JPH0616695Y2 - グローブ付気密袋 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、集積回路製造用ガスなどの、水分や酸素の混
入を防止する必要のあるガスや毒性の強いガスを含むボ
ンベとガス配管の接続および切り離し、または、ガス配
管相互の接続あるいは切り離しを、水分や酸素がガス配
管内へ侵入することを防止しつつ、また、作業者の安全
を確保しつつ、行なうことのできるグローブ付気密袋に
関し、特に薄膜形成装置、不純物導入装置、エッチング
装置などの各種装置へのボンベやガス配管の接続および
切り離しに好適で、集積回路などの歩留りを一段と向上
させることのできるグローブ付気密袋に関する。

〔従来の技術〕

従来、集積回路製造用ガスなどの、水分や酸素の混入を
防止する必要のあるガスを含むボンベとガス配管の接続
および切り離しは、ガス配管側から窒素などの不活性ガ
スを流し、大気中の水分や酸素がガス配管内に大量に侵
入することを防止しつつ大気中で行なっていた。しか
し、この従来技術では、ガス配管側から窒素などの不活
性ガスを流しても、ボンベとガス配管の接続および切り
離しを大気中で行なうため、大気中の水分や酸素がガス
配管の接続口から拡散し、ガス配管内に侵入することを
完全に防止することはできなかった。

ガス配管内に一旦侵入した水分や酸素を除去するために
は、長時間の真空引きや不活性ガスによるパージが必要
であった。この作業に要する時間のために、集積回路の
製造コストが増大するという問題があった。また、水分
や酸素の除去が不十分なガス配管にシラン（ＳｉＨ_４）
や塩化水素（ＨＣｌ）などの集積回路製造用ガスを流し
た場合、集積回路製造用ガスと水分や酸素が反応し、微
粒子が発生したり配管を腐蝕するという問題があった。
この微粒子や腐蝕部から発生した汚染物質のために、こ
のガス配管を接続した薄膜形成装置、不純物導入装置、
エッチング装置などの各種装置を用いて製造した集積回
路の歩留りが低下するという問題があった。

また、アルシン（ＡｓＨ_３）などの毒性の強いガスを含
むボンベとガス配管の接続および切り離しは、空気供給
機構付マスクなどを作業者が着用し、安全性を確保して
行なっていた。しかし、上記マスクの着用は作業性を悪
くし、また、作業区域にいる全ての人間が上記マスクを
着用しないと安全性が確保されないという問題点があっ
た。

〔考案が解決しようとする課題〕

上述した従来技術における問題点を解決するため、上記
の背景に立ち、窒素などの不活性ガスで内部の大気を置
換したグローブボックス内で、不活性ガス中でボンベと
ガス配管の接続および切り離しをする技術も行なわれて
いた。しかし、この技術では、ボンベを収納できる大き
なグローブボックス内を不活性ガスで置換するために長
時間を要するという欠点があった。

以上のように、従来の技術では、集積回路製造用ガスな
どの、水分や酸素の混入を防止する必要のあるガスを含
むボンベとガス配管の接続および切り離しを、大気中の
水分や酸素ガス配管内に侵入することを完全に防止しつ
つ、また、作業区域の人間の安全性を確保しつつ、短時
間で行なうことは困難であった。

本考案の目的は、上記従来技術における問題点を解消
し、集積回路製造用ガスなどの、水分や酸素の混入を防
止する必要のあるガスや毒性の強いガスを含むボンベと
ガス配管の接続および切り離し、または、ガス配管相互
の接続あるいは切り離しを、大気中の水分や酸素がガス
配管内に侵入することを確実の防止しつつ、また、作業
区域の人間の安全性を確保しつつ、短時間で行なうこと
のできるグローブ付気密袋を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記本考案の目的は、ボンベのガス取り出し口を含むボ
ンベの上部、もしくは第１のガス配管部を収納する第一
の開口部と、ガス配管の接続口を含むガス配管部、もし
くは第１のガス配管部と接続あるいは切り離しをする第
２のガス配管部を収納する第二の開口部と、前記第一の
開口部の一部の端から第二の開口部の一部の端にわたり
気密袋を開閉する開閉部と、２本の手による操作を気密
を保ちつつ気密袋内で行なうことを可能とする２個以上
のグローブと、不活性ガスを気密袋内に導入するガス導
入口と、気密袋内のガスを排出するガス排出口とを備え
たことを特徴とするグローブ付気密袋を用いることによ
り達成される。

〔作用〕

本考案は上記手段により、例えば、従来の大気中でガス
配管から不活性ガスを流しつつボンベの交換作業を行な
う技術に比べ、本考案は不活性ガス中でボンベの交換作
業を行なうため、ガス配管内に水分や酸素が侵入する恐
れがない点が優れている。また、空気供給機構付マスク
などを作業者などが着用し、安全性を確保する技術に比
べ、作業性が良く、１個のグローブ付気密袋の使用で作
業領域の全ての人間の安全性が確保される点が優れてい
る。また、不活性ガスで置換したグローブボックスを用
いる技術に比べ、不活性ガスで満たす容積が大幅に小さ
いため、短時間で作業が行なえる点が優れている。

〔実施例〕

以下に、本考案の一実施例を挙げ、図面を参照しながら
詳細に説明する。なお、本実施例は一つの例示であっ
て、本考案の技術的思想を逸脱しない範囲で種々の変更
あるいは改良を行ないうることは言うまでもない。

第１図は本考案の一実施例を示し、一部に透明部分８が
設けられた気密袋地１を袋状に形成して気密袋が構成さ
れる。この気密袋の下部にはボンベのガス取り出し口２
を含むボンベの上部が挿入されて収容される第一の開口
部３が設けられ、この気密袋の上部にはガス配管の接続
口４を含むガス配管部を収容する第二の開口部５が設け
られる。この第二の開口部５にはガスを使用する装置な
どへ接続されたガス配管１４、もしくはパージガス供給
用配管１５が設けられる。前記第一の開口部３の一部の
端から第二の開口部５の一部の端にわたり気密袋を開閉
する開閉部１３が設けられる。前記気密袋の内部にはポ
ケット１１が設けられると共に、一対のグローブ７が外
部から手を入れられるようにして設けられる。前記気密
袋の一方の側部にはガス導入口９が設けられると共に、
他方の側部にはガス排出口１０が設けられる。また、前
記気密袋の両側上部にはそれぞれ保持具１２が設けられ
る。

即ち、第１図に示すごとく、本考案のグローブ付気密袋
を用いてガス配管に接続されたガスボンベを交換するに
あたっては、まず、グローブ付気密袋の開閉部１３を開
け、ガス配管の接続口４を含むガス配管部とボンベのガ
ス取り出し口２を含むボンベ上部を収納し、開口部１３
を閉め、第一の開口部３からボンベの下部を出し、第二
の開口部５からガスを使用する装置などへ接続されたガ
ス配管を出した状態にする。

ここで、グローブ付気密袋の気密袋地１としては、柔軟
でガスを通さない高分子膜などを用いればよく、第一の
開口部３、第二の開口部５、開閉部１３は気密性を保つ
シール構造になっていればよい。また、可燃性のガスを
含むボンベの接続および切り離しの場合は、不燃性や難
燃性の材料をグローブ付気密袋に使用すると安全性が高
まる。

次に、グローブ付気密袋を押し縮め、グローブ付気密袋
内からガス排出口１０を通して大気をほぼ排出し、ガス
導入口９から水分や酸素を除去した窒素ガスなどの不活
性ガスをグローブ付気密袋内に導入し、グローブ付気密
袋内を不活性ガスで満たす。必要な場合は、上記の操作
を繰り返し、グローブ付気密袋内の水分や酸素濃度をさ
らに低下させる。ガス導入口９とガス排出口１０の開き
を調整して、グローブ付気密袋内に常に不活性ガスが流
れ、外部から水分や酸素が侵入しない状態にする。いず
れの場合にも気密袋内のガス圧は大気圧よりも高い状態
とする（第１図（ａ））。不活性ガスで満たされたグロ
ーブ付気密袋を保持具１２で保持し、ボンベボックスの
内側などにつるすと作業性がよくなる。

毒性の強いガスを含むボンベとガス配管の接続および切
り離しを行なう場合は、ガス排出口１０を排気ダクトな
どに接続して作業を行なうと、なんらかの原因で毒性の
強いガスが噴出した場合でも、噴出した毒性の強いガス
はグローブ付気密袋内に閉じ込められ、作業者は落ち着
いて毒性の強いガスの噴出を止める処置を行なうことが
でき、その後グローブ付気密袋内の毒性の強いガスをガ
ス排出口１０を通して排気ダクトへ排出すればよく、安
全性がさらに向上する。

ガス排出口１０から大気中の酸素や水分が逆方向拡散し
て侵入する可能性を除外したい場合は、らせん状の配
管、フィルター、逆止弁などを組み合わせてガス排出口
１０を構成するとよい。

次に、気密袋の一部に穴あけをし、この部分に透明膜を
はりつけた透明部分８からグローブ付気密袋内部を観察
しながら、グローブ７に手を入れて、ポケット１１から
レンチなどの工具を取り出し、前記工具を用いてボンベ
のガス取り出し口２とガス配管の接続口４を切り離す。
この際、大気中でボンベ交換作業をする場合と同様にガ
ス配管の接続口４からパージガス供給用配管１５から供
給される不活性ガスを噴出させた状態で作業を行なう
と、装置に接続する配管１４を含むガス配管内の汚染が
さらに防止できる。次に、ポケット１１から終端栓６を
取り出し、ボンベのガス取り出し口２およびガス配管の
接続口４を終端し栓をする（第１図（ｂ））。

ここで、グローブ７は柔軟でガスを通さない高分子膜な
どからなり、気密袋地１と気密性を保つシール構造を通
して接続し、また、２個以上備えられていると作業性が
よい。また、透明部分８は、気密袋地１が透明であれば
特に設ける必要はない。

次に、ガス導入口９を閉め、開閉部１３を開けて、ボン
ベを交換し、上記と同様の手順で、新しいボンベのガス
取り出し口２をガス配管の接続口４にパッキングなどを
用いて接続する。

特に、毒性の強いガスを含むボンベの接続および切り離
しの作業は、グローブ付気密袋内にガス検知器などを入
れておき、ボンベに含まれていたガスがグローブ付気密
袋内に許容濃度以上存在しないことを確認してから、開
閉部１３を開けると、さらに安全性が高まる。

尚、本考案のグローブ付気密袋は、第一の開口部３をガ
ス配管用シール構造に変更し、この第一の開口部３に第
１のガス配管部を収納し、第二の開口部５に第１の配管
部と接続あるいは切り離しをする第２のガス配管部を収
納することにより、ガス配管相互の接続および切り離し
に用いることもできる。これにより、ガス配管内に酸素
や水分を侵入させずに、ガス配管相互の接続および切り
離しを行なうことができる。

以上述べたように、本考案では、ガス配管の接続口４を
解放する操作を不活性ガスで満たしたグローブ付気密袋
中で行ない、大気中にはガス配管の接続口４をボンベの
ガス取り出し口２または終端栓６と接続した状態で露出
させるため、ガス配管中に水分や酸素が侵入する可能性
をほとんど完全に除去することができる。また、１個の
グローブ付気密袋の使用により、作業領域の全ての人間
の安全性が確保される。また、不活性ガスで置換したグ
ローブボックスを用いる場合に比べ、不活性ガスで満た
す容積が大幅に小さいため、短時間で大気と不活性ガス
を置換でき、簡易にボンベ交換作業が行なえる。

本考案のグローブ付気密袋を用いて各種装置のボンベ交
換を行ない、シリコン・ウエハ上に集積回路を製造する
工程に適用したところ、ボンベ交換およびそれに伴う作
業の安全性が向上し、作業時間が従来よりも大幅に短縮
でき、また、ダストや汚染物質の発生を従来よりもさら
に低減化できたため、シリコン・ウエハへのダスト付着
や不純物汚染を防止することができ、制作した集積回路
のコストを下げ、歩留りを向上させることができた。

〔考案の効果〕

以上詳細に説明したように、本考案を用いれば、ボンベ
交換にともなう水分や酸素のガス配管内への侵入が防止
でき、水分や酸素と反応性ガスとの反応による微粒子発
生や不純物汚染を防止することができるという利点があ
る。これにより、本考案を集積回路の製造工程に用いれ
ば、集積回路を高歩留りで製造することができる。ま
た、本考案を用いれば、安全性を確保しつつ、ボンベ交
換およびそれに伴う作業の時間が従来よりも大幅に短縮
できるという利点がある。これにより、集積回路の製造
コストを低減化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本考案の一実施例でボンベ接続状態を示
す正面図、第１図（ｂ）は本考案の一実施例でボンベ切
り離し状態を示す正面図である。 １……気密袋地、２……ボンベのガス取り出し口、３…
…第一の開口部、４……ガス配管の接続口、５……第二
の開口部、６……終端栓、７……グローブ、８……透明
部分、９……ガス導入口、１０……ガス排出口、１１…
…ポケット、１２……保持具、１３……開閉部、１４…
…装置に接続する配管、１５……パージガス供給用配
管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ボンベのガス取り出し口を含むボンベの上
   部、もしくは、第１のガス配管部を収納する第一の開口
   部と、 ガス配管の接続口を含むガス配管部、もしくは、第１の
   ガス配管部と接続あるいは切り離しする第２のガス配管
   部を収納する第二の開口部と、 前記第一の開口部の一部の端から第二の開口部の一部の
   端にわたり気密袋を開閉する開閉部と、 ２本の手による操作を、気密を保ちつつ、気密袋内で行
   なうことを可能とする２個以上のグローブと、 不活性ガスを気密袋内に導入するガス導入口と、気密袋
   内のガスを排出するガス排出口とを具備したことを特徴
   とするグローブ付気密袋。