CN101403454A - 流体装置连接结构和流体装置单元 - Google Patents

Abstract

为简单而可靠地联接第一和第二流体装置，一种流体装置连接结构被设置成通过将树脂密封件放置在形成于连接部件内的槽中而利用联接件联接第一和第二流体装置的第一和第二连接部件。第一连接部件包括用于附连夹具的第一安装槽和第一装配槽，第一装配槽设置在第一安装槽和第一连接部件的端面之间，以接收所述联接件。第二连接部件包括用于夹具的第二安装槽和第二装配槽，第二装配槽设置在第二安装槽和第二连接部件的端面之间，以接收所述联接件。所述联接件包括多个开口件，每个开口件包括保持与第一装配槽的端面侧内侧表面接触的第一突出部分以及保持与第二装配槽的端面侧内侧表面接触的第二突出部分，第一突出部分和第二突出部分以预定间距布置。

Description

流体装置连接结构和流体装置单元

技术领域

本发明涉及一种用于将第一和第二流体装置与连接件联接的流体装置连接结构，以及一种流体装置单元。

背景技术

迄今为止，在半导体制造工艺、液晶制造工艺等中，采用了各种流体装置来用于控制化学液体。例如，这些流体装置可包括诸如流量控制阀和打开/关闭阀的阀、过滤器、诸如压力传感器和流量传感器的传感器、以及诸如接头组件和通道组件的管道组件。近来，通过联接件直接将这些流体装置的连接件彼此连接，以形成用于紧凑设备的整体单元。

图45为传统的流体装置连接结构1100的剖面图。

该传统的流体制造连接结构1100被布置成使得第一流体装置1101和第二流体装置1102分别具有形成有密封槽1105和1106的连接部件1103和1104，在所述密封槽之间装配有密封件1107，且在连接部件1103和1104的连接部分的周边安装有联接件1108。

联接件1108包括筒形螺帽1109和开口环1110。该筒形螺帽1109呈具有一个开口端的筒形形状。另一闭合端形成有连接部件1104的突起1104a插入其中的插入孔1109a。开口环1110呈环形，包括与连接部件1104的外表面接触的内表面以及与螺帽1109的内表面接触的外表面。该环1110由多个开口件构成，从而安装在连接部件1104的外表面上。

联接件1108以这样的方式形成，即，第二流体装置1102的连接部件1104通过插入孔1109a而插入螺帽1109，接着螺帽1109向着第二流体装置1102移位以露出连接部件1104，如图45中的虚线所示，然后将开口环1110配合到连接部件1104的外表面上。之后，如图45中的实线所示，使螺帽1109向着第一流体装置1101滑动，形成在螺帽1109的内表面上的内螺纹1109b与形成在第一流体装置1101的连接部件1103的外表面上的外螺纹1103a接合。螺帽1109拧到连接部件1103上，直到开口环1110邻接连接部件1104的突起1104a。这一螺旋进给使得密封件1107可被配合在密封槽1105和1106内，从而密封了连接部件1103和1104的连接部分(例如，参见JP2006-64080A)。

然而，为了安装开口环1110，传统的流体装置连接结构1100需要用于允许螺帽1109运动的空间以及用于将螺帽1109拧到连接部件1103上的空间。这将需要麻烦的工作以及用于联接流体装置的工作空间。因此，在将传统的流体装置连接结构1100应用到其中以复杂的模式布置许多流体装置的半导体制造设备中时，不能确保有用于将螺帽1109滑到或拧到连接部件1103上的空间。要花费大量的时间将螺帽1109适当地拧到连接部件1103上，以提供预定的密封强度。

发明内容

考虑到上述情况而作出本发明，本发明的目的在于克服上述问题，并提供一种能容易而可靠地联接第一和第二流体装置的流体装置连接结构以及一种流体装置单元。

为了实现本发明的目的，提供一种流体装置连接结构，包括：第一流体装置，该第一流体装置包括树脂制成的第一连接部件、在所述第一连接部件的端面上具有开口端的通道、以及在所述第一连接部件的所述端面内绕所述通道的所述开口端形成的密封槽；第二流体装置，该第二流体装置包括树脂制成的第二连接部件、在所述第二连接部件的端面上具有开口端的通道、以及在所述第二连接部件的所述端面内绕所述第二通道的所述开口端形成的密封槽；密封件，该密封件置于所述第一连接部件和第二连接部件的所述密封槽之间；以及由树脂制成的联接件，该联接件被构造成将所述第一连接部件和所述第二连接部件彼此联接，使得所述密封件被放置在所述第一连接部件和第二连接部件的所述密封槽之间，其中所述第一连接部件包括：第一安装槽，该第一安装槽形成在所述第一连接部件的外周上；以及第一装配槽，该第一装配槽形成在所述第一安装槽和所述第一连接部件的所述端面之间，所述第一装配槽被构造成接收所述联接件，所述第二连接部件包括：第二安装槽，该第二安装槽形成在所述第二连接部件的外周上；第二装配槽，该第二装配槽形成在所述第二安装槽和所述第二连接部件的所述端面之间，所述第二装配槽被构造成接收所述联接件，并且所述联接件包括多个开口件，每个开口件包括保持与所述第一装配槽的端面侧内侧表面接触的第一突出部分以及保持与所述第二装配槽的端面侧内侧表面接触的第二突出部分，所述第一突出部分和所述第二突出部分以预定间距布置。

根据另一方面，本发明提供一种其中通过利用上述流体装置连接结构联接多个流体装置的流体装置单元。

附图说明

图1为根据本发明第一实施例的流体装置连接结构的剖面图；

图2为图1的流体装置连接结构的分解透视图；

图3为密封件的平面图；

图4为沿着图3中的线A-A截取的密封件的剖面图；

图5为第一和第二连接部件以及密封件的分解剖面图；

图6为联接件的外部透视图；

图7为示出了联接件的初始组装状态的侧视图；

图8为将用于组装图1的流体装置连接结构的部件的夹具外部透视图；

图9为对图1的流体装置连接结构的组装方式加以说明的视图，具体示出了利用夹具的夹紧方式；

图10为对图1的流体装置连接结构的组装方式加以说明的视图，具体示出了联接件的安装方式；

图11为联接件的侧视图，示出了夹紧力产生状态；

图12为图1的流体装置连接结构处于夹紧力产生状态的剖面图；

图13为利用图1的流体装置连接结构的流体装置单元的外部透视图；

图14为将用于根据本发明的第二实施例中的流体装置连接结构的联接件的侧视图，示出了初始组装状态；

图15为图14的联接件的侧视图，示出了夹紧力产生状态；

图16为图15的联接件的剖面图；

图17为将用于根据本发明的第三实施例中的流体装置连接结构的联接件的分解图；

图18为构成图17的联接件的组装了的第一和第二开口件的视图；

图19为联接件和夹紧件的外部透视图；

图20为附连有夹紧件的联接件的外部透视图；

图21为示出了联接件的视图，示出了夹紧力产生状态；

图22为图19的夹紧件的纵向剖视图；

图23为沿着图22中的线B-B截取的夹紧件的剖面图；

图24为将在根据本发明的第四实施例中的流体装置连接结构中使用的联接件和夹紧件的外部透视图；

图25为图24的夹紧件的剖视图，示出了其中杆件被置于第二位置的状态；

图26为图24的夹紧件的剖视图，示出了其中杆件被置于第一位置的状态；

图27为图24的夹紧件的剖视图，示出了夹紧力产生状态；

图28为将在根据本发明的第五实施例中的流体装置连接结构中使用的夹紧件的分解透视图；

图29为图28的夹紧件的剖视图；

图30为示出了将在根据本发明的第六实施例中的流体装置连接结构中使用的附连到联接件上的夹紧件的状态的视图；

图31为图30的夹紧件的分解图；

图32为图30的夹紧件的另一纵向剖视图；

图33为将在根据本发明的第七实施例中的流体装置连接结构中使用的联接件和夹紧件的分解透视图；

图34是示出了其中图33的夹紧件附连到联接件上的状态的外部透视图；

图35为将在根据本发明的第八实施例中的流体装置连接结构中使用的联接件和夹紧件的外部透视图；

图36为示出了其中夹紧件被附连到图35所示的联接件上的状态的外部透视图；

图37为沿着图36中的线C-C截取的剖面图；

图38为图35的联接件的外部透视图，示出了夹紧力产生状态；

图39为沿着图38中的线D-D截取的剖面图；

图40将在根据本发明的第九实施例中的流体装置连接结构中使用的联接件和夹紧件的外部透视图；

图41为对将图40的夹紧件附连到联接件上的过程加以说明的剖面图，示出了其中夹紧件处于初始位置的状态；

图42为对将图40的夹紧件附连到联接件上的过程加以说明的剖面图，示出了其中夹紧件处于旋转抑制位置的状态；

图43为对将图40的夹紧件附连到联接件上的过程加以说明的剖面图，示出了其中夹紧件处于压迫开始位置的状态；

图44为对将图40的夹紧件附连到联接件上的过程加以说明的剖面图，示出了其中夹紧件处于夹紧力产生位置的状态；以及

图45为传统的流体装置连接结构的剖面图。

具体实施方式

现在将参照附图详细描述实现本发明的流体装置连接结构和流体单元装置的优选实施例。

(第一实施例)

<流体装置单元的整体构造>

图13为利用第一实施例的流体装置连接结构1的流体装置单元50的外部透视图。

本实施例的流体装置连接结构1应用于例如将在半导体制造工艺中使用的流体装置单元50。流体装置单元50例如被放置在将要在半导体制造工艺中使用的处理腔室的上游，以控制待供应到晶片的化学液体的流量。在该流体装置单元50中，作为“流体装置”的示例的支管61A和61B、接头62A和62B、气动阀63A和63B、流量计64A和64B、手动阀65A和65B以及接头66A和66B利用以下将描述的流体装置连接结构联接。流体装置单元50被附连在安装轴53上，该安装轴被设置成在垂直放置于安装板51上的两个柱52之间延伸，从而将上述流体装置设置成三维布置。

这样的流体装置单元50被构造成使得，通过支管61A和61B从接头62A流向接头62B的化学液体通过支管61A和61B被分配到气动阀63A和63B，并通过流量计64A和64B，然后通过手动阀65A和65B从接头66A和66B输出。

流体装置单元50有时用于高腐蚀性的化学液体。因此，构成流体装置单元50的流体装置，即，气动阀63A和63B、流量计64A和64B、手动阀65A和65B、支管61A和61B、以及接头62A、62B、66A和66B，除了因为相应的功能需要由金属或橡胶制成的部件之外，都由诸如PFA(四氟乙烯一全氟烷氧基乙烯基醚共聚物)、PTFE(聚四氟乙烯)、PP(聚丙烯)、PPS(聚苯硫醚)的耐腐蚀的树脂制成。

<流体装置连接结构的整体构造>

图1为第一实施例的流体装置连接结构1的剖面图。图2为图1的流体装置连接结构1的分解透视图。

流体装置连接结构1包括置于第一流体装置2的第一连接部件4和第二流体装置3的第二连接部件5之间的树脂密封件6，以及用于联接第一连接部件4和第二连接部件5的联接件7。第一流体装置2和第二流体装置3对应于图13所示的支管61A和61B、接头62A和62B、气动阀63A和63B、流量计64A和64B、手动阀65A和65B和接头66A和66B。

<第一和第二连接部件的构造>

图5为图1所示的第一和第二连接部件4和5以及密封件6的分解剖面图。

第一连接部件4和第二连接部件5都由耐热和耐腐蚀的诸如PTFE的碳氟树脂制成。第一连接部件4和第二连接部件5具有相同的结构。

具体而言，第一连接部件4和第二连接部件5呈形成有带开口端部的流体通道4h和5h的筒形。第一连接部件4和第二连接部件5在各自端面内形成有绕相应通道开口端的密封槽4a和5a。在密封槽4a和5a内，分别与通道4h和5h同心地设置环形突起4b和5b。第一连接部件4和第二连接部件5分别设有从所述端面的外周向外延伸的凸缘4g和5g。

第一连接部件4和第二连接部件5在外周上分别形成有第一周向安装槽4f和第二周向安装槽5f，用于附连以下将描述的夹具15。第一安装槽4f的端面侧内侧表面4i与第一连接部件4的端面平行，并且平直地垂直于通道4h的轴线。类似地，第二安装槽5f的端面侧内侧表面5i与第二连接部件5的端面平行，并且平直地垂直于通道5h的轴线。

第一连接部件4包括位于第一安装槽4f和第一连接部件4的端面之间的第一周向装配槽4c。第二连接部件5包括位于第二安装槽5f和第二连接部件5的端面之间的第二周向装配槽5c。第一装配槽4c和第二装配槽5c形成为分别具有与图5中的环形突起4b和5b相对应的深度。第一装配槽4c的端面侧内侧表面4d与第一连接部件4的端面平行，并平直地垂直于通道4h的轴线。类似地，第二装配槽5c的端面侧内侧表面5d与第二连接部件5的端面平行，并平直地垂直于通道5h的轴线。第一装配槽4c和第二装配槽5c包括比端面侧内侧表面4d和5d更加靠近底侧的锥部4e和5e。锥部4e和5e被形成使得第一装配槽4c和第二装配槽5c的槽宽向着第一装配槽4c和第二装配槽5c的底侧减小。

<密封件>

图3为图1所示的密封件6的平面图。图4为沿着图3中的线A-A截取的密封件6的剖面图。

密封件6由诸如PFA的树脂制成，坚硬且耐腐蚀，并设有主体部11、突耳12和延伸部13。

如图3和图4所示，主体部11形成为短筒形。主体部11在两个端面上形成有周向槽11a和11b(“环形槽”的示例)，如图4所示呈对称的H形剖面。这些槽11a和11b与第一连接部件4和第二连接部件5的环形突起4b和5b接合。周向槽11a和11b被设计成宽度等于或稍小于如图5所示的环形突起4b和5b的厚度。周向槽11a和11b分别在内侧内壁和外侧内壁内在比开口更加靠近底部处设有压配公差11c和11d，使得槽11a和11b在更加靠近相应底部处的宽度比如图5所示的环形突起4b和5b的厚度小。密封件6的主体部11具有如图4所示的与密封槽4a和5a的倾斜底部(参见图5)一致的部分倾斜的内表面和外表面。这能防止在第一连接部件4和第二连接部件5的环形突起4b和5b被压配到密封件6的周向槽11a和11b内时，密封件6的周向槽11a和11b变宽，从而避免了密封强度降低。

如图3和图4所示，密封件6包括从主体部11的外表面向外延伸的延伸部13。该延伸部13沿着主体部11的外表面周向地形成。在该延伸部13的外边缘处，一体地设置有以预定间距间隔开的多个突耳12。每个突耳12包括钩部12a，该钩部径向向内(向着中心)突出的以与第一连接部件4和第二连接部件5的凸缘4g和5g接合。

<联接件>

图6为图1所示的联接件7的外部透视图。图7为联接件7在初始组装状态下的侧视图。

如图7所示，联接件7呈环形，并由第一开口件8和第二开口件9组成。这些第一开口件8和第二开口件9通过由薄膜制成的可变形的连接带14而彼此一体连接，如图6所示。第一开口件8和第二开口件9以及连接带14一体地由诸如PVDF(聚偏氟乙稀(偏氟乙烯))的具有强度和耐腐蚀性的碳氟树脂通过注射成型、切割等而制成。

如图6和图7所示，第一开口件8和第二开口件9中的每个开口件形成为半圆块的形状。第一开口件8和第二开口件9设有从配合面一端侧向延伸的延伸部8a和9a(在径向方向上)。延伸部8a(9a)形成有螺栓孔8b(9b)，由碳氟树脂螺钉形成的夹紧件10将螺纹接合在螺栓孔内。在延伸部8a上垂直地设置可弹性变形的锁定爪8c。该爪8c具有带钩的远端8d。第二开口件9形成有通孔9c，爪8c插入通孔9c中。该通孔9c被形成为通过使远端8d弹性变形而允许爪8c穿过通孔9c中，且已经穿过通孔9c的远端8d将恢复到其初始形状，并绕通孔9c的开口接合在延伸部9a的表面上。

如图6和图7所示，第一开口件8包括在与第二开口件9配合的配合面的一端上形成的第一突起8e和第一凹部8i，与延伸部分8a相对。第二开口件9包括在与第一开口件8配合的配合面的一端上的第二凹部9e和第二突起9d，与延伸部9a相对，第一突起8e接合在该第二凹部9e内，该第二突起9d接合在第一凹部8i内。

在图7中第一凹部8i被形成为在第一开口件8的径向方向上延伸。第一突起8e被形成为从第一开口件8的配合面突出(在与第一凹部8i的延伸方向垂直的方向上)。第二突起9d设置有在第二开口件9的径向方向上弯曲的远端。第二凹部9e被形成为在与第二开口件9的配合面垂直的方向上延伸(在与第二突起9d的远端垂直的方向上)。因此，在第一和第二突起8e和9d分别接合在第二和第一凹部9e和8i内时，这些突起8e和9d邻接凹部9e和8i的内表面(在分开第一开口件8和第二开口件9的方向上，和在垂直于该分开方向的方向上)。第一和第二突起8e和9d以及第一和第二凹部8i和9e构成可旋转连接部件20。

第一开口件8形成有周向保持槽8f以及第一和第二突出部分8j和8k，该第一和第二伸出部分在第一开口件8的垂直于径向方向的轴向方向上面向间隔开预定距离。第二开口件9形成有周向保持槽9f以及第一和第二突出部分9j和9k，该第一和第二突出部分在第二开口件9的垂直于径向方向的轴向方向上面向间隔开预定距离。这里，“预定距离”对应于在第一连接部件4和第二连接部件5被拉在一起或被夹紧在一起以产生预定密封强度时，第一装配槽4c的端面侧内侧表面4d与第二装配槽5c的端面侧内侧表面5d之间的距离。第一突出部分8j和9j以及第二突出部分8k和9k形成有锥部8h和9h以及平直表面8g和9g，锥部8h和9h在内表面上绕半圆形切除部、与配合面连续，平直表面8g和9g分别从锥部8h和9h在第一开口件8和第二开口件9的径向方向上向外延伸。

<夹具>

在第一实施例的流体装置连接结构1中，通过利用夹具15将第一连接部件4和第二连接部件5拉在一起，以绕这些连接部件4和5安装联接件7。以下将说明该夹具15。

图8是将用于组装图1所示的流体装置连接结构1的部件的夹具15的外部透视图。

夹具15由刚硬的金属(不锈钢等)制成，从而防止在夹紧操作中的变形。夹具15包括两个在交叉点17可旋转地连接的手柄16A和16B。手柄16A和16B的每个具有向内弯曲端，在该端设置有与每个手柄16A、16B的旋转方向相垂直的轴18。在每个轴18上可旋转地安装加压板19的支承部分19b。每个加压板19都形成为U形槽19a，该槽可与第一连接部件4的安装槽4f(或第二连接部件5的安装槽5f)接合。手柄16A和16B被设计成在每个轴18(上端)和交叉点17之间比在交叉点17和抓握部分的下端之间更长，这样便于将第一连接部件4和第二连接部件5拉在一起。

<流体装置的联接方法>

以下将说明联接第一流体装置2和第二流体装置3的方法。

首先，如图5所示，例如将密封件6的钩部12a钩在第二连接部件5的凸缘5g上，从而将密封件6设置在第二连接部件5的外周周围，以防止密封件6脱落。密封件6具有分开的突耳12，从而能改变密封件6的由所述突耳12限定的直径。因此，能容易地将密封件6附连到第二连接部件5上。在此情况下，第二连接部件5的突起5b在其远端稍微地插入到密封件6的槽11b中。

接着，第一连接部件4被设置在突耳12中，并沿着突耳12向着第二连接部件5被推动，使得第一连接部件4的突起4b在其远端稍微地插入到密封件6的槽11a。

图9为用来说明图1所示的流体装置连接结构1的组装方式的视图，具体示出了利用夹具15的夹紧方式。

如图9所示，设置夹具15直到第一连接部件4和第二连接部件5分别深深地插入加压板19的U形槽19a中，从而将加压板19放置在第一安装槽4f和第二安装槽5f上。此时，第一装配槽4c和第二装配槽5c的端面侧内表面4d和5d之间的宽度W1比联接件7的保持槽8f的宽度W2(第一突出部分8j和第二突出部分8k之间的距离)大。因此，联接件7不能装配在第一连接部件4和第二连接部件5上。

因此，使用者抓握夹具15的手柄16A和16B，并向第一连接部件4和第二连接部件5加压，以将它们相向拉动，如图9中的箭头所示。此时，加压板19绕轴18旋转。此外，第一安装槽4f的内侧表面4i和第二安装槽5f的内侧表面5i平行于第一连接部件4和第二连接部件5的端面(垂直于通道4h和5h的轴线)。因此，加压板19在通道4h和5h的轴向方向上向第一连接部件4的第一安装槽4f的内侧表面4i和第二连接部件5的第二安装槽5f的内侧表面5i连续加压。因此，第一连接部件4的环形突起4b和第二连接部件5的环形突起5b在周向方向上均匀地被逐渐压配到密封件6的槽11a和11b中。

如果W1仍然比W2大，则压配在槽11a和11b中的突起4b和5b的量(距离)太小，从而不能产生预定的密封强度。在此情况下，使用者必须更紧地抓握夹具15来将第一连接部件4和第二连接部件5拉得更近。

图10为用来说明图1的流体装置连接结构1的组装方式的视图，具体示出了联接件7的安装方式。

在第一连接部件4和第二连接部件5被拉到一起直到W1小于W2时，第一连接部件4的突起4b和第二连接部件5的突起5b分别被充分地压配在密封件6的槽11a和11b的压配公差11c和11d内，产生预定的密封强度。因此，在通过夹具15将第一连接部件4和第二连接部件5保持在这一状态下的同时，绕第一连接部件4和第二连接部件5安装联接件7。

在联接件7中，第一突起8e和第二突起9d分别接合在第二凹部9e和第一凹部8i中，形成可旋转连接部件20。第一开口件8和第二开口件9绕该连接部件20旋转，使得第一突出部分8j和9j接合在第一装配槽4c内，第二突出部分8k和9k接合在第二装配槽5c内。第一开口件8的锁定爪8c的远端8d邻接在延伸部9a的通孔9c的边缘上，然后，爪8c由于在通孔9c内的弹性变形而从其远端8d插入到第二开口件9的通孔9c中。在该远端8d通过通孔9c后，爪8c恢复到其原始状态，使得远端8d与第二开口件9的延伸部9a接合。因此，联接件7的爪8c不会脱离通孔9c，这样第一开口件8和第二开口件9绕第一连接部件4和第二连接部件5接合。

这里，在联接件7中，当开口件8和9被安装到第一连接部件4和第二连接部件5上时或者当锁定爪8c在通孔9c中弹性变形并与延伸部9a接合时，不同方向的力作用在第一开口件8和第二开口件9上。连接带14是可变形的，以便于联接件7的安装。因此，如果不同方向上的力作用在第一开口件8和第二开口件9上，则这些开口件8和9可能不会接合在固定位置。

在此方面，将联接件7布置成使得第一突起8e和第二突起9d与分别位于第一开口件8和第二开口件9上的与连接带14连续的配合面上的凹部9e和8i的内壁接合。因此，第一突起8e与第二凹部9e之间以及第一凹部8i与第二突起9d之间的接合使得，即使当在不同方向上的力作用在这些开口件8和9上时，第一开口件8和第二开口件9也会接合在固定位置。通过绕可旋转连接部件20打开和闭合第一开口件8和第二开口件9、以及使锁定爪8c弹性变形而将锁定爪8c插入到通孔9c内以与延伸部9a接合，能容易地绕第一连接部件4和第二连接部件5安装联接件7，该可旋转连接部件20起到了在第一突起8e接合在第二凹部9e内且第二突起9d接合在第一凹部8i中的支承点的作用。

在使夹具15与第一安装槽4f和第二安装槽5f分开时，在密封件6与第一和第二连接部件4和5的压配部分产生推斥力，从而使第一和第二连接部件4和5沿着它们的连接部分的中心轴线(即，在图1的横向方向上)相互远离地移动。

如1所示，在初始组装状态下，联接件7的锥部8h和9h不与第一连接部件4的锥部4e和第二连接部件5的锥部5e接触。只有第一和第二突出部分8j、9j、8k和9k的平直表面8g和平直表面9g与第一装配槽4c和第二装配槽5c的平行于第一连接部件4和第二连接部件5的端面的内侧表面4d和内侧表面5d接触。因此，在联接件7的初始组装状态下，只有沿着第一连接部件4和第二连接部件5的中心轴线方向的分离第一连接部件4和第二连接部件5的力作用在第一和第二突出部分8j、9j、8k和9k上。在联接件7中，第一和第二突出部分8j、9j、8k和9k受到来自第一连接部件4和第二连接部件5的力，并将第一连接部件4和第二连接部件5维持在连接关系下。

此时，如图7所示，在联接件7的初始组装状态下，在延伸部8a和9a之间产生预定间隙S。

同时，在第一连接部件4和第二连接部件5被彼此拉近直到第一装配槽4c的内侧表面4d和第二装配槽5c的内侧表面5d之间的宽度W1变得小于联接件7的保持槽8f的宽度W2(第一突出部分8j和第二突出部分8k之间的距离)时，密封强度就变得过大。然而，在此情况下，连接部件4和5在密封件6与连接部件4和5的压配部分产生的推斥力的作用下沿着中心轴线被推回，直到装配槽4c的内侧表面4d和装配槽5c的内侧表面5d与联接件7的第一和第二突出部分8j、9j、8k和9k发生接触为止。因此，密封强度被自动调节为合适的水平。

如上所述，在第一实施例的流体装置连接结构1中，联接件7的第一和第二突出部分8j、9j、8k和9k不断地控制将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近的量。因此可容易而可靠地将第一连接部件4和第二连接部件5定位在适当的连接关系。

这里，例如，在联接件7绕第一连接部件4和第二连接部件5安装后被某物碰撞或者连接部件4和5由于流体温度而在热膨胀和热收缩的作用下反复变形的情况下，有不同方向的力作用在第一开口件8和第二开口件9上。在联接件7中，开口件8和9通过彼此接合的爪8c和延伸部9a、以及在其中第一突起8e和第二突起9d分别接合在第二凹部9e和第一凹部8i中的可旋转连接部件20而彼此一体连接。联接件7受到通过彼此接合的爪8c和延伸部9a以及通过连接部件20在不同方向作用在第一开口件8和第二开口件9上的力，使得开口件8和9能被维持接合关系，且第一连接部件4和第二连接部件5能被连续地联接。

<将第一连接部件和第二连接部件彼此拉近的方式>

在流体装置连接结构1中，第一和第二连接部件4和5、密封件6、联接件7以及夹紧件10是树脂成型部件。因此，例如，在重复进行使高温化学液体在通道4h和5h内流动、然后使冷的纯水在其内流动的操作时，第一流体装置2和第二流体装置3反复地热膨胀和收缩，导致蠕变，从而降低密封强度。

图11为联接件7的侧视图，示出了夹紧力产生状态。

还在此情况下，在流体装置连接结构1中，将夹紧件10拧到螺栓孔8b和9b中，如图11所示。因此，初始组装状态下产生的延伸部8a和9a之间的间隙S(参见图7)变得更窄，将内径R2减小为小于初始组装状态下的内径R1。

图12为联接件7的剖面图，示出了夹紧力产生状态。

此时，联接件7的第一开口件8和第二开口件9被移动，使得开口件8和9的锥部8h和9h沿着第一和第二装配槽4c和5c的内侧表面4d和5d滑动，如图12所示。第一连接部件4和第二连接部件5从而受到来自联接件7的力以相互靠近，还将连接部件4的突起4b和连接部件5的突起5b压配到密封件6的槽11a和11b内以提高密封强度。

然而，在此情况下，在第一连接部件4和第二连接部件5与密封件6的压配部分内引起推斥力。该推斥力垂直地作用在锥部8h和9h上，并分解为相对于联接件7的竖直分量和水平分量。在以下描述中，“水平”表示第一连接部件4和第二连接部件5的轴向方向，而“竖直”表示与第一连接部件4和第二连接部件5的轴向方向垂直的方向。

在联接件7的第一和第二突出部分8j、9j、8k和9k与第一装配槽4c的端面侧内侧表面4d或锥部4e和第二装配槽5c的端面侧内侧表面5d或锥部5e接触时，第一和第二突出部分8j、9j、8k和9k受到由第一连接部件4和第二连接部件5作用在联接件7上的力的水平分量。

另一方面，由第一连接部件4和第二连接部件5作用在联接件7上的力的竖直分量力作用在第一突起8e和第二凹部9e的接合表面以及第一凹部8i和第二突起9d的接合表面上。而且还在此情况下，第二突起9d沿着水平方向接合在第一凹部8i中，同时压靠第一开口件8，因此联接件7受到该力的竖直分量。

在夹紧件10被拧到螺栓孔8b和9b时，锁定爪8c与延伸部9a分离。然而，夹紧件10保持延伸部8a和9a。因此，在第一连接部件4和第二连接部件5被夹紧件10彼此拉近时，联接件7在夹紧件10的作用下受到第一连接部件4和第二连接部件5所施加的力的竖直分量力。

如上所述，联接件7受到夹紧件10以及第二突起9d和第一凹部8i的接合表面的竖直分量力，从而能防止第一开口件8和第二开口件9彼此分离。

因此，即使在第一连接部件4和第二连接部件5被夹紧件10相互拉近之后，联接件7也能维持密封强度。

<第一实施例的流体装置连接结构的操作和优点>

第一实施例的流体装置连接结构1的构造如上所述。具体而言，夹具15的加压板19附连在第一安装槽4f和第二安装槽5f中，第一连接部件4和第二连接部件5被彼此拉近，直到第一装配槽4c的端面侧内侧表面4d和第二装配槽5c的端面侧内侧表面5d之间的宽度W1变为小于联接件7的第一和第二突出部分8j和8k之间的以及第一和第二突出部分9j和9k之间的宽度W2为止。因此，密封件6装配在第一连接部件4的密封槽4a和第二连接部件5的密封槽5a内，产生预定的密封强度。

在此状态下，第一突起8e和第二突起9d分别接合在第二凹部9e和第一凹部8i中，并且爪8c的远端8d钩在第二开口件9的延伸部9a上，从而绕第一连接部件4和第二连接部件5安装第一开口件8和第二开口件9。即使在从第一安装槽4f和第二安装槽5f移除夹具15的情况下，第一连接部件4和第二连接部件5的连接关系也通过联接件7得以维持。因此，第一实施例的流体装置连接结构1仅需具有用于彼此拉近第一连接部件4和第二连接部件5的空间来绕第一连接部件4和第二连接部件5安装第一开口件8和第二开口件9。这使得即使如传统技术中的那样没有提供空间来移动筒形螺帽，也可容易且可靠地连接第一流体装置2和第二流体装置3。

此外，根据第一实施例的流体装置连接结构1，通过将第一突出部分8j和9j接合在第一装配槽4c内、将第二突出部分8k和9k接合在第二配合槽5c内、并将第一连接部件4和第二连接部件5保持在开口件8和9之间，从而将联接件7(第一开口件8和第二开口件9的截面均为U形)安装在第一连接部件4和第二连接部件5的连接部分上。因此，第一实施例的流体装置连接结构1能实现紧凑的机构来连接第一连接部件4和第二连接部件5。

而且，在第一实施例的流体装置连接结构1中，安装槽4f的端面侧内侧表面4i以及第一装配槽4c的端面侧内侧表面4d平行于第一连接部件4的端面，第二安装槽5f的端面侧内侧表面5i以及第二装配槽5c的端面侧内侧表面5d平行于连接部件5的端面。在第一连接部件4和第二连接部件5由夹具15彼此拉近时，或者，在第一连接部件4和第二连接部件5由联接件7连接时，第一连接部件4的端面和第二连接部件5的端面能被几乎均匀地彼此压靠，从而在周向方向上均匀地密封密封件6。

根据第一实施例的流体装置连接结构1，如果第一连接部件4和第二连接部件5发生蠕变，则第一开口件8和第二开口件9被夹紧件10彼此拉近。这使得联接件7的锥部8h和9h沿着第一连接部件4和第二连接部件5的锥部4e和5e滑动，产生夹紧力来将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近，从而提高了密封强度。这里，连接部件4和5与密封件6之间产生的推斥力促使第一开口件8和第二开口件9彼此分离地运动。然而，夹紧件10维持第一开口件8和第二开口件9的接合关系，从而在连接部件4和5被夹紧之后，联接件7能维持密封强度。因此，根据第一实施例的流体装置连接结构1，即使在连接部件4和5发生蠕变时，也能容易地增强密封强度。

在第一实施例的流体装置连接结构1中，联接件7由第一开口件8和第二开口件9构成，并包括可旋转地连接这些开口件8和9的一端的可旋转连接部件20、设置在第一开口件8内可弹性变形的锁定爪8c、以及形成在第二开口件9内的通孔9c。联接件7被构造成使得爪8c通过弹性变形而穿过通孔9c，然后恢复到其初始形状，以与延伸部9a接合。根据第一实施例的流体装置连接结构1，例如，即使在以复杂模式设置的流体装置之间仅仅允许有小空间存在时，第一开口件8也仅需相对于第二开口件9旋转来将爪8c推到通孔9c内。因此，联接件7能被容易地安装成覆盖第一连接部件4和第二连接部件5的连接部分。

在第一实施例的流体装置连接结构1中，可旋转连接部件20由第一开口件8和第二开口件9的第一和第二突起8e和9d以及第一和第二凹部8i和9e构成。在第一和第二突起8e和9d分别接合在第二和第一凹部9e和8i内时，第一和第二突起8e和9d在不同的方向上(在第一和第二开口件8和9的分离方向上和在与分离方向垂直的方向上)与第二和第一凹部9e和8i的内壁接合。根据第一实施例的流体装置连接结构1，例如，在其中锁定爪8c弹性变形从而插入穿过通过9c并与延伸部9a接合的情况下，而且即使在安装于第一连接部件4和第二连接部件5上的联接件7被某物碰撞引起不同方向上的力作用于第一开口件8和第二开口件9上的情况下，第一开口件8和第二开口件9也不会分离。

在第一实施例的流体装置连接结构1中，在其中联接件7被安装到第一连接部件4和第二连接部件5上的初始组装状态下，在第一开口件8和第二开口件9之间产生间隙S。夹紧件10连接开口件8和9以消除间隙S，从而将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近。因此，根据本实施例的流体装置连接结构1，能通过夹紧件10提高密封强度。

而且，在第一实施例的流体装置连接结构1中，第一开口件8和第二开口件9通过连接带14一体连接。这可防止第一开口件8和第二开口件9的遗失，并避免了组装第一开口件8和第二开口件9的繁琐工作，从而提高了可使用性。

第一实施例的流体装置连接结构1需要大的力(例如，200N或以上)来将第一连接部件4的环形突起4b和第二连接部件5的环形突起5b压配到密封件6的周向槽11a和11b的压配公差11c和11d内。如果在这一情况下使用传统的流体装置连接结构1100(参见图45)，则不能通过手而容易地旋转筒形螺帽1109。螺帽1109必须通过具有长手柄的扳手紧固到流体装置。然而，在某些情况下，包括有如图13所示的紧密布置的流体装置的流体装置单元50不能为扳手在流体装置之间的旋转提供空间，因而传统的流体装置连接结构1100不能连接流体装置。另一方面，根据第一实施例的流体装置连接结构1，如果用于插入夹具15的加压板19的间隙设置在流体装置之间，则可通过彼此拉近第一连接部件4和第二连接部件5以及绕连接部件4和5的连接部分接合第一开口件8和第二开口件9而安装联接件7。因此，根据第一实施例的流体装置连接结构1，密封件6能被容易而可靠地压配在密封槽4a和5a内，即使在待连接的流体装置周围仅提供了狭窄空间的情况下也是如此。

根据第一实施例的流体装置连接结构1，使用者可抓握加压板19设置在第一安装槽4f和第二安装槽5f内的夹具15来将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近。然后，仅需使第一开口件8和第二开口件9绕连接部件4和5彼此接合以连接第一流体装置2和第二流体装置3。与其中如传统技术中的那样旋转筒形螺帽1109的情况相比，能缩短连接第一连接部件4和第二连接部件5所需的时间。

在第一实施例的流体装置单元50中，通过利用流体装置连接结构1而连接多个流体装置61A、61B、62A、62B、63A、63B、64A、64B、65A、65B、66A和66B。这些流体装置61A、61B、62A、62B、63A、63B、64A、64B、65A、65B、66A和66B因此能简单而可靠地彼此相连。在流体装置单元50中，流体装置的连接部件的形状相同，且与通道组件、管道和流体装置的其他部件一体形成，而且流体装置的连接部件也通过利用相同的联接件7而连接。这能提供部件的通用性，从而降低了成本。

在第一实施例的流体装置单元50中，通过紧凑的流体装置连接结构1将流体装置彼此相连，从而能减小整个单元的底部空间。

(第二实施例)

以下将描述本发明的流体装置连接结构的第二实施例。

本实施例的流体装置连接结构除了联接件7A之外在结构上与第一实施例的流体装置连接结构1相同。因此，以下说明将集中在与第一实施例的不同之处上，而不说明与第一实施例的结构相同或类似的结构。

<联接件的结构>

图14为在第二实施例的流体装置连接结构中使用的联接件7A的侧视图，示出了其初始组装状态。图15为7A的侧视图，示出了夹紧力产生状态。图16为图15的联接件7A的剖面图。

联接件7A由碳氟树脂通过注射成型而制成，一体地包括第一开口件8A、第二开口件9A和连接带14。第一开口件8A和第二开口件9A分别形成有延伸部71和72。第一开口件8A和第二开口件9A被设计成使得延伸部71和72包括如图14所示的倾斜配合面，以在如图15所示将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近时使延伸部71和72无间隙地接触。为此，图14所示的处于初始组装状态下的开口件8A和9A在延伸部71和72之间以预定角度形成间隙S1。

如图16所示，延伸部72形成有从与延伸部71配合的配合面垂直伸出并位于通孔9c外侧的外螺纹部件75(构成“夹紧件”的一部分)。具体而言，外螺纹部件75被形成为相对于延伸部72的配合面倾斜，从而相对于在将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近时将与内螺纹件77(构成“夹紧件”的一部分)接触的延伸部71的接触面变得垂直。延伸部71形成有通孔76，外螺纹部件75延伸穿过该通孔76。通孔76被形成为在外螺纹部件75的径向方向上有较大的截面面积，从而不干涉第一开口件8A和第二开口件9A绕作为支承点的连接部件20的打开/闭合操作。外螺纹部件75的远端从延伸部71穿过通孔76向上突出，且树脂内螺纹件77通过螺纹安装在外螺纹部件75的远端上。内螺纹件77在其顶部上形成有六角孔78以用于附连工具来旋转内螺纹件77。

<流体装置的联接方法>

在将第一流体装置2和第二流体装置3的第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近之后，上述构造的联接件7A就设置在第一连接部件4和第二连接部件5的第一和第二装配槽4c和5c内。此时，联接件7A绕第一连接部件4和第二连接部件5安装，同时第一突起8e和第二突起9d分别接合在第二凹部9e和第一凹部8i内。锁定爪8c插在通孔9c中，且远端8d与延伸部72接合，如图14所示。因此，第一开口件8A的爪8c与第二开口件9A的延伸部72接合，形成呈环形的联接件7A，从而维持第一连接部件4和第二连接部件5之间的连接关系。

如果第一连接部件4和第二连接部件5之间的密封强度降低，则通过将工具附连到六角孔78中而将内螺纹件77拧到外螺纹部件75上，从而使延伸部71和72彼此紧密接触以消除间隙S1。然后，如图15和图16所示，延伸部71和72彼此紧密接触，从而将内径R12减小为小于初始组装状态下的内径R11(参见图14)。外螺纹部件75被设置成从延伸部72突出以相对于延伸部71的接触内螺纹件77的接触面垂直。因此，在联接件7A中，延伸部71和72能被保持在外螺纹部件75和内螺纹件77之间的紧密接触关系下。这能防止第一开口件8A和第二开口件9A分离。如在第一实施例中提到的那样，减小联接件7A的内径能使密封强度更高。

<第二实施例的流体装置连接结构的操作和优点>

第二实施例的流体装置连接结构的构造如上所述。具体而言，第一连接部件4和第二连接部件5被彼此拉近时，第一连接部件4和第二连接部件5作用在第一连接部件4的锥部4e和第二连接部件5的锥部5e与联接件7A的锥部8h和9h的接触面上的推斥力分别在分离联接件7A的第一开口件8A和第二开口件9A的方向上以及与该分离方向垂直的方向上进行作用。然而，在第二实施例的流体装置连接结构中，联接件7A的内螺纹件77被拧在外螺纹部件75上以将延伸部71和72保持在其间没有间隙的接触状态下。因此，内螺纹件77和外螺纹部件75之间的拧紧力不会变松。根据第二实施例的流体装置连接结构，可以稳定地维持第一连接部件4和第二连接部件5被彼此拉近时产生的密封强度。

例如，在第二实施例的流体装置连接结构中，在第一连接部件4和第二连接部件5发生蠕变时，将内螺纹件77拧在外螺纹部件75上，以使第一开口件8A和第二开口件9A彼此靠近，产生将第一开口件8A和第二开口件9A彼此拉近的力。这里，连接部件4和5与密封件6之间的推斥力促使第一开口件8A和第二开口件9A彼此分离地运动。然而，联接件7A通过内螺纹件77和外螺纹部件75之间的螺纹接合而保持第一开口件8A和第二开口件9A的接合关系，从而能维持夹紧力产生条件。根据第二实施例的流体装置连接结构，即使在连接部件4和5发生蠕变的情况下，也能容易地增强密封强度。

(第三实施例)

以下将描述本发明的流体装置连接结构的第三实施例。图17为将要在第三实施例中的流体装置连接结构中使用的联接件7B的分解图。图18为构成联接件7B的组装了的第一开口件8B和第二开口件9B的视图。图19为联接件7B和夹紧件100外部透视图。图20为附连有夹紧件100的联接件7B的外部透视图。图21为示出了联接件7B的视图，示出了夹紧力产生状态。图22为图19所示的夹紧件100的纵向剖视图。图23为沿着图22中的线B-B截取的夹紧件100的剖面图。

第三实施例的流体装置连接结构除了联接件7B和夹紧件100之外在结构上与第一实施例的流体装置连接结构1相同。因此，以下说明将集中于联接件7B和夹紧件100，用相同的附图标记表示与第一实施例中的组件相同和类似的组件，而不详细说明它们。

<联接件的结构>

如图17所示，联接件7B包括第一开口件8B和第二开口件9B。这些开口件8B和9B设有包括倾斜配合面的延伸部8a和9a，使得在产生夹紧力以将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近时延伸部8a和9a能在其间无间隙地彼此接触。因此，第一开口件8B和第二开口件9B被设计成在初始组装状态下具有间隙S1，且延伸部8a和9a之间呈预定角度，如图20所示。如图17和图18所示，延伸部8a和9a形成有矩形孔81和85(“附连部件”的示例)，用于附连夹紧件100。

如图17所示，第一开口件8B设有与延伸部8a相对的一对平行支承壁82和83，在支承壁82和83之间设置有旋转轴84。另一方面，第二开口件9B设置有与延伸部9a相对的U形可旋转接合部件86。该接合部件86具有开口86a，该开口对着第二开口件9B的将相对于第一开口件8B接触的配合面打开。接合部件86的开口86a的宽度小于旋转轴84的直径。联接件7B包括通过将接合部件86压配在旋转轴84上而形成的可旋转连接部件87。在该联接件7B中，旋转轴84不会脱离接合部件86，使得第一开口件8B和第二开口件9B可一体连接，而不彼此分离。

<夹紧件的结构>

如图19所示，夹紧件100包括树脂夹件101和树脂螺帽件102。夹紧件100被构造成通过将夹件101推入到联接件7B的附连孔81和85的一触式操作而被附连到联接件7B上。在螺帽件102和夹件101之间，设置有旋转抑制机构104来防止螺帽件102相对于夹件101旋转和松动。

如图22所示的保持成不能旋转的夹件101将被插入到附连孔81和85。夹件101形成有从下端开始沿着轴向方向延伸的狭槽101a，形成为一对分叉腿式的柔性件101b。每个柔性件101b在端部形成有与狭槽101a相反突出的锁定部分101c。筒形部分101d形成为夹件101的上部。该筒形部分101d具有底部闭合的孔101f以及外螺纹101e。筒形部分101d的内表面形成有如图23所示在周向上交替布置的谷部(凹入部)101g和峰部(升起部)101h。

如图22所示，螺帽件102呈包括在一个端面(图中的下端面)敞开的中空部102a的杯状。螺帽件102在限定该中空部102a的内表面上具有内螺纹102b。该内螺纹102b与夹件101的外螺纹101e螺纹接合从而构成螺旋部分103。螺帽件102设有一对从中空部102a的底部(即，图22中的上壁)垂直延伸的接合件102c。接合件102c被布置成使得，在使螺帽件102相对于夹件101旋转时，接合件102c在与谷部101g接合的位置处不发生弹性变形，而在与峰部101h可滑动接合的位置处发生弹性变形，从而产生阻力。因此，接合件102c以及谷部101g和峰部101h构成旋转抑制机构104。在螺帽件102的顶部上形成有工具附连孔102d。

<第三实施例的流体装置连接结构的操作和优点>

如图17和图18所示，在联接件7B中，旋转轴84被压配在接合部件86的开口86a内，从而一体地组合第一开口件8B和第二开口件9B。然后，使第一开口件8B绕连接部件87相对于第二开口件9B旋转，如图18中的箭头所示，以覆盖第一连接部件4和第二连接部件5的连接部分。锁定爪8c柔性地延伸穿过通孔9c。如图19所示，插入穿过通孔9c的爪8c恢复到其原始形状，而且远端8d绕通孔9c钩到延伸部9a上。这样，第一开口件8B和第二开口件9B通过连接部件87和爪8c在相应的两端彼此相连。此时，联接件7B被安装在第一连接部件4和第二连接部件5的连接部分上，且在延伸部8a和9a之间形成间隙S1。

如上所述，在第三实施例的流体装置连接结构中，联接件7B由第一开口件8B和第二开口件9B构成，并包括可旋转地连接第一开口件8B和第二开口件9B的一端的可旋转连接部件87、设置在第一开口件8B内的可弹性变形的锁定爪8c、以及通孔9c，该通孔形成在第二开口件9B内，使得爪8c可在弹性变形状态下穿过其中然后恢复到其原始状态，从而绕通孔9c接合在延伸部9a上。根据第三实施例的流体装置连接结构，例如即使在以复杂模式设置的流体装置之间仅仅允许有小的空间存在的情况下，联接件7B也能被安装成通过旋转第一开口件8B和第二开口件9B并将爪8c插入通孔9c中的简单一触式操作而覆盖第一连接部件4和第二连接部件5的连接部分。

在第三实施例的流体装置连接结构中，可旋转连接部件87由第一开口件8B中的旋转轴84以及第二开口件9B内的与旋转轴84接合的U形可旋转接合部件86构成，并且接合部件86具有开口，该开口对着第二开口件9B的将要接触第一开口件8B的配合面打开。根据第三实施例的流体装置连接结构，例如，即使在联接件7B被某物碰撞，使得有不同方向的力作用在第一开口件8B和第二开口件9B上时，第一开口件8B和第二开口件9B也不会彼此分开。

先将夹紧件100附连到处于初始组装状态下的联接件7B，如图19和图20所示。夹紧件100是通过将所述对的柔性件101b的下端相对于孔81对准，并将柔性件101b的下端插入孔81中而附连到联接件7B上的。此时，锁定部分101c的倾斜表面被压靠在附连孔81的内壁上，从而使柔性件101b向狭槽101a的内侧翘曲。在锁定部分101c穿过附连孔81和85且从延伸部8a和9a的压力解脱时，柔性件101b恢复其原始形状，从而钩到延伸部9a上。因此，夹紧件100不大会脱离孔81和85。

因此，在第三实施例的流体装置连接结构中，夹紧件100能通过将夹紧件100的夹件101推入孔81和85中的简单一触式操作而附连到联接件7B上。这具有良好的使用性。具体而言，例如在其中许多流体装置结合在晶片清洁设备中的情况下，流体装置单元可放置在其他的流体装置之后。在此情况下，只要将夹紧件100推入到附连孔81和85，夹紧件100就能附连到联接件7B上，而无需使用工具。

在其中第一连接部件4和第二连接部件5的密封强度随后下降的情况下，将一未示出的工具(例如六角扳手)附连到孔102d，以旋转螺帽件102。螺帽件102通过螺旋部分103的螺纹进给而朝着螺帽件102向上拉夹件101，如图21所示。因此，螺帽件102和锁定部分101c之间的距离缩短，因此使联接件7B的延伸部8a和9a彼此更加靠近，以消除间隙S1。这使得在联接件7B中的第一开口件8B的保持槽8f与第二开口件9B的保持槽9f之间产生的空间的直径减小，从而产生夹紧力将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近。这些连接部件4和5从而能具有增强的密封强度。

如上所述，根据第三实施例的流体装置连接结构，例如，在第一连接部件4和第二连接部件5发生蠕变时，夹紧件100向连接部件4和5产生夹紧力使第一开口件8B和第二开口件9B彼此更加靠近的移动。这里，在连接部件4和5与密封件6之间引起的推斥力促使第一开口件8B和第二开口件9B彼此分开的移动。然而，夹紧件100能将第一开口件8B和第二开口件9B保持在接合关系下，从而联接件7B能维持夹紧力产生状态。根据第三实施例的流体装置连接结构，即使在第一连接部件4和第二连接部件5发生蠕变时，也能简单地提高密封强度。

在第三实施例的流体装置连接结构中，在其中联接件7B附连到第一连接部件4和第二连接部件5上的初始组装状态下，在第一开口件8B和第二开口件9B之间形成间隙S1。夹紧件100通过连接第一开口件8B和第二开口件9B而产生力来拉近第一连接部件4和第二连接部件5，从而消除间隙S1。因此，第三实施例的流体装置连接结构通过利用夹紧件100能容易地提高密封强度。

同时，夹紧件100的螺帽件102由于密封件6的推斥力、从第一连接部件4和第二连接部件5通过联接件7B传递到螺帽件102的热、使用夹紧件100的环境氛围的热、以及流体装置安装在其上的设备的振动等等而有时会松动和旋转。如果螺帽件102松动和旋转，则联接件7B保持第一连接部件4和第二连接部件5的力会下降，这会降低密封强度。

关于此方面，如图23所示，夹紧件100在螺帽件102和夹件101之间包括旋转抑制机构104。如果螺帽件102相对于夹件101松动和旋转，则接合件102c在沿着峰部101h滑动的过程中弹性变形，从而产生阻力。该阻力抑制了螺帽件102的旋转。

如上所述，在第三实施例的流体装置连接结构中，联接件7B的第一开口件8B和第二开口件9B形成有夹紧件100附连到其中的附连孔81和85，且夹紧件100包括插入孔81和85内并保持为不能旋转的夹件101、通过螺纹安装在夹件101上的螺帽件102、以及用于抑制螺帽件102相对于夹件101旋转的旋转抑制机构104。因此，根据第三实施例的流体装置连接结构，即使在第一连接部件4和第二连接部件5以及联接件7B发生蠕变等时，旋转抑制机构104也限制螺帽件102的旋转，从而能将第一连接部件4和第二连接部件5维持在连接关系下。

这里，联接件7B的可旋转接合部件86具有对着第二开口件9B的配合面打开的开口。因此，即使在联接件7B由于第一连接部件4和第二连接部件5的热变形、流体压力等而受到沿着使第一开口件8B和第二开口件9B分开的方向的力时，在与分开方向不同的方向上支承在可旋转接合部件86内的旋转轴84也不会脱离接合部件86。

(第四实施例)

以下将描述根据本发明的流体装置连接结构的第四实施例。图24为将要在本实施例的流体装置连接结构中使用的联接件7B和夹紧件110的外部透视图。图25至图27为图24所示的夹紧件110的剖视图。图25示出了初始组装之前的状态。图26示出了初始组装之后的状态。图27示出了夹紧力产生状态。

第四实施例的流体装置连接结构除了夹紧件110之外在结构上与第三实施例相同。因此，以下的说明将集中在夹紧件110上，其中使用相同的附图标记表示与第三实施例的部件相同或类似的部件，而不详细说明它们。

<夹紧件的结构>

如图24所示，夹紧件110附连在联接件7B的附连孔81和85中。夹紧件110由夹件111、螺帽件112和杆件113构成。这些夹件111、螺帽件112和杆件113由树脂制成。

如图25至图27所示，夹件111包括筒形部分111a和一对从筒形部分垂直向下延伸的柔性件111b。这对柔性件111b插入附连孔81和85内，从而保持为不旋转。每个柔性件111b在其远端形成有带钩的锁定部分111c，该锁定部分侧向突出以与延伸部9a接合。每个锁定部分111c具有在前视图中为锥形的倾斜外表面，柔性件111b在该外表面的作用下或在附连孔81和85的内壁的压力作用下容易翘曲。在该柔性件111b中，在彼此相对的表面上形成有引导槽111g。每个引导槽111g起到了引导杆件113滑动的作用。

筒形部分111a在外周上具有外螺纹111d。筒形部分111a具有在与柔性件111b相对一侧上打开的底部闭合孔111e。在孔111e的底部，一对定位突起111f垂直地设置在杆件113可滑动地插入通过其中的开口的周围。每个定位突起111f具有向内弯曲的远端。

螺帽件112呈具有在一个端面(图25中的下端面)敞开的中空部112a的杯状。该中空部112a在内表面上具有内螺纹112b，该内螺纹与外螺纹111d接合，从而构成螺旋部分114。螺帽件112在其顶部形成有杆件113从中穿过的通孔112c。该通孔112c被形成为具有多边形外形(在本实施例中为六边形)。

杆件113由螺帽件112和夹件111可滑动地保持。杆件113具有带有同步化面(同步面)113a的外周，该同步面呈与通孔112c相符的多边形外形。

杆件113在同步面113a内形成有第一定位周向槽113b。杆件113还形成有位于同步面113a下方的第二周向槽113c。第一和第二定位槽113b和113c彼此平行的形成，并垂直于杆件113的中心轴线，并被构造成可滑动地容纳夹件111的定位突起111f的弯曲端部。在本实施例中，第一和第二定位槽113b和113c中的每一个在杆件113的横截面内都具有六角形的底面。在杆件113的横截面内，第一和第二槽113b和113c的底面不仅可以形成为六边形，而且还可以形成为多边形或椭圆形。

每个定位突起111f在每一弯曲端部与第一定位槽113b的底面的平坦部分的中心接触时将不会弹性变形。在螺帽件112旋转时，杆件113同步旋转。同时，每个突起111f由于从平坦部分的中心来到槽113b的底面的峰点或顶点从而弹性变形，从而产生相对于底面的阻力。在螺帽件112的旋转过程中，夹紧件110在固定的间隔产生阻力。在该夹紧件110中，定位突起111f以及第一定位槽113b构成旋转抑制机构115。

<第四实施例的流体装置连接结构的操作和优点>

在要将夹紧件110附连到联接件7B上时，首先从螺帽件112向上拉杆件113，并使定位突起111f的弯曲端部接合在第二定位槽113c(杆件113的该位置称为“第二位置”)内，如图24和图25所示。从而使得柔性件111b可弹性变形从而向内倾斜，彼此更靠近。

柔性件111b的锁定部分111c与附连孔81对齐，然后将锁定部分111c推入附连孔81内，从而将夹紧件110附连到联接件7B上。将夹件111插入孔81和85的方式使得锁定部分111c的倾斜表面受到孔81的内壁的压迫，从而使柔性件111b向内弹性翘曲或倾斜从而插入孔81和85。在锁定部分111c穿过孔81和85且不再受到压迫时，柔性件111b向外变形以恢复到它们的原始形状，使得锁定部分111c绕孔85与延伸部9a的表面接合。

如图24和图26所示，在螺帽件112内向下推杆件113，从而使定位突起111f接合在第一定位槽113b内(杆件113的该位置称为“第一位置”)。此时，杆件113沿着通孔112c和引导槽111g被引导而向下运动，而不使螺帽件112旋转。因此，杆件113被深入地插到锁定部分111c附近，从而防止柔性件111b变成向内变形。因为如上所述柔性件111b不会变形，夹件111即使在夹紧件110被强力上拉时也不会脱离孔81和85。

如上所述，根据第四实施例的流体装置连接结构，夹紧件110能通过将夹紧件110的柔性件111b相对于联接件7B的附连孔81和85对准并将夹紧件110的柔性件111b插入联接件7B的附连孔81和85中的简单一触式操作而被附连到联接件7B上。

另一方面，在第一连接部件4和第二连接部件5的密封强度下降时，螺帽件112在图24和图27中的箭头所示方向上旋转，而定位突起111f保持为接合在第一定位槽113b内。然后，夹件111由于螺旋部分114的螺旋进给而在螺帽件112的中空部分112a内向上升起。因此，螺帽件112和锁定部分111c之间的距离减小，从而使延伸部8a和9a彼此更加靠近，消除了如图24所示的间隙S1。联接件7B从而产生夹紧力将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近，从而提高了密封强度。

如上所述，在附连到联接件7B上的夹紧件110中，杆件113置于用于抑制柔性件111b变形的第一位置处。因此，即使在通过在杆件113上拧螺帽件112而强力上拉夹件111时，夹紧件110也不会脱离附连孔81和85。

在杆件113处于第一位置、杆件113处于第二位置、以及夹紧件110处于夹紧力产生状态以将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近的情况下，杆件113从螺帽件112突出的突出长度都不相同。因此，操作人员通过视觉观察杆件113的突出长度就能检查杆件113是处于用来抑制夹紧件110脱离的第一位置，或是夹紧件110正对第一连接部件4和第二连接部件5产生夹紧力。

同时，在夹紧件110中，定位突起111f的弯曲端部与第一定位槽113b的多边形底面可滑动地接触。具有定位突起111f的夹件111插入到附连孔81和85，同时柔性件111b被保持为不能旋转。在螺帽件112与杆件113一起旋转时，只要槽113b的底面的平坦部分的中心与每个突起111f的弯曲端部接触，每个突起111f就不会弹性变形。因此，杆件113将不会产生相对于定位突起111f的阻力。另一方面，在从平坦部分的中心到底面顶点的区域与每个突起111f接触时，每个突起111f弹性向外变形，从而杆件113将产生相对于突起111f的阻力。在此情况下，螺帽件112难以旋转。因此，即使在夹紧件110的螺帽件112由于变形等而要变松时，也会由于在突起111f和第一定位槽113b之间产生的阻力而限制螺帽件112的旋转。

如上所述，在第四实施例的流体装置连接结构中，联接件7B的第一开口件8B和第二开口件9B形成有其中附连夹紧件110的附连孔81和85，且夹紧件110包括插入孔81和85且被保持为不能旋转的夹件111、通过螺纹安装在夹件111上的螺帽件112、以及用于抑制螺帽件112相对于夹件111旋转的旋转抑制机构115。因此，根据第四实施例的流体装置连接结构，即使在第一连接部件4和第二连接部件5以及联接件7B发生蠕变等的情况下，旋转抑制机构115也会抑制螺帽件112的旋转，从而可将第一连接部件4和第二连接部件5维持在连接关系下。

(第五实施例)

以下将描述根据本发明的流体装置连接结构的第五实施例。图28为将要在该实施例的流体装置连接结构中使用的夹紧件120的分解透视图。图29为图28所示的夹紧件120的剖视图。

第五实施例的流体装置连接结构除了夹紧件120之外在结构上与第三实施例的流体装置连接结构相同。因此，以下说明将集中于夹紧件120，用相同的附图标记表示与第三实施例的部件相同或类似的部件，而不详细说明它们。

<夹紧件的结构>

如图28和图29所示，夹紧件120由树脂夹件121和树脂螺帽件122构成。通过将夹件121插入附连孔81和85而将夹紧件120附连到联接件7B。如图29所示，在夹件121和螺帽件122之间设置旋转抑制机构125。

夹件121包括柱状部分121a，该柱状部分在中心形成有内螺纹孔121e。柱状部分121a还设有绕孔121e的一个开口端(图29中的下端)垂直向下延伸的一对柔性件121b。每个柔性件121b形成有侧向突出的锁定部分121c。每个锁定部分121c都具有在前视图中成锥形的倾斜外表面。柱状部分121a的外周具有形成多边形防松部分121d的斜切下部。

螺帽件122呈具有在一个端面(图中的下端面)上敞开的中空部分122a的杯状，如图29所示。螺帽件122包括从中空部分122a的底部(即，图29中的上壁)轴向突出的杆部122b。杆部122b通过螺纹接合在内螺纹孔121e内。形成在杆部122b的外周上的外螺纹122c以及内螺纹孔121e构成了螺旋部分124。

滑动部分122d被形成为从中空部分122a的内表面向内突出，以与防松部分121d可滑动地接触。滑动部分122d的内表面具有与防松部分121d相符的多边形形状。螺帽件122在周边上形成有多个狭槽122e，这些狭槽沿着螺帽件122的轴向延伸，并在下端面上开口，从而能通过改变螺帽件122的开口区域而使螺帽件122相对于夹件121旋转。在螺帽件122的顶部上形成有工具附连孔122f。

<第五实施例的流体装置连接结构的操作和优点>

在要将夹紧件120附连到联接件7B上时，将螺旋部分124旋松，从而使夹件121相对于螺帽件122向下运动。从而，杆部122b在柔性件121b之间相对地向上运动，因而使柔性件121b能弹性向内变形。

将夹件121与联接件7B的附连孔81和85对准，并将夹件121插入附连孔81和85，从而将夹紧件120附连到联接件7B上。夹件121被插入到附连孔81和85的方式使得锁定部分121c的倾斜表面受到孔81的内壁的压迫，从而使柔性件121b向内弹性变形而插入到孔81和85内。在锁定部分121c穿过孔81和85且不再受到压迫时，柔性件121b向外变形，恢复到其原始形状，使锁定部分121c绕孔85与延伸部9a的表面接合。

然后将夹紧件120的螺帽件122拧到夹件121上。通过螺旋部分124的螺旋进给，夹件121朝着螺帽件122上升。因此，延伸部8a和9a被保持成在螺帽件122和锁定部分121c之间存在间隙S1。

在螺帽件122被拧到夹件121上时，杆部122b在柔性件121b之间相对向下运动，抑制柔性件121b变为向内弹性变形。柔性件121b从而被保持为不弹性变形。因此，即使在强力上拉夹紧件120时，夹紧件120也不会脱离附连孔81和85。

在第一连接部件4和第二连接部件5的密封强度下降时，通过附连在螺帽件120的工具附连孔122f内的工具将螺帽件120进一步拧到夹件121上。因此，螺帽件120与锁定部分121c之间的距离缩短，从而使得延伸部8a和9a彼此更加靠近，以消除间隙S1。随后，联接件7B产生夹紧力，从而将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近，结果提高了密封强度。

随着夹紧件120的螺帽件122被旋转，在滑动部分122d与防松部分121d之间的接触面改变时，在这些接触面之间产生阻力。即使夹紧件120的螺帽件122由于变形等要变松，螺帽件122的旋转也会由滑动部分122d与防松部分121d之间产生的阻力而得以抑制。

如上所述，在第五实施例的流体装置连接结构中，联接件7B的第一开口件8B和第二开口件9B形成有夹紧件120附连到其内的附连孔81和85，且夹紧件120包括被插入孔81和85中且在孔81和85内被保持为不旋转的夹件121、通过螺纹安装在夹件121上的螺帽件122、以及用来抑制螺帽件122相对于夹件121旋转的旋转抑制机构125。因此，根据第五实施例的流体装置连接结构，即使在第一连接部件4和第二连接部件5以及联接件7B发生蠕变等时，旋转抑制机构125也抑制螺帽件122的旋转，从而能将第一连接部件4和第二连接部件5维持在连接关系下。

(第六实施例)

以下将描述根据本发明的流体装置连接结构的第六实施例。图30为示出了将要在该实施例的流体装置连接结构中使用的附连到联接件7B上的夹紧件130的状态的视图。图31为图30的夹紧件130的分解图。图32为图30的夹紧件130的纵向剖视图。

第六实施例的流体装置连接结构除了夹紧件130之外在结构上与第三实施例的流体装置连接结构相同。因此，以下说明将集中于夹紧件130，用相同的附图标记表示与第三实施例的部件相同或类似的部件，而不详细说明它们。

<夹紧件的结构>

夹紧件130包括树脂夹件131和通过螺纹接合在夹件131上的树脂螺帽件132。夹紧件130还包括置于螺帽件132和夹件131之间的由树脂制成的旋转抑制板133，构成用于防止螺帽132旋转的旋转抑制机构135。

如图30所示，夹件131包括主体部131b，该主体部具有矩形横截面，以防止夹件131在被插入到附连孔81和85内时旋转。主体部131b的下部被制成为比上部窄，从而形成腿部131c。该腿部131c被构造成在夹紧件130被附连到联接件7B上时突出到附连孔85外。腿部131c的下端与支承部分131d相连续，该支承部分的宽度等于或稍小于主体部131b。

支承部分131b在两端设有一对柔性件131e，每个柔性件都向着主体部131b突出。每个柔性件131e都具有带爪131g的远端，在夹紧件130被附连到联接件7B上时，该爪将在附连孔85的开口端附近钩到附连孔85的内壁上。

如图31所示，柱状部分131a一体地形成在主体部131b上。柱状部分131a在外周形成有外螺纹131h。

如图32所示，螺帽件132呈具有在一个端面(图中的下端面)上敞开的中空部分132a的杯状。中空部分132a在内表面上具有内螺纹132b。内螺纹132b通过螺纹与夹件131的外螺纹131h接合，构成螺旋部分134。

如图31所示，螺帽件132在其下外周上形成有可与旋转抑制板133接合的接合面132c。该接合面132c的截面呈多边形，以可与旋转抑制板133表面接触。在螺帽件132的顶部上形成有工具附连孔132d。

旋转抑制板133被形成为具有在外边缘开口的长槽133a的盘形。通过将夹件131的主体部131b插入槽133a而将该板133附连到夹件131上。旋转抑制板133包括一对旋转抑制部分133b，该旋转抑制部分被形成为垂直突出，并被设置在槽133a的两侧上。旋转抑制部分133b被设置成与螺帽件132的接合面132c的平坦部分表面接触，以抑制螺帽件132的旋转。

<第六实施例的流体装置连接结构的操作和优点>

在要将夹紧件130附连到联接件7B上时，将夹件131的支承部分131d对准联接件7B的附连孔81，并在压力下将该支承部分插入到附连孔81内。此时，柔性件131e受到孔81的内壁的压迫而向着腿部131c向内弹性变形，并被插入到附连孔81和85内。柔性件131e在通过孔81和85之后，向外变形，从而与腿部131c分离，恢复到它们的原始形状，并在孔85周围邻接在延伸部9a上。在此状态下，爪131g钩在孔85的内壁上，从而防止柔性件131e过分向外倾斜而导致变形和破坏。

夹紧件130将旋转抑制板133和联接件7B的延伸部8a和9a保持在螺帽件132和柔性件131e之间。在该状态下，延伸部8a和9a被保持为具有间隙S1。

在螺帽件132由于变形等要变松时，会使螺帽件132的接合面132c从与板133的旋转抑制部分133b接触的平坦部分变为顶点(垂直的)。因此，接合面132c的顶点邻接旋转抑制部分133b，且螺帽件132试图与板133一起旋转。

然而，通过夹件131的接合在槽133a内的主体部131b而将旋转抑制板133保持为不旋转。此外，在主体部131b被保持为不旋转的情况下将夹件131插入附连孔81和85内。因此，即使在螺帽件132要变松而旋转时，接合面132c通过旋转抑制板133的抑制部分133b以及夹件131的主体部131b而相对于联接件7B的延伸部8a和9a被锁定，从而抑制了螺帽件132的旋转。

如上所述，在第六实施例的流体装置连接结构中，联接件7B的第一开口件8B和第二开口件9B形成有夹紧件130附连到其内的附连孔81和85，且夹紧件130包括被插入孔81和85且被保持为在孔81和85内不旋转的夹件131、通过螺纹安装在夹件131上的螺帽件132、以及用来抑制螺帽件132相对于夹件131旋转的旋转抑制机构135。因此，即使在第一连接部件4和第二连接部件5以及联接件7B发生蠕变等时，旋转抑制机构135也抑制螺帽件132的旋转，从而能将第一连接部件4和第二连接部件5维持在连接关系下。

同时，在将螺帽件132拧到夹件131上时，螺帽件132和柔性件131e之间的距离被缩短，使得联接件7B的延伸部8a和9a彼此更加靠近，以消除间隙S1。此时，柔性件131e被紧紧地压在延伸部9a上，并趋于向外倾斜。然而，形成在每个柔性件131e的远端的每个爪131g钩在附连孔85的内壁上，从而限制了每个柔性件131e向外倾斜。因此，在夹紧件130处于将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近的夹紧力产生状态下时，能防止每个柔性件131e向外倾斜导致变形和破坏。

(第七实施例)

以下将描述根据本发明的流体装置连接结构的第七实施例。图33为将要在该实施例的流体装置连接结构中使用的夹紧件140和联接件7C的分解透视图。图34为示出了其中夹紧件140被附连到联接件7C上的状态的外部透视图。

第七实施例的流体装置连接结构除了联接件7C和夹紧件140之外在结构上与第三实施例的流体装置连接结构相同。因此，以下说明将集中于联接件7C和夹紧件140，用相同的附图标记表示与第三实施例的部件相同或类似的部件，而不详细说明它们。

<联接件的结构>

联接件7C形成有用于附连夹紧件140的附连孔91和92(“附连部件”的示例)。这些孔91和92分别在延伸部8a和9a的侧表面开口。

<夹紧件的结构>

夹紧件140包括夹件141和通过螺纹接合在夹件141上的螺帽件102。夹件141被形成为直平行六面体形状，以在附连孔91和92内被保持为不旋转。在夹件141的下端，设有一对侧向延伸从而在槽92的两侧与延伸部9a接合的锁定部分141a。夹件141被构成为通过如在第三实施例内所述的旋转抑制机构104而防止螺帽件102变松。

<第七实施例的流体装置连接结构的操作和优点>

联接件7C被构造成使得，第一开口件8C绕可旋转连接部件87相对于第二开口件9C旋转，且锁定爪8c被插入通孔9c以使远端8d与延伸部9a接合。在该状态下，第一开口件8C和第二开口件9C在延伸部8a和9a之间间隔开间隙S1。

在要将夹紧件140附连到联接件7C上时，通过延伸部8a和9a的附连槽91和92的开口端而将夹件141插入附连槽91和92，从而将夹件141附连到联接件7C上的合适位置。

如上所述，在第七实施例的流体装置连接结构中，能通过简单地从槽91和92的开口端插入而将夹件141附连到联接件7C上。

在之后第一连接部件4和第二连接部件5的密封强度降低时，螺帽件102相对于夹件141旋转。这缩短了螺帽件102和锁定部分141a之间的距离，使得延伸部8a和9a彼此更加靠近，以消除间隙S1。这里，夹件141具有单个下端，而不是分叉的下端。因此，即使在拧紧螺帽件102时，夹件141的下端也不会变形，而且锁定部分141a也不会脱离延伸部9a。

(第八实施例)

以下将描述根据本发明的流体装置连接结构的第八实施例。图35为将在该实施例的流体装置连接结构中使用的夹紧件150和联接件7D的外部透视图。图36为示出了其中夹紧件150被附连到联接件7D上的状态的外部透视图。图37为沿着图36中的线C-C截取的剖面图。图38为联接件7D的外部透视图，示出了夹紧力产生状态。图39为沿着图38中的线D-D截取的剖面图。

本实施例的流体装置连接结构除了联接件7D的延伸部8a和9a以及夹紧件150之外在结构上与第一实施例的流体装置连接结构1相同。因此，以下说明将集中于与第三实施例的不同之处，用相同的附图标记表示与第三实施例的部件相同或类似的部件，而不详细说明它们。

<联接件的结构>

图35中的联接件7D由树脂制成。联接件7D的延伸部8a和9a形成有锁定爪8c和通孔9c。如图37所示，延伸部9a在其外表面上形成有槽95，夹紧件150的夹件151接合在该槽内。

<夹紧件的结构>

图35中的夹紧件150包括树脂夹件151和被可旋转地保持在夹件151上的树脂可旋转件152。夹件151被形成为具有上开口侧的角形的U形框架。如图37所示，夹件151还包括一对支承轴151a，该一对支承轴151a从夹件151的位于开口侧上的两端的内侧表面彼此相向突出，以支承可旋转件152。

可旋转件152被形成为近似圆弧形，并在由支承轴151a支承的端部设置有凸轮部分152a。该凸轮部分152a被设计成在由支承轴151支承的可旋转件152的一端上和在可旋转件152的一个表面上突起，以改变支承轴151a和延伸部8a之间的距离，并具有与可旋转件152的另一端的厚度相等的厚度，从而不从该另一端部突出。可旋转件152在凸轮部分152a的两侧形成有狭槽152b，以使凸轮部分152a独立地弹性变形。在该实施例中，凸轮部分152a以及延伸部8a构成“凸轮机构”。

凸轮部分152a被构成为使得，在夹紧件150如图36和图37所示被附连到具有间隙S1的延伸部8a和9a时，支承轴151a的轴线和凸轮部分152a与延伸部8a的表面之间的距离X最小。可旋转件152在此状态下的取向称为“第一取向”。凸轮部分152a被设置成使得，在凸轮部分152a如图36和图37所示的箭头所示从该第一取向朝向联接件7D旋转时，从支承轴151a的轴线到具有延伸部8a的表面的距离逐渐增加，而且该距离X在延伸部8a与延伸部9a接触时变为最大。

凸轮部分152a还被设计成，在延伸部8a与延伸部9a发生接触后进一步旋转可旋转件152时产生的延伸部8a的推斥力的作用下被翘曲。凸轮部分152a具有平坦表面，该平坦表面将与延伸部8a发生接触，使得可旋转件152被保持在第二取向，在该第二取向，凸轮部分152a如图38和图39所示被翘曲。

<第八实施例的流体装置连接结构的操作和优点>

联接件7D被安装在第一连接部件4和第二连接部件5上的方式为，第一开口件8D绕起到了支承点作用的可旋转连接部件87旋转，且锁定爪8c插入穿过通孔9c，如图35所示。在第一连接部件4和第二连接部件5的密封强度下降时，夹紧件150将被附连到联接件7D上。

为了附连夹紧件150，将可旋转件152置于如图35所示的第一取向下。夹紧件150然后被设置成如图36和图37所示，使得延伸部8a和9a被插在夹件151和可旋转件152之间，直到夹件151接合在槽95内为止。接着，如图中的箭头所示向着联接件7D旋转可旋转件152。在可旋转件152旋转时，凸轮部分152a与延伸部8a相接触地滑动。

在通过凸轮部分152a下推延伸部8a使延伸部8a与延伸部9a接触时，可旋转件152由于延伸部8a的推斥力而变得难以旋转。然而，可旋转件152进一步向着联接件7D旋转，使凸轮部分152a向上翘曲，直到凸轮部分152a的平坦表面与延伸部8a发生接触为止。这样将可旋转件152保持在第二取向下。

此状态下的夹紧件150的凸轮部分152a被翘曲，并被压在延伸部8a上。因此，即使例如在联接件7D变形的情况下，夹紧件150的可旋转件152也不会从而第二取向恢复到第一取向。联接件7D因此被保持在产生将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近的力的状态下，以增强它们的密封强度。

第八实施例的流体装置连接结构能通过夹紧件150将连接部件4和5彼此拉近而不使用任何专门工具。

在第八实施例的流体装置连接结构中，夹紧件150包括凸轮部分152a，该凸轮部分被构成为，在可旋转地附连到第一开口件8D和第二开口件9D上的连接部分(即，延伸部8a和9a)的夹紧件150一直旋转到第一开口件8D接触第二开口件9D时，受到来自第一开口件8D的推斥力。因此，即使第一开口件8D和第二开口件9D由于它们的热变形、流体压力等而受到使它们与第一连接部件4和第二连接部件5以及联接件7D分离的力，也能防止夹紧件150从将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近的位置反向旋转到初始位置。因此，夹紧件150能被维持在可提供增强密封强度的取向下。

(第九实施例)

以下将描述根据本发明的流体装置连接结构的第九实施例。图40为将在该实施例的流体装置连接结构中使用的夹紧件160和联接件7E的外部透视图。图41至图44为说明将夹紧件160附连到联接件7E上的过程的剖面图。具体而言，图41示出了处于初始位置的夹紧件160；图42示出了处于旋转抑制位置的夹紧件160；图43示出了处于压迫开始位置的夹紧件160；以及图44示出了处于夹紧力产生位置的夹紧件160。

第九实施例的流体装置连接结构除了联接件7E以及夹紧件160之外在结构上与第八实施例的流体装置连接结构相同。因此，以下说明将集中于与第八实施例的不同之处，用相同的附图标记表示与第八实施例的部件相同或类似的部件，而不详细说明它们。

<联接件的结构>

联接件7E包括设有凸轮部分96且通过可旋转连接部件87可旋转地与第二开口件9D相连的第一开口件8E。第一开口件8E的延伸部8a在与形成有锁定爪8c的表面相对的表面上形成有凸轮部分96。

凸轮部分96被构造成为使得，在夹紧件160从图41所示的初始位置被旋转到图44所示的夹紧力产生位置时，延伸部8a被压在延伸部9a上。而且，凸轮部分96还被构造成压靠置于图44所示的夹紧力产生位置的夹紧件160，从而防止夹紧件160恢复到初始位置。凸轮部分96包括由允许夹紧件160旋转的倾斜表面96a构成的凸轮面、将产生相对于夹紧件160的阻力的突起表面96b、以及用于将夹紧件160保持在夹紧力产生位置的凹入表面96c。

<夹紧件的结构>

夹紧件160由树脂制成，并如图40所示被成形为圆弧形。夹紧件160在两个侧端包括支承壁161。这些支承壁161被形成为从夹紧件160的端部延伸。支承轴162被附连为在支承壁161的远端之间延伸。因此，在夹紧件160、支承轴162和支承壁161之间形成空间，用于允许插入延伸部8a和9a。

夹紧件160形成有从比较靠近支承轴162的端部延伸的狭槽163，以形成在狭槽163之间可弹性变形的柔性件164。柔性件164的远端形成有滑动突起165，该滑动突起滑动接触凸轮部分96，如图41至图44所示。

<第九实施例的操作和优点>

在图40所示的联接件7E中，第一开口件8E绕起到了支承点作用的可旋转连接部件87向着第二开口件9D旋转。然后锁定爪8c插入穿过通孔9c，以使远端8d与延伸部9a接触，如图41所示。于是，将联接件7E安装在第一连接部件4和第二连接部件5的连接部分上。在第一连接部件4和第二连接部件5的密封强度下降时，夹紧件160将被附连到联接件7E上。

如图41所示，夹紧件160被设置成使得，延伸部8a和9a被插入在夹紧件160和支承轴162之间。支承轴162然后接合在延伸部9a的槽95内。因此，夹紧件160被相对于联接件7E布置在合适位置处。夹紧件160绕起到支承轴作用的支承轴162如图中箭头所示向着联接件7E旋转。

此时，夹紧件160在滑动突起165被保持成与倾斜表面96a接触的情况下被旋转，并向着延伸部9a压迫延伸部8a。延伸部8a更加靠近延伸部9a，以消除间隙S1。

当如图43所示滑动突起165通过突起表面96b时，夹紧件160产生阻力，从而使柔性件164翘曲。因而使延伸部8a与延伸部9a相接触，而不存在间隙S1。

接着，夹紧件160进一步如图44所示地被旋转，且滑动突起165变为接合在凹入表面96c中。于是，夹紧件160处于夹紧力产生位置。在该状态下，柔性件164翘曲，而将滑动突起165被保持为压力接触在突起表面96b和凹入表面96c之间，因而将延伸部8a压靠在延伸部9a上。在滑动突起165处于突起表面96b的边缘(没达到凹入表面96c)时，柔性件164的压迫力变得最大，而在滑动突起165开始与凹入表面96c接触时稍微变小。因此，夹紧件160将不会从夹紧力产生位置恢复到原始位置。

如上所述，在第九实施例的流体装置连接结构中，联接件7E在延伸部8a内具有凸轮部分96，该凸轮部分96在被附连到延伸部8a和9a并被旋转为使延伸部8a与延伸部9a接触时将与夹紧件160压力接触。夹紧件160包括柔性件164，柔性件164在与凸轮部分96滑动接触时可弹性变形。因此，这种流体装置连接结构不使用任何专门工具就能将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近。

而且，在第九实施例的流体装置连接结构中，夹紧件160被可旋转地附连到第一开口件8E和第二开口件9D的连接部分(即，延伸部8a和9a)上，且联接件7E包括位于第一开口件8E内的凸轮部分96，以在被旋转到使第一开口件8E与第二开口件9D接触时受到来自夹紧件160的推斥力。即使第一连接部件4和第二连接部件5以及联接件7E由于热变形、流体压力等而受到使第一开口件8E和第二开口件9D分离的力，第九实施例的流体装置连接结构也能防止夹紧件160从夹紧力产生装置反向旋转到初始位置。因此，能将夹紧件160维持在增强密封强度的状态下。

本发明可以通过其他的具体形式实施而不偏离本发明的基本特征。

(1)例如，在前述实施例中，联接件7、7A由两个开口件构成，但是其可以由三个或更多的开口件构成。开口件并非总是要由连接带14一体连接，而可以是分离的。

(2)例如，在以上实施例中，第一连接部件4和第二连接部件5分别设有环形突起4b和5b，以形成密封件6中的周向槽11a和11b。相反，密封件可形成有环形突起，相应地第一和第二连接部件可形成有容纳所述环形突起的周向槽。在此情况下，在每个环形突起中优选形成压配公差。

(3)在第一实施例中，夹紧件10在联接件7的初始组装状态下被附连到第一开口件8和第二开口件9的螺栓孔8b和9b上。可选的是，如果第一和第二连接部件发生蠕变以增强密封强度，夹紧件10可附连到螺栓孔8b和9b。这能防止夹紧件10丢失。

(4)在上述实施例中，第一开口件8和第二开口件9是通过锁定爪8c和延伸部9a、72之间的接合以及第一伸出突起8e和第二伸出突起9d与第一凹部8i和第二凹部9e之间的接合而相连的。为了连接第一开口件8和第二开口件9，可通过利用锁定爪和插入孔的接合结构来替代第一伸出突起8e和第二伸出突起9d与第一凹部8i和第二凹部9e。为了通过多个开口件来形成联接件，通过可旋转杆彼此相连的每个开口件形成一链结构，该链结构的两端部通过其中至少一个端部的变形而接合，从而构成环形联接件。

(5)在上述实施例中，第一开口件8和第二开口件9中的每一个都具有半圆形外形。可选的是，第一开口件8和第二开口件9可形成为直平行六面体形状或其他形状。

(6)在上述实施例中，锁定爪8c插入通孔9c，并与延伸部9a接合。通孔9c可形成为具有L形截面的底部闭合孔。另一可选方式是，可设置锁定爪来替代通孔9c，这样锁定爪通过弹性变形而彼此接合。

(7)在杆件113的横截面内观察时，第四实施例的第二定位槽113c的底面是多边形的，但是也可以是圆形的。

(8)夹紧件不限于通过螺旋或凸轮结构使第一开口件8和第二开口件9彼此靠近、以将第一连接部件4和第二连接部件5彼此拉近的结构。例如，夹紧将可以是能在构件8和9通过夹具而彼此靠近以消除了间隙S1之后附连到第一和第二开口件8和9的延伸部8a和9a的外周上的带、框架和其他形式。

尽管已经示出并描述了本发明的当前优选实施例，但是应理解的是，本公开的目的在于说明，在不偏离所附权利要求书阐述的本发明范围的情况下，可作出各种改变和改型。

Claims (12)

1.一种流体装置连接结构，包括：

第一流体装置，该第一流体装置包括树脂制成的第一连接部件、在所述第一连接部件的端面上具有开口端的通道、以及在所述第一连接部件的所述端面内绕所述通道的所述开口端形成的密封槽；

第二流体装置，该第二流体装置包括树脂制成的第二连接部件、在所述第二连接部件的端面上具有开口端的通道、以及在所述第二连接部件的所述端面内绕第二通道的所述开口端形成的密封槽；

密封件，该密封件置于所述第一连接部件的所述密封槽和所述第二连接部件的所述密封槽之间；以及

由树脂制成的联接件，该联接件被构造成将所述第一连接部件和所述第二连接部件彼此联接，使得所述密封件被放置在所述第一连接部件的所述密封槽和所述第二连接部件的所述密封槽之间，

其中

所述第一连接部件包括：

第一安装槽，该第一安装槽形成在所述第一连接部件的外周上；

第一装配槽，该第一装配槽形成在所述第一安装槽和所述算一连接部件的所述端面之间，所述第一装配槽被构造成接收所述联接件，

所述第二连接部件包括：

第二安装槽，该第二安装槽形成在所述第二连接部件的外周上；

第二装配槽，该第二装配槽形成在所述第二安装槽和所述第二连接部件的所述端面之间，所述第二装配槽被构造成接收所述联接件，而且

所述联接件包括多个开口件，每个开口件包括保持与所述第一装配槽的端面侧内侧表面接触的第一突出部分以及保持与所述第二装配槽的端面侧内侧表面接触的第二突出部分，所述第一突出部分和第二突出部分以预定间距布置。

2.根据权利要求1所述的流体装置连接结构，其中

所述第一安装槽的所述端面侧内侧表面以及所述第一装配槽的所述端面侧内侧表面平行于所述第一连接部件的所述端面，且所述第二安装槽的所述端面侧内侧表面以及所述第二装配槽的所述端面侧内侧表面平行于所述第二连接部件的所述端面。

3.根据权利要求2所述的流体装置连接结构，其中

所述第一装配槽和所述第二装配槽中的每一个形成有更靠近底部的锥部，并且

所述联接件在所述第一突出部分和所述第二突出部分的每个远端设有锥部，使得所述联接件的锥部面向所述第一装配槽和所述第二装配槽的所述锥部，并且

所述流体装置连接结构还包括夹紧件，该夹紧件用于使所述多个开口件彼此靠近，使得在所述第一和第二连接部件的密封强度降低时，所述联接件的所述锥部沿着所述装配槽的所述锥部滑动，从而持续地产生力以拉动所述第一和第二连接部件。

4.根据权利要求2所述的流体装置连接结构，其中

所述联接件由第一开口件和第二开口件构成，并且还包括：可旋转连接部件，所述第一开口件和第二开口件的一端与该可旋转连接部件可旋转地连接；设置在所述第一开口件内的可弹性变形的锁定爪；以及形成在所述第二开口件内的通孔，所述锁定爪被构造成通过弹性变形而穿过所述通孔，并恢复原始形状，以绕所述通孔的开口端与所述第二开口件的外表面接合。

5.根据权利要求3所述的流体装置连接结构，其中

所述联接件由第一开口件和第二开口件构成，并且还包括：可旋转连接部件，所述第一开口件和第二开口件的一端与该可旋转连接部件可旋转地连接；设置在所述第一开口件内的可弹性变形的锁定爪；以及形成在所述第二开口件内的通孔，所述锁定爪被构造成通过弹性变形而穿过所述通孔，并恢复原始形状，以绕所述通孔的开口端与所述第二开口件的外表面接合。

6.根据权利要求5所述的流体装置连接结构，其中

所述可旋转连接部件由形成在所述第一开口件内的接合突起和接合凹部以及形成在所述第二开口件内的接合突起和接合凹部构成，并且

在所述第一开口件的所述突起接合在所述第二开口件的所述凹部内、且所述第二开口件的所述突起接合在所述第一开口件的所述凹部内时，这些突起沿着不同方向保持靠在对应凹部的内壁上。

7.根据权利要求5所述的流体装置连接结构，其中

所述可旋转连接部件由设置在所述第一开口件内的旋转轴和设置在所述第二开口件内的可旋转接合部件构成，所述接合部件呈可与所述旋转轴接合的U形，并且

所述可旋转接合部件具有开口，该开口对着将与所述第一开口件接触的所述第二开口件的表面打开。

8.根据权利要求3所述的流体装置连接结构，其中

所述联接件具有在所述开口件内的附连部分，所述夹紧件将被装配到该附连部分中，

所述夹紧件包括将被装配在所述附连部分内并被保持不旋转的夹件、通过螺纹安装在所述夹件上的螺帽件、以及用于抑制所述螺帽件相对于所述夹件旋转的旋转抑制机构。

9.根据权利要求3所述的流体装置连接结构，其中

所述夹紧件可旋转地附连到所述开口件的连接部分，并且

所述夹紧件形成有凸轮部分，所述凸轮部分被构造成在其中一个开口件由于所述夹紧件的旋转而与另一开口件接触时受到所述一个开口件的推斥力。

10.根据权利要求3所述的流体装置连接结构，其中

所述夹紧件可旋转地附连到所述开口件的连接部分，并且

所述联接件在其中一个开口件内形成有凸轮部分，所述凸轮部分被构造成在其中一个开口件由于所述夹紧件的旋转而与另一开口件接触时受到所述一个开口件的推斥力。

11.根据权利要求1所述的流体装置连接结构，其中

所述第一连接部件和所述第二连接部件中的每个在所述密封槽内设有环形突起，并且

所述密封件设有与所述突起压配的环形槽。

12.一种流体装置单元，其中通过利用根据权利要求1所述的流体装置连接结构联接多个流体装置。

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