JP6695222B2 - 流体機器接続構造 - Google Patents

Description

本発明は、第１接続部を有する第１流体機器と、第２接続部を有する第２流体機器と、第１接続部及び第２接続部を接続する環状シール部材と、第１接続部及び第２接続部の接続状態を維持する連結部材と、を有し、連結部材は、第１分割片と第２分割片を備え、第１分割片と第２分割片の一端に回動可能な連結部を設けた流体機器接続構造に関するものである。

従来、半導体製造工程や液晶製造工程などの薬液の制御には、流量制御弁や開閉弁などのバルブ類や、フィルタ、圧力センサや流量センサなどのセンサ類、継手ブロックや流路ブロックなどの配管ブロック類など、流体機器が使用される。近年、装置のコンパクト化のため、これら流体機器の接続部同士を、連結部材を用いて直接連結し、ユニット化することが行われている。

図５９は、従来の流体機器接続構造１００の断面図である。図５７は、図５９のＱＱ断面図である。図５８は、従来の流体機器接続構造１００の連結部材１０６の増し締め状態の断面図である。
従来の流体機器接続構造１００は、図５９に示すように、第１及び第２流体機器１０１、１０２の第１及び第２接続部１０３、１０４を、環状シール部材１０５を介して接続し、第１及び第２接続部１０３、１０４の外周に連結部材１０６を取り付けて接続状態を維持する。連結部材１０６は、図５７に示すように、第１分割片１０７と第２分割片１０８の両端部を係合させて構成されている。

図５９に示すように、第１分割片１０７は、第１接続部１０３の外周に形成された第１装着溝１０３ａに配置される第１突部１０７ａと、第２接続部１０４の外周に形成された第２装着溝１０４ａに配置される第２突部１０７ｂとを有する。また、第２分割片１０８は、第１装着溝１０３ａに配置される第１突部１０８ａと、第２装着溝１０４ａに配置される第２突部１０８ｂとを有する。
図５７に示すように、第１及び第２分割片１０７、１０８の一端は、支軸１１１を介して回動可能に係合されている。一方、第１及び第２分割片１０７、１０８の他端は、第２分割片１０８の第１延設部１０８ｃに突設した係止爪１０８ｅを第１分割片１０７の第２延設部１０７ｃに形成した挿通孔１０７ｅに弾性変形させながら挿通した後、係止爪１０８ｅを復元させて第２延設部１０７ｃに係止させることにより、係合される。

このような連結部材１０６は、支軸１１１を基点にして第１分割片１０７を第２分割片１０８に対して回動させ、係止爪１０８ｅを挿通孔１０７ｅに挿通して第２延設部１０７ｃに係止させることにより、第１及び第２分割片１０７、１０８の第１及び第２突部１０７ａ、１０７ｂ、１０８ａ、１０８ｂを第１及び第２接続部１０３、１０４の第１及び第２装着溝１０３ａ、１０４ａに配置する。第１及び第２接続部１０３、１０４は、外力が加わると互いに離れる方向へ移動しようとするが、第１及び第２装着溝１０３ａ、１０４ａの端面側内側面が連結部材１０６の第１及び第２突部１０７ａ、１０７ｂ、１０８ａ、１０８ｂに支持されて移動を制限され、接続状態が維持される。この接続状態が、連結部材１０６で第１及び第２接続部１０３、１０４を接続する通常使用状態である。

第１及び第２接続部１０３、１０４と環状シール部材１０５と第１及び第２分割片１０７、１０８は、樹脂を材質とする。そのため、例えば、第１及び第２接続部１０３、１０４に高温の薬液と低温の純水を交互に流すと、第１及び第２接続部１０３、１０４がクリープ変形し、シール力が低下することがある。シール力が低下すると、液漏れが生じる。このような緊急時に、増し締めが行われる。

連結部材１０６は、第１及び第２分割片１０７、１０８の第１及び第２突部１０７ａ、１０７ｂ、１０８ａ、１０８ｂの先端部に第１及び第２連結側テーパ面１０７ｆ、１０７ｇ、１０８ｆ、１０８ｇを設けている。そして、第１及び第２接続部１０３、１０４には、第１及び第２連結側テーパ面１０７ｆ、１０７ｇ、１０８ｆ、１０８ｇに摺接する第１及び第２接続側テーパ面１０３ｂ、１０４ｂが、第１及び第２フランジ１０３ｃ、１０４ｃに設けられている。さらに、図５８に示すように、連結部材１０６には、第１及び第２分割片１０７、１０８を互いに近づけて第１及び第２接続部１０３、１０４を引き寄せ、シール力を増加させるための増し締め部材１１０が取り付けられるようになっている。

増し締め部材１１０を第１分割片１０７の挿通孔１０７ｄに挿通して第２分割片１０８のボルト孔１０８ｄに締め付けることにより、第１及び第２分割片１０７、１０８を引き寄せて第１及び第２連結側テーパ面１０７ｆ、１０７ｇ、１０８ｆ、１０８ｇを第１及び第２接続部１０３、１０４の第１及び第２接続側テーパ面１０３ｂ、１０４ｂに摺接させ、第１及び第２接続部１０３、１０４を近づける。よって、流体機器接続構造１００は、増し締め部材１１０を用いて締め付けることで、シール力を向上させることができる。

特許第４５７５９７３号公報 特許第５１３４５７３号公報

しかしながら、従来の流体機器接続構造１００には、次のような問題があった。
異常なクリープなどによりシール力が低下して、液漏れが生じると、緊急対応として、増し締め部材１１０を挿通孔１０７ｄとボルト孔１０８ｄに締め付ける増し締めが行われる。しかし、増し締め部材１１０を取りに行く手間がかかる。また、増し締め部材１１０による増し締め手段に気付かないこともある。ここで、半導体製造工程等で使用される薬液は、腐食性が高く、危険度の高いものがある。そのような場合、早急に漏れを止める必要があるが、従来の流体機器接続構造１００では、手間がかかり、早急な対応が取れない問題があった。
また、増し締め部材１１０を用いて増し締めを行う際、増し締め部材１１０を強く締めすぎる恐れがあり、強く締めすぎると部材が破損して、別の漏れが発生する恐れがあり、問題であった。

本発明は、上記問題点を解決するためのものであり、液漏れ発生時に早急な対応を可能とし、部材の変形の恐れのない流体機器接続構造を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の流体機器接続構造は、次のような構成を有している。
（１）第１接続部を有する第１流体機器と、第２接続部を有する第２流体機器と、第１接続部及び第２接続部を接続する環状シール部材と、第１接続部及び第２接続部の接続状態を維持する連結部材と、を有し、連結部材は、第１分割片と第２分割片を備え、第１分割片と第２分割片の一端に回動可能な連結部を設けた流体機器接続構造において、第１分割片は、第１係止部を備え、第２分割片は、第１係止部が係止する第１係止受け部を備え、連結部材は、第１係止部と第１係止受け部が係合する第１係止位置を備えること、第１分割片または第２分割片の一方は、第２係止部を備え、第１分割片または第２分割片の他方は、第２係止部が係止する第２係止受け部を備え、連結部材は、第２係止部と第２係止受け部が係合する第２係止位置を備えること、連結部材は、第１係止位置にあるときよりも、第２係止位置にあるときの方が、環状シール部材方向に近づいていること、連結部材が第１係止位置にあるときは、第１係止部と第１係止受け部のみが係合しており、連結部材が第２係止位置にあるときは、第２係止部と第２係止受け部のみが係合していること、を特徴とする。
（２）（１）に記載の流体機器接続構造において、第１係止位置にあるとき、第２係止部の先端にある第２段差部は、環状シール部材の軸方向と直交する方向から目視できない位置にあること、を特徴とする。

（３）（１）または（２）に記載の流体機器接続構造において、第２係止部と第２係止受け部の当接面は、傾きが設けられていること、を特徴とする。
（４）（１）乃至（３）のいずれか一つに記載の流体機器接続構造において、第１係止部と第２係止部のうち少なくとも一方は対に設けられていること、を特徴とする。
（５）（１）乃至（３）のいずれか一つに記載の流体機器接続構造において、第１係止部の当接面と第２係止部の当接面は、互いに直交する関係にあること、を特徴とする。
（６）（１）乃至（３）のいずれか一つに記載の流体機器接続構造において、第１分割片または第２分割片に設けられた挿通孔を第１係止部が通過する際、挿通孔が広がり、第１係止部が通過後に挿通孔は元の形状に戻ること、を特徴とする。

本発明の流体機器接続構造の作用・効果を説明する。
上記（１）の構成によれば、第２係止位置に保持するための部材を必要とせず、連結部材を第１係止位置から第２係止位置に移動するだけで保持まで完了し、緊急時に早急な対応ができ、ボルトによる増し締めの締めすぎにより部材が変形する恐れがない。また、特別な治具を必要としないため、緊急時に早急な対応ができる。

上記（２）の構成によれば、通常使用状態の締め付けである第１係止位置で係止が完了した時に、第２係止位置における構造は外観から見え難いため、第２係止位置を意識することがない。そのため、第２係止位置まで締め付けようとすることを抑制できる。これにより、誤って通常使用時に第２係止位置まで締め付けてしまうことを抑制することができる。
上記（３）の構成によれば、第２係止部と第２係止受け部は、その角度により連結部材が開こうとする力が働くとさらに強く係合しあう方向に力が働く。増し締め状態を維持する第２係止位置では、環状シール部材の反発力により接続部同士が互いに離れる方向へ移動しようとするため、このことが有効に働く。

上記（４）の構成によれば、係止部は対になっているため、係止部に意図せず触れてしまい、一方の係止部が外れた場合にも、他方の係止部は係止されており、連結部材が外れることを防ぐことができる。
上記（５）の構成によれば、係止部と係止受け部をコンパクトに配置することができ、連結部材自体をコンパクトにすることができる。
上記（６）の構成によれば、第１係止部を外すためには、挿入時のテーパを利用することができず、挿通孔を押し広げるための比較的大きな力が必要となるため、容易に外れることはなく、誤操作外れを防止することができる。

第１実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第１係止位置にあるときの平面図である。 図１のＡＡ断面図である。 図２のＣＣ断面図である。 図３のＤ部拡大図である。 図１のＢＢ断面図である。 第１実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第１係止位置にあるときの正面図である。 図６の右側面図である。 図６の左側面図である。 図６の底面図である。 図６の斜視図である。 第１実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第２係止位置にあるときの平面図である。 図１１のＥＥ断面図である。 図１２のＧＧ断面図である。 図１１のＦＦ断面図である。 第１実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第２係止位置にあるときの正面図である。 図１５の右側面図である。 図１５の左側面図である。 図１５の斜視図である。 第１実施形態の流体機器接続構造の連結部材が開いた状態にあるときの正面図である。 第２実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第１係止位置にあるときの平面図である。 図２０のＨＨ断面図である。 図２０のＪＪ断面図である。 第２実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第１係止位置にあるときの正面図である。 図２３の右側面図である。 図２３の斜視図である。 第２実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第２係止位置にあるときの平面図である。 図２６のＫＫ断面図である。 図２６のＬＬ断面図である。 第２実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第２係止位置にあるときの正面図である。 図２９の右側面図である。 図２９の斜視図である。 第３実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第１係止位置にあるときの平面図である。 図３２のＭＭ断面図である。 図３３のＲＲ断面図である。 第３実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第１係止位置にあるときの正面図である。 図３５の右側面図である。 図３５の斜視図である。 第３実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第２係止位置にあるときの平面図である。 図３８のＮＮ断面図である。 第３実施形態の流体機器接続構造の連結部材が第２係止位置にあるときの正面図である。 図４０の右側面図である。 図４０の斜視図である。 第１参考形態の流体機器接続構造の連結部材が第１係止位置にあるときの平面図である。 図４３のＰＰ断面図である。 第１参考形態の流体機器接続構造の連結部材が第１係止位置にあるときの正面図である。 図４５の右側面図である。 図４５の斜視図である。 第１参考形態の流体機器接続構造の連結部材が第２係止位置にあるときの断面図である。 第２参考形態の流体機器接続構造の連結部材の斜視図である。 図４９の正面図である。 図５０の右側面図である。 治具を用いて連結部材の係止を解除するときの正面図である。 治具を用いて連結部材の係止を解除するときの正面図である。 治具を用いて連結部材の係止を解除するときの正面図である。 第２参考形態の流体機器接続構造の連結部材がバルブ等の制御機器の面間にある図である。 図５５の平面図である。 図５９のＱＱ断面図である。 従来の流体制御機器接続構造の連結部材の増し締め状態の断面図である。 従来の流体機器接続構造の断面図である。

＜第１実施形態＞
本発明の流体機器接続構造１の第１実施形態について、図面を参照しながら以下に詳細に説明する。図１は、第１実施形態の流体機器接続構造１の連結部材５が第１係止位置にあるときの平面図である。図２は、図１のＡＡ断面図で、図３は、図２のＣＣ断面図、図４は、図３のＤ部拡大図、図５は、図１のＢＢ断面図である。図６は、連結部材５が第１係止位置にあるときの正面図で、図７は、その右側面図、図８は、その左側面図、図９は、その底面図、図１０は、その斜視図である。なお、背面図は、正面図と対称であるため、省略する。
図１１は、連結部材５が第２係止位置にあるときの平面図である。図１２は、図１０のＥＥ断面図で、図１３は、図１２のＧＧ断面図、図１４は、図１０のＦＦ断面図である。図１５は、連結部材５が第２係止位置にあるときの正面図で、図１６は、その右側面図、図１７は、その左側面図、図１８は、その斜視図である。図１９は、連結部材５が係止していない開いた状態にあるときの正面図である。
ここで、連結部材５の第１係止位置では、通常使用状態を示し、第２係止位置では、増し締め状態を示す。
なお、一対の部材について、Ａ、Ｂの符号を用いて説明しているが、説明が煩雑になるため、適宜省略して説明する。

（流体機器接続構造の構成）
はじめに流体機器接続構造１の全体的な構成について説明する。
図３に示すように、流体機器接続構造１は、第１及び第２流体機器２、３の第１及び第２接続部２１、３１を、環状シール部材４を介して接続し、第１及び第２接続部２１、３１の外周に連結部材５を取り付けて接続状態を維持する。第１及び第２接続部２１、３１は、円筒状に構成されている。第１接続部２１には流路２９が形成され、第２接続部３１には流路３９が形成されている。
環状シール部材４は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの比較的硬くて耐腐食性があるフッ素樹脂を材質とする。環状シール部材４は、図４に示すように、本体部４３と、本体部４３の外周面から外径方向に張り出す張出部４４と、張出部４４の外周縁部に設けられた把持部４５とを備える。本体部４３には、環状シール溝４６、４７が形成されている。

第１接続部２１の環状シール部材４を装着する面には、端面２２が形成されている。端面２２には、外径方向に突出した係止凸部２７が形成されている。端面２２の内側には、本体部４３の環状シール溝４６に装着される圧入部２４が形成されている。流路２９方向の外周面には、連結部材５を装着するための装着溝２３が環状に形成されている。端面２２と装着溝２３との間には、フランジ部２５が設けられている。フランジ部２５には、接続側テーパ面２６が形成されている。

第２接続部３１の環状シール部材４を装着する面には、端面３２が形成されている。端面３２には、外径方向に突出した係止凸部３７が形成されている。端面３２の内側には、本体部４３の環状シール溝４７に装着される圧入部３４が形成されている。流路３９方向の外周面には、連結部材５を装着するための装着溝３３が環状に形成されている。端面３２と装着溝３３との間には、フランジ部３５が設けられている。フランジ部３５には、接続側テーパ面３６が形成されている。

（連結部材の構成）
次に、連結部材５の第１及び第２流体機器２、３を接続する接続内部構成について説明する。
連結部材５は、図２に示すように、支軸５３により連結され、回動可能な第１分割片５１と第２分割片５２を有する。連結部材５の第１分割片５１と第２分割片５２は、強度と耐腐食性があるフッ素樹脂を材質とする。第１分割片５１と第２分割片５２は、第１及び第２接続部２１、３１の外周に沿って取り付けられるように内周面が円弧状に形成されている。第１及び第２接続部２１、３１の間に装着した環状シール部材４の流路２９、３９軸心方向に第１及び第２接続部２１、３１を遠ざけるように作用する力に抗して、第１接続部２１と第２接続部３１の接続状態を維持している。
図３、４に示すように、連結部材５は、第１分割片５１の第１突部５１１と第２分割片５２の第２突部５２１を装着溝２３に配置し、第１分割片５１の第２突部５１２と第２分割片５２の第２突部５２２を装着溝３３に配置する。連結部材５には、第１及び第２接続部２１、３１の接続側テーパ面２６、３６に対応する位置に連結側テーパ面５２３、５２４が形成されている。連結部材５の第１及び第２分割片５１、５２と、第１及び第２接続部２１、３１の接続構造は、図３において上下対称であるため、第２分割片５２の接続構造を説明することで、第１分割片５１の接続構造の説明を省略する。

次に、本発明の特徴である連結部材５の第１及び第２分割片５１、５２が係止する構成について説明する。連結部材５の全体的な構成は、図１０に示す。
図２、１０に示すように、第１分割片５１の一端に設けた第１ヒンジ部５１３と、第２分割片５２の一端に設けた第２ヒンジ部５２５は、支軸５３を介して回動可能に係合されている。
第１分割片５１の他端は、環状シール部材４の軸方向両側から一対の第１延設部５１４Ａ、５１４Ｂが径方向外向きに延設されている。その一対の第１延設部５１４Ａ、５１４Ｂの先端を繋ぐ第１延設部接合部５１７が形成されている。第１延設部５１４Ａ、５１４Ｂには、第１延設部５１４から第２分割片５２方向へ直立した一対の第１係止部５１９Ａ、５１９Ｂがそれぞれ弾性変形可能に突設され形成されている。第１係止部５１９Ａ、５１９Ｂの先端には、外向きに第１段差部５１９ａＡ、５１９ａＢが形成されている。
第２分割片５２の他端は、環状シール部材４の軸方向中央から一本の第２延設部５２６が外向きに延設されている。第２延設部５２６の先端は、Ｔ字形状に環状シール部材４の軸方向両側に広がって先端部５３０が形成されている。先端部５３０の内側には、第１係止部５１９Ａ、５１９Ｂを弾性変形しながら係止する一対の第１係止受け部５２７Ａ、５２７Ｂが設けられている。
図１０に示すように、第１段差部５１９ａＡ、５１９ａＢには、第１係止受け部５２７Ａ、５２７Ｂと当接する第１係止部当接面５１９ｂＡ、５１９ｂＢが設けられている。第１係止部当接面５１９ｂＡ、５１９ｂＢは、その長手方向が環状シール部材４の軸方向と平行に配置している。第１係止受け部５２７Ａ、５２７Ｂには、第１係止部５１９Ａ、５１９Ｂと当接する第１係止受け部当接面５２７ａＡ、５２７ａＢが設けられている。第１係止受け部当接面５２７ａＡ、５２７ａＢは、その長手方向が環状シール部材４の軸方向と平行に設けられている。

第１係止部５１９Ａ、５１９Ｂは、全長が第２延設部５２６の肉厚寸法より長くされている。これにより、連結部材５を第１及び第２接続部２１、３１の接続部分に装着した通常使用状態では、第１係止部５１９Ａ、５１９Ｂが第１係止受け部５２７Ａ、５２７Ｂに係止されて第１及び第２延設部５１４、５２６の間に図２に示す隙間Ｓ１を形成するようにしている。ここで、この隙間Ｓ１が形成された連結部材５の通常使用状態を、第１係止位置という。隙間Ｓ１がない図１１に示す連結部材５の状態を、第２係止位置という。第１係止位置にあるときよりも、第２係止位置にあるときの方が、連結部材５は環状シール部材４方向に近づく。これにより増し締め状態となる。第１係止位置にあるときの第２係止部５２８Ａ、５２８Ｂは、図５に示すように、第１延設部５１４Ａ、５１４Ｂ及び第１延設部接合部５１７が取り囲む挿通孔５２９の内側に配置されている。

図５に示すように、第２分割片５２の第２延設部５２６には、環状シール部材４の軸方向両側に一対の第２係止部５２８Ａ、５２８Ｂが設けられている。第２係止部５２８Ａ、５２８Ｂは、全長が第１延設部５１４の肉厚寸法より長くされている。第２係止部５２８Ａ、５２８Ｂの先端には、環状シール部材４の軸方向外向きに第２段差部５２８ａＡ、５２８ａＢが形成されている。
第１分割片５１の第１延設部５１４Ａ、５１４Ｂの第１係止部５１９が設けられた面の背向面であって内側には、第２係止部５２８Ａ、５２８Ｂを弾性変形しながら係止する一対の第２係止受け部５１５Ａ、５１５Ｂが設けられている。
第２係止部５２８と第２係止受け部５１５が当接した状態では、図１４に示すように、第２段差部５２８ａＡ、５２８ａＢに、第２係止受け部５１５Ａ、５１５Ｂと当接する第２係止部当接面５２８ｂＡ、５２８ｂＢが設けられ、第２係止受け部５１５Ａ、５１８Ｂに、第２段差部５２８ａＡ、５２８ａＢと当接する第２係止受け部当接面５１５ａＡ、５１５ａＢが設けられている。第２係止部当接面５２８ｂＡ、５２８ｂＢは、第２係止部５２８Ａ、５２８Ｂの弾性変形による移動方向に対し、その先端側が、第２係止部５２８Ａ、５２８Ｂの基部側に接近した面を有する。第２係止受け部当接面５１５ａＡ、５１５ａＢは、当接の際、第２係止部当接面５２８ｂＡ、５２８ｂＢに平行となる面を備えている。また、第２係止受け部当接面５１５ａＡ、５１５ａＢと第２係止部当接面５２８ｂＡ、５２８ｂＢは、その長手方向が環状シール部材４との軸方向と直交する方向に設けられている。

（流体機器接続構造の作用）
はじめに、流体機器接続構造１の通常使用状態について図１から図９を用いて説明する。通常使用状態とは、第１及び第２流体機器２、３を、環状シール部材４を介して接続したあと、連結部材５を第１係止位置に設置した状態をいう。第１係止位置では、第１分割片５１の第１係止部５１９が第２分割片５２の第１係止受け部５２７に係合されている。
通常使用状態では、図６に示すように、連結部材５は、第１係止部５１９が第１係止受け部５２７に係止されており、第１及び第２延設部５１４、５２６の間には、図２に示すように隙間Ｓ１が形成される。連結部材５の内側は、図３に示すように、第１及び第２分割片５１、５２の第１及び第２突部５１１、５２１の突出方向先端と、装着溝２３、３３の底部との間の隙間Ｘがある。また、連結部材５の内周面と第１及び第２接続部３１の外周面との間にも、隙間Ｘと同程度の隙間Ｙがある。

ここで、第１係止部５１９が第１係止受け部５２７と係止されたとき、第１係止部５１９のスナップの動きにより音が発生し、作業者に作業完了を知らせる。第２係止部５２８は、挿通孔５２９の内側に配置されており、外部から見えないため、作業者が第２係止部５２８を係合させようとすることはない。
第１実施形態では、環状シール部材４の両側に形成された環状シール溝４６、４７へ第１及び第２接続部２１、３１の圧入部２４、３４を圧入する作業を、事前に治具を使って実施し、連結部材５はその圧入状態を維持するために取り付けられる。通常使用状態においては、図３に示すように第１分割片５１と第２分割片５２が所定長さ近づけられており、環状シール部材４の両側に形成された環状シール溝４６、４７に第１及び第２接続部２１、３１の圧入部２４、３４が適切な位置で維持されているため、環状シール部材４のシール性能が十分な状態となる。

次に、流体機器接続構造１の増し締め状態について図１１から図１８を用いて説明する。
ここで、第１及び第２接続部２１、３１に高温の薬液と低温の純水を交互に流すと、第１及び第２接続部２１、３１がクリープ変形し、シール力が低下することがある。シール力が低下すると、液漏れが生じる。このような緊急時に、増し締めが行われる。増し締めが行われるとき、第１延設部接合部５１７と第２延設部５２６をつまんで第１分割片５１と第２分割片５２を近づけ、連結部材５を第２係止位置の状態にする。第１延設部接合部５１７と第２延設部５２６のつまみ部の平面が大きいので、工具等を用いて挟んだときに力が入りやすく、作業性が良い。増し締め状態では、第２分割片５２の第２係止部５２８が第１分割片５１の第２係止受け部５１５に係合する。これにより、第１及び第２延設部５１４、５２６の間の隙間Ｓ１はなくなる。

連結部材５の内側は、第１分割片５１と第２分割片５２とが通常使用状態と比較してより近づけられるため、図４に示す接続側テーパ面２６と連結側テーパ面５２３、接続側テーパ面３６と連結側テーパ面５２４のテーパの作用力により、第１及び第２接続部２１、３１が近づけられ、環状シール部材４にフランジ部２５とフランジ部３５が押し付けられるため、シール力が強化される。図１２に示すように、第１及び第２分割片５１、５２の第１及び第２突部５１１、５２１の突出方向先端と、装着溝２３、３３の底部との間の隙間Ｘは減少する。また、連結部材５の内周面と環状シール部材４の外周面との間の隙間Ｙは減少する。
さらに、第２係止位置では、環状シール部材４から反発力で第１及び第２分割片５１、５２を開こうとする際、第２係止部当接面５２８ｂＡ、５２８ｂＢと第２係止受け部当接面５１５ａＡ、５１５ａＢが当接すると、その面の傾き（かえり）により、当接面間の食付きが強まり、係止外れを防止している。
意図せず第１係止部５１９に触れてしまい、一方の第１係止部５１９Ａが外れた場合にも、他方の第１係止部５１９Ｂにより連結部材５が外れることを防ぐことができる。また、第２係止部５２８も対になっているため、意図せず第２係止部５２８に触れてしまい、一方の第２係止部５２８Ａが外れた場合にも、他方の第２係止部５２８Ｂにより連結部材５が外れることを防ぐことができる。

以上、説明したように、第１実施形態の流体機器接続構造１によれば、
（１）第１接続部２１を有する第１流体機器２と、第２接続部３１を有する第２流体機器３と、第１接続部２１及び第２接続部３１を接続する環状シール部材４と、第１接続部２１及び第２接続部３１の接続状態を維持する連結部材５と、を有し、連結部材５は、第１分割片５１と第２分割片５２を備え、第１分割片５１と第２分割片５２の一端に回動可能な連結部を設けた流体機器接続構造１において、第１分割片５１は、第１係止部５１９を備え、第２分割片５２は、第１係止部５１９が係止する第１係止受け部５２７を備え、連結部材５は、第１係止部５１９と第１係止受け部５２７が係合する第１係止位置を備えること、第２分割片５２は、第２係止部５２８を備え、第１分割片５１は、第２係止部５２８が係止する第２係止受け部５１５を備え、連結部材５は、第２係止部５２８と第２係止受け部５１５が係合する第２係止位置を備えること、連結部材５は、第１係止位置にあるときよりも、第２係止位置にあるときの方が、環状シール部材４方向に近づいていることを特徴とするので、増し締め用の第２係止部５２８は、その弾性変形により第２係止受け部５１５に係止されるため、一般的な工具を使って連結部材５を第１係止位置から第２係止位置に移動するだけで増し締めと保持まで完了する。第２係止位置に保持するための部材を必要とせず、早急な対応ができ、ボルト締付けなどの締めすぎによる部材変形する恐れがない。また、特別な治具を必要としないため、緊急時に早急な対応ができる。
さらに、第１係止部５１９と第２係止部５２８が独立して設けられているため、確実に引っ掛け部の強度を保つことが出来る。万が一、どちらかが破損しても、もう一方の係止部で締め付けを保持することができる。
（２）（１）に記載の流体機器接続構造１において、第１係止位置にあるとき、第２係止部５２８の先端にある第２段差部５２８ａは、環状シール部材４の軸方向と直交する方向から目視できない位置にあることを特徴とするので、第１係止位置のところで第１係止部５１９の係止めが完了したとき、第２係止部５２８は、第１分割片５１の挿通孔５２９の内側に位置し、外観からは見えにくい状態であるため、通常使用時に誤って第２係止位置まで締め付けてしまうことを防ぐことができる。

（３）（１）または（２）に記載の流体機器接続構造１において、第２係止部５２８の第２係止部当接面５２８ｂと第２係止受け部５１５の第２受け部当接面５１５ａは、傾きが設けられていること、を特徴とするので、第２係止部５２８と第２係止受け部５１５はその角度により連結部材５が開こうとする力が働くとさらに強く係合しあう方向に力が働く。増し締め状態を維持する第２係止位置では、環状シール部材４の反発力により第１及び第２接続部２１、３１同士が互いに離れる方向へ移動しようとするため、このことが有効に働く。第２係止部当接面５２８ｂＡ、５２８ｂＢと第２係止受け部当接面５１５ａＡ、５１５ａＢが当接するとその面の傾き（かえり）により、増し締めにより発生した環状シール部材４からの反発力があっても、第２係止位置が外れることを防ぐことができる。
（４）（１）乃至（３）のいずれか一つに記載の流体機器接続構造１において、第１係止部５１９と第２係止部５２８のうち少なくとも一方は対に設けられていること、を特徴とするので、意図せず第１係止部５１９に触れてしまい、一方の第１係止部５１９Ａが外れた場合にも、他方の第１係止部５１９Ｂにより連結部材５が外れることを防ぐことができる。第２係止部５２８も対になっているため、意図せず第２係止部５２８に触れてしまい、一方の第２係止部５２８Ａが外れた場合にも、他方の第２係止部５２８Ｂにより連結部材５が外れることを防ぐことができる。
（５）（１）乃至（３）のいずれか一つに記載の流体機器接続構造１において、第１係止部５１９の第１係止部当接面５１９ｂＡ、５１９ｂＢと第２係止部５２８の第２係止部当接面５２８ｂＡ、５２８ｂＢは、互いに直交する関係にあること、を特徴とするので、第１係止部５１９の当接面の長手方向を環状シール部材４の軸方向と平行に設け、第２係止部５２８の当接面の長手方向を環状シール部材４の軸方向と直交に設けることで、第１係止部５１９と第２係止部５２８をコンパクトに配置でき、連結部材５自体をコンパクトにすることができる。

上記実施形態を以下のように変形して実施することもできる。
環状シール部材４の両側に形成された環状シール溝４６、４７へ、第１及び第２接続部２１、３１の圧入部２４、３４を圧入する作業は、別途治具を使って実施することに限らず、第１及び第２接続部２１、３１へ連結部材５を装着する際、互いの口元テーパ形状の摺接により圧入作業を同時実施することもできる。
また、第２係止部５２８の第２係止部当接面５２８ｂの傾き（かえり）を第１段差部５１９ａに設けることもできる。
さらに、第１及び第２係止部５１９、５２８の第１係止部当接面５１９ｂ、第２係止部当接面５２８ｂは、いずれも環状シール部材４の半径方向に合わせることができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の流体機器接続構造の第２実施形態について説明する。
第２実施形態の流体機器接続構造１は、連結部材６を除き、第１実施形態の流体機器接続構造１と構成が同じである。ここでは、第１実施形態と異なる点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点は第１実施形態と同じ番号を付することで適宜説明を省略する。
図２０は、第２実施形態の流体機器接続構造１の連結部材６が第１係止位置にあるときの平面図である。図２１は、図２０のＨＨ断面図で、図２２は、図２０のＪＪ断面図である。図２３は、連結部材６が第１係止位置にあるときの正面図で、図２４は、その右側面図、図２５は、その斜視図である。図２６は、連結部材６が第２係止位置にあるときの正面図で、図２７は、図２６のＫＫ断面図、図２８は、図２６のＬＬ断面図である。図２９は、連結部材６が第２係止位置にあるときの正面図で、図３０は、その右側面図、図３１は、その斜視図である。

連結部材６は、図２１に示すように、第１分割片６１と第２分割片６２を有する。第１分割片６１の一端は回動可能に係合され、第１分割片６１の他端は、底面を有する空洞の第１延設部６１４が径方向外向きに延設されている。第１延設部６１４の内側底面から、板状の第１係止部６１８が弾性変形可能に突設され形成されている。第２係止部６１９の先端には、径方向内向きに一対の第２段差部６１９ａが形成されている。第２係止部６１９には、さらに外側に向かって第１係止部６１８が弾性変形可能に突設され形成されている。第１係止部６１８の先端には、環状シール部材４の軸方向外向きに第１段差部６１８ａが形成されている。
第２分割片６２の他端は、中空状の第２延設部６２４が径方向外向きに延設されている。第２延設部６２４には、挿通孔６２９が貫いて形成されている。第２分割片６２の先端の外周には、第２係止部６１９と係合する第２係止受け部６２６が径方向外側に向かって形成されている。第２延設部６２４の内側上面には、図２２に示すように、第１係止部６１８と係合する第１係止受け部６２７Ａ、６２７Ｂが形成されている。
通常使用状態では、連結部材６は、第１係止部６１８が第１係止受け部６２７に係止されており、図２１に示すように、第１及び第２延設部６１４、６２４の間に隙間Ｓ２が形成され、連結部材６は第１係止位置にある。次に、増し締め状態は、シール力が低下して、液漏れが生じると、緊急対応としてとる状態で、連結部材６は第２係止位置にある。このとき、第１分割片６１の第２係止部６１９が第２分割片６２の第２係止受け部６２６に係合する。これにより、第１及び第２延設部６１４、６２４の間の隙間Ｓ２はなくなる。

以上、説明したように、第２実施形態の流体機器接続構造１によれば、
第１係止位置にあるとき、第２係止部６１９の先端にある第２段差部６１９ａは、環状シール部材４の軸方向と直交する方向から目視できない位置にあること、を特徴とするので、第２係止部６１９は、第１係止位置のところで係止めが完了したときには、まだ第１分割片６１の第２係止部６１９部が通過する挿通孔６２９の内側に在り外観からは見えないため、そこに第２係止部６１９があることは認識できない。さらに、第２係止受け部６２６についても、挿通孔６２９の内側に配置されているため、この位置に第２係止位置が在ることをさらに認識できないため、通常使用時に誤って第２係止位置まで締め付けてしまうことを、さらに抑制することができる。
その他の効果については第１実施形態と同じである。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の流体機器接続構造の第３実施形態について説明する。
第３実施形態の流体機器接続構造１は、連結部材７を除き、第１実施形態の流体機器接続構造１と構成が同じである。ここでは、第１実施形態と異なる点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点は第１実施形態と同じ番号を付することで適宜説明を省略する。
図３２は、連結部材７が第１係止位置にあるときの平面図で、図３３は、図３２のＭＭ断面図である。図３４は、図３３のＲＲ断面図である。図３５は、連結部材７が第１係止位置にあるときの正面図で、図３６は、その右側面図、図３７は、その斜視図である。図３８は、連結部材７が第２係止位置にあるときの平面図で、図３９は、図３８のＮＮ断面図である。図４０は、連結部材７が第２係止位置にあるときの正面図で、図４１は、その右側面図、図４２は、その斜視図である。

連結部材７は、図３７に示すように、第１分割片７１と第２分割片７２を有する。第１分割片７１の一端は回動可能に係合され、第１分割片７１の他端は、中空状の第１延設部７１１が径方向外向きに延設されている。第１延設部７１１には、挿通孔７１１ａが貫いて形成されている。図３３に示すように、第１延設部７１１の外側上面から、板状の第１係止部７１２が第２分割片７２に向かって弾性変形可能に突設され形成されている。第１係止部７１２の先端には、径方向外向きに第１段差部７１２ａが形成されている。挿通孔７１１ａの径方向内側には、後述する第２係止部７２２と係合する第２係止受け部７１３が形成されている。
第２分割片７２の他端は、中空状の第２延設部７２１が径方向外向きに延設されている。第２延設部７２１には挿通孔７２１ｃが貫いて形成されている。第２延設部７２１の径方向内側には、第１分割片７１の第１延設部７１１に向かって第２係止部７２２が弾性変形可能に突設され形成されている。第２係止部７２２の先端には、径方向内向きに第２段差部７２２ａが形成されている。第２延設部７２１の外側上面には、第１係止部７１２と係合する第１係止受け部７２３が形成されている。

図３４に示すように、第１段差部７１２ａの環状シール部材４の軸方向両端には、先細りのテーパ７１２ｂＡ、７１２ｂＢが設けられている。第２延設部７２１の挿通孔７２１ｃの環状シール部材４の軸方向両側面には、円周方向にボス７２１ａＡ、７２１ａＢが突出して設けられている。ボス７２１ａＡ、７２１ａＢの第１分割片７１側にテーパ７２１ｂＡ、７２１ｂＢが設けられている。第１係止部７１２が、第２延設部７２１の挿通孔７２１ｃ内を第１分割片７１側から通過する際、第１段差部７１２ａのテーパ７１２ｂＡ、７１２ｂＢが、両側のボス７２１ａＡ、７２１ａＢのテーパ７２１ｂＡ、７２１ｂＢを環状シール部材４の軸方向に押し広げながら比較的小さな推進力を加えるだけで進む。これにより、第１段差部７１２ａが第１係止受け部７２３の位置を通過すると、第１係止部７１２の弾性力により第１係止受け部７２３側に倒れこみ、当接する。同時に、第１係止部７１２が両側のボス７２１ａＡ、７２１ａＢから第１係止受け部７２３側に脱落し係止が完了する。
第１係止位置から第１係止部７１２を外すためには、挿入時のテーパを利用することができないため、ボス７２１ａＡ、７２１ａＢを押し広げるための比較的大きな力が必要となる。そのため、第１係止部７１２は容易に外れることは無く、誤操作外れ防止とすることができる。

通常使用状態では、連結部材７は、第１係止部７１２が第１係止受け部７２３に係止されており、図３３に示すように、第１及び第２延設部７１１、７２１の間に隙間Ｓ３が形成され、連結部材７は第１係止位置にある。次に、増し締め状態は、シール力が低下して、液漏れが生じると、緊急対応としてとる状態で、連結部材７は第２係止位置にある。このとき、第２分割片７２の第２係止部７２２が第１分割片７１の第２係止受け部７１３に係合する。これにより、第１及び第２延設部７１１、７２１の間の隙間Ｓ３はなくなる。

以上、説明したように、第３実施形態の流体機器接続構造１によれば、
第２分割片７２に設けられた挿通孔７２１ｃを第１係止部７１２が通過する際、挿通孔７２１ｃが広がり、第１係止部７１２が通過後に挿通孔７２１ｃは元の形状に戻ること、を特徴とするので、第１係止部７１２を外すためには、挿入時のテーパ７１２ｂＡ、７１２ｂＢを利用することができず、挿通孔７２１ｃを押し広げるための比較的大きな力が必要となる。そのため、第１係止部７１２は容易に外れることはなく、誤操作外れを防止することができる。第１係止位置の外れ止めを適切なボスの配置によりを設けたため、連結部材７の構造をシンプルにでき、コンパクトにできる。
その他の効果については第１実施例と同じである。

＜第１参考形態＞
次に、本発明の流体機器接続構造の第１参考形態について説明する。
第２実施形態の流体機器接続構造１は、連結部材８を除き、第１実施形態の流体機器接続構造１と構成が同じである。ここでは、第１実施形態と異なる点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点は第１実施形態と同じ番号を付することで適宜説明を省略する。
図４３は、参考例の流体機器接続構造の連結部材８が第１係止位置にあるときの平面図である。図４４は、図４３のＰＰ断面図である。図４５は、連結部材８が第１係止位置にあるときの平面図で、図４６は、その右側面図、図４７は、その斜視図である。図４８は、連結部材８が第２係止位置にあるときの断面図である。

連結部材８は、図４４に示すように、第１分割片８１と第２分割片８２を有する。第１分割片８１の一端は回動可能に係合され、第１分割片８１の他端は、環状シール部材４の軸方向中央に第１延設部８１１が環状シール部材４の径方向外向きに延設されている。第２分割片８２の他端は、一対の第２延設部８２１Ａ、８２１Ｂが環状シール部材４の径方向外向きに延設されている。第１延設部８１１から第２延設部８２１に向かって、板状の第１係止部８１２が弾性変形可能に突設され形成されている。第１係止部８１２の先端には、環状シール部材４の径方向内向きに第１段差部８１２ａが形成されている。第１延設部８１１の径方向外側の面には、位置決め手段である凹部８１１ａが形成されている。
第２分割片８２の環状シール部材４の軸方向中央には、図４４に示すように、第１係止部８１２と係止する第１係止受け部８２２が形成されている。第２延設部８２１Ａ、８２１Ｂには、位置決め手段である凹部８２１ａＡ、８２１ａＢが形成されている。図４８に示すように、棒状のピン部材１０を凹部８１１ａと凹部８２１ａＡ、８２１ａＢに嵌めることができる。

通常使用状態では、連結部材８は、第１係止部８１２が第１係止受け部８２２に係止されており、図４４に示すように、第１及び第２延設部８１１、８２１の間に隙間Ｓ４が形成され、連結部材８は第１係止位置にある。
図４６に示すように、第１段差部８１２ａの環状シール部材４の軸方向先端側面には先細りのテーパ８１２ｂＡ、８１２ｂＢが設けられている。第２延設部８２１に囲まれる凹部の環状シール部材４の軸方向両側面には、ボス８２１ｂＡ、８２１ｂＢが設けられている。ボス８２１ｂＡ、８２１ｂＢの第１分割片８１側にテーパ８２１ｃＡ、８２１ｃＢが設けられている。第１係止部８１２が、第２延設部８２１の凹部を第１分割片８１側から通過する際、第１段差部８１２ａのテーパ８１２ｂＡ、８１２ｂＢが、両側のボス８２１ｂＡ、８２１ｂＢのテーパ８２１ｃＡ、８２１ｃＢを環状シール部材４の軸方向に押し広げながら比較的小さな推進力を加えるだけで進む。第１段差部８１２ａが第１係止受け部８２２の位置を通過すると、第１係止部８１２自身の弾性力により第１係止受け部８２２側に倒れこみ、当接する。同時に、第１係止部８１２が両側のボス８２１ｂＡ、８２１ｂＢから第１係止受け部８２２側に脱落し係止が完了する。
第１係止位置から第１係止部８１２を外すためには、挿入時のテーパを利用することができず、ボス８２１ｂＡ、８２１ｂＢを押し広げるための比較的大きな力が必要となる。そのため、容易に外れることは無く、誤操作外れ防止することができる。
次に、増し締め状態は、シール力が低下して、液漏れが生じると、緊急対応としてとる状態で、連結部材８は第２係止位置にある。このとき、図４８に示すように、ピン部材１０を凹部８１１ａと凹部８２１ａＡ、８２１ａＢに嵌めることにより第１及び第２延設部８１１、８２１を近づけることができる。これにより、第１及び第２延設部８１１、８２１の間の隙間Ｓ４はなくなる。

＜第２参考形態＞
次に、本発明の流体機器接続構造の第２参考形態について説明する。
図４９の流体機器接続構造１は、連結部材９を除き、第１実施形態の流体機器接続構造１と構成が同じである。ここでは、第１実施形態と異なる点を中心に説明する。
連結部材９は、増し締め用の係止部やテーパ、作業性を考慮したヒンジ部を排除することで省スペース化に特化した連結部材である。
図４９は、流体機器接続構造１の連結部材９が締付け状態にあるときの斜視図である。図５０は、図４９の正面図である。図５１は、図５０の右側面図である。なお、左側面図は、右側面図と対称であるため、省略する。図５２から図５４は、治具を用いて連結部材９の係止を解除するときの正面図である。図５５は、第２参考形態の流体機器接続構造の連結部材がバルブ等の制御機器の面間にある図である。図５６は、図５５の平面図である。
連結部材９は、図４９に示すように、第１分割片９０１と第２分割片９０２を有する。第１分割片９０１と第２分割片９０２は同一形状の部材であるため、第１分割片９０１の説明をすることで、第２分割片９０２の説明を省略する。
第１分割片９０１には、図５０に示すように、第１係止部９０３と第１係止受け部９０４が形成されている。第１分割片９０１には、連結部材９を取り外す時に治具９１０の工具を使用できるように第１凹部９０５、第２凹部９０６、第３凹部９０７が形成されている。治具９１０は、図５２に示すように、半月形状であり、その先端の内周面には、連結部材９を取り外す際に第１分割片９０１の第１凹部９０５、第２凹部９０６、第３凹部９０７に引掛けるための第１突起９１１、第２突起９１２、第３突起９１３が形成されている。
治具９１０の第３突起９１３を第３凹部９０７に挿入する際、図５３に示すように、第１係止部９０３は、連結部材９の円周方向外側（図中矢印Ｔ方向）に弾性変形する。これにより、第１係止部９０３と第１係止受け部９０４の係止は解除される。次に、図５４に示すように、治具９１０と係合された第１分割片９０１を矢印Ｕ方向に回転させると、第２分割片９０２から取り外すことができる。
本形態の連結部材９を用いることで、図５５、５６に示すように、バルブ等の制御機器の面間の範囲内で連結部材９を収めることが可能である。

なお、本実施形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で様々な改良、変形が可能である。

１ 流体機器接続構造
２ 第１流体機器
３ 第２流体機器
４ 環状シール部材
５ 連結部材
２１ 第１接続部
３１ 第２接続部
５１ 第１分割片
５２ 第２分割片
５１５ 第１係止受け部
５１９ 第１係止部
５２７ 第１係止受け部
５２８ 第２係止部

Claims (6)

1. 第１接続部を有する第１流体機器と、第２接続部を有する第２流体機器と、前記第１接続部及び前記第２接続部を接続する環状シール部材と、前記第１接続部及び前記第２接続部の接続状態を維持する連結部材と、を有し、
   前記連結部材は、第１分割片と第２分割片を備え、前記第１分割片と前記第２分割片の一端に回動可能な連結部を設けた流体機器接続構造において、
   前記第１分割片は、第１係止部を備え、前記第２分割片は、前記第１係止部が係止する第１係止受け部を備え、前記連結部材は、前記第１係止部と前記第１係止受け部が係合する第１係止位置を備えること、
   前記第１分割片または前記第２分割片の一方は、第２係止部を備え、前記第１分割片または第２分割片の他方は、前記第２係止部が係止する第２係止受け部を備え、前記連結部材は、前記第２係止部と前記第２係止受け部が係合する第２係止位置を備えること、
   前記連結部材は、前記第１係止位置にあるときよりも、前記第２係止位置にあるときの方が、前記環状シール部材方向に近づいていること、
   前記連結部材が前記第１係止位置にあるときは、前記第１係止部と前記第１係止受け部のみが係合しており、前記連結部材が前記第２係止位置にあるときは、前記第２係止部と前記第２係止受け部のみが係合していること、
   を特徴とする流体機器接続構造。
2. 請求項１に記載の流体機器接続構造において、
   前記第１係止位置にあるとき、前記第２係止部の先端にある第２段差部は、前記環状シール部材の軸方向と直交する方向から目視できない位置にあること、
   を特徴とする流体機器接続構造。
3. 請求項１または請求項２に記載の流体機器接続構造において、
   前記第２係止部と前記第２係止受け部の当接面は、傾きが設けられていること、
   を特徴とする流体機器接続構造。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の流体機器接続構造において、
   前記第１係止部と前記第２係止部のうち少なくとも一方は対に設けられていること、
   を特徴とする流体機器接続構造。
5. 請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の流体機器接続構造において、
   前記第１係止部の当接面と前記第２係止部の当接面は、互いに直交する関係にあること、
   を特徴とする流体機器接続構造。
6. 請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の流体機器接続構造において、
   前記第１分割片または前記第２分割片に設けられた挿通孔を前記第１係止部が通過する際、前記挿通孔が広がり、前記第１係止部が通過後に前記挿通孔は元の形状に戻ること、
   を特徴とする流体機器接続構造。

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