JP4942332B2 - 継手構造 - Google Patents

Description

本発明は１対の接続管を互いに接続させる継手構造に関する。

従来、１対の接続管を互いに接続させる継手構造としては、例えば各接続管の端面同士を互いに密着させた状態に保持する構成がある。その場合、機密性を高めるために両端面間にゴム製のＯリングが挟み込まれ、各端面にはＯリングを保持するための溝が形成される。なお、各接続管の端面にそれぞれフランジが形成されている場合もある。

しかし、近年、例えば半導体製造装置などにおいて、特に反応室への気体供給部では、ほんの僅かでも不純物が混入したり、流体の圧力や流量が変動したりするだけで、使用不能な不良品を製造してしまうことがある。従って、以前に比べてはるかに高いレベルの気密性が要求される。前記したようにＯリングを用いた構成では、Ｏリングの材料であるゴムの性質上、さほど高い気密性を実現するのは困難であり、また、ゴムの経年劣化による信頼性の低下を招き易い。さらに、流通する気体とゴムとが化学反応を生じて変質してしまう可能性も否定できない。

そこで、特許文献１には、Ｏリングに替えて、リング状の金属製のガスケットを接続管（継手構成要素）の端面間に挟み込む構成が提案されている。この構成では、各端面に環状のシールビード（突起）を設け、このシールビードをガスケットの両面にそれぞれ当接させている。そして、一方の接続管の外周の雄ねじ部に螺合する雌ねじ部と、他方の接続管に係合する係合部とを有する連結ナットを用い、雄ねじ部を雌ねじ部に深くねじ込むことによって、両端面の各シールビードによってガスケットを両側から強く押圧して、高い気密性を実現している。
特公平２−６２７５６号公報

特許文献１に記載された構成では、一方の接続管の雄ねじ部を連結ナットの雌ねじ部に深くねじ込むことによって高い気密性を実現しているが、このねじ込みの際に、摩擦力によって連結ナットと一緒に他方の接続管も回転することがある。その際に、回転する接続管のシールビードと、そのシールビードが圧接するガスケットとの間に摩擦が生じ、金属の微細粒子（パーティクル）が発生して浮遊する。この微細粒子は、流通する気体中に混入する不純物となる。また、パーティクルの発生だけでなく、前記回転により面シール部に傷ができ、そこからリークし易くなる。

仮に、この継手の組立完了時には微細粒子が発生しなかった場合や、組立完了直後に微細粒子を除去してから実際の使用に供した場合であっても、長期の使用の間に微細粒子が発生する可能性がある。すなわち、前記したように連結ナットの回転と一緒に他方の接続管が回転した場合、他方の接続管の先端部分がねじれた状態で保持されることがある。この場合、接続管の反発力によってねじれを解消する方向に徐々に移動したり、温度変化に伴う膨張または収縮によって１対の接続管を互いに固定させる力が弱まったときに、接続管がねじれを解消する方向に移動したりする可能性がある。その結果、シールビードとガスケットの間に摩擦が生じて、金属の微細粒子が発生して浮遊する可能性がある。また、こうしたパーティクルの発生だけでなく、前述した回転力が弱まったことにより保持力が低下し、リークし易くなる。

このように、特許文献１の構成によると、継手構造の外部に対する高い気密性が得られるものの、継手構造の内部において金属の微細粒子が発生して、継手構造内を流通する流体に混入する不純物となる可能性がある。特に、半導体製造装置の気体供給部にこの継手構造が採用されている場合には、シールビードと金属製ガスケットとの摩擦により生じた微細粒子が不純物として混入することは、所望の半導体を製造できなくなる致命的な問題になる。

そこで本発明の目的は、Ｏリングを用いた構成に比べて高い気密性および高い信頼性で１対の接続管を接続できるとともに、内部において金属の微細粒子が発生するおそれが小さい継手構造を提供することにある。

本発明は、環状の突起が設けられたフランジを端部に有する１対の接続管を接続する継手構造において、
１対の接続管のフランジ同士が対向した状態で、各突起によって両側から圧接される、平らなリング状の金属製ガスケットと、
金属製ガスケットを内部に収容可能な筒状部および筒状部の一部から半径方向内側に延びる爪状の係合部を有するホルダーであって、金属製ガスケットが筒状部の内部に収容された状態で、係合部が金属製ガスケットの少なくとも一部に係合するとともに筒状部の先端がフランジに設けられた凹状の段部に嵌合することによって、金属製ガスケットを保持しつつ一方の接続管に保持されるホルダーと、
１対の接続管のフランジ同士が金属製ガスケットを挟んで対向した状態で、両フランジの外周を取り囲んで外周に密着するように装着可能なセンターリングと、
一続きに並べられ、隣り合うもの同士が互いに揺動可能に連結されている３つのセグメントからなり、３つのセグメントのうち一端に位置するセグメントと他端に位置するセグメントとが締結部材によって互いに固定されると、全てのセグメントにより、金属製ガスケットを挟んで互いに対向するフランジの外周全体を覆って保持するリング形状を構成するクランプリングと、
を有し、
各フランジは、その外周から端部と反対側に向かう下り勾配の傾斜面をそれぞれ有しており、
クランプリングの各セグメントは、内周部に、各フランジの傾斜面にそれぞれ対応する対応傾斜面を有しており、
ホルダーの筒状部の内径と金属製ガスケットの外径は同じ大きさであり、かつセンターリングの内径よりも小さく、
センターリングの外径は、締結部材によって一端に位置するセグメントと他端に位置するセグメントとが互いに固定されてリング形状を構成するクランプリングの内径よりも小さく、センターリングの外面とクランプリングの内面との間には空間が設けられており、
筒状部の先端が段部に嵌合することによりフランジに保持されているホルダーの外径は、センターリングの内径よりも小さく、ホルダーの外面とセンターリングの内面との間には空間が設けられていることを特徴とする。
クランプリングは、金属製ガスケットを挟んで互いに対向するフランジの外周全体を覆って保持するリング形状を構成している状態で、締結部材が一端のセグメントと他端のセグメントとをより近接させるほど、クランプリングの各セグメントは、各対応傾斜面が各フランジの各傾斜面に沿って摺動しながら半径方向内側に移動して、フランジ同士をより緊密に保持可能なものであり、フランジ同士が緊密に保持された状態で、センターリングの外面とクランプリングの内面との間には空間が維持される。

この構成によると、ゴム製のＯリングではなく金属製ガスケットを用いて封止を行っているため気密性が高く、しかも、組立時に接続管にねじれが生じないため、接続管の突起と金属製ガスケットの間に摩擦が生じず、微細粒子が発生するおそれがない。

締結部材は、一端のセグメントと他端のセグメントとをねじ止めするボルトであり、ボルトを深くねじ込むほど両セグメントを互いに近接させることができるものであってもよい。その場合、ボルトの頭と、セグメントのうちボルトの頭を係合するセグメントは、互いの当接部がそれぞれ球面状に形成されていることが好ましい。

また、締結部材は、一端のセグメントと他端のセグメントのうちの一方のセグメントに留められた係止部と、係止部から延びているねじ部と、ねじ部に螺合するとともに他方のセグメントに係合するナットとからなるアイボルトであり、ナットをねじ部にねじ込むほど、ナットに係合する他方のセグメントを一方のセグメントに近接させることができるものであってもよい。その場合、ナットと他方のセグメントは、互いの当接部がそれぞれ球面状に形成されていることが好ましい。

本発明の継手構造によると、簡単な構成で、継手外部に対する高い気密性と、継手内部における不純物である微細粒子の発生防止とを容易に両立することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。

図１に本実施形態の継手構造の完成状態を示している。本実施形態の継手構造は、１対の接続管１ａ，１ｂを気密に接続するためのものであり、この接続管１ａ，１ｂは端部にフランジ２ａ，２ｂがそれぞれ形成されている。フランジ２ａ，２ｂは、外周側に行くほど接続管１ａ，１ｂの端面側に向かって傾斜する傾斜面３ａ，３ｂをそれぞれ有している。フランジ２ａ，２ｂの対向面（接続管１ａ，１ｂの端面）には、環状の突起（シールビード）４ａ，４ｂが形成されており、両フランジ２ａ，２ｂの各突起４ａ，４ｂは同じ形状および寸法に形成されている。傾斜面３ａ，３ｂは、フランジ２ａ，２ｂの対向面と反対側（接続管１ａ，１ｂの端面の反対側）に設けられているため、両接続管１ａ，１ｂが、端面同士が互いに対向するように近接配置されると、両傾斜面３ａ，３ｂが外側に位置する台形部分（断面形状が台形である部分）が構成される。また、この時、突起４ａ，４ｂの先端同士が対向するようになっている。フランジ２ａ，２ｂには、対向面側に段部５ａ，５ｂが形成されている。この段部５ａ，５ｂは、後述するホルダー７の筒状部７ｂが填め込まれる小径の円柱部を構成している。なお、接続管１ａ，１ｂは、流体を流通させる長い管の一部であってもよいが、そのような長い管の端部に溶接等によって連結された接続用部材（いわゆるグランド）であってもよい。

接続管１ａ，１ｂの間には平らなリング状の金属製ガスケット６が配置されている。図１に示す完成状態では、金属製ガスケット６は、突起４ａ，４ｂによって両側から圧接されている。

一方の接続管１ａにはホルダー７が保持されており、このホルダー７によって金属製ガスケット６が一方の接続管１ａに保持されている。ホルダー７は、図３，４に示すように、筒状部７ｂの一端に、半径方向内側に延びる爪状の係合部７ａが設けられた構成である。筒状部７ｂは、接続管１ａに形成された段部５ａに嵌合可能な形状および寸法である。係合部７ａの内径は金属製ガスケット６の外径よりも小さく、係合部７ａは金属製ガスケット６に係合可能である。従って、係合部７ａが金属製ガスケット６の外周部に係合して、ホルダー７の内側に金属製ガスケット６を収容した状態で、筒状部７ｂが接続管１ａの段部５ａに嵌合させられることによって、ホルダー７および金属製ガスケット６は接続管１ａに保持される。このとき、金属製ガスケット６は、一方の面が係合部７ａに係止され、他方の面が接続管１ａの突起４ａの先端に当接された状態である。なお、係合部７ａは筒状部７ｂの一端の全周に亘って設けられていてもよいが、筒状部の内周の一部のみに形成されていてもよい。

接続管１ｂは接続管１ａに対向するように配置されており、突起４ｂが、前記したようにホルダー７によって接続管１ａに保持されている金属製ガスケット６の一方の面に当接している。このように互いに対向した接続管１ａ，１ｂの各フランジ２ａ，２ｂの外周を取り囲むように、センターリング９が装着されている。なお、両フランジ２ａ，２ｂは同一の形状および寸法であり、センターリング９内に殆ど隙間なく填め込まれる。

以上説明した構成の、接続管１ａ，１ｂと金属製ガスケット６とホルダー７とセンターリング９からなる組立体が、クランプリング１０によって保持されている。クランプリング１０は、図２に示すように、複数の（本実施形態では３つの）セグメント１０ａ〜１０ｃが１列に連結された構成である。隣り合うセグメント同士は軸１５を中心として相対的に揺動可能にそれぞれ連結されている。各軸１５は互いに平行であり、各セグメント１０ａ〜１０ｃの開閉動作方向に対し垂直な軸である。具体的には、中央のセグメント１０ｂが、一端のセグメント１０ａおよび他端のセグメント１０ｃと、軸１５を中心として相対的に揺動可能にそれぞれ連結されている。従って、一端のセグメント１０ａと他端のセグメント１０ｃとが近接するように揺動させると、図１（ｂ）に示すようにリング形状を構成することができる。

各セグメント１０ａ〜１０ｃの内周には、接続管１ａ，１ｂの傾斜面３ａ，３ｂに対応する対応傾斜面１４ａ，１４ｂを有する溝１４が設けられている。この溝１４は、前記したように両接続管１ａ，１ｂが互いに対向するように近接配置されたときに両傾斜面３ａ，３ｂによって構成される台形部分を収容する形状および寸法である。

一端のセグメント１０ａには、締結部材であるボルト１１のねじ部１１ａが収容され、頭部１１ｂが通過不能な大きさの溝状の切欠部１２が設けられている。切欠部１２には、ボルト１１の頭部１１ｂを収容する拡大部分１２ａが設けられている。他端のセグメント１０ｃには、ボルト１１のねじ部１１ａがねじ込まれるねじ穴１３が設けられている。なお、各図面において、雄ねじ部および雌ねじ部は省略して図示している。

各セグメント１０ａ〜１０ｃにより、前記したようにリング形状を構成した状態で、ボルト１１の頭部１１ａを一端のセグメント１０ａの切欠部１２の拡大部分１２ａに収容して係止させ、ねじ部１１ｂを、切欠部１２を貫通させて他端のセグメント１０ｃのねじ穴１３にねじ込むことによって、各セグメント１０ａ〜１０ｃを互いに固定することができる。図１に示す完成状態では、金属製ガスケット６およびホルダー７を挟んで対向するフランジ２ａ，２ｂを各セグメント１０ａ〜１０ｃの内側に配置し、溝１４内に、両傾斜面３ａ，３ｂによって構成される台形部分を挿入している。そして、前記したようにボルト１１を、切欠部１２を貫通させて他端のセグメント１０ｃのねじ穴１３にねじ込んで固定している。この構成では、ボルト１１をねじ穴１３へ深くねじ込むほど、傾斜面３ａ，３ｂ上を対応傾斜面１４ａ，１４ｂが摺動して、溝１４内に台形部分がくさび状に深く入り込み、接続管１ａ，１ｂのフランジ２ａ，２ｂ同士がより接近しようとする。すると、金属製ガスケット６への突起４ａ，４ｂの接触圧力が大きくなる。その結果、金属製ガスケット６と突起４ａ，４ｂとの密着により得られる気密性が高くなる。この原理を利用して、ボルト１１のねじ穴１３へのねじ込み量を適切に設定することによって、所望の気密性が得られる。このようにして、図１に示す本実施形態の継手構造が構成されている。

次に、この継手構造を組み立てる方法について説明する。

まず、図３に示すように、ホルダー７の係合部７ａを金属製ガスケット６の外周部に係合させ、金属製ガスケット６を筒状部７ｂ内に収容した状態で、筒状部７ｂを一方の接続管１ａの段部５ａに嵌合させる。これによって、金属製ガスケット６がホルダー７を介して接続管１ａに保持された状態になる。なお、ホルダー７と金属製ガスケット６と段部５ａとを高精度に形成しておくことによって、金属製ガスケット６を位置精度良く、かつしっかりと接続管１ａに保持させることができる。こうして、ホルダー７を用いることによって、金属製ガスケット６を接続管１ａに位置合わせできる。

次に、図４に示すように、他方の接続管１ｂを一方の接続管１ａに近接対向するように配置し、突起４ａを金属製ガスケット６に当接させる。この状態で、両接続管１ａ，１ｂのフランジ２ａ，２ｂの外周を取り囲むように、センターリング９を装着する。これによって、接続管１ｂを、金属製ガスケット６を位置精度良く保持している接続管１ａに対して、接続管１ａ，１ｂの長手方向に直交する方向に位置ずれしないように位置合わせすることができる。ただしこの時点では、各部材は概ね適切な位置関係にあるものの、まだ固定されてはおらず、高い気密性は得られていない。

そこで、クランプリング１０を用いて、各部材を強固に固定するとともに、接続管１ａ，１ｂ同士の接続の気密性を高める。図２に示すように開いた状態の各セグメント１０ａ〜１０ｃを閉じてリング形状を構成し、各接続管１ａ，１ｂのフランジ２ａ，２ｂを内側に閉じ込めるようにする。この時、図５に示すように、溝１４内に、フランジ２ａ，２ｂの傾斜面３ａ，３ｂによって構成されている台形部分が挿入されるようにする。そして、前記したようにボルト１１を、切欠部１２を貫通させて他端のセグメント１０ｃのねじ穴１３にねじ込んで固定している。

しかし、図５に示すように、ボルト１１のねじ穴１３へのねじ込み量が小さい時点では、一端のセグメント１０ａと他端のセグメント１０ｃとの間隔が十分に狭くなってはおらず、各セグメント１０ａ〜１０ｃが構成するリング形状（溝１４が構成するリング形状）の内径がまだ十分に小さくなってはいない。従って、フランジ２ａ，２ｂの傾斜面３ａ，３ｂが構成する台形部分の、溝１４内への挿入量が小さい。そのため、接続管１ａ，１ｂの長手方向に見て、フランジ２ａ，２ｂ同士がまださほど近接していない。図５に示す状態では、金属製ガスケット６の両面に突起４ａ，４ｂがそれぞれ当接しているものの、その接触圧力が低く、気体の流通を遮断するほどの気密性は得られておらず、このままでは継手構造として不十分である。

そこで、ボルト１１をねじ穴１３にさらにねじ込んでいく。そして、図１に示すように、ボルト１１のねじ穴１３へのねじ込み量が大きくなると、一端のセグメント１０ａと他端のセグメント１０ｃとの間隔が十分に狭くなり、各セグメント１０ａ〜１０ｃが構成するリング形状（溝１４が構成するリング形状）の内径が十分に小さくなる。従って、フランジ２ａ，２ｂの傾斜面３ａ，３ｂが構成する台形部分の、溝１４内への挿入量が大きくなる。そのため、接続管１ａ，１ｂの長手方向に見て、フランジ２ａ，２ｂ同士の間の間隔が十分に小さくなる。この状態では、金属製ガスケット６の両面に突起４ａ，４ｂが大きな接触圧力で圧接し、気体の流通を遮断することができる。従って、継手構造として十分な気密性が得られる。

なお、予備試験等によって、十分な気密性が得られるようなボルト１１のねじ込み量を予め求めておいてもよいが、前記した継手構造の組立工程中（ボルト１１のねじ穴１３へのねじ込み作業中）に随時気密性を調べて、十分な気密性が確認できた時点でねじ込み作業を停止するようにしてもよい。

図１に示すように、ボルト１１のねじ穴１３への十分なねじ込み量が得られた時点で、切欠部１２とねじ穴１３が一直線になって、ボルト１１が水平に保持されるように構成されている。そして、ボルト１１の頭部１１ｂが切欠部１２の拡大部分１２ａ内に安定して保持される。しかし、ねじ込み作業中、すなわちねじ込み量がまだ不十分な段階では、図５に示すように、切欠部１２とねじ穴１３が一直線にはなっておらず、ボルト１１が切欠部１２に対して斜めになって保持される。この時、ボルト１１の頭部１１ｂが切欠部１２の拡大部分１２ａの内壁に部分的に偏って当接するため、本実施形態では、頭部１１ｂと切欠部１２の拡大部分１２ａのそれぞれの当接部を、ほぼ同じ曲率の、対応する球面状に形成している。これによって、各当接部のどの部分がどのように偏って当接したとしても、角部が存在しないため、頭部１１ｂまたは切欠部１２が破損したりボルトの進行に支障が生じたりするおそれがない。

なお、本実施形態では、一方の接続管１ａに段部５ａが設けられているのみならず、他方の接続管１ｂにも段部５ｂが設けられている。この段部５ｂは構成上必要ではないが、全く同一の構成の１対の接続管１ａ，１ｂを用いることによって生産の手間およびコストを低減させるために、本実施形態では段部５ｂを有する接続管１ｂが用いられている。

本実施形態では、比較的厚く複雑に加工された形状のフランジ２ａ，２ｂが設けられているが、接続管１ａ，１ｂの端面を拡げただけの単純な形状のフランジを形成することもできる。ただし、前記したように溝１４内に進入してくさび効果を生み出す台形部分を構成するための傾斜面３ａ，３ｂは必ず設けられる。

図６には本発明の継手構造の第２の実施形態が示されている。なお、第１の実施形態と同様な構成については、同一の符号を付与し説明を省略する。

本実施形態では、ボルト１１に替えてアイボルト１６を用いている。このアイボルト１６は、ねじ部１６ａと、セグメント１０ｃにピン１７によって揺動可能に取り付けられている係止部１６ｂとからなり、ねじ部１６ａはセグメント１０ａの切欠部１２内に挿入可能である。そして、ねじ部１６ａにはナット１８が螺合し、ナット１８は、切欠部１２の拡大部分１２ａに係合する。ナット１８と切欠部１２の拡大部分１２ａのそれぞれの当接部は、ほぼ同じ曲率の、対応する球面状に形成されている。

本実施形態の継手構造は、第１の実施形態と同様な効果が得られるとともに、アイボルト１６を用いることによって、組立作業の簡略化が図れる。

本発明の継手構造によると、金属製ガスケット６の両面にフランジ２ａ，２ｂの突起４ａ，４ｂがそれぞれ圧接することによって、高い気密性が得られる。しかも、クランプリング１０を用いてフランジ２ａ，２ｂを固定する際に、接続管１ａ，１ｂ自体を回転させようとする力は働かず、従って接続管１ａ，１ｂにねじれは生じない。その結果、金属製ガスケット６と突起４ａ，４ｂとの間に摩擦は生じず、微細粒子（パーティクル）が発生しない。長期間使用しても、また温度変化によって各部材に多少の伸縮が生じても、接続管１ａ，１ｂが金属製ガスケット６に対して相対的に回転することはなく、摩擦は生じないので、微細粒子が発生しない。この継手構造によると、外部に対する高い気密性が得られるのみならず、内部における不純物の発生も防げる。これは、特に半導体製造装置の気体供給部など、非常に高精度の流体の流通が要求される場合に適している。

（ａ）は本発明の第１の実施形態の継手構造の断面図、（ｂ）はその側面図である。 本発明の第１の実施形態の継手構造に用いられるクランプリングの、締結部材を取り外して開いた状態の斜視図である。 本発明の第１の実施形態の継手構造の組立工程を示す断面図である。 本発明の第１の実施形態の継手構造の、図３に続く組立工程を示す断面図である。 （ａ）は本発明の第１の実施形態の継手構造の、図４に続く組立工程を示す断面図、（ｂ）はその側面図である。 は本発明の第２の実施形態の継手構造の断面図である。

符号の説明

１ａ，１ｂ 接続管
２ａ，２ｂ フランジ
３ａ，３ｂ 傾斜面
４ａ，４ｂ 突起
５ａ，５ｂ 段部
６ 金属製ガスケット
７ ホルダー
７ａ 係合部
７ｂ 筒状部
９ センターリング
１０ クランプリング
１０ａ 一端のセグメント
１０ｂ 中央のセグメント
１０ｃ 他端のセグメント
１１ ボルト
１１ａ ねじ部
１１ｂ 頭部
１２ 切欠部
１３ ねじ穴
１４ 溝
１４ａ，１４ｂ 対応傾斜面
１５ 軸
１６ アイボルト
１６ａ ねじ部
１６ｂ 係止部
１７ ピン
１８ ナット

Claims (6)

1. 環状の突起が設けられたフランジを端部に有する１対の接続管を接続する継手構造において、
   前記１対の接続管の前記フランジ同士が対向した状態で、前記各突起によって両側から圧接される、平らなリング状の金属製ガスケットと、
   前記金属製ガスケットを内部に収容可能な筒状部および前記筒状部の一部から半径方向内側に延びる爪状の係合部を有するホルダーであって、前記金属製ガスケットが前記筒状部の内部に収容された状態で、前記係合部が前記金属製ガスケットの少なくとも一部に係合するとともに前記筒状部の先端が前記フランジに設けられた凹状の段部に嵌合することによって、前記金属製ガスケットを保持しつつ一方の前記接続管に保持されるホルダーと、
   前記１対の接続管の前記フランジ同士が前記金属製ガスケットを挟んで対向した状態で、前記両フランジの外周を取り囲んで該外周に密着するように装着可能なセンターリングと、
   一続きに並べられ、隣り合うもの同士が互いに揺動可能に連結されている３つのセグメントからなり、該３つのセグメントのうち一端に位置するセグメントと他端に位置するセグメントとが締結部材によって互いに固定されると、全ての前記セグメントにより、前記金属製ガスケットを挟んで互いに対向する前記フランジの外周全体を覆って保持するリング形状を構成するクランプリングと、
   を有し、
   前記各フランジは、その外周から前記端部と反対側に向かう下り勾配の傾斜面をそれぞれ有しており、
   前記クランプリングの前記各セグメントは、内周部に、前記各フランジの傾斜面にそれぞれ対応する対応傾斜面を有しており、
   前記ホルダーの前記筒状部の内径と前記金属製ガスケットの外径は同じ大きさであり、かつ前記センターリングの内径よりも小さく、
   前記センターリングの外径は、前記締結部材によって前記一端に位置するセグメントと前記他端に位置するセグメントとが互いに固定されてリング形状を構成する前記クランプリングの内径よりも小さく、前記センターリングの外面と前記クランプリングの内面との間には空間が設けられており、
   前記筒状部の先端が前記段部に嵌合することにより前記フランジに保持されている前記ホルダーの外径は、前記センターリングの内径よりも小さく、前記ホルダーの外面と前記センターリングの内面との間には空間が設けられている
   ことを特徴とする継手構造。
2. 前記クランプリングは、前記金属製ガスケットを挟んで互いに対向する前記フランジの外周全体を覆って保持するリング形状を構成している状態で、前記締結部材が前記一端のセグメントと前記他端のセグメントとをより近接させるほど、前記クランプリングの前記各セグメントは、前記各対応傾斜面が前記各フランジの前記各傾斜面に沿って摺動しながら半径方向内側に移動して、前記フランジ同士をより緊密に保持可能なものであり、前記フランジ同士が緊密に保持された状態で、前記センターリングの外面と前記クランプリングの内面との間には前記空間が維持される、請求項１に記載の継手構造。
3. 前記締結部材は、前記一端のセグメントと前記他端のセグメントとをねじ止めするボルトであり、前記ボルトを深くねじ込むほど前記両セグメントを互いに近接させることができる、請求項１または２に記載の継手構造。
4. 前記ボルトの頭と、前記セグメントのうち前記ボルトの頭を係合するセグメントは、互いの当接部がそれぞれ球面状に形成されている、請求項３に記載の継手構造。
5. 前記締結部材は、前記一端のセグメントと前記他端のセグメントのうちの一方のセグメントに留められた係止部と、該係止部から延びているねじ部と、前記ねじ部に螺合するとともに他方のセグメントに係合するナットとからなるアイボルトであり、前記ナットを前記ねじ部にねじ込むほど、該ナットに係合する前記他方のセグメントを前記一方のセグメントに近接させることができる、請求項１または２に記載の継手構造。
6. 前記ナットと前記他方のセグメントは、互いの当接部が対応する球面状に形成されている、請求項５に記載の継手構造。

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