CN109565936B - 用于将导电图案涂覆到衬底的设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种将包含导电材料颗粒和热激活型粘合剂的组合物图案从柔性成卷膜表面转移到衬底表面的设备。该设备包括：·各自的驱动机构，所述驱动机构用于同时推进成卷膜和衬底通过压印线，压辊用于在该压印线处将成卷膜和衬底的表面彼此压靠，·加热站，该加热站用于在所述成卷膜和所述衬底通过压印线之前或过程中将所述成卷膜和所述衬底中的至少一个加热到使所述组合物中的粘合剂激活的温度，·冷却站，该冷却站用于在成卷膜通过压印线之后对其进行冷却，以及·分离装置，该分离装置用于在成卷膜通过冷却站后将成卷膜剥离衬底，从而留下粘合于衬底的表面的组合物图案。

Description

用于将导电图案涂覆到衬底的设备
技术领域
本公开设计一种将包含导电材料颗粒和粘合剂的组合物图案从柔性成卷膜(web)表面转移到衬底表面的设备。
背景技术
除其他物品，在太阳能电池、电路板和无线射频识别(RFID)的制造中，有必要将导电图案涂覆到衬底的表面。该衬底在太阳能电池情况下可以是半导体晶圆，或者在印刷电路情况下是电绝缘板。虽然这种衬底一般是刚性和平面的，但也可以使用具有相应性能的平坦柔性衬底。在一些情况下，例如，RFID装置，可能需要直接将导电图案印刷到三维物品上，例如一件设备的主体部分上，并且要涂覆导电图案的表面可以是平坦或弯曲的。
已经公知各种把导电图案涂覆到衬底的方法。通常，导电图案直接在衬底上形成。这通过以下方式来实现：在一些情况下通过选择性沉积导电材料，以及在其他情况下通过用导电材料涂在整个衬底表面，然后选择性移除这种材料，如通过蚀刻或激光烧蚀而留下所需图案。每种已知的方法具有其自身优点和缺点。
本申请人已经构思并在与本申请同一天申请的单独的专利申请(PCT/IB2017/054626和PCT/IB2017/054629)中描述了一种将导体涂覆到衬底的方法，在该专利申请中形成导体的图案并不直接在衬底上产生而是在单独的成卷膜上产生。柔性成卷膜设置有匹配导体所需图案的凹槽图案。凹槽填充有包含(例如金属制、铝制、有机金属制、导电聚合物等制成的)导电颗粒和粘合物的组合物。组合物从成卷膜(即从凹槽)转移到衬底，然后被烧结使其具有导电性。为简单起见，可以在将图案化组合物转移到衬底的过程中热激活并任选进一步压力激活的粘合剂在本文中被称为“热激活型”粘合剂，甚至在任何合适的“激活”之前允许该粘合剂与导电颗粒相粘结以使其维持组合物的由凹槽所衍生的形状和/或促使所转移组合物与衬底粘合。
发明内容
考虑到使申请人的方法能够有效实施，本公开提供了一种将包含导电材料颗粒和加热激活型粘合剂的组合物图案从柔性成卷膜表面转移到衬底表面的设备，所述设备包括：
·各自的驱动机构，所述驱动机构用于同时推进成卷膜和衬底通过压印线(nip)，压辊用于在该压印线处将成卷膜和衬底的表面彼此压靠，
·加热站，该加热站用于在所述成卷膜和所述衬底通过压印线之前或过程中将所述成卷膜和所述衬底中的至少一个加热到使所述组合物中的粘合剂激活的温度，
·冷却站，该冷却站用于在成卷膜通过压印线之后对其进行冷却，以及
·分离装置，该分离装置用于在成卷膜通过冷却站后将成卷膜剥离衬底，从而留下粘合于衬底的表面的组合物图案。
成卷膜可以携带沿成卷膜长度彼此分隔开的多个图案，用于将每个图案转移到多个衬底中对应的一个衬底上。成卷膜可以在一个地点生产并运输到另一个地点，其中本公开的设备可以用于将图案转移到多个衬底。将图案的生产与将其转移到衬底分离开使得两个过程分别自动化和最佳化。
虽然在一些实施例中，例如当需要平坦电极时，组合物可以在柔性成卷膜表面上(即上方)，但其他例子中组合物可以在柔性成卷膜内形成的凹槽中。在这种情况下，优选当由这一工艺产生的导体图案包括具有特定横截面轮廓(例如具有逐渐变细的面)的导线时，组合物基本与柔性成卷膜的表面齐平。如本文所使用的，当包括导电材料颗粒和粘合剂的组合物图案被描述为从柔性成卷膜表面转移时，前述图案在成卷膜上方或内部的定位均被涵盖。在优选实施例中，组合物图案基本填充了随柔性成卷膜一起形成的凹槽，与其表面齐平。
在一些实施例中，用于成卷膜的驱动机构包括成卷膜供应辊、成卷膜卷收辊和驱动辊，该驱动辊用于从所述供应辊经由压印线向卷收辊连续驱动所述成卷膜，以及，所述衬底驱动机构包括衬底堆栈和分度机构，该分度机构用于与成卷膜的运动同步地将衬底分别从所述堆栈输送到压印线。
衬底的所述分度机构可以包括带有多个抵接支座(abutments)的校准装置，该校准装置用于确保沿着相互正交的轴线的衬底边缘正确对齐。在一些实施例中，至少一个这种抵接支座是可位移的。通过非限制性例子，可以将抵接支座定位在衬底路径上的压印线的上游(即阻挡其前边缘)。可以遵循合适的校准来位移这种校准元件，以允许被校准的衬底继续向压印线行进，可以在衬底路径的水平下方将其缩回或可以将其升高到衬底高度上方，或者，将其移出衬底的路径。
在一些实施例中，衬底的分度机构包括分析器和排出器，所述分析器用于检测从所述堆栈中拉出的衬底中的缺陷，而所述排出器用于将被发现含缺陷的衬底排出。虽然在一些实施例中需要在转移之前检测和排出缺陷，本设备还包括分析器和排出器，所述分析器用于检测被转移的图案中的缺陷，而所述排出器用于在压印线的下游和排出的上游将被发现含这种缺陷的衬底排出。
为了确保对每个图案相对于衬底表面的参考边缘进行正确定位，成卷膜的驱动机构可以包括传感器和浮动辊，所述传感器用于检测图案(或其部分)在成卷膜上的位置，所述浮动辊能够使成卷膜相对于压印线的速度和/或张力能够增加或减小。
可以在成卷膜冷却站中采用各种方法来冷却成卷膜。在一种方法中，通过使成卷膜热性接触循环冷却带而通过传导来冷却成卷膜。由硅材料制成的冷却带本身可以通过将空气吹到这上面或通过任何其他本领域技术人员已知的合适方法来冷却。
在一种替换性方法中，成卷膜可以在经过压印线后通过对流、通过在冷却站设置鼓风机以将空气吹到成卷膜上来冷却。在这种情况下，空气可以被冷却到至多20℃的温度。
当组合物本身没有导电性时，所述设备还包括烧结站，其中为了使转移到衬底的图案具有导电性，施加充足的能量以烧结导电材料。
存在不同的烧结方法，包括热烧结、光诱导烧结、微波烧结、电烧结和化学烧结、被选中的烧结方法取决于组合物和优选的工艺条件。因此，本设备的任选烧结站可以实施任何所需的烧结方法。
在一种实施例中，当存在时，烧结站是热烧结站，能够在烧结温度在从大约100℃到大约800℃的范围内烧结导电颗粒，或者如果衬底和组合物可以承受更高温度时，可以在更高的温度烧结导电颗粒。
在一些情况下，有必要在衬底从设备排出之前在衬底上执行至少一种另外的工艺。例如，当制造太阳能电池时，在烧结后的组合物可能需要加热到更高的温度(如从大约500℃到大约900℃)来使导体与半导体材料熔合，从而减小接触电阻。作为另一个例子，当制造RFID组件时，烧结后的RFID天线可能需要防护涂层。
所述方法可以包括一个或多个精加工站来进行这种操作，即使得衬底一从设备排出就将处于其期望的最后状态下。
在一些实施例中，尽管在压印线上游可以加热成卷膜，但加热站是仅用于加热衬底的衬底加热站。
当制造某些物品时，例如太阳能电池，衬底可以是扁平板、晶圆或薄膜，而要求导电图案在其两个表面上。一种实施例，用于将组合物图案同时施加在衬底的相对表面上，该实施例可以包括两个成卷膜和所述压印线，所述成卷膜分别具有各自的驱动机构和成卷膜冷却站，所述压印线被限定在两个压辊之间，所述压辊分别用于将所述成卷膜中的相应成卷膜压靠在衬底的各自表面。
其他物品可能需要非平面衬底，在这种情况下，转移站的压印线——例如确保了成卷膜表面和衬底的适当接触的衬底载体和/或压辊可以适合于追随这种非平面衬底的轮廓。
附图说明
现在本发明将进一步通过举例的方式参考下列附图进行说明，其中：
图1示出了本公开的一种实施例的示意图；
图2是图1实施例的局部立体图，仅示出了多个成卷膜所追随的路径，以及
图3A至3C示出了校准装置的三个不同的平面图，所述校准装置形成了衬底驱动机构的一部分并在衬底被送至压印线时确保其正确定向，所述校准装置在三个视图中示出了其运行的三个不同阶段。
具体实施方式
随后的描述与附图一起使相关领域技术人员显而易见地理解，通过不限制的示例，如何实践本公开的教导。附图是为了说明性讨论的目的，并不试图以比本公开的基本理解所必需的更详细的方式来显示实施方式的结构细节。为清楚和简便起见，附图中所描绘的一些物体未按比例画出。
设备的概况
图1和图2的设备旨在将包含导电颗粒和热激活型粘合剂的组合物的图案涂覆到从堆栈12拉出的衬底10的相对侧。所述组合物可以被施加能量而被烧结以使图案具有导电性。因而，在一个实例中，衬底10可以是半导体晶圆，所述设备将向半导体晶圆上涂覆所需成品的正面背面电极。两个导电图案通常是不同的，但可能需要彼此正确对齐并与衬底对齐。
在衬底驱动机构中，衬底10从堆栈12向检查站60一次配发出一个，这些衬底的上表面可以在该检查站进行针对缺陷的光学分析。在之后的选择站62，被发现有缺陷的衬底被排出。没有缺陷的衬底10向前进到校准装置50上，在一种实施例中，衬底10还可以在校准装置中被加热器52加热。在加热后，如果将衬底10涂覆并正确定位和定向则将其送入两个压辊22a、22b之间的压印线40中。
虽然建议将检测和排出有缺陷衬底检查站60和选择站62纳入本设备，但这些站对本设备的运行不是必不可少的，只是从质量控制的立场上是优选的。可以任选进一步将在压印线下游实现相似作用以及通常在剥离柔性成卷膜之后的站纳入本设备，以检测有缺陷的图案并排出带有这类缺陷的衬底。
如果所述设备在压印线上游不包括站60、62，则可能需要进一步包括加速站64，该加速站使得在已经被排出的有缺陷衬底之后正在拉出的无缺陷衬底能够与(多个)成卷膜的(多个)图案同步到达压印线。这种加速站64因此可以防止在缺乏衬底的情况下成卷膜在压印线的空置输送。然而这种加速站不是必不可少的，因此可以通过替代性手段，例如通过从无缺陷晶圆的缓冲区添加预选为无暇的这种衬底或任何类似方案来容许或缓解这种空置输送。
待被转移到衬底的组合物图案被两个柔性成卷膜14a、14b携带。可以从图1和2中清楚地看到，两个成卷膜14a、14b的驱动机构可以彼此呈镜像。为了避免重复，不带后缀的附图标记将在本说明书中使用从而总体上指代两个成卷膜的驱动机构的组成部分，但后缀“a”和“b”在附图中用于区分上驱动机构和下驱动机构。
通过惰辊18和浮动辊20将每个成卷膜14从供应辊16拉出，所述浮动辊可以如箭头21所呈现的那样从左边移动到右边。然后成卷膜14经过两个压辊22之间，两个压辊22限定了衬底送入的压印线40。在该压印线内，成卷膜14上的组合图案被压靠在衬底10的表面上，因此组合物图案粘附至衬底。然后成卷膜穿过冷却站23并经过两辊26之间到达分离装置30。成卷膜通过装置30从衬底10分离之后，被重新卷绕在卷收辊32上。如需要，卷收辊32可以被返还给成卷膜供应商从而循环利用。
为了确保组合物图案与衬底正确配准，定位多个光学传感器70从而在惰辊18上游感测成卷膜14上的图案。
虽然附图示意性示出了能够使两个图案同步转移到衬底各自相对的表面上的设备，但本领域技术人员能够容易理解如何制备类似的设备用于将组合物图案转移到单侧衬底。在这种情况下，压印线40例如可以在单个压辊22和衬底10的衬背支承部之间形成。
现在已经提供了设备的总体描述，现在将描述该设备的各个组成部分和零件。
衬底驱动机构
附图中示出的设备旨在用于太阳能电池的制造中，其中的衬底具有方形半导体晶圆形式，但在详细描述驱动机构之前，应当清楚的是，其设计在实际中将取决于衬底的性质。在可替换实施例中，如果衬底本身是柔性的，则其驱动机构可以类似于成卷膜的驱动机构。如果衬底是仅具有被涂覆在一面的导电图案3D物品，则衬底驱动机构可以是经过单个压辊22下面的传送机。
在所示出的实施例的情况下，衬底驱动机构包括存储有各个衬底10的堆栈12的卡式盒(cassette)。通过传送带，衬底10从堆栈12向(例如用于光学检测缺陷的)检查站60一次配发一个，在该检查站可以通过摄像头601从上方观察衬底10。来自摄像头的图像可以被计算机来分析，所述计算机被编程用于检测诸如裂纹的缺陷和瑕疵。在检查站60之后的选择站62以实例的方式可以包括螺线管操作的偏转器，该偏转器在图像分析计算机的控制下并将有缺点的衬底移出传送机并移到废品容器中。因此只有无缺陷的衬底被允许通过下一站，在下一站中对其进行加热和正确对齐。
加热和校准站
顾名思义，这个站发挥两个不同的功能。首先，当需要时，这个站用于将衬底加热到在衬底与成卷膜相接触时能使成卷膜14携带的组合物中的粘合剂激活的温度。合适的温度将取决于组合物和粘合剂的性质，并且在申请人的共同未决的专利申请PCT/IB2017/054626中更详细的讨论。
加热可以采取不同的形式，取决于要达到的温度并且可以通过传导(衬底与热板接触，即由循环流体、电阻加热元件或PTC电阻来加热)、通过对流(向衬底吹加热的气体)或通过辐射(红外或微波，取决于衬底的性质)。当加热通过传导来进行时，可能需要进一步包括能维持衬底与热板亲密接触的元件(例如形成压印线的辊与该板)，从而加速衬底加热到所需温度。
虽然可以在压印线上游进行加热，但可替换并且除此之外地，可以在压印线处对成卷膜和衬底表面的至少一个分别进行加热。例如，在这种实施例中，压辊22可以额外用作为加热辊。
使用图3A至3C中更详细示出的装置来进行校准。所述装置包括板110，板110本身是旨在通过传导加热衬底10的热板。将两个辊112(可以只是一个辊子或多于两个辊子)位于板110之上并相对于传送机的长度倾斜从而与衬底10摩擦卡合并在箭头114的方向上驱动该衬底，直到如图示那样衬底的右边缘与三个销116、118和120之一开始接触为止，其中至少销118是可回缩的。这是图3A示出的状态。
辊112继续向前推动衬底10，而其右手边缘仍然与销116相接触，直到其前端被驱动轮122卡合为止。轮122的旋转轴线平行于压印线40从而确保了衬底10是朝向压印线40而被驱动且衬底的前边缘平行于压印线。同时作用在衬底10上但是以不同的方向作用的两个摩擦力的影响是施加了转矩，该转矩在图3B中由箭头124来表示，该转矩趋向于如图所示那样逆时针转动衬底，同时其右手边缘仍与销116相接触。现在这将首先使左手边缘与销120接触，并且由轮122所延续的驱动将强迫衬底的前边缘抵抗可回缩的销118。凭借同时与三个销116、118和120相接触，如图3C所示，所述装置既确保了衬底沿着压印线40的宽度正确定位又确保了衬底相对于压印线正确定向。在分别确定了(如下所述)在压印线40处已经准备好将组合物图案转移到衬底的时候，回缩销118并且轮122将衬底10向压印线40推进。
虽然在校准装置的以上示例性实施方式中，校准元件已经描述为抵接支座，更具体地，描述为在衬底三个边缘周围配置的销，但这不应被解释为是一种限制。例如，倾斜的传送机条带可以朝向固定的形成第一抵接支座的侧壁驱动衬底，另外的销形成针对衬底前边缘的第二抵接支座。
成卷膜
成卷膜14由柔性材料制成，通过任意各种可能的工艺在该成卷膜14内形成凹槽。几何形状与所需导体互补的凹槽填充有组合物，该组合物包含例如由银制成的导电颗粒和热激活型粘合剂。如前所述，替换地，对于某些相对平坦的导电图案类型，如电极电池的背电极和PCB的接地面，组合物可位于成卷膜的表面上。在本文语境下，只要知道成卷膜携带有与所需导体匹配的待涂覆到衬底上的组合物图案就足够了，但感兴趣的读者可以在PCT/IB2017/054626中发现可以制成该成卷膜的这种类型材料、该凹槽的制造方式以及该组合物的组成部分的化学结构的更多细节。应当提到的是，该组合物本身不是导电的，但一被烧结就变成导电的。
为了本发明目的，可以简单地指出，成卷膜是完全非弹性的，从而保持了凹槽(和图案)的轮廓和待从中转移出的组合物的形状。另一方面，成卷膜具有足够的弹性(例如可拉伸性)以促使在成卷膜上的所携带的图案与衬底利用浮动辊和张力调整来配准。优选地，成卷膜足够柔性以符合衬底的表面，以允许足够亲密的接触从而转移组合物的线。可以容易理解另一种理想的特性，使成卷膜能够与设备所实施的工艺兼容(例如耐压、耐热、热传导或耗散等)，并且与里面所使用的组合物相兼容(例如耐化学、化学惰性等)。
压辊
(多个)压辊的目的在于将成卷膜14压在衬底上。对压辊22施加的力在压印线40处施加了压缩力，该力的大小取决于成卷膜和衬底的性质。压辊可以由任何合适的材料制成，例如由橡胶或由钢制成，但涂有柔性材料(compliant material)薄层，从而保证与成卷膜的整个表面区域上有良好接触。
如所提到的，在一些实施例中，当不在衬底上进行专门加热时，压辊可以额外用作为加热滚筒。
浮动辊
重要的是确保当成卷膜14上的图案到达压印线40时，它们是与衬底同时到达。组合物的图案在成卷膜上隔开，使得空白成卷膜可以通过压印线40的同时新衬底可以被加热和定向以呈现给压印线。由于成卷膜被连续驱动而衬底向压印线40的呈现是间歇性时会出现问题，图案到达压印线的时间可能与衬底在压印线中的存在不一致。
为了避免这一问题，通过卷收辊32的转动将成卷膜从供应辊16拉出。传感器70被设置为当成卷膜远离供应辊16而出来时检测图案到达一定位置。如果图案的预计到达压印线40的时间不与衬底10下一次到达压印线40相一致，则移动浮动辊20可以改变成卷膜的从供应辊16到压印线40的路径长度，这具有增加或减少所感测图案到达压印线40所花费的时间之效果。因此根据传感器70感测到图案的时间以及通过缩回销118而释放衬底10的时间来控制浮动辊20，可以确保图案和衬底之间的正确配准。如果在衬底的相反面上的图案都与衬底正确配准，则相反面上的图案之间也将彼此正确配准。
冷却站
在成卷膜14已通过压印线40之后在图示的实施例中通过传导对其实施冷却。硅材料制成的循环冷却带24通过辊22和成卷膜14之间的压印线40并可以用作为上面提到过的柔性层。带24也经过成卷膜和第二辊26之间并通过惰辊28保持张力。以这种方式，冷却带24在从压辊22到辊26延伸的整个路径上保持与成卷膜的热性接触。
冷却带24在其长度的剩余部分暴露于环境空气中并且可能不需要额外的冷却。如果有必要对带24冷却，可以设置鼓风机在带上吹空气，该空气优选、但不必须是冷却的。
作为可替换性方案，可以省掉冷却带24并通过直接向成卷膜上吹空气来对成卷膜进行冷却。如果必要，可以诸如通过制冷电路将空气冷却到不超20℃的温度。
当经过冷却站23时，成卷膜14仍附着于衬底10上，但随着成卷膜变冷，组合物对成卷膜的黏性减小和/或相反地组合物对衬底的黏性增加，这种对各自来源和目标表面的相对粘性的变化协助之后成卷膜与衬底的分离。
分离装置
在所描绘设备的示例性实施例中示出的分离装置30包括金属板，该金属板弯曲以限定一个锐角。向卷收辊32的返回路径上的成卷膜在弯曲金属板的外侧所限定的锋利边缘上弯折。这个动作将成卷膜14从衬底10剥离而留下粘合于衬底10的组合物。本领域技术人员容易想到的是，可替换的分离装置可以令人满意地实现对成卷膜的类似剥离。
对衬底的进一步处理
虽然对于将组合物转移到衬底是不需要，但设备还可以在转移组合物之后包括另外的用于处理衬底的站。可以设置第一站来施加能量，诸如向衬底施加热量，以使组合物变为可导电的。在衬底是半导体的情况下，另外的处理站可以设置用于将被烧结导体和半导体衬底熔合以减少接触电阻。在另一些实例中，需要将衬底切断或涂层，并且可以将任何这种处理与本公开的设备集成，以使衬底在从设备排放时执行其最终功能。
在本公开的描述和权利要求中，每个动词“包括”“包含”“具有”以及其同源词用于表示，该动词的一个或多个宾语不一定是部件、组件、元件、步骤或动词的一个或多个主语的部分的完整列表。
如本文所使用的，除非上下文另有清楚表示，单数形式的“一种”以及“所述”包括复数引用并指“至少一个”或“一个或多个”。
位置或动作术语，诸如“上面”“下面”“右”“左”“底部”“之下”“降低的”“下”“顶部”“之上”“升高的”“高”“竖直”“水平”“向后”“向前”“上游”和“下游”，以及其语法变形，可以仅以示例性目的用于本文，从而图示出某些组件的相对定位、布置或位移，从而表示本图示中的第一和第二组件或实现这两方面。这样的术语不一定表示，例如“底部”组件在“顶部”组件之下，就方向本身而论，组件或两者都可以翻转、旋转、空间移动、对角方向或位置上放置、水平或竖直放置或类似变形。
除非另有声明，在选择用选项列表的最后两个部件之间使用表达“和/或”表示，选择所列选项的一个或多个是合适的且可以进行的。
在本公开中，除非另有声明，更改本技术实施方式的一个或多个特征的条件或关系特性的诸如“基本上”和“大约”的形容词被理解为指的是，条件和特性被定义为在适用于以应用为目的的实施方式的操作容差之内，或从被执行的测量值和/或使用中的测量仪器预测的变化之内。另外，除非另有声明，用于本公开中的术语应当解释为具有容差，该容差可以从相关术语的确切含义出发但可以使本公开的发明或相关部分能够按所描述的以及案本领域技术人员所理解的进行操作和发挥作用，
当本公开已经在某些实施方式和一般相关的方法上进行了描述时，对本领域技术人员而言该实施方式和方法的变化和排列将是显而易见的。本公开理解为不受本文所描述的特定实例的限制。

Claims (18)

1.一种将包含导电材料颗粒和热激活型粘合剂的组合物图案从柔性成卷膜表面转移到衬底表面的设备，该设备包括：
i.各自的驱动机构，所述驱动机构用于同时推进成卷膜和衬底通过压印线，压辊用于在该压印线处将成卷膜和衬底的表面彼此压靠；
ii.加热站，该加热站用于在所述成卷膜和所述衬底通过压印线之前或过程中将所述成卷膜和所述衬底中的至少一个加热到所述表面彼此接触时使所述组合物中的粘合剂激活的温度；
iii.冷却站，该冷却站用于在成卷膜通过压印线之后对其进行冷却；以及
iv.分离装置，该分离装置用于在成卷膜通过冷却站后将成卷膜剥离衬底，从而留下粘合于衬底的表面的组合物图案。
2.如权利要求1所述的设备，其中，用于成卷膜的驱动机构包括成卷膜供应辊、成卷膜卷收辊和驱动辊，该驱动辊用于从所述供应辊经由压印线向卷收辊连续驱动所述成卷膜，以及其中，所述衬底的驱动机构包括衬底堆栈和分度机构，该分度机构用于与成卷膜的运动同步地将衬底分别从所述衬底堆栈输送到压印线。
3.如权利要求2所述的设备，其中，衬底的所述分度机构包括带有多个抵接支座的校准装置，该校准装置用于确保沿着相互正交的轴线的衬底边缘正确对齐。
4.如权利要求2或3所述的设备，其中，衬底的所述分度机构包括分析器和排出器，所述分析器用于检测从所述衬底堆栈中拉出的衬底中的缺陷，而所述排出器用于将被发现含缺陷的衬底排出。
5.如权利要求2或3所述的设备，其中，所述成卷膜的驱动机构包括传感器和浮动辊，所述传感器用于检测图案在成卷膜上的位置，所述浮动辊能够使成卷膜相对于压印线的速度和/或张力能够增加或减小，以便确保每个图案相对于衬底表面的参考边缘正确定位。
6.如权利要求1至3任一项所述的设备，其中，所述冷却站包括循环冷却带，该循环冷却带在成卷膜通过所述压印线后与成卷膜形成热性接触。
7.如权利要求6所述的设备，其中，所述冷却带由硅材料形成。
8.如权利要求6所述的设备，还包括将空气吹到所述冷却带上的鼓风机。
9.如权利要求8所述的设备，其中将空气冷却到最多20℃的温度。
10.如权利要求1至3任一项所述的设备，其中，所述冷却站包括用于在通过所述压印线后将空气吹到成卷膜上的鼓风机。
11.如权利要求10所述的设备，其中，将空气冷却到至多20℃的温度。
12.如权利要求1至3任一项所述的设备，还包括烧结站，其中为了使转移到衬底的组合物具有导电性，施加充足的能量以烧结导电材料。
13.如权利要求12所述的设备，还包括至少一个精加工站，该精加工站用于在排出设备之前在衬底上进行另外的工艺。
14.如权利要求1至3任一项所述的设备，其中，所述加热站是用于仅加热衬底的衬底加热站。
15.如权利要求1至3任一项所述的设备，其中，所述设备用于将组合物图案同时施加在具有板或晶圆形式的衬底的相对表面上，所述设备包括用于两个成卷膜的各自的驱动机构，其中所述压印线被限定在两个压辊之间，所述压辊分别用于将所述成卷膜中的相应成卷膜压靠在衬底的各自表面。
16.如权利要求1至3任一项所述的设备，其中，所述设备适合于将组合物图案从成卷膜转移到柔性衬底。
17.如权利要求1至3任一项所述的设备，其中，所述设备适合于将组合物图案从成卷膜转移到非平面衬底。
18.如权利要求1至3任一项所述的设备，其中，所述设备适合于将组合物图案从携带沿成卷膜长度彼此分隔开的多个图案的成卷膜转移，其中所述设备将每个图案转移到多个衬底中对应的一个衬底上。
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