KR101796003B1 - 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정 등에 사용되는 진공배관을 서로 연결하는 클램프에 있어서 진공배관의 진동 또는 외부 충격에 의해서도 체결 상태를 견고하게 유지하기 위한 너트의 구성을 너트의 자연풀림을 방지하는 기능은 유지하면서도 사용자가 클램프의 체결과 분리를 위한 너트의 회전이 원활하게 이루어질 수 있는 개선된 형태의 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프에 관한 것이다.

Description

너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프{Vacuum pipe clamp with a nut control means}

본 발명은 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정 등에 사용되는 진공배관을 서로 연결하는 클램프에 있어서 진공배관의 진동 또는 외부 충격에 의해서도 체결 상태를 견고하게 유지하기 위한 너트의 구성을 너트의 자연풀림을 방지하는 기능은 유지하면서도 사용자가 클램프의 체결과 분리를 위한 너트의 회전이 원활하게 이루어질 수 있는 개선된 형태의 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조 공정 등에서 웨이퍼 상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세스 챔버 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세스 가스를 사용하여 고온에서 수행되며, 상기 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유하는 반응부산물 가스가 다량으로 발생한다.

대부분의 유독성 화학 가스는 내식성 및 내약품성에 강한 배관을 매개로 화학 가스 공급 시스템으로부터 반도체제조 장비로 공급된다. 이때, 가스 공급 시스템과 반도체 제조 장치의 연결을 위한 배관은 이음 부위가 없는 하나의 배관으로 연결하는 것이 누설 방지 측면에서 가장 이상적이지만, 이는 배관의 운반 및 설치 그리고, 유지보수 등의 현실적인 측면으로는 불가능하며, 실질적으로는 여러 배관을 서로 연결하여 배기 라인으로 사용하게 된다.

여기서, 배기 라인은 배관과 배관을 서로 연결시켜 형성되고 서로 맞닿은 관의 일단에는 외측으로 연장된 플랜지가 형성되어 있다. 따라서, 이러한 두 관을 연결하여 배기 라인을 형성함에 있어서, 각각의 플랜지를 배기 가스가 리크(leak)되지 않도록 연결 고정키는 것이 중요하다.

따라서, 배관의 이음 부위인 각각의 플랜지를 밀착하여 결합하기 위해 배관 연결용 클램프가 사용된다.

그런데 배기라인의 배관은 챔버를 진공으로 만들어주는 진공펌프와 연결됨에 따라 진공펌프의 가동에 의해 배관내의 진공 상태가 유지되는데 이러한 진공펌프의 가동으로 인한 진동이 배관에 전달됨에 따라 배관이 지속적으로 진동하게 된다.

이러한 배관의 진동이 지속됨에 따라 클램프의 조임너트의 조임 상태가 서서히 풀려서 클램프가 느슨해짐에 따라 진공 배관의 기밀한 연결 상태가 이루어지지 않는 문제가 있다.

상기와 같은 반도체 제조설비의 진공배관에 사용되는 클램프의 일실시예의 구성을 살펴보면, 등록특허공보 제10-1398314호(등록일: 2014년 05월 15일) 배관결속전용의 클램프는,

배관결속전용의 클램프에 있어서, 클램프의 좌측몸체(100)와 우측몸체(200)를 리벳(800)으로 결속하고, 판스프링(300)의 텐션에 의한 원터치로 배관플렌지(910)의 체결을 용이하도록 하고, 로크레버(600)의 나사산(640)과 육각유두렌치볼트(500)의 나사산(510)으로 피치에 의한 정밀조절의 잠금 체결이 이루어지고, 클램프(900)의 내주연인 센터링에 톱니바퀴형상으로 형성된 돌기(110, 210)는 배관플렌지(910)를 견고하게 결속하여 고정하도록 구성되고, 손잡이로 사용될 수 있어 디자인 경량화를 도모하고 산업경쟁력을 향상시킬 수 있는 클램프 외주 연의 사각요부 홈(150, 250)으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또 다른 종래 기술로 등록특허공보 제0-1200719호(등록일: 2012년 11월 05일) 배관 연결용 클램프 장치는,

반도체 제조장비에 사용되는 클램프 장치를 구성함에 있어서,

한쪽은 연결부재의 상측과 제1힌지핀에 결합되고, 다른쪽은 전면으로 끼움홈이 형성되며, 양측면은 서로 통하는 장공이 형성된 제1회전부재;

한쪽은 연결부재의 하측과 제2힌지핀에 결합되고, 다른쪽은 양측면에 고정공이 형성된 제2회전부재;

하부는 고정핀에 의해 제2회전부재의 고정공과 힌지결합되고 상부는 나선부가 형성되어 제1회전부재의 끼움홈에 끼워져 설치되는 체결볼트;

체결볼트의 나선부에 체결되며, 외측둘레에는 다수개의 풀림방지홈이 형성된 너트;

제1회전부재의 장공 내부에 위치하여 제1회전부재의 상면으로부터 수직으로 장공까지 관통되는 고정부재에 회전가능하게 고정될 수 있도록 한쪽에 끼움공이 형성되고, 저면에는 걸림턱이 형성되며, 전면에는 돌출부가 형성되고, 후면에는 걸림돌기가 형성되어 그 걸림돌기가 끼움홈에 끼워지는 너트의 풀림방지홈에 선택적으로 끼워져걸리게 되는 가동부재;

작동부재의 저면에 위치하여 고정부재에 의해 고정되며, 한쪽은 작동부재의 걸림턱에 걸리고, 다른 한쪽은 제1회전부재의 끼움홈 내면에 지지되는 탄성부재;

제1회전부재의 장공을 관통하는 연결부의 양단에는 회전노브가 설치되고, 연결부의 한쪽 외측둘레에는 가동부재의 돌출부를 작동시키는 캠부가 형성된 작동부재;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

그러나 상기와 같은 구성의 배관 연결용 클램프 장치는 클램프의 체결 및 분리를 위한 너트의 진동에 의한 자연풀림을 방지하기 위하여 너트의 일면에 밀착되는 가동부재와 같은 구성을 제공하는데, 이러한 가동부재의 구성에 의하여 체결볼트의 조임 및 해체를 위한 회전시 방해요인이 되어 클램프의 조립 및 분리작업이 어렵고 특히 좁은 공간에서의 클램프 체결 작업시간이 지연되어 작업효율성이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 제조 공정 등에 사용되는 진공배관을 서로 연결하는 클램프에 있어서 진공배관의 진동 또는 외부 충격에 의해서도 체결 상태를 견고하게 유지하는 너트의 자연풀림을 방지하는 기능은 유지하면서도 사용자가 클램프의 체결과 분리 작업시 너트의 회전이 원활하게 이루어질 수 있고 체결 후에는 견고하게 체결된 상태를 유지시킬 수 있는 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프를 제공하는 데 있다.

상기한 본 발명의 목적은, 서로 연결되는 진공 배관의 각 플랜지의 외주면을 감싸는 형태로 고정시키는 진공배관용 클램프에 있어서,

상기 플랜지들이 함께 끼워지는 끼움홈(11)이 형성되며 일측에 구멍(13)과 연통되는 개방홈(12)과 타측에 걸림턱(141)을 갖는 체결공(14)이 일체로 형성된 반원형의 제1 클램프 몸체(10);와,

상기 제1 클램프 몸체(10)와 대칭되는 구조로 내주면에 상기 플랜지들이 함께 끼워지는 끼움홈(21)이 형성되며 일측에 구멍(23)과 연통되는 개방홈(22)과 타측에 끼움공(24)을 갖는 연결홈(25)이 일체로 형성된 반원형의 제 2 클램프 몸체(20);와,

상기 개방홈(12, 22)에 삽입되며 측면에 관통된 한 쌍의 관통공(31)이 각각의 구멍(13, 23)과 동일선상에 위치하여 연결핀(32)으로 고정되어 제1 클램프 몸체(10)와 제2 클램프 몸체(20)를 회전가능하게 연결하는 연결링크(30);와,

상기 제2 클램프 몸체(20)의 연결홈(25)에 일측의 볼트머리(422)가 끼움되고 관통공(421)과 끼움공(24)이 동일선상에 위치한 상태에서 걸림핀(26)으로 회전가능하게 연결되며 타측에 나사부(423)가 형성된 체결볼트(42)와, 상기 나사부(423)에 암나사공(414)이 나사체결되며 상부에서부터 각홈(411)과 머리(412) 및 복수 개의 걸림홈(413)이 일체로 형성되는 너트(41)가 서로 치합되어 이루어진 체결수단(40);과,

상기 볼트머리(422)와 연결홈(25) 사이에 몸체(52)의 연결공(51)이 끼움되며 일측에 쇄기판(53)을 갖는 탄성판(54)이 일체로 형성되어 체결볼트(42)와 독립적으로 회전가능하도록 제2 클램프 몸체(20)에 연결되는 제어수단(50);을 포함하는 것을 특징으로 하는 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프에 의하여 달성된다.

상기 너트(41)의 걸림홈(413)은 일측으로 경사진 쇄기 형태를 갖는 것을 특징으로 한다.

상기 체결수단(40)을 구성하는 너트(41)와 체결볼트(42)의 연결부분에는 걸림턱(431)을 갖는 한 쌍의 와셔(43)가 끼움됨을 특징으로 한다.

상기 너트(42)의 머리(412)는 육각형태를 갖는 것을 특징으로 한다.

이상과 같이 본 발명에 따른 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프는 제1클램프 몸체에 조립되는 너트의 연결부분에 제어수단을 독립적으로 회전 가능하게 조립하여 클램프의 체결시 제어수단을 너트로부터 이격시켜 나사체결이 원활하게 이루어질 수 있으며, 너트를 조임하여 견고하게 클램프를 제결한 후에는 제어수단을 회전시켜 너트의 표면에 형성된 쇄기홈에 걸림되도록 형성함으로써 진공배관에 발생하는 진동에 의하여 너트가 역회전 방향으로 풀어지는 것이 방지됨에 따라 클램프의 체결력을 견고히 유지될 수 있는 효과가 있다.

상기와 같은 제어수단의 구성적 특징에 의하여 클램프의 체결 및 분리시 제어수단을 나사체결 위치로부터 이격시킨 후 조임 또는 풀림작업을 수행함으로써 작업자가 신속하고 정확하게 클램프를 설치하거나 해체할 수 있어 작업의 효율성을 향상시키는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프의 사시도
도 2는 본 발명에 따른 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프의 분해 사시도
도 3은 도 1의 A 부분 확대도
도 4는 본 발명에 따른 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프가 개방된 상태의 단면도
도 5는 본 발명에 따른 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프가 폐쇄된 상태의 단면도

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.

하기에서 설명될 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 본 발명에 따른 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프의 분해 사시도이며, 도 3은 도 1의 A 부분 확대도이다.

도시한 바와 같이 본 발명에 따른 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프(이하, '클램프'라 한다)(100)은 반원 형태의 제1클램프 몸체(10)와 제2클램프 몸체(20)가 일측의 연결링크(30)에 의하여 회전가능하게 연결되며 타측에 체결수단(40)이 형성되어 클램프(100)의 개방과 폐쇄가 이루어진다.

상기 제 1 및 제 2 클램프 몸체(10, 20)는 진공배관(미도시)의 이음 부위, 즉 두 진공배관의 각 플랜지가 맞닿는 부위(이하에서는, '플랜지'라 한다.)를 감싸는 형태로 직접 체결되는 구성으로 진공배관의 플랜지에 상응할 수 있도록 각각 반원형 구조로 제작되며 진공배관에 체결시에 서로 원형 형태로 결합될 수 있도록 대칭을 이룬다.

또한, 제 1 및 제 2 클램프 몸체(10, 20)의 내주면에는 진공배관의 연결 시에 서로 연결되는 진공배관의 각 플랜지가 끼워지는 끼움홈(11, 21)이 둘레 방향으로 연속하게 형성된다.

또한, 상기 제1 및 제2 클램프 몸체(10, 20)의 일측에 연결링크(30)가 삽입되는 개방홈(12, 22)이 각각 형성되며, 상기 개방홈(12, 22)의 양측으로 연결핀(32)이 삽입되는 구멍(13, 23)이 형성된다.

또한, 상기 제1 클램프 몸체(10)의 타측에는 너트(41)가 안착되며 하부에 걸림턱(141)을 갖는 체결공(14)이 형성되고, 제2 클램프 몸체(20)의 타측에는 체결볼트(42)의 일측이 끼움되며 양측에 끼움공(24)이 형성된 연결홈(25)이 형성된다.

또한, 상기 연결홈(25)의 내부에 체결볼트(42)의 일측이 끼움된 상태에서 그 사이 부분으로 제어수단(50)이 끼움되어 연결홈(25)에 제어수단(50)과 체결볼트(42)가 끼워진 상태에서 걸림핀(26)을 삽입하여 제2 클램프 몸체(20)로부터 체결볼트(42)와 제어수단(50)이 각각 독립적으로 회전 가능한 형태로 조립된다.

상기 너트(41)는 상부에서부터 각홈(411)이 형성된 각형의 머리(412)와 일측방향으로 경사진 쇄기형태를 갖는 복수 개의 걸림홈(413) 및 암나사공(414)이 일체로 형성된다.

상기 체결볼트(42)는 하부에 상기 제2 클램프 몸체(20)의 연결홈(25)에 끼움되며 관통공(421)이 형성된 볼트머리(422)와 나사부(423)가 일체로 형성된다.

한편, 상기 체결볼트(42)의 외측으로는 걸림턱(431)을 갖는 한 쌍의 와셔(43)가 끼움된다.

상기 제어수단(50)은 양측에 연결공(51)이 형성된 "ㄷ"형태의 몸체(52) 상부에 내측면으로 돌출된 쇄기판(53)을 갖는 탄성판(54)이 일체로 형성된다.

상기 연결링크(30)는 타원형태를 갖으며 측면으로 한 쌍의 관통공(31)이 형성되어 연결링크(30)의 양측 관통공(31)을 각각의 제 1 및 제 2 클램프 몸체(10, 20)에 형성된 개방홈(12, 22)에 삽입하여 관통공(31)과 구멍(13, 23)을 동일선상에 연통되도록 형성한 후 연결핀(32)으로 체결하여 연결링크(30)를 제 1 및 제 2 클램프 몸체(10, 20)에 연결하여 회전가능하게 몸체(10, 20)를 연결한다.

한편, 상기 연결링크(30)가 형성된 위치의 대항되는 위치에는 각각의 제 1 및 제 2 클램프 몸체(10, 20)의 조임을 위한 체결수단(40)이 형성된다.

상기 체결수단(40)은 앞서 설명한 바와 같이 제1 클램프 몸체(10)에 형성되는 너트(41)와 제2 클램프 몸체(20)에 조립되는 체결볼트(42) 및 상기 체결볼트(42)의 외측에 조립되는 제어수단(50)으로 구성된다.

즉, 상기 체결수단(40)은 도 3에 도시한 바와 같이 상기 체결수단(40)은 제1 클램프 몸체(10)와 제2 클램프 몸체(20) 내부에 플랜지를 안착시킨 후 끝부분을 근접하여 플랜지 외주면을 몸체(10, 20)의 끼움홈(11, 21)이 밀착되도록 형성한 후 제2 클램프 몸체(20)에 형성된 체결볼트(42)를 회전시켜 제1 클램프 몸체(10)의 볼트체결공(14)에 끼움하고 너트(41)의 암나사공(414)을 나사부(423)에 나사체결하여 제1, 제2 클램프 몸체(10, 20)를 조임한다.

이때, 나사체결되는 너트(41)의 외주면에 형성된 복수 개의 걸림홈(413)에 제2 클램프 몸체(20)와 연결된 제어수단(50)의 쇄기판(53)이 끼움되어 진동이나 외부 충격에 의하여 나사체결된 너트가 자연적으로 회전하는 것을 기계적으로 방지함으로서 클램프의 조임상태를 견고하게 유지할 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 체결볼트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프의 동작과정을 도 4 내지 도 5를 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 따른 체결볼트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프가 개방된 상태의 단면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 체결볼트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프가 폐쇄된 상태의 단면도이다.

도시한 바와 같이 제1 클램프 몸체(10)와 제2 클램프 몸체(20)가 일측의 연결링크(30)를 통하여 회전하여 일측을 개방하고 각각의 플랜지를 몸체(10, 20)의 끼움홈(11, 21)에 안착한 상태에서 제1, 2클램프 몸체(10, 20)를 플랜지에 밀착시키고 체결수단(40)의 너트(41)를 제1 클램프 몸체(10)의 체결공(14)이 끼움하여 밀착된 상태를 유시시킨다.

이때, 상기 너트(41)는 도 4에 도시한 바와 같이 체결볼트(42)와 일부분이 나사체결된 상태에서 자연회전이 가능한 형태로 형성되어 쉽게 너트(41)를 회전하여 체결공(14)에 끼움할 수 있다.

상기와 같이 제1, 2클램프 몸체(10, 20)가 플랜지의 외면에 말착된 상태에서 체결공(14)에 끼움된 너트(41)를 조임하여 제1, 2 클램프 몸체(10, 20)를 플랜지의 외면에 밀착 가압하여 플랜지를 견고하게 밀착한다.

즉, 도 5에 도시한 바와 같이 너트(41)를 회전하여 제 1 클램프 몸체(10)의 체결공(14)에 위치시킴과 동시에 하부의 와셔(43)가 체결공(14)의 걸림턱(141)에 안착시킨 후 너트(41)를 회전시켜 나사부(423)와 나사체결된 상태를 조임함으로써 제1, 2클램프 몸체(10, 20)가 서로 조임되어 내부 플랜지를 가압하여 견고하게 밀착한다.

더욱이, 상기 제 1 클램프 몸체(10)의 연결홈(25)에 체결볼트(42)와 같이 회전 가능하게 연결된 제어수단(50)을 회전시켜 상기 제어수단(50)에 형성된 쇄기판(53)을 너트(41)의 걸림홈(413)에 삽입함으로써 진동 및 충격에 의하여 너트(41)가 자연회전하는 것을 방지할 수 있어 견고한 체결상태를 유지할 수 있다.

상기와 같이 클램프를 체결 및 분리하는 과정에서 제1 2 클램프 몸체(10, 20)의 조임 및 풀림을 위한 너트(41)의 회전이 사용자에 의하여 제어수단(50)이 해제된 상태로 이루어질 수 있어 클램프의 체결 및 분리작업이 쉽게 이루어질 수 있으며, 클램프가 체결된 후에는 제어수단(50)의 쇄기판(53)을 너트(41)의 걸림홈(413)에 끼움하여 회전을 방지함으로써 진동 및 충격에 따른 너트의 자연회전을 방지할 수 있어 안정적인 체결상태를 유지할 수 있는 특징이 있다.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어 졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.

10 : 제1 클램프 몸체 11 : 끼움홈
12 : 개방홈 13 : 구멍
14 : 체결공 141 : 걸림턱
20 : 제2 클램프 몸체 21 : 끼움홈
22 : 개방홈 23 : 구멍
24 : 끼움공 25 : 연결공
26 : 걸림핀 54 : 탄성판
30 : 연결링크 31 : 관통공
32 : 연결핀 40 : 체결수단
41 : 너트 411 : 각홈
412 : 볼트머리 413 : 걸림홈
414 : 암나사공 42 : 체결볼트
421 : 관통공 422 : 볼트머리
423 : 나사부 43 : 와셔
50 : 제어수단 51 : 연결공
52 : 몸체 53 : 쇄기판

Claims (4)

1. 서로 연결되는 진공 배관의 각 플랜지의 외주면을 감싸는 형태로 고정시키는 진공배관용 클램프에 있어서,
   상기 플랜지들이 함께 끼워지는 끼움홈(11)이 형성되며 일측에 구멍(13)과 연통되는 개방홈(12)과 타측에 걸림턱(141)을 갖는 체결공(14)이 일체로 형성된 반원형의 제1 클램프 몸체(10);와,
   상기 제1 클램프 몸체(10)와 대칭되는 구조로 내주면에 상기 플랜지들이 함께 끼워지는 끼움홈(21)이 형성되며 일측에 구멍(23)과 연통되는 개방홈(22)과 타측에 끼움공(24)을 갖는 연결홈(25)이 일체로 형성된 반원형의 제 2 클램프 몸체(20);와,
   상기 개방홈(12, 22)에 삽입되며 측면에 관통된 한 쌍의 관통공(31)이 각각의 구멍(13, 23)과 동일선상에 위치하여 연결핀(32)으로 고정되어 제1 클램프 몸체(10)와 제2 클램프 몸체(20)를 회전가능하게 연결하는 연결링크(30);와,
   상기 제2 클램프 몸체(20)의 연결홈(25)에 일측의 볼트머리(422)가 끼움되고 관통공(421)과 끼움공(24)이 동일선상에 위치한 상태에서 걸림핀(26)으로 회전가능하게 연결되며 타측에 나사부(423)가 형성된 체결볼트(42)와, 상기 나사부(423)에 암나사공(414)이 나사체결되며 상부에서부터 각홈(411)과 머리(412) 및 복수 개의 걸림홈(413)이 일체로 형성되는 너트(41)가 서로 치합되어 이루어진 체결수단(40);과,
   상기 볼트머리(422)와 연결홈(25) 사이에 몸체(52)의 연결공(51)이 끼움되며 일측에 쇄기판(53)을 갖는 탄성판(54)이 일체로 형성되어 체결볼트(42)와 독립적으로 회전가능하도록 제2 클램프 몸체(20)에 연결되는 제어수단(50);을 포함하는 것을 특징으로 하는 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 너트(41)의 걸림홈(413)은 일측으로 경사진 쇄기 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 체결수단(40)을 구성하는 너트(41)와 체결볼트(42)의 연결부분에는 걸림턱(431)을 갖는 한 쌍의 와셔(43)가 끼움됨을 특징으로 하는 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 너트(41)의 머리(412)는 육각형태를 갖는 것을 특징으로 하는 너트 제어수단을 갖는 진공배관용 클램프.

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