CN112080720A - 一种支撑条、oled蒸镀掩膜板及其制作方法 - Google Patents

一种支撑条、oled蒸镀掩膜板及其制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种支撑条、OLED蒸镀掩膜板及其制作方法，支撑条上设置有两个以上的开孔且所有开孔分别关于支撑条的短边中点连接线和所述支撑条的长边中点连接线对称，减轻了支撑条重量，降低了掩模板下垂量，从而防止蒸镀过程中由于掩模板与阵列基板间缝隙造成的对位不准确、阴影过大、混色以及均一性差等问题而造成产品显示混色良率降低、OLED产品分辨率的进一步提升受限制以及大尺寸掩模板的应用效果不佳的现象，提升了产品良率。同时，保证了支撑条受力均匀不易变形。

Description

一种支撑条、OLED蒸镀掩膜板及其制作方法
技术领域
本发明涉及OLED制造技术领域，具体涉及一种支撑条、OLED蒸镀掩膜板及其制作方法。
背景技术
在当前OLED(Organic Light-Emitting display，有机发光二极管)技术中，用于真空蒸镀的掩模板至关重要，该部件将直接决定OLED产品的显示效果与品质。掩模板(Mask)，特别是高精细金属掩模板(Fine metal Mask)用于蒸镀发光层材料，材料蒸汽通过掩模板上精细掩模条上的开口区域精准地附着到阵列基板上形成像素图形。在掩模条的下方设置多个遮挡条(cover)和支撑条(howling)，支撑条与以上的掩膜条紧密贴合，主要用于支撑精细金属掩模条以维持开口区域的位置及形状，且不会对开口形成遮挡。
在现有技术中，精细掩模条、遮挡条(cover)和支撑条(howling)为低膨胀系数的因瓦合金，通过焊接方式固定到掩模外框上，但由于其自身重力及制程工艺等因素，掩模条不可避免地在局部区域发生下垂(bending)，特别是在大尺寸的掩模板中更加明显，这样在蒸镀时掩模板与蒸镀基板之间就不能完全紧密贴合，从而出现蒸镀混色现象严重、阴影(shadow)过大以及均一性差等问题，并且随着分辨率的提高，精细金属掩膜板与蒸镀基板之间下垂量更易引起的对位偏移或者阴影增大，引起产品显示混色良率降低，极大地限制了OLED产品分辨率的进一步提升以及大尺寸掩模板的应用。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种支撑条、OLED蒸镀掩膜板及其制作方法，以解决掩膜板的下垂所导致的产品良率问题。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种支撑条，所述支撑条上设置有两个以上的开孔；
所述支撑条上的所有开孔分别关于所述支撑条的短边中点连接线与长边中点连接线对称。
为了解决上述问题，本发明采用的另一技术方案为：
一种OLED蒸镀掩膜板，包括多个如上所述的支撑条；
多个所述支撑条上的开孔的大小、形状以及位置均为相同。
为了解决上述问题，本发明还采用的另一技术方案为：
一种OLED蒸镀掩膜板制作方法，包括如下步骤：
S1、将多个如上所述的支撑条竖向平铺在掩膜外框上，将多个遮挡条横向平铺在多个支撑条上，将多个掩膜条横向放置在多个遮挡条上；
S2、调整所述多个支撑条的位置使所述掩膜条相邻的开口区域的间隔正下方都有一个所述支撑条且多个所述支撑条对称设置在多个所述掩膜条的水平下方，调整多个所述遮挡条的位置使相邻掩膜条的间隙处都有一个所述遮挡条；
S3、将多个所述支撑条、多个所述遮挡条和多个所述掩膜条焊接固定在所述掩膜外框上。
本发明的有益效果在于：提供一种支撑条、OLED蒸镀掩膜板及其制作方法，通过在支撑条设置开孔，减轻了支撑条重量，降低了掩模板下垂量，从而防止蒸镀过程中由于掩模板与阵列基板间缝隙造成的对位不准确、阴影过大、混色以及均一性差等问题而造成产品显示混色良率降低、OLED产品分辨率的进一步提升受限制以及大尺寸掩模板的应用效果不佳的现象，提升了产品良率。
附图说明
图1为本发明实施例的一种用于OLED蒸镀的掩膜板组件的结构示意图；
图2为本发明实施例的一种用于OLED蒸镀的掩膜板组件多列布置开孔的结构示意图；
图3为本发明实施例的一种用于OLED蒸镀的掩膜板的结构示意图；
图4为本发明实施例的一种用于OLED蒸镀的掩膜板制作方法的流程示意图。
标号说明：
1、掩膜条；2、支撑条；3、遮挡条；4、掩膜外框；5、开孔；6、短边中点连接线；7、长边中点连接线。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
请参照图1和图2，一种支撑条2，所述支撑条2上设置有两个以上的开孔5；
所述支撑条2上的所有开孔5分别关于所述支撑条2的短边中点连接线6与长边中点连接线7对称。
从上述描述可知，本发明的有益效果在于：提供一种支撑条2，通过在支撑条2设置开孔5，减轻了支撑条2重量，降低了掩模板下垂量，从而防止蒸镀过程中由于掩模板与阵列基板间缝隙造成的对位不准确、阴影过大、混色以及均一性差等问题而造成产品显示混色良率降低、OLED产品分辨率的进一步提升受限制以及大尺寸掩模板的应用效果不佳的现象，提升了产品良率。
进一步地，所述支撑条2上的所有开孔5为同一轴对称图形。
从上述描述可知，开孔5的设计为轴对称图形，以便实现开孔5同时关于所述支撑条2的短边中点连接线6与长边中点连接线7对称。
进一步地，所述支撑条2上的开孔5列数为一列，所有所述开孔5的形心都在所述支撑条2的短边中点连接线6上。
从上述描述可知，提供一种支撑条2的较佳实施例，支撑条2上的开孔5为一列，且所有开孔5的形心都在所述支撑条2的短边中点连接线6上，以避免支撑条2因受力不均而易发生扭曲形变的问题。
进一步地，所述支撑条2上的开孔5列数为大于或者等于两列；
每一列所述开孔5等间距设置。
从上述描述可知，提供一种支撑条2的另一较佳实施例，支撑条2上设置多列开孔5，强化减轻支撑条2重量的效果，且保证每列开孔5等间距设置，以避免支撑条2因受力不均而易发生扭曲形变的问题。
进一步地，所述支撑条2在短边方向上的开孔5区域总长度为所述支撑条2的短边长度的30％至60％。
从上述描述可知，在通过设置开孔5以减轻支撑条2重量的同时，合理设置开孔5的尺寸，以保证支撑条2的支撑能力，使得支撑条2不会因开孔5处的开孔5过大而容易发生断裂。
进一步地，所述支撑条2的结构材料为碳纤维或聚合高分子材料。
从上述描述可知，通过改变支撑条2的结构材料，使用较轻的材料，也可以实现减轻支撑条2重量，进而以解决掩膜板的下垂量所导致的产品良率问题。
请参照图3，一种OLED蒸镀掩膜板，包括多个如上所述支撑条2；
多个所述支撑条2上的开孔5的大小、形状以及位置均为相同。
从上述描述可知，本发明的有益效果在于：一种OLED蒸镀掩膜板，通过在OLED蒸镀掩膜板的组件支撑条2设置开孔5，减轻了支撑条2重量，降低了掩模板下垂量，从而防止蒸镀过程中由于掩模板与阵列基板间缝隙造成的对位不准确、阴影过大、混色以及均一性差等问题而造成产品显示混色良率降低、OLED产品分辨率的进一步提升受限制以及大尺寸掩模板的应用效果不佳的现象，提升了产品良率。
进一步地，还包括多个掩膜条1、多个遮挡条3和掩膜外框4；
所述掩膜外框4的一面上放置有多个所述支撑条2；
所述支撑条2上远离所述掩膜外框4的一面上均匀放置有与所述支撑条2垂直的多个所述掩膜条1和多个所述遮挡条3，每一个所述遮挡条3位于相邻所述掩膜条1的间隙处；
多个所述遮挡条3与多个所述支撑条2形成栅格，所述掩膜条1的开口区域的正向投影落入所述栅格内。
从上述描述可知，OLED蒸镀过程中使用的掩膜条1等其他组件与本发明提供的一种支撑条2配合使用，组合成具有上述有益效果的OLED蒸馏掩膜板。
请参照图4，一种OLED蒸镀掩膜板制作方法，包括如下步骤：
S1、将多个如上所述的支撑条2竖向平铺在掩膜外框上4，将多个遮挡条3横向平铺在多个支撑条2上，将多个掩膜条1横向放置在多个遮挡条3上；
S2、调整所述多个支撑条2的位置使所述掩膜条1相邻的开口区域的间隔正下方都有一个所述支撑条2且多个所述支撑条2对称设置在多个所述掩膜条1的水平下方，调整多个所述遮挡条3的位置使相邻掩膜条1的间隙处都有一个所述遮挡条3；
S3、将多个所述支撑条2、多个所述遮挡条3和多个所述掩膜条1焊接固定在所述掩膜外框4上。
从上述描述可知，本发明的有益效果在于：提供一种支撑条2、OLED蒸镀掩膜板及其制作方法，该方法通过在支撑条2设置开孔5，减轻了支撑条2重量，降低了掩模板下垂量，从而防止蒸镀过程中由于掩模板与阵列基板间缝隙造成的对位不准确、阴影过大、混色以及均一性差等问题而造成产品显示混色良率降低、OLED产品分辨率的进一步提升受限制以及大尺寸掩模板的应用效果不佳的现象，提升了产品良率。
进一步地，所述步骤S3具体为：
将由碳纤维或聚合高分子材料制成的多个支撑条2粘接固定在掩膜外框4上，将由因瓦合金制成的多个遮挡条3和多个掩膜条1焊接固定在掩膜外框4上；或者
将由因瓦合金制成的多个支撑条2、多个遮挡条3和多个掩膜条1焊接固定在所述掩膜外框上4。
从上述描述可知，通过改变支撑条2的结构材料也可达到减轻支撑条2重量的目的，且替换结构材料后，相应的支撑条2固定方式也发生改变。
请参照图1，本发明的实施例一为：
一种支撑条2，支撑条2上设置有两个以上的开孔5；
支撑条2上的所有开孔5分别关于支撑条2的短边中点连接线6与长边中点连接线7对称。
在本实施例中，支撑条2由因瓦合金构成。支撑条2在短边方向上的开孔5区域总长度为支撑条2的短边长度的30％至60％；支撑条2上的开孔5列数为一列，所有开孔5的形心都在支撑条2的短边中点连接线6上；这样，减轻支撑条2重量的同时，保证了支撑条2的支撑能力与蒸镀时受力均匀，不易发生形变。
同样，在本实施例中，支撑条2上的所有开孔5为同一轴对称图形，本实施例中呈现的有：圆形、菱形和矩形；在其他等同实施例中，也可以为其他轴对称图形。另外，本实施例中支撑条2厚度为20-60μm，具体可根据实际需求进行选择。
请参照图2，本发明的实施例二为：
一种支撑条2，在上述实施例一的基础上，如图2所示，本实施例中的支撑条2上的开孔5列数两列，两列开孔5等间距设置，在其他等同实施例中，支撑条2上的开孔5列数也可以大于两列，只要每一列的开孔5等间距设置即可。多列开孔5的设置增强了减轻支撑条2重量的效果，同时每一列开孔5等间距设置，则是为了保证支撑条2在蒸镀时受力均匀，不易发生形变。
本发明的实施例三为：
一种支撑条2，在上述实施例一的基础上，支撑条2的结构材料替换为碳纤维或聚合高分子材料，达到了减轻支撑条2重量的效果。
请参照图3，本发明的实施例四为：
一种OLED蒸镀掩膜板，包括多个如上述实施例一至实施例三中任一所述的支撑条2、多个掩膜条1、多个遮挡条3和掩膜外框4；如图3所示，在本实施例中，支撑条2、掩膜条1和遮挡条3均为三个。
其中，多个支撑条2上的开孔5的大小、形状以及位置均为相同。掩膜外框4的一面上放置有多个支撑条2，支撑条2上远离所述掩膜外框4的一面上均匀放置有与支撑条2垂直的多个掩膜条1和多个遮挡条3，每一个遮挡条3位于相邻所述掩膜条1的间隙处且多个遮挡条3与多个支撑条2形成栅格，其中，掩膜条1的开口区域的正向投影落入所述栅格内。
在本实施例中，加入了设有开孔5的支撑条2后的掩膜板，在蒸镀过程中可避免由于掩模板与阵列基板间缝隙造成的对位不准确、阴影过大、混色以及均一性差等问题而造成产品显示混色良率降低、OLED产品分辨率的进一步提升受限制以及大尺寸掩模板的应用效果不佳的现象，提升了产品良率。
请参照图4，本发明的实施例五为：
一种OLED蒸镀掩膜板制作方法，包括如下步骤：
S1、将多个如上述实施例一至实施例三中任一所述的支撑条2竖向平铺在掩膜外框4上，将多个遮挡条3横向平铺在多个支撑条2上，将多个掩膜条1横向放置在多个遮挡条3上；
S2、调整多个支撑条2的位置使掩膜条1相邻的开口区域的间隔正下方都有一个支撑条2且多个支撑条2对称设置在多个掩膜条1的水平下方，调整多个遮挡条3的位置使相邻掩膜条1的间隙处都有一个遮挡条3；
S3、将多个支撑条2、多个遮挡条3和多个掩膜条1焊接固定在掩膜外框4上。
请参照图4，本发明的实施例六为：
一种OLED蒸镀掩膜板制作方法，在上述实施例五的基础上，步骤S3替换为：
将由碳纤维或聚合高分子材料制成的多个支撑条2粘接固定在掩膜外框4上，将由因瓦合金制成的多个遮挡条3和多个掩膜条1焊接固定在掩膜外框4上。
在本实施例中，通过替换支撑条2材料而实现减轻其重量的效果，并且也改变支撑条的固定方式，使得支撑条2简单易加工，成本低。
综上所述，本发明提供的一种支撑条、OLED蒸镀掩膜板及其制作方法，通过在支撑条设置开孔，减轻了支撑条重量，降低了掩模板下垂量，从而防止蒸镀过程中由于掩模板与阵列基板间缝隙造成的对位不准确、阴影过大、混色以及均一性差等问题而造成产品显示混色良率降低、OLED产品分辨率的进一步提升受限制以及大尺寸掩模板的应用效果不佳的现象，提升了产品良率。同时，支撑条开孔的设置大小、形状、位置以及列数都以对称设计为标准，在减轻支撑条重量的同时，保证其受力均匀而不易发生扭曲形变；限制开孔的大小设计更是为了保证支撑条的支撑力度。除了开孔设置，通过替换支撑条的结构材料也可实现支撑条重量的减轻。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种支撑条，其特征在于，所述支撑条上设置有两个以上的开孔；
所述支撑条上的所有开孔分别关于所述支撑条的短边中点连接线和所述支撑条的长边中点连接线对称。
2.根据权利要求1所述的一种支撑条，其特征在于：所述支撑条上的所有开孔为同一轴对称图形。
3.根据权利要求1所述的一种支撑条，其特征在于，所述支撑条上的开孔列数为一列，所有所述开孔的形心都在所述支撑条的短边中点连接线上。
4.根据权利要求1所述的一种支撑条，其特征在于，所述支撑条上的开孔列数大于或者等于两列；
每一列所述开孔等间距设置。
5.根据权利要求1所述的一种支撑条，其特征在于，所述支撑条在短边方向上的开孔区域总长度为所述支撑条的短边长度的30％至60％。
6.根据权利要求1所述的一种支撑条，其特征在于，所述支撑条的结构材料为碳纤维或聚合高分子材料。
7.一种OLED蒸镀掩膜板，其特征在于，包括多个如权利要求1-6任一所述的支撑条；
多个所述支撑条上的开孔的大小、形状以及位置均为相同。
8.根据权利要求7所述的一种OLED蒸镀掩膜板，其特征在于，还包括多个掩膜条、多个遮挡条和掩膜外框；
所述掩膜外框的一面上放置有多个所述支撑条；
所述支撑条上远离所述掩膜外框的一面上均匀放置有与所述支撑条垂直的多个所述掩膜条和多个所述遮挡条，每一个所述遮挡条位于相邻所述掩膜条的间隙处；
多个所述遮挡条与多个所述支撑条形成栅格，所述掩膜条的开口区域的正向投影落入所述栅格内。
9.一种OLED蒸镀掩膜板制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、将多个如权利要求1-6任一所述的支撑条竖向平铺在掩膜外框上，将多个遮挡条横向平铺在多个支撑条上，将多个掩膜条横向放置在多个遮挡条上；
S2、调整所述多个支撑条的位置使所述掩膜条相邻的开口区域的间隔正下方都有一个所述支撑条且多个所述支撑条对称设置在多个所述掩膜条的水平下方，调整多个所述遮挡条的位置使相邻掩膜条的间隙处都有一个所述遮挡条；
S3、将多个所述支撑条、多个所述遮挡条和多个所述掩膜条焊接固定在所述掩膜外框上。
10.根据权利要求9所述的一种OLED蒸镀掩膜板制作方法，其特征在于，所述步骤S3具体为：
将由碳纤维或聚合高分子材料制成的多个所述支撑条粘接固定在所述掩膜外框上，将由因瓦合金制成的多个所述遮挡条和多个所述掩膜条焊接固定在所述掩膜外框上；或者
将由因瓦合金制成的多个所述支撑条、多个所述遮挡条和多个所述掩膜条焊接固定在所述掩膜外框上。
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