KR100837475B1 - 증착장치 및 유기발광소자의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- (A) 복수의 증착원;(B) 피성막 기판을 유지하는 유지부재;(C) 증착원과 피성막 기판 사이에 배치되어, 상기 복수의 증착원에 대응하도록 각각 독립적으로 배치된 개구를 지닌 개구 부재; 및(D) 피성막 기판과, 증착원 및 개구 부재의 적어도 한쪽을 상기 유지된 피성막 기판을 포함하는 면에 평행인 면 내의 1 방향으로 이동시키는 이동수단을 포함하고,상기 복수개의 증착원은 상기 이동방향에 교차하는 방향인 상기 면내 방향을 따라 배치되어 있고,상기 개구의 이동 방향의 중앙에서의 폭이 상기 개구의 단부에서의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 복수의 증착원 사이에 배치된 칸막이 부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 칸막이 부재는 상기 증착원과 상기 개구 부재 사이의 공간 및 상기 개구 부재와 상기 피성막 기판 사이의 공간에 모두 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 개구의 상기 1 방향의 폭은 이웃하는 개구에 근접한 일단부 쪽이 타단부 쪽보다 작은 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 이동수단은 상기 피성막 기판을 이동시키는 수단인 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 증착원으로부터 증발된 증착 재료의 증발속도분포는 상기 증착원의 중심에 대해서 동심원 형상 또는 동심 타원형상인 것을 특징으로 하는 증착장치.
- (A) 복수의 증착원;(B) 피성막 기판을 유지하는 유지부재;(C) 증착원과 피성막 기판 사이에 배치되어, 상기 복수의 증착원에 대응하도록 각각 독립적으로 배치된 복수의 개구 부재;(D) 피성막 기판과, 증착원 및 개구 부재의 적어도 한쪽을 상기 유지된 피성막 기판을 포함하는 면에 평행인 면 내의 1 방향으로 이동시키는 이동수단; 및(E) 상기 복수의 증착원 사이에 배치된 칸막이 부재를 포함하고,상기 복수개의 증착원은 상기 이동방향에 교차하는 방향인 상기 면내 방향을 따라 배치되어 있고,개구의 이동 방향의 각 개구의 중앙에서의 폭이 상기 각 개구의 단부에서의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 유기 화합물의 증착 공정을 포함하는 유기발광소자의 제조방법으로서,상기 유기 화합물의 증착 공정은피성막 기판과, 복수의 증착원 및 개구 부재의 적어도 한쪽을 상기 피성막 기판을 포함하는 면에 평행인 면 내의 1 방향으로 이동시키는 공정;상기 증착원으로부터 유기 화합물을 증발시키는 공정; 및상기 증발된 유기 화합물을 상기 개구부재를 통과시켜 상기 피성막 기판에 막을 형성하는 공정을 포함하고;상기 개구 부재는 복수의 개구를 지니고 있고;상기 각 개구의 1 방향의 각 개구의 중앙에서의 폭이 상기 각 개구의 단부에서의 폭보다 작고;상기 복수의 개구는 각각의 복수의 증착원에 대응하도록 각각 독립적으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 발광소자의 제조방법.
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