KR200481234Y1 - 진공 배관용 클램프 - Google Patents

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KR200481234Y1
KR200481234Y1 KR2020150007419U KR20150007419U KR200481234Y1 KR 200481234 Y1 KR200481234 Y1 KR 200481234Y1 KR 2020150007419 U KR2020150007419 U KR 2020150007419U KR 20150007419 U KR20150007419 U KR 20150007419U KR 200481234 Y1 KR200481234 Y1 KR 200481234Y1
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박희숙
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박희숙
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Abstract

본 고안은 진공 배관용 클램프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 양측의 클램프 몸체를 가압 체결하는 과정에서 치합에 의한 미끄러짐이 방지되어 견고한 가압 체결력의 부여가 가능하고, 특히, 조임너트를 조이는 과정에서 그 조임너트의 원활한 회전력의 부여 및 회전방지력의 부여가 가능하게 하기 위한 진공 배관용 클램프에 관한 것이다.

Description

진공 배관용 클램프{A clamp for vacuum pipe}
본 고안은 진공 배관용 클램프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정 등에 사용되는 진공배관을 서로 연결하되, 연결된 진공배관에 흐르는 기체의 압력으로 인한 진동이나 외력에 의한 충격 등의 진동이 발생하더라도 그 진공배관의 견고한 연결력의 유지가 가능하게 하는 진공 배관용 클램프에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정 등에서 웨이퍼 상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세스 챔버 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세스가스를 사용하여 고온에서 수행되며, 상기 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유하는 반응부산물 가스가 다량으로 발생한다.
대부분의 유독성 화학 가스는 내식성 및 내약품성에 강한 배관을 매개로 화학 가스 공급 시스템으로부터 반도체 제조 장비로 공급된다. 이때, 가스 공급 시스템과 반도체 제조 장치의 연결을 위한 배관은 이음 부위가 없는 하나의 배관으로 연결하는 것이 누설 방지 측면에서 가장 이상적이지만, 이는 배관의 운반 및 설치 그리고, 유지보수 등의 현실적인 측면으로는 불가능하며, 실질적으로는 여러 배관을 서로 연결하여 배기 라인으로 사용하게 된다.
여기서, 배기 라인은 배관과 배관을 서로 연결시켜 형성되고 서로 맞닿은 관의 일단에는 외측으로 연장된 플랜지가 형성되어 있다. 따라서, 이러한 두 관을 연결하여 배기 라인을 형성함에 있어서, 각각의 플랜지를 배기 가스가 리크(leak)되지 않도록 연결 고정키는 것이 중요하다.
따라서, 배관의 이음 부위인 각각의 플랜지를 밀착하여 결합하기 위해 배관 연결용 클램프가 사용된다.
그런데 배기라인의 배관은 챔버를 진공으로 만들어주는 진공펌프와 연결됨에 따라 진공펌프의 가동에 의해 배관내의 진공 상태가 유지되는데 이러한 진공펌프의 가동으로 인한 진동이 배관에 전달됨에 따라 배관이 지속적으로 진동하게 된다.
이러한 배관의 진동이 지속됨에 따라 클램프의 조임너트의 조임 상태가 서서히 풀려서 클램프가 느슨해짐에 따라 진공 배관의 기밀한 연결 상태가 이루어지지 않는 문제가 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해 특허등록번호 10-1017961호에는 클램프에 다중의 록킹부재와 조임너트의 풀림방지부재를 구성하여 배관의 진동이나 외부 충격에 의하더라도 클램프의 풀림 현상을 줄이도록 하였다.
그러나 상기에서 개시된 클램프는 다수의 스프링 구조를 가지는 등 그 구조가 복잡하여 제조과정에서 난해함이 있었으며, 이로인해 제조 원가가 증가되는 문제점과 그 복잡한 구조에 따른 작동상의 불편함 또한 가중되었다.
이에, 상기와 같은 제반 문제점을 해결하고자 등록실용신안 20-0464096호와 같이 조임너트와 가압와셔간의 회전을 방지하기 위한 회전방지턱을 형성하여 역회전을 방지하고, 또한 조임너트가 클램프 몸체에 형성된 걸림구를 통해 또 한번 회전을 방지하는 구조를 제안한바 있다.
그러나 상기와 같은 구조는 실질적으로 양측 클램프를 가압하는 센터링과 가압와셔의 면접부가 단순히 평판 형태를 이루는 것인바, 미끄럼 풀림이 발생하고, 진동에 의한 가압와셔에 회전력이 부여시 자칫 조임너트가 함게 풀리는 문제점이 발생하였으며, 또한 고정돌기 구조를 가지는 걸림구에 의해 조임너트의 회전시 간섭되는 등 조임너트 조작에 따른 문제점이 있었다.
대한민국등록특허공보 제10-1017961호. 대한민국등록실용신안공보 20-0464096호.
본 고안은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 양측의 클램프 몸체를 가압 체결하는 과정에서 치합에 의한 미끄러짐이 방지되어 견고한 가압 체결력의 부여가 가능하고, 특히, 조임너트를 조이는 과정에서 그 조임너트의 원활한 회전력의 부여 및 회전방지력의 부여가 가능하게 하기 위한 진공 배관용 클램프를 제공함에 본 고안의 목적이 있는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로는, 연결되는 진공배관의 플랜지를 감싸 고정하는 진공 배관용 클램프에 있어서,
각각 내주면에는 플랜지 끼움홈이 형성된 반원 형태를 이루면서 서로 대항되는 한 쌍의 제1,2 클램프몸체를 이루고, 각각의 제1,2 클램프몸체의 대항되는 고정단은 서로 힌지 연결되어 회동력을 가지며, 제1 클램프몸체의 자유단에는 제2 클램프몸체 측으로 수평 회동하여 제2 클램프몸체와의 체결력을 부여하는 체결장치가 형성되고, 제2 클램프몸체의 자유단에는 체결장치가 진입 수용되는 한편 회전 작동하는 일측 개방형 작동홈이 형성 및 단부에는 체결장치가 걸림 지지되는 가압와셔 걸림턱이 형성되게 구성되며,
체결장치는, 제1 클램프몸체에 힌지 결합되는 힌지블럭과, 힌지블럭으로부터 돌출 연장되는 나사봉으로 구성되며, 나사봉에는 센터링과 가압와셔가 순차적으로 끼워지는 한편 조임너트가 체결되게 구성하되,
제2 클램프몸체의 자유단 단부와 상기 센터링의 대항면에는 서로 치합력을 가지는 풀림방지턱을 더 포함하여 구성하며,
조임너트의 가압와셔측 단부에는 가압와셔가 진입되는 한편 내주면이 가압와셔측으로 갈수록 점차 확장되는 경사면을 이루는 리브를 갖는 와셔진입홈을 더 포함하여 구성하며,
제2 클램프몸체의 작동홈의 내주면에는 설치홈을 형성 및 그 설치홈에 일방향으로 탄력 작동력을 가지는 한편 반대 방향으로 걸림력을 가지는 회전방지구가 더 형성되고, 조임너트의 외둘레에는 조임너트의 길이방향을 이루면서 방사상으로 다수 형성되어 상기 회전방지구와 걸림 간섭되는 V홈을 더 포함하여 구성함으로 달성할 수 있는 것이다.
이상과 같이 본 고안 진공 배관용 클램프는, 센터링과 제2 클램프몸체에 회전방지턱이 구성되어 서로간에 치합력이 부여되어 센터링의 미끄러짐 회전이 방지되는 등 보다 긴밀한 가압 체결력이 부여되는 효과를 얻을 수 있는 것이다.
또한, 조임너트의 리브를 통해 가압와셔를 가압시 그 가압와셔의 둘레를 긴밀하게 잡아주고 그 가압와셔가 회전되는 것이 방지되는 등 가압와셔의 긴밀한 가압 체결력이 부여되는 효과를 얻을 수 있는 것이다.
또한, 조임너트가 회전하는 과정에서 스프링 탄설된 래칫 구조를 이루고 있는 것인바, 조임너트를 조임시 회전간섭 없이 원활한 조임이 가능하게 되는 한편, 풀림 회전방향에 대하여 그 회전이 방지되는 등 조임너트의 작동상의 편리함 및 긴밀한 고정력의 부여가 가능한 효과를 얻을 수 있는 것이다.
도 1은 본 고안 진공 배관용 클램프의 분리된상태 사시도.
도 2는 본 고안 진공 배관용 클램프의 체결된상태 사시도.
도 3은 본 고안 진공 배관용 클램프의 센터링 회전방지구조 요부도.
도 4는 본 고안 진공 배관용 클램프의 센터링 회전방지구조 다른 실시예도.
도 5는 본 고안 진공 배관용 클램프의 가압와셔 고정상태 요부도.
도 6은 본 고안 진공 배관용 클램프의 조임너트 다른 실시예도.
도 7은 본 고안 진공 배관용 클램프의 가압와셔 다른 실시예도.
도 8은 본 고안 진공 배관용 클램프의 조임너트 회전 작동상태 요부도.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 고안자는 그 자신의 고안을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 고안의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 고안의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 고안의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 고안 진공 배관용 클램프의 분리된상태 사시도이고, 도 2는 본 고안 진공 배관용 클램프의 체결된상태 사시도이다.
도 1 및 도 2의 도시와 같이 본 고안 진공 배관용 클램프(1)는, 제1 클램프몸체(100)와, 제2 클램프몸체(200)로 구성된다.
여기서, 상기 제1,2 클램프몸체(100)(200)는, 서로 대항되는 한 쌍으로 구성된 것으로, 각각 반원 형태를 이루어 서로 체결시 원형 링 형태를 이루게 구성된다.
이때, 각각의 제1,2 클램프몸체(100)(200)는, 그 내주면에는 중첩되어 연결되는 진공배관의 플랜지(도면중 미도시함)의 둘레가 끼움되도록 플랜지 끼움홈(110)(210)이 형성된다.
또한, 제1,2 클램프몸체(100)(200)는, 서로 연결된 형태를 이루게 구성된 것으로, 이는, 그 각각의 일단 즉, 고정단이 힌지(H)를 통해 연결되어 회동력을 가지게 구성된다.
이때, 상기 제1 클램프몸체(100)의 고정단 반대측 자유단에는 상기 제1,2 클램프몸체(100)(200)의 체결력을 부여하게 되는 것으로, 그 체결력의 부여는 제1 클램프몸체(100)의 자유단에 힌지(H) 결합되어 수평 회동하는 체결장치(300)에 의해 가능하게 구성된다.
그리고, 제2 클램프몸체(200)의 자유단에는 상기 체결장치(300)가 진입 및 수용되어 회전 작동이 가능하게 하는 작동홈(220)이 형성된 것으로, 그 작동홈(220)은 단부 및 외둘레로 개방된 형태를 이루며, 단부에는 체결장치(300)가 걸림 지지되는 와셔 걸림턱(221)이 형성된다.
한편, 상기 체결장치(300)는, 상기 제1,2 클램프몸체(100)(200)의 체결력을 부여하게 되는 것으로, 제1 클램프몸체(100)의 자유단에 힌지(H) 결합되어 수평 회동이 가능하게 구성된다.
이때, 체결장치(300)는, 먼저, 자유단에 힌지(H) 결합되도록 힌지블럭(310)이 구성되어 자유단에 힌지(H) 결합되는 것으로, 이는 자유단에는 외둘레 및 단부로 개방되는 절개홈(도면중 미도시함)이 형성되어 그 절개홈에 힌지블럭(310)이 내입 및 힌지(H)가 수직 형성되게 구성함이 바람직하다.
그리고, 힌지블럭(310)에는 나사봉(320)이 돌출 연장되게 구성되며, 그 나사봉(320)에는 제1,2 클램프몸체(100)(200)의 자유단을 서로 체결하는 과정에서 가압력을 부여하는 센터링(330)과 가압와셔(340)가 순차적으로 끼움 설치되고, 그 나사봉(320)에는 상기 센터링(330)과 가압와셔(340)에 가압력을 부여하여 제1,2 클램프몸체(100)(200)의 체결력을 단속하는 조임너트(350)가 나사결합되게 구성된다.
이에, 제1,2 클램프몸체(100)(200)는, 진공배관의 플랜지를 감싸는 한편, 고정단의 힌지(H)를 축으로 하여 서로 회동하여 자유단의 단부가 대항되는 형태를 이루게 하는 한편, 제1 클램프몸체(100)에 힌지(H) 결합된 체결장치(300)를 수평 회동시켜 제2 클램프몸체(200)에 체결함으로 결합된다.
즉, 체결장치(300)는, 도 2를 참조하여 수평 회동하는 과정에서 선단에 형성되 센터링(330)이 제2 클램프몸체(200)의 자유단 선단에 면접되고, 가압와셔(340)는 작동홈(220)의 내측에서 걸림턱(221)에 걸림 지지되며, 나사봉(320)에 나삽된 조임너트(350)는 작동홈(220)에 수용된 상태를 이루게된다.
이에, 조임너트(350)를 조이게 되면, 그 조임너트(350)가 가압와셔(340)에 가압력을 부여하게 되며, 이러한 가압 과정에서 센터링(330)과 함께 제2 클램프몸체(200)의 걸림턱(221) 양측에서 가압 고정되게 된다.
한편, 본 고안에서는 상기와 같이 체결되어 있는 과정에서 진공배관에 진동이나 외력이 작용하여 체결장치(300)의 센터링(330)과 가압와셔(340)의 가압 체결력이 해제되는 것이 방지되게 구성된 것으로,
이를 위해서는 먼저, 도 3을 참조하여 제2 클램프몸체(200)의 단부와 센터링(330)의 대항면에는 서로 치합되어 회전이 방지되도록 풀림방지턱(250)(335)이 각각 구비된다.
이때, 각각의 풀림방지턱(250)(335)은, 서로 대항되는 경사턱 형태로 구성된 것으로, 서로 대항되는 수직부와 경사부를 이루게 구성되되, 각각의 수직부가 상기 조임너트(350)의 풀림방향에서 서로 면접되어 그 회전이 방지되게 구성된다.
또한, 풀림방지턱(250)(335)은, 도 4의 도시와 같이 각각 "ㄷ" 형태의 각홈과 각돌기가 연속 형성되게 구성할 수 있는 것으로, 이때에는 대항되는 풀림방지턱(250)(335)의 각홈과 각돌기에 의한 치합으로 센터링(330)의 회전을 방지할 수 있게 된다.
즉, 상기 풀림방지턱(250)(335)은 조임너트(350)를 조이는 과정에서 서로간에 치합되는 것인바, 진공배관에 진동이나 외력이 부여되는 과정에서 제1 클램프몸체(100)으로부터 센터링(330)이 미끄러짐 회전력이 부여시 서로간의 치합력에 의해 그 회전력이 방지되는 것인바, 센터링(330)의 견고한 지지력 확보 및 조임너트(350)의 역회전 품림을 방지할 수 있게 되는 것이며, 이렇게 풀림을 방지하는 풀림방지턱(250)(335)은, 제1 클램프몸체(100)와 센터링(330)의 대항면에서 원주방향으로 연속 형성됨은 당연할 것이다.
한편, 상기와 같이 제1 클램프몸체(100)와 센터링(330)과의 치합은 조임너트(350)를 풀게되면 제1 클램프몸체(100)에 대한 가압력이 해제되는 것인바, 분리가 자유로움은 당연할 것이다.
또한, 도 5를 참조하여 조임너트(350)의 가압와셔(340)측 단부에는 가압와셔(340)의 고정이 가능하도록 와셔진입홈(351)이 더 구성된다.
이때, 와셔진입홈(351)은, 조임너트(350)의 단부 둘레에서 전방으로 돌출 형성되는 리브(352)를 통해 함몰 형성되는 구조를 이루는 것으로, 이때, 리브(352)는 그 내주면이 와셔진입홈(351)의 내측으로부터 가압와셔(340)측으로 갈수록 점차 외측으로 벌어지는 확장형 경사면을 이루게 구성된다.
즉, 조임너트(350)를 통해 가압와셔(340)에 가압력이 부여되는 과정에서 가압와셔(340)의 후단이 리브(352)의 경사면에 접하게 되는 것인바, 이렇게 접하는 과정에서 경사면(353)에 가압력이 부여되면 그 리브(352)의 선단이 소정 오므라들면서 가압와셔(340)의 외둘레를 감싸며 잡아주게 되는 것이며, 이에 진공배관에 진동이나 외력이 부여되는 과정에서 제1 클램프몸체(100)로부터 가압와셔(340)가 미끄러짐 회전력으로 인해 풀리는것이 방지되게 된다.
한편, 상기 리브(352)를 구성함에 있어, 도 6의 도시와 같이 리브(352)의 선단에 내측면으로 소정 돌출되는 가압날부(355)를 더 형성할 수 있는 것으로, 이때, 가압날부(355)는 상기와 같이 리브(352)가 가압와셔(340)의 외둘레를 감싸는 과정에서 그 가압날부(355)가 가압와셔(340)의 외둘레를 소정 파고들어 견고하게 잡아줄 수 있게 된다.
또한, 상기 가압와셔(340)를 구성함에 있어, 도 7을 참조하여 제1 클램프몸체(100)의 걸림턱(221)에 면접되는 면접면에 대하여 요철(341)을 더 형성할 수 있는 것으로, 이때에는 그 요철(341)을 통해 걸림턱(221)에 면접시 소정의 압지력이 부여되어 보다 긴밀한 가압 고정이 가능하게 된다.
한편, 본 고안에서는 상기와 같은 센터링(330)과 가압와셔(340)를 통한 조임너트(350)의 역회전 방지 뿐만 아니라 별도로 조임너트(350)의 역회전 방지수단이 더 추가된다.
상세히 설명하면, 도 8을 참조하여 먼저, 상기 제2 클램프몸체(200)의 작동홈(220)의 내측 측면에 일방향(조임너트의 회전방향)으로 탄력 작동력을 가지는 한편, 반대 방향으로는 걸림력을 가지는 회전방지구(400)를 더 형성하고, 상기 조임너트(350)의 외둘레에는 조임너트(350)의 길이방향을 이루면서 방사상으로 다수 형성되는 V홈(354)을 더 형성하되, 조임너트(350)가 작동홈(220)의 내부에서 회전 조절시 상기 회전방지구(400)와 간섭되게 구성된다.
이때, 상기 회전방지구(400)는, 먼저, 작동홈(220)의 내주면는 회전방지구(400)의 설치가 가능하도록 설치홈(401)이 형성된다.
이에, 그 설치홈(401)에는 가동부재(410)가 설치되는 것으로, 가동부재(410)는 상,하 회동력을 가지도록 후방 상부가 힌지(H) 설치되며, 상기 조임너트(350)의 대항부에는 그 조임너트(350)의 V홈(354)과 대항되도록 "V"형 걸림돌부(411)가 형성된다.
그리고, 가동부재(410)의 상부에는 그 가동부재(410)가 상부 회동하는 과정에서 고정력을 부여할 수 있도록 스토퍼(412)가 돌출 형성된다.
그리고, 가동부재(410)의 하부에는 제1 클램프몸체(100)의 하부로 형성되는 관통홀(260)을 통해 가동부재(410)의 강제 회동력을 부여하기 위한 해제레버(413)가 돌출 형성된다.
또한, 상기 가동부재(410)에 탄력을 부여하기 위한 탄력스프링(420)이 구성된 것으로, 탄력스프링(420)은 가동부재(410)의 하부 후방에서 설치홈(401)의 바닥부와 탄설되게 구성된다.
즉, 조임너트(350)는, 작동홈(220)의 내부에서 조임방향으로 회전시 가동부재(410)와 간섭되되, 탄력스프링(420)의 탄발력을 이겨내면서 그 회전이 가능하게 된다.
이와 반대로, 반대 방향으로 회전력이 부여시 가동부재(410)의 걸림돌부(411)가 조임너트(350)의 V홈(354)에 끼움되는 것인바, 조임너트(350)가 풀림방향으로 회전하려는 회전력이 작용시 그 가동부재(410)의 스토퍼(412)가 설치홈(401) 상부에 걸림 지지되어 그 회전이 방지되게 된다.
한편, 상기와 같이 조임너트(350)의 역회전이 방지된 상태에서 제1,2 클램프몸체(100)(200)의 클램핑을 해제하기 위해 조임너트(350)를 풀고자 할 시에는 가동부재(410)의 하부에 형성된 해제레버(413)를 이용하여 가동부재(410)를 강제로 하방으로 회동시키면 되는 것으로, 이에 조임너트(350)의 V홈(354)으로부터 걸림돌부(411)가 이탈되는 것인바, 조임너트(350)의 풀림방향 자유 회전이 가능하게 된다.
이상에서와 같이 본 고안 진공 배관용 클램프는, 조임너트의 나사 체결력에 의해 센터링(330)과 가압와셔(340)에 가압력을 부여여 체결하되, 이렇게 체결되는 과정에서 풀림방지턱(250)(335)을 통해 센터링(330)의 풀림 회전을 방지하면서도 조임너트(350)의 리브(352)를 통한 가압와셔(340)의 고정으로 그 가압와셔(340)의 풀림 회전이 방지되며, 특히, 조임너트(350)의 고정으로 이 또한 풀림 회전이 방지됨으로 진공배관을 연결함에 있어 견고한 체결이 가능하게 된다.
또한, 조임너트(350)를 작동하는 과정에서 회전방지구(400)를 통해 일방향(조임방향) 자유 회전력을 가지게 하는 한편, 풀림방향 고정력을 가지게 함으로, 그 조임너트(350)의 작동이 매우 편리하면서도 견고하게 이루어질 수 있게 된다.
100,200 : 제1,2 클램프몸체 110,210 : 플랜지 끼움홈
220 : 작동홈 221 : 걸림턱
250 : 풀림방지턱
300 : 체결장치 310 : 힌지블럭
320 : 나사봉 330 : 센터링
335 : 풀림방지턱 340 : 가압와셔
341 : 요철
350 : 조임너트 351 : 와셔진입홈
352 : 리브 353 : 경사면
354 : V홈 355 : 가압날부
400 : 회전방지구 401 : 설치홈
410 : 가동부재 411 : 걸림돌부
412 : 스토퍼 413 : 해제레버
420 : 탄력스프링

Claims (5)

  1. 연결되는 진공배관의 플랜지를 감싸 고정하는 진공 배관용 클램프에 있어서,
    각각 내주면에는 플랜지 끼움홈(110)(210)이 형성된 반원 형태를 이루면서 서로 대항되는 한 쌍의 제1,2 클램프몸체(100)(200)를 이루고, 각각의 제1,2 클램프몸체(100)(200)의 대항되는 고정단은 서로 힌지(H) 연결되어 회동력을 가지며, 제1 클램프몸체(100)의 자유단에는 제2 클램프몸체(200) 측으로 수평 회동하여 제2 클램프몸체(200)와의 체결력을 부여하는 체결장치(300)가 형성되고, 제2 클램프몸체(200)의 자유단에는 체결장치(300)가 진입 수용되는 한편 회전 작동하는 일측 개방형 작동홈(220)이 형성 및 단부에는 체결장치(300)가 걸림 지지되는 가압와셔 걸림턱(221)이 형성되게 구성되며,
    체결장치(300)는, 제1 클램프몸체(100)에 힌지(H) 결합되는 힌지블럭(310)과, 힌지블럭(310)으로부터 돌출 연장되는 나사봉(320)으로 구성되며, 나사봉(320)에는 센터링(330)과 가압와셔(340)가 순차적으로 끼워지는 한편 조임너트(350)가 체결되게 구성하되,
    제2 클램프몸체(200)의 자유단 단부와 상기 센터링(330)의 대항면에는 서로 치합력을 가지는 풀림방지턱(250)(335)을 더 포함하여 구성하며,
    조임너트(350)의 가압와셔(340)측 단부에는 가압와셔(340)가 진입되어 고정되는 와셔진입홈(351)이 더 구비되되, 와셔진입홈(351)은 조임너트(350)의 단부 둘레에서 전방으로 돌출 형성되는 리브(352)를 통해 함몰 형성되며, 리브(352)의 내주면이 와셔진입홈(351)의 내측으로부터 가압와셔(340)측으로 갈수록 점차 외측으로 벌어지는 확장형 경사면(353)에 조임너트(350)를 통해 가압와셔(340)에 가압력이 부여되는 과정에서 가압와셔(340)의 후단이 접하게 될 때 경사면(353)에 가압력이 부여되면 리브(352)의 선단이 오므라들면서 가압와셔(340)의 외둘레를 감싸며 잡아주어 제1 클램프몸체(100)로부터 가압와셔(340)가 미끄러짐 회전역으로 인해 풀리는 것을 방지하고, 리브(352)의 선단에 내측면으로 돌출되는 가압날부(355)를 더 형성하여 리브(352)가 가압와셔(340)의 외둘레를 감싸는 과정에서 가압날부(355)가 가압와셔(340)의 외둘레를 파고들어 잡아주며,
    제2 클램프몸체(200)의 작동홈(220)의 내주면에는 설치홈(401)이 형성 및 그 설치홈(401)에 일방향으로 탄력 작동력을 가지는 한편 반대 방향으로 걸림력을 가지는 회전방지구(400)가 더 형성되고, 조임너트(350)의 외둘레에는 조임너트(350)의 길이방향을 이루면서 방사상으로 다수 형성되어 상기 회전방지구(400)와 걸림 간섭되는 V홈(354)을 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
  2. 제 1항에 있어서,
    풀림방지턱(250)(335)은,
    서로 대항되는 수직부와 경사부를 이루는 경사턱 형태로 하되, 각각의 수직부가 조임너트(350)의 풀림방향에서 면접되어 회전이 방지되게 구성하거나,
    각각 "ㄷ" 형태의 각홈과 각돌기가 연속되게 형성되어 치합에 의해 회전이 방지되게 구성함을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    가압와셔(340)의 걸림턱(221) 면접면에 대하여 요철(341)을 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
  5. 제 1항에 있어서,
    회전방지구(400)는,
    설치홈(401)의 내측에서 상,하 회동력을 가지도록 힌지(H) 설치되며 조임너트(350)의 대항부에는 조임너트(350)의 V홈(354)과 대항되도록 "V"형 걸림돌부(411)를 이루고, 상부에는 상부 회동을 방지하는 스토퍼(412)가 돌출 형성되며, 제1 클램프몸체(100)의 하부로 관통되는 관통홀(260)을 통해 해제레버(413)가 돌출 형성된 가동부재(410); 및
    가동부재(410)의 하부에 형성되어 그 가동부재(410)에 상,하 탄력을 부여하는 탄력스프링(420)을 포함하여 구성하되,
    조임너트(350)가 회전시 V홈(354)과 가동부재(410)의 걸림돌부(411)가 간섭되되, 조임방향으로 회전시 탄력스프링(420)력을 극복하여 자유 회전이 가능하고, 반대방향으로 회전시 스토퍼(412)에 회전이 방지되게 구성함을 특징으로 하는 진공 배관용 클램프.
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