KR20140046494A - 반도체 및 ｌｃｄ용 배기가스 점검구 - Google Patents

반도체 및 ｌｃｄ용 배기가스 점검구 Download PDF

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KR20140046494A
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Abstract

본 발명은 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단부에 의해 차단하는 2중 보강구조로써, 정압헌팅이 방지되고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소를 차단하며, 작업여건 및 작업효율을 증진시키고, 종래의 커플러 및 지그(Jig) 등의 사용 없이 커버장치에 풀림방지 기능 체결시스템을 적용하여 커버장치의 탈부착이 용이하고, 그로 인해 종래의 부품탈락, 추락 및 멸실 등의 안전사고 요소가 완벽하게 제거되는 특징이 있다.

Description

반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구 {SEMICONDUCTOR AND LCD WITH EXHAUST GAS ACCESS HOLE}
본 발명은 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단부에 의해 차단하는 구조로써, 정압헌팅을 방지할 수 있고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 링의 지름을 이등분한 형태의 클램프를 결합하여 간단하게 결속이 가능하고, 별도의 지그(Jig) 등의 사용 없이 커버장치의 회동과 탈부착을 용이하게 하여 종래의 부품탈락 및 추락 등의 안전사고 요소가 제거되는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어진다.
상기 전 공정이라 함은 각종 프로세스 챔버(Chamber) 내에서 웨이퍼(Wafer) 상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 식각하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공하는 것에 의해 이른바, 반도체 칩 및 LCD를 제조하는 공정을 말한다.
상기 후 공정이라 함은 상기 전 공정에서 제조된 반도체 칩 및 LCD를 개별적으로 분리한 후, 리드 프레임(Lead Frame)과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 가리킨다.
이때, 상기 웨이퍼 및 유리기판상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 및 유리기판상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세스 챔버 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세스 가스를 사용하여 고온 및 저온에서 수행되며, 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 유해가스 등이 다량 발생하게 된다.
이와 같이, 반도체 및 LCD 제조 공정 중에 화학 증착 공정과 식각 공정에서 발생하는 배기가스를 배출하기 위하여 반도체 및 LCD 제조 장비의 일 측에 배기관을 연결하여 배기가 이루어지고 있다.
여기서, 상기 배기가스는 고형물질이 포함되어 있어서, 배기과정에서 상기 고형물질이 배기관이나 밸브 등 배기 라인에 쌓이게 되어, 원활한 배기가 이루어지지 않고, 배기 라인의 배기 압력이 상승하게 된다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 상기 배기관에는 내부에 이송되는 배기가스 및 고형물질을 확인할 수 있도록 점검구가 설치되고, 상기 점검구는 배기관과 연통되어 외부에서 육안 또는 내시경 장치 등을 통해 배기관의 내부를 점검할 수 있다.
그러나, 이러한 점검구는 잠금장치와 개폐덮개 간의 탈부착과 개폐덮개의 개폐가 불편하고, 개폐덮개가 개방된 점검구는 배기덕트 또는 배기관을 통해 이송되는 배기가스가 외부로 배출될 수 있어, 작업자가 점검 및 크리닝 작업시에 위험요소에 노출되는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서,
배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단부에 의해 차단하는 구조로써, 정압헌팅을 방지할 수 있고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 링의 지름을 이등분한 형태의 클램프를 결합하여 간단하게 결속이 가능하고, 별도의 지그(Jig) 등의 사용 없이 커버장치의 회동과 탈부착을 용이하게 하여 종래의 부품탈락 및 추락 등의 안전사고 요소가 제거되는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구를 제공하는데 목적이 있다.
상기 목적을 달성하고자, 본 발명은 반도체 및 LCD 제조 공정 중에 발생하는 배기가스를 이송시키는 배기덕트 또는 배기관에 설치되는 배기가스 점검구에 있어서,
상기 배기덕트 또는 배기관의 외주면에 돌출 형성되어 상기 배기덕트 또는 배기관의 내부와 연통 되도록 형성되는 연통부와;
결합시에 상기 연통부의 외주면을 감싸고, 링의 지름을 이등분한 형태의 제1클램프와 제2클램프가 구비되고, 상기 제1클램프 또는 제2클램프의 외측에 제2연결부가 돌출 형성되며, 상기 제1클램프와 제2클램프의 양 끝단에는 결속부재의 결속 및 분리에 의해 상기 연통부와 탈부착이 가능하도록 제1플랜지가 돌출 형성되고, 상기 제1클램프와 제2클램프의 외측에 다수개의 제2플랜지가 돌출 형성되며, 상기 제1플랜지와 제2플랜지에 힌지 결합되는 다수개의 잠금장치로 구성되는 클램프장치와;
상기 클램프장치의 상부면에 구비되고, 중앙의 관통홀을 중심으로 나선형으로 절개홀이 형성되며, 상기 관통홀에 부재물 투입시 탄성력에 의해 상기 부재물과 밀착되어 연통부 측으로 벌어지거나 오므라지면서 외부공기가 배기덕트 또는 배기관 내부로 유입되거나 내부에서 이송되는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 방지하는 차단부와;
상기 차단부의 상부면에 구비되고, 상기 클램프장치의 잠금장치가 회동되어 체결되도록 외측에 다수개의 체결부가 돌출 형성되며, 상부면 중앙에는 커버의 개폐를 위한 투입구가 돌출 형성되고, 상기 투입구를 통해 부재물이 배기덕트 또는 배기관 내에 투입되도록 개폐가 가능한 캡이 설치되며, 상기 클램프장치의 제2연결부와 대응되는 제1연결부가 돌출 형성되는 커버장치와;
상기 커버장치의 제1연결부와 클램프장치의 제2연결부가 상호 연결되도록 형성되어 상기 커버장치가 회동시 지지해주는 연결장치;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구에 관한 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구는 배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단부에 의해 차단하는 구조로써, 정압헌팅을 방지할 수 있고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 링의 지름을 이등분한 형태의 클램프를 결합하여 간단하게 결속이 가능하고, 별도의 지그(Jig) 등의 사용 없이 커버장치의 회동과 탈부착을 용이하게 하여 종래의 부품탈락 및 추락 등의 안전사고 요소가 제거되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 배기가스 점검구에 형성된 클램프장치의 분리 및 결속을 나타내는 사시도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 배기가스 점검구의 분해 사시도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 배기가스 점검구에 형성된 커버장치의 회동을 나타내는 사시도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 배기덕트 또는 배기관에 설치된 배기가스 점검장치를 나타내는 평면도이다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래와 같은 특징을 갖는다.
반도체 및 LCD 제조 공정 중에 발생하는 배기가스를 이송시키는 배기덕트 또는 배기관에 설치되는 배기가스 점검구에 있어서,
상기 배기덕트 또는 배기관의 외주면에 돌출 형성되어 상기 배기덕트 또는 배기관의 내부와 연통 되도록 형성되는 연통부와;
결합시에 상기 연통부의 외주면을 감싸고, 링의 지름을 이등분한 형태의 제1클램프와 제2클램프가 구비되고, 상기 제1클램프 또는 제2클램프의 외측에 제2연결부가 돌출 형성되며, 상기 제1클램프와 제2클램프의 양 끝단에는 결속부재의 결속 및 분리에 의해 상기 연통부와 탈부착이 가능하도록 제1플랜지가 돌출 형성되고, 상기 제1클램프와 제2클램프의 외측에 다수개의 제2플랜지가 돌출 형성되며, 상기 제1플랜지와 제2플랜지에 힌지 결합되는 다수개의 잠금장치로 구성되는 클램프장치와;
상기 클램프장치의 상부면에 구비되고, 중앙의 관통홀을 중심으로 나선형으로 절개홀이 형성되며, 상기 관통홀에 부재물 투입시 탄성력에 의해 상기 부재물과 밀착되어 연통부 측으로 벌어지거나 오므라지면서 외부공기가 배기덕트 또는 배기관 내부로 유입되거나 내부에서 이송되는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 방지하는 차단부와;
상기 차단부의 상부면에 구비되고, 상기 클램프장치의 잠금장치가 회동되어 체결되도록 외측에 다수개의 체결부가 돌출 형성되며, 상부면 중앙에는 커버의 개폐를 위한 투입구가 돌출 형성되고, 상기 투입구를 통해 부재물이 배기덕트 또는 배기관 내에 투입되도록 개폐가 가능한 캡이 설치되며, 상기 클램프장치의 제2연결부와 대응되는 제1연결부가 돌출 형성되는 커버장치와;
상기 커버장치의 제1연결부와 클램프장치의 제2연결부가 상호 연결되도록 형성되어 상기 커버장치가 회동시 지지해주는 연결장치;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 특징을 갖는 본 발명은 그에 따른 바람직한 실시예를 통해 더욱 명확히 설명될 수 있을 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 여러 실시예를 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고, 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", 제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배기가스 점검구에 형성된 클램프장치의 분리 및 결속을 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 배기가스 점검구의 분해 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 배기가스 점검구에 형성된 커버장치의 회동을 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 배기덕트 또는 배기관에 설치된 배기가스 점검장치를 나타내는 평면도이다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구는 반도체 및 LCD를 제조시, 배기가스가 발생하고, 그런 배기가스를 이송시 사용되는 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 일단부에 관통 설치되어 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내부를 점검시에 사용된다. 이때, 상기 배기가스 점검구(400)는 연통부(11)와, 클램프장치(2)와, 차단부(3)와, 커버장치(4)와, 연결장치(100)로 구성된다.
상기 연통부(11)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 외주면에 돌출 형성되어 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부와 연통 되도록 형성되는데, 이러한 상기 연통부(11)의 연장부에 상기 배기가스 점검구(400)가 설치되어 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부를 점검할 수 있도록 한다.
상기 클램프장치(2)는 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 제1클램프(21)와, 제2클램프(22)와, 제2연결부(25)와, 제1플랜지(23)와, 제2플랜지(24)와, 다수개의 잠금장치(200)로 구성되는데, 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)는 반원의 형태를 가지고, 상기 연통부(11)의 외주면을 감싸는 형태로 결합된다. 이때, 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)는 후술되는 제1플랜지(23)에 형성된 관통공(23a)의 결합에 따라 결합 될 수 있다. 이러한 구조는 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)를 상기 연통부(11)의 외주면에 손쉽게 결합할 수 있다.
또한, 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)는 상기 제1플랜지(23)의 결합을 통해 상기 연통부(11)에 밀접하게 결합되어 틈새를 방지하는 동시에 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내의 배기가스가 틈새로 배출되지 않도록 고무패킹(미도시) 등이 더 설치된다. 이때, 상기 제1클램프(21)와 제2클램프(22)가 결합 되어 형성되는 링의 지름은 상기 연통부(11)의 지름에 따라 탄력적으로 형성될 수 있다.
이러한, 상기 제1클램프(21) 또는 제2클램프(22)의 외측에는 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)를 결합하기 위한 상기 제1플랜지(23)와 후술되는 커버장치(4)와 결합하기 위한 복수 개의 제2플랜지(24)가 형성되고, 상기 잠금장치(200)는 이러한 상기 제1플랜지(23) 및 제2플랜지(24)의 힌지에 결합된다.
상기 잠금장치(200)는 아이볼트(221)와, 아이너트(224)와, 후술되는 커버장치(4)와 결합하기 위한 볼트(222)와, 너트(223)로 구성되고, 상기 아이볼트(221)는 제1플랜지(23) 및 제2플랜지(24)에 결합되기 위하여 통공(221a)을 형성한다. 상기 잠금장치(200)는 수직방향으로 회동되어 상기 아이볼트(221)가 후술되는 체결부(41)에 체결시 상기 아이너트(224)의 조임에 의해 상기 체결부(41)의 상부면을 압박하여 상기 커버장치(4)와 고정되는 잠금상태가 된다. 해제시에는 반대로 상기 잠금장치(200)의 상기 아이너트(224)를 풀어 수직방향으로 회동시 상기 체결부(41)와 분리되어 상기 커버장치(4)와 잠금상태가 해제된다.
상기 차단부(3)는 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 클램프장치(2)의 상부면에 구비되고, 상기 연통부(11)를 차단함으로써, 상기 커버장치(4)의 개방시에도 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내의 배기가스가 외부로 배출되지 않고, 상기 배기가스의 독성이 접촉되어도 변질되지 않도록 내화학성 재질의 차단부(3)으로 형성된다.
여기에서 상기 차단부(3)는 중앙에 위치하는 관통홀(31)을 중심으로 나선형으로 절개홀(32)이 형성된다. 이때, 상기 관통홀(31)에 부재물 투입시 탄성력에 의해 상기 부재물과 밀착되어 상기 연통부(11) 측으로 벌어졌다가 오므라졌다 하며 내부를 점검할 배기가스 점검장치(300) 또는 작업자의 손, 도구 등이 관통시에, 도 4에서처럼 상기 절개홀(32)이 탄성적으로 벌어지게 되어 공간이 발생하지 않아 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내의 배기가스가 외부로 배출되지 않는 것이다.
그리고, 점검 후, 상기 배기가스 점검장치(300), 작업자의 손 또는 도구 등을 상기 관통홀(31)에서 이탈시키면 상기 관통홀(31)은 탄력적으로 원상태로 되돌아와 평평한 상기 차단부(3)를 형성한다.
상기 커버장치(4)는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 차단부(3)의 상부면에 구비되고, 상기 잠금장치(200)의 회동에 의해 상기 연통부(11)를 개폐하는데, 상기 잠금장치(200)의 일 측은 커버장치(4)의 일 단면에 고정되고, 타 측은 상기 클램프장치(2)의 상기 제2플랜지(24)에 고정되어 상기 커버장치(4)의 회동시에 지지된다. 이때, 상기 커버장치(4)의 하단면에는 상기 차단부(3)와 밀접하게 접촉되어 틈새가 발생하지 않도록 고무패킹(미도시)이 더 설치될 수 있다.
여기서, 상기 커버장치(4)의 외주면에는 상기 클램프장치(2)의 상기 잠금장치(200)가 회동되어 탈착되도록 다수개의 체결부(41)가 돌출 형성되고, 상기 체결부(41)에는 상기 잠금장치(200)의 상기 아이볼트(221)가 끼워지도록 체결부(41)가 형성된다.
또한, 상기 커버장치(4)의 상부에는 내시경 등의 배기가스 점검장치(300)가 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내부에 투입되도록 투입구(43)가 돌출 형성되고, 상기 투입구(43)는 상기 커버장치(4)를 관통하여 형성되어, 상기 커버장치(4)가 밀폐된 상태에서 사용되는 것이다. 이러한 상기 투입구(43)는 미사용시, 차단하기 위해 별도의 캡(44)이 더 설치되고, 상기 캡(44)은 내화학성의 고무재질로 형성되어 상기 투입구(43)에 설치시, 탄력성에 의해 상기 투입구(43)의 외주면에 압착된다.
또한, 상기 커버장치(4)는 상기 클램프장치(2)와의 결합을 위해 외측에 제1연결부(42)가 형성된다. 이러한 상기 제1연결부(42)는 상기 제2연결부(25)와 볼트(111)와 너트(113)로 결합될 수 있으며, 결합시에 발생하는 상기 커버장치(4)와 상기 클램프장치(2)의 사이 공간에는 탄성 스프링(112)이 설치된다.
일 실시예에서, 상기에서 기술한 배기가스 점검구(400)는 도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 원형으로 형성되지만, 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 형태와 배기가스의 용량에 따라 사각형 형태(미도시)로 연통부(11)가 다수개 형성되는 등 다양한 형태로 형성될 수 있다.
1 : 배기덕트, 배기관 2 : 클램프장치
3 : 차단부 4 : 커버장치
11 : 연통부
21 : 제1클램프 22 : 제2클램프
23 : 제1플랜지 24 : 제2플랜지
25 : 제2연결부
31 : 관통홀 32 : 절개홀
41 : 체결부 42 : 제1연결부
43 : 투입구 44 : 캡
100 : 연결장치 111 : 볼트
112 : 탄성 스프링 113 : 너트
200 : 잠금장치 221 : 아이볼트
221a : 통공 222 : 볼트
223 : 너트 224 : 아이너트
300 : 배기가스 점검장치 400 : 배기가스 점검구

Claims (3)

  1. 반도체 및 LCD 제조 공정 중에 발생하는 배기가스를 이송시키는 배기덕트(1) 또는 배기관(1)에 설치되는 배기가스 점검구(400)에 있어서,
    상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 외주면에 돌출 형성되어 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부와 연통 되도록 형성되는 연통부(11)와;
    결합시에 상기 연통부(11)의 외주면을 감싸고, 링의 지름을 이등분한 형태의 제1클램프(21)와 제2클램프(22)가 구비되고, 상기 제1클램프(21) 또는 제2클램프(22)의 외측에 제2연결부(25)가 돌출 형성되며, 상기 제1클램프(21)와 제2클램프(22)의 양 끝단에는 결속부재(222, 223)의 결속 및 분리에 의해 상기 연통부(11)와 탈부착이 가능하도록 제1플랜지(23)가 돌출 형성되고, 상기 제1클램프(21)와 제2클램프(22)의 외측에 다수개의 제2플랜지(24)가 돌출 형성되며, 상기 제1플랜지(23)와 제2플랜지(24)에 힌지 결합되는 다수개의 잠금장치(200)로 구성되는 클램프장치(2)와;
    상기 클램프장치(2)의 상부면에 구비되고, 중앙의 관통홀(31)을 중심으로 나선형으로 절개홀(32)이 형성되며, 상기 관통홀(31)에 부재물 투입시 탄성력에 의해 상기 부재물과 밀착되어 연통부(11) 측으로 벌어지거나 오므라지면서 외부공기가 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내부로 유입되거나 내부에서 이송되는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 방지하는 차단부(3)와;
    상기 차단부(3)의 상부면에 구비되고, 상기 클램프장치(2)의 잠금장치(200)가 회동되어 체결되도록 외측에 다수개의 체결부(41)가 돌출 형성되며, 상부면 중앙에는 커버의 개폐를 위한 투입구(43)가 돌출 형성되고, 상기 투입구(43)를 통해 부재물이 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내에 투입되도록 개폐가 가능한 캡(44)이 설치되며, 상기 클램프장치(2)의 제2연결부(25)와 대응되는 제1연결부(42)가 돌출 형성되는 커버장치(4)와;
    상기 커버장치(4)의 제1연결부(42)와 클램프장치(2)의 제2연결부(25)가 상호 연결되도록 형성되어 상기 커버장치(4)가 회동시 지지해주는 연결장치(100);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 연결장치(100)는,
    일 측은 상기 클램프장치(2)의 제2연결부(25)에 고정되도록 설치되고, 타 측은 상기 커버장치(4)의 제1연결부(42)에 관통되도록 형성되는 볼트(111)와;
    상기 볼트(111)를 감싸는 형태로 설치되며, 상기 제1연결부(42)와 제2연결부(25)의 사이에 구비되는 탄성 스프링(112)과;
    상기 볼트(111)의 상단에 설치되고, 상기 제1연결부(42)의 상부면을 압박하여 상기 커버장치(4)의 이탈을 방지하는 너트(113);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 잠금장치(200)는,
    상기 제1플랜지(23)와 제2플랜지(24)에 각각 연결되도록 통공(221a)이 형성되는 아이볼트(221)와;
    상기 아이볼트(221)의 통공(221a)에 관통되어 상기 아이볼트(221)와 각각의 상기 제1플랜지(23) 및 제2플랜지(24)를 상호 연결시키는 결속부재(222, 223)와;
    상기 아이볼트(221)의 상단에 결합되는 아이너트(224);를 포함하여 구성되고, 상기 잠금장치(200)는 수직방향으로 회동되어 아이볼트(221)가 체결부(41)에 체결시 아이너트(224)의 조임에 의해 체결부(41)의 상부면을 압박하여 커버장치(4)를 견고하게 고정시켜 잠금상태가 되며, 상기 잠금장치(200)의 아이너트(224)를 풀어 수직방향으로 회동시 체결부(41)와 분리되어 상기 커버장치(4)의 잠금을 해제하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구.
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