KR102160783B1 - 진공배관용 클램프 - Google Patents

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KR102160783B1
KR102160783B1 KR1020190058906A KR20190058906A KR102160783B1 KR 102160783 B1 KR102160783 B1 KR 102160783B1 KR 1020190058906 A KR1020190058906 A KR 1020190058906A KR 20190058906 A KR20190058906 A KR 20190058906A KR 102160783 B1 KR102160783 B1 KR 102160783B1
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정진현
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신기산업 주식회사
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    • F16L2201/20—Safety or protective couplings

Abstract

본 발명은 클램프몸체를 3등분으로 분할하여 3방향에서 진공배관을 균일하게 클램핑하고, 3개로 분할된 클램프몸체를 1개의 금형으로 제작함과 동시에 클램프몸체에 볼트를 일체로 형성하여 부품수 및 비용을 절감하며, 볼트의 후단에는 클램프몸체의 볼트공에 압입되는 풀림방지용 가압구를 형성함과 동시에 너트에는 풀림방지부재의 스토퍼가 끼워지는 풀림방지용 래칫홈을 형성하여 2중으로 풀림을 방지할 수 있는 진공배관용 클램프에 관한 것으로, 플랜지홈(11)과 볼트공(12) 및 너트홈(13)을 구비하여 진공배관(1)의 플랜지(2)를 감싸도록 3개로 분할된 클램프몸체(10); 클램프몸체(10)의 볼트공(12) 반대측에 일체로 형성되어 서로 마주하는 클램프몸체(10)의 볼트공(12)에 끼워지는 볼트(20); 볼트(20)의 후단에 테이퍼형으로 일체로 형성되어 볼트공(12)의 후단에 압입되는 가압구(30); 볼트(20)에 체결되어 다단으로 형성된 래칫홈(41)을 구비하는 너트(40); 너트홈(13)에 각각 설치되어 래칫홈(41)으로 끼워지는 스토퍼(51)를 구비하는 풀림방지부재(50)를 포함한다.

Description

진공배관용 클램프{A clamp for vacuum pipe}
본 발명은 반도체 제조 공정 등에 사용되는 진공배관의 플랜지를 서로 연결하는 진공배관용 클램프에 관한 것으로, 더 상세하게는 클램프몸체를 3등분으로 분할하여 3방향에서 진공배관의 플랜지를 한층 더 균일하게 클램핑할 수 있도록 하고, 3개로 분할된 클램프몸체를 동일한 구조로 구성하여 1개의 금형으로 제작함과 동시에 클램프몸체에 볼트를 일체로 형성하여 부품수 및 비용을 절감할 수 있도록 하며, 볼트의 후단에는 클램프몸체의 볼트공에 압입되는 테이퍼형의 풀림방지용 가압구를 일체로 형성함과 동시에 너트의 외경에는 풀림방지부재의 스토퍼가 끼워지는 풀림방지용 래칫홈을 형성하여 2중으로 풀림을 방지할 수 있도록 한 진공배관용 클램프에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정 등에서 웨이퍼 상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세스 챔버 내에서 실란, 아르신 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세스 가스를 사용하여 고온에서 수행되며, 상기 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유하는 반응부산물 가스가 다량으로 발생한다.
대부분의 유독성 화학 가스는 내식성 및 내약품성에 강한 진공배관을 매개로 화학 가스 공급 시스템으로부터 반도체 제조 장비로 공급된다. 이때, 가스 공급 시스템과 반도체 제조 장치의 연결을 위한 진공배관은 이음 부위가 없는 하나의 진공배관으로 연결하는 것이 누설 방지 측면에서 가장 이상적이지만, 이는 진공배관의 운반 및 설치 그리고, 유지 보수 등의 현실적인 측면으로는 불가능하며, 실질적으로는 여러 진공배관을 서로 연결하여 배기 라인으로 사용하게 된다.
여기서, 배기 라인은 진공배관과 진공배관을 서로 연결시켜 형성되고 서로 맞닿은 관의 일단에는 외측으로 연장된 플랜지가 형성되어 있다. 따라서, 이러한 두 관을 연결하여 배기 라인을 형성함에 있어서, 각각의 플랜지를 배기 가스가 리크되지 않도록 연결 고정시키는 것이 중요하다.
따라서 진공배관의 이음 부위인 각각의 플랜지를 밀착하여 결합하기 위해 진공배관용 클램프가 사용된다.
그런데 배기 라인의 진공배관은 챔버를 진공으로 만들어주는 진공펌프와 연결됨에 따라 진공펌프의 가동에 의해 진공배관 내의 진공 상태가 유지되는데 이러한 진공펌프의 가동으로 인한 진동이 진공배관에 전달됨에 따라 진공배관이 지속적으로 진동하게 된다.
이러한 진공배관의 진동이 지속됨에 따라 클램프의 조임너트의 조임 상태가 서서히 풀려서 클램프가 느슨해짐에 따라 진공배관의 기밀한 연결 상태가 이루어지지 않는 문제점이 있었다.
이를 위해 하기 특허문헌 1인 국내 등록특허 제10-1017961호에는 다중의 록킹부재를 이용하여 두 개의 배관의 플랜지를 고정시켜 보다 견고한 결합 상태를 유지할 수 있으며, 풀림방지부재에 의해 외부의 충격 등으로부터 록킹부재가 저절로 풀리는 것을 방지할 수 있는 진공배관용 클램프가 기재되어 있다.
그러나 상기 특허문헌 1의 진공배관용 클램프는 다수의 스프링 구조를 가지는 등 그 구조가 복잡하여 제조과정에서 난해함이 있었으며, 이로 인해 제조 원가가 증가되는 문제점과 복잡한 구조에 따른 작동상의 불편함 또한 가중되는 문제점이 있다.
상기 특허문헌 1의 제반 문제점을 해결하기 위해 하기 특허문헌 2인 국내 등록실용신안 제20-0464096호에는 진공배관용 클램프에 있어 간단한 구조에 의해 클램프의 체결장치를 구성하는 조임너트의 역회전을 방지하여 클램프의 체결력을 견고히 할 수 있는 진공배관용 클램프가 기재되어 있다.
그러나 상기 특허문헌 2의 클램프는 실질적으로 양측 클램프를 가압하는 센터링과 와셔의 면접부가 단순히 평판 형태를 이루는 것인바, 미끄럼 풀림이 발생하고, 진동으로 의한 와셔에 회전력 부여시 자칫 조임너트가 함게 풀리는 문제점이 있다.
또한 종래의 클램프는 2등분으로 분할된 제1클램프몸체와 제2클램프몸체가 2방향에서 진공배관의 플랜지를 클램핑하므로 균일하게 클램핑할 수 없어 편심이 발생하는 문제점이 있으며, 또한 제1클램프몸체와 제2클램프몸체가 서로 다른 구조로 구성되므로 2개의 금형을 이용하여 제1클램프몸체와 제2클램프몸체를 각각 제작하므로 인해 비용이 상승하는 문제점이 있다.
그리고 종래의 클램프는 제1클램프몸체와 제2클램프몸체를 회전가능하게 연결하는 힌지부가 형성되고, 볼트를 별도로 제작한 후 볼트를 제1클램프몸체에 회전가능하게 연결하는 힌지부가 형성되었기 때문에, 상기 2개의 힌지부로 인하여 부품수 및 비용이 상승하고 또한 조립성이 저하되는 문제점이 있다.
특허문헌 1 : 등록특허 제10-1017961호(등록일자 : 2011.02.21) 특허문헌 2 : 등록실용신안 제20-0464096호(등록일자 : 2012.12.05)
본 발명의 목적은 상기에서와 같은 종래의 결점을 해소하기 위해 발명한 것으로, 반도체 제조 공정 등에 사용되는 진공배관의 플랜지를 서로 연결하는 클램프몸체를 3등분으로 분할하여 3방향에서 진공배관의 플랜지를 한층 더 균일하게 클램핑할 수 있도록 한 진공배관용 클램프를 제공하는데 있다.
또한 본 발명은 3개로 분할된 클램프몸체를 동일한 구조로 구성하여 1개의 금형으로 제작함과 동시에 클램프몸체에 볼트를 일체로 형성하여 부품수 및 비용을 절감할 수 있도록 한 진공배관용 클램프를 제공하는데 있다.
또한 본 발명은 볼트의 후단에는 클램프몸체의 볼트공에 압입되는 테이퍼형의 풀림방지용 가압구를 일체로 형성함과 동시에 너트의 외경에는 풀림방지부재의 스토퍼가 끼워지는 풀림방지용 래칫홈을 형성하여 2중으로 너트의 풀림을 방지할 수 있도록 한 진공배관용 클램프를 제공하는데 있다.
또한 본 발명은 종래와 달리 클램프몸체와 클램프몸체를 회전가능하게 연결하는 힌지부와, 클램프몸체에 볼트를 회전가능하게 연결하는 힌지부를 생략하여 부품수 및 비용을 절감함과 동시에 조립성을 향상시킬 수 있도록 한 진공배관용 클램프를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 진공배관의 플랜지를 감싸도록 원형을 이루는 클램프몸체를 3등분으로 분할된 3개로 구성하여 각 클램프몸체에 플랜지홈과 볼트공 및 너트홈을 각각 형성하고, 상기 클램프몸체의 볼트공 반대측에 서로 마주하는 클램프몸체의 볼트공에 끼워진 상태에서 너트홈으로 돌출되는 볼트를 각각 일체로 형성하며, 상기 볼트의 후단에 후방으로 갈수록 외경이 커지는 테이퍼형으로 가압구를 일체로 형성하여 가압구가 볼트공의 후단에 압입되도록 하고, 상기 클램프몸체의 너트홈으로 각각 끼워진 상태에서 볼트에 체결되는 너트의 외경에 다단으로 풀림방지용 래칫홈을 형성하며, 상기 클램프몸체의 너트홈에 조임방향으로는 너트를 회전시키고 풀림방향으로는 너트의 회전을 방지하도록 래칫홈에 끼워지는 스토퍼가 구비된 풀림방지부재를 각각 설치한 것이다.
또한 본 발명에서 상기 볼트공의 후단에는 가압구의 테이퍼에 대응하는 풀림방지용 경사면을 형성한 것이다.
또한 본 발명에서 상기 클램프몸체의 너트홈에는 설치홈을 형성하고, 상기 설치홈에는 풀림방지부재의 스토퍼를 출몰가능하게 스프링으로 지지하는 케이스를 장착하며, 상기 케이스에는 스프링의 이탈을 방지하는 무두볼트를 체결한 것이다.
또한 본 발명에서 상기 케이스의 일측에는 고정홈을 형성하고, 상기 클램프몸체에는 고정홈과 연결되는 나사체결공을 형성하며, 상기 나사체결공에는 고정홈으로 끼워지는 고정나사를 체결한 것이다.
본 발명의 진공배관용 클램프에 따르면, 반도체 제조 공정 등에 사용되는 진공배관의 플랜지를 서로 연결하는 클램프몸체가 3등분으로 분할된 3개로 구성되기 때문에, 클램프몸체가 종래와 달리 3등분으로 분할된 3개로 이루어져 3방향에서 진공배관의 플랜지를 한층 더 균일하게 클램핑하여 편심을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한 3개로 분할된 클램프몸체가 동일한 구조로 형성되기 때문에, 1개의 금형으로 클램프몸체를 제작할 수 있으므로 클램프몸체의 제작비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한 볼트의 후단에는 클램프몸체의 볼트공에 압입되는 테이퍼형의 풀림방지용 가압구가 일체로 형성되고, 너트의 외경에는 풀림방지부재의 스토퍼가 끼워지는 풀림방지용 래칫홈이 형성되기 때문에, 2중으로 너트의 풀림을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한 클램프몸체의 일측에는 볼트공이 형성되고, 클램프몸체의 타측에는 서로 마주하는 클램프몸체의 볼트공에 끼워지는 볼트가 일체로 형성되기 때문에, 종래와 달리 클램프몸체와 클램프몸체를 회전가능하게 연결하는 힌지부와, 클램프몸체에 볼트를 회전가능하게 연결하는 힌지부를 생략하여 부품수 및 비용을 절감함과 동시에 조립성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 사용상태를 보인 사시도.
도 2는 본 발명의 사시도.
도 3은 본 발명의 분해사시도.
도 4는 본 발명의 결합상태를 보인 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 풀림방지부재의 분해사시도.
도 6은 도 4의 A - A선 단면도.
도 7a,7b는 본 발명에 따른 볼트공의 다른 실시예를 보인 단면도.
이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 진공배관용 클램프는 도 1 내지 도 7a,7b에 도시되는 바와 같이, 플랜지홈(11)과 볼트공(12) 및 너트홈(13)을 구비하여 진공배관(1)의 플랜지(2)를 감싸도록 원형을 이루는 3등분으로 분할된 3개의 클램프몸체(10); 상기 클램프몸체(10)의 볼트공(12) 반대측에 각각 일체로 형성되어 서로 마주하는 클램프몸체(10)의 볼트공(12)에 끼워진 상태에서 너트홈(13)으로 돌출되는 볼트(20); 상기 볼트(20)의 후단에 후방으로 갈수록 외경이 커지는 테이퍼형으로 일체로 형성되어 볼트공(12)의 후단에 압입되는 풀림방지용 가압구(30); 상기 클램프몸체(10)의 너트홈(13)으로 각각 끼워진 상태에서 볼트(20)에 체결되어 외경에 다단으로 형성된 풀림방지용 래칫홈(41)을 구비하는 너트(40); 상기 클램프몸체(10)의 너트홈(13)에 각각 설치되어 조임방향으로는 너트(40)를 회전시키고 풀림방향으로는 너트(40)의 회전을 방지하도록 래칫홈(41)에 끼워지는 스토퍼(51)를 구비하는 풀림방지부재(50)를 포함하여 구성된 것을 그 기술적 구성상의 기본적인 특징으로 한다.
여기서, 본 발명의 진공배관용 클램프는 반도체 제조 공정 등에 사용되는 진공배관(1)의 플랜지(2)를 도 1에서와 같이 서로 연결하는 것으로, 이러한 본 발명의 진공배관용 클램프는 클램프몸체(10), 볼트(20), 가압구(30), 너트(40) 및 풀림방지부재(50)로 이루어진다.
상기 클램프몸체(10)는 진공배관용 클램프의 본체를 구성하는 것으로, 이러한 클램프몸체(10)는 진공배관(1)의 플랜지(2)를 감싸도록 원형을 이루는 3등분으로 분할된 3개로 이루어진다. 이때, 본 발명에 따르면 클램프몸체(10)가 종래와 달리 3등분으로 분할된 3개로 이루어져 3방향에서 진공배관(1)의 플랜지(2)를 한층 더 균일하게 클램핑하여 편심을 방지할 수 있다.
상기 클램프몸체(10)의 내경에는 진공배관(1)의 플랜지(2)에 끼워지는 플랜지홈(11)이 각각 형성되고, 클램프몸체(10)의 일 측면에는 볼트(20)가 끼워지는 볼트공(12)이 각각 형성되며, 클램프몸체(10)의 일측 외면에는 너트(40)가 끼워지는 너트홈(13)이 볼트공(12)과 연결되도록 각각 형성되고, 볼트공(12)과 너트홈(13) 사이에는 걸림턱(13a)이 형성된다. 이때, 본 발명에 따르면 3개의 클램프몸체(10)가 동일한 구조로 형성되기 때문에, 1개의 금형으로 클램프몸체(10)를 제작할 수 있으므로 클램프몸체(10)의 제작비용을 절감할 수 있다.
상기 볼트(20)는 클램프몸체(10)의 볼트공(12) 반대측에 각각 일체로 형성되는 것으로, 이러한 볼트(20)는 서로 마주하는 클램프몸체(10)의 볼트공(12)에 끼워진 상태에서 너트홈(13)으로 돌출되고, 너트홈(13)으로 돌출된 볼트(20)에는 너트(40)가 체결된다. 이때, 본 발명에 따르면 볼트(20)는 볼트공(12)에 대응하는 클램프몸체(10)의 타 측면에 일체로 형성되기 때문에, 구조적으로 클램프의 부품수를 절감할 수 있다.
상기 가압구(30)는 볼트(20)의 후단에 후방으로 갈수록 외경이 커지는 테이퍼형으로 일체로 형성되는 것으로, 이러한 가압구(30)는 볼트공(12)의 후단에 압입되어 너트(40)의 풀림을 방지하는 역할을 수행한다. 이때, 상기 가압구(30)의 선단 외경은 볼트(20)와 동일한 크기로 형성되고, 가압구(30)의 후단 외경은 볼트공(12)의 내경보다 크게 형성되며, 본 발명의 일 실시예에 따르면 도 4에서와 같이 상기 볼트공(12)의 내경은 일직선상으로 형성된다. 따라서. 상기 볼트공(12)에 볼트(20)를 끼우고 볼트(20)에 너트(40)를 체결하여 강하게 조이면, 도 4에서와 같이 테이퍼로 형성된 가압구(30)가 볼트공(12)의 후단에 압입되면서 가압력이 증압되고, 이에 의해 가압구(30)와 볼트공(12)의 후단부에는 서로 견고하게 맞물리도록 증압된 가압력이 부여되기 때문에, 클램프의 체결 후 진공배관(1)의 진동이나 외부 충격 등으로부터 너트(40)가 풀리는 것을 방지할 수 있다.
여기서, 본 발명의 다른 실시예에 따르면 도 7a,7b에서와 같이, 상기 볼트공(12)의 후단에는 가압구(30)의 테이퍼에 대응하는 풀림방지용 경사면(12a)이 형성된 것을 특징으로 한다. 이때, 본 발명의 다른 실시예에 따르면 볼트공(12)의 후단에는 가압구(30)의 테이퍼에 대응하는 경사면(12a)이 형성되기 때문에, 도 7b에서와 같이 클램프의 체결시 가압구(30)가 볼트공(12)의 경사면(12a)을 따라 한층 더 강하게 끼워지면서 압입되고, 이에 의해 가압구(30)와 볼트공(12)의 경사면(12a)에는 한층 더 견고하게 맞물리도록 증압된 가압력이 부여되기 때문에, 클램프 체결 후 진공배관(1)의 진동이나 외부 충격 등으로부터 너트(40)가 풀리는 것을 방지할 수 있다.
상기 너트(40)는 클램프몸체(10)의 너트홈(13)에 각각 끼워진 상태에서 볼트(20)에 체결되는 것으로, 이러한 너트(40)의 외경에는 풀림방지용 래칫홈(41)이 다단으로 형성되고, 너트(40)의 선단에는 육각머리가 형성된다. 이때, 상기 너트(40)는 볼트(20)에 나사결합으로 체결되는 것으로, 이러한 너트(40)는 클램프의 체결 시 볼트(20)를 볼트공(12)측으로 가압하여 상,하부 진공배관(1)의 플랜지(2)와 플랜지(2) 사이를 기밀하게 밀봉시키는 역할을 수행한다.
상기 풀림방지부재(50)는 클램프몸체(10)의 너트홈(13)에 각각 설치되는 것으로, 이러한 풀림방지부재(50)에는 조임방향으로는 너트(40)를 회전시키고 풀림방향으로는 너트(40)의 회전을 방지하도록 래칫홈(41)에 끼워지는 스토퍼(51)가 구비된다. 이때, 상기 래칫홈(41)과 스토퍼(51)는 수직부와 경사부로 이루어지는 것으로, 이러한 래칫홈(41)과 스토퍼(51)의 경사부는 경사면으로 형성된다. 따라서, 상기 너트(40)를 조임방향으로 회전시키면 래칫홈(41)과 스토퍼(51)의 경사부가 서로 맞물리면서 서로 반대방향으로 밀어내려는 힘이 작용하기 때문에 래칫홈(41)의 경사부가 스토퍼(51)를 외측으로 밀어내면서 조임방향으로 원활하게 회전하지만, 반대로 너트(40)를 풀림방향으로 회전시키면 래칫홈(41)과 스토퍼(51)의 수직부가 서로 맞물리기 때문에 너트(40)는 절대로 풀리지 않게 된다.
본 발명에 따르면 상기 클램프몸체(10)의 너트홈(13)에는 설치홈(14)이 형성되고, 상기 설치홈(14)에는 풀림방지부재(50)의 스토퍼(51)를 출몰가능하게 스프링(52)으로 지지하는 케이스(53)가 장착되며, 상기 케이스(53)에는 스프링(52)의 이탈을 방지하는 무두볼트(54)가 체결된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 설치홈(14)은 클램프몸체(10)의 너트홈(13)에 너트(40)의 직각방향으로 각각 형성되는 것으로, 이러한 설치홈(14)에는 풀림방지부재(50)의 케이스(53)가 끼워진다.
상기 스프링(52)은 케이스(53)에 내장되는 것으로, 이러한 스프링(52)은 스토퍼(51)를 탄력적으로 지지하는 역할을 수행한다.
상기 케이스(53)는 설치홈(14)에 장착되는 것으로, 이러한 케이스(53)의 전면에는 스토퍼(51)를 외부로 인출시키는 인출공(53-1)이 형성되고, 스토퍼(51)의 후방에는 인출공(53-1)의 내측에 걸리는 이탈방지턱(51-1)이 형성된다. 이때, 상기 설치홈(14)과 케이스(53)는 회전을 방지할 수 있도록 사각으로 형성된다. 따라서, 상기 스토퍼(51)는 스프링(52)의 탄력에 의해 케이스(53)의 인출공(53-1)을 통해 외부로 돌출된 상태에서 너트(40)의 래칫홈(41)에 탄력적으로 끼워지고, 상기 너트(40)를 조임방향으로 회전시킬 때 스토퍼(51)는 스프링(52)을 압축시키면서 래칫홈(41)의 외측으로 밀려나기 때문에 너트(40)를 조임방향으로 원활하게 회전시킬 수 있지만, 반대로 너트(40)를 풀림방향으로 회전시킬 때 스프링(52)에 의해 외측으로 돌출된 상태를 유지하는 스토퍼(51)의 수직부가 래칫홈(41)의 수직부에 맞물리기 때문에 클램프의 체결 후 진공배관(1)의 진동이나 외부 충격 등이 발생하여도 너트(40)는 절대로 풀리지 않는다.
상기 무두볼트(54)는 케이스(53)의 후방에 체결되는 것으로, 이러한 무두볼트(54)는 스프링(52)의 이탈을 방지하는 역할을 수행한다. 이때, 본 발명에 따르면 케이스(53)의 내측에서 인출공(53-1)에 스토퍼(51)를 끼우고, 스토퍼(51)의 후방에 스프링(52)이 배치되도록 스프링(52)을 케이스(53)에 내장한 후, 케이스(53)의 후방에 무두볼트(54)를 체결하면 풀림방지부재(50)를 간단하게 조립할 수 있고, 케이스(53)를 설치홈(14)에 끼우면 풀림방지부재(50)를 클램프몸체(10)에 간단하게 조립할 수 있다.
본 발명에 따르면 도 5에서와 같이 상기 케이스(53)의 일측에는 고정홈(53a)이 형성되고, 상기 클램프몸체(10)에는 고정홈(53a)과 연결되는 나사체결공(15)이 형성되며, 상기 나사체결공(15)에는 고정홈(53a)으로 끼워지는 고정나사(55)가 체결된 것을 특징으로 한다. 이때, 도 6에서와 같이 상기 나사체결공(15)에 고정나사(55)를 체결하면, 고정나사(55)의 선단이 고정홈(53a)으로 끼워지므로 케이스(53)가 설치홈(14)에서 불필요하게 빠지는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명은 볼트(20)를 서로 마주하는 클램프몸체(10)의 볼트공(12)에 각각 끼운 상태에서, 상,하부 진공배관(1)의 플랜지(2)가 플랜지홈(11)에 끼워지도록 3개의 클램프몸체(10)로 상,하부 진공배관(1)을 감싼 후, 볼트공(12)을 통해 너트홈(13)으로 돌출된 볼트(20)에 너트(40)를 각각 체결하여 조이면 3개의 클램프몸체(10)가 진공배관(1)의 플랜지(2)를 한층 더 균일하게 클램핑하면서 간단하게 고정된다. 이때, 상기와 같이 볼트(20)에 너트(40)를 체결하여 강하게 조이면, 도 4에서와 같이 테이퍼로 형성된 가압구(30)가 볼트공(12)의 후단에 압입되면서 가압력이 증압되고, 이에 의해 가압구(30)와 볼트공(12)의 후단부에는 서로 견고하게 맞물리도록 증압된 가압력이 부여되기 때문에, 클램프의 체결 후 진공배관(1)의 진동이나 외부 충격 등으로부터 너트(40)가 풀리는 것을 방지할 수 있다. 또한 상기와 같이 조립된 상태에서는 스프링(52)에 의해 외측으로 돌출된 상태를 유지하는 스토퍼(51)의 수직부가 래칫홈(41)의 수직부에 맞물리기 때문에, 클램프의 체결 후 진공배관(1)의 진동이나 외부 충격 등이 발생하여도 너트(40)는 절대로 풀리지 않는다.
따라서 이러한 본 발명은 반도체 제조 공정 등에 사용되는 진공배관(1)의 플랜지(2)를 서로 연결하는 클램프몸체(10)가 3등분으로 분할된 3개로 구성되기 때문에, 클램프몸체(10)가 종래와 달리 3등분으로 분할된 3개로 이루어져 3방향에서 진공배관(1)의 플랜지(2)를 한층 더 균일하게 클램핑하여 편심을 방지할 수 있는 장점이 있다.
또한 이러한 본 발명은 3개로 분할된 클램프몸체(10)가 동일한 구조로 형성되기 때문에, 1개의 금형으로 클램프몸체(10)를 제작할 수 있으므로 클램프몸체(10)의 제작비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.
그리고 이러한 본 발명은 볼트(20)의 후단에는 클램프몸체(10)의 볼트공(12)에 압입되는 테이퍼형의 풀림방지용 가압구(30)가 일체로 형성되고, 너트(40)의 외경에는 풀림방지부재(50)의 스토퍼(51)가 끼워지는 풀림방지용 래칫홈(41)이 형성되기 때문에, 2중으로 너트(40)의 풀림을 방지할 수 있는 장점이 있다.
아울러 이러한 본 발명은 클램프몸체(10)의 일측에는 볼트공(12)이 형성되고, 클램프몸체(10)의 타측에는 서로 마주하는 클램프몸체(10)의 볼트공(12)에 끼워지는 볼트(20)가 일체로 형성되기 때문에, 종래와 달리 클램프몸체와 클램프몸체를 회전가능하게 연결하는 힌지부와, 클램프몸체에 볼트를 회전가능하게 연결하는 힌지부를 생략하여 부품수 및 비용을 절감함과 동시에 조립성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
1 : 진공배관 2 : 플랜지
10 : 클램프몸체 11 : 플랜지홈
12 : 볼트공 12a : 경사면
13 : 너트홈 14 : 설치홈
15 : 나사체결공 20 : 볼트
30 : 가압구 40 : 너트
41 : 래칫홈 50 : 풀림방지부재
51 : 스토퍼 52 : 스프링
53 : 케이스 53a : 고정홈
54 : 무두볼트 55 : 고정나사

Claims (4)

  1. 플랜지홈(11)과 볼트공(12) 및 너트홈(13)을 구비하여 진공배관(1)의 플랜지(2)를 감싸도록 원형을 이루는 3등분으로 분할된 3개의 클램프몸체(10);
    상기 클램프몸체(10)의 볼트공(12) 반대측에 각각 일체로 형성되어 서로 마주하는 클램프몸체(10)의 볼트공(12)에 끼워진 상태에서 너트홈(13)으로 돌출되는 볼트(20);
    상기 볼트(20)의 후단에 후방으로 갈수록 외경이 커지는 테이퍼형으로 일체로 형성되어 볼트공(12)의 후단에 압입되는 풀림방지용 가압구(30);
    상기 클램프몸체(10)의 너트홈(13)으로 각각 끼워진 상태에서 볼트(20)에 체결되어 외경에 다단으로 형성된 풀림방지용 래칫홈(41)을 구비하는 너트(40);
    상기 클램프몸체(10)의 너트홈(13)에 각각 설치되어 조임방향으로는 너트(40)를 회전시키고 풀림방향으로는 너트(40)의 회전을 방지하도록 래칫홈(41)에 끼워지는 스토퍼(51)를 구비하는 풀림방지부재(50)를 포함하는 진공배관용 클램프.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 볼트공(12)의 후단에는 가압구(30)의 테이퍼에 대응하는 풀림방지용 경사면(12a)이 형성된 것을 특징으로 하는 진공배관용 클램프.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 클램프몸체(10)의 너트홈(13)에는 설치홈(14)이 형성되고, 상기 설치홈(14)에는 풀림방지부재(50)의 스토퍼(51)를 출몰가능하게 스프링(52)으로 지지하는 케이스(53)가 장착되며, 상기 케이스(53)에는 스프링(52)의 이탈을 방지하는 무두볼트(54)가 체결된 것을 특징으로 하는 진공배관용 클램프.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 케이스(53)의 일측에는 고정홈(53a)이 형성되고, 상기 클램프몸체(10)에는 고정홈(53a)과 연결되는 나사체결공(15)이 형성되며, 상기 나사체결공(15)에는 고정홈(53a)으로 끼워지는 고정나사(55)가 체결된 것을 특징으로 하는 진공배관용 클램프.
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