KR100950215B1

KR100950215B1 - 반도체제조공정의 공정챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡

Info

Publication number: KR100950215B1
Application number: KR1020090072825A
Authority: KR
Inventors: 장미영
Original assignee: 장미영
Priority date: 2009-08-07
Filing date: 2009-08-07
Publication date: 2010-03-29

Abstract

반도체 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡이 개시된다. 본 발명은, 반도체 공정 챔버(10)내의 가스 누설이 방지되도록 밀폐시키는 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)에 있어서, 상기 배출관의 단면에 대응하는 평면형상의 몸체(110); 상기 몸체(110)의 외주면에 상기 배출관 방향으로 돌출된 밀폐돌출부(120); 상기 몸체(110)의 내측 바닥 모서리에 내측으로 수직형성된 홈 형상으로서, 마감캡(100)의 세척후 보관시 및 클램프결합부(14)와의 결합시 마감캡(100)이 뒤집힌 상태로 유지시키는 뒤집힘유지홈(130); 상기 마감캡(100)의 내측 바닥 중앙부에 상기 배출관 방향으로 돌출된 형상으로서, 사용자로 하여금 마감캡(100)의 내측의 중심과 클램프결합부(14)의 중심을 빠른 시간 내에 일치시킬 수 있도록 가이드하는 환형가이드돌기(140);를 포함하고, 상기 몸체(110), 밀폐돌출부(120) 및 환형가이드돌기(140)는 탄성있는 재료로 형성되어, 상기 뒤집힘유지홈(130)에 의해 상기 마감캡(100)이 뒤집힌 상태로 유지되고 상기 환형가이드돌기(140)에 의해 밀폐력이 유지된 상태에서 상기 배기가스의 배출관을 밀폐시키는데 소요되는 시간을 단축시키는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 뒤집혀진 상태로 유지되는 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)이 제공된다.

반도체 제조 공정, 챔버, 밀폐용 마감캡

Description

반도체제조공정의 공정챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡{End cap for sealing flue cas-pipe processing chamber of semi-conductor manufactoring process}

본 발명은 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정설비의 유지 보수작업시 공정 챔버내의 가스 누설을 방지하기 위해 상기 공정 챔버를 밀폐하는 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡에 관한 것이다.

도 1은 반도체 제조과정중 공정가스를 배출하는 프로세스를 나타내는 도면이다.

공정 챔버(10)는 반도체를 제조하는 공간이며, 화학적 반응성을 활성화하기 위한 여러 가지 공정가스가 사용된다.

즉, 웨이퍼 상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 공정 챔버(10) 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유 해 가스와 수소 등의 프로세스 가스를 사용하여 고온에서 수행되며, 상기 공정이 진행되는 동안 공정 챔버(10) 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 유해가스 등이 다량 발생하게 된다.

흔히, 공정 챔버(10)는 적절한 처리환경의 제공 또는 직원들의 안전을 위해 공정작업동안 가압, 진공 또는 배기된다.

또한, 반도체를 제조하는데 사용되는 특정된 다수의 반응물 및 처리 기체는 매우 독성이 심하며 인화성을 갖는다. 따라서, 기판이 로드되는 것들을 포함하는 공정 챔버(10)로의 모든 개구부 또는 틈들, 처리와 배기 기체공급라인 및, 진공 또는 배기포트는 그들 각각의 고정물 및 설비들에 기밀밀봉으로 밀폐 되어야 한다.

그리고, 반도체 제조장비에는 공정 챔버(10)를 진공상태로 만들어 주는 진공펌프(20)의 후단에 상기 공정 챔버(10)에서 배출되는 배기가스를 정화시킨 후 대기로 방출하는 정화장치(30)를 설치한다.

하지만, 상기 공정 챔버(10)에서 배출되는 배기가스는 대기와 접촉하거나 주변의 온도가 낮으면 고형화되어 파우더(powder)(P)로 변하게 되는데, 상기 파우더가 배기라인에 고착될 경우 배기압력을 상승시킴과 동시에 파우더(P)가 진공펌프(20)로 유입될 경우에는 진공펌프(20)의 고장을 유발하고, 배기가스의 역류를 초래하여 공정 챔버(10) 내에 있는 웨이퍼를 오염시키는 문제점이 있다.

따라서, 도 1에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(10)와 진공펌프(20) 사이에 상기 공정 챔버(10)에서 배출되는 배기가스를 파우더(P) 상태로 응착시키는 파우더 트랩 장치(40)를 설치하기도 한다.

즉, 공정 챔버(10)와 진공펌프(20)는 펌핑라인으로 연결되고, 상기 펌핑라인에는 상기 공정 챔버(10))에서 발생된 반응부산물을 파우더(P) 형태로 트랩하여 적체하기 위한 트랩장치(40)가 상기 공정 챔버(10)와 진공펌프(20) 사이에 설치된다.

이와 같은 종래의 파우더 트랩 장치(40)는 상기 공정 챔버(10) 내부에서 박막의 증착이나 식각시 발생된 미반응 가스는 상기 공정 챔버(10)에 비해 상대적으로 낮은 온도 분위기를 갖는 펌핑라인쪽으로 유입되면서 분말 상태의 파우더(P)로 고형화된 후, 트랩장치(40)내에 쌓이게 된다.

그러나, 상기와 같이 파우더(P)가 적체되는 트랩장치(40)도 공간이 매우 협소한 관계로 상기 트랩관에 적체된 파우더(P)를 자주 제거해 주어야 한다.

따라서, 공정 설비의 유지보수작업시 먼저, 공정 챔버(10)의 배출관(12)의 연결부위인 클램프결합부(14)와 트랩장치(40)의 흡입관(42)의 연결부위인 클램프결합부(44)를 연결시켜 주는 클램프(50)를 제거하고, 그 다음, 상기 클램프(50)에 의해 연결되었던 각각의 클램프결합부(14, 44)를 분리하는 과정에서 공정 챔버(10)의 배출관(12)으로 부터 외부로 유출되는 유독성이 심한 가스를 막기 위해 배관의 연결부위인 상기 클램프결합부(14)에 마감캡(60)을 결합시킨다.

그러나, 종래의 마감캡(60)은 다음과 같은 문제점을 갖고 있다.

도 2a 및 도 2b는 종래 기술에 따른 마감캡과 공정 챔버(10)의 일측에 형성된 클램프결합부의 결합과정을 나타낸 도면이다.

첫째, 종래의 마감캡(60)은 배출관의 단면에 대응하는 평면형상의 몸체(62)와 상기 몸체의 외주면에 상기 배출관 방향으로 돌출된 돌출부(64)와, 상기 돌출 부(62)의 단부에는 상기 몸체(62)의 내측 방향으로 단턱(66)이 형성된 통상적인 캡 형상을 갖고 있다.

상기와 같은 종래의 마감캡(60)은 상기 클램프결합부(14)와 결합되더라고 공간부가 많이 발생하여 밀폐력이 약한 문제점을 갖고 있다.

둘째, 종래의 마감캡(60)은 변형이 어러운 합성수지의 재질로 되어 있으며, 상기 클램프결합부(14)와 결합시 상기 마감캡(60)의 돌출부(64)에 형성된 상기 단턱(66)이 때문에 억지끼움 형식으로 결합되어야 한다. 그로 인해, 상기 마감캡(60)과 클램프결합부(14)와의 결합시간이 오래 걸려 결합되는 과정에서 공정 챔버(10)의 내부 있는 유해한 가스들이 외부로 유출되어 작업자들이 유해한 가스에 노출되는 문제점을 초래하게 된다. 즉, 유해가스에 반복적으로 노출된 작업자들은 백혈병과 같은 산업재해가 발생될 수도 있다.

셋째, 종래의 마감캡(60)의 재질은 합성수지로 되어 있기 때문에 열에 약하다. 즉, 공정 챔버(10)의 내부에서 나오는 고온의 공정가스에 의해 쉽게 변형이 될 수도 있으며 그로 인해, 유해 가스가 변형된 틈새로 외부로 유출되는 문제점이 있으며, 사용된 마감캡(60)의 재사용이 불가능하기 때문에 다량의 부품 구매에 따른 경제적 손실을 초래하게 되는 문제점도 발생하게 된다.

넷째, 합성수지 재질로 이루어진 종래의 마감캡(60)은 공정 챔버(10)의 내부에서 나오는 공정가스에 노출되면 경화가 빨리 이루어져 쉽게 부서지는 경우가 발생되어 마감캡(60)을 반복적으로 사용할 수 없는 문제점도 있다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 밀폐성이 우수하고, 배관과의 결합시간을 단축시키며, 변형되거나 부서짐이 발생되지 않아 반복적으로 사용 가능한 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡을 제공하는 것이다.

전술한 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 몸체 내측에 홈을 가지는 수용구가 구비되어 공정 설비의 유지보수작업시 공정챔버의 배출관의 연결부위인 클램프결합부(14)에 결합되어 공정 챔버(10)내의 가스 누설이 방지되도록 밀폐시키는 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)에 있어서, 상기 클램프결합부(14)의 단면에 대응하는 평면형상의 몸체(110); 상기 몸체(110)의 외주면에 상기 배출관 방향으로 돌출된 밀폐돌출부(120); 상기 몸체(110)의 내측 바닥 모서리에 내측으로 수직형성된 홈 형상으로서, 마감캡(100)의 세척후 보관시 및 클램프결합부(14)와의 결합시 마감캡(100)이 뒤집힌 상태로 유지시키는 뒤집힘유지홈(130); 상기 마감캡(100)의 내측 바닥 중앙부에 상기 배출관 방향으로 돌출된 형상으로서, 사용자로 하여금 마감캡(100)의 내측의 중심과 클램프결합부(14)의 중심을 빠른 시간 내에 일치시킬 수 있도록 가이드하는 환형가이드돌기(140);를 포함하고, 상기 몸체(110), 밀폐돌출부(120) 및 환형가이드돌기(140)는 탄성있는 재료로 형성되어, 상기 뒤집힘유지홈(130)에 의해 상기 마감캡(100)이 뒤집힌 상태로 유지되고 상기 환형가이드돌기(140)에 의해 밀폐력이 유지된 상태에서 상기 배기가스의 배출관을 밀폐시키는데 소요되는 시간을 단축시키는 것을 특징으로 한다.

일 실시예에서, 상기 뒤집힘유지홈(130)의 양측 벽면중 중심부와 가까운 일측 벽면을 마감캡(100)의 중심방향으로 경사지게 형성시킴으로써, 마감캡(100)의 뒤집힌 형상이 유지되도록 하는 뒤집힘유지경사면(132)을 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

일 실시에에서, 상기 밀폐돌출부(120)의 단부에는 상기 단부로부터 몸체 내측방향으로 연장되도록 형성되어 상기 클램프결합부(14)와 결합시 밀착력을 증가시키는 밀착내향플랜지(122)가 형성되고, 상기 밀착내향플랜지(122)는 결합되는 상기 클램프결합부(14)의 대향하는 측면의 경사와 동일한 각도로 경사지게 형성되며, 상기 밀착내향플랜지(130)의 폭은 마감캡(100) 직경의 10% 내지 17% 범위 내에서 형성되는 것을 특징으로 한다.

일 실시에에서, 상기 탄성있는 재료는 실리콘으로 이루어지는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 뒤집혀진 상태로 유지되는 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)에 의해 빠른 시간내에 공정 챔버(10)를 밀폐시킬 수 있어 작업시간을 단축시킬 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀페용 마감캡(100)의 밀폐력을 향상시켜 공정 챔버(10)으로부터 나오는 유해한 공정가스를 차단하여 작업자의 안전성과 작업공간의 쾌적성을 향상 시킨다.

또한 본 발명에 의하면, 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)의세척과 건조가 용이하여 사용자로 하여금 편리함과 청결함을 준다.

또한 본 발명에 의하면, 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)을 적층된 상태로 보관할 수 있어 공간활용도를 높일 수 있으며, 보다 안정적으로 보관할 수 있다.또한 본 발명에 의하면, 고온의 열에 의해 변형되거나 공정가스에 의해 경화되어 부서짐이 발생되지 않아 반복적으로 사용가능하기 때문에 많은 비용이 발생되지 않아 부품구매에 따른 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명에 따른 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡의 사시도이다.

공정 챔버(10)의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)은 몸체(110), 밀폐돌출부(120), 뒤집힘유지홈(130), 환형가이드돌기(140)를 포함한다.

몸체(110)는 탄성있는 재료로 이루어진 평면형상의 부재로서 상기 공정 챔버(10)의 배출관의 연결부위인 클램프결합부(14)의 단면에 대응되는 형상을 갖는 다.

밀폐돌출부(120)는 탄성있는 재료로 이루어져 상기 몸체(110)의 외주면에 상기 배출관 방향으로 돌출되어 상기 클램프결합부(14)를 감싸도록 형성된 부재이며, 밀착내향플랜지(122)를 포함한다.

밀착내향플랜지(122)는 탄성있는 재료로 이루어져 상기 밀폐돌출부(120)의 단부로부터 몸체 내측방향으로 연장되도록 형성된 부재로서 상기 밀폐돌출부(120)의 단부에 날개와 같이 밀착내향플랜지(122)를 형성시킴으로서, 상기 클램프결합부(14)와 결합시 밀폐력을 증가시켜 외부로 유해가스가 유출되는 것을 막는다.

또한, 상기 마감캡(100)을 뒤집어 놓았을때 상기 밀착내향플랜지(122)에 의해 상기 밀폐돌출부(120)의 단부로 하중이 형성되기 때문에 상기 마감캡(100)이 원래대로 복원되지 못하고 뒤집혀진 상태로 유지된다.

또한, 상기 밀착내향플랜지(122)는 결합되는 상기 클램프결합부(14)의 대향하는 측면의 경사와 동일한 각도로 경사지게 형성시킨다. 이는, 각각의 대응면에 공간부가 형성되지 않아 밀폐력을 증가시키기 위함이다.

또한, 상기 밀착내향플랜지(122)의 폭은 마감캡(100) 직경의 10% 내지 17% 범위 내에서 형성되는 것이 바람직하다.

이는, 밀착내향플랜지(122)의 폭의 마감캡(100) 직경의 10% 내지 17% 범위이상 넘어가게 되면 마감캡(100)의 사용 후 분리하는 과정에서 작업시간이 많이 소요되며, 제조단가의 상승을 초래하게 된다.

뒤집힘유지홈(130)은 상기 몸체(110)의 내측 바닥 모서리에 내측으로 수직형 성되어 상기 마감캡(100)의 내측이 외부로 노출되도록 뒤집을때 상기 마감캡(100)이 뒤집힌 상태로 유지되도록 하기 위한 홈이다.

상기와 같이, 마감캡(10)을 뒤집은 상태로 유지시키는 것은, 상기 클램핑결합부(14)에 체결되어 사용된 마감캡(100)의 내측에는 파우더(P)와 같은 이물질들이 붙게 되는데 이때 마감캡(100)의 내측 구석구석 세척이 용이하도록 하기 위함이다. 또한, 세척이 완료된 마감캡(100) 표면의 물이 마감캡(100)의 내부에 고이지 않도록 뒤집어 건조시킴으로써 빠른 시간내에 건조시킬 수 있으며, 건조된 마감캡(10)을 적층시켜 보관할 수 있으므로 제품의 청결함과 보관의 안전성, 공간 효율성을 높일 수 있다.

또한, 상기와 같이 뒤집힌 상태로 적층된 상기 마감캡(100)은 상기 클램프결합부(14)를 감싸는 상기 밀폐돌출부(120)가 결합방향의 반대로 뒤집혀져 있기 때문에 상기 클램프결합부(14)와의 결합시에도 빠르게 결합할 수 있다.

상기 뒤집힘유지홈(130)은 뒤집힘유지경사면(132)을 포함한다.

뒤집힘유지경사면(132)은 상기 뒤집힘유지홈(130)의 양측 벽면중 상기 밀폐돌출부(120)의 내면과 마주하는 벽면을 상기 마감캡(100)의 중심방향으로 경사지게 형성시킨다. 이는, 1차적으로 상기 뒤집힘유지홈(130)을 형성시켰다면, 2차적으로 뒤집힘유지경사면(132)을 형성시켜 더욱 더 안정적으로 뒤집혀진 상기 마감캡(100)이 잘 유지되도록 하기 위함이다.

환형가이드돌기(140)는 탄성있는 재료로 이루어진 환형의 돌기로서 상기 마감캡(100)의 내측 바닥 중앙부에 일정높이 돌출형성 된다. 상기 환형가이드돌 기(140)는 마감캡(100)의 내측중심과 클램프결합부(14)의 중심이 일치 결합되도록 가이드 해준다.

상기와 같이, 상기 환형가이드돌기(140)를 형성시킴으로서 상기 마감캡(100)을 클램프결합부(14)에 결합시키는 작업시간을 단축시킬 수 있다.

도 4는 본 발명에 따른 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡을 손으로 잡고 뒤집는 상태를 나타낸 도면이다.

도 4에서 보는 바와 같이, 상기 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)의 재질은 다양하게 사용가능하나 본 발명에서는 손쉽게 뒤집을 수 있도록 탄성있는 실리콘으로 이루어지는 것이 바람직하다.

이는, 실리콘으로 마감캡(100)을 만들 경우 180도 고온까지 견딜 수 있어 열에 의한 변형을 막을 수 있으며, 공정가스와 접촉되더라고 부식되지 않기 때문에 반복적으로 사용이 가능하기 때문이다. 즉, 경제적인 손실을 막을 수 있다.

물론, 실리콘과 같은 재질은 정전기 성질이 있어서 먼지가 잘 묻지만 본 발명의 마감캡(100)은 뒤집어진 상태로 세척과 건조가 용이하기 때문에 문제되지 않는다.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡이 공정 챔버의 일측에 형성된 클램프결합부와 결합되는 과정을 나타낸 단면도이다.

도 5a는 본 발명에 따른 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)이 뒤집혀진 상태로 클램프결합부(14)의 전면에 접촉된 상태를 나타낸 단면도이고, 도 5b는 본 발명에 따른 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)과 상기 클램프결합부(14)가 결합된 상태를 나타낸 단면도이다.

먼저, 뒤집혀진 상태로 적층보관된 마감캡(100)을 준비한다.

그 다음, 상기 공정 챔버의 배출관(12)의 연결부위인 클램프결합부(14)와 상기 트랩장치(40)의 흡입관(42)의 연결부위인 클램프결합부(44)가 연결되도록 결합시킨 클램프(50)를 해제시킨 후 상기 클램프(50)를 상기 클램프결합부(14, 44)로부터 분리시킨다.

그 다음, 양측 배관을 분리하는 과정에서 준비된 마감캡(100)의 내측이 공정 챔버(10)의 배출관의 연결부위인 클램프결합부(14)의 전면이 밀폐되도록 재빨리 막는다.

이 과정에서 상기 환형가이드돌기(140)에 의해 상기 클램프결합부(14)의 중심과 마감캡(100)의 중심이 빠른 시간내에 일치되어 작업시간을 단축시킨다.

그 다음, 상기 마감캡(100)이 상기 클램프결합부(14)를 완전히 밀폐시킬 수 있도록 상기 밀폐돌출부(120)와 밀폐내향플랜지(122)를 상기 클램프결합부(14)에 밀착시킨다.

즉, 상기의 과정이 모두 완료되면 도 4b에 도시된 바와 같이 결합된다.

도 6는 본 발명에 따른 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡의 내부가 외부로 노출되도록 뒤집힌 상태에서 적층된 상태를 나타낸 단면도다.

즉, 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명의 마감캡(100)을 적층된 상태로 보관할 수 있어, 공간활용도를 높일 수 있으며, 안정적으로 보관할 수 있다.

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.

도 1은 반도체 제조 과정 중 공정가스를 배출하는 프로세스를 나타내는 도면이다.

도 2a 및 도 2b는 종래 기술에 따른 마감캡과 공정 챔버의 일측에 형성된 클램프결합부의 결합과정을 나타낸 단면도이다.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡이 공정 챔버의 일측에 형성된 클램프 결합부와 결합되는 과정을 나타낸 단면도이다.

도 6은 본 발명에 따른 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡의 내부가 외부로 노출되도록 뒤집힌 상태에서 적층된 상태를 나타낸 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 공정 챔버 12 : 배출관

14 : 클램프결합부 20 : 진공펌프

30 : 정화장치 40 : 트램장치

42 : 흡입관 44 : 클램프결합부

50 : 클램프 60 : 마감캡

62 : 몸체 64 : 돌출부

66 : 단턱 100 : 마감캡

110 : 몸체 120 : 밀페돌출부

122 : 밀착내향플랜지 130 : 뒤집힘유지홈

132 : 뒤집힘유지경사면 140 : 환형가이드돌기

Claims

몸체 내측에 홈을 가지는 수용구가 구비되어 반도체 공정 설비의 유지보수작업시 공정챔버의 배출관의 연결부위인 클램프결합부(14)에 결합되어 공정 챔버(10)내의 가스 누설이 방지되도록 밀폐시키는 반도체 제조공정의 공정챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡(100)에 있어서,

상기 배출관의 단면에 대응하는 평면형상의 몸체(110);

상기 몸체(110)의 외주면에 상기 배출관 방향으로 돌출된 밀폐돌출부(120);

상기 몸체(110)의 내측 바닥 모서리에 내측으로 수직형성된 홈 형상으로서, 마감캡(100)의 세척후 보관시 및 클램프결합부(14)와의 결합시 마감캡(100)이 뒤집힌 상태로 유지시키는 뒤집힘유지홈(130);

상기 마감캡(100)의 내측 바닥 중앙부에 상기 배출관 방향으로 돌출된 형상으로서, 사용자로 하여금 마감캡(100)의 내측의 중심과 클램프결합부(14)의 중심을 일치시키는데 소요되는 시간이 단축되도록 가이드하는 환형가이드돌기(140);를 포함하고,

상기 몸체(110), 밀폐돌출부(120) 및 환형가이드돌기(140)는 탄성있는 재료로 형성되어, 상기 뒤집힘유지홈(130)에 의해 상기 마감캡(100)이 뒤집힌 상태로 유지되고 상기 환형가이드돌기(140)에 의해 밀폐력이 유지된 상태에서 상기 배기가스의 배출관을 밀폐시키는데 소요되는 시간을 단축시키는 것을 특징으로 하는 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡.
제 1항에 있어서,

상기 뒤집힘유지홈(130)의 양측 벽면중 상기 밀폐돌출부(120)의 내면에 대향하는 벽면을 마감캡(100)의 중심방향으로 경사지게 형성시킴으로써, 마감캡(100)의 뒤집힌 형상이 유지되도록 하는 뒤집힘유지경사면(132)을 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡.
제 1항에 있어서,

상기 밀폐돌출부(120)의 단부에는 몸체 내측방향으로 연장되도록 형성되어 상기 클램프결합부(14)와 결합시 밀착력을 증가시키는 밀착내향플랜지(122)가 형성되고,

상기 밀착내향플랜지(122)는 결합되는 상기 클램프결합부(14)의 대향하는 측면의 경사와 동일한 각도로 경사지게 형성되며, 상기 밀착내향플랜지(122)의 폭은 마감캡(100) 직경의 10% 내지 17% 범위 내에서 형성되는 것을 특징으로 하는 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡.
제 1항에 있어서,

상기 탄성있는 재료는 실리콘인 것 특징으로 하는 공정 챔버의 배기가스 배출관 밀폐용 마감캡.