WO2022083209A1

WO2022083209A1 - 掩膜板的修复方法

Info

Publication number: WO2022083209A1
Application number: PCT/CN2021/109402
Authority: WO
Inventors: 刘景涛
Original assignee: 云谷（固安）科技有限公司
Priority date: 2020-10-21
Filing date: 2021-07-29
Publication date: 2022-04-28
Also published as: US20230160053A1; CN112251715A; CN112251715B

Abstract

一种掩膜板（1）的修复方法，掩膜板（1）包括具有开口的框式框架（11）、多个第一遮挡条（14）和多个掩膜条（12），框式框架（11）包括在第一方向（X）上相对的左边框（111）和右边框（112），以及在第二方向（Y）上相对的上边框（113）和下边框（114），第一遮挡条（14）及掩膜条（12）固定于上边框（113）和下边框（114）。修复方法包括：识别掩膜条变形区（A），包括将掩膜板（1）中具有沿第二方向（Y）上的外扩变形的掩膜条（13）的区域识别为掩膜条变形区（A）；替换遮挡条，包括对第二遮挡条（16）进行张网处理，用第二遮挡条（16）替换掩膜条变形区（A）中的至少部分第一遮挡条（14）并连接至上边框（113）和下边框（114），使外扩变形掩膜条（13）沿第二方向（Y）向开口内回缩。

Description

掩膜板的修复方法

相关申请的交叉引用

本申请要求享有于2020年10月21日提交的名称为“掩膜板的修复方法”的中国专利申请第202011133646.9号的优先权，该申请的全部内容通过引用并入本文中。

技术领域

本申请涉及掩膜板设备技术领域，具体涉及一种掩膜板的修复方法。

背景技术

通常制备有机发光二极管(OLED,Organic Light-Emitting Diode)显示面板过程中蒸镀工艺为制备OLED显示面板的核心工艺之一。掩膜板的蒸镀过程中，蒸镀材料蒸镀到蒸镀基板上的待蒸镀区的蒸镀精度对蒸镀效果有重要影响。蒸镀过程中蒸镀材料蒸镀到蒸镀基板的待蒸镀区时，蒸镀精度低会导致在待蒸镀区上出现蒸镀材料镀偏的现象，造成OLED显示面板的混色问题，进而影响显示面板的显示效果。

在蒸镀过程中，掩膜板上的掩膜条发生变形从而使得掩膜条上的多个图案蒸镀区发生变形，影响蒸镀精度。一般采用替换变形的掩膜条的方法提高蒸镀精度，但是掩膜条价格较高，替换掩膜条所需时间长，使显示面板成本高且生产效率低。

因此急需一种新型的掩膜板的修复方法。

发明内容

本申请实施例提供一种掩膜板的修复方法，旨在降低掩膜板修复过程的成本以及缩短修复时间，从而提高显示面板生产的效率，降低显示面板生产成本。

本申请实施例提供一种掩膜板的修复方法，掩膜板包括具有开口的框式框架、多个第一遮挡条和多个掩膜条，框式框架包括在第一方向上相对的左边框和右边框，以及在第二方向上相对的上边框和下边框，第一遮挡条及掩膜条固定于上边框和下边框，所述方法包括：

识别掩膜条变形区，掩膜板中具有沿第二方向上外扩变形的掩膜条的区域识别为掩膜条变形区；

替换遮挡条，对第二遮挡条进行张网处理，用第二遮挡条替换掩膜条变形区中的至少部分第一遮挡条，并连接至上边框和下边框，使外扩变形掩膜条沿第二方向向内回缩。

根据本申请实施例的前述任一实施方式，替换遮挡条的步骤中：

根据掩膜条变形区中沿第二方向外扩变形的掩膜条的外扩变形量通过数据库确定第二遮挡条的数量。实现对沿第二方向外扩变形的掩膜条更准确的向内回缩修复，使沿第二方向外扩变形的掩膜条在第二方向修复到不具有形变的状态。

根据本申请实施例的前述任一实施方式，替换遮挡条的步骤中，

在第二遮挡条张网处理过程中控制对第二遮挡条施加的沿第二方向的拉力，使第二遮挡条连接于上边框和下边框时，外扩变形的掩膜条沿第二方向向内回缩至在第二方向上不具有形变的状态，且在掩膜条变形区中，从第二遮挡条向左边框方向间隙分布的掩膜条与从第二遮挡条向右边框方向间隙分布的掩膜条相向外凸变形。从而掩膜条在第一方向具有外扩预变形，对在实际的蒸镀过程中因为掩膜版下垂造成的掩膜条在第一方向具有的内凹变形进行补偿，提高蒸镀精度。

本申请实施例提供掩膜板的修复方法，包括识别掩膜条变形区以及替换遮挡条的步骤。在替换遮挡条的步骤中，通过第二遮挡条对掩膜板的上边框和下边框提供的相互靠拢的拉力，使得沿第二方向外扩形变掩膜条沿第二方向向内回缩，从而使得沿第二方向具有外扩形变的掩膜条至少恢复到沿第二方向不具有形变尤其是不具有外扩形变的状态，由此掩膜条上的图案蒸镀区恢复到沿第二方向不具有形变尤其是不具有外扩形变的状态。经过本申请实施例提供的掩膜板修复方法修复的掩膜板，掩膜板中的掩膜条沿第二方向不具有外扩形变，提高了蒸镀过程的蒸镀精度。本申请实施例提供的掩膜板修复方法避免蒸镀材料蒸镀到蒸镀基板上时出现蒸镀材料镀偏的现象，从而避免显示面板出现混色等问题，优化显示面板的显示效果。在本申请中，只是通过替换第二遮挡条而非直接替换具有沿第二方向外扩形变的掩膜条对掩膜板实现修复。由于遮挡条的价格远低于掩膜条的价格，因此采用本申请实施例提供的掩膜板的修复方法可以大大节约掩膜板修复过程的材料成本。在掩膜板变形区中可以通过替换部分的遮挡条就可以实现对掩膜板的修复，无需替换所有的遮挡条。本申请实施例中掩膜板的修复方法相比普通的替换所有具有沿第二方向外扩形变的掩膜条的掩膜板修复方法所需的时间更短。本申请实施例中掩膜板的修复方法一方面，无需替换所有的遮挡条；另一方面，替换遮挡条相比替换掩膜条所需的张网处理对位时间更短，遮挡条张网处理对位过程更简单，使得掩膜板整体修复的时间成本降低。本申请实施例中掩膜板的修复方法在整体上缩短掩膜板在多次使用过程中的修复时间，提高掩膜板的修复效率进而提高制备生产多个显示面板的效率，提升显示面板的产能。

附图说明

下面将参考附图来描述本申请示例性实施例的特征、优点和技术效果，其中的附图并未按照实际的比例绘制。

图1是本申请一实施例中掩膜板的修复方法的流程示意图；

图2是采用本申请的一实施例中掩膜版的修复方法修复得到的掩膜板的结构示意图；

图3是采用本申请的另一实施例中掩膜板的修复方法修复得到的掩膜板的结构示意图；

图4是一种未进行修复的掩膜板的结构示意图。

具体实施方式

下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本申请的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以避免对本申请造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。

为了更好地理解本申请，下面结合附图对本申请实施方式提供的掩膜板的修复方法进行详细描述。

发明人在长期研究过程中发现：在蒸镀过程中，温度变化引起掩膜条外扩变形；掩膜板制作时，对掩膜条张网处理施力存在偏差也会引起掩膜条外扩变形。在蒸镀过程中，掩膜板上的掩膜条沿张网处理拉伸方向的外扩变形较常见。当掩膜条在使用过程中发生上述沿拉伸方向的外扩变形时，掩膜板上的图案蒸镀区外扩偏位，导致掩膜板与蒸镀基板对位不准，使蒸镀精度低，容易出现蒸镀材料镀偏的问题。为防止蒸镀效果不佳，一般需要对上述外扩变形的掩膜条进行拆卸，用新的掩膜条替换上述外扩变形的掩膜条以实现对掩膜板的修复。即一般需要对沿第二方向Y(具体可参见图2)外扩变形的掩膜条进行拆卸，替换新的掩膜条以实现对掩膜板的修复。但是掩膜条价格高，且重新将替换掩膜条张网处理对位设置在掩膜板的框架上所需时间长。替换多条变形的掩膜板会极大增大蒸镀过程的时间成本以及材料费用，从而增大显示面板的生产成本，降低显示面板的生产效率。

鉴于此，发明人提出本申请，下面结合图1至图4，对本申请实施例中掩膜板1的修复方法进行详细展开说明。

本申请实施例提供掩膜板1的修复方法，包括：

S110，识别掩膜条变形区A，掩膜板1中具有沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的区域识别为掩膜条变形区A。

具体的，掩膜板1包括具有开口的框式框架11、多个第一遮挡条 14、多个掩膜条12，框式框架11包括在第一方向X上相对的左边框111和右边框112，以及在第二方向Y上相对的上边框113和下边框114，多个第一遮挡条14及多个掩膜条12固定于上边框113和下边框114。

S120，替换遮挡条，对第二遮挡条16张网处理，用第二遮挡条16替换掩膜条变形区A中的至少部分第一遮挡条14，第二遮挡条16连接于上边框113和下边框114，使沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩。

具体的，在本申请实施例的掩膜板1中，多个第一遮挡条14沿第一方向X间隔分布，且每个第一遮挡条14连接设置于上边框113和下边框114。掩膜条12对应设置在相邻两个第一遮挡条14形成的间隙处，且掩膜条12也连接设置于上边框113和下边框114。掩膜条12上设置有多个沿第二方向Y分布的图案蒸镀区15，图案蒸镀区15上设置有多个像素开口，图2中未示出多个像素开口。

需要说明的是，图2以及图4仅作为示例示出一种掩膜条变形区的情况。可以理解的是，在一些实施例中掩膜条变形区A位于掩膜板1的任意位置，例如位于掩膜板1的中心部位，或位于掩膜板1在第一方向X上的左侧部位，或位于掩膜板1在第一方向X上的右侧部位。在另一些实施例中，掩膜条变形区A中包括沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13以及沿第二方向Y不具有外扩变形的掩膜条。在还一些实施例中，掩膜板中包括一个或者多个掩膜条变形区A。

本申请替换遮挡条的S110步骤中，首先对第二遮挡条16进行张网处理，即第二遮挡条16会产生沿第二方向Y向外拉伸的力。当第二遮挡条16替换掩膜条变形区A中的至少部分第一遮挡条14且连接于上边框113和下边框114上时，第二遮挡条16会产生沿第二方向Y向内回缩的力，从而带动上边框113和下边框114产生沿第二方向Y向内回缩的力，进一步使沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩。

本申请实施例提供掩膜板1的修复方法，包括识别掩膜条变形区A的S110步骤以及替换遮挡条的S120步骤。通过第二遮挡条16对掩膜板1的上边框113和下边框114提供相互靠拢的拉力，使得沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩，从而使得沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13至少恢复到沿第二方向Y不具有形变尤其是不具有外扩形变的状态，由此掩膜条上的图案蒸镀区15恢复到沿第二方向Y不具有形变尤其是不具有外扩形变的状态。经过该修复方法修复的掩膜板1中的掩膜条12沿第二方向Y不具有外扩形变，提高蒸镀过程的蒸镀精度，从而避免蒸镀材料蒸镀到蒸镀基板上时出现蒸镀材料镀偏的现象从而避免显示面板出现混色等问题，优化显示面板的显示效果。通过用第二遮挡条16替换第一遮挡条14，而非直接替换沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13对掩膜板1实现修复。由于第二遮挡条16的价格远低于掩膜条12的价格，因此采用本申请实施例提供的掩膜板1的修复方法可以大大节约掩膜板1修复过程的材料成本。且在掩膜条变形区A中可以通过替换部分的第一遮挡条14就可以实现对掩膜板1的修复，无需替换所有的第一遮挡条14。在本申请实施例中掩膜板1的修复过程相比普通的替换所有沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的掩膜板1修复过程所需的张网处理对位时间更短，第二遮挡条16张网处理对位过程更简单，掩膜板1整体修复时间成本降低。本申请实施例中掩膜板1的修复过程缩短掩膜板1在多次使用过程中的修复时间，提高掩膜板1的修复效率，进而提高制备多个显示面板的效率，提升显示面板的产能。

在一些可选的实施例中，识别掩膜条变形区A的S110步骤中，

掩膜条变形区A包括在第一方向X上连续间隙分布的n条第一遮挡条14以及对应设置于间隙的n-1条沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13，其中n大于或等于2。在这些实施例中，将掩膜板1中沿第一方向X上连续间隙分布的具有沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13以及设置在每条沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13左右两侧的第一遮挡条14识别为一个掩膜条变形区A。在该掩膜条变形区A中用第二遮挡条16对至少部分的第一遮挡条14进行替换，使得第二遮挡条16向上边框113和下边框114提供相对靠拢的拉力。继而上边框113和下边框114沿第二方向Y进行向内的相对靠拢过程中，直接带动连续间隙分布的沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y朝向开口内回缩，可以更快速准确地调节沿第二方向 Y外扩变形的掩膜条13的变形状态。

在一些可选的实施例中，替换遮挡条的S120步骤中：

第二遮挡条16以掩膜条变形区A在第一方向X上的中心线为对称轴对称分布。

在这些实施例中，第二遮挡条16设置在掩膜板1上时，以掩膜条变形区A在第一方向X上的中心线为对称轴，对称分布于掩膜条变形区A中。第二遮挡条16为掩膜板1的上边框113以及下边框114提供拉力，该拉力以掩膜条变形区A在第一方向X上的中心线为对称轴，对称分布于掩膜条变形区A。从而，各第二遮挡条16向上边框113和下边框114提供相对靠拢的拉力基本相同。上边框113和下边框114在掩膜条变形区A中的部分在第二遮挡条16施力作用下，上边框113和下边框114均发生朝向开口内的位移，从而带动掩膜条变形区A中沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13均沿第二方向Y朝向开口内进行回缩复位。改善沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13原有的外扩形变带来的图案蒸镀区15外扩偏位，掩膜板1与蒸镀基板对位不准，蒸镀过程中蒸镀精度低的问题。第二遮挡条16是对称分布于掩膜条变形区A中，使得在掩膜条变形区A内第二遮挡条16对上边框113和下边框114提供的作用力以掩膜条变形区A在第一方向X上的中心线为对称轴左右对称，更有利于带动掩膜条变形区A中沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13均沿第二方向Y朝向开口内进行回缩复位。

在一些可选的实施例中，替换遮挡条的S120步骤中：

第二遮挡条16位于掩膜条变形区A在第一方向X上的中心部位。第二遮挡条16对位于掩膜条变形区A中心部位的上边框113和下边框114提供相对靠拢的拉力，则位于掩膜条变形区A左、右两侧的外扩变形掩膜条13均可沿第二方向Y向内回缩。

在一些可选的实施例中，替换遮挡条的S120步骤中：

至少两条第二遮挡条16位于中心部位且在第一方向X上连续间隙分布。由于第二遮挡条16位于中心部位且间隙分布，此种设置方式有利于对上边框113和下边框114提供相对靠拢的拉力，能轻松带动外扩变形掩膜条13均可沿第二方向Y向内回缩。

在一些可选的实施例中，替换遮挡条的S120步骤中：

使至少一条替换的掩膜条12替换至少一条位于中心部位的掩膜条，且替换的掩膜条12设置于中心部位处的相邻第二遮挡条16之间。可以在合理控制成本的情况下，提高掩膜板修复过程的效率。在一些示例中，位于中心部位的掩膜条为沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13。

在这些实施例的一些示例中，替换遮挡条的S120步骤中：

首先，在掩膜条变形区A在第一方向X上的中心部位处撕离至少一条沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13。

继而，撕离位于上述沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13左右两侧相邻设置的第一遮挡条14。

再者，将第二遮挡条16张网处理对位连接设置于上边框113和下边框114，且第二遮挡条16在掩膜板1上设置的位置与上述已经撕离的第一遮挡条14在掩膜板1上设置的位置相同。

最后，先将替换的掩膜条12张网处理对位连接设置于上边框113和下边框114，且替换的掩膜条12在掩膜板1上设置的位置与上述已经撕离的掩膜条在掩膜板1上设置的位置相同。在替换掩膜条的过程中对掩膜板1的框式框架11施加对抗作用力，使得替换的掩膜条12连接设置于上边框113和下边框114时掩膜条12因张网处理过程产生的拉应力被对抗作用力抵消。最终替换的掩膜条12固定设置于上边框113和下边框114时，不对框式框架11施加沿第二方向Y的作用力，即替换的掩膜条12不使框架在第二方向Y具有形变。

因为在这些示例中，第一遮挡条14位于掩膜条12的下方，直接撕离第一遮挡条14的难度较大，因此可以在该些示例中选择先撕离少量例如一条沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13，再撕离第一遮挡条14的方式提高替换遮挡条的S120步骤的效率。

在一些可选的实施例中，该修复方法还包括建立数据库，数据库包括掩膜条变形区A中沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的外扩变形量、第二遮挡条16张网处理过程中对第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力值和第二遮挡条16的数量这三者之间的三维曲线。

替换每一第一遮挡条14对第二遮挡条16进行张网处理对位过程中，对第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉伸作用力基本一致时，则在掩膜条变形区A中替换遮挡条后，第二遮挡条16的数量与全体第二遮挡条16向上边框113和下边框114提供相对靠拢的拉力呈正相关。从而第二遮挡条16的数量与沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩的回缩形变量呈正相关。沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的外扩变形量与沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y需要向内回缩的回缩形变量呈正相关。

当第二遮挡条16的数量不变时，第二遮挡条16张网处理过程中对第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力值与沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩的回缩形变量呈正相关。而沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的外扩变形量与沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y需要向内回缩的回缩形变量呈正相关。

建立数据库的步骤可以在识别掩膜条变形区A的S110步骤之前进行，并且该数据库是反复实验所得，具有准确性和参考性，实验条件和参数与对掩膜板进行修复时的条件和参数相同或大致相似。

在一些可选的实施例中，替换遮挡条的S120步骤中：

根据掩膜条变形区A中沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的外扩变形量，通过数据库确定替换设置于掩膜条变形区A中的第一遮挡条14的数量。在本实施例中，确定掩膜条变形区A中、沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的外扩变形量后，通过在数据库中查找数据，从而确定需要被替换的设置于掩膜条变形区A中的第一遮挡条14的数量，以控制沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩至掩膜条在第二方向Y上不具有形变的状态。

在一些可选的实施例中，替换遮挡条的S120步骤中：

根据掩膜条变形区A中沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的外扩变形量，通过数据库确定第二遮挡条16张网处理过程中、对第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力值。在本实施例中，确定掩膜条变形区A中沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的外扩变形量后，通过在数据库中查找数据，从而确定第二遮挡条16张网处理过程中对第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力值，以控制沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩至掩膜条在第二方向Y上不具有形变的状态。

在一些可选的实施例中，请参见图2，替换遮挡条的S120步骤中，

在第二遮挡条16张网处理过程中控制对第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力，使第二遮挡条16连接于上边框113和下边框114时，沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩至掩膜条在第二方向Y上不具有形变的状态。

在这些实施例中，掩膜板1经本申请实施例提供的掩膜板的修复方法，通过控制对第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力，控制第二遮挡条16连接设置于上边框113和下边框114时，第二遮挡条16向上边框113和下边框114提供相对靠拢的拉力，从而控制上边框113和下边框114相对靠拢过程中朝向框式框架11开口内的位移量，继而控制沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩的回缩变形量。

在一些可选的实施例中，请参见图3，替换遮挡条的S120步骤中，

在第二遮挡条16张网处理过程中控制对第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力，使第二遮挡条16连接于上边框113和下边框114时，沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩至在第二方向Y上不具有形变的状态。

且，在掩膜条变形区A中，从第二遮挡条16向左边框111方向间隙分布的掩膜条12与从第二遮挡条16向右边框112方向间隙分布的掩膜条12相向外凸变形。

在这些实施例中，发明人进一步研究发现，在蒸镀过程中，蒸镀装置中的冷却板会下压蒸镀基板，蒸镀基板以及掩膜板1都受到冷却板的压力且在蒸镀过程中由于蒸镀基板和掩膜板1受自身重力作用，使得掩膜板1以及与之对位贴合的蒸镀基板都具有下垂的现象。由于掩膜板1和蒸镀基板对位贴合接触设置，蒸镀基板位于掩膜板1的上侧，因此当掩膜板1和蒸镀基板均下垂时，蒸镀基板对掩膜板1施加在第一方向X上、方向相反的挤压作用力以及施加在第一方向X上、方向相反的摩擦力。在上述摩擦力以及挤压作用力的作用下，掩膜板1自身在第一方向X上产生对应的方向相反的挤压应力和摩擦应力。又在该挤压应力以及摩擦应力的作用下掩膜板1上的掩膜条12发生相对形变。即，以掩膜板1于第一方向X上的中心线为对称轴对称分布的掩膜条12，发生朝向掩膜板1于第一方向X上的中心线的内凹形变。蒸镀材料蒸镀到蒸镀基板上的待蒸镀区时出现镀偏现象，即蒸镀后蒸镀材料镀膜精度低，使OLED显示面板显示过程中呈现混色等不良显示效果。

如图3所示，在这些实施例中，在替换遮挡条的步骤中控制对第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力，使第二遮挡条16连接于上边框113和下边框114时，外扩变形的掩膜条即沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩至在第二方向Y上不具有形变的状态。且，在掩膜条变形区A中，从第二遮挡条16向左边框111方向间隙分布的掩膜条12与从第二遮挡条16向右边框112方向间隙分布的掩膜条12相向外凸变形。则使得掩膜板1上的掩膜条12具有沿第一方向X的补偿预变形，该补偿预变形与蒸镀过程中因掩膜板1下垂造成沿第一方向X的变形相抵，从而避免掩膜板1在蒸镀过程中因为具有沿第一方向X的变形而出现蒸镀偏位，蒸镀过程蒸镀精度低，显示面板显示出现混色等问题。

请参见图4，图4示出了一个示例中一种未进行修复的掩膜板的结构示意图，在该示例中掩膜板1的修复方法包括：

S110：识别掩膜条变形区A，掩膜板1包括具有开口的框式框架11、多个第一遮挡条14、多个掩膜条12，框式框架11包括在第一方向X上相对的左边框111和右边框112，以及在第二方向Y上相对的上边框113和下边框114，多个第一遮挡条14及多个掩膜条12固定于上边框113和下边框114，掩膜板1中3条沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13的区域识别为掩膜条变形区A。

示例性的，以掩膜条变形区A中有3条沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13为例。

S120：替换遮挡条，对第二遮挡条16进行张网处理，使2条第二遮挡条16替换掩膜条变形区A中的2条第一遮挡条14，第二遮挡条16连接于上边框113和下边框114设置，且向上边框113和下边框114提供相对靠拢的拉力，使3条沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩。

在该示例中，选择替换掉位于掩膜条变形区A在第一方向X上的中心部位的两条第一遮挡条14。

示例性的，本实施例以用第二遮挡条16替换掩膜条变形区A中的2条第一遮挡条14为例进行阐述。

在一个具体例子中，请一并参见图2及图4，在替换遮挡条的S120步骤中，在第二遮挡条16张网处理过程中控制对上述2条第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力，使第二遮挡条16连接于上边框113和下边框114时，沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩至在第二方向Y上不具有形变的状态，即从沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13变为在第二方向Y上不具有形变的掩膜条12。

在另一个具体例子中，请一并参见图3及图4，替换遮挡条的S120步骤中，在第二遮挡条16张网处理过程中控制对上述2条第二遮挡条16施加的沿第二方向Y的拉力，使第二遮挡条16连接于上边框113和下边框114时，沿第二方向Y外扩变形的掩膜条13沿第二方向Y向内回缩至在第二方向Y上不具有形变的状态，且在掩膜条变形区A中，从第二遮挡条16向左边框111方向间隙分布的掩膜条12与从第二遮挡条16向右边框112方向间隙分布的掩膜条12在第一方向X上相向外凸变形。

本领域技术人员应能理解，上述实施例均是示例性而非限制性的。在不同实施例中出现的不同技术特征可以进行组合，以取得有益效果。本领域技术人员在研究附图、说明书及权利要求书的基础上，应能理解并实现所揭示的实施例的其他变化的实施例。权利要求中出现的多个部分的功能可以由一个单独的硬件或软件模块来实现。某些技术特征出现在不同的从属权利要求中并不意味着不能将这些技术特征进行组合以取得有益效果。

Claims

一种掩膜板的修复方法，所述掩膜板包括具有开口的框式框架、多个第一遮挡条和多个掩膜条，所述框式框架包括在第一方向上相对的左边框和右边框，以及在第二方向上相对的上边框和下边框，所述第一遮挡条及所述掩膜条固定于所述上边框和下边框，所述方法包括：

识别掩膜条变形区，包括将所述掩膜板中具有沿所述第二方向上外扩变形的掩膜条的区域识别为所述掩膜条变形区；

替换遮挡条，包括对第二遮挡条进行张网处理，用所述第二遮挡条替换所述掩膜条变形区中的至少部分所述第一遮挡条，并连接至所述上边框和所述下边框，使所述外扩变形掩膜条沿所述第二方向向所述开口内回缩。
根据权利要求1所述的修复方法，其中，所述替换遮挡条的步骤中：

所述第二遮挡条以所述掩膜条变形区在所述第一方向上的中心线为对称轴对称分布。
根据权利要求1或2所述的修复方法，其中，所述替换遮挡条的步骤中：

所述第二遮挡条位于所述掩膜条变形区在所述第一方向上的中心部位。
根据权利要求3所述的修复方法，其中，所述替换遮挡条的步骤中：

至少两条所述第二遮挡条位于所述中心部位且在所述第一方向上连续间隙分布。
根据权利要求4所述的修复方法，其中，所述替换遮挡条的步骤中：

使至少一条替换的掩膜条替换至少一条位于所述中心部位的所述外扩变形掩膜条，且所述替换的掩膜条设置于所述中心部位处的相邻所述第二遮挡条之间。
根据权利要求5所述的修复方法，其中，所述使至少一条替换的掩膜条替换至少位于所述中心部位的所述外扩变形掩膜条的步骤包括：

在所述掩膜条变形区于所述第一方向上的所述中心部位处撕离至少一条沿所述第二方向变形的所述外扩变形掩膜条；

撕离所述外扩变形掩膜条左右两侧相邻设置的所述第一遮挡条；

将所述第二遮挡条张网处理对位连接设置于所述上边框和所述下边框，所述第二遮挡条在所述掩膜板上设置的位置与已撕离的所述第一遮挡条在所述掩膜板上设置的位置相同；

将所述替换的掩膜条张网处理对位连接设置于所述上边框和所述下边框，所述替换的掩膜条在所述掩膜板上设置的位置与已经撕离的所述外扩变形掩膜条在所述掩膜板上设置的位置相同。
根据权利要求1所述的修复方法，包括：

建立数据库，所述数据库包括所述掩膜条变形区中沿所述第二方向外扩变形的掩膜条的外扩变形量、所述第二遮挡条张网处理过程中对所述第二遮挡条施加的沿所述第二方向的拉力值和所述第二遮挡条的数量这三者之间的三维曲线。
根据权利要求7所述的修复方法，其中，所述替换遮挡条的步骤中：

根据所述掩膜条变形区中沿所述第二方向外扩变形的掩膜条的外扩变形量通过所述数据库确定所述第二遮挡条的数量。
根据权利要求7所述的修复方法，其中，所述替换遮挡条的步骤中：

根据所述掩膜条变形区中沿所述第二方向外扩变形的掩膜条的外扩变形量通过所述数据库确定所述第二遮挡条张网处理过程中对所述第二遮挡条施加的沿所述第二方向的拉力值。
根据权利要求1所述的修复方法，其中，所述替换遮挡条的步骤中，

在所述第二遮挡条张网处理过程中控制对所述第二遮挡条施加的沿所述第二方向的拉力，

使所述第二遮挡条连接于所述上边框和所述下边框时，所述外扩变形的掩膜条沿所述第二方向向内回缩至在所述第二方向上不具有形变的状态。
根据权利要求1所述的修复方法，其中，所述替换遮挡条的步骤中，

在所述第二遮挡条张网处理过程中控制对所述第二遮挡条施加的沿所述第二方向的拉力，使所述第二遮挡条连接于所述上边框和所述下边框时，

所述外扩变形的掩膜条沿所述第二方向向内回缩至在所述第二方向上不具有形变的状态，且在所述掩膜条变形区中，从所述第二遮挡条向所述左边框方向间隙分布的所述掩膜条与从所述第二遮挡条向所述右边框方向间隙分布的所述掩膜条相向外凸变形。
根据权利要求1所述的修复方法，其中，所述识别掩膜条变形区的步骤中，

所述掩膜条变形区包括在所述第一方向上连续间隙分布的n条所述第一遮挡条以及对应设置于间隙的n-1条沿所述第二方向外扩变形的所述外扩变形掩膜条，其中n大于或等于2。