WO2014035019A1 - 반도체 및 엘씨디용 배기가스 점검구 - Google Patents

반도체 및 엘씨디용 배기가스 점검구 Download PDF

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WO2014035019A1
WO2014035019A1 PCT/KR2013/000189 KR2013000189W WO2014035019A1 WO 2014035019 A1 WO2014035019 A1 WO 2014035019A1 KR 2013000189 W KR2013000189 W KR 2013000189W WO 2014035019 A1 WO2014035019 A1 WO 2014035019A1
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clamp
exhaust gas
exhaust
flange
cover device
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PCT/KR2013/000189
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김정수
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(주)썬패치테크노
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L45/00—Pipe units with cleaning aperture and closure therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02D—CONTROLLING COMBUSTION ENGINES
    • F02D41/00—Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
    • F02D41/02—Circuit arrangements for generating control signals
    • F02D41/14—Introducing closed-loop corrections
    • F02D41/1438—Introducing closed-loop corrections using means for determining characteristics of the combustion gases; Sensors therefor
    • F02D41/1444—Introducing closed-loop corrections using means for determining characteristics of the combustion gases; Sensors therefor characterised by the characteristics of the combustion gases
    • F02D41/1451—Introducing closed-loop corrections using means for determining characteristics of the combustion gases; Sensors therefor characterised by the characteristics of the combustion gases the sensor being an optical sensor

Definitions

  • the present invention relates to an exhaust gas check opening for semiconductors and LCDs, and more particularly, to prevent static pressure hunting as a structure for blocking exhaust gas from the exhaust duct or the exhaust pipe to be discharged to the outside. Work conditions and work efficiency are increased by blocking the risk factor between inspection and cleaning work, and it is possible to easily bind by combining the clamp of bisecting the diameter of the ring and cover device without the use of separate jig.
  • the present invention relates to an exhaust gas check opening for semiconductors and LCDs, which facilitates rotation and removal of components and removes safety accident elements such as conventional component dropouts and falls.
  • the semiconductor manufacturing process is mainly composed of a pre-process (Fabrication process) and a post-process (Assembly process).
  • the entire process is a process of depositing a thin film on a wafer in various process chambers and selectively etching the deposited thin film to process a specific pattern, so-called semiconductors. Refers to the process of manufacturing chips and LCDs.
  • the post process refers to a process of separately separating the semiconductor chip and the LCD manufactured in the previous process, and then assembling the finished product by combining with a lead frame.
  • a process of depositing a thin film on the wafer and the glass substrate or etching the thin film deposited on the wafer and the glass substrate may be carried out in a process chamber such as silane, arsine, boron chloride, harmful gases such as hydrogen, and the like. It is carried out at high temperature and low temperature using the process gas of, and a large amount of ignitable gas containing various ignitable gases, corrosive foreign substances and toxic components are generated in the process chamber during the process.
  • the exhaust pipe is connected to one side of the semiconductor and LCD manufacturing equipment.
  • the exhaust pipe is provided with a check hole so as to check the exhaust gas and the solid material transported therein, the check hole is in communication with the exhaust pipe can be inspected from the outside through the naked eye or endoscope device, etc. have.
  • the present invention has been made to solve the above problems,
  • the present invention provides an exhaust gas inspection port installed in the exhaust duct or exhaust pipe for transferring the exhaust gas generated during the semiconductor and LCD manufacturing process
  • a communication part protruding from an outer circumferential surface of the exhaust duct or the exhaust pipe so as to communicate with an interior of the exhaust duct or the exhaust pipe;
  • a first clamp and a second clamp are formed to enclose an outer circumferential surface of the communication part and have a diameter divided into two rings at the time of coupling, and a second connection part protrudes from an outer side of the first clamp or the second clamp.
  • a first flange is formed to protrude so as to be detachable from the communicating portion by binding and detaching the binding member, and a plurality of second flanges are formed on the outside of the first clamp and the second clamp.
  • a protruding formation, the clamp device comprising a plurality of locking devices hinged to the first flange and the second flange;
  • a helical cut-out hole is formed around the center through hole in the center, when the member is inserted into the through hole by being close to the member by the elastic force to open or contract to the communication side side
  • a blocking unit which prevents air from flowing into the exhaust duct or the exhaust pipe or discharged from the exhaust gas to the outside;
  • the first connecting portion of the cover device and the second connecting portion of the clamping device is formed to be connected to each other, the connecting device for supporting the cover device when rotating; relates to an exhaust gas check for semiconductors and LCDs comprising a .
  • the semiconductor and LCD exhaust gas check opening of the present invention is a structure that blocks the exhaust duct or exhaust gas transported in the exhaust pipe to the outside by the blocking unit, it can prevent the static pressure hunting, The risk factor between inspection and cleaning is cut off, so the working condition and work efficiency are increased, and it is possible to simply bind by combining the clamp of bisecting the diameter of the ring, and to use the cover without the use of a separate jig. It facilitates the rotation and detachment, there is an effect that eliminates the safety accident elements such as conventional parts dropping and falling.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the separation and binding of the clamp device formed in the exhaust gas check opening according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of an exhaust gas check opening according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is a perspective view showing the rotation of the cover device formed in the exhaust gas check opening according to an embodiment of the present invention
  • Figure 4 is a plan view showing an exhaust gas check device installed in the exhaust duct or exhaust pipe according to an embodiment of the present invention.
  • the present invention has the following features to achieve the above object.
  • a first clamp and a second clamp are formed to enclose an outer circumferential surface of the communication part and have a diameter divided into two rings at the time of coupling, and a second connection part protrudes from an outer side of the first clamp or the second clamp.
  • a first flange is formed to protrude so as to be detachable from the communicating portion by binding and detaching the binding member, and a plurality of second flanges are formed on the outside of the first clamp and the second clamp.
  • a protruding formation, the clamp device comprising a plurality of locking devices hinged to the first flange and the second flange;
  • a helical cut-out hole is formed around the center through hole in the center, when the member is inserted into the through hole by being close to the member by the elastic force to open or contract to the communication side side
  • a blocking unit which prevents air from flowing into the exhaust duct or the exhaust pipe or discharged from the exhaust gas to the outside;
  • the first connecting portion of the cover device and the second connecting portion of the clamping device is formed to be connected to each other, the connecting device for supporting the cover device when rotated; characterized in that it comprises a.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the separation and binding of the clamp device formed in the exhaust gas check opening according to an embodiment of the present invention
  • Figure 2 is an exploded perspective view of the exhaust gas check opening according to an embodiment of the present invention
  • Figure 3 4 is a perspective view illustrating a rotation of a cover device formed in an exhaust gas check opening according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a plan view illustrating an exhaust gas checking device installed in an exhaust duct or an exhaust pipe according to an embodiment of the present invention.
  • the exhaust gas check opening for semiconductor and LCD of the present invention is an exhaust duct (1) or exhaust pipe that is used when manufacturing the semiconductor and LCD, and the exhaust gas is generated and transported. It is penetrated to one end of (1) and is used for checking the inside of the exhaust duct 1 or the exhaust pipe 1.
  • the exhaust gas check opening 400 is composed of a communication unit 11, the clamp device 2, the blocking unit 3, the cover device 4 and the connection device 100.
  • the communication part 11 protrudes from the outer circumferential surface of the exhaust duct 1 or the exhaust pipe 1 to communicate with the interior of the exhaust duct 1 or the exhaust pipe 1.
  • the exhaust gas check opening 400 is installed at an extension of the communication unit 11 to inspect the inside of the exhaust duct 1 or the exhaust pipe 1.
  • the clamp device 2 includes a first clamp 21, a second clamp 22, a second connector 25, a first flange 23,
  • the second flange 24 and the plurality of locking devices 200, the first clamp 21 and the second clamp 22 has a semi-circular shape, surrounding the outer peripheral surface of the communication portion 11 Combined in form.
  • the first clamp 21 and the second clamp 22 may be coupled according to the combination of the through-holes 23a formed in the first flange 23 to be described later. This structure can easily couple the first clamp 21 and the second clamp 22 to the outer peripheral surface of the communication portion (11).
  • first clamp 21 and the second clamp 22 are closely coupled to the communication portion 11 through the coupling of the first flange 23 to prevent the gap and at the same time the exhaust duct (1) Or a rubber packing (not shown) is further installed so that the exhaust gas in the exhaust pipe 1 is not discharged into the gap.
  • the diameter of the ring formed by coupling the first clamp 21 and the second clamp 22 may be elastically formed according to the diameter of the communication portion 11.
  • the locking device 200 is composed of an eye bolt 221, an eye nut 224, a bolt 222 for coupling with a cover device 4 to be described later, a nut 223, the eye bolt ( 221 forms a through hole 221a to be coupled to the first flange 23 and the second flange 24.
  • the locking device 200 is rotated in a vertical direction to press the upper surface of the fastening portion 41 by tightening the eye nut 224 when the eye bolt 221 is fastened to the fastening portion 41 which will be described later.
  • the eye nut 224 of the locking device 200 is released and rotated in the vertical direction, the locking unit 41 is separated from the fastening part 41 to release the locking state from the cover device 4.
  • the blocking portion 3 is provided on the upper surface of the clamp device 2, the opening of the cover device 4 by blocking the communication portion 11
  • the exhaust duct 1 or the exhaust gas in the exhaust pipe 1 is not discharged to the outside, it is formed of the blocking portion 3 of the chemical-resistant material so that even if the toxicity of the exhaust gas is not altered.
  • the blocking portion 3 is formed in a helical cut hole 32 around the through hole 31 located in the center.
  • the member is inserted into the through-hole 31 by the elastic force to be in close contact with the member and opened and closed to the communication unit 11 side, the exhaust gas check device 300 or the hand of the operator to check the interior
  • the incision hole 32 is elastically opened so that no space is generated so that the exhaust gas in the exhaust duct 1 or the exhaust pipe 1 is not discharged to the outside. .
  • the cover device 4 is provided on the upper surface of the blocking part 3, and opens and closes the communication part 11 by the rotation of the locking device 200.
  • One side of the locking device 200 is fixed to one end surface of the cover device 4, and the other side is fixed to the second flange 24 of the clamp device 2 when the cover device 4 is rotated.
  • a rubber packing (not shown) may be further installed on the lower surface of the cover device 4 so as to be in close contact with the blocking part 3 so that a gap does not occur.
  • a plurality of fastening portions 41 protrude from the outer circumferential surface of the cover device 4 so that the locking device 200 of the clamp device 2 is rotated and detached, and the fastening portion 41 has the lock.
  • a fastening portion 41 is formed to fit the eye bolt 221 of the device 200.
  • an inlet 43 protrudes from an upper portion of the cover device 4 such that an exhaust gas check device 300 such as an endoscope is introduced into the exhaust duct 1 or the exhaust pipe 1. ) Is formed through the cover device 4, the cover device 4 is used in a sealed state.
  • a separate cap 44 is further installed to block, and the cap 44 is formed of a chemical-resistant rubber material when installed in the inlet 43, by elasticity It is pressed to the outer circumferential surface of the inlet (43).
  • the cover device 4 is formed with a first connection portion 42 on the outside for coupling with the clamp device (2).
  • the first connection part 42 may be coupled to the second connection part 25, the bolt 111, and the nut 113, and the cover device 4 and the clamp device 2 generated at the time of engagement. In the space between the elastic spring 112 is installed.
  • the above-described exhaust gas check opening 400 is formed in a circular shape, as shown in FIGS. 1 to 4, but the shape of the exhaust duct 1 or the exhaust pipe 1 and the capacity of the exhaust gas.
  • a plurality of communication units 11 may be formed in a quadrangular shape (not shown).
  • exhaust pipe 2 clamp device
  • blocking part 4 cover device
  • first flange 24 second flange

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Abstract

본 발명은 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단부에 의해 차단하는 2중 보강구조로써, 정압헌팅이 방지되고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소를 차단하며, 작업여건 및 작업효율을 증진시키고, 종래의 커플러 및 지그(Jig) 등의 사용 없이 커버장치에 풀림방지 기능 체결시스템을 적용하여 커버장치의 탈부착이 용이하고, 그로 인해 종래의 부품탈락, 추락 및 멸실 등의 안전사고 요소가 완벽하게 제거되는 특징이 있다.

Description

반도체 및 엘씨디용 배기가스 점검구
본 발명은 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단부에 의해 차단하는 구조로써, 정압헌팅을 방지할 수 있고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 링의 지름을 이등분한 형태의 클램프를 결합하여 간단하게 결속이 가능하고, 별도의 지그(Jig) 등의 사용 없이 커버장치의 회동과 탈부착을 용이하게 하여 종래의 부품탈락 및 추락 등의 안전사고 요소가 제거되는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어진다.
상기 전 공정이라 함은 각종 프로세스 챔버(Chamber) 내에서 웨이퍼(Wafer) 상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 식각하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공하는 것에 의해 이른바, 반도체 칩 및 LCD를 제조하는 공정을 말한다.
상기 후 공정이라 함은 상기 전 공정에서 제조된 반도체 칩 및 LCD를 개별적으로 분리한 후, 리드 프레임(Lead Frame)과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 가리킨다.
이때, 상기 웨이퍼 및 유리기판상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 및 유리기판상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세스 챔버 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세스 가스를 사용하여 고온 및 저온에서 수행되며, 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 유해가스 등이 다량 발생하게 된다.
이와 같이, 반도체 및 LCD 제조 공정 중에 화학 증착 공정과 식각 공정에서 발생하는 배기가스를 배출하기 위하여 반도체 및 LCD 제조 장비의 일 측에 배기관을 연결하여 배기가 이루어지고 있다.
여기서, 상기 배기가스는 고형물질이 포함되어 있어서, 배기과정에서 상기 고형물질이 배기관이나 밸브 등 배기 라인에 쌓이게 되어, 원활한 배기가 이루어지지 않고, 배기 라인의 배기 압력이 상승하게 된다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 상기 배기관에는 내부에 이송되는 배기가스 및 고형물질을 확인할 수 있도록 점검구가 설치되고, 상기 점검구는 배기관과 연통되어 외부에서 육안 또는 내시경 장치 등을 통해 배기관의 내부를 점검할 수 있다.
그러나, 이러한 점검구는 잠금장치와 개폐덮개 간의 탈부착과 개폐덮개의 개폐가 불편하고, 개폐덮개가 개방된 점검구는 배기덕트 또는 배기관을 통해 이송되는 배기가스가 외부로 배출될 수 있어, 작업자가 점검 및 크리닝 작업시에 위험요소에 노출되는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서,
배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단부에 의해 차단하는 구조로써, 정압헌팅을 방지할 수 있고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 링의 지름을 이등분한 형태의 클램프를 결합하여 간단하게 결속이 가능하고, 별도의 지그(Jig) 등의 사용 없이 커버장치의 회동과 탈부착을 용이하게 하여 종래의 부품탈락 및 추락 등의 안전사고 요소가 제거되는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구를 제공하는데 목적이 있다.
상기 목적을 달성하고자, 본 발명은 반도체 및 LCD 제조 공정 중에 발생하는 배기가스를 이송시키는 배기덕트 또는 배기관에 설치되는 배기가스 점검구에 있어서,
상기 배기덕트 또는 배기관의 외주면에 돌출 형성되어 상기 배기덕트 또는 배기관의 내부와 연통 되도록 형성되는 연통부와;
결합시에 상기 연통부의 외주면을 감싸고, 링의 지름을 이등분한 형태의 제1클램프와 제2클램프가 구비되고, 상기 제1클램프 또는 제2클램프의 외측에 제2연결부가 돌출 형성되며, 상기 제1클램프와 제2클램프의 양 끝단에는 결속부재의 결속 및 분리에 의해 상기 연통부와 탈부착이 가능하도록 제1플랜지가 돌출 형성되고, 상기 제1클램프와 제2클램프의 외측에 다수개의 제2플랜지가 돌출 형성되며, 상기 제1플랜지와 제2플랜지에 힌지 결합되는 다수개의 잠금장치로 구성되는 클램프장치와;
상기 클램프장치의 상부면에 구비되고, 중앙의 관통홀을 중심으로 나선형으로 절개홀이 형성되며, 상기 관통홀에 부재물 투입시 탄성력에 의해 상기 부재물과 밀착되어 연통부 측으로 벌어지거나 오므라지면서 외부공기가 배기덕트 또는 배기관 내부로 유입되거나 내부에서 이송되는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 방지하는 차단부와;
상기 차단부의 상부면에 구비되고, 상기 클램프장치의 잠금장치가 회동되어 체결되도록 외측에 다수개의 체결부가 돌출 형성되며, 상부면 중앙에는 커버의 개폐를 위한 투입구가 돌출 형성되고, 상기 투입구를 통해 부재물이 배기덕트 또는 배기관 내에 투입되도록 개폐가 가능한 캡이 설치되며, 상기 클램프장치의 제2연결부와 대응되는 제1연결부가 돌출 형성되는 커버장치와;
상기 커버장치의 제1연결부와 클램프장치의 제2연결부가 상호 연결되도록 형성되어 상기 커버장치가 회동시 지지해주는 연결장치;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구에 관한 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구는 배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단부에 의해 차단하는 구조로써, 정압헌팅을 방지할 수 있고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 링의 지름을 이등분한 형태의 클램프를 결합하여 간단하게 결속이 가능하고, 별도의 지그(Jig) 등의 사용 없이 커버장치의 회동과 탈부착을 용이하게 하여 종래의 부품탈락 및 추락 등의 안전사고 요소가 제거되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 배기가스 점검구에 형성된 클램프장치의 분리 및 결속을 나타내는 사시도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 배기가스 점검구의 분해 사시도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 배기가스 점검구에 형성된 커버장치의 회동을 나타내는 사시도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 배기덕트 또는 배기관에 설치된 배기가스 점검장치를 나타내는 평면도이다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래와 같은 특징을 갖는다.
반도체 및 LCD 제조 공정 중에 발생하는 배기가스를 이송시키는 배기덕트 또는 배기관에 설치되는 배기가스 점검구에 있어서,
상기 배기덕트 또는 배기관의 외주면에 돌출 형성되어 상기 배기덕트 또는 배기관의 내부와 연통 되도록 형성되는 연통부와;
결합시에 상기 연통부의 외주면을 감싸고, 링의 지름을 이등분한 형태의 제1클램프와 제2클램프가 구비되고, 상기 제1클램프 또는 제2클램프의 외측에 제2연결부가 돌출 형성되며, 상기 제1클램프와 제2클램프의 양 끝단에는 결속부재의 결속 및 분리에 의해 상기 연통부와 탈부착이 가능하도록 제1플랜지가 돌출 형성되고, 상기 제1클램프와 제2클램프의 외측에 다수개의 제2플랜지가 돌출 형성되며, 상기 제1플랜지와 제2플랜지에 힌지 결합되는 다수개의 잠금장치로 구성되는 클램프장치와;
상기 클램프장치의 상부면에 구비되고, 중앙의 관통홀을 중심으로 나선형으로 절개홀이 형성되며, 상기 관통홀에 부재물 투입시 탄성력에 의해 상기 부재물과 밀착되어 연통부 측으로 벌어지거나 오므라지면서 외부공기가 배기덕트 또는 배기관 내부로 유입되거나 내부에서 이송되는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 방지하는 차단부와;
상기 차단부의 상부면에 구비되고, 상기 클램프장치의 잠금장치가 회동되어 체결되도록 외측에 다수개의 체결부가 돌출 형성되며, 상부면 중앙에는 커버의 개폐를 위한 투입구가 돌출 형성되고, 상기 투입구를 통해 부재물이 배기덕트 또는 배기관 내에 투입되도록 개폐가 가능한 캡이 설치되며, 상기 클램프장치의 제2연결부와 대응되는 제1연결부가 돌출 형성되는 커버장치와;
상기 커버장치의 제1연결부와 클램프장치의 제2연결부가 상호 연결되도록 형성되어 상기 커버장치가 회동시 지지해주는 연결장치;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 특징을 갖는 본 발명은 그에 따른 바람직한 실시예를 통해 더욱 명확히 설명될 수 있을 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 여러 실시예를 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고, 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", 제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배기가스 점검구에 형성된 클램프장치의 분리 및 결속을 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 배기가스 점검구의 분해 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 배기가스 점검구에 형성된 커버장치의 회동을 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 배기덕트 또는 배기관에 설치된 배기가스 점검장치를 나타내는 평면도이다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구는 반도체 및 LCD를 제조시, 배기가스가 발생하고, 그런 배기가스를 이송시 사용되는 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 일단부에 관통 설치되어 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내부를 점검시에 사용된다. 이때, 상기 배기가스 점검구(400)는 연통부(11)와, 클램프장치(2)와, 차단부(3)와, 커버장치(4)와, 연결장치(100)로 구성된다.
상기 연통부(11)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 외주면에 돌출 형성되어 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부와 연통 되도록 형성되는데, 이러한 상기 연통부(11)의 연장부에 상기 배기가스 점검구(400)가 설치되어 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부를 점검할 수 있도록 한다.
상기 클램프장치(2)는 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 제1클램프(21)와, 제2클램프(22)와, 제2연결부(25)와, 제1플랜지(23)와, 제2플랜지(24)와, 다수개의 잠금장치(200)로 구성되는데, 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)는 반원의 형태를 가지고, 상기 연통부(11)의 외주면을 감싸는 형태로 결합된다. 이때, 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)는 후술되는 제1플랜지(23)에 형성된 관통공(23a)의 결합에 따라 결합 될 수 있다. 이러한 구조는 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)를 상기 연통부(11)의 외주면에 손쉽게 결합할 수 있다.
또한, 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)는 상기 제1플랜지(23)의 결합을 통해 상기 연통부(11)에 밀접하게 결합되어 틈새를 방지하는 동시에 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내의 배기가스가 틈새로 배출되지 않도록 고무패킹(미도시) 등이 더 설치된다. 이때, 상기 제1클램프(21)와 제2클램프(22)가 결합 되어 형성되는 링의 지름은 상기 연통부(11)의 지름에 따라 탄력적으로 형성될 수 있다.
이러한, 상기 제1클램프(21) 또는 제2클램프(22)의 외측에는 상기 제1클램프(21) 및 제2클램프(22)를 결합하기 위한 상기 제1플랜지(23)와 후술되는 커버장치(4)와 결합하기 위한 복수 개의 제2플랜지(24)가 형성되고, 상기 잠금장치(200)는 이러한 상기 제1플랜지(23) 및 제2플랜지(24)의 힌지에 결합된다.
상기 잠금장치(200)는 아이볼트(221)와, 아이너트(224)와, 후술되는 커버장치(4)와 결합하기 위한 볼트(222)와, 너트(223)로 구성되고, 상기 아이볼트(221)는 제1플랜지(23) 및 제2플랜지(24)에 결합되기 위하여 통공(221a)을 형성한다. 상기 잠금장치(200)는 수직방향으로 회동되어 상기 아이볼트(221)가 후술되는 체결부(41)에 체결시 상기 아이너트(224)의 조임에 의해 상기 체결부(41)의 상부면을 압박하여 상기 커버장치(4)와 고정되는 잠금상태가 된다. 해제시에는 반대로 상기 잠금장치(200)의 상기 아이너트(224)를 풀어 수직방향으로 회동시 상기 체결부(41)와 분리되어 상기 커버장치(4)와 잠금상태가 해제된다.
상기 차단부(3)는 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 클램프장치(2)의 상부면에 구비되고, 상기 연통부(11)를 차단함으로써, 상기 커버장치(4)의 개방시에도 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내의 배기가스가 외부로 배출되지 않고, 상기 배기가스의 독성이 접촉되어도 변질되지 않도록 내화학성 재질의 차단부(3)으로 형성된다.
여기에서 상기 차단부(3)는 중앙에 위치하는 관통홀(31)을 중심으로 나선형으로 절개홀(32)이 형성된다. 이때, 상기 관통홀(31)에 부재물 투입시 탄성력에 의해 상기 부재물과 밀착되어 상기 연통부(11) 측으로 벌어졌다가 오므라졌다 하며 내부를 점검할 배기가스 점검장치(300) 또는 작업자의 손, 도구 등이 관통시에, 도 4에서처럼 상기 절개홀(32)이 탄성적으로 벌어지게 되어 공간이 발생하지 않아 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내의 배기가스가 외부로 배출되지 않는 것이다.
그리고, 점검 후, 상기 배기가스 점검장치(300), 작업자의 손 또는 도구 등을 상기 관통홀(31)에서 이탈시키면 상기 관통홀(31)은 탄력적으로 원상태로 되돌아와 평평한 상기 차단부(3)를 형성한다.
상기 커버장치(4)는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 차단부(3)의 상부면에 구비되고, 상기 잠금장치(200)의 회동에 의해 상기 연통부(11)를 개폐하는데, 상기 잠금장치(200)의 일 측은 커버장치(4)의 일 단면에 고정되고, 타 측은 상기 클램프장치(2)의 상기 제2플랜지(24)에 고정되어 상기 커버장치(4)의 회동시에 지지된다. 이때, 상기 커버장치(4)의 하단면에는 상기 차단부(3)와 밀접하게 접촉되어 틈새가 발생하지 않도록 고무패킹(미도시)이 더 설치될 수 있다.
여기서, 상기 커버장치(4)의 외주면에는 상기 클램프장치(2)의 상기 잠금장치(200)가 회동되어 탈착되도록 다수개의 체결부(41)가 돌출 형성되고, 상기 체결부(41)에는 상기 잠금장치(200)의 상기 아이볼트(221)가 끼워지도록 체결부(41)가 형성된다.
또한, 상기 커버장치(4)의 상부에는 내시경 등의 배기가스 점검장치(300)가 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내부에 투입되도록 투입구(43)가 돌출 형성되고, 상기 투입구(43)는 상기 커버장치(4)를 관통하여 형성되어, 상기 커버장치(4)가 밀폐된 상태에서 사용되는 것이다. 이러한 상기 투입구(43)는 미사용시, 차단하기 위해 별도의 캡(44)이 더 설치되고, 상기 캡(44)은 내화학성의 고무재질로 형성되어 상기 투입구(43)에 설치시, 탄력성에 의해 상기 투입구(43)의 외주면에 압착된다.
또한, 상기 커버장치(4)는 상기 클램프장치(2)와의 결합을 위해 외측에 제1연결부(42)가 형성된다. 이러한 상기 제1연결부(42)는 상기 제2연결부(25)와 볼트(111)와 너트(113)로 결합될 수 있으며, 결합시에 발생하는 상기 커버장치(4)와 상기 클램프장치(2)의 사이 공간에는 탄성 스프링(112)이 설치된다.
일 실시예에서, 상기에서 기술한 배기가스 점검구(400)는 도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 원형으로 형성되지만, 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 형태와 배기가스의 용량에 따라 사각형 형태(미도시)로 연통부(11)가 다수개 형성되는 등 다양한 형태로 형성될 수 있다.
<부호의 설명>
1 : 배기덕트, 배기관 2 : 클램프장치
3 : 차단부 4 : 커버장치
11 : 연통부
21 : 제1클램프 22 : 제2클램프
23 : 제1플랜지 24 : 제2플랜지
25 : 제2연결부
31 : 관통홀 32 : 절개홀
41 : 체결부 42 : 제1연결부
43 : 투입구 44 : 캡
100 : 연결장치 111 : 볼트
112 : 탄성 스프링 113 : 너트
200 : 잠금장치 221 : 아이볼트
221a : 통공 222 : 볼트
223 : 너트 224 : 아이너트
300 : 배기가스 점검장치 400 : 배기가스 점검구

Claims (3)

  1. 반도체 및 LCD 제조 공정 중에 발생하는 배기가스를 이송시키는 배기덕트(1) 또는 배기관(1)에 설치되는 배기가스 점검구(400)에 있어서,
    상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 외주면에 돌출 형성되어 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부와 연통 되도록 형성되는 연통부(11)와;
    결합시에 상기 연통부(11)의 외주면을 감싸고, 링의 지름을 이등분한 형태의 제1클램프(21)와 제2클램프(22)가 구비되고, 상기 제1클램프(21) 또는 제2클램프(22)의 외측에 제2연결부(25)가 돌출 형성되며, 상기 제1클램프(21)와 제2클램프(22)의 양 끝단에는 결속부재(222, 223)의 결속 및 분리에 의해 상기 연통부(11)와 탈부착이 가능하도록 제1플랜지(23)가 돌출 형성되고, 상기 제1클램프(21)와 제2클램프(22)의 외측에 다수개의 제2플랜지(24)가 돌출 형성되며, 상기 제1플랜지(23)와 제2플랜지(24)에 힌지 결합되는 다수개의 잠금장치(200)로 구성되는 클램프장치(2)와;
    상기 클램프장치(2)의 상부면에 구비되고, 중앙의 관통홀(31)을 중심으로 나선형으로 절개홀(32)이 형성되며, 상기 관통홀(31)에 부재물 투입시 탄성력에 의해 상기 부재물과 밀착되어 연통부(11) 측으로 벌어지거나 오므라지면서 외부공기가 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내부로 유입되거나 내부에서 이송되는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 방지하는 차단부(3)와;
    상기 차단부(3)의 상부면에 구비되고, 상기 클램프장치(2)의 잠금장치(200)가 회동되어 체결되도록 외측에 다수개의 체결부(41)가 돌출 형성되며, 상부면 중앙에는 커버의 개폐를 위한 투입구(43)가 돌출 형성되고, 상기 투입구(43)를 통해 부재물이 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내에 투입되도록 개폐가 가능한 캡(44)이 설치되며, 상기 클램프장치(2)의 제2연결부(25)와 대응되는 제1연결부(42)가 돌출 형성되는 커버장치(4)와;
    상기 커버장치(4)의 제1연결부(42)와 클램프장치(2)의 제2연결부(25)가 상호 연결되도록 형성되어 상기 커버장치(4)가 회동시 지지해주는 연결장치(100);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 연결장치(100)는,
    일 측은 상기 클램프장치(2)의 제2연결부(25)에 고정되도록 설치되고, 타 측은 상기 커버장치(4)의 제1연결부(42)에 관통되도록 형성되는 볼트(111)와;
    상기 볼트(111)를 감싸는 형태로 설치되며, 상기 제1연결부(42)와 제2연결부(25)의 사이에 구비되는 탄성 스프링(112)과;
    상기 볼트(111)의 상단에 설치되고, 상기 제1연결부(42)의 상부면을 압박하여 상기 커버장치(4)의 이탈을 방지하는 너트(113);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 잠금장치(200)는,
    상기 제1플랜지(23)와 제2플랜지(24)에 각각 연결되도록 통공(221a)이 형성되는 아이볼트(221)와;
    상기 아이볼트(221)의 통공(221a)에 관통되어 상기 아이볼트(221)와 각각의 상기 제1플랜지(23) 및 제2플랜지(24)를 상호 연결시키는 결속부재(222, 223)와;
    상기 아이볼트(221)의 상단에 결합되는 아이너트(224);를 포함하여 구성되고, 상기 잠금장치(200)는 수직방향으로 회동되어 아이볼트(221)가 체결부(41)에 체결시 아이너트(224)의 조임에 의해 체결부(41)의 상부면을 압박하여 커버장치(4)를 견고하게 고정시켜 잠금상태가 되며, 상기 잠금장치(200)의 아이너트(224)를 풀어 수직방향으로 회동시 체결부(41)와 분리되어 상기 커버장치(4)의 잠금을 해제하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LCD용 배기가스 점검구.
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