KR101812772B1 - 유기 발광 소자용 마스크, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 증착장치 - Google Patents

유기 발광 소자용 마스크, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 증착장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크는 복수의 화소홀이 형성된 증착영역과 증착영역의 둘레부에 형성된 복수의 핀홀을 포함하는 복수의 단위 마스크; 및 복수의 단위 마스크가 서로 접촉되는 부분의 하부에 위치하고, 복수의 핀홀과 대응되는 위치에 형성된 핀 삽입홈을 포함하는 지지부; 및 핀홀 및 핀 삽입홈에 삽입되어, 단위 마스크를 지지부에 고정하는 복수의 고정핀을 포함하고, 복수의 단위 마스크는 제1 방향 및 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 서로 결합되고, 지지부는 격자형태로 형성된다.

Description

유기 발광 소자용 마스크, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 증착장치{MASK FOR OLED, MANUFACTURING METHOD OF THE SAME AND EVAPORATOR HAVING THE SAME}
본 발명은 유기 발광 소자용 마스크, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다.
유기 발광 소자(OLED: Organic Light Emitting Diode)는 두 개의 전극 사이에 유기물을 배열하고 전계를 가하여 빛을 내는 디스플레이의 한 방식으로, 고효율, 고속 응답, 저 소비전력, 고화질, 광시야각 등 디스플레이로서 필요한 요소를 상당수 가지고 있어 차세대 디스플레이로 주목받아 왔다.
OLED 디스플레이의 구조는 OLED 패널과 구동부(Driving Circuit)로 크게 나누어진다. [0003] 이 중, OLED 패널은 백플레인(backplane), OLED 픽셀, 봉지부 등으로 구성된다. OLED 패널의 공정 순서는 구동 소자인 TFT와 각종 배선을 형성하는 백플레인 공정, 빛을 내는 화소를 형성하는 OLED 공정, 소자를 보호하기 위한 봉지(Encapsulating)공정 등을 포함한다.
한편, OLED는 유기 재료를 사용하기 때문에 수명이 짧기도 하지만 수분에 매우 취약하다. 따라서, OLED 디스플레이의 제조에서 유기 재료에 물이나 산소가 들어가지 못하게 하는 것이 중요한데, 이를 위한 공정이 위에서 설명한 봉지 공정이다.
봉지 공정은 보통 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)를 이용하여 적녹청(RGB)의 유기 재료위에 이산화규소(SiO2) 등을 증착하는 방법으로 수행된다.
PECVD 공정을 보면, 공정 가스 주입구를 통하여 공정챔버 내에 실란(SiH4)과 산소(O2)를 주입하고, 공정 가스에 고전압을 인가하여 공정 가스를 플라즈마 상태로 만든다.
플라즈마화에 의해 이온화된 규소(Si) 와 산소(O)는 유기 재료 위에 증착되어 이산화규소(SiO2) 봉지막을 형성한다. 여기서, 유기 재료를 선택적으로 개방시키는 메탈 마스크가 사용된다.
그런데, PECVD 공정으로 유기 재료 위에 이산화규소(SiO2) 봉지막을 형성하는 과정에서, 이산화규소(SiO2) 등을 포함하는 규소 화합물은 유기 재료뿐만 아니라 공정 챔버 내벽, 캐리어, 마스크, 공정 가스 노즐 등에도 증착되고, 그 결과 PECVD 공정의 증착 효율을 떨어뜨린다.
한편, 이와 관련하여 대한민국등록특허 제10-1480113호(발명의 명칭: 유기 발광 소자 제조용 마스크 및 그 제조 방법)에서는, 유리 기판과 열팽창율이 유사한 재질로 이루어지는 메탈 마스크 및 메탈 마스크의 표면에 증착되고 불소계 세정제에 내식성을 갖는 식각 방지막을 포함하는 구성을 개시하고 있다.
하지만, 종래의 유기발광 소자용 마스크는 증착 물질이 홀에 부착되어, 공정이 진행함에 따라 문제점이 있다.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 유기 발광 소자를 정밀하게 형성할 수 있는 유기 발광 소자용 마스크를 제공하는 것을 목적으로 한다.
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제1 측면에 따른 유기 발광 소자용 마스크는, 복수의 화소홀이 형성된 증착영역과 증착영역의 둘레부에 형성된 복수의 핀홀을 포함하는 복수의 단위 마스크; 및 복수의 단위 마스크가 서로 접촉되는 부분의 하부에 위치하고, 복수의 핀홀과 대응되는 위치에 형성된 핀 삽입홈을 포함하는 지지부; 및 핀홀 및 핀 삽입홈에 삽입되어, 단위 마스크를 지지부에 고정하는 복수의 고정핀을 포함하고, 복수의 단위 마스크는 제1 방향 및 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 서로 결합되고, 지지부는 격자형태로 형성된다
또한, 본원의 제2 측면에 따른 유기 발광 소자용 마스크 제조 방법은, 단위 마스크를 제작하는 단계; 복수의 단위 마스크를 제1 방향 및 제1 방향과 수직되는 제2 방향으로 배열하는 단계; 단위 마스크의 핀홀에 고정핀을 삽입하는 단계; 및 정핀의 단부를 지지부의 핀 삽입홈에 삽입하여, 지지부를 고정하는 단계를 포함한다.
또한, 본원의 제3 측면에 따른 유기 발광 소자용 증착장치는, 유기 발광 소자용 마스크; 유기 발광 소자용 마스크의 하부에 위치하고, 증착물질를 배출하는 적어도 하나 이상의 증착원; 및 유기 발광 소자용 마스크의 상부에 위치하고, 유기 발광 소자용 마스크의 화소홀을 통과한 증착물질이 증착되는 기판을 포함한다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 단위 마스크 사이의 간격을 최소화하고, 증착물질이 통과하는 화소홀에 단차부가 형성하여 유기 발광 소자를 정밀하게 형성할 수 있는 효과가 크게 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크의 부분 단면 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크의 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 단위 마스크의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 단위 마스크의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크의 부분 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크 제조 방법의 순서도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 증착장치의 단면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.
본원은 유기 발광 소자용 마스크, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크의 부분 단면 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크의 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 단위 마스크의 사시도이고, 도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 단위 마스크의 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크의 부분 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크 제조 방법의 순서도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 증착장치의 단면도이다.
우선, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본원의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크(10)(이하, '유기 발광 소자용 마스크(10)'라 함)에 대해 설명한다.
유기 발광 소자용 마스크(10)는 복수의 단위 마스크(100), 지지부(200), 및 복수의 고정핀(400)을 포함한다.
단위 마스크(100)는 복수의 화소홀(111)이 형성된 증착영역(110)과 증착영역(110)의 둘레부에 형성된 복수의 핀홀(120)을 포함한다.
또한, 도 1을 참조하면, 복수의 단위 마스크(100)는 제1 방향 및 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 서로 결합된다. 상술한 제1 방향이란 도 1의 4시 방향 및 10시 방향이고, 제2 방향은 도 1의 2시 방향 및 8시 방향일 수 있다.
예시적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 단위 마스크(100)는 제1 방향으로 3개의 단위 마스크(100)가 서로 결합되고, 제2 방향으로 3개의 단위 마스크(100)가 결합될 수 있으나, 단위 마스크(100)의 개수는 이에 한하지 않고, 증착물질이 증착되는 기판(30)의 크기에 따라 다양하게 형성될 수 있다.
화소홀(111)은 증착영역(110) 내 매트릭스 형태로 복수가 위치할 수 있으며, 각각의 화소홀(111)은 긴 직사각형 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 한하지 않고 원형 또는 다각형 형상으로 형성될 수 있다.
복수의 핀홀(120)은 증착영역(110)의 둘레부를 따라 소정의 거리 이격되어 형성될 수 있다. 또한, 핀홀(120)에는 후술되는 고정핀(400)이 삽입되어, 단위 마스크(100)가 지지부(200)에 고정될 수 있다.
지지부(200)는 복수의 단위 마스크(100)가 서로 접촉되는 부분의 하부에 위치하고, 복수의 핀홀(120)과 대응되는 위치에 형성된 핀 삽입홈(211)을 포함한다.
다시 말해, 지지부(200)는 상부면이 복수의 단위 마스크(100)에 형성된 핀홀(120)이 형성된 부분의 하부면에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 도 2에 도시된 바와 같이, 지지부(200)는 격자형태로 형성된다.
지지부(200)는 복수의 단위 마스크(100)에서 핀홀(120)이 형성된 영역 중 단위 마스크(100)가 서로 접합되는 부분에 위치한 영역과 대응되는 형상으로 형성될 수 있다.
예시적으로, 도 2를 참조하면, 제1 단위 마스크(101)의 우측에 위치한 복수의 핀홀(120)이 형성된 부분과 제2 단위 마스크(102)의 좌측에 위치한 복수의 핀홀(120)이 형성된 부분의 하부면에 지지부(200)의 상부면이 위치하여, 제1 단위 마스크(101) 및 제2 단위 마스크(102)가 서로 고정될 수 있다. 상술한 우측이란 도 2의 4시 방향이고, 좌측이란 도 2의 10시 방향일 수 있다.
유기 발광 소자용 마스크(10)는 단위 마스크(100) 사이에 별도의 고정부재가 위치하지 않아, 단위 마스크(100) 사이의 간격을 최소화 하여 대면적의 유기 발광 소자를 정밀하게 형성할 수 있다. 또한, 복수의 단위 마스크(100)의 하부에 격자형태로 지지부(200)가 위치하여, 복수의 단위 마스크(100)의 처짐을 방지할 수 있다.
또한, 복수의 단위 마스크(100)와 지지부(200)는 고정핀(400)에 의해 서로 고정될 수 있다.
다시 말해, 고정핀(400)은 핀홀(120) 및 핀 삽입홈(211)에 삽입되어, 단위 마스크(100)를 지지부(200)에 고정한다. 또한, 복수의 단위 마스크(100)와 지지부(200)는 1차적으로 고정핀(400)에 의해 고정된 후, 2차적으로 접착물질에 의해 서로 고정될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하도록 한다.
또한, 유기 발광 소자용 마스크(10)는 프레임부(300)를 더 포함할 수 있다.
프레임부(300)는 복수의 단위 마스크(100)가 개구부(310)의 내측면에 접합되어, 복수의 단위 마스크(100)를 지지할 수 있다. 예시적으로, 프레임부(300)는 금속 또는 합성수지 등으로 제조될 수 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이 사각 형상으로 하나의 개구부(310)를 갖도록 형성될 수 있으나, 이에 한하지 않고, 원형 또는 육각형 등의 다양한 형상으로 형성되어 하나 이상의 개구부(310)를 갖도록 형성될 수도 있다.
또한, 복수의 단위 마스크(100)는 증착영역(110)이 개구부(310)와 대응되도록 프레임부(300)의 상부면 또는 하부면에 고정될 수도 있다.
이하, 도 4 및 도 5를 참조하여, 본원의 일 실시예에 따른 단위 마스크(100) 및 지지부(200)에 대해 상세히 설명한다.
도 4를 참조하면, 단위 마스크(100)는 복수의 제1 화소홀(131)이 형성된 제1 마스크층(130) 및 제1 마스크층(130)의 하부에 위치하고, 제1 화소홀(131)과 대응되는 위치에 제2 화소홀(141)이 형성된 제2 마스크층(140)을 포함할 수 있다. 또한, 제1 마스크층(130)은 증착물질이 증착되는 기판(30)이 위치한 방향에 위치하고, 제2 마스크층(140)은 증착물질을 공급하는 증착원(20)이 위치한 방향에 위치할 수 있다.
또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 화소홀(141)은 제1 화소홀(131)보다 크게 형성될 수 있다.
다시 말해, 증착공정 시, 증착물질이 화소홀(111)의 내부면에 증착되어, 화소홀(111)의 형태와 크기가 변형되어 음영현상이 발생하는 문제점이 있다. 하지만, 본원의 단위 마스크(100)는 제2 화소홀(141)의 크기와 제1 화소홀(131)의 크기가 상이하여, 화소홀(111)에 단차부가 형성되며, 화소홀(111)의 단차부에 증착물질이 증착되어, 제1 화소홀(131)의 크기가 변형되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 화소홀(111)은 제1 화소홀(131)과 제2 화소홀(141)이 서로 연통된 홀을 의미할 수 있다.
또한, 제1 마스크층(130)은 폴리이미드 필름이고, 제2 마스크층(140)은 실리콘 웨이퍼 일 수 있다. 아울러, 제1 화소홀(131)은 레이저 가공을 통해 형성되고, 제2 화소홀(141)은 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정을 통해 형성될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하도록 한다.
도 5를 참조하면, 지지부(200)는 단면이 ‘T’자형상으로 형성될 수 있다. 또한 지지부(200)는 상부면이 단위 마스크(100)의 하부면에 위치하는 제1 지지부(210) 및 제1 지지부(210)의 하부면으로부터 하부방향으로 연장형성되는 제2 지지부(220)를 포함할 수 있다.
다시 말해, 제1 지지부(210)의 상부면에는 핀 삽입홈(211)이 형성되어, 복수의 단위 마스크(100)를 지지할 수 있으며, 제2 지지부(220)는 제1 지지부(210)의 하부에 위치하고, 제1 지지부(210)의 폭보다 작게 형성되어, 후술되는 증착원(20)이 위치하는 공간을 충분이 형성할 수 있다. 아울러, 제2 지지부(220)는 각각의 단위 마스크(100) 하부에 위치하는 증착원(20)이 서로 간섭되지 않도록 구획할 수 있다.
또한, 도 7을 참조하면, 유기 발광 소자용 마스크(10)는 단위 마스크(100) 또는 지지부(300)에 연결되어 초음파를 전달하는 초음파 발생부(500)를 더 포함할 수 있다.
초음파 발생부(500)는 단위 마스크(100)에 초음파를 전달하여, 전달된 초음파에 의해 단위 마스크(100)가 진동할 수 있다. 이때, 단위 마스크(100)의 화소홀(111)에 증착된 증착물질을 제거할 수 있다.
상세하게는, 상술한 바와 같이, 증착공정 시, 증착물질이 화소홀(111)의 내부면에 증착되어, 화소홀(111)의 형태와 크기가 변형될 수 있다. 이때, 초음파 발생부(500)를 작동시켜, 단위 마스크(100)가 초음파에 의해 진동하게 되어, 제1 화소홀(131)과 제2 화소홀(141)에 증착된 증착물질을 제거할 수 있다.
예시적으로, 초음파 발생부(500)는, 도 7에 도시된 바와 같이 지지부(300)에 연결될 수 있으나, 이에 한하지 않고 단위 마스크(100)에 직접 연결될 수도 있다. 또한, 단위 마스크(100)에 초음파 발생부(500)가 연결될 경우, 초음파 발생부(500)는 단위 마스크(100)의 화소홀(111)에 간섭되지 않도록, 복수의 단위 마스크(100) 중 최측부에 위치한 단위 마스크(100)에 각각 연결될 수 있다.
이하, 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 마스크(10) 제작 방법에 대해서 설명한다.
단계(S100)에서는, 단위 마스크(100)를 제작할 수 있다.
상세하게는, 단계(S100)은 제1 마스크층(130) 및 제2 마스크층(140)을 접합하는 단계(S110), 레이저를 이용하여, 제1 마스크층(130)에 제1 화소홀(131)을 형성하는 단계(S120), 및 MEM 공정을 통해 제2 마스크층(140)에 제2 화소홀(141)을 형성하는 단계(S130)를 포함할 수 있다.
예시적으로, 단계(S110)에서는, 실리콘 웨이퍼로 이루어진 제2 마스크층(140)의 상부면에 폴리이미드 필름인 제1 마스크층(130)을 접착부재를 이용하여 접합하거나, 제2 마스크층(140)의 상부면에 폴리이미드 물질을 증착 또는 도포하여 제1 마스크층(130)을 형성할 수 있다.
단계(S120)에서는, 제1 마스크층(130)과 제2 마스크층(140)이 결합된 상태에서, 제1 마스크층(130)에 레이저를 조사하여 복수의 제1 화소홀(131)을 형성할 수 있다. 이때, 레이저가 제1 마스크층(130)과 제2 마스크층(140)을 관통하는 홀을 형성할 수 있으며, 단계(130)에서 제2 마스크층(140)에 형성된 홀을 MEMS 공정을 통해 확장하여 제2 화소홀(141)을 형성할 수 있다.
아울러, 단계(S120)에서는, 레이저를 통해 단위 마스크(100)에 형성된 핀홀(120)을 형성할 수 있다.
단계(S130)은 제2 마스크층(140)의 하부면에 제2 화소홀(141)과 대응되는 형상이 패터닝된 포토 레지스트층을 형성하는 단계(S131), 에칭 공정을 통해 제2 화소홀(141)을 형성하는 단계(S132), 및 포토 레지스트층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. MEMS 공정을 통해 홀을 형성하는 것은 일반적인 공정이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
단계(S200)에서는, 복수의 단위 마스크(100)를 제1 방향 및 제1 방향과 수직되는 제2 방향으로 배열할 수 있다.
이때, 단계(S200)에서는 단위 마스크(100)의 제1 마스크층(130)이 하부에 위치하도록 배열하여, 단계(S300)에서 핀홀(120)에 고정핀(400)을 삽입한 경우, 고정핀(400)이 돌출될 수 있다.
단계(S300)에서는, 단위 마스크(100)의 핀홀(120)에 고정핀(400)을 삽입할 수 있다.
단계(S400)에서는, 고정핀(400)의 단부를 지지부(200)의 핀 삽입홈(211)에 삽입하여, 지지부(200)를 고정할 수 있다.
예시적으로, 복수의 단위 마스크(100)와 지지부(200)는 지지부(200)의 핀 삽입홈(211)에 고정핀(400)을 삽입한 후, 접착 물질을 공급하여 서로 고정될 수 있다. 예시적으로, 접착물질은 에폭시일 수 있다.
다른 실시예로는, 복수의 단위 마스크(100)와 지지부(200)는 지지부(200)의 핀 삽입홈(211) 또는 지지부(200)의 상부면에 접착물질을 도포한 후, 핀 삽입홈(211)에 고정핀(400)을 삽입하여 서로 고정될 수 있다. 이때, 고정핀(400)은 지지부(200)가 올바른 위치에 고정되기 위한 가이드역할을 할 수 있다.
이후, 복수의 단위 마스크(100)를 프레임부(300)의 개구부(310)에 고정할 수 있다. 예시적으로, 복수의 단위 마스크(100)는 둘레면이 개구부(310)의 내측면에 접촉되도록, 프레임부(300)에 고정될 수 있다. 하지만 이에 한하지 않고, 복수의 단위 마스크(100)는 증착영역(110)이 개구부(310)와 대응되도록 프레임부(300)의 상부면 또는 하부면에 고정될 수도 있다.
이하, 도 7을 참조하며, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자용 증착장치에 대해서 설명한다.
유기 발광 소자용 증착장치는 유기 발광 소자용 마스크(10), 유기 발광 소자용 마스크(10)의 하부에 위치하고, 증착물질를 배출하는 적어도 하나 이상의 증착원(20); 및 유기 발광 소자용 마스크(10)의 상부에 위치하고, 유기 발광 소자용 마스크(10)의 화소홀(111)을 통과한 증착물질이 증착되는 기판(30)을 포함한다. 예시적으로, 본원의 유기 발광 소자용 증착장치는 증착물질을 기판(30)에 증착하여, 유기발광층을 형성하는 장치일 수 있다.
증착원(20)은 증착물질을 방사할 수 있다.
예시적으로, 증착원(20)은 챔버(미도시) 내부의 하부에 배치되어, 내부에 수납되어 있는 증착물질이 승화 또는 기화됨에 따라 기판(30)이 위치한 방향으로 증착물질을 방사할 수 있다. 구체적으로, 증착원(20)은 그 내부에 증착물질이 채워지는 도가니, 도가니를 가열시켜 도가니 내부에 채워진 증착물질을 증발시키기 위한 히터를 포함할 수 있다. 또한, 증착원(20)은 승화 또는 기화된 증착물질이 노즐을 통해 유기 발광 소자용 마스크(10)로 방사될 수 있다.
또한, 증착원(20)은, 도 7에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(100)마다 각각 배치될 수 있으며, 지지부(200)에 의해 인접한 증착원(20)에서 방사된 증착물질이 유입되지 않아 정밀한 유기 발광 소자를 형성할 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 유기 발광 소자용 마스크
100 : 단위 마스크 110 : 증착영역
111 : 화소홀 120 : 핀홀
130 : 제1 마스크층 131 : 제1 화소홀
140 : 제2 마스크층 141 : 제2 화소홀
200 : 지지부 210 : 제1 지지부
211 : 핀 삽입홈 220 : 제2 지지부
300 : 프레임부 310: 개구부
400 : 고정핀 500 : 초음파 발생부
20 : 증착원 30 : 기판

Claims (11)

  1. 유기 발광 소자용 마스크에 있어서,
    복수의 화소홀이 형성된 증착영역과 상기 증착영역의 둘레부에 형성된 복수의 핀홀을 포함하는 복수의 단위 마스크; 및
    상기 복수의 단위 마스크가 서로 접촉되는 부분의 하부에 위치하고, 상기 복수의 핀홀과 대응되는 위치에 형성된 핀 삽입홈을 포함하는 지지부; 및
    상기 핀홀 및 상기 핀 삽입홈에 삽입되어, 상기 단위 마스크를 상기 지지부에 고정하는 복수의 고정핀을 포함하고,
    상기 복수의 단위 마스크는 제1 방향 및 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 서로 결합되고, 상기 지지부는 격자형태로 형성되며,
    상기 단위 마스크는
    복수의 제1 화소홀이 형성된 제1 마스크층; 및
    상기 제1 마스크층의 하부에 위치하고, 상기 제1 화소홀과 대응되는 위치에 제2 화소홀이 형성되고, 실리콘 웨이퍼로 형성된 제2 마스크층를 포함하고,
    상기 제2 화소홀은 상기 제1 화소홀보다 크게 형성되고,
    상기 지지부는 단면이 'T'자 형상으로 형성되고,
    상부면이 상기 단위 마스크의 하부면에 위치하는 제1 지지부; 및
    상기 제1 지지부의 하부면으로부터 하부방향으로 연장형성되는 제2 지지부를 포함하는 것인 유기 발광 소자용 마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 단위 마스크가 위치하는 개구부를 구비하는 프레임부를 더 포함하는 것인 유기 발광 소자용 마스크.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 화소홀은 레이저 가공을 통해 형성되고, 상기 제2 화소홀은 MEMS 공정을 통해 형성되는 것인 유기 발광 소자용 마스크.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 단위 마스크 또는 상기 지지부에 연결되어 초음파를 전달하는 초음파 발생부를 더 포함하는 것인 유기 발광 소자용 마스크.
  8. 유기 발광 소자용 마스크 제작 방법에 있어서,
    단위 마스크를 제작하는 단계;
    복수의 단위 마스크를 제1 방향 및 상기 제1 방향과 수직되는 제2 방향으로 배열하는 단계;
    상기 단위 마스크의 핀홀에 고정핀을 삽입하는 단계; 및
    상기 고정핀의 단부를 지지부의 핀 삽입홈에 삽입하여, 지지부를 고정하는 단계를 포함하되,
    상기 단위 마스크는
    복수의 제1 화소홀이 형성된 제1 마스크층; 및
    상기 제1 마스크층의 하부에 위치하고, 상기 제1 화소홀과 대응되는 위치에 제2 화소홀이 형성되고, 실리콘 웨이퍼로 형성된 제2 마스크층를 포함하고,
    상기 제2 화소홀은 상기 제1 화소홀보다 크게 형성되고,
    상기 지지부는 단면이 'T'자 형상으로 형성되고,
    상부면이 상기 단위 마스크의 하부면에 위치하는 제1 지지부; 및
    상기 제1 지지부의 하부면으로부터 하부방향으로 연장형성되는 제2 지지부를 포함하는 것인 유기 발광 소자용 마스크 제작 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 단위 마스크를 제작하는 단계는
    제1 마스크층 및 제2 마스크층을 접합하는 단계;
    레이저를 이용하여, 제1 마스크층에 제1 화소홀을 형성하는 단계; 및
    MEMS 공정을 통해 상기 제2 마스크층에 제2 화소 홀을 형성하는 단계를 포함하는 것인 유기 발광 소자용 마스크 제작 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 화소홀을 형성하는 단계는
    상기 제2 마스크층의 하부면에 상기 제2 화소홀과 대응되는 형상이 패터닝된 포토 레지스트층을 형성하는 단계;
    에칭 공정을 통해 제2 화소홀을 형성하는 단계; 및
    상기 포토 레지스트층을 제거하는 단계를 포함하는 것인 유기 발광 소자용 마스크 제작 방법.
  11. 유기 발광 소자용 증착 장치에 있어서,
    제1항에 따른 유기 발광 소자용 마스크;
    상기 유기 발광 소자용 마스크의 하부에 위치하고, 증착물질를 배출하는 적어도 하나 이상의 증착원; 및
    상기 유기 발광 소자용 마스크의 상부에 위치하고, 상기 유기 발광 소자용 마스크의 화소홀을 통과한 증착물질이 증착되는 기판을 포함하는 유기 발광 소자용 증착장치.
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