KR100920209B1

KR100920209B1 - 진공배관용 클램프

Info

Publication number: KR100920209B1
Application number: KR1020070084594A
Authority: KR
Inventors: 김종환
Original assignee: 주식회사 에스엠아이
Priority date: 2007-08-22
Filing date: 2007-08-22
Publication date: 2009-10-05
Also published as: KR20090020126A

Abstract

본 발명은 진공배관용 클램프에 관한 것으로, 그 목적은 진공배관 등과 같이 지속적인 진동이 발생되는 배관을 클램프를 사용하여 연결하였을 때 배관으로 부터 전달되는 진동으로 인해 클램프의 조임부가 서서히 풀려 배관의 기밀성이 저하되어 진공배관의 진공상태의 유지에 막대한 지장을 초래하는 것을 확실히 방지할 수 있는 진공배관용 클램프를 제공하는 것이며, 그 구성은 진공배관용 클램프에 있어서, 상기 클램프는 내주면을 따라 플랜지조립홈을 갖는 반원형상으로서, 일단부에 외향으로 직각되게 형성되고 끝단면에 내향으로 오목하게 형성되는 볼트조힙홈을 갖는 체결부와, 일단부측 일측면에 장착되는 스냅결합부재를 구비하는 제1 클램프부재와; 내주면을 따라 플랜지조립홈을 갖는 반원형상으로서, 상기 제1 클램프부재의 타단부로부터 회동부재의 연결 조립으로 회동가능하게 힌지결합되는 제2 클램프부재와; 일단부에 결합부를 갖는 볼트로서, 상기 결합부가 상기 제1 클램프부재의 타단부에 선회전가능하게 힌지결합되는 체결볼트와; "ㄷ"자 형상으로 절곡형성된 단면을 갖는 막대형상으로서, 상면 일단부측이 절취형성된 커버로서, 타단부측 일측면에 관통형성되어 상기 제1 클램프부재의 스냅결합부재와 스냅결합되는 스냅결합공과, 타단부측 천정면에 돌출형성되는 스토퍼를 일체로 갖고, 일단부가 상기 제2 클램프부재의 타단부에 회동가능하게 힌지결합되는 풀림방지커버와; 일단부에 형성되는 너트부와, 단부 중앙부에 길이방향으로 관통형성되는 볼트공과, 타단부 외주면을 따라 길이방향으로 오목하게 형성되는 풀림방지홈을 갖고, 상기 체결볼트와 볼트공이 풀림 및 조임가능하게 상호조립되는 체결너트로 구성되어 단부에 플랜지를 갖는 진공배관을 기밀하게 상호 연결하는 것을 특징으로 한다.

반도체 소자, 가공공정, 진공배관, 파우더, 파우더 트랩

Description

진공배관용 클램프{A clamp for vacuum pipe}

본 발명은 진공배관용 클램프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조공정시 메인장비내의 진공상태를 유지시키기 위한 다수개의 진공배관 라인이 설치되고, 이러한 진공배관라인들은 지속적인 진동이 발생되는데 진동에 의한 풀림 현상 없이 기밀상태를 유지하면서 진공배관의 연결상태를 견고하게 유지시킬 수 있는 구조를 갖도록 한 진공배관용 클램프에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자의 가공공정은 크게 산화 및 확산(OXIDATION / DIFFUSION)공정, 박막증착(CVD / ION IMPLANTATION METALIZATION)공정, 식각(WET / DRY ETCH)공정 및 사진(PHOTO LITHOGRAPHY)공정 등으로 나뉘어 지며, 이러한 반도체 소자의 가공공정은 모두 진공상태에서 이루어짐으로 각 공정을 실시하는 메인장치에는 각각의 진공배관라인을 구비하고 있다.

이러한 진공배관라인은 진공펌프와 연통되게 연결되고 상기 진공펌프의 가동에 의해 진공배관라인내의 진공상태가 유지되게 되는데 이러한 진공펌프의 가동으로 인한 진동이 진공배관라인을 따라 전달됨으로 진공배관라인은 지속적으로 진동이 발생된다.

본 발명은 이러한 진공배관을 상호 연결하는데 사용되는 진공배관용 클램프에 관한 것으로, 이하 본 명세서에서는 진공배관용 클램프에 대하여만 기술된다는 것을 양지하기 바란다.

도 1은 종래의 진공배관용 클램프를 도시한 사시도이며, 도 2a 내지 도 2c는 종래의 진공배관용 클램프의 체결순서를 예시한 체결순서설명도이다.

도 1 내지 도 2c를 참조하면, 종래의 진공배관용 클램프(a)는 제1 및 제2 클램프부재(b)(c)와, 체결볼트(d)와, 체결너트(e)로 구성된다.

상기 제1 클램프부재(b)는 내주면을 따라 각기 플랜지조립홈이 오목하게 형성된 반원형의 테로서, 일단부에 외향으로 직각되게 돌출형성되고, "U"자형상의 홈(b2)이 오목하게 형성된 체결부(b1)를 일체로 갖고 있다.

상기 제2 클램프부재(c)는 상기 제1 클램프부재(b)와 같이, 내주면을 따라 각기 플랜지조립홈이 오목하게 형성된 반원형의 테로서, 일단부에 외향으로 직각되게 돌출형성되고, "U"자형상의 홈(c2)이 오목하게 형성된 체결부(c1)를 일체로 갖고 있다.

상기 제1 및 제 2클램프부재(b)(c)는 대응되는 일단부가 힌지부재(f)에 의해 회동가능하게 힌지결합되어 있다.

상기 체결볼트(d)는 일단부에 뭉치형태의 결합부(도시되지 않음)을 갖는 볼트로서 상기 결합부가 상기 제1 클램프부재(b)의 체결부(b1)에 회동가능하게 힌지결합되며, 상기 체결너트(e)는 통상의 너트로서, 상기 체결볼트(d)와 결합되어 상기 제1 및 제2 클램프부재(b)(c)의 체결부를 고정결합시킨다.

상기와 같은 구성을 갖는 종래의 진공배관용 클램프(a)는 단면이 맞닿은 진공배관의 플랜지가 상기 제1 및 제2 클램프부재(b)(c)의 플랜지조립홈내로 끼워지도록 제1 및 제2 클램프부재(b)(c)를 벌려 진공배관의 플랜지를 감싸도록 조립시킨 후 상기 체결볼트(d)를 회동시켜 제2 클램프부재(c)의 홈(c2)에 배치시킨 후 상기 체결너트(e)를 조임으로서 제1 및 제2 클램프부재(b)(c)가 내향으로 조여짐면서 진공배관의 맞닿은 플랜지를 밀착시켜 진공배관을 기밀하게 연결하도록 되어 있다.

그러나, 이러한 종래의 진공배관용 클램프(a)는 진공배관의 진동이 지속됨에 따라 상기 체결너트(e)의 조임상태가 서서히 풀려 클램프(a)가 느슨해짐으로서 진공배관의 기밀한 연결상태가 해제된다는 문제점이 있었다.

본 발명은 종래의 문제점을 고려하여 안출한 것으로서, 그 목적은 진공배관 등과 같이 지속적인 진동이 발생되는 배관을 클램프를 사용하여 연결하였을 때 배관으로 부터 전달되는 진도응로 인해 클램프의 조임부가 서서히 풀려 배관의 기밀성이 저하되어 진공배관의 진공상태의 유지에 막대한 지장을 초래하는 것을 확실히 방지할 수 있는 진공배관용 클램프를 제공하는 것이다.

상기 본 발명의 목적은 진공배관용 클램프에 있어서, 상기 클램프는 내주면을 따라 플랜지조립홈을 갖는 반원형상으로서, 일단부에 외향으로 직각되게 형성되고 끝단면에 내향으로 오목하게 형성되는 볼트조힙홈을 갖는 체결부와, 일단부측 일측면에 장착되는 스냅결합부재를 구비하는 제1 클램프부재와; 내주면을 따라 플랜지조립홈을 갖는 반원형상으로서, 상기 제1 클램프부재의 타단부로부터 회동부재의 연결 조립으로 회동가능하게 힌지결합되는 제2 클램프부재와; 일단부에 결합부를 갖는 볼트로서, 상기 결합부가 상기 제1 클램프부재의 타단부에 선회전가능하게 힌지결합되는 체결볼트와; "ㄷ"자 형상으로 절곡형성된 단면을 갖는 막대형상으로서, 상면 일단부측이 절취형성된 커버로서, 타단부측 일측면에 관통형성되어 상기 제1 클램프부재의 스냅결합부재와 스냅결합되는 스냅결합공과, 타단부측 천정면에 돌출형성되는 스토퍼를 일체로 갖고, 일단부가 상기 제2 클램프부재의 타단부에 회동가능하게 힌지결합되는 풀림방지커버와; 일단부에 형성되는 너트부와, 단부 중앙부에 길이방향으로 관통형성되는 볼트공과, 타단부 외주면을 따라 길이방향으로 오목하게 형성되는 풀림방지홈을 갖고, 상기 체결볼트와 볼트공이 풀림 및 조임가능하게 상호조립되는 체결너트로 구성되어 단부에 플랜지를 갖는 진공배관을 기밀하게 상호 연결하는 것을 특징으로 하는 진공배관용 클램프에 의해 달성될 수 있는 것이다.

본 발명에 따른 진공배관용 클램프는 풀림방지커버에 의해 체결너트의 조임상태가 풀려지는 것이 확실히 방지됨으로서, 진공배관으로부터 전달되는 진동으로 인한 클램프의 헐거워짐을 확실히 예방할 수 있는 효과를 갖는다.

이하, 본 발명에 따른 진공배관용 클램프에 대한 구체적인 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 체결상태를 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 해제상태를 도시한 사시도이고, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 체결순서를 예시한 체결순서설명도이고, 도 5는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 체결볼트, 체결너트 및 풀림방지커버가 체결된 상태에서 단면하여 확대 도시한 부분확대 단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 클램프를 사용하여 진공배관을 연결시킨 상태를 개략적으로 도시한 설치상태 단면도이다.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 진공배관용 클램프(100)는 제1 및 제2 클램프부재(20)(10)와, 체결볼트(70)와, 풀림방지커버(40)와, 체결너트(50) 로 구성되어 단부에 플랜지(210)를 갖는 진공배관(200)을 기밀하게 상호 연결시킨다.

상기 제1 클램프부재(20)는 내주면을 따라 플랜지조립홈을 갖는 반원형상으로서, 일단부에 외향으로 직각되게 형성되고 끝단면에 내향으로 오목하게 형성되는 볼트조립홈(22)을 갖는 체결부와, 일단부측 일측면에 장착되는 스냅결합부재(21)를 구비한다.

상기 스냅결합부재(21)로는 스냅결합이 원활하게 이루어질 수 있도록 회전가능하게 장착되는 볼을 사용하는 것이 바람직하다.

상기 제2 클램프부재(10)는 상기 제1 클램프부재(20)와 같이, 내주면을 따라 플랜지조립홈을 갖는 반원형상으로서, 상기 제1 클램프부재(20)의 타단부와 일단부가 회동가능하게 힌지결합된다.
상기 제1 클램프부재(20)와 제2 클램프부재(10)의 상호 연결은 각 대응되는 단부측에 힌지부재(30)의 연결로서 회동가능하게 설치된다. 상기 힌지부재(30)를 기점으로 상기 제1 클램프부재(20) 및 제2 클램프부재(10)는 원형으로 오므려지거나 도 4에서와 같이 벌려질 수 있도록 결합된 것이다.

상기 체결볼트(70)는 일단부에 결합부를 갖는 볼트로서, 상기 결합부가 상기 제1 클램프부재(20)의 타단부에 선회전가능하게 힌지결합된다.

상기 풀림방지커버(40)는 "ㄷ"자 형상으로 절곡형성된 단면을 갖는 막대형상으로서, 상면 일단부측이 절취형성된 커버로서, 타단부측 일측면에 관통형성되어 상기 제1 클램프부재(20)의 스냅결합부재(21)와 스냅결합되는 스냅결합공(41)과, 타단부측 천정면에 돌출형성되는 스토퍼(42)를 일체로 갖고, 일단부가 상기 제2 클램프부재(10)의 타단부에 회동가능하게 힌지결합된다.

상기 스토퍼(42)는 상기 체결너트(50)의 풀림방향과 대응되는 면이 수직면을 형성하고, 조임방향과 대응되는 면이 경사면을 형성하는 삼각형상을 갖는다.

상기 체결너트(50)는 일단부에 형성되는 너트부와, 단부 중앙부에 길이방향으로 관통형성되는 볼트공과, 타단부 외주면을 따라 길이방향으로 오목하게 형성되는 풀림방지홈(51)을 갖고, 상기 체결볼트(70)와 볼트공이 풀림 및 조임가능하게 상호조립된다.

상기 풀림방지홈(51)은 상기 스토퍼(42)와 상응하는 삼각형상 단면을 갖도록 형성되어 상기 스토버(42)와 조립되었을 때 체결너트(50)가 조임방향으로 회전되는 것은 허용되지만 풀림방향으로 회전되는 것은 허용하지 않기 때문에 상기 풀림방지커버(40)가 체결너트(50)의 상측에 덮혀져 스토퍼(42)와 풀림방지홈(51)이 조립된 상태일땐 체결너트(50)의 풀림 자체가 불가능하게 되는 것이다.

또한, 상기 체결너트(50)의 단면과 제1 클램브부재(20)의 체결부 사이에는 부싱(60)이 조립되어 체결너트(50)의 조임시 작동을 원활하게 하는 동시에 진동으로 인한 체결너트(50)의 풀림지는 것을 저지한다.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프(100)는 제1 및 제2 클램프부재(20)(10)을 벌여 진공배관(200)의 맞닿은 플랜지(210)을 에워싸도록 플랜지(210)와 조립시켜 오므린 후 상기 체결볼트(70)를 회동시켜 제1 클램프부재(20)의 볼트조립홈(22)에 배치시킨 다음, 상기 체결너트(50)를 조임방향으로 회전시킴으로서 제1 및 제2 클램프부재(20)(10)가 진공배관(200)의 플랜지(210)를 기밀하게 충분히 조여 기밀하게 연결되도록 한 다음 상기 풀림방지커버(40)을 풀림방지커버(40)의 스냅결합공(41)과 제1 클램프부재(20)의 스냅결합부재(21)가 스냅결합될 때까지 제1 클램프부재(20) 방향으로 회동시키면 풀림방지커버(40)의 스토퍼(42)와, 체결너트(50)의 풀림방지홈(51)이 조립됨으로서 체결너트(50)이 완전하게 고정되며, 이러한 고정상태는 상기 풀림방지커버(40)의 스냅결합을 해제시키기 전까지 유지될 수 있는 것이다.

도 1은 종래의 진공배관용 클램프를 도시한 사시도.

도 2a 내지 도 2c는 종래의 진공배관용 클램프의 체결순서를 예시한 체결순서설명도.

도 3은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 체결상태를 도시한 사시도.

도 4는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 해제상태를 도시한 사시도.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 체결순서를 예시한 체결순서설명도.

도 6은 본 발명에 따른 진공배관용 클램프의 체결볼트, 체결너트 및 풀림방지커버가 체결된 상태에서 단면하여 확대 도시한 부분확대 단면도.

도 7은 본 발명에 따른 클램프를 사용하여 진공배관을 연결시킨 상태를 개략적으로 도시한 설치상태 단면도.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***

10: 제2 클램프부재 20: 제1 클램프부재

30: 힌지부재 40: 풀림방지커버

50: 채결너트 60: 부싱

70: 체결볼트 100: 클램프

200: 진공배관 210: 플랜지

Claims

진공배관용 클램프에 있어서,

상기 클램프(100)는,

내주면을 따라 플랜지조립홈을 갖는 반원형상으로서, 일단부에 외향으로 직각되게 형성되고 끝단면에 내향으로 오목하게 형성되는 볼트조립홈(22)을 갖는 체결부와, 일단부측 일측면에 장착되는 스냅결합부재(21)를 구비하는 제1 클램프부재(20)와;

내주면을 따라 플랜지조립홈을 갖는 반원형상으로서, 상기 제1 클램프부재(20)의 타단부로부터 회동부재(30)의 연결 조립으로 회동가능하게 힌지결합되는 제2 클램프부재(10)와;

일단부에 결합부를 갖는 볼트로서, 상기 결합부가 상기 제1 클램프부재(20)의 타단부에 선회전가능하게 힌지결합되는 체결볼트(70)와;

"ㄷ"자 형상으로 절곡형성된 단면을 갖는 막대형상으로서, 상면 일단부측이 절취형성된 커버로서, 타단부측 일측면에 관통형성되어 상기 제1 클램프부재(20)의 스냅결합부재(21)와 스냅결합되는 스냅결합공(41)과, 타단부측 천정면에 돌출형성되는 스토퍼(42)를 일체로 갖고, 일단부가 상기 제2 클램프부재(10)의 타단부에 회동가능하게 힌지결합되는 풀림방지커버(40)와;

일단부에 형성되는 너트부와, 단부 중앙부에 길이방향으로 관통형성되는 볼트공과, 타단부 외주면을 따라 길이방향으로 오목하게 형성되는 풀림방지홈(51)을 갖고, 상기 체결볼트(70)와 볼트공이 풀림 및 조임가능하게 상호조립되는 체결너트(50)로 구성되어 단부에 플랜지(210)를 갖는 진공배관(200)을 기밀하게 상호 연결하는 것을 특징으로 하는 진공배관용 클램프.
제1항에 있어서,

상기 체결너트(50)의 단면과 제1 클램브부재(20)의 체결부 사이에는 부싱(60)이 조립되는 것을 특징으로 하는 진공배관용 클램프.
제1항에 있어서,

상기 스냅결합부재(21)는 회전가능하게 장착되는 볼인 것을 특징으로 하는 진공배관용 클램프.
제1항에 있어서,

상기 풀림방지커버(40)의 스토퍼(42)는 상기 체결너트(50)의 풀림방향과 대응되는 면이 수직면을 형성하고, 조임방향과 대응되는 면이 경사면을 형성하는 삼각형상이며;

상기 체결너트(50)의 풀림방지홈(51)은 상기 스토퍼(42)와 상응하는 삼각형상 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 진공배관용 클램프.