CN206858643U - 一种蒸镀用掩膜板组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种蒸镀用掩膜板组件，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口，其中，所述掩膜板组件还包括遮挡部，所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态；其中在所述第一状态下，所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。该蒸镀用掩膜板组件通过设置能够贴附在掩膜板本体、又能够与腌膜板本体分离的遮挡部，使得蒸镀过程中，蒸镀材料中未穿过掩膜板本体上开口的材料能够沉积在遮挡部上，进行清理时，只需要将遮挡部取下即可，方便、省力，从而能够解决现有技术掩膜板本体上沉积蒸镀材料难以清理的问题。

Description

一种蒸镀用掩膜板组件

技术领域

本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其是指一种蒸镀用掩膜板组件。

背景技术

真空蒸镀为显示面板制作过程中的通常工艺，具体地真空蒸镀过程中，需要在高真空环境下对镀膜材料进行加热，使镀膜材料进行蒸发或升华，以在基板上成膜。

通常，真空蒸镀过程中需要使用掩膜板Mask对基板进行掩膜，使蒸镀材料在基板上形成固定图形。随着掩膜板Mask在真空蒸镀过程中使用时间的加长，所蒸镀的镀膜材料会在掩膜板Mask的表面大量累积，需要定期清理，以避免脱落影响蒸镀过程。

目前，真空蒸镀过程普遍应用于有机发光二极管(Organic Light-EmittingDiode，OLED)显示器件的金属阴极制备，其中金属材料多为金属Mg、Ag等，而掩膜板Mask通常为因瓦合金Invar材料，当掩膜板Mask表面累积Mg、Ag等金属材料时，一种处理方式为采用手工清理，但该方式会破坏掩膜板Mask的表面，且处理效率较低；另一种处理方式为采用酸处理掩膜板Mask的表面，然而该方式同时也会对掩膜板Mask表面造成磨蚀，从而影响蒸镀工艺。因此，现有技术针对掩膜板Mask表面累积镀膜材料没有更有效的处理方式。

实用新型内容

本实用新型技术方案的目的是提供一种蒸镀用掩膜板组件，能够解决现有技术掩膜板上累积镀膜材料难以清理的问题。

本实用新型具体实施例提供一种蒸镀用掩膜板组件，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口，其中，所述掩膜板组件还包括遮挡部，所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态；其中在所述第一状态下，所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。

优选地，所述的蒸镀用掩膜板组件，其中，所述掩膜板组件还包括：

框体，形成有用于使蒸发材料通过的穿透空间，所述掩膜板本体设置于所述穿透空间中，与所述框体固定连接。

优选地，所述的蒸镀用掩膜板组件，其中，所述遮挡部与所述框体可拆卸连接，所述遮挡部固定于所述框体上时，处于所述第一状态；所述遮挡部从所述框体上拆卸下来时，处于所述第二状态。

优选地，所述的蒸镀用掩膜板组件，其中，所述遮挡部包括多个交叉设置的遮挡条，其中每一所述遮挡条的相对两端分别与所述框体可拆卸连接。

优选地，所述的蒸镀用掩膜板组件，其中，每一所述遮挡条的两端分别设置有卷动结构，部分的所述遮挡条绕设于所述卷动结构上；

通过所述卷动结构与所述框体卡设连接，所述遮挡条与所述框体可拆卸连接。

优选地，所述的蒸镀用掩膜板组件，其中，所述框体上开设有导向空间，所述卷动结构处于与所述框体脱离卡设连接的状态，且设置于所述导向空间中时，能够沿所述导向空间朝卷收所述遮挡条的第一方向转动和朝释放所述遮挡条的第二方向转动；

其中所述导向空间的内部设置有卡设结构，所述卷动结构移动至所述卡设结构的设置位置处时，通过所述卡设结构与所述框体卡设连接。

优选地，所述的蒸镀用掩膜板组件，其中，所述卷动结构的相对两个端面上分别设置有突出的定位轴，所述定位轴在所述卷动结构的内部与弹性支座连接，通过所述弹性支座，所述定位轴的突出长度变化；

所述卡设结构包括开设在所述导向空间的内壁面上的定位孔，其中所述定位轴与所述定位孔对位时，从第一突出长度伸长至第二突出长度，插设进入所述定位孔的内部，所述卷动结构与所述框体卡设连接。

优选地，所述的蒸镀用掩膜板组件，其中，所述卷动结构包括一卷动轴承。

优选地，所述的蒸镀用掩膜板组件，其中，所述掩膜板本体采用因瓦合金材料制成。

优选地，所述的蒸镀用掩膜板组件，其中，所述遮挡部采用金属材料制成，且厚度小于等于0.5毫米。

本实用新型的一个或多个实施例至少具有以下有益效果：

所述蒸镀用掩膜板组件通过设置能够贴附在掩膜板本体、又能够与腌膜板本体分离的遮挡部，使得蒸镀过程中，蒸镀材料中未穿过掩膜板本体上开口的材料能够沉积在遮挡部上，进行清理时，只需要将遮挡部取下即可，方便、省力，从而能够解决现有技术掩膜板本体上沉积蒸镀材料难以清理的问题。

附图说明

图1为本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件中掩膜板本体的平面结构示意图；

图2为表示本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件中，掩膜板本体与遮挡部之间连接关系的示意图；

图3为本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件的立体结构示意图；

图4为本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件，其中一遮挡条的立体结构示意图；

图5为本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件中，用于说明框体的导向空间与卷动结构之间连接关系的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型具体实施例提供一种蒸镀用掩膜板组件，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口，其中，所述掩膜板组件还包括遮挡部，所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态；其中在所述第一状态下，所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。

本实用新型实施例所述蒸镀用掩膜板组件，通过设置能够贴附在掩膜板本体、又能够与腌膜板本体分离的遮挡部，实现蒸镀时对掩膜板本体的遮挡，这样蒸镀过程中，蒸镀材料中未穿过掩膜板本体上开口的材料沉积在遮挡部上，进行清理时，只需要将遮挡部取下即可，方便、省力，从而能够解决现有技术掩膜板上沉积蒸镀材料难以清理的问题。

图1为本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件中掩膜板本体的平面结构示意图，图2为本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件中，掩膜板本体与遮挡部之间连接关系的示意图。

结合图1与图2，本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件，具体包括：

框体10，形成有用于使蒸镀时的蒸发材料通过的穿透空间；

掩膜板本体20，设置于框体10的穿透空间中，与框体10固定连接。

本实用新型具体实施例中，掩膜板本体20包括多个长方形的蒸镀用开口21，开口21的形状与待蒸镀基板的形状和尺寸对应，在进行真空蒸镀时，蒸镀材料穿过各个开口21对应沉积于待蒸镀基板上，以在待蒸镀基板上成膜。具体地，结合图1，为形成上述形状的开口21，掩膜板本体20在框体10的穿透空间中形成为多个交叉的条状结构。

本实用新型具体实施例中，为了解决蒸镀过程中，掩膜板本体20上累积镀膜材料难以清理的问题，所述蒸镀用掩膜板组件还包括遮挡部30，遮挡部30包括与掩膜板本体20贴附连接的第一状态和与掩膜板本体20分离的第二状态，其中在第一状态下，遮挡部30能够遮挡住掩膜板本体20除开口21之外的其他区域。

较佳地，本实用新型具体实施例中，结合图1，遮挡部30通过与框体10的可拆卸连接，实现上述的第一状态和第二状态。具体地，当遮挡部30固定于框体10上时，与掩膜板本体20贴附连接；当遮挡部30与框体10分离时，同时实现与掩膜板本体20的分离。

当然，所述蒸镀用掩膜板组件中，用于实现遮挡部30在第一状态和第二状态之间切换的结构并不限于仅为上述的形式，例如遮挡部30也可以通过与掩膜板本体20可拆卸连接的方式，实现第一状态和第二状态的切换。

本实用新型具体实施例中，结合图1、图2和图3，由于掩膜板本体20在框体10的穿透空间中形成为多个交叉的条状结构，本实用新型具体实施例中，遮挡部30包括多个交叉设置的遮挡条31，其中每一遮挡条31的相对两端分别与框体10可拆卸连接。

另外，参阅图2和图3，当遮挡部30处于与掩膜板本体20贴附连接的第一状态时，每一遮挡条31与掩膜板本体20的其中一条状结构贴附连接，且遮挡条31的长度、宽度与所贴附的条状结构的长度、宽度分别对应，以达到有效遮挡掩膜板本体20的效果，防止出现遮挡条31的遮挡范围超出所贴附的条状结构位于所述通孔处的情况，以免影响待蒸镀基板上的镀膜效果，并防止出现遮挡条31不能完全覆盖、遮挡所贴附的条状结构的情况，以使得蒸镀过程中掩膜板本体上累积镀膜材料，出现难以清理的问题。

可以理解的是，在遮挡部30与掩膜板本体20贴附连接时，遮挡部30应该贴附于掩膜板本体20朝向蒸发源的一面上。

另外，较佳地，本实用新型具体实施例中，掩膜板本体20采用因瓦合金材料制成，遮挡部30也即上述的各遮挡条31采用金属材料制成。

进一步，结合图3和图4，本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件中，每一遮挡条31的两端分别设置有卷动结构40，部分的遮挡条31绕设于卷动结构40上，通过卷动结构40与框体10的卡设连接，遮挡条31实现与框体10的可拆卸连接。

较佳地，遮挡部30的各遮挡条31的厚度小于等于0.5mm，以保证各遮挡条31具有一定的韧性，能够绕设于卷动结构40上，并能够使绕设于卷动结构40上的遮挡条31展开，以调整遮挡条31的相对两端所设置卷动结构40之间的距离，这样当将卷动结构40安装于掩膜板本体20的过程中，通过卷动结构40朝两侧转动拉紧遮挡条31，能够实现遮挡条31与相对应所贴附的条状结构的掩膜板本体20之间的紧密贴合连接。

具体地，卷动结构40可以包括一卷动轴承，通过卷动轴承实现对部分的遮挡条31的卷收和展开。本领域技术人员应该能够理解利用卷动轴承实现上述遮挡条卷收和展开功能的卷动结构40的具体实施结构，在此不详细描述。

另外，结合图3和图5，框体10用于固定卷动结构40的位置上开设有导向空间11，也即框体10上设置相对的导向空间11，分别用于安装一卷动结构40。设置于导向空间11中的卷动结构40能够与导向空间11配合，沿导向空间11移动。具体地，相对设置的两个卷动结构40能够沿导向空间11分别朝卷收遮挡条31的第一方向转动时，以及沿导向空间11朝释放遮挡条31的第二方向转动。

另外，结合图4，卷动结构40的相对两个端面上分别设置突出的定位轴41，且定位轴41在卷动结构40的内部与弹性支座连接，通过弹性支座的设置，使定位轴41的突出长度可以变化。

进一步，参阅图5，当卷动结构40设置于导向空间11中时，导向空间11的两个相对侧壁分别抵压定位轴41，使定位轴41被压缩，由于导向空间11的侧壁与卷动结构40设置定位轴41的端面之间为贴合连接，向卷动结构40施加推动并朝第一方向或第二方向的旋转力时，即能够使卷动结构40在导向空间11中移动。

另外，导向空间11的内部还设置有卡设结构，当卷动结构40移动至卡设结构的位置处时，卷动结构40通过卡设结构与框体10实现固定连接。本实用新型具体实施例中，如图5所示，设置于导向空间中的卡设结构包括开设在导向空间11的内壁面上的定位孔12，其中卷动结构40的定位轴41与定位孔12相对位时，利用定位轴41相连接的弹性支座，定位轴41从第一突出长度伸长至第二突出长度，能够插设进入定位孔12的内部，卷动结构40与框体10卡设连接，从而实现遮挡条在框体上的固定。

较佳地，导向空间11的相对两个内壁面上分别设置定位孔12，且两个内壁面上的定位孔12分别一一对应，用于分别卡设卷动结构40上的相对两个定位轴41。当然，导向空间11中用于实现卷动结构40固定的卡设结构的具体实施结构并不限于以上的定位孔，本领域技术人员根据本实用新型技术方案的原理，应该也可以采用其他方式能够实现卷动结构40在框体10上的固定。

采用上述遮挡条的安装方式，结合图2至图5，当将遮挡条31安装于掩膜板组件的框体10上时，可以先使两个卷动结构40稍卷收遮挡条31，使所连接的遮挡条31之间的距离稍小于框体10上用于固定对应遮挡条31的两个导向空间11之间的距离。当将两个卷动结构40分别放置于相对应的导向空间11中时，卷动结构40上的定位轴41被压缩，相对的定位轴41分别抵压导向空间11的两个相对内壁面，但当卷动结构40在导向空间11中朝使遮挡条31展开的方向移动时，由于定位轴41与导向空间11的两个内壁面贴合连接，因此能够保证卷动结构40相对于导向空间11的移动。这样，遮挡条31上两个相对的卷动结构40分别在对应导向空间11中朝使遮挡条31展开的方向移动，遮挡条31被拉伸，当完全与掩膜板本体20贴合连接时，由卷动结构40对遮挡条31的安装长度调整到位，向下按压卷动结构40，使卷动结构40上的定位轴41卡设于相对应位置的定位孔12中，即能够实现卷动结构40在导向空间11中的定位固定，遮挡条31与掩膜板本体20相连接。

采用上述的过程，可以在框体10上分别装设每一遮挡条31，相互交叉的多个遮挡条31形成为对整个掩膜板本体20进行遮挡的遮挡部30。另外，由于遮挡条31的厚度较小，且采用金属材料制成，因此具有一定柔韧性，当遮挡条31交叉设置时，也能够保证每一遮挡条31与掩膜板本体20相对应部分的贴合连接。

较佳地，定位轴41上设置有突出体，当定位轴41插设于定位孔12中时，突出体位于定位孔12的外面，通过拔动突出体能够将定位轴41从定位孔12中移出，以方便卷动结构40从导向空间11中的移出。

上述利用卷动结构40实现与框体10相连接的方式，能够保证遮挡条31在框体10上的可拆卸连接，以方便当遮挡条31上沉积蒸镀材料，可以直接将遮挡条31拆下，以便于更换遮挡条31。上述遮挡条31的安装和拆卸过程，简单方便，且能够保证遮挡条31与掩膜板本体20之间的紧密贴合连接，避免两者之间具有间隔，使蒸镀过程中的蒸镀材料沉积在掩膜板本体上。

本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件，应用于真空蒸镀过程时，可以使未通过掩膜板本体上开口的蒸镀材料沉积在与掩膜板本体相连接的遮挡部上，避免在掩膜板本体上积累。采用该设置结构，可以通过更换遮挡部的形式对掩膜板组件上所积累的蒸镀材料进行清除，避免了现有技术对掩膜板本体的清洗过程，从而简化了真空蒸镀工艺的辅助工序。

以上所述的是本实用新型的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本实用新型所述的原理前提下还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种蒸镀用掩膜板组件，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口，其特征在于，所述掩膜板组件还包括遮挡部，所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态；其中在所述第一状态下，所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。

2.根据权利要求1所述的蒸镀用掩膜板组件，其特征在于，所述掩膜板组件还包括：

框体，形成有用于使蒸发材料通过的穿透空间，所述掩膜板本体设置于所述穿透空间中，与所述框体固定连接。

3.根据权利要求2所述的蒸镀用掩膜板组件，其特征在于，所述遮挡部与所述框体可拆卸连接，所述遮挡部固定于所述框体上时，处于所述第一状态；所述遮挡部从所述框体上拆卸下来时，处于所述第二状态。

4.根据权利要求3所述的蒸镀用掩膜板组件，其特征在于，所述遮挡部包括多个交叉设置的遮挡条，其中每一所述遮挡条的相对两端分别与所述框体可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的蒸镀用掩膜板组件，其特征在于，每一所述遮挡条的两端分别设置有卷动结构，部分的所述遮挡条绕设于所述卷动结构上；

通过所述卷动结构与所述框体卡设连接，所述遮挡条与所述框体可拆卸连接。

6.根据权利要求5所述的蒸镀用掩膜板组件，其特征在于，所述框体上开设有导向空间，所述卷动结构处于与所述框体脱离卡设连接的状态，且设置于所述导向空间中时，能够沿所述导向空间朝卷收所述遮挡条的第一方向转动和朝释放所述遮挡条的第二方向转动；

其中所述导向空间的内部设置有卡设结构，所述卷动结构移动至所述卡设结构的设置位置处时，通过所述卡设结构与所述框体卡设连接。

7.根据权利要求6所述的蒸镀用掩膜板组件，其特征在于，所述卷动结构的相对两个端面上分别设置有突出的定位轴，所述定位轴在所述卷动结构的内部与弹性支座连接，通过所述弹性支座，所述定位轴的突出长度变化；

所述卡设结构包括开设在所述导向空间的内壁面上的定位孔，其中所述定位轴与所述定位孔对位时，从第一突出长度伸长至第二突出长度，插设进入所述定位孔的内部，所述卷动结构与所述框体卡设连接。

8.根据权利要求5至7任一项所述的蒸镀用掩膜板组件，其特征在于，所述卷动结构包括一卷动轴承。

9.根据权利要求1所述的蒸镀用掩膜板组件，其特征在于，所述掩膜板本体采用因瓦合金材料制成。

10.根据权利要求1所述的蒸镀用掩膜板组件，其特征在于，所述遮挡部采用金属材料制成，且厚度小于等于0.5毫米。