CN214960487U - 一种多腔结构真空腔体 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种多腔结构真空腔体，属于真空腔体技术领域，包括箱体，箱体的顶端设有盖板，盖板的顶端安装有拉手，箱体的外壁前后左右均设有连接法兰，连接法兰的外壁安装有金属垫片，箱体的内部设有真空内腔本体，真空内腔本体的外壁一侧安装有通气管，通过设置螺纹圈和密封圈，箱体的内壁设有螺纹槽，当连接法兰转动时螺纹圈与螺纹槽卡接，同时密封环的外壁与箱体的外壁贴合，密闭箱体与连接法兰贴合处的缝隙，使其密闭，增加真空内腔本体的密闭性，同时提高了连接法兰安装和拆卸时的便利性，便于真空内腔本体内部的检修。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空腔体技术领域，更具体的，涉及一种多腔结构真空腔体。
背景技术
真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变，这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等，而多腔结构的真空腔体对抽气时间、动态响应等优点更为明显。
现有的多腔结构真空腔体，结构单一，一般每个腔体都配备有单个的连接法兰用于灌输或者放空气体，但是由于腔体密闭，腔体内部的温度排放效果不佳，且连接法兰一般都是通过焊接的方式与箱体连接达到密封，费时费力，且对后期箱体内部真空腔体的检修也极为不便。
实用新型内容
本实用新型旨在解决，现有的多腔结构真空腔体，结构单一，一般每个腔体都配备有单个的连接法兰用于灌输或者放空气体，但是由于腔体密闭，腔体内部的温度排放效果不佳，且连接法兰一般都是通过焊接的方式与箱体连接达到密封，费时费力，且对后期箱体内部真空腔体的检修也极为不便的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多腔结构真空腔体，包括箱体，所述箱体的顶端设有盖板，所述盖板的顶端安装有拉手，所述箱体的外壁前后左右均设有连接法兰，所述连接法兰的外壁安装有金属垫片，所述箱体的内部设有真空内腔本体，所述真空内腔本体的外壁一侧安装有通气管。
进一步优选方案：所述箱体的顶端设有卡槽，所述盖板的底端设有凸起块，且凸起块嵌入于卡槽的内部。
进一步优选方案：所述连接法兰的外壁设有密封环，且密封环的外壁与金属垫片贴合，所述连接法兰的外壁一侧设有螺纹圈，且螺纹圈嵌入与箱体的内壁。
进一步优选方案：所述箱体的内部共设置有四个真空内腔本体，且箱体的内部中间留有空余。
进一步优选方案：所述通气管的内部设有固定板，且固定板的中间开设有孔洞。
进一步优选方案：所述固定板的外壁一侧设有弹簧，所述通气管的开口处设有密封圈，且密封圈与弹簧相互连接。
进一步优选方案：所述通气管的内部开口处设有垫片，且垫片与密封圈的外壁贴合。
本实用新型提供了一种多腔结构真空腔体，具有以下有益效果：
1、本实用新型通过设置螺纹圈和密封圈，箱体的内壁设有螺纹槽，当连接法兰转动时螺纹圈与螺纹槽卡接，同时密封环的外壁与箱体的外壁贴合，密闭箱体与连接法兰贴合处的缝隙，使其密闭，增加真空内腔本体的密闭性，同时提高了连接法兰安装和拆卸时的便利性，便于真空内腔本体内部的检修。
2、本实用新型优点在于通过设置通气管和密封圈，连接法兰的出气口连接真空内腔本体，另一侧连接气泵，当开启通过导线电性连接的气泵时，吸力沿着连接法兰进入真空内腔本体的内部，将真空内腔本体内部的空气抽空，使其达到真空状，当气泵停止运转时，真空内腔本体4内部的温度和气压达到一定程度时，气体经过经过管吹动密封圈，使密封圈与通气管之间露出空隙，便于真空内腔本体内部温度的排放。
3、最后通过设置盖板和凸起块，盖板通过手向下按动，将凸起块嵌入在卡槽的内部，当卡槽与凸起块贴合时，盖板将箱体的顶端开口密封，使箱体内部形成真空状，同时盖板的简易开合，便于真空内腔本体内部的检修。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型装置连接法兰局部结构示意图。
图3为本实用新型装置箱体剖面结构示意图。
图4为本实用新型装置固定板局部结构示意图。
图1-4中：1、箱体；101、卡槽；2、盖板；201、拉手；202、凸起块；3、连接法兰；301、金属垫片；302、密封环；303、螺纹圈；4、真空内腔本体；5、通气管；501、固定板；502、孔洞；503、弹簧；504、密封圈。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图1-4，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例：
请参阅图1至4：
本实施例提供进一步优选方案一种多腔结构真空腔体，包括箱体1，箱体1的顶端设有盖板2，盖板2的顶端安装有拉手201，箱体1的外壁前后左右均设有连接法兰3，连接法兰3的外壁安装有金属垫片301，箱体1的内部设有真空内腔本体4，真空内腔本体4的外壁一侧安装有通气管5。
进一步的，箱体1的顶端设有卡槽101，盖板2的底端设有凸起块202，且凸起块202嵌入于卡槽101的内部，盖板2通过手向下按动，将凸起块202嵌入在卡槽101的内部，当卡槽101与凸起块202贴合时，盖板2将箱体1的顶端开口密封，使箱体1内部形成真空状。
进一步的，连接法兰3的外壁设有密封环302，且密封环302的外壁与金属垫片301贴合，连接法兰3的外壁一侧设有螺纹圈303，且螺纹圈303嵌入与箱体1的内壁，箱体1的内壁设有螺纹槽，当连接法兰3转动时螺纹圈303与螺纹槽卡接，同时密封环302的外壁与箱体1的外壁贴合，密闭箱体1与连接法兰3贴合处的缝隙，使其密闭。
进一步的，箱体1的内部共设置有四个真空内腔本体4，且箱体1的内部中间留有空余，四个真空内腔体4位于箱体1内部的前后左右四个方位，四个真空内腔体4相互贴合，中间留有空间，便于真空内腔本体4内部气体的排放。
进一步的，通气管5的内部设有固定板501，且固定板501的中间开设有孔洞502，连接法兰3的出气口连接真空内腔本体4，另一侧连接气泵，当开启通过导线电性连接的气泵时，吸力沿着连接法兰3进入真空内腔本体4的内部，将真空内腔本体4内部的空气抽空，使其达到真空状。
进一步的，固定板501的外壁一侧设有弹簧503，通气管5的开口处设有密封圈504，且密封圈504与弹簧503相互连接，吸力经过通气管5吸住密封圈504，使密封圈504回缩进入通气管5的内部，密封真空内腔本体4，同时当气泵关闭时，弹簧503产生张力推动密封圈504，使密封圈504与通气管5之间留出空隙，将真空内腔本体4内部的温度排出。
进一步的，通气管5的内部开口处设有垫片，且垫片与密封圈504的外壁贴合，当真空内腔本体4内部的温度和气压达到一定程度时，气体经过经过通气管5吹动密封圈504，使密封圈504与通气管5之间露出空隙，便于真空内腔本体4内部高温的排放。
工作原理：一种多腔结构真空腔体，首先将密封环302套在连接法兰3的外壁，然后转动连接法兰3，连接法兰3转动时螺纹圈303与箱体1内壁螺纹槽卡接向箱体1内部方向移动，同时连接法兰3移动的过程中密封环302的外壁与箱体1的外壁贴合，密闭箱体1与连接法兰3贴合处的缝隙，使其密闭，便于连接法兰3的安装，然后用手向下按动盖板2，将盖板2底端的凸起块202嵌入在卡槽101的内部，当卡槽101与凸起块202贴合时，盖板2将箱体1的顶端开口密封，使箱体1内部形成真空状，然后再将连接法兰3分别连接气泵，当开启通过导线电性连接的气泵时，吸力沿着连接法兰3进入真空内腔本体4的内部，吸力经过通气管5吸住密封圈504，使密封圈504回缩进入通气管5的内部，密封真空内腔本体4，将真空内腔本体4内部的空气抽空，使其达到真空状，同时当气泵关闭时，弹簧503产生张力推动密封圈504，使密封圈504与通气管5之间留出空隙，将真空内腔本体4内部的高压和温度排出。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对应本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种多腔结构真空腔体，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)的顶端设有盖板(2)，所述盖板(2)的顶端安装有拉手(201)，所述箱体(1)的外壁前后左右均设有连接法兰(3)，所述连接法兰(3)的外壁安装有金属垫片(301)，所述箱体(1)的内部设有真空内腔本体(4)，所述真空内腔本体(4)的外壁一侧安装有通气管(5)。
2.根据权利要求1所述的一种多腔结构真空腔体，其特征在于：所述箱体(1)的顶端设有卡槽(101)，所述盖板(2)的底端设有凸起块(202)，且凸起块(202)嵌入于卡槽(101)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种多腔结构真空腔体，其特征在于：所述连接法兰(3)的外壁设有密封环(302)，且密封环(302)的外壁与金属垫片(301)贴合，所述连接法兰(3)的外壁一侧设有螺纹圈(303)，且螺纹圈(303)嵌入与箱体(1)的内壁。
4.根据权利要求1所述的一种多腔结构真空腔体，其特征在于：所述箱体(1)的内部共设置有四个真空内腔本体(4)，且箱体(1)的内部中间留有空余。
5.根据权利要求1所述的一种多腔结构真空腔体，其特征在于：所述通气管(5)的内部设有固定板(501)，且固定板(501)的中间开设有孔洞(502)。
6.根据权利要求5所述的一种多腔结构真空腔体，其特征在于：所述固定板(501)的外壁一侧设有弹簧(503)，所述通气管(5)的开口处设有密封圈(504)，且密封圈(504)与弹簧(503)相互连接。
7.根据权利要求1所述的一种多腔结构真空腔体，其特征在于：所述通气管(5)的内部开口处设有垫片，且垫片与密封圈(504)的外壁贴合。
Priority Applications (1)
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| CN202121243110.2U CN214960487U (zh) | 2021-06-04 | 2021-06-04 | 一种多腔结构真空腔体 |
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Publications (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115196081A (zh) * | 2022-07-14 | 2022-10-18 | 宁波齐云新材料技术有限公司 | 一种高真空封装设备 |
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2021
- 2021-06-04 CN CN202121243110.2U patent/CN214960487U/zh active Active
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| CN115196081A (zh) * | 2022-07-14 | 2022-10-18 | 宁波齐云新材料技术有限公司 | 一种高真空封装设备 |
| CN115196081B (zh) * | 2022-07-14 | 2024-03-22 | 宁波齐云新材料技术有限公司 | 一种高真空封装设备 |
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