KR101017961B1

KR101017961B1 - 진공 배관용 클램프

Info

Publication number: KR101017961B1
Application number: KR1020100097594A
Authority: KR
Inventors: 김기남; 박영상
Original assignee: 주식회사 엠아이
Priority date: 2010-07-27
Filing date: 2010-10-07
Publication date: 2011-03-02

Abstract

반도체 제조 공정 시 메인장비 내의 진공상태를 유지시키기 위한 다수개의 진공배관 라인이 설치되고, 이러한 진공배관라인들은 지속적인 진동이 발생되며 그 진동에 의한 풀림 현상 없이 기밀 상태를 유지하면서 진공배관의 연결 상태를 견고하게 유지시킬 수 있도록 한 개량된 진공 배관용 클램프에 관한 것이다. 진공 배관용 클램프는 센터링을 사이에 두고, 제1 배관의 제1 플랜지와 제2 배관의 제2 플랜지가 서로 접촉된 상태에서 분리 가능하게 고정시키기 위한 것으로, 내경으로 상기 제1 플랜지와 제2 플랜지의 제1 삽입홈이 형성되는 반원형의 제1 클램프를 포함한다. 반원형의 제2 클램프는 내경으로 제1 플랜지와 제2 플랜지의 제2 삽입홈이 형성된다. 연결링크는 제1 클램프와 제2 클램프의 자유단에 회동 가능하도록 양단이 힌지 결합된다. 록킹부재는 제1 클램프에 일단이 힌지 결합되며, 타단은 제2 클램프에 분리 가능하게 서로 결합된다. 제2 클램프의 자유단에는 고정홈을 갖는 고정 단턱이 제공되는 것을 특징으로 한다.

Description

진공 배관용 클램프{Clamp for vacuum line}

본 발명은 진공 배관용 클램프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정 시 메인장비 내의 진공상태를 유지시키기 위한 다수개의 진공배관 라인이 설치되고, 이러한 진공배관라인들은 지속적인 진동이 발생되며 그 진동에 의한 풀림 현상 없이 기밀 상태를 유지하면서 진공배관의 연결 상태를 견고하게 유지시킬 수 있도록 한 개량된 진공 배관용 클램프에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조 공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어진다. 전 공정은 각종 프로세스 챔버 내에서 웨이퍼(Wafer) 상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 에칭하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공함으로써, 반도체 칩(Chip)을 제조하는 공정이다. 또한 후공정은 전 공정에서 제조된 칩을 개별적으로 분리한 후, 리드 프레임과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 말한다.

이때, 웨이퍼 상에 박막을 증착하거나 웨이퍼 상에 증착된 박막을 에칭하는 공정의 경우에는, 프로세스 챔버 내에서 유해 가스를 사용하여 고온에서 수행된다. 이러한 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 가스 등이 다량 발생한다. 즉, 챔버 내부에서는 유해 가스의 약 30% 만 웨이퍼의 표면에 증착되고, 일부 반응하지 않은 가스는 배출되는 것이다.

이에, 프로세스 챔버를 진공상태로 만들어 주는 진공펌프의 후단에는, 프로세스 챔버로부터 배출되는 가스를 정화한 후 대기로 방출하기 위한 스크러버가 설치된다.

이러한 진공배관라인은 진공펌프와 연이어 통하게 연결되고, 진공펌프의 가동에 의해 진공배관라인 내의 진공 상태가 유지되게 되는데 이러한 진공펌프의 가동으로 인한 진동이 진공배관라인을 따라 전달됨으로 진공배관라인은 지속적으로 진동이 발생된다.

그러나 이러한 종래의 진공배관용 클램프는 진공 배관의 진동이 지속됨에 따라 체결너트의 조임 상태가 서서히 풀려 클램프가 느슨해짐으로서 진공 배관의 기밀한 연결 상태가 해제된다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 록킹 스프링과 보호 브라켓을 포함한 다중의 록킹부재를 이용하여 두 개의 배관의 플랜지를 고정시켜 보다 견고한 결합 상태를 유지할 수 있으며, 풀림방지부재에 의해 외부의 충격 등으로부터 록킹부재가 저절로 풀리는 것을 방지할 수 있는 진공 배관용 클램프를 제공하는 데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은
센터링을 사이에 두고, 제1 배관의 제1 플랜지와 제2 배관의 제2 플랜지가 서로 접촉된 상태에서 분리 가능하게 고정시키기 위한 진공 배관용 클램프로서,
내경으로 상기 제1 플랜지와 제2 플랜지의 제1 삽입홈이 형성되는 반원형의 제1 클램프;
내경으로 상기 제1 플랜지와 제2 플랜지의 제2 삽입홈이 형성되는 반원형의 제2 클램프;
상기 제1 클램프와 제2 클램프의 자유단에 회동 가능하도록 양단이 힌지 결합되는 연결링크; 및
상기 제1 클램프에 일단이 힌지 결합되며, 타단은 제2 클램프에 분리 가능하게 서로 결합되는 록킹부재;를 포함하여 구성되고,
상기 록킹부재는 상기 제1 클램프에 회동 가능하게 일단이 힌지 결합되며, 외주면에는 나사산이 제공되어 상기 제2 클램프의 고정 단턱으로 분리 가능하게 결합되는 볼트부; 및 상기 볼트부의 외주면에 나사 결합되도록 내경의 길이 방향으로 나사공이 관통되며, 상기 제2 클램프의 고정홈으로 분리 가능하게 결합되는 너트부; 를 포함되고,
상기 너트부의 외주면에는 제1 기어부가 형성되고, 상기 제1 기어부와 상응한 위치의 제2 클램프에는 작동실이 제공되되, 상기 작동실에는 상기 너트부의 풀림방지부재가 추가로 제공되며, 상기 작동실과 연이어 통하도록 제2 클램프의 측벽으로 수직 안내공이 제공되고, 상기 제2 클램프의 자유단에는 고정홈을 갖는 고정 단턱이 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프를 제공함으로써 달성되는 것이다.
여기서, 상기 제1 삽입홈과 제2 삽입홈의 양측 내벽에는 적어도 하나 이상의 접촉 완충홈이 형성되는 것이 바람직하다.
상기 제2 클램프에는 상기 고정 단턱으로부터 연이어 이탈 방지홈이 제공되는 것이 바람직하다.
상기 볼트부에는 양측으로 와셔를 갖는 제1 스프링이 결합되어 상기 너트부가 상기 제2 클램프의 고정홈에서 탄성 지지될 수 있게 한 것이 바람직하다.
상기 볼트부의 일단은 육각 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
상기 제1 클램프의 자유단에 일단은 회동 가능하게 힌지 결합되며, 타단은 분리 가능하게 제2 클램프에 결합되어 상기 제1 스프링 및 와셔가 외부에 노출되지 않게 하는 보호 브라켓이 추가로 제공되는 것이 바람직하다.
상기 풀림방지부재는 상기 너트부의 제1 기어부에 순차적으로 접촉되도록 걸림돌기가 일측으로 돌출되며 일단은 수직 안내공 내에서 상하로 회동 가능하도록 상기 작동실 내에서 힌지 결합되는 역회전 방지구; 및 상기 역회전 방지구의 힌지 결합된 부위에 상기 역회전 방지구를 항상 밀어 상기 너트부의 제1 기어부에 접촉되도록 작동실 내에 제공되는 제2 스프링; 을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제2 클램프에는 상기 작동실의 방향으로 전,후진 작동되는 볼 플런저가 제공되되, 상기 너트부가 시계 방향 회전될 때에는 상기 역회전 방지구로부터 이격된 상태로 하고, 상기 너트부가 반시계 방향으로 회전될 때에는 상기 역회전 방지구를 눌러 움직이지 않도록 한 것이 바람직하다.
상기 볼 플런저는 상기 연결링크에 대하여 수평이 되며, 전,후진 가능하도록 제2 클램프에 나사 결합되며, 내부에는 나사산이 일부 형성되는 플런저 몸체; 상기 플런저 몸체의 내부에 끼워지는 제3 스프링; 및 상기 제3 스프링의 탄성력에 의해 상기 역회전 방지구를 눌러 움직이지 않도록 고정시키는 고정볼; 을 포함하는 것이 바람직하다.

삭제

본 발명에 따른 진공 배관용 클램프에 의하면, 제1 배관의 제1 플랜지와 제2 배관의 제2 플랜지는 서로 마주보며 접촉된 상태로 한다. 이어 제1 클램프와 제2 클램프로 제1,2 플랜지를 눌러 록킹부재에 의해 고정시킨다. 이때, 록킹 부재는 볼트부에 너트부로 나사 결합시켰을 때 1차적으로 스프링으로 탄력 지지될 수 있게 하고, 2차적으로 플림방지부재에 의해 너트부의 풀림이 방지될 수 있게 하고, 3차적으로 보호 브라켓에 의해 록킹 부재를 감싸 주어 보다 향상된 결합 상태를 유지할 수 있도록 한다.

도 1은 본 발명에 따른 진공 배관용 클램프의 사진;
도 2는 도 1에서 보호 브라켓을 록킹부재로부터 재껴진 상태의 사진;
도 3은 도 1에서 도 1에서 제1 클램프와 제2 클램프를 서로에 대하여 펼친 상태의 사진;
도 4는 도 3에서 제1 배관, 제2 배관 및 록킹 부재를 분해한 상태의 사진;
도 5는 본 발명에 따른 진공 배관용 클램프의 사시도;
도 6은 도 5의 정면도;
도 7은 도 5의 평면도;
도 8은 도 5의 우측면도;
도 9은 도 6의 A - A 선에 따라 절개한 상태의 도면;
도 10은 도 5에서 제1 기어부 및 제2 클램프를 따라 수직으로 절개한 상태의 도면;
도 11은 록킹부재에 의해 제1 클램프와 제2 클램프를 고정시킨 상태의 도면; 및
도 12는 도 11에서 "B"의 부분 확대도로, (a)는 제2 클램프에 볼 플런저를 끼우기 이전이고, (b)는 제2 클램프에 볼 플런저를 끼운 상태이다.
도 13은 도 11에서 “B"의 부분 확대도로, (a)는 역회전 방지구를 상승시킨 상태이고, (b)는 역회전 방지구를 하강시킨 상태이다.

이하에서는, 실시예를 통해 본 발명의 내용을 첨부된 도면을 참조하여 상술한다. 하기 실시예는 예시에 불과한 것으로서 본 발명의 권리범위를 제한하는 것이 아님은 물론이다.

도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명은, 센터링(CR)을 사이에 두고, 제1 배관(P10)의 제1 플랜지(P12)와 제2 배관(P20)의 제2 플랜지(P22)가 서로 접촉된 상태에서 분리 가능하게 고정시키기 위한 진공 배관용 클램프(100)이다. 센터링(CR)은 금속 재질로 된 부분과 그 바깥으로 고무 재질로 된 부분이 제공된다. 그 고무 재질로 된 부분은 제1 플랜지(P12)와 제2 플랜지(P22)의 접촉면에 기밀을 확보하기 위함이다.

진공 배관용 클램프(100)는 제1 클램프(110)와 제2 클램프(120)를 포함한다. 제1 클램프(110)는 내경으로 제1 플랜지(P12)와 제2 플랜지(P22)의 제1 삽입홈(112)이 형성된다. 제1 클램프(110)는 반원형으로 형성됨이 바람직하다.

제2 클램프(120)는 제1 플랜지(P12)와 제2 플랜지(P22)의 제2 삽입홈(122)이 형성된다. 제2 클램프(120)는 제1 클램프(110)와 마찬가지로 반원형으로 형성되는 것이 바람직하다. 고정 단턱(124)은 제2 클램프(120)의 자유단에 제공된다. 접촉 완충홈(114)은 제1 삽입홈(112)과 제2 삽입홈(122)의 양측 내벽에는 적어도 하나 이상 형성되는 것이 바람직하다. 접촉 완충홈(114)은 제1,2 플랜지(P12)(P22)가 제1,2 삽입홈(112)(122)에서의 접촉 면적이 최대로 감소되어 조임력을 향상시킬 수 있게 된다. 이탈 방지홈(128)은 고정 단턱(124)으로부터 연이어 제2 클램프(120)에 제공되는 것이 바람직하다. 이탈 방지홈(128)은 볼트부(142)에 나사 결합되는 너트부(144)가 저절로 빠지는 것을 방지할 수 있게 된다. 즉, 너트부(144)는 이탈 방지홈(128)에서 어느 정도 후진되지 않으면, 쉽게 빠지지 않아 제1 클램프(110)의 회동 작업이 어렵게 된다.

연결링크(130)는 제1 클램프(110)와 제2 클램프(120)의 자유단에 회동 가능하도록 양단이 힌지 결합된다.

록킹부재는 제1 클램프(110)에 일단이 힌지 결합되며, 타단은 제2 클램프(120)에 분리 가능하게 서로 결합된다. 록킹부재는 제1 클램프(110)에 회동 가능하게 일단이 힌지 결합되며, 외주면에는 나사산이 제공되어 상기 제2 클램프(120)의 고정 단턱(124)으로 분리 가능하게 결합되는 볼트부(142)를 포함한다. 너트부(144)는 볼트부(142)의 외주면에 나사 결합되도록 내경의 길이 방향으로 나사공이 관통되며, 제2 클램프(120)의 고정홈(126)으로 분리 가능하게 결합된다. 볼트부(142)에는 양측으로 와셔를 갖는 제1 스프링(148)이 결합되어 너트부(144)가 제2 클램프(120)의 고정홈(126)에서 탄성 지지될 수 있게 한 것이 바람직하다. 볼트부(142)의 일단은 육각 모양으로 형성 것이 바람직하다.

보호 브라켓(150)은 제1 클램프(110)의 자유단에 일단은 회동 가능하게 힌지 결합되며, 타단은 분리 가능하게 제2 클램프(120)에 결합되어 제1 스프링(148) 및 와셔(146)가 외부에 노출되지 않게 한다. 여기서 보호 브라켓(150)은 제1 클램프(110)의 힌지 결합된 부분을 중심으로 회동되어 제2 클램프(120)에는 분리 가능하게 억지 끼움으로 결합된다.

너트부(144)의 외주면에는 제1 기어부(145)가 형성된다. 작동실(129)은 제1 기어부(145)와 상응한 위치의 제2 클램프(120)에 제공된다. 풀림방지부재는 제2 클램프(120)의 작동실(129)에 제공된다. 수직 안내공(129a)은 작동실(129)과 연이어 통하도록 제2 클램프(120)의 측벽으로 제공된다.

풀림방지부재는 역회전 방지구(150) 및 제2 스프링(164)을 포함한다.

역회전 방지구(150)는 너트부(144)의 제1 기어부(145)에 순차적으로 접촉되도록 걸림돌기(162)가 일측으로 돌출되며, 일단은 수직 안내공(129a) 내에서 상하로 회동 가능하도록 작동실(129) 내에서 힌지 결합된다.

제2 스프링(164)은 역회전 방지구(150)의 힌지 결합된 부위에 그 역회전 방지구(150)를 항상 밀어 너트부(144)의 제1 기어부(145)에 접촉되도록 작동실(129) 내에 제공된다.

볼 플런저(170)는 작동실(129)의 방향으로 전,후진 작동되도록 제2 클램프(120)에 제공된다. 너트부(144)가 시계 방향 회전될 때에는 역회전 방지구(150)로부터 이격된 상태로 하고, 너트부(144)가 반시계 방향으로 회전될 때에는 역회전 방지구(150)를 눌러 움직이지 않도록 한다.

볼 플런저(170)는 플런저 몸체(172)에 제3 스프링(174)과 고정볼(176)을 포함한다. 플런저 몸체(172)는 연결링크(130)에 대하여 수평이 되며, 전,후진 가능하도록 제2 클램프(120)에 나사 결합되며, 내부에는 나사산이 일부 형성된다. 제3 스프링(174)은 플런저 몸체(172)의 내부에 끼워진다. 고정볼(176)은 제3 스프링(174)의 탄성력에 의해 역회전 방지구(150)를 눌러 움직이지 않도록 고정시킨다.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 진공 배관용 클램프를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

다시 도 1 내지 도 8을 참조하면, 제1 배관(P10)의 제1 플랜지(P12)와 제2 배관(P20)의 제2 플랜지(P22)는 센터링(CR)을 사이에 두고 서로 밀착시킨다. 이 상태에서, 서로 밀착된 제1 플랜지(P12)와 제2 플랜지(P22)가 제2 클램프(120)의 제2 삽입홈(122)에 끼워 결합시킨다.

이어, 제2 클램프(120)는 제1 클램프(110)와 힌지 결합된 부위를 중심으로 회동되어 서로 결합된 제1 플랜지(P12)와 제2 플랜지(P22)가 제1 삽입홈(112)으로 끼워지도록 제1 클램프(110)를 회동시킨다.

그리고 나서, 볼트부(142)는 제1 클램프(110)의 힌지 결합된 부위를 중심으로 회동시킨다. 이때, 볼트부(142)는 제2 클램프(120)의 고정 단턱(124)에 형성된 고정홈(126)에 끼워 고정된다. 여기서, 제1 스프링(148)과 와셔(146)는 고정단턱(124)과 제1 클램프(110)의 자유단 사이에 위치된다. 이와 동시에, 볼트부(142)는 제2 클램프(120)에 형성된 이탈 방지홈(128)에 끼워진다.

이 상태에서, 작업자는 렌치 등의 공구를 이용하여 볼트부(142)에 너트부(144)를 조여 이탈 방지홈(128) 속으로 전진시킨다. 이렇게 되면, 제1 클램프(110)와 제2 클램프(120)는 서로에 대하여 당겨 조여주는 것이다. 이때, 제1 스프링(148)은 너트부(144)의 조여줌으로로 인해 압축된 상태로 된다. 작업자는 너트부(144)가 더 이상 조여지지 않을 때까지 작업을 계속한다. 이렇게 되면, 제1 배관(P10)의 제1 플랜지(P12)와 제2 배관(P20)의 제2 플랜지(P22)는 고정 밀착되어 진동 등 외부의 충격에도 견고한 결합 상태가 유지되는 것이다.

여기서, 도 10과 도 11을 참조하면, 너트부(144)가 회전될 때, 제2 클램프(120)에 제공된 제1 기어부(145)에는 풀림방지부재가 순차적으로 접촉된다. 제2 클램프(120)의 작동실(129)에 연이어 수직 안내공(129a)이 연이어 통하도록 제2 클램프(120)의 측벽으로 제공된 상태이다.

이 과정에서, 역회전 방지구(150)의 걸림돌기(162)는 너트부(144)의 제1 기어부(145)에 순차적으로 접촉된다. 이때, 역회전 방지구(150)는 작동실(129) 내에서 힌지 결합된 부위를 중심으로 회동되어 일단이 수직 안내공(129a) 내에서 상하로 회동되는 것이다.

특히, 작동실(129) 내에 제공된 제2 스프링(164)은 역회전 방지구(150)의 힌지 결합된 부위에 그 역회전 방지구(150)를 항상 밀어 너트부(144)의 제1 기어부(145)에 접촉된다.

한편, 도 12(a)(b) 및 도 13(a)(b)를 참조하면, 제2 클램프(120)에 제공된 볼 플런저(170)는 작동실(129)의 방향으로 전,후진 작동되는 것이다. 즉, 너트부(144)가 시계 방향 회전될 때에는 역회전 방지구(150)로부터 이격된 상태로 하고, 너트부(144)가 반시계 방향으로 회전될 때에는 역회전 방지구(150)를 눌러 움직이지 않게 된다.

볼 플런저(170)의 플런저 몸체(172)는 연결링크(130)에 대하여 수평이 되도록 배치된다. 제2 클램프(120)에 전,후진 가능하도록 나사 결합되는 것이다. 이때, 고정볼(176)은 플런저 몸체(172)의 내부에 끼워진 제3 스프링(174)의 탄성력에 의해 역회전 방지구(150)를 눌러 움직이지 않도록 고정시킨다. 이에 반해, 너트부(144)의 회전을 자유롭게 회전 작동될 수 있도록 할 경우, 플런저 몸체(172)를 제2 클램프(120)로부터 후진시켜 역회전 방지구(150)로부터 고정볼(176)이 접촉되지 않도록 하게 되는 것이다.

마지막으로, 보호 브라켓(150)은 제1 클램프(110)의 힌지 결합된 부위를 중심으로 회동시켜 제2 클램프(120)에 억지 끼움 방식으로 결합시킨다. 이 상태가 되면, 보호 브라켓(150)에 의해 제1 스프링(148), 와셔(146), 너트부(144)는 외부에서 보이지 않토록 감싸 보호되는 것이다. 즉, 제1 스프링(148)의 탄성력에 의해 너트부(144)가 볼트부(142)에서 쉽게 빠지지 않도록 1차적으로 방지함과 더불어, 보호 브라켓(150)에 의해 2차적으로 방지할 수 있는 것이다.

이 후, 제1 배관(P10)의 제1 플랜지(P12)와 제2 배관(P20)의 제2 플랜지(P22)의 결합 상태를 해제할 경우, 너트부(144)를 앞서와는 반대 방향으로 회전시킨다. 이어, 너트부(144)를 이탈 방지홈(128)과 고정홈(126)으로부터 이탈되도록 회동시킨다. 그 결과 제1 클램프(110)와 제2 클램프(120)는 서로에 대하여 벌려줄 수 있게 되어 제1 배관의 제1 플랜지(P12)와 제2 배관(P20)의 제2 플랜지(P22)의 결합 상태를 해제시켜 줄 수 있게 되는 것이다.

이상에서 본 발명을 특정한 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정하지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형이 가능할 것이다.

100 : 진공 배관용 클램프
P10 : 제1 배관 P12 : 제1 플랜지
P20 : 제2 배관 P22 : 제2 플랜지
CR : 센터링
110 : 제1 클램프 112 : 제1 삽입홈
114 : 접촉 완충홈
120 : 제2 클램프 122 : 제2 삽입홈
124 : 고정 단턱 126 : 고정홈
128 : 이탈 방지홈 129 : 작동실
129a : 수직 안내공 130 : 연결링크
142 : 볼트부 144 : 너트부
145 : 제1 기어부 146 : 와셔
148 : 제1 스프링 150 : 보호 브라켓
160 : 역회전 방지구 162 : 걸림돌기
164 : 제2 스프링 170 : 볼 플런저
172 : 플런저 몸체 174 : 제3 스프링
176 : 고정볼

Claims

센터링을 사이에 두고, 제1 배관의 제1 플랜지와 제2 배관의 제2 플랜지가 서로 접촉된 상태에서 분리 가능하게 고정시키기 위한 진공 배관용 클램프로서,
내경으로 상기 제1 플랜지와 제2 플랜지의 제1 삽입홈이 형성되는 반원형의 제1 클램프;
내경으로 상기 제1 플랜지와 제2 플랜지의 제2 삽입홈이 형성되는 반원형의 제2 클램프;
상기 제1 클램프와 제2 클램프의 자유단에 회동 가능하도록 양단이 힌지 결합되는 연결링크; 및
상기 제1 클램프에 일단이 힌지 결합되며, 타단은 제2 클램프에 분리 가능하게 서로 결합되는 록킹부재;를 포함하여 구성되고,
상기 록킹부재는 상기 제1 클램프에 회동 가능하게 일단이 힌지 결합되며, 외주면에는 나사산이 제공되어 상기 제2 클램프의 고정 단턱으로 분리 가능하게 결합되는 볼트부; 및 상기 볼트부의 외주면에 나사 결합되도록 내경의 길이 방향으로 나사공이 관통되며, 상기 제2 클램프의 고정홈으로 분리 가능하게 결합되는 너트부; 를 포함되고,
상기 너트부의 외주면에는 제1 기어부가 형성되고, 상기 제1 기어부와 상응한 위치의 제2 클램프에는 작동실이 제공되되, 상기 작동실에는 상기 너트부의 풀림방지부재가 추가로 제공되며, 상기 작동실과 연이어 통하도록 제2 클램프의 측벽으로 수직 안내공이 제공되고, 상기 제2 클램프의 자유단에는 고정홈을 갖는 고정 단턱이 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
제 1 항에 있어서, 상기 제1 삽입홈과 제2 삽입홈의 양측 내벽에는 적어도 하나 이상의 접촉 완충홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
제 2 항에 있어서, 상기 제2 클램프에는 상기 고정 단턱으로부터 연이어 이탈 방지홈이 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
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제 1 항에 있어서, 상기 볼트부에는 양측으로 와셔를 갖는 제1 스프링이 결합되어 상기 너트부가 상기 제2 클램프의 고정홈에서 탄성 지지될 수 있게 한 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
제 5 항에 있어서, 상기 볼트부의 일단은 육각 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
제 1 항에 있어서, 상기 제1 클램프의 자유단에 일단은 회동 가능하게 힌지 결합되며, 타단은 분리 가능하게 제2 클램프에 결합되어 상기 제1 스프링 및 와셔가 외부에 노출되지 않게 하는 보호 브라켓이 추가로 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
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제 1 항에 있어서, 상기 풀림방지부재는 상기 너트부의 제1 기어부에 순차적으로 접촉되도록 걸림돌기가 일측으로 돌출되며 일단은 수직 안내공 내에서 상하로 회동 가능하도록 상기 작동실 내에서 힌지 결합되는 역회전 방지구; 및 상기 역회전 방지구의 힌지 결합된 부위에 상기 역회전 방지구를 항상 밀어 상기 너트부의 제1 기어부에 접촉되도록 작동실 내에 제공되는 제2 스프링; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
제 9 항에 있어서, 상기 제2 클램프에는 상기 작동실의 방향으로 전,후진 작동되는 볼 플런저가 제공되되, 상기 너트부가 시계 방향 회전될 때에는 상기 역회전 방지구로부터 이격된 상태로 하고, 상기 너트부가 반시계 방향으로 회전될 때에는 상기 역회전 방지구를 눌러 움직이지 않도록 한 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
제 10 항에 있어서, 상기 볼 플런저는
상기 연결링크에 대하여 수평이 되며, 전,후진 가능하도록 제2 클램프에 나사 결합되며, 내부에는 나사산이 일부 형성되는 플런저 몸체;
상기 플런저 몸체의 내부에 끼워지는 제3 스프링; 및
상기 제3 스프링의 탄성력에 의해 상기 역회전 방지구를 눌러 움직이지 않도록 고정시키는 고정볼; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.