JP5134573B2 - 流体機器接続構造及び流体機器ユニット - Google Patents

Description

本発明は、連結部材を用いて第１及び第２流体機器を接続する流体機器接続構造及び流体機器ユニットに関する。

従来より、半導体製造工程や液晶製造工程などの薬液制御には、流量制御弁や開閉弁などのバルブ類や、フィルタ、圧力センサや流量センサなどのセンサ類、継手ブロックや流路ブロックなどの配管ブロック類など、流体機器が使用される。近年、装置のコンパクト化のため、これら流体機器の接続部同士を連結部材を用いて直接連結し、ユニット化することが行われている。

図１２は、従来の流体機器接続構造１００の断面図である。
従来の流体機器接続構造１００は、第１流体機器１０１と第２流体機器１０２の接続部１０３，１０４にシール溝１０５，１０６が形成され、そのシール溝１０５，１０６の間にシール部材１０７を装着した状態で、連結部材１０８を接続部１０３，１０４の接続部分外周に装着する。

連結部材１０８は、筒状ナット１０９と割型リング１１０とで構成されている。筒状ナット１０９は、一方に開口する円筒形状をなす。閉鎖面には、接続部１０４の係止凸部１０４ａを挿入できるように、開口部１０９ａが形成されている。割型リング１１０は、内周面が接続部１０４の外周面に接し、外周面が筒状ナット１０９の内周面に接するようなリング形状をなし、接続部１０４の外周面に装着できるように複数に分割されている。

このような連結部材１０８は、筒状ナット１０９の開口部１０９ａに第２流体機器１０２の接続部１０４の端部を挿入した後、図中二点鎖線に示すように、接続部１０４が外部に露出するように筒状ナット１０９を第２流体機器１０２側へずらし、接続部１０４の外周面に割型リング１１０を装着する。その後、筒状ナット１０９を第１流体機器１０１側へスライドさせ、筒状ナット１０９の内周面に形成した雌ねじ１０９ｂを、第１流体機器１０１の接続部１０３の外周面に形成された雄ねじ１０３ａに螺合させる。筒状ナット１０９は、割型リング１１０が接続部１０４の係止凸部１０４ａに突き当たるまで、接続部１０３にねじ込む。このねじ送りによって、シール部材１０７は、シール溝１０５，１０６に装着され、接続部１０３，１０４の接続部分をシールする（例えば、特許文献１参照）。

特開２００６−６４０８０号公報

しかしながら、従来の流体機器接続構造１００は、割型リング１１０を装着するために、筒状ナット１０９を移動させるスペースや、筒状ナット１０９を接続部１０３にねじ込むスペースが必要であるため、流体機器同士の接続に手間や作業スペースを要する。そのため、従来の流体機器接続構造１００は、例えば、多数の流体機器が入り組んで配置される半導体製造装置に適用した場合、筒状ナット１０９をずらしたり、接続部１０３に締め付けるスペースを確保できず、所定のシール力を得るように筒状ナット１０９を接続部１０３に適正に締め付けるのに手間がかかっていた。

そこで、出願人は、特願２００８−１８０５４５号において、図１３〜図１６の断面図に示す流体機器接続構造２００を提案した。この流体機器接続構造２００では、第１及び第２流体機器２０１，２０２の第１及び第２接続部２０３，２０４を環状シール部材２０５を介して接続し、第１及び第２接続部２０３，２０４の外周に連結部材２０６を取り付けて接続状態を維持する。連結部材２０６は、第１分割片２０７と第２分割片２０８の両端部を係合させて構成されている。

図１３に示すように、第１分割片２０７は、第１接続部２０３の外周に形成された第１装着溝２０３ａに配置される第１突部２０７ａと、第２接続部２０４の外周に形成された第２装着溝２０４ａに配置される第２突部２０７ｂとを有する。また、第２分割片２０８は、第１装着溝２０３ａに配置される第１突部２０８ａと、第２装着溝２０４ａに配置される第２突部２０８ｂとを有する。図１４に示すように、第１及び第２分割片２０７，２０８の一端は、支軸２１１を介して回動可能に係合されている。一方、第１及び第２分割片２０７，２０８の他端は、第１分割片２０７の第１延設部２０７ｉに突設した係止爪２０７ｅを第２分割片２０８の第２延設部２０８ｉに形成した挿通孔２０８ｅに弾性変形させながら挿通した後、係止爪２０７ｅを復元させて第２延設部２０８ｉに係止させることにより、係合される。

このような連結部材２０６は、支軸２１１を基点にして第１分割片２０７を第２分割片２０８に対して回動させ、係止爪２０７ｅを挿通孔２０８ｅに挿通して第２延設部２０８ｉに係止させることにより、第１及び第２分割片２０７，２０８の第１及び第２突部２０７ａ，２０７ｂ，２０８ａ，２０８ｂを第１及び第２接続部２０３，２０４の第１及び第２装着溝２０３ａ，２０４ａに配置する。第１及び第２接続部２０３，２０４は、環状シール部材２０５の反発力により互いに離れる方向へ移動しようとするが、図１３に示すように、第１及び第２装着溝２０３ａ，２０４ａの端面側内側面が連結部材２０６の第１及び第２突部２０７ａ，２０７ｂ，２０８ａ，２０８ｂに支持されて移動を制限され、接続状態が維持される。よって、図１３及び図１４に示す流体機器接続構造２００によれば、第１及び第２接続部２０３，２０４の接続部分に連結部材２０６を小さなスペースで簡単に装着できる。

図１３に示す第１及び第２接続部２０３，２０４と環状シール部材２０５と第１及び第２分割片２０７，２０８は、樹脂を材質とする。そのため、例えば、第１及び第２接続部２０３，２０４に高温の薬液と低温の純水を交互に流すと、第１及び第２接続部２０３，２０４がクリープ変形し、シール力が低下することがある。そのため、連結部材２０６は、図１３及び図１５に示すように、第１及び第２分割片２０７，２０８の第１及び第２突部２０７ａ，２０７ｂ，２０８ａ，２０８ｂの先端部に第１及び第２連結側テーパ面２０７ｆ，２０７ｇ，２０８ｆ，２０８ｇを設けている。そして、第１及び第２接続部２０３，２０４には、第１及び第２連結側テーパ面２０７ｆ，２０７ｇ，２０８ｆ，２０８ｇに摺接する第１及び第２接続側テーパ面２０３ｂ，２０４ｂが、第１及び第２装着溝２０３ａ，２０４ａの底部に設けられている。更に、連結部材２０６には、図１６に示すように、第１及び第２分割片２０７，２０８を互いに近づけて第１及び第２接続部２０３，２０４を引き寄せ、シール力を増加させるための増し締め部材２１０が取り付けられるようになっている。

そのため、流体機器接続構造２００は、図１６に示すように、増し締め部材２１０を第１分割片２０７の挿通孔２０７ｈに挿通して第２分割片２０８のボルト孔２０８ｈに締め付けることにより、図１５に示すように、第１及び第２分割片２０７，２０８を引き寄せて第１及び第２連結側テーパ面２０７ｆ，２０７ｇ，２０８ｆ，２０８ｇを第１及び第２接続部２０３，２０４の第１及び第２接続側テーパ面２０３ｂ，２０４ｂに摺接させ、第１及び第２接続部２０３，２０４を近づける。よって、図１３〜図１６に示す流体機器接続構造２００は、増し締め部材２１０を締め付けることで、シール力を向上させることができる。

ところが、近年、半導体製造装置のコンパクト化が進んでいることが知られている。そのため、半導体産業界からは、上記流体機器接続構造２００を更にコンパクト化することが要求されている。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、コンパクトな流体機器接続構造を提供することを目的とする。

本発明に係る流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、次のような構成を有している。
第１流体機器と第２流体機器が、樹脂を材質とする第１接続部と第２接続部を備え、前記第１接続部の第１端面に開口する流路の周りに第１環状シール溝が形成されると共に、前記第２接続部の第２端面に開口する流路の周りに第２環状シール溝が形成され、前記第１及び前記第２環状シール溝の間に樹脂製の環状シール部材を配置して接続した前記第１接続部と前記第２接続部に樹脂製の連結部材を装着し、前記第１及び前記第２接続部の接続状態を維持する流体機器接続構造において、前記第１接続部は、前記第１接続部の外周面に形成されて前記連結部材が装着される第１装着溝と、前記第１装着溝の端面側内側面の外周に形成された第１接続側テーパ面とを有し、前記第２接続部は、前記第２接続部の外周面に形成されて前記連結部材が装着される第２装着溝と、前記第２装着溝の端面側内側面の外周に形成された第２接続側テーパ面とを有し、前記連結部材は、前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１突部と、前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２突部が所定の間隔を空けて設けられた複数の分割片を係合させたものであって、シール力が低下した場合に前記複数の分割片を引き寄せて前記第１接続部と前記第２接続部を近づけ
る方向に増し締めを行い、前記第１突部は、前記複数の分割片を引き寄せる場合に前記第１接続側テーパ面に摺接する第１連結側テーパ面を有し、前記第２突部は、前記複数の分割片を引き寄せる場合に前記第２接続側テーパ面に摺接する第２連結側テーパ面を有すること、前記複数の分割片は、前記第１突部と前記第２突部の突出方向先端が、円弧状に設けられ、前記第１突部には、前記第１装着溝の端面側内側面に対して平行であって前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１ストレート面が前記突出方向先端から外径方向に設けられ、前記第１連結側テーパ面が前記第１ストレート面の径方向外側に設けられ、前記第２突部には、前記第２装着溝の端面側内側面に対して平行であって前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２ストレート面が前記突出方向先端から外径方向に設けられ、前記第２連結側テーパ面が前記第２ストレート面の径方向外側に設けられていることが望ましい。

上記流体機器接続構造では、前記連結部材は、前記複数の分割片を引き寄せるための増し締め部材を有していることが望ましい。

上記流体機器接続構造では、前記連結部材は、前記第１及び前記第２接続部の接続部分を挟むように配置される第１分割片と第２分割片を有し、前記第１及び前記第２分割片は、前記第１及び前記第２接続部の接続部分を挟んで反対の位置に一端と他端がそれぞれ配置され、一端同士を回動可能に係合し、他端同士を所定の隙間を空けて係合するものであり、前記第１及び前記第２分割片と前記第１及び第２接続部の接続部分との間に形成される隙間は、前記所定の間隔を空けて前記第１及び前記第２分割片を係合させる初期状態の場合に、前記一端同士を係合させた一端係合部分と前記第１及び前記第２接続部の接続部分との間に形成される隙間の間隔と、前記他端同士を係合させた他端係合部分と前記第１及び前記第２接続部の接続部分との間に形成される隙間の間隔が最小であり、前記第１及び前記第２分割片を引き寄せて前記所定の隙間を閉じた場合に、径方向幅寸法が前記初期状態の最小間隔で均一な真円形状になることが望ましい。

上記流体機器接続構造では、前記複数の分割片を係合する係合部分の少なくとも一つが、弾性変形可能に係止爪を設けられた一方の分割片と、前記係止爪を挿通可能な挿通部を有する他方の分割片とを係合させるものであり、前記挿通部に挿通された前記係止爪が、前記他方の分割片の円弧状に形成された外周面に沿う形で前記第１及び前記第２接続部の接続部分に近い位置に係止されることが望ましい。

第１流体機器と第２流体機器が、樹脂を材質とする第１接続部と第２接続部を備え、前記第１接続部の第１端面に開口する流路の周りに第１環状シール溝が形成されると共に、前記第２接続部の第２端面に開口する流路の周りに第２環状シール溝が形成され、前記第１及び前記第２環状シール溝の間に樹脂製の環状シール部材を配置して接続した前記第１接続部と前記第２接続部に樹脂製の連結部材を装着し、前記第１及び前記第２接続部の接続状態を維持する流体機器接続構造において、前記第１接続部は、前記第１接続部の外周面に形成されて前記連結部材が装着される第１装着溝と、前記第１装着溝の端面側内側面の外周に形成された第１接続側テーパ面とを有し、前記第２接続部は、前記第２接続部の外周面に形成されて前記連結部材が装着される第２装着溝と、前記第２装着溝の端面側内側面の外周に形成された第２接続側テーパ面とを有し、前記連結部材は、前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１突部と、前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２突部が所定の間隔を空けて設けられた複数の分割片を係合させたものであって、シール力が低下した場合に前記複数の分割片を引き寄せて前記第１接続部と前記第２接続部を近づけ
る方向に増し締めを行い、前記第１突部は、前記複数の分割片を引き寄せる場合に前記第１接続側テーパ面に摺接する第１連結側テーパ面を有し、前記第２突部は、前記複数の分割片を引き寄せる場合に前記第２接続側テーパ面に摺接する第２連結側テーパ面を有すること、前記環状シール部材が、前記第１及び前記第２環状シール溝に装着される本体部と、前記本体部に一体的に設けられ、前記第１及び前記第２端面の間から前記第１及び前記第２接続部の接続部分の外側に露出する露出部とを有し、前記連結部材は、前記露出部を露呈可能な露呈部が設けられていることが望ましい。

上記流体機器接続構造では、前記環状シール部材は、少なくとも前記露呈部に対応する位置が前記第１及び前記第２接続部と識別可能にされていることが望ましい。

本発明の流体機器ユニットは、上記何れかの流体機器接続構造を使用して前記第１流体機器と前記第２流体機器とを接続する。

本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、第１流体機器の第１接続部が、第１装着溝の端面側内側面の外周に第１接続側テーパ面を設けられている。また、第２流体機器の第２接続部が、第２装着溝の端面側内側面の外周に第２接続側テーパ面を設けられている。一方、連結部材は、複数の分割片を備え、第１及び第２装着溝に装着される第１及び第２突部が各分割片に設けられている。第１突部には、複数の分割片を引き寄せる場合に第１接続側テーパ面に摺接する第１連結側テーパ面が、設けらている。また、第２突部には、複数の分割片を引き寄せる場合に第２接続側テーパ面に摺接する第２連結側テーパ面が、設けられている。シール力が低下した場合に複数の分割片を引き寄せると、各分割片の第１及び第２連結側テーパ面が第１及び第２接続部の第１及び第２接続側テーパ面に摺接して第１及び第２接続部を近づける方向に増し締めする。このような流体機器接続構造及び流体機器ユニットでは、第１及び第２装着溝の底部にテーパ面を設けていないので、第１及び第２装着溝の底部にテーパ面を設けるスペースを削減し、連結部材や第１及び第２接続部をコンパクトにできる。よって、本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットによれば、流体機器接続構造をコンパクトにできる。

本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、増し締め部材を用いて複数の分割片を引き寄せ、第１及び第２接続部を近づける方向に増し締めすることができる。

本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、第１及び第２接続部に連結部材を装着した初期段階では、各分割片の第１突部の突出方向先端から外径方向に第１装着溝の端面側内側面に対して平行になるように設けた第１ストレート面が第１装着溝の端面側内側面に当接し、各分割片の第２突部の突出方向先端から外径方向に第２装着溝の端面側内側面に対して平行になるように設けた第２ストレート面が第２装着溝の端面側内側面に当接する。このため、第１及び第２接続部は、第１及び第２装着溝の端面側内側面が各分割片の第１及び第２突部に設けた第１及び第２ストレート面に支持されて接続状態を維持される。第１及び第２分割片を引き寄せると、第１及び第２ストレート面の径方向外側に設けられた第１及び第２連結側テーパ面が第１及び第２接続部に設けた第１及び第２接続側テーパ面にそれぞれ摺接して、第１及び第２接続部を互いに近づけて増し締めする力を発生する。よって、本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、コンパクトな構造で増し締めできる。

本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、第１及び第２接続部の接続部分を挟むように第１及び第２分割片を配置し、第１及び第２分割片の一端同士を回動可能に係合し、他端同士を所定の隙間を空けて係合することにより、第１及び第２分割片を第１及び第２接続部の接続部分の周りに装着する。この場合、第１及び第２分割片と第１及び第２接続部の接続部分との間に形成される隙間は、第１及び第２分割片の一端係合部分と第１及び第２接続部の接続部分との間に形成される隙間の間隔と、第１及び第２分割片の他端係合部分と第１及び第２接続部の接続部分との間に形成される隙間の間隔とを最小になる。第１及び第２分割片は、所定の隙間を閉じるように引き寄せられると、第１及び第２連結側テーパ面を第１及び第２接続側テーパ面に摺接させて第１及び第２接続部を近づけ、増し締めを行う。このとき、第１及び第２分割片と第１及び第２接続部の接続部分との間に形成される隙間が狭められて、真円形状になる。真円形状の隙間は、径方向幅寸法が初期状態の最小間隔で均一になる。すなわち、第１及び第２分割片の一端係合部分と第１及び第２接続部の接続部分との間に形成される隙間の間隔、及び、第１及び第２分割片の他端係合部分と第１及び第２接続部の接続部分との間に形成される隙間の間隔は、増し締め前後で変わらない。このような流体機器接続構造及び流体機器ユニットによれば、第１及び第２分割片と第１及び第２接続部の接続部分との間に形成される隙間に第１及び第２分割片の引き寄せに不要な隙間が含まれないので、第１及び第２分割片をコンパクトにできる。

本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、複数の分割片を係合する係合部分の少なくとも一つが、一方の分割片に弾性変形可能に設けた係止爪を他方の分割片に設けた挿通部に挿通し、他方の分割片の円弧状に形成された外周面に沿う形で第１及び第２接続部の接続部分に近い位置に係止爪を係止させることにより、一方の分割片と他方の分割片とを係合させている。このような流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、他方の分割片のうち第１及び第２接続部の接続部分から離れた位置に係止爪を係止するための領域を設ける必要がなく、第１及び第２分割片をコンパクトにできる。

本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、第１及び第２接続部の第１及び第２環状シール溝に環状シール部材の本体部を装着して第１及び第２接続部を接続すると、環状シール部材の露出部が第１及び第２端面の間から外部に露出する。第１及び第２接続部の接続部分に装着される連結部材には、露出部を露呈可能な露呈部が設けられてる。よって、本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットによれば、第１及び第２流体機器を連結した後でも、露出部が露呈部に露呈しているか否かにより第１及び第２接続部の間に環状シール部材が装着されているか否かを確認できるので、環状シール部材の付け忘れを防止できる。

本発明の流体機器接続構造及び流体機器ユニットは、環状シール部材が、連結部材の露呈部に対応する位置を第１及び第２接続部と識別可能にされているので、露呈部から環状シール部材の有無を確認しやすい。

本発明の実施形態に係る流体機器接続構造を適用した流体機器ユニットの側面図である。 流体機器ユニットの上面図である。 流体機器接続構造の断面図であって、初期状態を示す。 図３のＡＡ断面図である。 流体機器接続構造の断面図であって、増し締め状態を示す。 図５のＢＢ断面図である。 環状シール部材の外観斜視図である。 流体機器ユニットの分解外観斜視図である。 第２実施形態の流体機器接続構造の断面図である。 環状シール部材の変形例である。 流体機器接続構造の変形例である。 特開２００６−６４０８０号公報で開示された流体機器接続構造の断面図である。 特願２００８−１８０５４５号で提案した流体機器接続構造の断面図であって、初期状態を示す。 図１３のＣＣ断面図である。 特願２００８−１８０５４５号で提案した流体機器接続構造の断面図であって、増し締め状態を示す。 図１５のＤＤ断面図である。

以下、本発明に係る流体機器接続構造及び流体機器ユニットの好ましい実施形態を、図面を参照しながら説明する。

（第１実施形態）
＜流体機器ユニットの概略構成＞
図１は、本発明の実施形態に係る流体機器接続構造５０を適用した流体機器ユニット１の側面図である。図２は、流体機器ユニット１の上面図である。
流体機器ユニット１は、流量制御弁や開閉弁などのバルブ類や、フィルタ、圧力センサや流量センサなどのセンサ類、継手ブロックや流路ブロックなどの配管ブロック類などの各種流体機器を、流体機器接続構造５０を用いて接続することにより構成される。本実施形態では、第１流体機器の一例として第１エアオペレイトバルブ２を使用し、第２流体機器の一例として第２エアオペレイトバルブ３を使用している。

図１に示すように、第１及び第２エアオペレイトバルブ２，３は、弁本体４，５の上面に駆動部６，７が図示しないボルトで取り付けられた２ポート弁である。弁本体４，５は、ＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）やＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などの耐腐食性がある樹脂を材質とする。弁本体４の側面には、内部流路を外部の流体機器に接続するための第１接続部８が一体成形又は切削加工により２方向に突出して設けられている。弁本体５の側面には、内部流路を外部の流体機器に接続するための第２接続部９が一体成形又は切削加工により二方向に突出して設けられている。第１及び第２接続部８，９は、同一の形状をなす。

＜流体機器接続構造の構成＞
図３は、流体機器接続構造５０の断面図であって、初期状態を示す。図４は、図３のＡＡ断面図である。図５は、流体機器接続構造５０の断面図であって、増し締め状態を示す。図６は、図５のＢＢ断面図である。尚、図５において、第１及び第２連結側テーパ面６９，７０，７４，７５と第１及び第２接続側テーパ面２４，２５の圧接部分、及び、テーパ状支持壁２８，２９と倒れ込み防止用テーパ面４２，４３との圧接部分、図３及び図５において第１及び第２環状突起１６，２７を圧入代３８〜４１に圧入している圧入部分は、当接部分との対比を容易にするために、現実とは異なるが重ね合わせて記載している。
図３及び図５に示すように、流体機器接続構造５０は、第１及び第２接続部８，９を環状シール部材３１を介して接続し、図３〜図６に示すように、第１及び第２接続部８，９の接続部分の周りに連結部材５１を装着することにより、第１及び第２接続部８，９の接続状態を維持するように構成されている。

図３及び図５に示す第１及び第２接続部８，９は、円筒状に設けられている。第１接続部８の第１端面１０には、流路１２が開口している。第１端面１０には、環状シール部材３１を装着するための第１環状シール溝１４が流路１２の開口部の周りに形成されている。第１環状シール溝１４の底面には、第１環状突起１６が第１環状シール溝１４と同心円状に突設され、凸凹条を構成している。第１環状シール溝１４の底部は、第１環状突起１６の両側から環状シール部材３１の内周方向と外周方向に傾斜が設けられ、テーパ状支持壁２８が設けられている。

第１接続部８の外周面には、連結部材５１を装着するための第１装着溝１８が環状に形成されている。第１装着溝１８は、第１端面１０側の端面側内側面２０が第１端面１０と平行になるように設けられている。第１接続部８は、第１端面１０と第１装着溝１８との間に第１フランジ部２２が設けられている。第１接続部８は、第１装着溝１８の端面側内側面２０の外周、換言すれば、第１フランジ部２２の第１装着溝１８側の外周端部に沿って、第１接続側テーパ面２４を備える。第１接続側テーパ面２４は、第１装着溝１８の端面側内側面２０から第１端面１０側に拡径するように設けられている。第１フランジ部２２は、第１端面１０側の端部外周に沿って第１係止凸部２６が設けられている。尚、第１接続部８は、第１装着溝１８と平行に、第１及び第２接続部８，９を引き寄せる治具を取り付けるための第１取付溝４６が設けられている。

第２接続部９は、第２端面１１、流路１３、第２環状シール溝１５、第２環状突起１７、第２装着溝１９、端面側内側面２１、第２フランジ部２３、第２接続側テーパ面２５、第２係止凸部２７、テーパ状支持壁２９、第２取付溝４７が、第１接続部８の第１端面１０、流路１２、第１環状シール溝１４、第１環状突起１６、第１装着溝１８、端面側内側面２０、第１フランジ部２２、第１接続側テーパ面２４、第１係止凸部２６、テーパ状支持壁２８、第１取付溝４６と同様に設けられている。よって、第２接続部９の具体的な説明を省略する。

図７は、環状シール部材３１の外観斜視図である。
環状シール部材３１は、ＰＦＡなどの硬くて耐腐食性があるフッ素樹脂を材質とする。環状シール部材３１は、第１及び第２接続部８，９と識別できるように、フッ素樹脂に着色剤を混合して第１及び第２接続部８，９と異なる色に着色されている。環状シール部材３１は、第１及び第２環状シール溝１４，１５に装着される本体部３２と、本体部３２の外周面から外径方向に張り出す張出部３３と、張出部３３の外周縁部に設けられた把持部３４とを備える。

図３、図５、図７に示すように、本体部３２は、短い円筒形状をなす。本体部３２の両端面には、第１環状突起１６に嵌合する第１環状溝３６と、第２環状突起１７に嵌合する第２環状溝３７とが環状に形成され、凹凸条が構成されている。第１環状溝３６は、第１環状突起１６の径方向幅寸法と略同一にされている。第１環状溝３６は、開口部の奥側の内周面と外周面に圧入代３８，３９が本体部３２の肉厚方向に厚く設けられ、開口部の奥側が開口部より幅狭になっている。また、図３、図５に示すように、第２環状溝３７は、第２環状突起１７の径方向幅寸法と略同一にされている。第２環状溝３７は、開口部の奥側の内周面と外周面に圧入代４０，４１が本体部３２の肉厚方向に厚く設けられ、開口部の奥側が開口部より幅狭になっている。このような本体部３２は、第１及び第２接続部８，９のテーパ状支持壁２８，２８，２９，２９に当接して支持される倒れ込み防止用テーパ面４２，４３が両端面の内周と外周に沿ってそれぞれ設けられている。

図３〜図７に示すように、張出部３３は、リング形の膜形状をなし、本体部３２と把持部３４とを接続している。

図７に示すように、把持部３４は、張出部３３の外縁部から、本体部３２の軸線方向（第１及び第２環状突起１６，１７を第１及び第２環状溝３６，３７の圧入代３８〜４１に圧入する方向）に突出して設けられている。図３及び図５に示すように、把持部３４は、第１及び第２接続部８，９に設けた第１及び第２フランジ部２２，２３の外周面に摺接可能に設けられ、本体部３２の第１及び第２環状溝３６，３７を第１及び第２接続部８，９の第１及び第２環状突起１６，１７に対して位置決めする。把持部３４の一端内周面には、本体部３２側へ突き出して第１又は第２接続部８，９の第１又は第２係止凸部２６，２７に引っ掛けられる引掛部４４が設けられている。

図３に示すように、連結部材５１は、第１及び第２接続部８，９の接続部分を挟むように配置される第１分割片５２と第２分割片５３を有する。連結部材５１は、第１分割片５２の第１突部５４と第２分割片５３の第１突部５６を第１装着溝１８に配置し、第１分割片５２の第２突部５５と第２分割片５３の第２突部５７を第２装着溝１９に配置することにより、第１及び第２接続部８，９の間に装着した環状シール部材３１の反発力に抗して第１及び第２接続部８，９の接続状態を維持している。図４に示すように、連結部材５１は、第１及び第２分割片５２，５３と第１及び第２接続部８，９の接続部分との間に、隙間Ｓ１０を空けて装着される。隙間Ｓ１０は、第１及び第２分割片５２，５３の係合部分と第１及び第２接続部８，９の接続部分との間に形成される隙間Ｓ１１，Ｓ１２の間隔が最小になるように設けられている。

図８は、流体機器ユニット１の分解外観斜視図である。
図８に示す連結部材５１の第１分割片５２と第２分割片５３は、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン(二弗化ビニリデン)）などの強度と耐腐食性があるフッ素樹脂を材質とする。第１分割片５２と第２分割片５３は、第１及び第２接続部８，９の周りに取り付けられるように円弧状に設けられている。第１分割片５２の一端に設けた第１ヒンジ部５８と、第２分割片５３の一端に設けた第２ヒンジ部５９は、支軸６０を介して回動可能に係合され、第１及び第２分割片５２，５３の一端係合部分を構成する。

第１及び第２分割片５２，５３は、一端係合部分と反対の他端外周面に、第１及び第２延設部６１，６２が外向きに延設されている。第２延設部６２には、係止爪６３が弾性変形可能に突設されている。一方、第１延設部６１には、係止爪６３を弾性変形させながら挿通させる挿通孔６４（挿通部の一例）が形成されている。第１分割片５２は、第１及び第２接続部８，９の接続部分と挿通孔６４に近い外周面に、挿通孔６４に挿通された係止爪６３の先端部を引っ掛けて止めるための段差７７が設けられている。係止爪６３は、全長が第１延設部６１の肉厚寸法より長くされ、連結部材５１を第１及び第２接続部８，９の接続部分に装着した初期状態時に、先端部が段差７７に係止されて第１及び第２延設部６１，６２の間に所定の隙間Ｓ３を形成するようにしている（図２、図４参照）。尚、第１及び第２分割片５２，５３は、第２分割片５３の係止爪６３を第１分割片５２の段差７７に着脱可能に係止させることにより、第１及び第２分割片５２，５３の他端同士を係合する他端係合部分が構成されている。

第１及び第２延設部６１，６２には、増し締め部材７８が装着され、図４及び図６に示すように所定の隙間Ｓ３を閉じるように増し締め部材７８で第１及び第２延設部６１，６２を近づけることにより第１及び第２分割片５２，５３を引き寄せるようになっている。具体的には、第１延設部６１には、増し締め部材７８を挿通する挿通溝６５が設けられ、第２延設部６２には、増し締め部材７８が締結されるボルト孔６６が設けられている。

第１分割片５２の第１突部５４と第２突部５５は、図３及び図５に示すように、対向する面が平行にされ、図８に示すように、突出方向先端が円弧状になっている。図３及び図５に示すように、第１突部５４は、第１装着溝１８の端面側内側面２０に当接する第１ストレート面６７が第１突部５４の突出方向先端から外径方向に形成されている。第１突部５４は、第１ストレート面６７の径方向外側（基端側）に、第１接続側テーパ面２４に摺接可能な第１連結側テーパ面６９が設けられている。一方、第２突部５５は、第２装着溝１９の端面側内側面２１に当接する第２ストレート面６８が第２突部５５の突出方向先端から外径方向に形成されている。第２突部５５は、第２ストレート面６８の径方向外側（基端側）に、第２接続側テーパ面２５に摺接可能な第２連結側テーパ面７０が設けられている。このような第１及び第２突部５４，５５を備える第１分割片５２は、第１突部５４と第２突部５５との間であって第１及び第２接続部８，９が接続する接続部分に対応する位置に、第１露呈部７１が設けられている。

一方、第２分割片５３の第１突部５６と第２突部５７は、図３及び図５に示すように、対向する面が平行にされ、図８に示すように、突出方向先端が円弧状になっている。第１突部５６は、第１装着溝１８の端面側内側面２０に当接する第１ストレート面７２が第１突部５６の突出方向先端から外径方向に形成されている。第１突部５６は、第１ストレート面７２の径方向外側（基端側）に、第１接続側テーパ面２４に摺接可能な第１連結側テーパ面７４が設けられている。一方、第２突部５７は、第２装着溝１９の端面側内側面２１に当接する第２ストレート面７３が第２突部５７の突出方向先端から外径方向に形成されている。第２突部５７は、第２ストレート面７３の径方向外側（基端側）に、第２接続側テーパ面２５に摺接可能な第２連結側テーパ面７５が設けられている。このような第１及び第２突部５６，５７を備える第２分割片５３は、図１、図３、図５に示すように、第１突部５６と第２突部５７との間であって第１及び第２接続部８，９が接続する接続部分に対応する位置に、第２露呈部７６が設けられている。

図１、図３、図５に示すように、環状シール部材３１は、張出部３３の外縁部及び把持部３４が、第１及び第２接続部８，９の第１及び第２端面１０，１１の間から外部に露出するため（露出部の一例を構成）、その露出部分が第１及び第２露呈部７１，７６から露呈する。

＜流体機器接続構造の開発過程について＞
次に、流体機器接続構造の小型化を図るために、本発明で成された開発の過程について説明する。
図１３及び図１４に示す流体機器接続構造２００は、第１及び第２接続部２０３，２０４に連結部材２０６を装着した初期状態では、第１及び第２装着溝２０３ａ，２０４ａの端面側接続面が第１及び第２分割片２０７，２０８の第１及び第２突部２０７ａ，２０７ｂ，２０８ａ，２０８ｂに面接触し、第１及び第２接続部２０３，２０４の接続状態を維持する。その後、第１及び第２接続部２０３，２０４がクリープ変形してシール力を低下させた場合、図１５及び図１６に示すように、第１及び第２分割片２０７，２０８を引き寄せることにより第１及び第２接続側テーパ面２０３ｂ，２０４ｂと第１及び第２連結側テーパ面２０７ｆ，２０７ｇ，２０８ｆ，２０８ｇを摺接させ、第１及び第２接続部２０３，２０４を近づける方向に増し締めする。つまり、連結部材２０６を第１及び第２接続部２０３，２０４に装着した初期状態では、第１及び第２接続側テーパ面２０３ｂ，２０４ｂに第１及び第２連結側テーパ面２０７ｆ，２０７ｇ，２０８ｆ，２０８ｇを接触させる必要がない。

一方、図１６に示すように、支軸２１１を基点として第１及び第２分割片２０７，２０８を引き寄せるためには、第１及び第２分割片２０７，２０８の第１及び第２突部２０７ａ，２０７ｂ，２０８ａ，２０８ｂの突出方向先端と、第１及び第２装着溝２０３ａ，２０４ａの底部との間に隙間Ｓ２が必要である。また、連結部材２０６の内周面と第１及び第２接続部２０３，２０４の接続部分との間にも、隙間Ｓ２と同程度の隙間Ｓ１を要する。

そこで、発明者らは、図１３に示すように、隙間Ｓ１，Ｓ２を残しつつ、第１及び第２連結側テーパ面２０７ｆ，２０７ｇ，２０８ｆ，２０８ｇを第１及び第２分割片２０７，２０８から除去し、第１及び第２突部２０７ａ，２０７ｂ，２０８ａ，２０８ｂの突出方向の距離をＨだけ短くした。また、これに応じて、発明者らは、第１及び第２接続側テーパ面２０３ｂ，２０４ｂを第１及び第２接続部２０３，２０４から除去し、第１装着溝２０３ａと第１接続部２０３の端面との間の第１フランジ部２０３ｃの径方向寸法と、第２装着溝２０４ａと第２接続部２０４の端面との間の第２フランジ部２０４ｃの径方向寸法とをＨだけ小さくした。これにより、第１及び第２分割片２０７，２０８の径方向寸法Ｙ２と第１及び第２フランジ部２０３ｃ，２０４ｃの径方向寸法Ｘ２がＨ分だけ小さくなり、第１及び第２分割片２０７，２０８と第１及び第２フランジ部２０３ｉ，２０４ｉをコンパクトにできる。

そして、発明者らは、図３〜図６に示すように、第１及び第２ストレート面６７，６８，７２，７３の径方向外側（第１及び第２突部５４，５５，５６，５７の基端部側）に連続するように第１及び第２連結側テーパ面６９，７０，７４，７５を設けた。これにより、第１及び第２連結側テーパ面６９，７０，７４，７５を設けるために第１及び第２突部５４，５５，５６，５７を突出方向に長くする必要がなく、第１及び第２分割片５２，５３をコンパクトにできる。そして、発明者らは、第１及び第２分割片５２，５３の第１連結側テーパ面６９，７４に対応する第１接続側テーパ面２４を、第１装着溝１８の端面側内側面２０の外周に設けた。また、発明者らは、第１及び第２分割片５２，５３の第２連結側テーパ面７０，７５に対応する第２接続側テーパ面２５を、第２装着溝１９の端面側内側面２１の外周に設けた。これにより、第１及び第２接続側テーパ面２４，２５を第１及び第２装着溝１８，１９の底部に設ける必要がなくなり、第１及び第２フランジ部２２，２３の径方向寸法を短くして第１及び第２接続部８，９をコンパクトにできる。

そして、発明者らは、図３に示すように、第１及び第２接続部８，９の接続部分に連結部材５１を装着した初期時において、第１及び第２分割片５２，５３に作用する環状シール部材３１の反発力を求め、その反発力に対する反力を発生させるのに必要となる第１及び第２突部５４，５５，５６，５７と第１及び第２装着溝１８，１９の端面側内側面２０，２１との接触面積を求め、第１及び第２ストレート面６７，６８，７２，７３の径方向長さＸ３（第１及び第２突部５４，５５，５６，５７の突出方向先端から外径方向への長さ（幅））を決定した。この結果、流体機器接続構造５０は、図３に示す第１及び第２ストレート面６７，６８，７２，７３の径方向長さＸ３を、図１３に示す従来の流体機器接続構造２００における長さＸ４より小さくし、第１及び第２分割片５２，５３をコンパクトにできた。

これに対応して、発明者らは、図３に示すように、第１ストレート面６７，７２の高さＸ３と、隙間Ｓ２、第１接続側テーパ面２４の寸法を考慮し、第１フランジ部２２が第１装着溝１８から立ち上がる高さＸ１を調整すると共に、第２ストレート面６８，７３の高さＸ３と、隙間Ｓ２、第２接続側テーパ面２５の寸法を考慮し、第２フランジ部２３が第２装着溝１９から立ち上がる高さＸ１を調整した。この結果、図３に示す流体機器接続構造５０は、第１及び第２フランジ部２２，２３の高さＸ１が、図１３に示す従来の流体機器接続構造２００の第１及び第２フランジ部２０３ｃ，２０４ｃの高さＸ２より低くなり、第１及び第２フランジ部２２，２３の外径寸法を小さくできた。

また、発明者らは、第１及び第２分割片５２，５３と第１及び第２接続部８，９の接続部分との間に形成される隙間Ｓ１０についても検討した。すなわち、図１４に示す流体機器接続構造２００では、第１及び第２分割片２０７，２０８が第１及び第２接続部２０３，２０４の接続部分との間に形成する隙間Ｓ１１０が、初期状態のときに円周方向に一定間隔を有する真円形状であった。そして、その隙間Ｓ１１０は、図１６に示すように、支軸２１１を基点として第１及び第２分割片２０７，２０８を引き寄せることにより第１及び第２接続部２０３，２０４を近づけて増し締めすると、第１及び第２分割片２０７，２０８の一端係合部分側の隙間Ｓ１１１と他端係合部分側の隙間Ｓ１１２が、増し締め前後で殆ど変化せず、一端係合部分と他端係合部分に対して９０度の位相差を持つ位置の隙間Ｓ１が、増し締め前より増し締め後の方が狭くなることに気付いた。これらより、発明者らは、図１３〜図１６に示す流体機器接続構造２００の連結部材２０６が、隙間Ｓ１１１，Ｓ１１２が第１及び第２分割片２０７，２０８の引き寄せに不要な隙間を含んでいることに気付いた。

そこで、図４に示すように、発明者らは、一端係合部分と第１及び第２接続部８，９の接続部分との間に形成される隙間Ｓ１１の間隔と、他端係合部分と第１及び第２接続部８，９の接続部分との間に形成される隙間Ｓ１２の間隔を第１及び第２分割片５２，５３の引き寄せを阻害しない範囲で図１４に示す連結部材２０６の隙間Ｓ１１１，Ｓ１１２より狭くした。そのため、図４に示すように、連結部材５１は、初期状態において、第１及び第２分割片５２，５３と第１及び第２接続部８，９の接続部分との間に形成される隙間Ｓ１０の外周が、一端係合部分と他端係合部分とを結ぶ第１片をその一片の中心において一片に直交する第２片より短くした形状となり、図６に示す増し締め状態になった場合に、隙間Ｓ１０が円周方向に一定間隔を有する真円形状になるように、第１及び第２分割片５２，５３の形状を調整した。これにより、一端係合部分側の隙間Ｓ１１と他端係合部側の隙間Ｓ１２に第１及び第２分割片５２，５３の引き寄せに不要な隙間がなくなり、第１及び第２分割片５２，５３をコンパクトにできる。

更に、発明者らは、図４に示すように、第１及び第２接続部８，９の接続部分側へ傾斜するように係止爪６３を第２分割片５３の第２延設部６２に弾性変形可能に突設し、第１分割片５２の第１延設部６１に係止爪６３を挿通するための挿通孔６４を開設した。そして、第１及び第２接続部８，９の接続部分と挿通孔６４に近い第１分割片５２の外周面に段差７７を設け、係止爪６３を第１及び第２接続部８，９の接続部分に近い位置で第１分割片５２に引っ掛けて止めるようにした。このような連結部材５１は、図１３に示す連結部材２０６のように第１及び第２接続部２０３，２０４の接続部分から遠い位置に係止爪２０７ｅを引っ掛けるためのスペースを第２分割片２０８に別途設ける必要がないので、図４に示す第１及び第２延設部６１，６２を図１３に示す第１及び第２延設部２０７ｉ，２０８ｉより小さくして、第１及び第２分割片５２，５３をコンパクトにできる。

従って、図３に示す流体機器接続構造５０は、第１及び第２分割片５２，５３の径方向寸法Ｙ１と第１及び第２フランジ部２２，２３の径寸法Ｘ１を、図１３に示す流体機器接続構造２００の第１及び第２分割片２０７，２０８の径方向寸法Ｙ２と第１及び第２フランジ部２０３ｃ，２０４ｃの径寸法Ｘ２より小さくし、連結部材５１と第１及び第２フランジ部２２，２３をコンパクトにできる。そのため、図３〜図６に示す流体機器接続構造５０は、第１突部５４，５６側から見た側面投影面積が、図１３〜図１６に示す流体機器接続構造２００の第１突部２０７ａ，２０８ａ側から見た側面投影面積よりコンパクトになる。これ故に、図１及び図２に示すように、流体機器接続構造５０は、第１及び第２エアオペレイトバルブ２，３の第１及び第２接続部８，９を設けられた側面の側面投影面積の範囲内に設けることが可能になるので、第１及び第２エアオペレイトバルブ２，３を配列する配列ピッチＰを小さくできる。このような流体機器接続構造５０を用いて多数のエアオペレイトバルブを集積すれば、各エアオペレイトバルブの配列ピッチＰを小さくして、流体機器ユニットのフットスペースを小さくできる。

＜流体機器接続方法＞
次に、第１及び第２エアオペレイトバルブ２，３を接続する方法を説明する。
図８に示すように、第１エアオペレイトバルブ２の第１接続部８に環状シール部材３１を装着する。環状シール部材３１は、把持部３４が第１接続部８に設けられた第１フランジ部２２の外周にガイドされ、第１環状溝３６が第１接続部８の第１環状突起１６に位置決めされる。このとき、環状シール部材３１は、引掛部４４が第１係止凸部２６に引っ掛けられて第１接続部８に保持されるので、環状シール部材３１の脱落と付け忘れを予防できる。そして、第２接続部９に設けられた第２フランジ部２３を把持部３４に挿入するようにして、第２エアオペレイトバルブ３を第１エアオペレイトバルブ２の隣に設置する。

そして、図示しない治具を第１及び第２取付溝４６，４７に取り付け、第１及び第２端面１０，１１を近づける方向に第１及び第２接続部８，９を引き寄せる。このとき、第１及び第２環状突起１６，１７が第１及び第２環状溝３６，３７の圧入代３８〜４１に圧入される。環状シール部材３１は、倒れ込み防止用テーパ面４２，４３をテーパ状支持壁２８，２９に当接させ、圧入時に第１及び第２環状溝３６，３７の両側が外側に倒れ込んでシール力を低下させることを防いでいる。

環状シール部材３１は、第１及び第２接続部８，９を引き寄せた後でも、張出部３３の外縁部と張出部３３が第１及び第２端面１０，１１の間から外部に露出している。よって、張出部３３の外縁部や把持部３４が見えるか否かにより環状シール部材３１を第１及び第２接続部８，９の間に装着したか否かを確認でき、環状シール部材３１の付け忘れを防止できる。

第１及び第２装着溝１８，１９の端面側内側面２０，２１の距離が、連結部材５１の第１突部５４，５６と第２突部５５，５７との離間距離より小さくなるまで、第１及び第２接続部８，９を引き寄せ、連結部材５１を第１及び第２フランジ部２２，２３に装着する。連結部材５１は、支軸６０を基点として第１分割片５２を第２分割片５３に対して回動させ、係止爪６３を挿通孔６４に挿通する。係止爪６３は、先端部が挿通孔６４を通過する間、挿通孔６４の内周面に先端部を押されて弾性変形し、先端部が挿通孔６４を通過して先端部に作用していた押圧力を解除されると元の形状に復元し、先端部を段差７７に係止させる。これにより、第１及び第２分割片５２，５３は、両端部が係合され、分離しなくなる。

図３に示すように、第１及び第２分割片５２，５３は、第１突部５４，５６と第２突部５５，５７を第１及び第２装着溝１８，１９に配置している。連結部材５１を装着した後に図示しない治具を第１及び第２取付溝４６，４７から取り外すと、第１及び第２接続部８，９は、第１及び第２環状突起１６，１７の圧入代３８〜４１への圧入、及び、倒れ込み防止用テーパ面４２，４３とテーパ状支持壁２８，２９の当接による反発力によって離れようとする。しかし、第１及び第２接続部８，９は、第１及び第２装着溝１８，１９の端面側内側面２０，２１が第１及び第２分割片５２，５３の第１及び第２ストレート面６７，６８，７２，７３に当接し、移動を制限される。よって、第１及び第２接続部８，９は、第１及び第２環状突起１６，１７を圧入代３８〜４１に圧入して流路１２，１３の接続部分を径方向にシールした状態で、接続状態が維持される。

この初期状態において、連結部材５１は、図２及び図４に示すように、係止爪６３を第１分割片５２の段差７７に引っ掛け、第１及び第２延設部６１，６２の間に所定の隙間Ｓ３を形成している。この場合、図３に示すように、連結部材５１は、第１及び第２分割片５２，５３の第１及び第２連結側テーパ面６９，７０，７４，７５を第１及び第２接続部８，９の第１及び第２接続側テーパ面２４，２５に接触させていない。そのため、連結部材５１は、第１及び第２分割片５２，５３の突出方向先端と第１及び第２装着溝１８，１９の底部との間に隙間Ｓ２を形成すると共に、環状シール部材３１の把持部３４と第１及び第２分割片５２，５３の内周面との間に隙間Ｓ１を形成している。

本実施形態では、第１及び第２接続部８，９と連結部材５１が共にフッ素樹脂で構成されているため、熱による膨張が起きても、第１及び第２接続部８，９と連結部材５１は同様に変形する（第１及び第２接続部８，９が流路１２，１３の軸線方向に伸びたら、連結部材５１も同様に流路１２，１３の軸線方向に伸びる）。これに対して、金属等のように樹脂より線膨張係数の小さい材料で連結部材を構成した場合、樹脂製の第１及び第２接続部８，９が膨張しても金属製の連結部材が膨張せず、樹脂製の第１及び第２接続部８，９が熱収縮しても金属製の連結部材が収縮しない。この場合、樹脂製の第１及び第２接続部８，９は、金属製の連結部材で挟まれている第１及び第２フランジ部２２，２３の応力が高くなり、クリープ変形が大きくなる。第１及び第２フランジ部２２，２３に大きなクリープ変形が生じると、第１及び第２フランジ部２２，２３と金属製の連結部材との間に隙間が生じ、所定のシール力を得られないため、機器交換時に第１及び第２接続部８，９を再利用できない不具合が生じる。本実施形態の流体機器接続構造５０は、フッ素樹脂で構成した連結部材５１を用いているので、金属製の連結部材を用いる場合と比べて第１及び第２フランジ部２２，２３のクリープ変形が小さく、機器交換時に、第１及び第２接続部８，９を再利用できる。

しかし、第１及び第２接続部８，９のクリープ変形を完全に除去することはできない。そのため、第１及び第２接続部８，９がクリープ変形などを生じてシール力を低下させた場合には、図６に示すように、増し締め部材７８を挿通溝６５からボルト孔６６にねじ込み、第１及び第２延設部６１，６２を引き寄せる。これにより、第１及び第２分割片５２，５３が支軸６０を基点として回動し、引き寄せられる。第１及び第２分割片５２，５３は、一端係合部分側の隙間Ｓ１１と他端係合部分側の隙間Ｓ１２の間隔を殆ど変えず、一端係合部分と他端係合部分と９０度の位相差を持つ位置の隙間Ｓ１の間隔を狭くしながら引き寄せられ、図５に示すように、第１及び第２連結側テーパ面６９，７０，７４，７５を第１及び第２接続側テーパ面２４，２５に摺接させる。第１及び第２分割片５２，５３は、第１及び第２連結側テーパ面６９，７０，７４，７５で第１及び第２接続側テーパ面２４，２５を第１及び第２端面１０，１１側へそれぞれ押圧し、第１及び第２接続部８，９を近づけるように加圧する。

これにより、第１及び第２環状突起１６，１７が圧入代３８〜４１に圧入されると共に、テーパ状支持壁２８，２９を環状シール部材３１の倒れ込み防止用テーパ面４２，４３に押し付けて第１及び第２環状シール溝１４，１５と環状シール部材３１との間にできた隙間を埋め、シール力を向上させる。

第１及び第２延設部６１，６２が当接するまで増し締め部材７８をボルト孔６６にねじ込むと、第１及び第２分割片５２，５３と第１及び第２接続部８，９の接続部分との間の隙間Ｓ１０が、真円形状に変化する。第１及び第２延設部６１，６２が当接することにより、それ以上第１及び第２分割片５２，５３を引き寄せられなくなる。よって、図４に示す第１及び第２分割片５２，５３の一端係合部分側の隙間Ｓ１１と他端係合部分側の隙間Ｓ１２の間隔を、図１４に示す第１及び第２分割片２０７，２０８より狭くしても、第１及び第２分割片５２，５３が第１及び第２接続部８，９を押し潰して変形させることはない。

ところで、流体機器接続構造５０は、連結部材５１を第１及び第２接続部８，９の接続部分に装着した後でも、第１及び第２露呈部７１，７６を介して連結部材５１の内部を覗くことができる。連結部材５１は、第１及び第２接続部８，９の接続部分に対応する位置に第１及び第２露呈部７１，７６が設けられている。第１及び第２接続部８，９は、環状シール部材３１を介して接続したときに、第１及び第２端面１０，１１の間に張出部３３が配置されると共に、第１及び第２フランジ部２２，２３の外周に把持部３４が配置される。そのため、作業者は、流体機器接続構造５０を用いて流体機器ユニット１を組み立てた後でも、第１及び第２露呈部７１，７６から連結部材５１の内部を覗き、張出部３３又は把持部３４が見えるか否かによって、環状シール部材３１が第１及び第２接続部８，９の間に装着されているか否かを確認できる。よって、流体機器接続構造５０によれば、環状シール部材３１の付け忘れを防止できる。

特に、環状シール部材３１は、第１及び第２接続部８，９と識別可能に着色されているため、第１及び第２露呈部７１，７６から環状シール部材３１に着色した色彩が見えるか否かにより、環状シール部材３１が第１及び第２接続部８，９の間に装着されているか否かを簡単に確認することができる。

尚、第１及び第２接続部８，９の接続を解除して第１及び第２エアオペレイトバルブ２，３のメンテナンス等を行う場合には、上記接続手順と逆手順で行えばよい。このとき、連結部材５１は、第１分割片５２と係止爪６３の先端部との間に指を入れて係止爪６３を外向きに撓ませ、係止爪６３を段差７７から外し、挿通孔６４から抜くことにより、第１及び第２接続部８，９から取り外される。よって、連結部材５１は、第１及び第２接続部８，９から簡単に取り外すことができ、作業性が良い。

（第２実施形態）
続いて、本発明の第２実施形態について図面を参照して説明する。図９は、流体機器接続構造８０の断面図である。
第２実施形態の流体機器接続構造８０は、環状シール部材８１の把持部３４の外周面に位置決め突起８２を設けている点が第１実施形態と相違し、その他は第１実施形態と同様である。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点は図面に第１実施形態と同一符号を付し、説明を適宜省略する。

環状シール部材８１は、位置決め突起８２が連結部材５１の第１及び第２露呈部７１，７６に嵌合するように突設されている。位置決め突起８２は、二色成形により、環状シール部材８１の他の部分及び第１及び第２接続部８，９と異なる色で設けられている。

このような流体機器接続構造８０では、位置決め突起８２を第１及び第２露呈部７１，７６に係合させなければ、連結部材５１を第１及び第２接続部８，９の接続部分に装着できない。よって、流体機器接続構造８０によれば、環状シール部材８１の付け忘れを防止できる。
また、位置決め突起８２を第１及び第２露呈部７１，７６から視認できるので、環状シール部材８１の付け忘れを防止できる。
更に、位置決め突起８２が第１及び第２接続部８，９と識別可能に着色されているため、環状シール部材８１が装着されているか否かを第１及び第２露呈部７１，７６を介して確認しやすい。

＜変形例＞
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、上記第１実施形態では、環状シール部材３１全体を着色したが、少なくとも第１及び第２露呈部７１，７６に対応する部分を着色するようにしてもよい。例えば、図１０に示すように、熱収縮チューブなどの帯状の着色部材８６を環状シール部材８５の装着溝８７に装着しても良い。また、環状シール部材３１の第１及び第２露呈部７１，７６に対応する位置にコーティングや塗装、二色成形により、部分的に着色してもよい。
例えば、上記実施形態では、第１及び第２露呈部７１，７６を貫通孔とした。これに対して、第１及び第２露呈部７１，７６を薄い膜状にし、第１及び第２露呈部７１，７６を介して透けて見えるようにしても良い。これによれば、第１及び第２露呈部７１，７６から連結部材５１の内部に異物が入り込むことを防止しつつ、環状シール部材３１，８１の装着状態を外部から視認できる。
例えば、上記実施形態では、環状シール部材３１，８１，８５は、本体部３２の外周に環状に設けた張出部３３と、その張出部３４の外縁部に設けた把持部３４により、第１及び第２端面１０，１１の間から外部に露出する露出部を設けた。これに対して、本体部３２の外周面の一部から外向きに延設された露出片を、第１及び第２端面１０，１１の間から外部に露出させ、その露出片を第１及び第２露呈部７１，７６から視認して環状シール部材の装着状態を確認するようにしても良い。
例えば、上記実施形態では、係止爪６３を挿通する挿通部を孔で形成したが、溝で形成しても良い。
例えば、上記第２実施形態では、環状シール部材８１の外周に位置決め突起８２を識別可能に着色して設けた。これに対して、図１１に示す流体機器接続構造９０のように、環状シール部材９１の把持部３４又は張出部３３に位置決め突起９２を第１及び第２露呈部７１，７２から突出可能に設けてもよい。この場合、位置決め突起９２を環状シール部材９１と一緒に射出成形で形成し、着色していない場合でも、位置決め突起９２が第１及び第２露呈部７１，７６から突出しているか否かにより環状シール部材９１が第１及び第２接続部８，９の間に装着されているか否かを確認できる。
例えば、上記実施形態では、着色により環状シール部材３１，８１，８５を第１及び第２接続部８，９と識別できるようにした。これに対して、環状シール部材３１，８１，８５の外周にローレット、編み目、文字などの模様を施して、環状シール部材３１，８１，８５と第１及び第２接続部８，９とを識別可能にしても良い。
例えば、上記実施形態では、ねじ形の増し締め部材７８を用いて第１及び第２分割片５２，５３を引き寄せるようにした。これに対して、例えば、第１分割片にカムを設け、第２分割片にカムに摺接可能なレバーを増し締め部材の一例として設け、レバーをカムに摺接させながら回動させることにより第１及び第２分割片５２，５３を引き寄せるようにしても良い。

１ 流体機器ユニット
２，３ 第１，第２エアオペレイトバルブ（第１，第２流体機器の一例）
８，９ 第１，第２接続部
１０，１１ 第１，第２端面
１２，１３ 流路
１４，１５ 第１，第２環状シール溝
１８，１９ 第１，第２装着溝
２０，２１ 内側面側端面
２４，２５ 第１，第２接続側テーパ面
３１，８１，８５ 環状シール部材
３２ 本体部
３３ 張出部
３４ 把持部
５０，８０ 流体機器接続構造
５２，５３ 第１，第２分割片
５４，５５ 第１突部
５５，５７ 第２突部
６５ 連結部材
６７，７２ 第１ストレート面
６８，７３ 第２ストレート面
６９，７４ 第１連結側テーパ面
７０，７５ 第２連結側テーパ面
７１，７６ 第１，第２露呈部
８６ 着色部材

Claims (7)

1. 第１流体機器と第２流体機器が、樹脂を材質とする第１接続部と第２接続部を備え、前記第１接続部の第１端面に開口する流路の周りに第１環状シール溝が形成されると共に、前記第２接続部の第２端面に開口する流路の周りに第２環状シール溝が形成され、前記第１及び前記第２環状シール溝の間に樹脂製の環状シール部材を配置して接続した前記第１接続部と前記第２接続部に樹脂製の連結部材を装着し、前記第１及び前記第２接続部の接続状態を維持する流体機器接続構造において、
   前記第１接続部は、前記第１接続部の外周面に形成されて前記連結部材が装着される第１装着溝と、前記第１装着溝の端面側内側面の外周に形成された第１接続側テーパ面とを有し、
   前記第２接続部は、前記第２接続部の外周面に形成されて前記連結部材が装着される第２装着溝と、前記第２装着溝の端面側内側面の外周に形成された第２接続側テーパ面とを有し、
   前記連結部材は、前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１突部と、前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２突部が所定の間隔を空けて設けられた複数の分割片を係合させたものであって、シール力が低下した場合に前記複数の分割片を引き寄せて前記第１接続部と前記第２接続部を近づける方向に増し締めを行い、
   前記第１突部は、前記複数の分割片を引き寄せる場合に前記第１接続側テーパ面に摺接する第１連結側テーパ面を有し、
   前記第２突部は、前記複数の分割片を引き寄せる場合に前記第２接続側テーパ面に摺接する第２連結側テーパ面を有すること、
   前記複数の分割片は、前記第１突部と前記第２突部の突出方向先端が、円弧状に設けられ、
   前記第１突部には、前記第１装着溝の端面側内側面に対して平行であって前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１ストレート面が前記突出方向先端から外径方向に設けられ、前記第１連結側テーパ面が前記第１ストレート面の径方向外側に設けられ、
   前記第２突部には、前記第２装着溝の端面側内側面に対して平行であって前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２ストレート面が前記突出方向先端から外径方向に設けられ、前記第２連結側テーパ面が前記第２ストレート面の径方向外側に設けられていることを特徴とする流体機器接続構造。
2. 第１流体機器と第２流体機器が、樹脂を材質とする第１接続部と第２接続部を備え、前記第１接続部の第１端面に開口する流路の周りに第１環状シール溝が形成されると共に、前記第２接続部の第２端面に開口する流路の周りに第２環状シール溝が形成され、前記第１及び前記第２環状シール溝の間に樹脂製の環状シール部材を配置して接続した前記第１接続部と前記第２接続部に樹脂製の連結部材を装着し、前記第１及び前記第２接続部の接続状態を維持する流体機器接続構造において、
   前記第１接続部は、前記第１接続部の外周面に形成されて前記連結部材が装着される第１装着溝と、前記第１装着溝の端面側内側面の外周に形成された第１接続側テーパ面とを有し、
   前記第２接続部は、前記第２接続部の外周面に形成されて前記連結部材が装着される第２装着溝と、前記第２装着溝の端面側内側面の外周に形成された第２接続側テーパ面とを有し、
   前記連結部材は、前記第１装着溝の端面側内側面に当接する第１突部と、前記第２装着溝の端面側内側面に当接する第２突部が所定の間隔を空けて設けられた複数の分割片を係合させたものであって、シール力が低下した場合に前記複数の分割片を引き寄せて前記第１接続部と前記第２接続部を近づける方向に増し締めを行い、
   前記第１突部は、前記複数の分割片を引き寄せる場合に前記第１接続側テーパ面に摺接する第１連結側テーパ面を有し、
   前記第２突部は、前記複数の分割片を引き寄せる場合に前記第２接続側テーパ面に摺接する第２連結側テーパ面を有すること、
   前記環状シール部材は、前記第１及び前記第２環状シール溝に装着される本体部と、前記本体部に一体的に設けられ、前記第１及び前記第２端面の間から前記第１及び前記第２接続部の接続部分の外側に露出する露出部とを有し、
   前記連結部材は、前記露出部を露呈可能な露呈部が設けられていることを特徴とする流体機器接続構造。
3. 請求項１または請求項２に記載する流体機器接続構造において、
   前記連結部材は、前記複数の分割片を引き寄せるための増し締め部材を有していることを特徴とする流体機器接続構造。
4. 請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載する流体機器接続構造において、
   前記連結部材は、前記第１及び前記第２接続部の接続部分を挟むように配置される第１分割片と第２分割片を有し、
   前記第１及び前記第２分割片は、前記第１及び前記第２接続部の接続部分を挟んで反対の位置に一端と他端がそれぞれ配置され、一端同士を回動可能に係合し、他端同士を所定の隙間を空けて係合するものであり、
   前記第１及び前記第２分割片と前記第１及び第２接続部の接続部分との間に形成される隙間は、前記所定の間隔を空けて前記第１及び前記第２分割片を係合させる初期状態の場合に、前記一端同士を係合させた一端係合部分と前記第１及び前記第２接続部の接続部分との間に形成される隙間の間隔と、前記他端同士を係合させた他端係合部分と前記第１及び前記第２接続部の接続部分との間に形成される隙間の間隔が最小であり、前記第１及び前記第２分割片を引き寄せて前記所定の隙間を閉じた場合に、径方向幅寸法が前記初期状態の最小間隔で均一な真円形状になることを特徴とする流体機器接続構造。
5. 請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載する流体機器接続構造において、
   前記複数の分割片を係合する係合部分の少なくとも一つが、弾性変形可能に係止爪を設けられた一方の分割片と、前記係止爪を挿通可能な挿通部を有する他方の分割片とを係合させるものであり、
   前記挿通部に挿通された前記係止爪が、前記他方の分割片の円弧状に形成された外周面に沿う形で前記第１及び前記第２接続部の接続部分に近い位置に係止されることを特徴とする流体機器接続構造。
6. 請求項２に記載する流体機器接続構造において、
   前記環状シール部材は、少なくとも前記露呈部に対応する位置が前記第１及び前記第２接続部と識別可能にされていることを特徴とする流体機器接続構造。
7. 請求項１乃至請求項６の何れか一つに記載される流体機器接続構造を使用して前記第１流体機器と前記第２流体機器とを接続することを特徴とする流体機器ユニット。

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