧；第一弹性连接部130包括固定部1301和弹性部1302，固定部1301为笔形涡卷弹簧的笔形外壳，弹性部1302为笔形涡卷弹簧的卷簧。

具体地，当掩膜版包括第一弹性连接部和第二弹性连接部时，第一弹性连接部对应的笔形涡卷弹簧的笔形外壳固定于掩膜版框架的第一边框，第一弹性连接部对应的笔形涡卷弹簧的卷簧与掩膜条第一方向的第一端部连接。第二弹性连接部对应的笔形涡卷弹簧的笔形外壳固定于掩膜版框架的第三边框或支撑条上，第二弹性连接部对应的笔形涡卷弹簧的卷簧与掩膜条第二方向的第三端部连接。当笔形涡卷弹簧的笔形外壳固定不动时，涡卷弹簧可以根据掩膜条上的力适应性调整收缩，从而可以对掩膜条施加拉力，抵消了掩膜条因重力导致的掩膜条的端部受到由端部指向中间的力，进而降低了掩膜条因重力引起的下垂。

可选地，笔形涡卷弹簧的卷簧材料为金属；笔形涡卷弹簧的卷簧的宽度与连接的掩膜条的端部宽度相等。

具体地，笔形涡卷弹簧的卷簧与掩膜条连接时可采用焊接，通过设置笔形涡卷弹簧的卷簧的材料与掩膜条的材料相同，可以更好的使笔形涡卷弹簧的卷簧与掩膜条焊接。示例性地，当掩膜条的材料为金属时，笔形涡卷弹簧的卷簧材料也可以为金属。例如，掩膜条的材料和笔形涡卷弹簧的卷簧材料均为铟瓦合金。

另外，掩膜条的不同端部具有不同的宽度。沿第一方向，掩膜条第一方向的端部宽度为掩膜条本体的宽度。沿第二方向，掩膜条第二方向的端部宽度为掩膜条本体的长度。因此，第一弹性连接部与掩膜条第一方向的端部连接，第一弹性连接部对应的笔形涡卷弹簧的卷簧的宽度为掩膜条本体的宽度。第二弹性连接部与掩膜条第二方向的端部连接，第二弹性连接部对应的笔形涡卷弹簧的卷簧的宽度掩膜条本体的长度。通过设置笔形涡卷弹簧的卷簧的宽度与连接的掩膜条的端部宽度相等，使笔形涡卷弹簧的卷簧恰好与掩膜条的端部对应连接，此时笔形涡卷弹簧的卷簧可以对掩膜条的端部边缘施加比较均匀的力，可以避免掩膜条的端部边缘受力不均导致的褶皱。

图5为本发明实施例提供的一种掩膜版的俯视结构示意图，图6为本发明实施例提供的一种掩膜版的主视结构示意图。如图5和图6所示，掩膜条120包括蒸镀区126和遮挡区127；遮挡区127设置有多条应力分散条150，应力分散条150的延伸方向与掩膜条120的长度方向X相交。

具体地，蒸镀区126包括多个开口121。遮挡区127围绕开口121设置。遮挡区127设置有应力分散条150，如图6所示，应力分散条150可以为掩膜条120遮挡区127的凸起结构。当掩膜条120受到沿其表面方向的张网拉力拉伸时，张网拉力在遮挡区127产生的内应力方向可以由应力分散条150改变，从而使得遮挡区127部分地方的应力集中得到缓解，分散掩膜条120上的应力分布，改善掩膜条120上的应力分布状况，有利于减小掩膜条120的褶皱现象，从而提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。

需要说明的是，应力分散条150还可以为掩膜条120遮挡区127的凹陷结构，即掩膜条120的遮挡区127向掩膜条120的另一表面凸起，其具有与凸起结构相同的应力分散作用。另外，应力分散条150的凸起结构的形状可以有多种，图6中示例性地示出了应力分散条150的凸起结构的横截面为扇形。在其他实施例中，应力分散条150还可以为椭圆形、三角形、四边形、五边形、六边形、字母、汉字或者它们的组合。

图7为本发明实施例提供的另一种掩膜版的俯视结构示意图，图8为本发明实施例提供的另一种掩膜版的主视结构示意图。如图7和图8所示，遮挡区127包括第一遮挡区1271和第二遮挡区1272，第一遮挡区1271设置于蒸镀区126靠近掩膜条120第一方向X的第一端部122的一侧，第二遮挡区1272设置于蒸镀区126靠近掩膜条120第一方向X的第二端部123的一侧；第一遮挡区1271和第二遮挡区1272均包括多条应力分散条150；应力分散条150为凸起结构；沿掩膜条120的第一端部122指向蒸镀区126的方向，第一遮挡区1271的多条应力分散条150的凸起高度依次减小；沿掩膜条120的第二端部123指向蒸镀区126的方向，第二遮挡区1272的多条应力分散条150的凸起高度依次减小。

具体地，第一遮挡区1271和第二遮挡区1272分别位于掩膜条120第一方向X的两端。应力分散条150可以为弧形凸起结构，其可以采用冲压工艺制作。可选地，在冲压工艺制作应力分散条150时，冲压深度可以设置为掩膜条120厚度的30％-50％，以使弧形凸起结构能够较好地缓解张网拉力在掩膜条120内产生的应力，有效地分散掩膜条120上的应力分布，有利于减小掩膜条120的褶皱现象。

在第一遮挡区1271，沿掩膜条120的第一端部122指向蒸镀区126的方向，多条应力分散条150的凸起高度依次减小，使得每条应力分散条150对掩膜条120不同局部的应力进行缓解分散，从而使得掩膜条120上的应力分布更加均匀，进一步地改善掩膜条120上的应力分布情况，减小掩膜条120的褶皱现象，提高掩膜版的蒸镀精度。同理，在第二遮挡区1272，沿掩膜条120的第二端部123指向蒸镀区126的方向，多条应力分散条150的凸起高度依次减小，同样可以对掩膜条120不同局部的应力进行缓解分散，进一步地改善掩膜条120上的应力分布情况，减小掩膜条120的褶皱现象。

继续参考图7，沿掩膜条120的第一端部122指向蒸镀区126的方向，第一遮挡区1271的多条应力分散条150的长度依次减小；沿掩膜条120的第二端部123指向蒸镀区126的方向，第二遮挡区1272的多条应力分散条150的长度依次减小。

具体地，应力分散条150的长度越长，张网拉力导致的掩膜条120内的应力分布更加均匀。通过设置沿掩膜条120的第一端部122指向蒸镀区126的方向，第一遮挡区1271的多条应力分散条150的长度依次减小，可以使张网拉力在进入第一遮挡区1271时分布比较均匀，然后依次向蒸镀区126的方向传递，更好的改善了掩膜条120上产生褶皱的问题。同理，沿掩膜条120的第二端部123指向蒸镀区126的方向，第二遮挡区1272的多条应力分散条150的长度依次减小，同样可以更好的改善掩膜条120上产生褶皱的问题。

另外，第一遮挡区1271内的应力分散条150与第二遮挡区1272内的应力分散条150可以沿掩膜条120第一方向X的中线对称，使得在张网掩膜条120的过程中，掩膜条120两端的张网拉力在应力分散条150的作用下分布比较一致，从而可以降低掩膜条120两端的张网拉力分布不同导致掩膜条120产生褶皱的现象。

而且，在相邻开口121之间还可以包括其他遮挡区。如图8所示，在两个开口121之间还包括第三遮挡区1273。第三遮挡区1273内同样可以包括应力分散条150，用于缓解第三遮挡区1273内的应力。沿掩膜条120第一方向X的中线，第三遮挡区1273内的应力分散条150对称，可以进一步地使掩膜条120两端的张网拉力在应力分散条150的作用下分布比较一致，从而可以降低掩膜条120两端的张网拉力分布不同导致掩膜条120产生褶皱的现象。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims

1.一种掩膜版，其特征在于，包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部；

2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一弹性连接部的数量与所述掩膜条的数量相等，每一所述掩膜条第一方向的一个端部与一个所述第一弹性连接部连接。

3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，沿所述第一方向，所述掩膜条包括相对设置的第一端部和第二端部，所述掩膜版框架包括相对设置的第一边框和第二边框；所述第一弹性连接部包括固定部和弹性部，所述第一弹性连接部的固定部固定于所述第一边框上，所述第一弹性连接部的弹性部与对应的所述掩膜条的第一端部固定连接，所述掩膜条的第二端部与所述第二边框固定连接。

4.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜条为至少两条，所述掩膜版还包括至少一条支撑条和至少一个第二弹性连接部，所述支撑条固定于所述掩膜版框架上，并位于相邻所述掩膜条之间，所述支撑条与所述掩膜条平行设置；

5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，沿所述第二方向，所述掩膜版框架包括相对设置的第三边框和第四边框；所述第二弹性连接部包括固定部和弹性部，所述第二弹性连接部的固定部固定于所述第三边框或所述支撑条上，所述第二弹性连接部的弹性部与所述掩膜条的第三端部固定连接；所述掩膜条的第四端部与所述第四边框或所述支撑条固定连接。

6.根据权利要求1或4所述的掩膜版，其特征在于，所述第一弹性连接部和/或所述第二弹性连接部为笔形涡卷弹簧；所述弹性连接部包括固定部和弹性部，所述固定部为所述笔形涡卷弹簧的笔形外壳，所述弹性部为所述笔形涡卷弹簧的卷簧。

7.根据权利要求6所述的掩膜版，其特征在于，所述笔形涡卷弹簧的卷簧材料为金属；所述笔形涡卷弹簧的卷簧的宽度与连接的所述掩膜条的端部宽度相等。

8.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜条包括蒸镀区和遮挡区；所述遮挡区设置有多条应力分散条，所述应力分散条的延伸方向与所述掩膜条的长度方向相交。

9.根据权利要求8所述的掩膜版，其特征在于，所述遮挡区包括第一遮挡区和第二遮挡区，所述第一遮挡区设置于所述蒸镀区靠近所述掩膜条第一方向的第一端部的一侧，所述第二遮挡区设置于所述蒸镀区靠近所述掩膜条第一方向的第二端部的一侧；

10.根据权利要求9所述的掩膜版，其特征在于，沿所述掩膜条的第一端部指向所述蒸镀区的方向，所述第一遮挡区的多条应力分散条的长度依次减小；沿所述掩膜条的第二端部指向所述蒸镀区的方向，所述第二遮挡区的多条应力分散条的长度依次减小。