CN110062858A

CN110062858A - 连接部封密结构及封密元件

Info

Publication number: CN110062858A
Application number: CN201780076052.9A
Authority: CN
Inventors: 竹田秀行; 岩田洋辉; 安江博人; 针山信二郎
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2016-12-13
Filing date: 2017-10-25
Publication date: 2019-07-26
Anticipated expiration: 2037-10-25
Also published as: WO2018110094A1; TWI702357B; TW201831815A; CN110062858B; KR102262376B1; JP2018096457A; US11073209B2; US20190301608A1; KR20190086565A; JP6416179B2

Abstract

一种连接部封密结构(1)，通过封密组件(31)连接第一连接部(11)与第二连接部(21)，被设于封密组件(31)上的第一及第二内压接推拔部(31h、31i)的推拔角(θ₁₁、θ₁₂)，小于被设于第一及第二连接部(11、21)上的第一及第二内推拔部(14a、24a)的推拔角(θ₁、θ₂)，因此，第一及第二内侧推拔压接份(P1、P2)的压接力，越接近第一及第二环状突起(17、27)的基端部(17a、27a)则变得越大。

Description

连接部封密结构及封密元件

技术领域

本发明是关于一种通过封密元件，以连接第一连接部与第二连接部的连接部封密结构及封密元件。

背景技术

目前，在半导体制造装置中，于构成管道或流体控制机器等零件的连接部分上，配置封密元件，以防止流体泄漏到外部。例如专利文献1及专利文献2所述的连接部封密结构，在管道的连接端面形成环状突起与推拔面，另外，在封密元件形成环状凹槽与推拔面，压入环状突起到环状凹槽，因压接推拔面们以构成的。另外，专利文献1所述的连接部封密结构，是设于封密元件上的推拔面的推拔角，大于设于连接端面上的推拔面的推拔角，推拔面们的压接份在接近远离环状突起的基端部的管道壁面的位置变得较大。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利第四465254号公报

专利文献2日本专利第五134573号公报

发明内容

发明解决的问题

但是，在专利文献1及专利文献2所述的连接部封密结构中，有以下的问题。在专利文献1所述的连接部封密结构中，推拔面们的压接份，在接近远离环状突起的基端部的管道壁面的位置变得较大。因此，在专利文献1所述的连接部封密结构中，较大的压接力施加在连接端面的壁厚较薄的管道壁附近，当管道壁面有往流路中心侧挠曲的情形时，专利文献1所述的连接部封密结构，有使流路变窄，或者，推拔面们的密封力因为挠曲而减少的可能。另外，在专利文献2中，虽然记载有压入环状突起到环状凹槽，接触推拔面们的内容，但是，针对其推拔形状及问题点并未明述。

本发明的目的是提供一种可以持续抑制流路的变形的拥有高密封性的连接部密封结构及密封部件，以解决上述的问题点。

解决问题的方式

本发明的第一方面，包括以下内容：(1)一种连接部封密结构，其是通过封密元件以连接第一连接部与第二连接部者，其特徵在于：所述第一连接部的连接端面与所述第二连接部的连接端面的两者或一者包括：管道壁，具有在所述连接端面开口的开口端部；环状突起，沿着所述管道壁的所述开口端部的外周形成环状，沿着所述管道壁的轴线方向突出设置；以及内组装凹槽，被设于所述环状突起的径向内侧；所述封密元件被形成环状，在两端面或一边的端面上，包括压入有所述环状突起的环状凹槽，其特徵在于：所述内组装凹槽，在所述环状突起的基端部的径向内侧，具有相对于所述环状突起而言被设成锐角的内推拔部，所述内推拔部连接在所述管道壁，所述封密元件的内周面，具有沿着位于所述环状凹槽开口的端面侧上的端部被形成的内压接推拔部，所述内压接推拔部是对应所述内推拔部以倾斜，所述内压接推拔部的推拔角，小于所述内推拔部的推拔角。

这种构成的连接部封密结构，是使被设于封密元件上的内压接推拔部的推拔角，小于被设于连接部上的内推拔部的推拔角，因此，内压接推拔部与内推拔部压接以密封的部分的压接力，在环状突起侧较大，在流路侧较小。也就是说，内压接推拔部与内推拔部压接以密封的部分的压接力，在连接部的壁厚较厚的部分中，变得较大，在壁厚较薄的部分中，变得较小。因此，当通过封密元件以连接第一连接部与第二连接部时，连接部被设于内推拔部与管道壁间的锐角部分的挠曲量变小。因此，当依据上述构成的连接部封密结构时，连接部因封密元件的推斥力，不使管道壁往径向内侧鼓出较大，因此，可防止或抑制流路变狭窄。而且，内推拔部施加在内压接推拔部上的表面压力，是朝向环状突起与环状凹槽压接份的密封部分产生。因此，产生在内推拔部与内压接推拔部压接的内侧推拔压接份、及环状突起与环状凹槽内壁密封的封密压接份的密封力增加。因此，当依据上述构成的连接部封密结构时，可确实防止流体的泄漏，可具有较高的密封性能。

(2)优选地，在(1)所述的构成中，包括所述内组装凹槽的所述连接端面，具有被设于所述环状突起的径向外侧的外组装凹槽，所述封密元件具有相对于所述外组装凹槽的内壁而言，往径向外侧压接的外侧压接份，所述外侧压接份是所述内压接推拔部小于压接于所述内推拔部上的内侧推拔压接份。

这种构成的连接部封密结构，是使外侧压接份小于内侧推拔压接份，因此，例如与使外侧压接份与内侧推拔压接份设为相同的情形相比较下，封密元件的推斥力减少。因此，当依据上述连接部封密结构时，当使第一连接部与第二连接部通过封密元件以连接后，可抑制第一连接部与第二连接部因为封密元件的推斥力而变形，可防止密封力的降低。

(3)优选地，在(2)所述的构成中，所述外侧压接份的位置，是比所述环状凹槽的内壁与所述环状突起所压接的封密压接份，还要靠近所述环状突起的基端部侧。

这种构成的连接部封密结构，是往外侧压接份的承受来自外组装凹槽内壁的表面压力，朝向环状突起与环状凹槽的内壁所压接的封密压接份以产生。因此，密封力增加。因此，当依据上述构成的连接部封密结构时，可确实防止流体泄漏，可具有较高的密封性能。

(4)优选地，在(2)或(3)所述的构成中，所述外组装凹槽在所述环状突起的基端部径向外侧，具有相对于所述环状突起而言，被设成锐角的外推拔部。

这种构成的连接部封密结构，是因外推拔部，外侧压接份变得很容易倒向环状突起的基端部侧。因此，当依据上述构成的连接部封密结构时，产生在封密压接份上的表面压力增加，所以，即使让外侧压接份小于内侧推拔压接份，密封力也增加，可确实防止流体泄漏。

(5)优选地，在(2)至(4)任一项所述的构成中，所述封密元件的外周面，具有沿着位于所述环状凹槽开口的端面侧上的端部形成的外压接推拔部。

这种构成的连接部封密结构，是因外压接推拔部，外侧压接份变得更容易倒向环状突起的基端部侧。因此，当依据上述构成的连接部封密结构时，产生在封密压接份上的表面压力增加，所以，即使让外侧压接份小于内侧推拔压接份，密封力也增加，可确实防止流体泄漏。

(6)优选地，在(2)至(5)任一项所述的构成中，所述封密元件是位于径向外侧的外周面，包含被近设于沿着所述外组装凹槽的所述轴线方向的面上的面。

这种构成的连接部封密结构，是例如重复环状凹槽与环状突起的过多装卸，或者，第一及第二连接部与封密元件暴露于异常的温度变化。在此情形下，即使外侧压接份的压接力降低，封密元件的外周面与沿着外组装凹槽的轴线方向的面也相抵接，封密元件的变形被抑制。此时，帮助外侧压接份被环状突起侧加压，所以，上述构成的连接部封密结构，是与初期状态及正常时的温度变化时同样地，可确保密封力。

(7)优选地，在(1)至(6)任一项所述的构成中，具有在通过所述封密元件的状态下，固定所述第一连接部与所述第二连接部的夹钳元件，所述第一连接部与所述第二连接部，被形成组装所述夹钳元件的夹钳凹槽，呈法兰形状，被设于所述第一连接部上的第一连接端面的形状，与被设于所述第二连接部上的第二连接端面的形状是相同，所述封密元件是所述两端面的形状相同。

这种构成的连接部封密结构，是第一及第二连接部因形成夹钳凹槽以成法兰形状，刚性较低。但是，封密元件的推斥力被减少。因此，当第一连接部与第二连接部通过封密元件以被连接时，反翘变形被抑制。因此，上述构成的连接部封密结构，是无须加厚第一及第二连接部与夹钳元件的壁厚以提高刚性，变得小型化。

(8)一种密封元件，为(1)至(7)中任一项所述的连接部密封结构中使用的密封元件。当依据这种构成的封密元件时，当被配置于第一及第二连接部间时的推斥力被抑制，所以，可以持续抑制被形成于第一及第二连接部上的流路的变形，可发挥较高密封性能。

发明的效果

因此，当依据本发明时，可提供一种持续抑制流路的变形，具有较高密封性能的连接部封密结构及封密元件。

附图说明

图1是本发明第一实施例的连接部封密结构的截面图。

图2是图1的A部的放大图。

图3是本发明第一实施例的密封环的正面透视图。

图4是图3中所示的密封环的密封本体部周边的放大截面图。

图5是第一及第二连接部的连接方法的示意图，表示暂时固定位置。

图6是第一及第二连接部的连接方法的示意图，表示开始压入时。

图7是第一及第二连接部的连接方法的示意图，表示结束压入时。

图8是产生在密封本体部的各压接部分上的力关系的示意图。

图9是图1所示的连接部密封结构的表表面压力力的解析结果的示意图。

图10是本发明第二实施例的连接部封密结构的截面图。

图11是第二实施例密封环的密封本体部周边的放大截面图。

图12是结束将第一及第二环状突起压入到第一及第二环状凹槽的作业的后的状态图。

图13是图10所示的连接部密封结构中的密封部分力关系的示意图。

图14是图10所示的连接部密封结构的表表面压力力的解析结果的示意图。

图15是本发明第三实施例的连接部密封结构中的密封本体部周边的放大截面图。

图16是第三实施例密封环的正视图。

图17是第三实施例密封环的俯视图。

图18是第三实施例密封环的后视图。

图19是第三实施例密封环的右视图。

图20是图16的BB截面图。

图21是图16的CC截面图。

图22是图16的DD截面图。

图23是第三实施例密封环的正面透视图。

图24是密封本体部的第一变形例。

图25是密封本体部的第二变形例。

图26是密封本体部的第三变形例。

图27是密封环变形例的正视图。

图28是图27中所示的密封环的俯视图。

图29是图27中所示的密封环的后视图。

图30是图27中所示的密封环的右视图。

图31是图27的JJ截面图。

图32是图27图的KK截面图。

图33是图27图的LL截面图。

图34是图27中所示的密封环的正面透视图。

附图标记说明

1、1x、1y 连接部密封结构

11、21 第一及第二连接部

12、22 第一及第二连接端面

14、24 第一及第二组装凹槽

14a、24a 第一及第二内推拔部

14b、24b 第一及第二外推拔部

16、26 第一及第二流路

16a、26a 第一及第二管道壁

16ax、26ax 开口端部

17、27 第一及第二环状突起

30 封密元件

31、31x、31y 密封本体部

31a、31b 第一及第二环状凹槽

31h、31i 第一及第二内压接推拔部

31p、31q 第一及第二外压接推拔部

P1、P2、P1x、P2x 第一及第二内侧推拔压接份

P3、P4、P3x、P4x 第一及第二外侧压接份

θ₁～θ₄、θ₁₁～θ₁₄、θ_11x～θ_14x 推拔角

具体实施方式

以下结合附图对本公开的连接部密封结构及密封元件进行说明。

(第一实施例)

<连接部密封结构的构成>

图1是本发明的第一实施例的连接部密封结构1的截面图。图2是图1的A部的放大图。而且，图2所述的第一及第二内侧推拔压接份P1、P2、第一及第二外侧压接份P3、P4、第一及第二内侧封密压接份P5、P6、及第一及第二外侧封密压接份P7、P8，实际上被压平。另外，第一管道10、第二管道20及密封环30是由氟树脂所形成，但是，在图1及图2中，为了容易观图，密封环30的截面线与第一管道10及第二管道20的截面线不同。

如图1所示，连接部封密结构1是例如用于半导体製造装置中的气体流通的第一管道10与第二管道20的连接部分。第一管道10与第二管道20，是第一连接部11的第一连接端面12与第二连接部21的第二连接端面22通过密封环30以被邻接，在第一及第二连接部11、21的外周组装有夹钳元件40，因此，连接状态被维持。

第一及第二管道10、20、密封环30及夹钳元件40，是由线膨胀系数很接近的树脂所形成。因为例如当切换超过200℃的高温药液与常温的清洗液，到第一及第二管道10、20以流动等的时，使在第一及第二连接部11、21、密封环30及夹钳元件40所产生的膨胀与收缩为相同程度，维持密封性能。第一及第二管道10、20是由例如PTFE等，耐腐蚀性与强度很优良的氟树脂所形成。第一及第二管道10、20的树脂可以相同，也可以不同。密封环30是由例如PFA等，耐腐蚀性很优良的氟树脂所形成。另外，夹钳元件40是为了抵抗密封环30的推斥力，以维持第一及第二连接部11、21的连接状态，由强度大于第一及第二连接部11、21，具有耐腐蚀性的氟树脂所形成。

〈第一及第二连接部的构成〉

如图1所示，第一连接部11与第二连接部21被设成相同形状。第一及第二连接部11、21，是用于组装夹钳元件40的第一及第二夹钳凹槽13、23，沿着外周面被形成为环状。因此，第一及第二连接部11、21被设成法兰形状。也就是说，在第一及第二连接部11、21的外缘部中，是第一及第二连接端面12、22与第一及第二夹钳凹槽13、23间的壁厚变得较薄。

如图2所示，在第一连接端面12，第一流路16的第一管道壁16a是开口。第一连接端面12是沿着第一管道壁16a的开口端部16ax的外周，第一组装凹槽14被形成为环状。在第一组装凹槽14的底壁，第一环状突起17是沿着第一管道壁16a的开口端部16ax的外周，被形成为环状。第一环状突起17是沿着第一管道壁16a的轴线方向被突出设置。因此，第一组装凹槽14包括：第一内组装凹槽14c，被设于第一环状突起17的径向内侧；以及第一外组装凹槽14d，被设于第一环状突起17的径向外侧。

第一内组装凹槽14c在第一环状突起17的基端部17a的径向内侧，具有第一内推拔部14a。第一内推拔部14a是相对于第一环状突起17而言被设成锐角，产生将密封环30的密封本体部31往第一环状突起17按压的表面压力F1(参照图8)。第一内推拔部14a连接在第一管道壁16a。因此，第一连接部11是沿着第一管道壁16a设有支撑密封环30的密封本体部31的第一支撑片18。第一支撑片18是轴线方向截面形状成三角形，位于第一环状突起17的基端部17a侧的部分的壁厚，是大于位于第一环状突起17的尖端部17b侧的部分的壁厚。

第一外组装凹槽14d在第一环状突起17的基端部17a的径向外侧，具有第一外推拔部14b。也就是说，第一外推拔部14b是位于第一外组装凹槽14d的径向外侧的管道壁轴线方向的壁面19，其中，其被设于第一组装凹槽14的开口部(在图2中，位于第一组装凹槽14的图中右侧的开口部)，与位于流路轴线方向的相反侧的深处侧的部分(在图2中，位于第一组装凹槽14的图中左侧的部分)。第一外推拔部14b是相对于第一环状突起17而言被设成锐角，产生按压密封环30的密封本体部31往第一环状突起17的表面压力F2(参照图8)。

第二连接端面22是第二管道壁26a、第二组装凹槽24、第二内推拔部24a、第二外推拔部24b、第二内组装凹槽24c、第二外组装凹槽24d、第二环状突起27及第二支撑片28，是与被设于第一连接端面12上的第一管道壁16a、第一组装凹槽14、第一内推拔部14a、第一外推拔部14b、第一内组装凹槽14c、第一外组装凹槽14d、第一环状突起17及第一支撑片18同样地被设置。如此一来，第二连接端面22是与第一连接端面12为相同形状，所以，在此不再赘述。

〈封密元件的构成〉

图3是本发明实施例的密封环30的正面侧透视图。图4是图3所示密封环30的密封本体部31周边的放大截面图。而且，为了容易观图，图4仅记载截面部分的形状，截面线的记载予以省略。

图3所述的密封环30，是以注塑成型工艺以被成形。密封环30包括：密封本体部31，呈环状；突出部32，被设成自密封本体部31的外周面往径外方向突出；以及握持部33，沿着突出部32的外周缘被形成。密封本体部31是成为封密元件的一例。

如图5所示，握持部33被配置于第一及第二连接部11、21的外侧。如图3所示，握持部33被卡止于图5所述的第一及第二连接部11、21的突部15、25上的卡止部33c、33d，分别被设于延伸部33a、33b。

如图2所示，密封环30的内径尺寸被设计得与第一及第二管道壁16a、26a的内径尺寸大概相同，内周面31g与第一及第二管道壁16a、26a一同形成流路。

如图2及图4所示，密封本体部31被组装于第一及第二连接部11、21的第一及第二组装凹槽14、24。密封本体部31的轴线方向截面形状呈H形。也就是说，密封本体部31在轴线方向的一边端面，形成有第一环状凹槽31a，在轴线方向的另一边端面，形成有第二环状凹槽31b。因此，密封本体部31在第一环状凹槽31a的径向内侧设有第一内侧环状壁31v，在第一环状凹槽31a的径向外侧设有第一外侧环状壁31m。另外，密封本体部31在第二环状凹槽31b的径向内侧设有第二内侧环状壁31w，在第二环状凹槽31b的径向外侧设有第二外侧环状壁31n。

如图2所示，第一环状凹槽31a的径向宽度尺寸W21，小于第一环状突起17的径向宽度尺寸W11。因此，第一环状凹槽31a在位于径向内侧的内周面，设有第一内侧封密压接份P5，在位于径向外侧的内周面，设有第一外侧封密压接份P7。另外，第二环状凹槽31b是径向宽度尺寸W22，小于第二环状突起27的径向宽度尺寸W12。因此，第二环状凹槽31b在位于径向内侧的内周面，设有第二内侧封密压接份P6，在位于径向外侧的内周面，设有第二外侧封密压接份P8。也就是说，密封本体部31包括：第一及第二内侧封密压接份P5、P6，压接第一及第二内侧环状壁31v、31w与第一及第二环状突起17、27以进行密封；以及第一及第二外侧封密压接份P7、P8，压接第一及第二外侧环状壁31m、31n与第一及第二环状突起17、27以进行密封。

如图2及图4所示，在第一环状凹槽31a的开口部具有被设置为锥状的第一定位部31，用于将第一环状突起17向相对第一环状凹槽31a的轴线方向上导引并定位。第一定位部31c的入口，为了使径向宽度尺寸大于第一环状突起17的径向宽度尺寸，设置有第一大直径部31e。通过第一大直径部31e，如图2所示，密封本体部31在第一内侧环状壁31v与第一环状突起17的基端部17a之间，形成环状的间隙S1，在第一外侧环状壁31m与第一环状突起17的基端部17a之间，形成环状的间隙S5。间隙S1、S5在拉近第一及第二连接部11、21时与拉近后，容许第一内侧环状壁31v与第一外侧环状壁31m，往第一及第二环状突起17、27侧变形，吸收密封本体部31的推斥力。

另外，如图2及图4所示，在第二环状凹槽31b的开口部，第一环状凹槽31a的第一定位部31c与第一大直径部31e同样地，形成有第二定位部31d与第二大直径部31f。因第二大直径部31f，如图2所示，密封本体部31在第二内侧环状壁31w与第二环状突起27的基端部27a之间，形成环状的间隙S2，在第二外侧环状壁31n与第二环状突起27的基端部27a之间，形成环状的间隙S6，在拉近第一及第二连接部11、21时与拉近后所产生的推斥力，被间隙S2、S6吸收。

密封本体部31的内周面31g，沿着位于第一环状凹槽31a开口的端面侧上的端部，形成有第一内压接推拔部31h。另外，内周面31g沿着位于第二环状凹槽31b开口的端面侧上的端部，形成有第二内压接推拔部31i。

如图2及图4所示，第一内压接推拔部31h包括对应第一内推拔部14a的倾斜，被压接在第一内推拔部14a。如图2所示，第一内压接推拔部31h是其推拔角θ₁₁，小于第一内推拔部14a的推拔角θ₁。在此，推拔角θ₁₁是位于第一大直径部31e的径向内侧上的内周面与第一内压接推拔部31h所夹的角度，推拔角θ₁是位于第一环状突起17的径向内侧上的内周面与第一内推拔部14a所夹的角度。也就是说，第一内压接推拔部31h压接于第一内推拔部14a上的第一内侧推拔压接份P1，被设成位于第一内侧环状壁31v的尖端侧上的部分P1a，大于位于第一内侧环状壁31v的基端侧上的部分P1b。也就是说，第一内侧推拔压接份P1的压接力F5(参照图8)，越往第一环状突起17的基端部17a侧，则变得越大。第一支撑片18是基端部17a侧的壁厚较厚，刚性较高。因此，第一支撑片18的具有强度的部分，与第一内侧推拔压接份P1的压接力F5变大的部分相对应，第一支撑片18是因压接力F5而较难变形。

另外，如图2及图4所示，第二内压接推拔部31i具有对应第二内推拔部24a的倾斜，被压接到第二内推拔部24a。如图2所示，第二内压接推拔部31i的推拔角θ₁₂，小于第二内推拔部24a的推拔角θ₂。在此，推拔角θ₁₂是位于第二大直径部31f的径向内侧上的内周面与第二内压接推拔部31i所夹的角度，推拔角θ₂是位于第二环状突起27的径向内侧上的内周面与第二内推拔部24a所夹的角度。也就是说，第二内压接推拔部31i压接第二内推拔部24a的第二内侧推拔压接份P2，被设成位于第二内侧环状壁31w的尖端侧上的部分P2a者，大于位在第二内侧环状壁31w的基端侧上的部分P2b。也就是说，第二内侧推拔压接份P2的压接力F6(参照图8)，越往第二环状突起27的基端部27a侧，则变得越大。第二支撑片28的基端部27a侧的壁厚较厚，刚性较高。因此，第二支撑片28的具有强度的部分，与第二内侧推拔压接份P2的压接力F5变大的部分是相对应，第二支撑片28因压接力F5而很难变形。

另外，密封本体部31的外周面31j，沿着位于第一环状凹槽31a开口的端面侧上的端部，形成有第一外压接推拔部31p。另外，外周面31j沿着位于第二环状凹槽31b开口的端面侧上的端部，形成有第二外压接推拔部31q。

如图2及图4所示，在第一外压接推拔部31p，设有相对于位在被设于第一连接部11上的第一外组装凹槽14d的径向外侧上的外周面而言，往径向外侧压接的第一外侧压接份P3。第一外压接推拔部31p的推拔角θ₁₃，小于第一外推拔部14b的推拔角θ₃。在此，推拔角θ₁₃是位于第一大直径部31e的径向外侧上的外侧内壁与第一外压接推拔部31p所夹的角度，推拔角θ₃是位于第一环状突起17的径向外侧上的外周面与第一外推拔部14b所夹的角度。因此，第一外侧压接份P3的压接力F6(参照图8)，越接近第一环状突起17的基端部17a，则变得越大。第一连接部11在基端部17a附近没有空隙，强度较高。因此，第一连接部11的具有强度的部分，与第一外侧压接份P3的压接力F6变得较大的部分是相对应。而且，第一外侧环状壁31m是变形，使得尖端部倒向径向外侧。因此，密封本体部31是持续使压接力F6较小地，可维持密封力。

第一外压接推拔部31p的推拔角θ₁₃，小于第一内压接推拔部31h的推拔角θ₁₁。因此，在第一外压接推拔部31p与第一外推拔部14b之间，形成有用于吸收第一外侧环状壁31m的变形的间隙S3。另外，第一外侧环状壁31m的尖端面31t，被设成与第一内侧环状壁31v的尖端面31r相比还要低。因此，密封本体部31是第一外压接推拔部31p与第一外推拔部14b的接触面积，比第一内压接推拔部31h与第一内推拔部14a的接触面积还要窄，第一外侧压接份P3的压接力F6，变得小于第一内侧推拔压接份P1的压接力F5。

第一外压接推拔部31p与外周面31j，通过第一倾斜部31k以被连接。第一倾斜部31k的推拔角θ₁₅被设成大于第一外压接推拔部31p的推拔角θ₁₃，提高第一外侧环状壁31m的刚性。

如图2及图4所示，在第二外压接推拔部31q，设有相对于位在被设于第二连接部21上的第二外组装凹槽24d的径向外侧上的外周面而言，往径向外侧压接的第二外侧压接份P4。第二外压接推拔部31q的推拔角θ₄，小于第二外推拔部24b的推拔角θ₄。在此，推拔角θ₁₄是位于第二大直径部31f的径向外侧上的外侧内壁与第二外压接推拔部31q所夹的角度，推拔角θ₄是位于第二环状突起27的径向外侧上的外周面与第二外推拔部24b所夹的角度。因此，第二外侧压接份P4的压接力F6(参照图8)，越接近第二环状突起27的基端部27a，则变得越大。第二连接部21在基端部27a附近没有空隙，强度较高。因此，第二连接部21的具有强度的部分与第二外侧压接份P4的压接力F6变得较大的部分是相对应。而且，第二外侧环状壁31n是变形，使得尖端部倒向径向外侧。因此，密封本体部31可以使压接力F6维持较小值，以维持密封力。

第二外压接推拔部31q的推拔角θ₁₄，小于第二内压接推拔部31i的推拔角θ₁₂。因此，在第二外压接推拔部31q与第二外推拔部24b之间，形成有用于吸收第二外侧环状壁31n变形的间隙S4。另外，第二外侧环状壁31n的尖端面31u，被设于比第二内侧环状壁31w的尖端面31S还要低。因此，密封本体部31的第二外压接推拔部31q与第二外推拔部24b的接触面积，比第二内压接推拔部31i与第二内推拔部24a的接触面积还要窄，第二外侧压接份P4的压接力F6变得小于第二内侧推拔压接份P2的压接力F5。

第二外压接推拔部31q与外周面31j，通过第二倾斜部311以连接。第二倾斜部311的推拔角θ₁₆，被设成大于第二外压接推拔部31q的推拔角θ₁₄，提高第二外侧环状壁31n的刚性。

＜第一及第二连接部的连接方法＞

接着，对第一连接部11与第二连接部21的连接方法进行说明。图5、图6及图7是说明连接部连接方法的图。图8是说明产生在密封本体部31的各压接份P1～P8上的力关系的图。而且，在图5～图8中，为了容易观图，仅记载截面部分的形状。另外，图5、图6及图7与图1及图2同样，密封环30的截面线与第一管道10及第二管道20的截面线不同。另外，在图8中，截面线予以省略。

如图5所示，密封环30将卡止部33c卡至第一连接部11的突部15，将卡止部33d卡至第二连接部21的突部25，因此，暂时固定在第一及第二连接部11、21而不脱落。在此状态下，第一及第二环状突起17、27是未到达第一及第二定位部31c、31d的。

在此，例如在第一及第二夹钳凹槽13、23卡合未被图所示出的治具，使接近第一及第二连接端面12、22的方向的拉入负载，施加在第一及第二连接部11、21上。如此一来，第一及第二环状突起17、27，被第一及第二定位部31c、31d沿着轴线向第一及第二环状凹槽31a、31b导引，如图6所示，尖端部17b、27b开始被密封本体部31的第一及第二内侧封密压接份P5、P6与第一及第二外侧封密压接份P7、P8压入。密封环30的第一及第二环状凹槽31a、31b被第一及第二环状突起17、27压宽，第一及第二内侧环状壁31v、31w与第一及第二外侧环状壁31m、31n变形使其倒向第一及第二环状突起17、27的相反侧。

当通过未图示的治具继续拉近第一及第二连接部11、21时，密封本体部31滑接第一及第二内推拔部14a、24a与第一及第二内压接推拔部31h、31i，滑接第一及第二外推拔部14b、24b与第一及第二外压接推拔部31p、31q。如此一来，第一及第二内侧环状壁31v、31w与第一及第二外侧环状壁31m、31n，因承受自第一及第二内推拔部14a、24a与第一及第二外推拔部14b、24b的表面压力，变形被抑制。

图7所示，当压入结束时，密封环30的第一及第二环状凹槽31a、31b的内壁密封到第一及第二环状突起17、27，第一及第二内压接推拔部31h、31i是密封到第一及第二内推拔部14a、24a，第一及第二外压接推拔部31p、31q是密封到第一及第二外推拔部14b、24b，因此，防止自第一及第二连接部11、21间泄漏流体。

也就是说，如图8所示，密封环30的第一及第二内侧封密压接份P5、P6被压抵在第一及第二环状突起17、27的内周面上以密着，第一及第二外侧封密压接份P7、P8被压抵在第一及第二环状突起17、27的外周面上以密着，因此，产生密封负载F3、F4。而且，密封环30相对于第一及第二内压接推拔部31h、31i的各压接力F5而言，承受了分别来自第一及第二内推拔部14a、24a的表面压力F1，因此，压平第一及第二内侧推拔压接份P1、P2，可以在进行密封的同时使密封负载F3的增加。另外，密封环30相对于第一及第二外压接推拔部31p、31q的各压接力F6而言，承受分别来自第一及第二外推拔部14b、24b的表面压力F2，因此，压平第一及第二外侧压接份P3、P4，以使密封负载F4的增加。

在此情形下，第一及第二内压接推拔部31h、31i的推拔角θ₁₁、θ₁₂，小于第一及第二内推拔部14a、24a的推拔角θ₁、θ₂，所以，第一及第二内侧推拔压接份P1、P2的各压接力F5与第一及第二外侧压接份P3、P4的各压接力F6，越接近第一及第二环状突起17、27的基端部17a、27a，则变得越大。第一及第二连接部11、21是基端部17a、27a附近的壁厚较厚、强度较大，所以很难变形。因此，连接部封密结构1是第一及第二连接部11、21很难因为密封本体部31的压接力F5、F6而变形。

特别地，支撑密封本体部31的内周面31g的第一及第二支撑片18、28的轴线方向截面形状呈三角形，强度较小。但是，第一及第二内侧推拔压接份P1、P2在第一及第二支撑片18、28的壁厚较厚的部分中，压接力F5变大。因此，连接部封密结构1的第一及第二支撑片18、28因压接力F5，很难往第一及第二流路16、26侧鼓出变形。因此，当依据本实施例的连接部封密结构1时，可避免或抑制因为第一及第二支撑片18、28的变形导致的密封力降低或流路变窄。

而且，密封本体部31在最容易变形的第一及第二内侧环状壁31v、31w尖端部与第一及第二外侧环状壁31m、31n尖端部中，表面压力F1、F2变成最大。而且，该表面压力是朝向第一及第二内侧封密压接份P5、P6与第一及第二外侧封密压接份P7、P8作用。也就是说，该表面压力是朝向第一及第二内侧封密压接份P5、P6与第一及第二外侧封密压接份P7、P8之中，接近第一及第二流路16、26的部分，也就是说，朝向第一及第二环状凹槽31a、31b与第一及第二定位部31c、31d的连接位置附近作用，维持或提高密封负载F3、F4。

另外，密封本体部31上，第一及第二内侧推拔压接份P1、P2，被设于比第一及第二内侧封密压接份P5、P6还要靠近基端部17a、27a侧，第一及第二外侧压接份P3、P4，被设于比第一及第二外侧封密压接份P7、P8还要靠近基端部17a、27a侧，因此，可以使表面压力F1、F2作用的方向，更确实地朝向第一及第二内侧封密压接份P5、P6与第一及第二外侧封密压接份P7、P8。

因此，即使连接部封密结构1在可抑制第一及第二支撑片18、28变形的程度内，减少压接力F5，也可使作用在第一及第二环状突起17、27的内周侧上的密封负载F3维持或提高。另外，即使减少压接力F6，也可使作用在第一及第二环状突起17、27的外周侧上的封密负载维持或提高。

因此，当依据本实施例的连接部封密结构1时，可确实防止流体泄漏，具有较高的密封性能。

第一及第二连接部11、21根据未图示的治具，通过密封本体部31以维持拉近第一及第二连接部11、21后的状态，如图1所示，在第一及第二夹钳凹槽13、23组装有夹钳元件40。

如图8所示，在第一及第二连接部11、21中，在比第一及第二环状突起17、27的径向内侧更靠近第一及第二环状突起17、27的径向外侧，沿着第一及第二连接端面12、22设有凸缘部分。因此，在第一及第二连接部11、21中，因从第一及第二外压接推拔部31p、31q至第一及第二外推拔部14b、24b的向径向外侧作用的压接力F6所产生的形变，很容易体现在凸缘部分的形状上。因此，第一及第二外侧压接份是例如当与第一及第二内侧推拔压接份为相同大小时，第一及第二连接端面12、22有在外周面侧反翘变形的可能。

相对于此，本实施例的连接部封密结构1中，第一及第二外侧压接份P3、P4小于第一及第二内侧推拔压接份P1、P2，压接力F6小于压接力F5。流体泄漏是主要因第一及第二环状突起17、27的内周面与第一及第二环状凹槽31a、31b的内壁的封密部分而被防止。因此，第一及第二外侧压接份P3、P4无须与第一及第二内侧推拔压接份P1、P2为相同程度的大小。也就是说，第一及第二外侧压接份P3、P4可减少到足以抑制第一及第二外侧环状壁31m、31n变形以维持既定密封负载F4的程度为止。

如此一来，使第一及第二外侧压接份P3、P4为最小限度的大小，因此，本实施例的连接部封密结构1，抵抗密封本体部31弹力以拉近第一及第二连接部11、21的拉入负载减少。也就是说，当通过密封本体部31拉近第一及第二连接部11、21后，产生在密封本体部31的推斥力减少。因此，通过本实施例的连接部封密结构1，可防止第一及第二连接端面12、22因为密封本体部31的推斥力而产生的变形或密封力降低。

另外，第一及第二连接端面12、22的反翘被抑制，因此，如图7所示，第一及第二连接部11、21拉近后的第一夹钳凹槽13与第二夹钳凹槽23间的距离W1，变得与夹钳元件40的内径尺寸W2为相同程度。因此，连接部封密结构1是变得很容易组装夹钳元件40，到通过密封本体部31以被连接的第一及第二连接部11、21。另外，无须提高夹钳元件40的强度以恢复第一及第二连接端面12、22的反翘，所以，可减少夹钳元件40或第一及第二连接部11、21的壁厚，以使连接部封密结构1小型化。

此外，本实施例的连接部封密结构1因间隙S1～S4，容许第一及第二外侧环状壁31m、31n的变形，因间隙S5、S6，容许第一及第二内侧环状壁31v、31w的变形，所以，当通过密封本体部31以拉近第一及第二连接部11、21时，可减少密封本体部31所产生的推斥力。如此一来，因推斥力减少，第一及第二连接部11、21通过密封本体部31以被连接后，变形第一及第二连接端面12、22的情况被抑制。因此，在此点中，也可减少夹钳元件40或第一及第二连接部11、21的壁厚，以可使连接部封密结构1小型化。

另外，本实施例的连接部封密结构1中，第一及第二外推拔部14b、24b与第一及第二外压接推拔部31p、31q，相对于第一及第二环状突起17、27的基端部17a、27a而言，成锐角倾斜，所以，第一及第二外侧环状壁31m、31n很容易倒向第一及第二环状突起17、27的基端部17a、27a侧。因此，当依据本实施例的连接部封密结构1时，因分别产生于第一及第二外侧压接份P3、P4上的倒入，可效率良好地提高密封负载F4，所以，即使让第一及第二外侧压接份P3、P4小于第一及第二内侧推拔压接份P1、P2，密封负载F3、F4也变高，可确实防止流体泄漏。

〈关于表面压力解析〉

发明者们针对本实施例的连接部封密结构1，进行过解析产生于密封本体部31上的表面压力的模拟。第一及第二连接部11、21的第一及第二连接端面12、22是相同形状，密封本体部31的两端面是相同形状，所以，模拟是仅针对第一连接端面12的第一环状突起17与密封本体部31的第一环状凹槽31a侧以进行的。表示此表面压力解析结果于图9。在图9中，表面压力的方向与强度是以条形图表示，而且，表面压力的大小也以渐层表示。也就是说，条形图的长度越长，渐层浓度越浓，则意味表面压力越大。

如图9所示，可知在第一内侧推拔压接份P1之中，位于第一内侧环状壁31v尖端侧上的部分P1a，产生有较强的表面压力Z3。另外，该表面压力Z3是朝向第一环状凹槽31a与第一定位部31c的连接位置附近的图中I1部分以产生。因此，可知第一内侧封密压接份P5的第一环状凹槽31a与第一定位部31c的连接位置附近的表面压力是增加。如此一来，使较高的表面压力在局部产生，成为防止流体泄漏的有力的密封力。因此，可知为了减少第一连接部11的挠曲，在第一内侧推拔压接份P1之中，即使让位于比第一内侧环状壁31v尖端还要深处侧上的部分P1b，小于位于尖端侧上的部分P1a，也可使第一内侧封密压接份P5的密封力维持较高。

另外，在第一外侧压接份P3产生的表面压力Z4，是朝向第一环状凹槽31a与第一定位部31c的连接位置附近的图中I2部分以产生。因此，可知产生在第一外侧封密压接份P7的第一环状凹槽31a与第一定位部31c的连接位置附近的表面压力增加。而且，在第一内侧封密压接份P5与第一外侧封密压接份P7中，第一环状突起17的尖端部压宽第一环状凹槽31a以被压入，因此，表面压力Z1a、Z1b是局部性产生。因此，在第一内侧封密压接份P5与第一外侧封密压接份P7中，是于四处产生较高的表面压力，其各有较强的密封力，所以，可防止流体泄漏。

而且，产生于第一内侧封密压接份P5的表面压力Z1a、Z2a，与产生于第一外侧封密压接份P7的表面压力Z1b、Z2b，在往径向内侧与外侧，大概相同大小且对称性地产生。另外，产生于第一内侧封密压接份P1的表面压力Z3，与产生于第一外侧压接份P3的表面压力Z4，是分别朝向第一内侧封密压接份P5与第一外侧封密压接份P7，大概相同大小且对称性地产生。也就是说，产生于第一及第二连接部11、21与密封本体部31间的密封力，在往径向内侧与径向外侧，平衡良好地作用。因此，可知在连接部封密结构1中，组装第一连接部11的夹钳元件40的部分很难反翘变形，密封力也可保持在一定以上。

(第二实施例)

接着，说明本发明的第二实施例。图10是表示本发明第二实施例的连接部封密结构1x的截面图。图11是图10所示密封环30x的密封本体部31x周边的放大截面图。而且，图10中的第一管道10、第二管道20及密封环30x虽然是以氟树脂所形成，但是，为了容易观图，密封环30x的截面线是与第一管道10及第二管道20的截面线不同。图11是仅记载截面部分的形状，省略截面线。

〈连接部封密结构的概略构成〉

第二实施例的连接部封密结构1x，除了密封环30x的密封本体部31x，其结构与第一实施例相同。在此，以密封本体部31x为中心做说明。而且，关于与第一实施例共通的结构，在图面与说明中，使用与第一实施例相同的编号，相应的说明则予以省略。

图10及图11所示的密封本体部31x，主要是第一及第二内压接推拔部31hx、31ix、第一及第二外压接推拔部31px、31qx、第一及第二内侧推拔压接份P1x、P2x、及第一及第二外侧压接份P3x、P4x，相对于第一及第二环状突起17、27而言为对称形的点，与第一实施例的密封本体部31不同。

第一及第二内压接推拔部31hx、31ix被设成径向壁厚比第一实施例的第一及第二内压接推拔部31h、31i还要大一些。也就是说，第一及第二内侧环状壁31vx、31wx的尖端面31rx、31sx，被设成在径向宽度上，比第一实施例的第一及第二内侧环状壁31v、31w的尖端面31r、31s还要宽。

第一及第二内压接推拔部31hx、31ix的推拔角θ_11x、θ_12x，是分别被设成与第一实施例的推拔角θ₁₁、θ₁₂相同。因此，第一及第二内压接推拔部31hx、31ix的第一及第二内侧推拔压接份P1x、P2x，如图10所示，接近尖端面31rx、31sx的部分P1ax、P2ax，被设成大于远离尖端面31rx、31sx的部分P1bx、P2bx。也就是说，第一及第二内侧推拔压接份P1x、P2x越接近基端部17a、27a，则变得越大。

图10及图11所示的第一及第二外压接推拔部31px、31qx，被设置为推拔角θ_13x、θ_14x小于第一及第二外推拔部14b、24b的推拔角θ₃、θ₄。因此，第一及第二外压接推拔部31px、31qx的第一及第二外侧压接份P3x、P4x，接近第一及第二外侧环状壁31mx、31nx的尖端面31tx、31ux的部分P3ax、P4ax，被设成大于远离第一及第二外侧环状壁31mx、31nx的尖端面31tx、31ux的部分P3bx、P4bx。也就是说，第一及第二外侧压接份P3x、P4x越接近基端部17a、27a，则变得越大。

第一及第二外压接推拔部31px、31qx的推拔角θ_13x、θ_14x，分别被设成与第一及第二内压接推拔部31hx、31ix的推拔角θ_11x、θ_12x相同。因此，如图10所示、第一及第二外压接推拔部31px、31qx的第一及第二外侧压接份P3x、P4x，被设成与第一及第二内侧推拔压接份P1x、P2x为相同程度的大小。第一及第二内侧环状壁31vx、31wx的尖端面31rx、31sx，与第一及第二外侧环状壁31mx、31nx的尖端面31tx、31ux，被设成相同高度，于第一及第二外推拔部14b、24b与第一及第二外压接推拔部31px、31qx之间，未形成有间隙。

如图10所示，第一及第二大直径部31ex、31fx，是径向宽度尺寸被设成与第一及第二环状突起17、27的径向宽度尺寸为相同程度。因此，间隙S1x、S2x、S5x、S6x小于第一实施例的间隙S1、S2、S5、S6。

〈关于连接部封密结构中的力关系〉

图12是表示结束压入第一及第二环状突起17、27到第一及第二环状凹槽31a、31b的作业后的状态。图13是图10所示连接部封密结构1x中的密封部的力关系的示意图。而且，图12及图13为了容易观图，仅记载截面部分的形状。另外，图12与图10同样，密封环30x的截面线与第一管道10及第二管道20的截面线不同。

如图12所示，在本实施例的连接部封密结构1x中，压入第一及第二环状突起17、27到第一及第二环状凹槽31a、31b，如此一来，第一及第二内压接推拔部31hx、31ix被第一及第二内推拔部14a、24a压接，第一及第二外压接推拔部31px、31qx被第一及第二外推拔部14b、24b压接。因此，密封本体部31x是第一及第二内侧环状壁31vx、31wx，与第一及第二外侧环状壁31mx、31nx的变形被抑制。

如图13所示，密封本体部31x越接近第一及第二环状突起17、27的基端部17a、27a，或越接近第一及第二支撑片18、28的径向壁厚变大的部分，则第一及第二内侧推拔压接份P1x、P2x变得越大。因此，第一及第二内侧推拔压接份P1x、P2x，在第一及第二支撑片18、28的强度较强的部分，加大压接力F15。因此，即使密封本体部31x的推斥力作用，第一及第二支撑片18、28也可以使流路不易变窄，可维持密封力。

第一及第二外侧压接份P3x、P4x是设成与第一及第二内侧推拔压接份P1x、P2x相同程度大小，相对于第一及第二连接部11、21而言，压接力F15、F16相同程度地作用。因此，在连接部封密结构1x中，表面压力F12是大于表面压力F11，如图12所示，第一及第二连接端面12、22很容易反翘变形。

但是，本实施例的连接部封密结构1，是推拔角θ_13x、θ_14x小于推拔角θ₃、θ₄。因此，密封本体部31x在变形变得最大的第一及第二外侧环状壁31mx、31nx的尖端侧中，第一及第二外侧压接份P3x、P4x的压接力F16变大。压接力F16变大的部分，碰触到第一及第二环状突起17、27的基端部17a、27a，成为第一及第二连接部11、21之中强度仍然较大的部分。因此，第一及第二连接部11、21的第一及第二连接端面12、22的变形被抑制。因此，如图12所示，变形第一及第二连接端面12、22的变形负载F31、F32是变小。因此，可使拉近第一及第二连接部11、21的负载极力减少，使得第一及第二夹钳凹槽13、23的距离W1x与夹钳元件40的内径尺寸W2一致。

另外，第一及第二内推拔部14a、24a授予第一及第二内压接推拔部31hx、31ix的各表面压力F11与第一及第二外推拔部14b、24b授予第一及第二外压接推拔部31px、31qx的各表面压力F12，朝向第一及第二内侧封密压接份P5、P6与第一及第二外侧封密压接份P7、P8作用，在第一环状凹槽31a与第一定位部31c的连接位置附近，增加密封负载F3、F4。因此，在连接部封密结构1x中，可以最低限度的压接力F15、F16，维持或增加密封力。

〈关于表面压力解析〉

发明者们针对本实施例的连接部封密结构1x，进行解析产生在密封部上的表面压力的模拟。本模拟也与第一实施例同样地，仅针对第一连接端面12的第一环状突起17与密封本体部31x的第一环状凹槽31a侧进行。此表面压力解析结果如图14所示。在图14中，表面压力的方向与强度以条形图表示，而且，表面压力的大小以渐层表示。也就是说，条形图的长度越长，渐层越浓，则说明表面压力越大。

连接部封密结构1x在第一内侧推拔压接份P1x与第一外侧压接份P3x之中，接近第一环状突起17的基端部17a的部分P1ax、P3ax的表面压力Z3x、Z4x变大。而且，该较大的表面压力Z3x、Z4x，朝向第一环状凹槽31a与第一定位部31c的连接位置附近的图中I1x部分与图中I2x部分产生。因此，可知产生在第一内侧封密压接份P5上的表面压力增加。由此可知：为了减少第一连接部11的弯折，即使让第一内侧推拔压接份P1x之中，位于比第一内侧环状壁31vx的尖端还要深处侧的位置的部分P1bx，小于位于尖端侧的位置的部分P1ax，也可维持第一内侧封密压接份P5的密封负载F3。另外，可知即使第一外侧压接份P3x是与第一内侧推拔压接份P1x相同程度，表面压力Z4x也朝向第一外侧封密压接份P7产生。因此，可知因使推拔角θ_13x小于推拔角θ₃，第一外侧压接份P3x越接近基端部17a则变得越大，因此，可抑制第一连接端面12反翘变形，减少密封力的降低。

(第三实施例)

接着，说明本发明的第三实施例。图15是本发明第三实施例的连接部封密结构1y的密封本体部31y周边的放大截面图。图16是密封环30y的正视图。图17是密封环30y的俯视图。图18是密封环30y的后侧视图。图19是密封环30y的右侧视图。图20是图16的BB截面图。图21是图16的CC截面图。图22是图16的DD截面图。图23是密封环30y的正面侧透视图。而且，因为密封环30y的仰视图是图28所示的俯视图，与左侧面图是图30所示的右侧视图，分别对称表示，所以予以省略。而且，第一管道10、第二管道20及密封环30y是以氟树脂形成，但是，为了容易观图，在图15、图20、图21及图22中，密封环30y的截面线是与第一管道10及第二管道20的截面线不同。

〈连接部封密结构的概略构成〉

第三实施例的连接部封密结构1y，除了密封本体部31y，与第一实施例是同样结构。在此，以密封本体部31y为中心做说明。而且，针对与第一实施例共通的结构，在图面与说明中，使用与第一实施例相同的编号，省略相应的说明。

图15所示的密封本体部31y，是第一及第二外组装凹槽14d、24d的管道壁轴线方向的壁面19、29，与密封本体部31y的外周面31jy中的管道壁轴线方向的壁面被近设，但是，其与第一实施例的密封本体部31不同。也就是说，密封本体部31y的第一及第二外侧环状壁31my、31ny的径向壁厚，大于第一实施例的第一及第二外侧环状壁31m、31n的径向壁厚。

〈关于连接部封密结构中的力关系〉

在第三实施例的连接部封密结构1y中，第一及第二组装凹槽14、24的管道壁的轴线方向的壁面19、29，与密封本体部31y的外周面31jy中的管道壁轴线方向的壁面被近设。也就是说，壁面19、29的内径尺寸被设定成仅比外周面31j的第一及第二外侧环状壁31my、31ny的外径尺寸大少许。因此，当压入第一及第二环状突起17、27到第一及第二环状凹槽31a、31b的各压接份P5～P7后，第一及第二外侧环状壁31my、31ny是因第一及第二环状突起17、27，被往径向外侧推压，以抵接外周面31jy到壁面19、29。因此，在第一及第二外侧环状壁31my、31ny与壁面19、29的接触部分，朝向第一及第二环状突起17、27以产生表面压力。因此，第一及第二外侧环状壁31my、31ny往第一及第二环状突起17、27侧被压出。

例如当第一及第二环状凹槽31a、31b与第一及第二环状突起17、27重复过多的装卸，或者，第一及第二连接部11、21与密封环30y暴露在异常的温度变化后，第一及第二外侧压接份P3、P4的各压接力F6有可能减少。即使如此，本实施例的连接部封密结构1y的外周面31jy抵接到壁面19、29，因此，可充分压出第一及第二外侧环状壁31my、31ny到第一及第二环状突起17、27侧，以抑制密封本体部31y的变形，可维持密封负载F4与压接力F6。因此，当依据本实施例时，与初期状态及正常时的温度变化时同样地，可确保密封力。

而且，本发明是不仅限于上述实施例，可有种种应用。

例如连接部封密结构1，也可适用于在阀的驱动部与阀本体之间配置密封环30的情形。

例如连接部封密结构1，也可适用于被适用在半导体制造装置以外的管道及流体控制机器。

例如密封本体部31也可省略第一及第二大直径部31e、31f。另外，例如如图24所示，密封本体部31也可以直接连接第一外压接推拔部31p到外周面31j，省略第一及第二倾斜部31k、31l。

例如也可以第一及第二连接部11、21是PFA，密封环30是PTFE。另外，例如也可以使第一及第二连接部11、21与密封环30，以PFA或PTFE等的相同材质形成。

例如第一及第二连接部11、21的第一及第二连接端面12、22，也可以非同一形状。另外，密封本体部31也可以两端面非同一形状。例如也可以在第一连接端面12与第二连接端面22的任一者上，设置内推拔部或外推拔部等，仅在密封本体部31一边的端面上，设置内压接推拔部或外压接推拔部等。

例如第一及第二外侧压接份P3、P4、P3x、P4x，也可以包含因为在组装时所产生的密封本体部31、31x的形变所产生的部分。例如如图25所示，密封本体部31也可以设置第一外压接推拔部31py，使得朝向径向内侧成截面圆弧状地凹陷。另外，例如如图26所示，密封本体部31也可以设置第一外压接推拔部31pz，使得朝向径向外侧成截面圆弧状地突出。另外，例如也可以与这些相反地，使密封本体部31的第一外压接推拔部以推拔面形成，第一连接部11是于对应该第一外压接推拔部的位置上，设置第一外推拔部，使得成截面圆弧状地突出，或者，设置第一外推拔部，使得成截面圆弧状地凹陷。也就是说，也可以因第一外推拔部的形状，外侧压接份是越接近基端部，则变得越大。

例如推拔角θ₁、θ₂、θ₃、θ₄是大于推拔角θ₁₁、θ₁₂、θ₁₃、θ₁₄、θ_11x、θ_12x、θ_13x、θ_14x，推拔角θ₁、θ₂、θ₃、θ₄可以是30度～60度，推拔角θ₁₁、θ₁₂、θ₁₃、θ₁₄、θ_11x、θ_12x、θ_13x、θ_14x可以是10度～15度。因为当推拔角太小时，各部材的壁厚变薄，很容易变得强度不足，另外，当推拔角太大时，在此所产生的表面压力，是朝向第一及第二管道壁16a、26a的轴线方向，不朝向第一及第二环状突起17、27侧，所以，密封负载F3、F4的维持或增强有可能很难做到。

例如上述形态的密封环30、30x、30y，是对应安装对象(连接的管道的连接端部等)的尺寸，当然可适宜变更密封本体部31、31x、31y或突出部32、握持部33的厚度或径向尺寸等。例如密封环30是如图27～图34所示的密封环30z所示，也可以变更厚度或径向尺寸等。而且，图27是密封环30z的正视图。图29是密封环30z的后侧视图。图28是密封环30z的俯视图。图30是密封环30z的右侧视图。图31是图27的JJ截面图。图32是图27的KK截面图。图33是图27的LL截面图。图34是密封环30z的正面侧透视图。而且，密封环30z的仰视图是图28所示的俯视图，左侧面图是图30所示的右侧视图，因为分别对称地表示，所以予以省略。

在例如上述实施例及图27～图34所示的变形例中，虽然在密封本体部31、31x、31y一体设置突出部32与握持部33，但是，也可以省略突出部32与握持部33。也就是说，密封环30、30x、30y、30z也可以没有突出部32及握持部33。另外，例如密封环30、30x、30y、30z也可以没有握持部33。

Claims

1.一种连接部封密结构，通过封密元件以连接第一连接部与第二连接部，其特征在于：

所述第一连接部的连接端面与所述第二连接部的连接端面的两者或一者包括：

管道壁，具有在所述连接端面开口的开口端部；

环状突起，沿着所述管道壁的所述开口端部的外周形成环状，沿着所述管道壁的轴线方向突出设置；以及

内组装凹槽，被设于所述环状突起的径向内侧；

所述封密元件被形成环状，在两端面或一边的端面上，包括压入有所述环状突起的环状凹槽；

所述内组装凹槽，在所述环状突起的基端部的径向内侧，具有相对于所述环状突起而言被设成锐角的内推拔部，所述内推拔部连接在所述管道壁；

所述封密元件的内周面，具有沿着位于所述环状凹槽开口的端面侧上的端部被形成的内压接推拔部，所述内压接推拔部是对应所述内推拔部以倾斜；

所述内压接推拔部的推拔角，小于所述内推拔部的推拔角。

2.根据权利要求1所述的连接部密封结构，其特征在于，包括所述内组装凹槽的所述连接端面，具有被设于所述环状突起的径向外侧的外组装凹槽，

所述封密元件具有相对于所述外组装凹槽的内壁而言，往径向外侧压接的外侧压接份，

所述外侧压接份是所述内压接推拔部，小于压接于所述内推拔部上的内侧推拔压接份。

3.根据权利要求2所述的连接部密封结构，其特征在于，所述外侧压接份的位置，是比所述环状凹槽的内壁与所述环状突起所压接的封密压接份，还要靠近所述环状突起的基端部侧。

4.根据权利要求2或3所述的连接部密封结构，其特征在于，所述外组装凹槽在所述环状突起的基端部径向外侧，具有相对于所述环状突起而言，被设成锐角的外推拔部。

5.根据权利要求2-4任一所述的连接部密封结构，其特征在于，所述封密元件的外周面，具有沿着位于所述环状凹槽开口的端面侧上的端部形成的外压接推拔部。

6.根据权利要求2-5任一所述的连接部密封结构，其特征在于，所述封密元件是位于径向外侧的外周面，包含被近设于沿着所述外组装凹槽的所述轴线方向的面上的面。

7.根据权利要求1-6任一所述的连接部密封结构，其特征在于，具有在通过所述封密元件的状态下，固定所述第一连接部与所述第二连接部的夹钳元件，

所述第一连接部与所述第二连接部，被形成组装所述夹钳元件的夹钳凹槽，呈法兰形状，

被设于所述第一连接部上的第一连接端面的形状，与被设于所述第二连接部上的第二连接端面的形状是相同，

所述封密元件是所述两端面的形状相同。

8.一种封密元件，其特征在于，所述密封元件为权利要求1-7任一项所述的连接部密封结构中使用的密封元件。