CN207109081U - 一种掩模板 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种掩模板，以简化掩模板的制作过程，缩短掩模板的制作时间，提高自动化制作掩模板时的运行流畅性。本申请提供的掩模板，包括：框架以及固定在所述框架之上沿第一方向延伸的多条掩模条，所述掩模板还包括多条延伸方向与所述掩模条延伸方向相同的遮挡条，所述遮挡条设置于相邻掩模条之间的间隙处，其中，每一所述遮挡条具有平行于所述第一方向的第一边框，且每一所述遮挡条均在其延伸方向的两端各设置一个第一定位孔，部分或全部所述遮挡条在垂直于所述第一方向上的宽度彼此不相同，任意所述遮挡条的所述第一定位孔中心距该所述遮挡条的所述第一边框的距离均在第一阈值范围内。

Description

一种掩模板

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种掩模板。

背景技术

目前的显示类型主要包括液晶显示(Liquid Crystal Display，LCD)、有机发光二极管显示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)、等离子显示(Plasma Display Panel，PDP)和电子墨水显示等多种。其中，OLED显示器以其轻薄、主动发光、快响应速度、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为是继LCD显示器之后的第三代显示技术，可以广泛用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。

精细金属掩膜(FMM Mask)模式，是通过蒸镀方式将有机发光材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅背板上，利用精细掩模板上的图形，蒸镀红绿蓝有机物到规定位置上。目前的精细掩模板通常包括多个平行排列的掩模条，每一掩模条上设置有多个用于蒸镀像素材料的开口，此外，掩模板还包括与掩模条的延伸方向相同，用于遮挡相邻两个掩模条之间间隙的遮挡条，以及与掩模条的延伸方向垂直，用于支撑掩模条的支撑条。遮挡条以及支撑条都需要焊接在框架上。

现有技术中在制作精细掩模板时，通常是先将遮挡条放置在承载台上的对齐槽中，以保证遮挡条基本保持沿同一方向放置，方便统一夹取；之后，通过激光照射预设感应区域，在感应到有遮挡条时，将遮挡条转移到对位基台上，并通过遮挡条上的定位孔使遮挡条处于对位基台上的预设位置以进行拉伸；最后，将遮挡条转移到框架上，完成遮挡条与框架的焊接，支撑条的制作也相同。但现有技术的存在多种宽度不同的遮挡条，而将不同宽度的遮挡条由承载台转移到对位基台时，都是通过夹子夹取遮挡条的两边进行等距离转移，而遮挡条的定位孔一般都设置在垂直于遮挡条延伸方向的中部位置，而在对位基台上的图像传感器(Charge-coupled Device，CCD)下通过定位孔进行对位时，会存在不同宽度遮挡条的定位孔不在CCD统一视野范围内的问题，需多次手动调整对位基台，对位较为困难，所需时间较长，降低了掩模板在自动化制作时的运行流畅性。

实用新型内容

本申请提供一种掩模板，以简化掩模板的制作过程，缩短掩模板的制作时间，提高自动化制作掩模板时的运行流畅性。

本申请实施例提供一种掩模板，包括：框架以及固定在所述框架之上沿第一方向延伸的多条掩模条，每一所述掩模条上设置有多个开口，所述掩模板还包括多条延伸方向与所述掩模条延伸方向相同的遮挡条，所述遮挡条设置于相邻掩模条之间的间隙处，用于遮挡相邻所述掩模条之间的空隙，其中，

每一所述遮挡条具有平行于所述第一方向的第一边框，且每一所述遮挡条均在其延伸方向的两端各设置一个第一定位孔，部分或全部所述遮挡条在垂直于所述第一方向上的宽度彼此不相同，任意所述遮挡条的所述第一定位孔中心距该所述遮挡条的所述第一边框的距离均在第一阈值范围内。

优选的，任意所述遮挡条的所述第一定位孔中心距该所述遮挡条的所述第一边框的距离均为第一预设值，所述第一预设值为所述第一阈值范围内的一确定值。

优选的，所述掩模板还包括多条延伸方向与所述掩模条延伸方向垂直的支撑条，用于支撑所述掩模条，其中，

每一所述支撑条具有与所述第一方向垂直的第二边框，且每一所述支撑条均在其延伸方向的两端各设置一个第二定位孔，部分或全部所述支撑条在所述第一方向上的宽度彼此不相同，任意所述支撑条的所述第二定位孔中心距该所述支撑条的所述第二边框的距离均在第二阈值范围内。

优选的，任意所述支撑条的所述第二定位孔中心距该所述支撑条的所述第二边框的距离均为第二预设值，所述第二预设值为所述第二阈值范围内的一确定值。

优选的，每一所述遮挡条在延伸方向的两端还各设置有一个第三定位孔，同一端的所述第三定位孔和所述第一定位孔关于所述遮挡条的平行于所述第一方向的中轴线对称；

每一所述支撑条在延伸方向的两端还各设置有一个第四定位孔，同一端的所述第四定位孔和所述第二定位孔关于所述支撑条的垂直于所述第一方向的中轴线对称。

优选的，所述掩模板还包括与所述遮挡条同层且平行设置的特定遮挡条，所述特定遮挡条包括：遮挡条主体和位于所述遮挡条主体两侧的遮挡条支体，所述遮挡条主体在垂直于所述第一方向上的宽度大于所述遮挡条支体在垂直于所述第一方向上的宽度；所述遮挡条主体具有平行于所述第一方向的第一特定边框，且每一所述遮挡条主体均在延伸方向的两端各设置一个第一特定定位孔；任意所述特定遮挡条的所述第一特定定位孔中心距该所述特定遮挡条的所述第一特定边框的距离均在第一阈值范围内；

所述掩模板还包括与所述支撑条同层且平行设置的特定支撑条，所述特定支撑条包括：支撑条主体和位于所述支撑条主体两侧的支撑条支体，所述支撑条主体在所述第一方向上的宽度大于所述支撑条支体在所述第一方向上的宽度；所述支撑条主体具有垂直于所述第一方向的第二特定边框，且每一所述支撑条主体均在延伸方向的两端各设置一个第二特定定位孔；任意所述特定支撑条的所述第二特定定位孔中心距该所述特定支撑条的所述第二特定边框的距离均在第二阈值范围内。

优选的，所述特定遮挡条还包括：设置在每一所述遮挡条支体远离所述遮挡条主体一侧的第一扩展部，所述第一扩展部在垂直于所述第一方向上的宽度为第一预设宽度，所述第一扩展部用于在制作过程中通过感应方式以将所述特定遮挡条转移到对位基台时，增大所述特定遮挡条被感应到的面积；

所述特定支撑条还包括：设置在每一所述支撑条支体远离所述支撑条主体一侧的第二扩展部，所述第二扩展部在所述第一方向上的宽度为第二预设宽度，所述第二扩展部用于在制作过程中通过感应方式以将所述特定支撑条转移到对位基台时，增大所述特定支撑条被感应到的面积。

优选的，将在垂直于所述第一方向上的宽度小于第三预设值的所述遮挡条作为子遮挡条，每一所述子遮挡条在第一预设区域还设置有第一感应部，所述第一感应部用于在制作过程中通过感应方式以将所述子遮挡条转移到对位基台时，增大所述子遮挡条被感应到的面积，所述第一预设区域为所述子遮挡条的与转移该所述遮挡条时的预设感应区域相对应的区域；

将在所述第一方向上的宽度小于第四预设值的所述支撑条作为子支撑条，每一所述子支撑条在第二预设区域还设置有第二感应部，所述第二感应部用于在制作过程中通过感应方式以将所述子支撑条转移到对位基台时，增大所述子支撑条被感应到的面积，所述第二预设区域为所述子支撑条的与转移该所述支撑条时的预设感应区域相对应的区域。

优选的，所述第一感应部为条状，与所述子遮挡条垂直固定；所述第二感应部为条状，与所述子支撑条垂直固定。

优选的，将在垂直于所述第一方向上的宽度小于第三预设值的所述遮挡条作为子遮挡条，所述子遮挡条在第三预设区域设置有两个相互间隔、且与该所述子遮挡条垂直的第一支撑部；在将所述子遮挡条放在用于对齐的第一对齐槽时，所述子遮挡条的所述第三预设区域位于所述第一对齐槽内，两个所述第一支撑部的一端分别与所述第一对齐槽的一个槽边接触，以在使所述子遮挡条放置在所述第一对齐槽时，所述子遮挡条的端部位于预设感应区域；

将在所述第一方向上的宽度小于第四预设值的每一所述支撑条作为子支撑条，所述子支撑条在第四预设区域还设置有两个相互间隔、与该所述子支撑条垂直的第二支撑部；在将所述子支撑条放在用于对齐的第二对齐槽时，所述子支撑条的所述第四预设区域位于所述第二对齐槽内，两个所述第二支撑部的一端分别与所述第二对齐槽的一个槽边接触，以在使所述子支撑条放置在所述第二对齐槽时，所述子支撑条的端部位于预设感应区域；

本申请实施例还提供一种掩模板的制作方法，用于制作本申请实施例提供的所述的掩模板，所述制作方法包括：

在每一所述遮挡条的延伸方向的两端各形成一个第一定位孔，其中，所述遮挡条具有平行于所述第一方向的第一边框，所述遮挡条的所述第一定位孔中心距该所述遮挡条的所述第一边框的距离在第一阈值范围内；

将所述遮挡条放置在对位基台上，在图像传感器的视野下，根据所述第一定位孔使所述遮挡条位于预设位置；

拉伸所述遮挡条并将所述遮挡条转移到框架上进行焊接；

将设置有多个开口的掩模条焊接在所述框架上，其中，所述掩模条的延伸方向与所述遮挡条的延伸方向相同，且所述遮挡条位于相邻所述掩模条之间的间隙处。

优选的，在将所述遮挡条放置在对位基台上之前，制作方法还包括：将所述遮挡条放置在承载台上的第一对齐槽中，并使所述遮挡条的延伸方向与所述第一对齐槽的延伸方向平行；

所述将所述遮挡条放置在对位基台上，具体包括：在感应部件在预设感应区域感应到所述遮挡条时，将放置在所述第一对齐槽中的所述遮挡条转移到所述对位基台上。

优选的，将在垂直于所述第一方向上的宽度小于第三预设值的所述遮挡条作为子遮挡条；

在将所述子遮挡条放置在承载台上的第一对齐槽中之前，所述制作方法还包括：在每一所述子遮挡条的第一预设区域设置用于扩大被感应面积的第一感应部；

所述在感应部件在预设感应区域感应到所述遮挡条时，将放置在所述第一对齐槽中的所述遮挡条转移到所述对位基台上，具体包括：在感应部件在预设感应区域感应到所述子遮挡条的所述第一感应部时，将放置在所述第一对齐槽中的所述子遮挡条转移到所述对位基台上。

优选的，将在垂直于所述第一方向上的宽度小于第三预设值的所述遮挡条作为子遮挡条；

在将多个所述子遮挡条放置在承载台上的第一对齐槽中之前，所述制作方法还包括：在所述子遮挡条的第三预设区域设置两个相互间隔、且与所述遮挡条垂直的第一支撑部；

所述将所述子遮挡条放置在承载台上的第一对齐槽中，并使所述遮挡条的延伸方向与所述第一对齐槽的延伸方向平行，具体包括：将两个所述第一支撑部的一端分别与所述第一对齐槽的一个槽边接触，以使所述子遮挡条延伸方向与所述第一对齐槽的延伸方向平行，进而所述子遮挡条的端部位于预设感应区域；

所述在感应部件在预设感应区域感应到所述遮挡条时，将放置在所述第一对齐槽中的所述遮挡条转移到所述对位基台上，具体包括：在感应部件在预设感应区域感应到所述子遮挡条的端部时，将放置在所述第一对齐槽中的所述子遮挡条转移到所述对位基台上。

优选的，所述掩模板还包括与所述遮挡条平行的特定遮挡条，所述特定遮挡条包括：遮挡条主体和位于所述遮挡条主体两侧的遮挡条支体，以及设置在每一所述遮挡条支体远离所述遮挡条主体一侧的第一扩展部，所述遮挡条主体在垂直于所述第一方向上的宽度大于所述遮挡条支体在垂直于所述第一方向上的宽度，所述第一扩展部在垂直于所述第一方向上的宽度为第一预设宽度；

在感应部件在预设感应区域感应到所述遮挡条，将放置在所述第一对齐槽中的所述遮挡条转移到所述对位基台上时，所述制作方法还包括：在感应部件在预设感应区域感应到所述特定遮挡条的所述第一扩展部时，将放置在所述第一对齐槽中的所述特定遮挡条转移到所述对位基台上。

本申请实施例有益效果如下：通过使不同宽度遮挡条的第一定位孔距第一边框的距离均在第一阈值范围内，进而可以在将遮挡条放置在对位基台定位时，对于制作具有多条不同宽度遮挡条的掩模板，可以较容易地在图像传感器统一的视野下找到对位孔，不需要多次手动调节对位基台，简化高精细掩模板的制作工艺，缩短高精细掩模板的制作时间，提高了掩模板在自动化制作时的运行流畅性。

附图说明

图1为本申请实施例一提供的掩模板的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的一种掩模板的整体结构示意图；

图3为本申请实施例二提供的掩模板的结构示意图；

图4为本申请实施例三提供的掩模板的结构示意图；

图5为本申请实施例四提供的掩模板的结构示意图；

图6为现有技术中掩模板与本申请实施例五提供的掩模板的对比示意图；

图7为现有技术中掩模板与本申请实施例六提供的掩模板的对比示意图；

图8为现有技术中掩模板与本申请实施例七提供的掩模板的对比示意图；

图9为本申请实施例八提供的掩模板的制作流程示意图；

图10为本申请实施例就提供的掩模板的具体制作流程示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本申请实施例的实现过程进行详细说明。需要注意的是，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

实施例一

参见图1，本申请实施例一提供一种掩模板，包括：多条沿第一方向(如图中箭头AB所指)延伸的遮挡条1，每一遮挡条1具有平行于第一方向的第一边框12，且每一遮挡条1均在延伸方向的两端各设置一个第一定位孔11；其中，部分或全部遮挡条1在垂直于第一方向上的宽度彼此不相同，任意遮挡条1的第一定位孔11中心距该遮挡条1的第一边框12的距离均在第一阈值范围内。同一遮挡条1的两个第一定位孔11距第一边框12的距离相等。

需要说明的是，图1是为了较清晰地展现掩模板上遮挡条的第一定位孔的位置设置，而未对掩模板的其它部件进行示出，而在具体实施时，对于掩模板整体而言，参见图2所示，其一般还包括框架3，框架3为中部镂空的环状结构，位于框架3之上且沿第一方向(如图中沿竖向)延伸的多条遮挡条1，位于遮挡条1之上的且沿第一方向(如图中沿竖向)延伸的多条掩模条4，掩模条4上一般设置有多个块状的开口41，在将掩模板覆盖在显示面板上进行蒸镀时，掩模条4上的开口41可以使显示面板形成像素单元的发光材料。而对于掩模板的遮挡条1，其延伸方向一般与掩模条4的延伸方向相同，位于相邻掩模条4之间的间隙处，以遮挡相邻掩模条4之间的空隙，防止蒸镀材料从掩模条4的开口41以外的区域蒸镀到显示面板上。需要说明的是，图2是为了更清晰地理解掩模板的整体结构，进而最左侧的掩模条4以及最右侧的掩模条4与框架之间还存在镂空部分，在具体实施时，掩模板在除掩模条4上具有开口41以外，其余均不设置镂空部分。另外，图1和图2仅是以掩模板包括三条遮挡条为例进行的举例说明，在具体实施时，掩模板的遮挡条可以根据需要进行设置，本申请不以此为限。对于第一阈值，其为一区间范围，具体可以为0.3mm～0.8mm，例如，以图1所示的掩模板为例，最左侧遮挡条1的第一定位孔11与第一边框12的距离d11为0.4mm，中部的遮挡条1的第一定位孔11与第一边框12的距离d12为0.5mm，最右侧的遮挡条1的第一定位孔11与第一边框的距离d13为0.6mm，三者均为0.3mm～0.8mm范围内的取值，即，d11、d12、d13的取值均在该取值范围内时，可认为各个遮挡条的第一定位孔与第一边框的距离基本相等，进而在将遮挡条放置在对位基台上进行定位时，可以使不同宽度的遮挡条的第一定位孔均在图像传感器(CCD)的视野范围内。优选的，任意遮挡条的第一定位孔中心距该遮挡条的第一边框的距离均为第一预设值，第一预设值为第一阈值范围内的一确定值。

在具体实施时，对于掩模板的制作，尤其是制作高分辨率有机发光显示面板的精细掩模板，在制作时，在将遮挡条焊接在掩模板的框架之前，通常需要先进行拉伸绷紧，而为了保证拉伸时两端的施力均在同一直线上，防止拉伸异常，通常需将遮挡条放置在对位基台上先进行定位，使遮挡条处于对位基台上的预设位置。而在对位基台上对遮挡条的定位过程中，是在CCD视野下，通过对位基台的移动，使遮挡条的第一定位孔与CCD的中心进行对位(CCD的中心是设置的基准位置，在定位过程中保持不变)，进而使遮挡条处于预设位置。而在CCD视野下通过第一定位孔进行定位时，对于不同宽度的遮挡条，将第一定位孔都设置在遮挡条的垂直于延伸方向的中间位置时，会存在在CCD下识别完较窄遮挡条的第一定位孔后，再在CCD下识别较宽遮挡条的第一定位孔时，第一定位孔不在当前CCD的视野下，需手动调节对位基台，使第一定位孔处于CCD的视野内，在掩模板需设置多条宽度不同的遮挡条时，该种遮挡条的第一定位孔的设置无疑增大了掩模板的制作复杂度，延长了掩模板的制作时间，降低了掩模板在自动化制作时的运行流畅性。而本申请实施例一通过使不同宽度遮挡条的第一定位孔距第一边框的距离均在第一阈值范围内，进而可以在将遮挡条放置在对位基台定位时，对于制作具有不同宽度遮挡条的掩模板，不需要多次手动调节对位基台，完成宽窄不一的遮挡条的定位，简化高精细掩模板的制作工艺，缩短高精细掩模板的制作时间，提高了掩模板在自动化制作时的运行流畅性。

实施例二

参见图3所示，本申请实施例二提供的掩模板还包括多条沿第二方向(如图中箭头CD)延伸的支撑条2，第二方向与第一方向垂直，每一支撑条2具有与第二方向平行的第二边框22，且每一支撑条2均在延伸方向的两端各设置一个第二定位孔21，其中，部分或全部支撑条2在垂直于第二方向上的宽度彼此不相同，任意支撑条2的第二定位孔21中心距该支撑条2的第二边框22的距离均在第二阈值范围内。

与本申请实施例一的图1相同，图3是为了较清晰地展现掩模板上支撑条的第二定位孔，而未对掩模板的其它部件进行示出，对于掩模板的其它部件，具体可以参见图2所示，在此不再赘述。对于支撑条2，其一般位于遮挡条2之上，且位于掩模条4之下，延伸方向与掩模条4的延伸方向垂直，用于支撑较薄的掩模条4，使掩模条4处于平整状态，防止掩模条4发生凹陷。另外，图3也仅是以掩模板包括三条支撑条为例进行的举例说明，在具体实施时，掩模板的支撑条可以根据需要进行设置，本申请不以此为限。对于第二阈值，其为一区间范围，具体可以为0.3mm～0.8mm，以图3所示的掩模板为例，最左侧支撑条2的第二定位孔21与第二边框22的距离d21为0.4mm，中部的支撑条2的第二定位孔21与第二边框22的距离d22为0.5mm，最右侧的支撑条2的第二定位孔21与第二边框的距离d23为0.6mm，均为0.3mm～0.8mm范围内的取值，即，d21、d22、d23的取值均在该取值范围内时，可认为各个支撑条的第二定位孔与第二边框的距离基本相等，进而在将支撑条放置在对位基台上进行定位时，可以使不同宽度的支撑条的第二定位孔均在图像传感器(CCD)的视野范围内。优选的，任意支撑条的第二定位孔距该支撑条的第二边框的距离均为第二预设值，第二预设值为第二阈值范围内的一确定值。

与实施例一的遮挡条相同，在制作掩模板的支撑条时，在将支撑条焊接在掩模板的框架之前，通常也需要先进行拉伸绷紧，而为了保证拉伸时两端的施力均在同一直线上，防止拉伸异常，通常需将支撑条放置在对位基台上先进行定位，使支撑条处于对位基台上的预设位置。而在对位基台上对支撑条的定位过程中，是在CCD视野下，通过使支撑条的第二定位孔与CCD的中心进行对位(CCD的中心是设置的基准位置，在定位过程中保持不变)，进而使支撑条处于预设位置。而在CCD视野下通过第二定位孔进行定位时，对于不同宽度的遮挡条，将第二定位孔都设置在支撑条的垂直于延伸方向的中间位置时，会存在在CCD下识别完较窄支撑条的第一定位孔后，再在CCD下识别较宽支撑条的第二定位孔时，第二定位孔不在当前CCD的视野下，需手动调节对位基台，使第二定位孔处于CCD的视野内，在掩模板需设置多条宽度不同的支撑条时，该种支撑条的第二定位孔的设置无疑增大了掩模板的制作复杂度，延长了掩模板的制作时间，降低了掩模板在自动化制作时的运行流畅性。而本申请实施例二通过使不同宽度支撑条的第二定位孔距第二边框的距离均在第二阈值范围内，进而可以在制作掩模板并将遮挡条放置在对位基台定位时，在不需要多次手动调节对位基台的前提下，完成宽窄不一的支撑条的定位，简化高精细掩模板的制作工艺，缩短高精细掩模板的制作时间，提高了掩模板在自动化制作时的运行流畅性。

实施例三

参见图4所示，本申请实施例三提供一种掩模板，其中，每一遮挡条1在延伸方向的两端还各设置有一个第三定位孔13，同一端的第三定位孔13和第一定位孔11关于遮挡条1的平行于第一方向的中轴线对称。例如，以图4中间的遮挡条1的第一定位孔11和第三定位孔13为例，上端的第三定位孔13和第一定位孔11关于遮挡条1的平行于第一方向的中轴线EF对称。

对于支撑条2，每一支撑条2在延伸方向的两端还各设置有一个第四定位孔23，同一端的第四定位孔23和第二定位21孔关于支撑条2的平行于第二方向的中轴线(图中未示出)对称。

本申请提供的实施例三中，由于遮挡条和/或支撑条在对位基台上定位后，一般都需进行拉伸后与框架进行焊接，设置与第一定位孔对称的第三定位孔，与第二定位孔对称的第四定位孔，进而可以保证拉伸时相应的遮挡条或支撑条的各个位置应力平衡，避免由于只在一侧设置第一定位孔时，导致拉伸时应力不平衡而产生的拉伸异常问题。

实施例四

参见图5所示，本申请实施例四提供一种掩模板，该掩模板还包括与遮挡条1同层且平行设置的特定遮挡条5，特定遮挡条5包括：遮挡条主体53和位于遮挡条主体53两侧的遮挡条支体54，遮挡条主体53在垂直于第一方向上的宽度大于遮挡条支体54在垂直于第一方向上的宽度；遮挡条主体53具有平行于第一方向的第一特定边框52，且每一遮挡条主体53均在延伸方向的两端各设置一个第一特定定位孔51；任意特定遮挡条5的第一特定定位孔51中心距该特定遮挡条5的第一特定边框52的距离均在第一阈值范围内。

掩模板还包括与支撑条2同层且平行设置的特定支撑条6，特定支撑条6包括：支撑条主体63和位于支撑条主体63两侧的支撑条支体64，支撑条主体63在垂直于第二方向上的宽度大于支撑条支体64在垂直于第二方向上的宽度；支撑条主体63具有平行于第二方向的第二特定边框62，且每一支撑条主体63均在延伸方向的两端各设置一个第二特定定位孔61；任意特定支撑条6的第二特定定位孔61中心距该特定支撑条6的第二特定边框62的距离均在第二阈值范围内。

在具体实施时，对于掩模板而言，其不仅包含在垂直于延伸方向宽度一致的遮挡条或支撑条，即，遮挡物为一体的矩形结构；还可能包括在垂直于延伸方向宽度不同的特定遮挡条或特定支撑条。现有技术的特定遮挡条通常是把第一定位孔设置在遮挡条支体的竖向中间位置，同样存在在CCD视野下对位时难以找到的问题，特定支撑条存在相同的问题。本申请实施例四中，通过将第一定位孔设置在遮挡条主体内，且任意特定遮挡条的第一特定定位孔中心距该特定遮挡条的第一特定边框的距离均在第一阈值范围内，进而可以保证在将不同类型的遮挡条的定位孔距边框的距离均在第一阈值范围内，进而可以在制作掩模板并将遮挡条放置在对位基台定位时，在不需要多次手动调节对位基台的前提下，完成不同类型的遮挡条的定位，简化高精细掩模板的制作工艺，缩短高精细掩模板的制作时间。

实施例五

参见图6所示，特定遮挡条5还包括：设置在每一遮挡条支体54远离遮挡条主体53一侧的第一扩展部55，第一扩展部55在垂直于第一方向上的宽度为第一预设宽度，第一扩展部55用于增大遮挡条5被感应到的面积。

同样，特定支撑条(图中未示出)还包括：设置在每一支撑条支体远离支撑条主体一侧的第二扩展部，第二扩展部在垂直于第二方向上的宽度为第二预设宽度，第二扩展部用于增大支撑条被感应到的面积。

需要说明的是，图6是为了更清楚的说明特定遮挡条的第一扩展部的作用，而通过对特定遮挡条在制作过程中放置于承载台7上的第一对齐槽时进行的说明。其中，虚线GH以上为现有技术的特定遮挡条50放置在第一对齐槽80时的结构示意图，虚线GH以下为本申请实施例提供的特定遮挡条5放置在第一对齐槽8时的结构示意图。现有技术中在特定遮挡条50的制作过程中，在将特定遮挡条50放置在对位基台上进行对位之前，通常需先把特定遮挡条50放置在承载平台7上的第一对齐槽80中，以使特定遮挡条50先基本处于水平位置，方便自动化流水作业的转移。而特定遮挡条50在放置在第一对齐槽80时，通常是特定遮挡条50的遮挡条主体530的第一特定边框与第一对齐槽80的一个槽边(如图6中所指的上边框810)进行贴齐放置以保证特定遮挡条50可以基本处于水平位置。在进行转移之前，需通过激光感应预设感应区域是否有特定遮挡条，进而再进行抓取转移，由于预设感应区域一般位于对齐槽两端部外侧的一确定区域(如图中虚线框90所指)，而感应的激光光斑大小有限，特定遮挡条50的遮挡条支体540的宽度较窄，在感应不到预设感应区域有特定遮挡条时，则无法进行抓取转移，延长了掩模板的制作时长，而本申请实施例五中，通过对特定遮挡条5进行改进，即，在每一遮挡条支体54远离遮挡条主体53一侧设置第一扩展部55，第一扩展部55在垂直于其自身延伸方向上的宽度为第一预设宽度，进而可以将特定遮挡条5在第一对齐槽8对齐之后，可以在感应区域快速的感应到特定遮挡条5，进一步转移到对位基台上进行对位，可以简化掩模板的制作流程，缩短掩模板的制作时长。具体的第一宽度可以根据实际的要求进行设置。

实施例六

结合图1和图7所示，将在垂直于第一方向上的宽度小于第三预设值的遮挡条作为子遮挡条10，例如，图1中最左侧的遮挡条为子遮挡条，每一子遮挡条10在第一预设区域101还设置有用于扩大被感应面积的第一感应部102，第一预设区域101为子遮挡条10的与转移该遮挡条10时的预设感应区域9相对应的区域，具体第一预设区域101可以根据实际的子遮挡条10在转移时的放置位置以及激光照射的位置进行确定。

将在垂直于第二方向上的宽度小于第四预设值的支撑条作为子支撑条，每一子支撑条在第二预设区域还设置有用于扩大被感应面积的第二感应部，第二预设区域为子支撑条的与转移该支撑条时的预设感应区域相对应的区域。

与图6相同，图7是为了更清楚的说明子遮挡条的第一感应部的作用，而通过对遮挡条在制作过程中放置于第一对齐槽时进行的说明。其中，虚线GH以上为现有技术的子遮挡条100放置在第一对齐槽80时的结构示意图，虚线GH以下为本申请实施例提供的子遮挡条10放置在第一对齐槽8时的结构示意图。现有技术在掩模板的制作过程中，在将子遮挡条100放置在对位基台上进行对位之前，通常需先把子遮挡条100放置在承载平台上的第一对齐槽80中，以使子遮挡条100先基本处于水平位置，方便自动化流水作业的转移。而子遮挡条100在放置在第一对齐槽时，通常是子遮挡条100的第一边框1020与第一对齐槽80的一个槽边(如图7中所指的上边框810)进行贴齐放置以保证子遮挡条100可以基本处于水平位置。在进行转移之前，需通过激光感应预设感应区域是否有子遮挡条，进而再进行抓取转移，由于预设感应区域一般位于第一对齐槽两端部外侧的一确定区域(如图中虚线框90所指)，而感应的激光光斑大小有限，对于宽度较窄的子遮挡条100，在感应不到预设区域有子遮挡条100时，则无法进行抓取转移，延长了掩模板的制作时长，而本申请实施例五中，通过对子遮挡条10进行改进，即，在每一子遮挡条10在第一预设区域101还设置有用于扩大被感应面积的第一感应部102，进而可以将子遮挡条10在第一对齐槽对齐之后，可以在感应区域快速的感应到子遮挡条10，进一步转移到对位基台上进行对位，可以简化掩模板的制作流程，缩短掩模板的制作时长。

优选的，第一感应部为条状，与子遮挡条垂直固定；第二感应部为条状，与子支撑条垂直固定。

实施例七

参见图8所示，将在垂直于第一方向上的宽度小于第三预设值的遮挡条作为子遮挡条10，子遮挡条10在第三预设区域103设置有两个相互间隔、且与该子遮挡条垂直的第一支撑部104；在将子遮挡条10放在用于对齐的第一对齐槽时，子遮挡条10的第三区域103位于第一对齐槽内，两个第一支撑部104的一端分别与第一对齐槽的一个槽边(如图中的上槽边81)接触，以在使子遮挡条10放置在第一对齐槽8并保证子遮挡条10基本处于水平放置时，子遮挡条10的端部位于预设感应区域9。

将在垂直于第二方向上的宽度小于第四预设值的每一支撑条作为子支撑条，子支撑条在第四预设区域还设置有两个相互间隔、与该子支撑条垂直的第二支撑部；在将子支撑条放在用于对齐的第二对齐槽时，子支撑条的第四区域位于第二对齐槽内，两个第二支撑部的一端分别与第二对齐槽的一个槽边接触，以在使子支撑条放置在第二对齐槽并保证子支撑条基本处于水平放置时，子支撑条的端部位于预设感应区域。

由于子遮挡条10在延伸方向上的长度要大于第一对齐槽8的长度，即，第一对齐槽8并不能完全承载子遮挡条10，在第一对齐槽10的两端外侧还有用于被抓取的部分子遮挡条，通过在子遮挡条10的位于第一对齐槽8以内的第三区域103设置两个第一支撑部104，通过使两个第一支撑部104与第一对齐槽8的位置设置，可以实现使较窄的子遮挡条10的位于第一对齐槽8外侧的部分能够位于预设感应区域，进而被相应的感应部件感应到，并由相应的转移部件进行转移。本申请实施例七中，子遮挡条在第三预设区域设置有两个相互间隔、且与该子遮挡条垂直的第一支撑部，在将子遮挡条放在用于对齐的第一对齐槽时，子遮挡条的第三区域位于第一对齐槽内，两个第一支撑部的一端分别与第一对齐槽的一个槽边接触，以在使子遮挡条放置在第一对齐槽时，子遮挡条的端部位于感应区域，进而可以将子遮挡条在第一对齐槽对齐之后，可以在感应区域快速的感应到子遮挡条，进一步转移到对位基台上进行对位，可以简化掩模板的制作流程，缩短掩模板的制作时长。

实施例八

参见图9所示，本申请实施例八还提供一种掩模板的制作方法，用于制作本申请实施例提供的掩模板，制作方法包括：

步骤101、在每一遮挡条的延伸方向的两端各形成一个第一定位孔，其中，遮挡条具有平行于第一方向的第一边框，遮挡条的第一定位孔中心距该遮挡条的第一边框的距离在第一阈值范围内。

步骤102、将遮挡条放置在对位基台上，在图像传感器的视野下，根据第一定位孔使遮挡条位于预设位置。

优选的，在将遮挡条放置在对位基台上之前，制作方法还包括：

将遮挡条放置在承载台上的第一对齐槽中，并使遮挡条的延伸方向与第一对齐槽的延伸方向平行；进而，相应的，将遮挡条放置在对位基台上，具体包括：在感应部件在预设感应区域感应到遮挡条时，将放置在第一对齐槽中的遮挡条转移到对位基台上。当然，在自动化制作掩模板的过程中，还可以包括感应部件。

在具体实施时，为了提高不同类型的遮挡条的快速转移，对于在垂直于第一方向上的宽度小于第三预设值的子遮挡条，可以在第一预设区域设置第一感应部以扩大被感应的面积；也可以在第三预设区域设置两个第一支撑部以使子遮挡条的端部位于感应区域；或对于特定遮挡条，也可以设置在第一方向上的宽度为第一预设宽度的第一扩展部以扩大被感应的面积，而关于不同遮挡条的转移的相关步骤，以下分别进行具体举例说明。

例如，将在垂直于第一方向上的宽度小于第三预设值的遮挡条作为子遮挡条；在将子遮挡条放置在承载台上的第一对齐槽中之前，制作方法还包括：在每一子遮挡条的第一预设区域设置用于扩大被感应面积的第一感应部；在感应部件在预设感应区域感应到遮挡条时，将放置在第一对齐槽中的遮挡条转移到对位基台上，具体包括：在感应部件在预设感应区域感应到子遮挡条的第一感应部时，将放置在第一对齐槽中的子遮挡条转移到对位基台上。

又例如，将在垂直于第一方向上的宽度小于第三预设值的遮挡条作为子遮挡条；在将多个子遮挡条放置在承载台上的第一对齐槽中之前，制作方法还包括：在子遮挡条的第三预设区域设置两个相互间隔、且与遮挡条垂直的第一支撑部；将子遮挡条放置在承载台上的第一对齐槽中，并使遮挡条的延伸方向与第一对齐槽的延伸方向平行，具体包括：将两个第一支撑部的一端分别与第一对齐槽的一个槽边接触，以使子遮挡条延伸方向与第一对齐槽的延伸方向平行，进而子遮挡条的端部位于预设感应区域；在感应部件在预设感应区域感应到遮挡条时，将放置在第一对齐槽中的遮挡条转移到对位基台上，具体包括：在感应部件在预设感应区域感应到子遮挡条的端部时，将放置在第一对齐槽中的子遮挡条转移到对位基台上。

再例如，掩模板还包括与遮挡条平行的特定遮挡条，特定遮挡条包括：遮挡条主体和位于遮挡条主体两侧的遮挡条支体，遮挡条主体在垂直于第一方向上的宽度大于遮挡条支体在垂直于第一方向上的宽度，设置在每一遮挡条支体远离遮挡条主体一侧的第一扩展部，第一扩展部在垂直于第一方向上的宽度为第一预设宽度；在感应部件在预设感应区域感应到遮挡条，将放置在第一对齐槽中的遮挡条转移到对位基台上时，制作方法还包括：在感应部件在预设感应区域感应到特定遮挡条的第一扩展部时，将放置在第一对齐槽中的特定遮挡条转移到对位基台上。

步骤103、拉伸遮挡条并将遮挡条转移到框架上进行焊接。

步骤104、将设置有多个开口的掩模条焊接在框架上，其中，掩模条的延伸方向与遮挡条的延伸方向相同，且遮挡条位于相邻掩模条之间的间隙处。

实施例九

本申请实施例九以掩模板包括在垂直于第一方向上的宽度小于第三预设值的子遮挡条，且该子遮挡条在第三预设区域设置两个第一支撑部为例，并结合图10，对本申请提供的掩模板的制作方法进行具体举例说明。

步骤201、在每一遮挡条的延伸方向的两端各形成一个第一定位孔，其中，遮挡条具有平行于第一方向的第一边框，遮挡条的第一定位孔中心距该遮挡条的第一边框的距离在第一阈值范围内。

步骤202、在子遮挡条的第三预设区域设置两个相互间隔、且与遮挡条垂直的第一支撑部，其中，在将子遮挡条放在用于对齐该子遮挡条的第一对齐槽时，子遮挡条的第三区域位于第一对齐槽内。由于子遮挡条在延伸方向上的长度要大于第一对齐槽的长度，即，第一对齐槽并不能完全承载子遮挡条，在第一对齐槽的两端外侧还有用于被抓取的部分子遮挡条，通过在子遮挡条的位于第一对齐槽以内的第三区域设置两个第一支撑部，通过使两个第一支撑部与第一对齐槽的位置设置，可以实现使较窄的子遮挡条的位于第一对齐槽外侧的部分能够位于预设感应区域，进而被相应的感应部件感应到，并由相应的转移部件进行转移。

步骤203、将两个第一支撑部的一端分别与第一对齐槽的一个槽边接触，以使子遮挡条延伸方向与第一对齐槽的延伸方向平行，进而子遮挡条的端部位于预设感应区域。具体的，第一支撑部可以是两个垂直与子遮挡条的条状第一支撑部，且两个条状第一支撑部由与子遮挡条的固定点到与第一对齐槽的接触点的距离均相等，以保证两个条状的第一支撑部都与第一对齐槽接触时，子遮挡条的延伸方向与第一对齐槽的延伸方向平行。

步骤204、在感应部件在预设感应区域感应到子遮挡条的端部时，将放置在第一对齐槽中的子遮挡条转移到对位基台上，在图像传感器的视野下，根据第一定位孔使遮挡条位于预设位置。

步骤205、拉伸子遮挡条并将该子遮挡条转移到框架上进行焊接。

步骤206、将设置有多个开口的掩模条焊接在框架上，其中，掩模条的延伸方向与遮挡条的延伸方向相同，且遮挡条位于相邻掩模条之间的间隙处。

需要说明的是，掩模板上的遮挡条或支撑条一般是一条一条进行对位、拉伸以及焊接，因此，本申请实施的制作方法可以理解为一条遮挡条或支撑条的制作方式，而对于整个掩模板的遮挡条或支撑条的制作，可以重复以上制作步骤即可，在此不再赘述。

本申请实施例有益效果如下：通过使不同宽度遮挡条的第一定位孔距第一边框的距离均在第一阈值范围内，进而可以在将遮挡条放置在对位基台定位时，对于制作具有多条不同宽度遮挡条的掩模板，不需要多次手动调节对位基台，简化高精细掩模板的制作工艺，缩短高精细掩模板的制作时间，提高了掩模板在自动化制作时的运行流畅性。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种掩模板，包括：框架以及固定在所述框架之上沿第一方向延伸的多条掩模条，每一所述掩模条上设置有多个开口，其特征在于，所述掩模板还包括多条延伸方向与所述掩模条延伸方向相同的遮挡条，所述遮挡条设置于相邻所述掩模条之间的间隙处，用于遮挡相邻所述掩模条之间的空隙，其中，

每一所述遮挡条具有平行于所述第一方向的第一边框，且每一所述遮挡条均在其延伸方向的两端各设置一个第一定位孔，部分或全部所述遮挡条在垂直于所述第一方向上的宽度彼此不相同，任意所述遮挡条的所述第一定位孔中心距该所述遮挡条的所述第一边框的距离均在第一阈值范围内。

2.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，任意所述遮挡条的所述第一定位孔中心距该所述遮挡条的所述第一边框的距离均为第一预设值，所述第一预设值为所述第一阈值范围内的一确定值。

3.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板还包括多条延伸方向与所述掩模条延伸方向垂直的支撑条，用于支撑所述掩模条，其中，

每一所述支撑条具有与所述第一方向垂直的第二边框，且每一所述支撑条均在其延伸方向的两端各设置一个第二定位孔，部分或全部所述支撑条在所述第一方向上的宽度彼此不相同，任意所述支撑条的所述第二定位孔中心距该所述支撑条的所述第二边框的距离均在第二阈值范围内。

4.如权利要求3所述的掩模板，其特征在于，任意所述支撑条的所述第二定位孔中心距该所述支撑条的所述第二边框的距离均为第二预设值，所述第二预设值为所述第二阈值范围内的一确定值。

5.如权利要求3所述的掩模板，其特征在于，

每一所述遮挡条在延伸方向的两端还各设置有一个第三定位孔，同一端的所述第三定位孔和所述第一定位孔关于所述遮挡条的平行于所述第一方向的中轴线对称；

每一所述支撑条在延伸方向的两端还各设置有一个第四定位孔，同一端的所述第四定位孔和所述第二定位孔关于所述支撑条的垂直于所述第一方向的中轴线对称。

6.如权利要求3所述的掩模板，其特征在于，

所述掩模板还包括与所述遮挡条同层且平行设置的特定遮挡条，所述特定遮挡条包括：遮挡条主体和位于所述遮挡条主体两侧的遮挡条支体，所述遮挡条主体在垂直于所述第一方向上的宽度大于所述遮挡条支体在垂直于所述第一方向上的宽度；所述遮挡条主体具有平行于所述第一方向的第一特定边框，且每一所述遮挡条主体均在延伸方向的两端各设置一个第一特定定位孔；任意所述特定遮挡条的所述第一特定定位孔中心距该所述特定遮挡条的所述第一特定边框的距离均在第一阈值范围内；

所述掩模板还包括与所述支撑条同层且平行设置的特定支撑条，所述特定支撑条包括：支撑条主体和位于所述支撑条主体两侧的支撑条支体，所述支撑条主体在所述第一方向上的宽度大于所述支撑条支体在所述第一方向上的宽度；所述支撑条主体具有垂直于所述第一方向的第二特定边框，且每一所述支撑条主体均在延伸方向的两端各设置一个第二特定定位孔；任意所述特定支撑条的所述第二特定定位孔中心距该所述特定支撑条的所述第二特定边框的距离均在第二阈值范围内。

7.如权利要求6所述掩模板，其特征在于，

所述特定遮挡条还包括：设置在每一所述遮挡条支体远离所述遮挡条主体一侧的第一扩展部，所述第一扩展部在垂直于所述第一方向上的宽度为第一预设宽度，所述第一扩展部用于在制作过程中通过感应方式以将所述特定遮挡条转移到对位基台时，增大所述特定遮挡条被感应到的面积；

所述特定支撑条还包括：设置在每一所述支撑条支体远离所述支撑条主体一侧的第二扩展部，所述第二扩展部在所述第一方向上的宽度为第二预设宽度，所述第二扩展部用于在制作过程中通过感应方式以将所述特定支撑条转移到对位基台时，增大所述特定支撑条被感应到的面积。

8.如权利要求3所述掩模板，其特征在于，

将在垂直于所述第一方向上的宽度小于第三预设值的所述遮挡条作为子遮挡条，每一所述子遮挡条在第一预设区域还设置有第一感应部，所述第一感应部用于在制作过程中通过感应方法以将所述子遮挡条转移到对位基台时，增大所述子遮挡条被感应到的面积，所述第一预设区域为所述子遮挡条的与转移该所述遮挡条时的预设感应区域相对应的区域；

将在所述第一方向上的宽度小于第四预设值的所述支撑条作为子支撑条，每一所述子支撑条在第二预设区域还设置有第二感应部，所述第二感应部用于在制作过程中通过感应方式以将所述子支撑条转移到对位基台时，增大所述子支撑条被感应到的面积，所述第二预设区域为所述子支撑条的与转移该所述支撑条时的预设感应区域相对应的区域。

9.如权利要求8所述掩模板，其特征在于，所述第一感应部为条状，与所述子遮挡条垂直固定；所述第二感应部为条状，与所述子支撑条垂直固定。

10.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

将在垂直于所述第一方向上的宽度小于第三预设值的所述遮挡条作为子遮挡条，所述子遮挡条在第三预设区域设置有两个相互间隔、且均与该所述子遮挡条垂直的第一支撑部；在将所述子遮挡条放置在用于对齐的第一对齐槽时，所述子遮挡条的所述第三预设区域位于所述第一对齐槽内，两个所述第一支撑部的一端分别与所述第一对齐槽的一个槽边接触，以在使所述子遮挡条放置在所述第一对齐槽时，所述子遮挡条的端部位于预设感应区域；

将在所述第一方向上的宽度小于第四预设值的每一所述支撑条作为子支撑条，所述子支撑条在第四预设区域还设置有两个相互间隔、且均与该所述子支撑条垂直的第二支撑部；在将所述子支撑条放置在用于对齐的第二对齐槽时，所述子支撑条的所述第四预设区域位于所述第二对齐槽内，两个所述第二支撑部的一端分别与所述第二对齐槽的一个槽边接触，以在使所述子支撑条放置在所述第二对齐槽时，所述子支撑条的端部位于预设感应区域。