JP2000167500A - 化学装置清浄化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 化学装置内部のガス状の化学種を容易に除去
できる化学装置清浄化装置を提供すること。 【解決手段】 被処理ガスを取り込む取入口５を設け、
処理済みのガスを排出する排気部９を設け、取入口５か
ら排気部９に被処理ガスを誘導するガス流路に、取入口
５から被処理ガスを吸引して排気部９へ誘導する吸引装
置８を設け、取入口５を、化学装置のケーシング内から
被処理ガスを吸引可能な状態に接続自在に形成するとと
もに、被処理ガス中に含まれる化学種を除去可能な化学
種除去フィルタ６ａを設けた化学種除去部６をガス流路
に設けて清浄化装置本体を構成し、排気部９におけるガ
スの流速を面速度で０．２ｍ／秒以上０．８ｍ／秒以下
に設定する微粒子除去フィルタ９ａを排気部に設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス状の化学種を
収容可能な空間をケーシング内に有する化学装置を清浄
化する化学装置清浄化装置に関し、例えばクリーンルー
ム内で用いられる半導体製造装置等の化学装置を清浄化
する化学装置清浄化装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルーム内に設けられた化学装置
等をメンテナンスする際には、その化学装置内の内部の
ガスをパージしてから洗浄、分解等の処理を行うことが
望ましい。というのは、化学装置内のハロゲンガスや、
酸性ガス等のガスがクリーンルーム内の他の化学装置等
に悪影響を及ぼす場合があるからである。また、メンテ
ナンス作業者の作業環境を悪化させる場合もある。そこ
で、従来このような化学装置をメンテナンスする際には
ガス供給配管から不活性ガス等を供給して内部のガス状
の化学種をパージした後にメンテナンスすることが行わ
れている。また、このような方法が採用できない状況で
は、前記化学装置をクリーンルーム内から撤去した後、
別の場所でメンテナンスせざるを得なかった。ところ
が、パージを行うにしても、化学装置の内表面に吸着し
た化学種等が洗浄、分解等の際に前記化学装置のケーシ
ングから漏れだし、周囲の環境に悪影響を及ぼす場合が
考えられる。化学装置をパージせずに撤去するような場
合にも撤去作業時に同様の状況が発生する。しかしなが
ら、このような微量ガスに着目し、これを除去する装置
は用いられていない現状にある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような微量ガスと
いえどもクリーンルームのような高度の清浄度を必要と
する環境下では、大きな問題を生起することが考えら
れ、また作業環境を悪化させる可能性があることから、
十分な対策が望まれていた。また、先のパージ操作をす
るにしてもパージ排ガスの処理に窮する場合があり、こ
のような状況への対策が望まれている。

【０００４】従って、本発明の目的は、上記実状に鑑
み、化学装置内部のガス状の化学種を容易に除去できる
化学装置清浄化装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の本発明の化学装置清浄化装置の特徴構成は、被処理ガ
スを取り込む取入口を設け、処理済みのガスを排出する
排気部を設け、前記取入口から前記排気部に被処理ガス
を誘導するガス流路に、前記取入口から被処理ガスを吸
引して前記排気部へ誘導する吸引装置を設け、前記取入
口を、前記化学装置のケーシング内から被処理ガスを吸
引可能な状態に接続自在に形成するとともに、前記被処
理ガス中に含まれる化学種を除去可能な化学種除去フィ
ルタを設けた化学種除去部を前記ガス流路に設けて清浄
化装置本体を構成し、前記排気部におけるガスの流速を
面速度で０．２ｍ／秒以上０．８ｍ／秒以下に設定する
微粒子除去フィルタを前記排気部に設け、ガス状の化学
種を収容可能な空間をケーシング内に有する化学装置を
清浄化可能に構成したことにあり、前記ガス流路を上流
側部と下流側部とに分割可能にする上流側本体と、下流
側本体とを設けて前記清浄化装置本体を構成し、前記上
流側部に前記化学種除去部を設けるとともに前記下流側
部に前記吸引装置を設け、前記化学種除去部に設けた化
学種除去フィルタを着脱交換容易にするフィルタ装着機
構を設けてあることが好ましく、前記清浄化装置本体に
脚輪を設けて可搬に形成してあることが好ましい。

【０００６】〔作用効果〕つまり、被処理ガスを取り込
む取入口を設け、処理済みのガスを排出する排気部を設
け、前記取入口から前記排気部に被処理ガスを誘導する
ガス流路に、前記取入口から被処理ガスを吸引して前記
排気部へ誘導する吸引装置を設け、前記取入口を、前記
化学装置のケーシング内から被処理ガスを吸引可能な状
態に接続自在に形成し、前記被処理ガス中に含まれる化
学種を除去可能な化学種除去フィルタを設けた化学種除
去部を前記ガス流路に設けて清浄化装置本体を構成する
と、前記清浄化装置の前記取入口を化学装置に接続し、
前記吸引装置を稼働させることによって、前記化学装置
のケーシング内のガス状の化学種を収容する空間から被
処理ガスを強制的に吸引して排気できる。従って、排気
される被処理ガスは、ガス流路を誘導して、前記化学種
除去フィルタを通過させた後、前記排気部から放出させ
ることが出来る。このようにして前記ガス流路を誘導さ
れる被処理ガスは、化学種を含有するものであったとし
ても、前記化学種除去フィルタにおいて前記化学種が吸
着除去あるいは中和除去等されるので、その化学種除去
フィルタの下流側には、有害な化学種を放出しない状況
を実現しやすい。尚、前記化学種除去フィルタとして
は、通常のケミカルフィルタや、活性炭フィルタ、イオ
ン交換フィルタ等を用いることが出来る。ここで、前記
ケミカルフィルタとしては、例えば、酸性ガスを中和除
去するアルカリを含有するもの、イオン交換フィルタと
しては、イオン性ガスをイオン交換により吸着除去する
もの、活性炭フィルタとしては多孔質構造の中に被吸着
ガスを取り込み、除去するもの、あるいはこれらの組み
合わせが挙げられるが、前記化学種除去フィルタは、こ
れらに類し、各化学種に対応して有効に除去可能なもの
を適宜選択することが出来る。

【０００７】ここで、前記化学種除去フィルタを通過し
た被処理ガスは、そのフィルタにより発生した塩等の微
粒子を含有する虞がある。また、前記吸引装置を通過し
て排出される被処理ガスが高速で清浄化装置外に放出す
ると、その気流の影響が周辺に及び、特にクリーンルー
ム内での用途において悪影響が危惧されることになる。
そこで、前記排気部におけるガスの流れを減速させる手
段を要し、具体的には、面速度で０．５ｍ／秒以下に設
定することが望ましい。そこで、微粒子除去フィルタを
前記排気部に設け、その排気される被処理ガスの面速度
を調整、設定すれば、コンパクトな構成でありながら、
両者の機能をともに実現できる。このような微粒子除去
フィルタとしては、ＨＥＰＡフィルタ等が用いられる。

【０００８】前記ガス流路を上流側部と下流側部とに分
割可能にする上流側本体と、下流側本体とを設けて前記
清浄化装置本体を構成してあれば、各上流側、下流側本
体をコンパクトに形成して取り扱い容易にして、前記清
浄化装置本体を狭所に搬送して利用可能にしながらも、
ガス処理能力を高く設定することが可能となる。さら
に、前記上流側部に前記化学種除去部を設けるとともに
前記下流側部に前記吸引装置を設けてあれば、前記化学
種除去部を通過したガスが前記吸引装置に吸引されるこ
とになるから、前記吸引装置が種々のガスに汚染される
のを防止しながらも、前記化学種除去フィルタを交換す
るような場合に、前記化学種除去フィルタを取り扱うの
に前記吸引装置が障害になるのを防止できる。また、化
学種除去フィルタの除去性能が経時的に低下した場合に
は、前記上流側本体のみを交換し、継続して処理を続け
られるとともに、交換した上流側本体を分解等して前記
化学除去フィルタを交換し、再度使用可能に待機させて
おくことが出来る。そして、前記化学種除去部に設けた
化学種除去フィルタを着脱交換容易にするフィルタ装着
機構を設けてあれば、上述の上流側本体の分解処理等を
行う際に、容易にフィルタ交換が出来て、速やかな作業
が実現できるので有利である。尚、このようなフィルタ
装着機構としては、前記上流側本体のケーシングを上下
分割自在に構成するとともに、そのケーシングの分割状
態において、前記化学種除去部に対して前記化学種除去
フィルタを装着容易に開口する構成や、ユニット化され
た前記化学種除去フィルタを、スライド装着する装着口
を有する構成等を採用することが出来る。前記清浄化装
置本体に脚輪を設けて可搬に形成してあると、多数の化
学装置を順次メンテナンスしなければならないような場
合でも、その清浄化装置本体の移動を容易にすることが
出来て好ましい。尚、このような場合に前記清浄化装置
本体を２分割可能に構成してあれば、より機動性が向上
する。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１に示すように本発明の化学装
置清浄化装置は、上流側本体１と、下流側本体２とを連
結ダクト３で連結した構成としてあり、それぞれ、スト
ッパー付きの脚輪４を設けて可搬に形成してある。

【００１０】図２に示すように、前記上流側本体１は、
ケーシング下部側面に被処理ガスを取り入れる取入口５
を設けるとともに、化学種除去フィルタとしてのケミカ
ルフィルタ６ａを装着する化学種除去部６を設け、その
ケミカルフィルタ６ａに前記被処理ガスを通過させられ
るように着脱自在に取り付けてある。また前記ケミカル
フィルタ６ａを通過した被処理ガスを前記連結ダクト３
を介して前記下流側本体２に移送すべく連結ダクト取付
部１ａを開口して設け、前記連結ダクト３を連通接続し
てガス流路を形成可能に構成してある。また、前記上流
側本体１は上下に分割自在に形成してあり、上側部１Ａ
を下側部１Ｂに対して開閉自在な蓋状に取付けてあり、
蓋した状態で内部に気密な空間を形成自在に構成すると
ともに、前記上側部１Ａを開いた状態で、前記ケミカル
フィルタ６ａを着脱交換操作容易にするフィルタ装着機
構７の役目を果たす。

【００１１】前記下流側本体２は、側面に開口部２ａを
設けたケーシング内にガス吸引装置８を内装して、吸引
したガスを搬送自在に構成してある。前記開口部２ａに
は前記連結ダクト３の一端部３ａをスリーブ状に連設し
て、その連結ダクト３から被処理ガスを吸引して導入す
るガス流路を形成可能に構成してある。また、前記連結
ダクト３の他端部３ｂは、前記上流側本体１の連結ダク
ト取付部１ａに連結することで、前記上流側本体１と連
通接続して、前記上流側本体１からの被処理ガスを流通
させられる構成としてある。また、下流側本体２の前記
ケーシング下部には、下方に開口する開口部を設けて排
気部９を形成し、前記吸引装置８を介して前記被処理ガ
スを排出するガス流路を構成する。前記排気部９には、
前記ケーシングの外方側から微粒子除去フィルタとして
のＨＥＰＡフィルタ９ａを前記開口部を覆って取り付け
てある。このＨＥＰＡフィルタ９ａは、被処理ガスを通
過させ、前記排気部９から排気される前記被処理ガスに
含まれる微粒子状汚染物質を除去可能とし、かつ、前記
被処理ガスの流速を、たとえクリーンルーム内での使用
を想定したとしても、周辺環境に悪影響を与えにくい
０．２ｍ／秒以上０．８ｍ／秒以下の面速度に低下させ
られる構成をとっている。なお、前記ＨＥＰＡフィルタ
は、前記下流側本体２のケーシング外部から取り付けら
れるので、交換容易に構成される。

【００１２】このような構成により、前記取入口５を化
学装置（図外）のケーシング内のガス状の化学種を収容
可能な空間に連通接続させた状態にして、前記吸引装置
８を稼働させると、前記化学装置内の被処理ガスは、残
留する化学種とともに前記上流側本体１に導入され、前
記ケミカルフィルタ６ａを通過する。その際、前記被処
理ガスに含有される化学種（たとえば塩化水素ガス）
は、前記ケミカルフィルタに吸収（中和）除去されて清
浄なガスとしてガス流路に沿って下流側に搬送される。
被処理ガスは、さらに、前記上流側本体１の上部側空間
を通って、連結ダクト３を介して下流側本体２に流入
し、前記吸引装置８を通過し前記排気部９に排出され
る。前記排気部９では、ＨＥＰＡフィルタ９ａを設けて
あるから、たとえば、前記ケミカルフィルタ６ａからパ
ーティクル状の汚染物質（たとえば中和によって生じた
塩）等の粒子状汚染物質が、前記被処理ガスとともに搬
送されてきたとしても、除去して清浄なガスのみを排出
することができる構成となっている。また、このとき排
出されるガスの流速は、前記ＨＥＰＡフィルタ９ａによ
り規制され、クリーンルーム内に悪影響を与えない構成
に設定できる。

【００１３】〔別実施形態〕以下に別実施形態を説明す
る。先の実施例では、前記化学種除去フィルタとしてケ
ミカルフィルタを設けたが、たとえば、強塩基性イオン
交換繊維を含有してなるイオン交換フィルタや、活性炭
等の多孔質吸着剤であってもよく、これらの混合物であ
ってもよい。また、同様に、前記微粒子除去フィルタに
ついてもＨＥＰＡフィルタに限らずＵＬＰＡフィルタ等
を用いることができ、発生すると予想される微粒子の粒
径や、前記排気部に排気される被処理ガスの流量等との
関係において適宜選択することができる。またフィルタ
装着機構についても上述のものに限らず、種々の構成を
採用することができる。また、上流側本体１と下流側本
体２に分割して清浄化装置本体を形成したが、一体のも
のであってもよく、また、さらに多数に分割した形状の
ものであってもよい。さらに、取入口５と化学種除去部
６の位置関係等についても図示した構成に限られるもの
ではない。

【００１４】また、さらにこのような化学装置清浄化装
置は、化学装置内のパージ処理に起因する排ガスの処理
も同時に図ることが出来る。さらに、このような装置
は、特にクリーンルームにおいて大きな威力を発揮する
が、同様の環境下にある化学装置の清浄化にも用いるこ
とが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の化学装置清浄化装置の全体斜視図

【図２】本発明の化学装置清浄化装置の縦断側面図

【符号の説明】

１ 上流側本体 ２ 下流側本体 ５ 取入口 ６ａ 化学種除去フィルタ ９ 排気口 ９ａ 微粒子除去フィルタ

フロントページの続き (72)発明者 大西 謙之 兵庫県尼崎市金楽寺町２丁目２番33号 株 式会社タクマ内 (72)発明者 阪上 匠 兵庫県尼崎市金楽寺町２丁目２番33号 株 式会社タクマ内 Ｆターム(参考） 3B116 AA47 AB51 BB71 CD11 4D012 CA20 CB01 CB20 CD10 CE03 CF02 CG01 CG10 CH01 CJ04 CK10

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス状の化学種を収容可能な空間をケー
   シング内に有する化学装置を清浄化する化学装置清浄化
   装置であって、 被処理ガスを取り込む取入口を設け、 処理済みのガスを排出する排気部を設け、 前記取入口から前記排気部に被処理ガスを誘導するガス
   流路に、前記取入口から被処理ガスを吸引して前記排気
   部へ誘導する吸引装置を設け、 前記取入口を、前記化学装置のケーシング内から被処理
   ガスを吸引可能な状態に接続自在に形成するとともに、 前記被処理ガス中に含まれる化学種を除去可能な化学種
   除去フィルタを設けた化学種除去部を前記ガス流路に設
   けて清浄化装置本体を構成し、 前記排気部におけるガスの流速を面速度で０．２ｍ／秒
   以上０．８ｍ／秒以下に設定する微粒子除去フィルタを
   前記排気部に設けた化学装置清浄化装置。
2. 【請求項２】 前記ガス流路を上流側部と下流側部とに
   分割可能にする上流側本体と、下流側本体とを設けて前
   記清浄化装置本体を構成し、 前記上流側部に前記化学種除去部を設けるとともに前記
   下流側部に前記吸引装置を設け、 前記化学種除去部に設けた化学種除去フィルタを着脱交
   換容易にするフィルタ装着機構を設けた請求項１に記載
   の化学装置清浄化装置。
3. 【請求項３】 前記清浄化装置本体に脚輪を設けて可搬
   に形成してある請求項１〜２のいずれかに記載の化学装
   置清浄化装置。