KR101141549B1

KR101141549B1 - 반도체 및 ｌｃｄ용 배기가스 점검구

Info

Publication number: KR101141549B1
Application number: KR1020100077635A
Authority: KR
Inventors: 김정수
Original assignee: (주)썬패치테크노
Priority date: 2010-08-12
Filing date: 2010-08-12
Publication date: 2012-05-03
Also published as: KR20110047116A

Abstract

본 발명은 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단막에 의해 차단하는 2중 보강구조로써, 정압헌팅이 방지되고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 종래의 커플러 및 치공구 등의 사용 없이 커버장치에 풀림방지 기능 체결시스템을 적용하여 커버장치의 탈,부착이 용이하고, 그로 인해 종래의 부품탈락, 추락, 멸실 등의 안전사고 요소가 완벽하게 제거되는 특징이 있다.

Description

반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구{Semiconductor and LCD with Exhaust gas access hole}

본 발명은 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단막에 의해 차단하는 2중 보강구조로써, 정압헌팅이 방지되고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 종래의 커플러 및 치공구 등의 사용 없이 커버장치에 풀림방지 기능 체결시스템을 적용하여 커버장치의 탈,부착이 용이하고, 그로 인해 종래의 부품탈락, 추락, 멸실 등의 안전사고 요소가 완벽하게 제거되는 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어진다.

상기 전 공정이라 함은 각종 프로세스 챔버(Chamber)내에서 웨이퍼(Wafer)상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 식각하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공하는 것에 의해 이른바, 반도체 칩 및 LCD를 제조하는 공정을 말한다.

후 공정이라 함은 상기 전 공정에서 제조된 반도체 칩 및 LCD를 개별적으로 분리한 후, 리드프레임과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 가리킨다.

이때, 상기 웨이퍼 및 유리기판상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 및 유리기판상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세스 챔버 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세스 가스를 사용하여 고온 및 저온에서 수행되며, 상기 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 유해가스 등이 다량 발생하게 된다.

이와 같이, 반도체 및 LCD 제조 공정 중에 화학 증착 공정과 식각 공정에서 발생하는 배기가스를 배출하기 위하여 반도체 및 LCD 제조 장비의 일측에 배기관을 연결하여 배기가 이루어지고 있다.

여기서, 상기 배기가스는 고형물질이 포함되어 있어서, 배기과정에서 상기 고형물질이 배기관이나 밸브 등 배기 라인에 쌓이게 되어, 원활한 배기가 이루어지지 않고 배기 라인의 배기 압력이 상승하게 된다.

이런 점에서 상기 배기관에는 내부에 이송되는 배기가스 및 고형물질을 확인할 수 있도록 점검구가 설치되고, 상기 점검구는 배기관과 연통되어 외부에서 육안 또는 내시경 장치 등을 통해 배기관의 내부를 점검할 수 있다.

그런데, 상기 점검구는 밀폐하는 개폐덮개가 개방시, 완전히 분리되는 방식으로 탈,부착이 불편하고, 상기 개폐덮개가 개방된 점검구는 배기관을 통해 이송되는 배기가스가 외부로 배출되어 작업자가 점검 및 크리닝 작업시 위험요소가 전면에 노출되며, 상기 개폐덮개가 완전히 개방되면 정압헌팅이 유발되는 문제점이 발생한다.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서,

배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단막에 의해 차단하는 2중 보강구조로써, 정압헌팅이 방지되고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 종래의 커플러 및 치공구 등의 사용 없이 커버장치에 풀림방지 기능 체결시스템을 적용하여 커버장치의 탈,부착이 용이하고, 그로 인해 종래의 부품탈락, 추락, 멸실 등의 안전사고 요소가 완벽하게 제거되는 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구를 제공하는데 목적이 있다.

상기 목적을 달성하고자, 본 발명은 반도체 및 LCD 제조 공정 중에 발생하는 배기가스를 이송시키는 배기덕트 또는 배기관에 설치되는 배기가스 점검구에 있어서,

상기 배기덕트 또는 배기관의 외주연에 다수개의 고정부재에 의해 고정 설치되는 플레이트 판과, 상기 플레이트 판의 상부면에 돌출 형성되어 배기덕트 또는 배기관의 내부와 연통되도록 연통홀이 형성되는 연결부와, 상기 연결부의 외주연에 힌지 결합되는 잠금부로 구성되는 연결장치와;

상기 연결장치의 연결부 상측부에 구비되어 상기 연결부의 연통홀을 차단하고, 일단면에 + 또는 ＊ 형태의 관통홀이 탄성적으로 형성되어 외부에서 부재물이 투입시, 관통홀이 탄성적으로 연통홀 측으로 벌려져 배기덕트 또는 배기관 내에 이송되는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단하는 내화학성 재질의 차단막과;

상기 차단막의 상측부에 구비되어 고정부재에 의해 차단막을 연결부의 상측부에 고정시키는 고정링과;

상기 연결부와 고정링의 외주연에 힌지장치를 통해 연결되어 고정링의 상측부에 구비되고, 외주연에 연결부의 잠금부가 회동되어 착탈되도록 착탈부가 다수개 형성되며, 상부면에는 내시경장치가 배기덕트 또는 배기관 내에 투입되도록 투입구가 돌출 형성되고, 상기 투입구의 상측부에는 미사용시 차단하도록 캡이 더 설치되는 커버장치;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구에 관한 것이다.

이상에서 살펴 본 바와 같이, 본 발명의 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구는 배기덕트 또는 배기관 내를 이송하는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단막에 의해 차단하는 2중 보강구조로써, 정압헌팅이 방지되고, 점검 및 크리닝 작업 간의 위험요소가 차단되어 작업여건 및 작업효율이 높아지며, 종래의 커플러 및 치공구 등의 사용 없이 커버장치에 풀림방지 기능 체결시스템을 적용하여 커버장치의 탈,부착이 용이하고, 그로 인해 종래의 부품탈락, 추락, 멸실 등의 안전사고 요소가 완벽하게 제거되는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 배기가스 점검구를 나타낸 분해 사시도이고,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 배기가스 점검구를 나타낸 결합 사시도이고,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 배기가스 점검구의 작동을 나타낸 사시도이고,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 배기덕트 또는 배기관에 설치된 배기가스 점검구를 나타낸 개략도이고,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 다른 종류의 배기가스 점검구를 나타낸 평면도이고,
도 6은 도 5의 A-A부분을 나타낸 단면도이다.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래와 같은 특징을 갖는다.

본 발명은 반도체 및 LCD 제조 공정 중에 발생하는 배기가스를 이송시키는 배기덕트 또는 배기관에 설치되는 배기가스 점검구에 있어서,

상기 연결부와 고정링의 외주연에 힌지장치를 통해 연결되어 고정링의 상측부에 구비되고, 외주연에 연결부의 잠금부가 회동되어 착탈되도록 착탈부가 다수개 형성되며, 상부면에는 내시경장치가 배기덕트 또는 배기관 내에 투입되도록 투입구가 돌출 형성되고, 상기 투입구의 상측부에는 미사용시 차단하도록 캡이 더 설치되는 커버장치;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 특징을 갖는 본 발명은 그에 따른 바람직한 실시예를 통해 더욱 명확히 설명될 수 있을 것이다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구(100)는 반도체 및 ＬＣＤ를 제조시, 배기가스가 발생하고, 그런 배기가스를 이송시 사용되는 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 일단부에 관통 설치되어 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내부를 점검시 사용된다. 이때, 상기 배기가스 점검구(100)는 연결장치(10)와, 차단막(20)과, 고정링(30)과, 커버장치(50)로 구성된다.

상기 연결장치(10)는 도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 플레이트 판(11)과, 연결부(12)와, 잠금부(14)로 구성되는데, 상기 플레이트 판(11)은 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 외주연에 직접 부착되고, 일단면에 다수개의 볼트, 너트 등의 고정부재가 관통되면서 배기덕트(1) 또는 배기관(1)에 고정되어 플레이트 판(11)이 배기덕트(1) 또는 배기관(1)에 고정된다.

여기서, 상기 플레이트 판(11)의 하단면에는 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 외주연 사이를 밀접하게 접촉하여 틈새를 방지하는 동시에 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내의 배기가스가 틈새로 배출되지 않도록 고무패킹(미도시) 등이 더 설치된다. 이때, 상기 플레이트 판(11)은 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 외형에 따라 곡선지거나 평평하는 등 다양하게 형성된다.

그리고, 상기 연결부(12)는 플레이트 판(11)의 상부면에 돌출 형성되고, 상기 연결부(12)의 중앙부에는 플레이트 판(11)을 관통하여 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부와 연통되도록 연통홀(13)이 형성되며, 상기 연결부(12)의 연통홀(13)은 배기덕트(1) 또는 배기관(1)을 따라 이송하는 배기가스의 독성에도 견딜 수 있도록 내화학성 재질로 형성된다. 이때, 상기 연결부(12)의 외주연은 잠금부(14)가 힌지 결합되도록 금속 재질로 형성된다.

여기서, 상기 잠금부(14)는 연결부(12)의 외주연에 힌지 결합되는데, 상기 연결부(12)의 외주연에 힌지 결합되어 수직으로 회동되는 볼트부(15)와, 상기 볼트부(15)의 상측부에 나사결합되어 볼트부(15)의 길이방향으로 이송되는 너트부(16)로 구성된다.

또한, 상기 볼트부(15)는 명칭 그대로 외주연이 나사산으로 형성되어 힌지에 의해 수직으로 회동시, 커버장치(50)의 착탈부(51)와 연결되고, 상기 커버장치(50)를 개방시에는 다시 회동시켜 커버장치(50)의 착탈부(51)에서 이탈시킬 수 있다.

그리고, 상기 너트부(16)는 볼트부(15)가 커버장치(50)의 착탈부(51)와 연결시, 볼트부(15)의 길이방향으로 이송되면서 상기 커버장치(50)의 상부면을 압박하여 상기 커버장치(50)가 개방되는 것을 제어한다. 이때, 상기 너트부(16)는 상측부가 고리형태로 형성되어 작업자가 너트부(16)를 회전시키기가 용이하고, 상기 연결장치(10)를 크레인 등의 장치에 의해 이송시, 체인 등의 연결부재를 걸 수 있다.

이렇듯, 상기에서 기술했듯이, 상기 볼트부(15)와 너트부(16)로 이루어진 잠금부(14)를 통해 커버장치(50)의 개폐를 제어한다.

상기 차단막(20)은 도 1에 도시한 바와 같이, 연결장치(10)의 연결부(12) 상측부에 구비되어 상기 연결부(12)의 연통홀(13)을 차단함으로써, 상기 커버장치(50)가 개방시, 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내의 배기가스가 외부로 배출되지 않고, 상기 배기가스의 독성이 접촉되어도 변질되지 않도록 내화학성 재질의 차단막(20)으로 형성된다.

여기서, 상기 차단막(20)의 일단면(중앙부)에는 관통홀(21)이 형성되어 커버장치(50)를 개방한 뒤, 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부를 점검하기 위해 별도로 차단막(20)을 분리할 필요없이 점검할 수 있고, 상기 관통홀(21)은 + 또는 ＊ 형태로 형성되어 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부를 점검할 장비 또는 작업자의 손, 도구 등이 관통시, 도 4에서처럼 상기 관통홀(21)이 탄성적으로 벌어지면서 장비(2) 또는 작업자의 손, 도구 등의 외주연 사이에 공간이 발생하지 않아 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내의 배기가스가 외부로 배출되지 않는 것이다.

그리고, 점검 후, 장비(2) 또는 작업자의 손, 도구 등을 관통홀(21)에서 이탈시키면 상기 관통홀(21)은 탄력적으로 원상태로 되돌아와 평평한 차단막(20)을 형성한다.

이때, 상기 차단막(20)과 연결부(12) 사이에는 차단막(20)이 연결부(12)의 상측부에 밀접하게 접촉되어 틈새가 발생되지 않도록 탄력성의 테프론 링(40)이 더 구비된다.

상기 고정링(30)은 도 1과 도 3에 도시한 바와 같이, 금속 재질로 형성되어 차단막(20)의 상측부에 구비되고, 상기 고정링(30)의 일단면에 원주방향으로 소정간격 이격되어 홀이 형성되며, 상기 홀에 볼트, 너트 등의 고정부재가 삽입된 뒤, 상기의 테프론 링(40)과 차단막(20)을 관통하여 연결부(12)의 상측부에 고정됨으로써, 상기 테프론 링(40)과 차단막(20)을 연결부(12)에 고정한다.

여기서, 상기 고정링(30)과 차단막(20) 사이에는 고정링(30)이 차단막(20)의 상측부에 밀접하게 접촉되어 틈새가 발생하지 않도록 탄력성의 테프론 링(40)이 더 구비되고, 상기 테프론 링(40)도 고정링(30)의 고정부재에 의해 고정된다.

상기 커버장치(50)는 도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 고정링(30)의 상측부에 구비되어 힌지장치(52)에 의해 회동으로 연결부(12)의 연통홀(13)을 개폐하는데, 상기 힌지장치(52)의 일측은 커버장치(50)의 일단면에 고정되고, 타측은 연결부(12)와 고정링(30)의 외주연에 고정되어 상기 커버장치(50)의 회동시, 지지한다. 이때, 상기 커버장치(50)의 하단면에는 고정링(30)의 상측부와 밀접하게 접촉되어 틈새가 발생되지 않도록 고무패킹(미도시)이 더 설치된다.

여기서, 상기 커버장치(50)의 외주연에는 연결부(12)의 잠금부(14)가 수직으로 회동되어 착탈되도록 다수개의 착탈부(51)가 돌출 형성되고, 상기 착탈부(51)에는 잠금부(14)의 볼트부(15)가 끼워지도록 착탈홈(51a)이 형성된다.

그리고, 상기 커버장치(50)의 상부면에는 도 4에서처럼, 내시경 등의 장비(2)가 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내에 투입되도록 투입구(53)가 돌출 형성되고, 상기 투입구(53)는 커버장치(50)를 관통하여 형성되어 상기 커버장치(50)가 밀폐된 상태에서 사용되는 것이다.

또한, 상기 투입구(53)는 도 4를 참고하여, 미사용시, 차단하기 위해 별도의 캡(54)이 더 설치되고, 상기 캡(54)은 내화학성의 고무재질로 형성되어 투입구(53)에 설치시, 탄력성에 의해 투입구(53)의 외주연에 압착된다.

이렇듯, 상기에서 기술한 배기가스 점검구(100)는 도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 원형 형태로 형성되지만, 상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 형태와 배기가스의 용량에 따라 도 5와 도 6에서처럼 사각형 형태로 연통홀이 다수개 형성되는 등 다양한 형태로 형성될 수 있다.

10 : 연결장치 11 : 플레이트 판
12 : 연결부 13 : 연통홀
14 : 잠금부 15 : 볼트부
16 : 너트부 20 : 차단막
21 : 관통홀 30 : 고정링
40 : 테프론 링 50 : 커버장치
51 : 착탈부 52 : 힌지장치
53 : 투입구 54 : 캡
100 : 배기가스 점검구

Claims

반도체 및 LCD 제조 공정 중에 발생하는 배기가스를 이송시키는 배기덕트(1) 또는 배기관(1)에 설치되는 배기가스 점검구(100)에 있어서,
상기 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 외주연에 형성되어 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 내부와 연통되도록 연통홀(13)이 형성되는 연결부(12)와, 상기 연결부(12)의 외주연에 힌지 결합되는 잠금부(14)로 구성되는 연결장치(10)와;
상기 연결장치(10)의 연결부(12) 상측부에 구비되어 상기 연결부(12)의 연통홀(13)을 차단하고, 일단면에 + 또는 ＊ 형태의 관통홀(21)이 탄성적으로 형성되어 외부에서 부재물이 투입시, 관통홀(21)이 탄성적으로 연통홀(13) 측으로 벌려져 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내에 이송되는 배기가스가 외부로 배출되는 것을 차단하는 차단막(20)과;
상기 연결부(12)의 외주연에 힌지장치(52)를 통해 연결되어 연결부(12)의 상측부에 구비되고, 외주연에 연결부(12)의 잠금부(14)가 회동되어 착탈되도록 착탈부(51)가 다수개 형성되는 커버장치(50);
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구.
제 1항에 있어서,
상기 차단막(20)의 상측부에는 차단막(20)을 연결부(12)의 상측부에 고정시키는 고정링(30)이 더 형성되고, 상기 차단막(20)의 상,하측면에는 연결장치(10)의 연결부(12)와, 고정링(30)과의 사이를 밀접하게 접촉되도록 탄력성의 테프론 링(40)이 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구.
제 1항에 있어서, 상기 잠금부(14)는,
상기 연결부(12)의 외주연에 힌지 결합되어 수직으로 회동되고, 외주연이 나사산으로 형성되며, 수직으로 회동시, 커버장치(50)의 착탈부(51)와 연결되는 볼트부(15)와;
상기 볼트부(15)의 상측부에 나사결합되어 볼트부(15)의 길이방향으로 이송되고, 상기 볼트부(15)가 커버장치(50)의 착탈부(51)와 연결시, 볼트부(15)의 길이방향으로 이송되면서 상기 커버장치(50)의 상부면을 압박하는 너트부(16);
를 포함하여 구성되고, 상기 볼트부(15)와 너트부(16)를 통해 커버장치(50)의 개폐를 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구.
제 1항에 있어서,
상기 연결부(12)의 하단부에는 배기덕트(1) 또는 배기관(1)의 외주연에 연결부(12)가 고정되도록 플레이트 판(11)이 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구.
제 1항에 있어서,
상기 커버장치(50)의 상부면에는 배기덕트(1) 또는 배기관(1) 내에 투입되도록 투입구(53)가 돌출 형성되고, 상기 투입구(53)의 상측부에는 미사용시 차단하도록 캡(54)이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 ＬＣＤ용 배기가스 점검구.