JP3376552B2 - 基板のセンタリング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、基板搬送装置、例
えば基板に貼着された保護フィルムを剥離するフィルム
剥離装置に適用される基板搬送装置に配設された基板の
センタリング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線基板の製造においては、ガ
ラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両
面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板
の両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層した
プリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリ
ント配線基板素材の両面に回路パターンを照射してフォ
トレジスト層を露光し、その後において両表面に存在す
る保護フィルム（以下単に「フィルム」と略称する）を
剥離している。

【０００３】平面から見て矩形をなすプリント配線基板
素材のような基板の、少なくとも片面からフィルムを剥
離することができるフィルム剥離装置は、例えば特開平
４−１６４７７０号公報に開示されている。このフィル
ム剥離装置は、基板の入口側に基板搬送装置を備えてい
る。基板搬送装置は複数個の搬送ローラを備え、上流側
から搬入された基板を搬送方向に向けて搬送する。搬送
された基板は基板停止手段により所定の位置に停止させ
られ、クランプ手段により一時的に保持される。クラン
プ手段により保持された基板は、端部剥離手段によりフ
ィルムの前端部が部分的に剥離される。フィルムの前端
部が部分的に剥離された基板は更に下流に搬送されて、
剥離手段によりフィルムが完全に剥離される。フィルム
が完全に剥離されて存在しない基板は、その下流側に配
設された基板搬出装置に搬送され、基板搬出装置により
他の装置である現像装置に搬出される。

【０００４】上記のようなフィルム剥離装置において、
基板搬送装置に搬入された基板を基板搬出装置から現像
装置に搬出するに際しては、基板の幅方向位置を充分精
密に設定することが重要である。そのためには、基板搬
送装置に搬入された基板をセンタリングする装置（基板
のセンタラインを、基板の搬送経路のセンタラインに整
合させる装置）を備えることが望まれる。

【０００５】この種の基板のセンタリング装置として
は、例えば特公平５−５５４１６号公報に開示された装
置を挙げることができる。特公平５−５５４１６号公報
に開示された基板のセンタリング装置は、基板の搬送路
の両側に配置されて相互に接近可能な基板幅寄せ部材
と、基板幅寄せ部材を相互に近接させる手段と、基板の
先端又は後端を検出する基板位置検出センサと、一対の
基板幅検出センサとを備えている。基板幅検出センサの
各々は、搬送路の両側に配置された基板幅寄せ部材の内
側に配設されている。そして基板位置検出センサが、基
板が搬送路に沿った所定位置にあることを検出すると、
基板幅寄せ部材を相互に近接させる手段が、直ちに基板
幅寄せ部材を比較的離間した位置から移動を開始させ
る。基板幅寄せ部材の移動量が、基板の幅に相当する距
離に達すると、基板幅検出センサが直ちに基板幅寄せ部
材の移動を停止させる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記したように、基板
幅検出センサの各々は、搬送路の両側に配置された基板
幅寄せ部材の内側に配設されている。したがって、基板
幅検出センサの各々によって基板の両側端が検出されて
から少し遅れて基板幅寄せ部材の駆動動作停止信号を発
生させている。このことに起因して、例えば基板幅検出
センサの一方が基板の一側端を検出した後、直ちに基板
幅寄せ部材の移動を低速にすることが必要となる。その
結果、上記従来の基板のセンタリング装置は、基板のセ
ンタリングに比較的時間を要する、との問題を有してい
る。この問題は、フィルム剥離装置の基板搬送装置に配
設された基板のセンタリング装置に限定される理由はな
く、他の装置の基板搬送装置に配設された基板のセンタ
リング装置にも共通する問題であるといえる。

【０００７】本発明は、以上の事実に基づいてなされた
もので、その目的は、基板のセンタリングを比較的短時
間でしかも正確に遂行することができる、改良された基
板のセンタリング装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の一局面によれ
ば、基板を所定の搬送方向に搬送する複数個の搬送ロー
ラを含む基板搬送装置に配設され、該搬送方向の両側に
配置された基板幅寄せ部材と、該基板幅寄せ部材の各々
をホームポジションから該ホームポジションよりも相互
に接近する方向に移動させることができる基板幅寄せ部
材移動手段とを備えた基板のセンタリング装置におい
て、搬送された該基板を所定の位置に停止させる基板停
止手段と、該基板を該所定の位置に保持するクランプ手
段と、該基板幅寄せ部材移動手段を作動制御する制御手
段と、該クランプ手段により該所定の位置に保持された
該基板の幅を検出して該制御手段に数値信号を出力する
基板幅検出手段と、該基板幅寄せ部材の各々のセンタリ
ングに必要な所定の移動量を所定の補正量だけ少なく補
正するための補正値を設定する補正値設定手段とを備
え、該制御手段は、該基板幅検出手段からの該数値信号
と該補正値設定手段からの設定信号に基づいて、該基板
幅寄せ部材移動手段に、センタリングに必要な該所定の
移動量より該所定の補正量だけ少ない補正移動量を数値
信号として出力して、該基板幅寄せ部材の各々を相互に
接近する方向に該補正移動量だけ移動させる、ことを特
徴とする基板のセンタリング装置、が提供される。

【０００９】本発明においては、制御手段は、基板幅検
出手段からの数値信号と補正値設定手段からの設定信号
に基づいて、基板幅寄せ部材移動手段に、センタリング
に必要な所定の移動量より所定の補正量だけ少ない補正
移動量を数値信号として出力して、基板幅寄せ部材の各
々を相互に接近する方向に補正移動量だけ移動させるよ
う構成されている。基板幅寄せ部材の各々の移動量、す
なわち基板幅寄せ部材の各々のホームポジションから停
止位置までの移動量は数値信号により予め決定されてい
るので、基板幅寄せ部材の各々を比較的高速で移動させ
ても、該停止位置に確実に停止させることができる。す
なわち本発明においては、基板幅寄せ部材を所望の停止
位置まで比較的高速で移動させることができるので、基
板のセンタリングを従来の装置よりも、比較的短時間で
しかも正確に遂行することができる。

【００１０】更に、本発明においては、いわゆる数値制
御によりセンタリングが遂行されるので、基板幅検出手
段からの数値信号に基づいて、基板幅寄せ部材移動手段
に対して出力する数値信号を必要に応じて補正するとは
きわめて容易である。したがって所定の移動量を必要に
応じて任意に設定することができるので、優れた制御が
容易に遂行される。例えば、基板の剛性が低い場合には
基板幅寄せ部材の移動量を、基板幅検出手段からの数値
信号に基づく所定の移動量より少なく補正し、基板のた
わみや損傷等を防ぐことができる。また下流側装置にお
ける要求精度に応じて、基板幅寄せ部材の移動量を充分
精密に設定することも容易に遂行できる。

【００１１】本発明の他の局面によれば、基板を所定の
搬送方向に搬送する複数個の搬送ローラを含む基板搬送
装置に配設され、該搬送方向の両側に配置された基板幅
寄せ部材と、該基板幅寄せ部材の各々をホームポジショ
ンから該ホームポジションよりも相互に接近する方向に
移動させることができる基板幅寄せ部材移動手段とを備
えた基板のセンタリング装置において、 搬送された該基
板を所定の位置に停止させる基板停止手段と、該基板を
該所定の位置に保持するクランプ手段と、該基板幅寄せ
部材移動手段を作動制御する制御手段と、該クランプ手
段により該所定の位置に保持された該基板の幅を検出し
て該制御手段に数値信号を出力する基板幅検出手段と、
該基板の厚さが所定の基準値以下の薄板である場合の制
御モードを設定する薄板モード設定手段と、該基板幅寄
せ部材の各々のセンタリングに必要な所定の移動量を所
定の補正量だけ少なく補正するための補正値を設定する
補正値設定手段とを備え、該制御手段は、該基板幅検出
手段からの該数値信号と、該薄板モード設定手段及び該
補正値設定手段からの設定信号に基づいて、該基板幅寄
せ部材移動手段に、センタリングに必要な該所定の移動
量より該所定の補正量だけ少ない補正移動量を数値信号
として出力して、該基板幅寄せ部材の各々を相互に接近
する方向に該補正移動量だけ移動させる、ことを特徴と
する基板のセンタリング装置が提供される。

【００１２】この発明においては、薄板モード設定手段
により基板の厚さが所定の基準値以下の薄板である場合
の制御モードを設定し、かつ補正値設定手段により基板
幅寄せ部材の各々の所定の移動量を所定の補正量だけ少
なく補正するための補正値を設定することによって、基
板幅寄せ部材の各々は、センタリングに必要な所定の移
動量より所定の補正量だけ少なく移動させられる。した
がって基板幅寄せ部材の各々は、基板の対応する側端に
対し略所定の補正量に相当する隙間をもって停止させら
れる。その結果、基板の厚さが所定の基準値以下の薄板
である場合であっても、基板幅寄せ部材の各々によって
たわみや損傷等を発生させることが確実に防止され、基
板の品質が確保される。

【００１３】本発明の更に他の局面によれば、基板を所
定の搬送方向に搬送する複数個の搬送ローラを含む基板
搬送装置に配設され、該搬送方向の両側に配置された基
板幅寄せ部材と、該基板幅寄せ部材の各々をホームポジ
ションから該ホームポジションよりも相互に接近する方
向に移動させることができる基板幅寄せ部材移動手段と
を備えた基板のセンタリング装置において、 搬送された
該基板を所定の位置に停止させる基板停止手段と、該基
板を該所定の位置に保持するクランプ手段と、該基板幅
寄せ部材移動手段を作動制御する制御手段と、該クラン
プ手段により該所定の位置に保持された該基板の幅を検
出して該制御手段に数値信号を出力する基板幅検出手段
と、該基板の厚さが所定の基準値以下の薄板であること
を検出する基板厚検出手段と、該基板幅寄せ部材の各々
のセンタリングに必要な所定の移動量を所定の補正量だ
け少なく補正するための補正値を設定する補正値設定手
段とを備え、該制御手段は、該基板幅検出手段からの該
数値信号と、該基板厚検出手段及び該補正値設定手段か
らの設定信号に基づいて、該基板幅寄せ部材移動手段
に、センタリングに必要な該所定の移動量より該所定の
補正量だけ少ない補正移動量を数値信号として出力し
て、該基板幅寄せ部材の各々を相互に接近する方向に該
補正移動量だけ移動させる、ことを特徴とする基板のセ
ンタリング装置が提供される。

【００１４】この発明においては、補正値設定手段によ
り基板幅寄せ部材の各々の所定の移動量を所定の補正量
だけ少なく補正するための補正値を設定しておけば、基
板厚検出手段が基板が薄板であることを検出すると、基
板幅寄せ部材の各々は、センタリングに必要な所定の移
動量より所定の補正量だけ少なく移動させられる。した
がって基板幅寄せ部材の各々は、基板の対応する側端に
対し略所定の補正量に相当する隙間をもって停止させら
れる。その結果、基板の厚さが所定の基準値以下の薄板
である場合であっても、基板幅寄せ部材の各々によって
たわみや損傷を発生させることが確実に防止され、基板
の品質が確保される。また、薄板の検出を自動的に遂行
することができるので、補正値設定手段により補正値を
設定しておくだけで、上記制御が自動的に遂行され、板
厚によってモードを設定する必要がないので、自動制御
に好適である。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に従って構成された基板のセンタリング装置の実施形
態を詳細に説明する。

【００１６】図１〜図４を参照して、番号２は基板搬送
装置であって、それ自体は周知の図示しないフィルム剥
離装置の入口側に配置されている。基板搬送装置２は複
数個の搬送ローラ４を備えている。搬送ローラ４は、基
板Ｐの下面を幅方向の全幅にわたって支持しうるよう幅
方向に延在すると共に、基板Ｐの搬送方向Ｆに間隔を置
いて実質上水平に配列されている。これらの搬送ローラ
４は、電動モータＭによって回転駆動されるよう、歯付
きベルトを介して駆動結合されている（いずれも図示せ
ず）。搬送ローラ４の各々を回転駆動することにより、
基板Ｐを基板搬送面ＰＬに沿って搬送方向Ｆに移動させ
ることができる。基板搬送面ＰＬは基板搬送経路を構成
する。

【００１７】本発明に従って構成された基板のセンタリ
ング装置１０は、基板搬送装置２に配設されている。基
板のセンタリング装置１０は、基板Ｐの搬送方向Ｆの両
側にそれぞれ複数個配置された基板幅寄せ部材２０、２
２と、基板幅寄せ部材２０、２２の各々をホームポジシ
ョンから、ホームポジションよりも相互に接近する方向
に移動させることができ、かつ逆にホームポジションに
戻すように移動させることができる基板幅寄せ部材移動
手段２４とを備えている。基板搬送装置２の搬送ローラ
４の下方には、基板Ｐの搬送方向Ｆに間隔を置いてかつ
搬送方向Ｆに直交する方向（搬送ローラ４の軸線方向、
基板Ｐの幅方向）に水平に延在する一対のガイドシャフ
ト２６及び２８が配設されている。ガイドシャフト２６
及び２８は図示しない支持手段によりそれぞれ同一の高
さにその位置が固定されている。ガイドシャフト２６及
び２８の各々の両端部には、一対の可動支持体３０及び
３２がスライド自在に装着されている。ガイドシャフト
２６及び２８の各々の一端部に装着された可動支持体３
０の各々の上端は、搬送ローラ４の下方を基板Ｐの搬送
方向Ｆに沿って延在する支持プレート部材３４により一
体に連結されている。同様に、ガイドシャフト２６及び
２８の各々の他端部に装着された可動支持体３２の各々
の上端は、搬送ローラ４の下方を基板Ｐの搬送方向Ｆに
沿って延在する支持プレート部材３６により一体に連結
されている。

【００１８】支持プレート部材３４上には、それに沿っ
て、複数個の基板幅寄せ部材２０が相互に間隔を置いて
取り付けられている。頂部が大径部をなすピン部材（セ
ンタリングピン）からなる基板幅寄せ部材２０の各々は
鉛直方向に延在するよう配設され、かつ搬送ローラ４の
各々の一端部間に位置付けられている。幅寄せ部材２０
の各々の大径部は上記基板搬送面ＰＬの下方から上方に
突出するよう配設されている。同様に、支持プレート部
材３６上には、それに沿って、複数個の基板幅寄せ部材
２２が相互に間隔を置いて取り付けられている。頂部が
大径部をなすピン部材からなる基板幅寄せ部材２２の各
々は鉛直方向に延在するよう配設され、かつ搬送ローラ
４の各々の他端部間に位置付けられている。基板幅寄せ
部材２２の各々の大径部は上記基板搬送面ＰＬの下方か
ら上方に突出するよう配設されている。

【００１９】図３に示すように、ガイドシャフト２６及
び２８よりも下方には、一対の歯付きプーリ４０及び４
２が、それぞれ図示しない支持部材により同じ高さに回
転自在に支持されている。同径のプーリ４０及び４２
は、搬送方向Ｆに直交する方向に間隔を置いて配置さ
れ、それぞれ搬送方向Ｆに平行な水平軸を有している。
プーリ４０は搬送ローラ４の各々の一端部側の下方に、
またプーリ４２は搬送ローラ４の各々の他端部側の下方
に、それぞれ位置付けられている。プーリ４０と４２間
には無端状のタイミングベルトである歯付きベルト４４
が巻き掛けられている。歯付きベルト４４は基板Ｐの幅
方向に延在する。一方のプーリ４０には歯付きプーリで
ある被駆動プーリ４６がそれと一体に回転できるよう配
設されている。被駆動プーリ４６の付近には回転駆動源
であるパルスモータＰＭが配設され、パルスモータＰＭ
の図示しない駆動軸には歯付きプーリである駆動プーリ
４８が装着されている。駆動プーリ４８と被駆動プーリ
４６間には無端状のタイミングベルトである歯付きベル
ト４９が巻き掛けられている。

【００２０】プーリ４０と４２間に巻き掛けられた歯付
きベルト４４の上方移動部４４ａには、可動支持体３０
の各々がそれと一体的に移動されるように連結され、ま
た歯付きベルト４４の下方移動部４４ｂには、可動支持
体３２の各々がそれと一体的に移動されるように連結さ
れている。したがって、パルスモータＰＭが図３におい
て時計方向に回転駆動されると（正転されると）、歯付
きベルト４４の上方移動部４４ａは右方に移動させら
れ、下方移動部４４ｂは左方に移動させられるので、可
動支持体３０の各々は右方に、また可動支持体３２の各
々は左方に、それぞれ移動させられる。その結果、基板
幅寄せ部材２０の各々は右方に、また基板幅寄せ部材２
２の各々は左方に、それぞれ移動させられる。すなわち
基板幅寄せ部材２０の各々と基板幅寄せ部材２２の各々
とは、相互の間隔が比較的大きな所定のホームポジショ
ンから相互に接近する方向（基板Ｐの幅方向）にパルス
モータＰＭの回転量に応じた移動量だけ移動させられ
て、基板Ｐのセンタリングが遂行される。

【００２１】同様に、パルスモータＰＭが図３において
反時計方向に回転駆動されると（逆転されると）、歯付
きベルト４４の上方移動部４４ａは左方に移動させら
れ、下方移動部４４ｂは右方に移動させられるので、可
動支持体３０の各々は左方に、また可動支持体３２の各
々は右方に、それぞれ移動させられる。その結果、基板
幅寄せ部材２０の各々は左方に、また基板幅寄せ部材２
２の各々は右方に、それぞれ移動させられる。すなわち
基板幅寄せ部材２０の各々と基板幅寄せ部材２２の各々
とは、比較的間隔の接近した所定のセンタリングポジシ
ョンから相互に離隔する方向に前記移動量だけ戻され
て、所定のホームポジションに位置付けられる。なおパ
ルスモータＰＭに代えて、回転量測定手段である回転量
測定エンコーダ付きの電動モータ、移動量測定手段であ
る移動量測定エンコーダ付きの流体圧シリンダ機構等を
使用してもよい。

【００２２】基板のセンタリング装置１０は、更に、搬
送方向Ｆに向かって搬送された基板Ｐを所定の位置（所
定の停止位置）に停止させる基板停止手段５０と、基板
Ｐを上記所定の位置に保持するクランプ手段６０と、基
板幅寄せ部材移動手段２４を作動制御する制御手段であ
るコントローラ７０と、クランプ手段６０により上記所
定の位置に保持された基板Ｐの幅を検出してコントロー
ラ７０に数値信号を出力する基板幅検出手段８０とを備
えている。

【００２３】基板停止手段５０は、停止部材５２と、停
止部材５２に連結されたエアシリンダ５４とを備えてい
る。停止部材５２は、昇降動手段を構成するエアシリン
ダ５４によって、図１及び図２の実線で示す作用位置
と、作用位置よりも下方である図示しない非作用位置と
に選択的に位置付けられる。停止部材５２は、基板Ｐの
搬送方向Ｆに直交する方向に直線状に延在するよう配設
され、その上端部における搬送方向Ｆの上流側には鉛直
面が形成されている。停止部材５２が非作用位置に位置
付けられているときには、停止部材５２は基板Ｐの搬送
経路から下方に後退させられており、基板Ｐの搬送に干
渉することはない。他方、停止部材５２が作用位置に位
置付けられると、その上端部の鉛直面が下方から搬送経
路を通して上方に突出し、基板Ｐの搬送方向Ｆに向かう
移動を阻止する。

【００２４】図１及び図２において符号Ｓ１は、基板検
出器である光学式センサであって、停止部材５２の、若
干上流側における搬送経路の上方に配設されている。セ
ンサＳ１はそれ自体周知の反射型光学式センサから構成
され、基板Ｐが上記した所定の停止位置に存在するか否
かを検出するために設けられているものである。センサ
Ｓ１の検出信号は後述するコントローラ７０に送出され
る。

【００２５】クランプ手段６０は、基板Ｐの搬送経路の
下方に配置された一対の下側クランプ部材６２及び６４
と、下側クランプ部材６２及び６４の各々に連結された
エアシリンダ６３（昇降動手段を構成する）と、基板Ｐ
の搬送経路の上方に配置され、かつそれぞれ下側クラン
プ部材６２及び６４に対向して配置された上側クランプ
部材６５及び６６と、上側クランプ部材６５及び６６に
連結されたエアシリンダ６７（昇降動手段を構成する）
とを備えている。下側クランプ部材６２及び６４は、そ
れぞれ基板Ｐの幅方向に延在し、かつ基板Ｐの搬送方向
Ｆに隙間を置いて配設されている。下側クランプ部材６
２及び６４は図示しない連結手段により相互に一体的に
連結され、各エアシリンダ６３により一体的に昇降動さ
せられるよう構成されている。もちろん相互に一体的に
連結された下側クランプ部材６２及び６４は１個のエア
シリンダにより一体的に昇降動させられるよう構成され
てもよい。上側クランプ部材６５及び６６は、それぞれ
基板Ｐの幅方向に延在し、かつ基板Ｐの搬送方向Ｆに隙
間を置いて配設されている。上側クランプ部材６５及び
６６は、図示しない連結手段により相互に一体的に連結
され、エアシリンダ６７により一体的に昇降動させられ
るよう構成されている。もちろん相互に一体的に連結さ
れた上側クランプ部材６５及び６６は、下側クランプ部
材６２及び６４のように２個のエアシリンダにより一体
的に昇降動させられるよう構成されてもよい。基板Ｐが
基板停止手段５０によって所定の位置に停止された状態
で、下側クランプ部材６２及び６４と上側クランプ部材
６５及び６６とが、それぞれのエアシリンダ６３、６７
により、基板Ｐから上方及び下方に離れる非作用位置
と、基板Ｐの搬送方向下流側端部付近の上面及び下面を
所定の圧力でクランプする作用位置とに選択的に位置付
けられるよう構成されている。

【００２６】基板幅検出手段８０は、基板Ｐの幅を検出
するための基板幅検出器である光学式センサＳ２と、セ
ンサＳ２を基板Ｐの幅方向に往復移動させるための基板
幅検出器移動手段であるロッドレスエアシリンダ８２
と、センサＳ２の移動量測定手段であるそれ自体周知の
エンコーダ８４とを備えている。センサＳ２はそれ自体
周知の反射型光学式センサから構成され、ロッドレスエ
アシリンダ８２の可動部８６に連結されている。ロッド
レスエアシリンダ８２は下側クランプ部材６２及び６４
の下方において、基板Ｐの幅方向に延在するよう配設さ
れ、センサＳ２は下側クランプ部材６２と６４との上記
隙間に位置付けられている。ロッドレスエアシリンダ８
２の可動部８６が一方から他方へ、また他方から一方へ
移動すると、センサＳ２は下側クランプ部材６２と６４
との隙間に沿って基板Ｐの幅方向を一方から他方へ、ま
た他方から一方へ移動させられる。

【００２７】したがって、基板Ｐが上側クランプ部材６
５及び６６と下側クランプ部材６２及び６４との間にク
ランプされた状態で、センサＳ２を基板Ｐの幅方向の一
方から他方に向かって移動させることにより、また他方
から一方に向かって移動させることにより、基板Ｐの幅
寸法に対応してセンサＳ２から検出信号が出力される。
この信号の出力時間中に移動したセンサＳ２の移動量は
エンコーダ８４によって測定され、基板Ｐの幅を示す数
値信号として後述するコントローラ７０に送出される。
なお、ロッドレスエアシリンダ８２に代えて、他の流体
圧シリンダ機構、あるいはパルスモータ、回転量測定手
段である回転量測定エンコーダ付きの電動モータ、ベル
ト機構等を使用してもよい。

【００２８】図５を参照して、コントローラ７０はマイ
クロコンピュータから構成され、制御プログラムに従っ
て演算処理する中央処理手段（ＣＰＵ）、制御プログラ
ムを格納するＲＯＭと操作部９０によって入力される各
種データを格納するＲＡＭとを有する記憶手段、入出力
インターフェース、タイマ等を備えている。操作部９０
は、電源スイッチ、基板Ｐの厚さが所定の基準値以下の
薄板である場合の薄板モード設定キー９２（薄板モード
設定手段を構成する）、基板Ｐの厚さが所定の基準値を
越える厚板である場合の厚板モード設定キー９４（厚板
モード設定手段を構成する）、基板幅寄せ部材２０及び
２２の各々のセンタリングに必要な所定の移動量を所定
の補正量だけ少なく補正するための補正値を設定する補
正値設定キー９６（補正値設定手段を構成する）等の各
種入力キーが配設された操作盤からなり、装置作動指令
信号、あるいはモード設定信号、補正値等の各種信号を
前記コントローラ７０に送出する。コントローラ７０
は、操作部９０からの入力信号、エンコーダ８４から送
られた数値信号等に基づき、制御プログラムに従って所
定の演算処理を実行し、パルスモータＰＭにセンタリン
グに必要な所定の移動量又は補正移動量（上記補正値に
よって補正された移動量）を数値信号として出力して、
基板幅寄せ部材２０及び２２の各々を相互に接近する方
向に該所定の移動量又は補正移動量だけ移動させる。

【００２９】なおコントローラ７０は、センサＳ１その
他の図示しないセンサ、マイクロスイッチ等の検出手段
からの出力信号あるいは操作部９０からの他の入力信号
等に基づいて、搬送ローラ４の電動モータＭ、基板停止
手段５０の停止部材５２を昇降動させるエアシリンダ５
４、クランプ手段６０の下側クランプ部材６２及び６４
と上側クランプ部材６５及び６６を昇降動させるエアシ
リンダ６３及び６７、等に制御信号を出力し、それらを
作動制御するよう構成されている。

【００３０】操作部９０に備えられた図示しない電源ス
イッチをＯＮすると、上流側の図示しない装置から、入
口側の基板搬送装置２の搬送ローラ４上に基板Ｐが搬入
される。次いで、操作部９０の入力キーにより必要なデ
ータがコントローラ７０に入力された後、装置は自動ス
タートする。なおこの制御形態においては、厚板モード
設定キー９４により厚板モードが設定される。コントロ
ーラ７０は、以下に説明するように、基板のセンタリン
グ装置１０を厚板モード制御に従って作動制御する。な
お薄板モード設定に備えて、予め補正値設定キー９６に
より所定の補正値を入力しておくことが望ましい。厚板
モードが設定されている限り、補正値が働くことはな
い。

【００３１】主として図６及び図７を参照してコントロ
ーラ７０の作動手順を説明する。ステップＳ１におい
て、コントローラ７０は電動モータＭを回転駆動させ
る。基板Ｐは搬送ローラ４の回転により搬送方向Ｆに向
かって搬送される。次にコントローラ７０はステップＳ
２に進み、基板Ｐが基板停止手段５０の停止部材５２の
上流側（図１の左側）の所定の位置を通過したか否かを
チェックする。基板搬送装置４の所定の位置に設けられ
た図示しない基板検出センサが基板Ｐの前端又は後端を
検出しない場合には、コントローラ７０は基板Ｐが停止
部材５２の上流側の所定の位置を通過しないと判断して
待ち、基板検出センサが基板Ｐの前端又は後端を検出し
た場合には、コントローラ７０は基板Ｐが停止部材５２
の上流側の所定の位置を通過したと判断してステップＳ
３に進む。

【００３２】ステップＳ３においてコントローラ７０
は、基板停止手段５０のエアシリンダ５４を駆動（上
昇）させて停止部材５２を作用位置に位置付ける。基板
Ｐの前端が停止部材５２に当接して前進が停止させられ
る。コントローラ７０は、エアシリンダ５４を駆動させ
てから所定時間経過後、ステップＳ４に進む。ステップ
Ｓ４において、コントローラ７０は電動モータＭの回転
を停止させる。この制御により搬送ローラ４の回転が停
止する。この制御により、基板Ｐの移動が停止部材５２
によって阻止されている所定時間の間、搬送ローラ４は
基板Ｐに対して空転するので、基板Ｐのいわゆる平行出
しが遂行される。基板Ｐは搬送ローラ４上の所定の停止
位置に位置付けられる（図１及び図２参照）。

【００３３】コントローラ７０は、ステップＳ４におい
て電動モータＭの回転を停止させた後ステップＳ５に進
み、基板Ｐが所定の停止位置に存在するか否かをチェッ
クする。センサＳ１が基板Ｐを検出しない場合には、コ
ントローラ７０は、基板Ｐが所定の停止位置に存在しな
いと判断してステップＳ６に進む。ステップＳ６におい
てコントローラ７０は装置を停止する。異常を点検処理
後、コントローラ７０はステップＳ１から再スタートと
なる。ステップＳ５において、センサＳ１が基板Ｐを検
出した場合には、コントローラ７０は基板Ｐが所定の停
止位置に存在すると判断して、ステップＳ７に進む。ス
テップＳ７において、コントローラ７０はクランプ手段
６０のエアシリンダ６３を駆動（上昇）させて、下側ク
ランプ部材６２及び６４を作用位置に位置付ける。次に
コントローラ７０はステップＳ８に進み、クランプ手段
６０のエアシリンダ６７を駆動（下降）させて、上側ク
ランプ部材６５及び６６を作用位置に位置付ける。基板
Ｐは、下側クランプ部材６２及び６４と、上側クランプ
部材６５及び６６によって、上記所定の停止位置にクラ
ンプされる。

【００３４】コントローラ７０は、ステップＳ８におい
てエアシリンダ６７を駆動させてから所定時間経過後、
ステップＳ９に進む。ステップＳ９において、コントロ
ーラ７０は、基板停止手段５０のエアシリンダ５４を駆
動（下降）させる。これによって、停止部材５２は非作
用位置に位置付けられる。コントローラ７０は、ステッ
プＳ９において、基板停止手段５０のエアシリンダ５４
を駆動（下降）させてから所定時間経過後、ステップＳ
１０に進む。

【００３５】ステップＳ１０において、コントローラ７
０は、基板幅検出手段８０のロッドレスエアシリンダ８
２を一端から他端まで駆動する。センサＳ２は基板Ｐの
幅方向に一方から他方まで移動させられる。センサＳ２
から基板Ｐの幅寸法に対応した検出信号が出力され、こ
の信号の出力時間中に移動したセンサＳ２の移動量（基
板Ｐの幅検出移動量）はエンコーダ８４によって測定さ
れ、基板Ｐの幅Ｗ１を示す数値信号（幅数値信号）とし
てコントローラ７０に出力される。したがってステップ
Ｓ１０において、コントローラ７０は、基板幅検出手段
８０に対して基板Ｐの幅を検出するよう作動制御する。
なお、フローチャートには示されていないが、コントロ
ーラ７０は、基板停止手段５０のエアシリンダ５４を駆
動して停止部材５２を非作用位置に位置付けた後、図示
しない端部剥離手段を作動させ、基板Ｐの少なくとも片
面に貼着されたフィルムの前端部を部分的に剥離させる
よう作動制御することが好ましい。

【００３６】次にコントローラ７０はステップＳ１１に
進む。ステップＳ１１において、コントローラ７０はク
ランプ手段６０のエアシリンダ６３を駆動（下降）させ
る。下側クランプ部材６２及び６４は非作用位置に位置
付けられる。コントローラ７０はステップＳ１２に進
み、クランプ手段６０のエアシリンダ６７を駆動（上
昇）させる。上側クランプ部材６５及び６６は非作用位
置に位置付けられる。搬送ローラ４上の基板Ｐはクラン
プ状態から開放されて動きがフリーな状態となる。

【００３７】次にコントローラ７０はステップＳ１３に
進んで、基板Ｐがクランプ状態から開放されたか否かを
チェックし、基板Ｐがクランプ状態から開放されないと
判断した場合には待ち、基板Ｐがクランプ状態から開放
されたと判断した場合には、ステップＳ１４（図７参
照）に進む。上記の判断は、例えばエアシリンダ６３及
び６７に付設された作動停止検出器（例えばマイクロス
イッチ）からの検出信号に基づいて遂行される。ステッ
プＳ１４において、コントローラ７０はパルスモータＰ
Ｍを回転駆動（正転）させる。コントローラ７０による
パルスモータＰＭの駆動は、エンコーダ８４からの数値
信号に基づいて、パルスモータＰＭにセンタリングに必
要な所定の移動量を数値信号（パルスの数）として出力
することにより遂行される。パルスモータＰＭは、図３
の時計方向に回転駆動させられ、基板幅寄せ部材２０及
び２２の各々はホームポジションから相互に接近する方
向に移動を開始する。

【００３８】なお、基板幅寄せ部材２０及び２２の各々
のホームポジションにおける幅（平面からみて、基板幅
寄せ部材２０の各々と基板幅寄せ部材２２の各々の対向
する側の各接線間の幅）をＷ２とすると、Ｗ２−Ｗ１
（基板Ｐの幅）／２が基板幅寄せ部材２０及び２２の各
々の所定の移動量となる。Ｗ２及びＷ１はパルスモータ
ＰＭの回転量に相当するパルス数に変換される。

【００３９】次にコントローラ７０はステップＳ１５に
進んで、基板幅寄せ部材２０及び２２の各々が相互に接
近する方向に該所定の移動量だけ移動したか否か（セン
タリングポジションに到達したか否か）をチェックす
る。コントローラ７０は、基板幅寄せ部材２０及び２２
の各々がセンタリングポジションに到達しないと判断し
た場合には待ち、基板幅寄せ部材２０及び２２の各々が
センタリングポジションに到達したと判断した場合に
は、ステップＳ１６に進んでパルスモータＰＭの回転を
停止させる。基板幅寄せ部材２０及び２２の各々は所定
のセンタリングポジションに停止させられ、基板Ｐのセ
ンタリングが完了する。

【００４０】コントローラ７０は、パルスモータＰＭの
回転を停止させてから所定時間経過後、ステップＳ１７
に進んでパルスモータＰＭを回転駆動（逆転）させる。
パルスモータＰＭは図３の反時計方向に回転駆動させら
れ、基板幅寄せ部材２０及び２２の各々は相互に離隔す
る方向に移動を開始する。

【００４１】次にコントローラ７０はステップＳ１８に
進んで、基板幅寄せ部材２０及び２２の各々が相互に離
隔する方向に該所定の移動量だけ移動したか否か（ホー
ムポジションに到達したか否か）をチェックする。コン
トローラ７０は、基板幅寄せ部材２０及び２２の各々が
ホームポジションに到達しないと判断した場合には待
ち、基板幅寄せ部材２０及び２２の各々がホームポジシ
ョンに到達したと判断した場合には、ステップＳ１９に
進んでパルスモータＰＭの回転を停止させる。基板幅寄
せ部材２０及び２２の各々は所定のホームポジションに
停止させられ、基板幅寄せ部材２０及び２２の各々のホ
ームポジショニングが完了する。

【００４２】コントローラ７０は、パルスモータＰＭの
回転を停止させてから所定時間経過後、ステップＳ２０
に進んで再び搬送ローラ４の電動モータＭを回転駆動さ
せる。搬送ローラ４が回転して基板Ｐは下流側に向けて
搬送させられる。次にコントローラ７０は、ステップＳ
２１に進んで、基板Ｐが基板搬送装置２から下流側に搬
出されたか否かをチェックし、基板Ｐが基板搬送装置２
から下流側に搬出されていないと判断した場合には待
ち、基板Ｐが基板搬送装置２から下流側に搬出されたと
判断した場合には、ステップＳ２２に進んで電動モータ
Ｍを停止する。これにより搬送ローラ４の回転が停止す
る。次にコントローラ７０はステップＳ１に戻り、前記
処理が繰り返される。

【００４３】なお、基板搬送装置２から下流側に搬送さ
れた基板Ｐは、剥離手段によりフィルムが完全に剥離さ
れた後、更に下流側に配設された基板搬出装置に搬送さ
れ、基板搬出装置により他の装置である現像装置に搬出
される。現像装置に搬出されるに際して、基板Ｐの幅方
向位置は上記のようにして充分精密に設定され、後工程
の品質が確保される。

【００４４】以上は厚板モード制御に従う作動手順の実
施形態であるが、次に薄板モード制御について説明す
る。この制御においては、操作部９０の薄板モード設定
キー９２により薄板モードが設定され、補正値設定キー
９６により補正値が入力される。例えば、（１）上記基
板Ｐの幅Ｗ１をセンサＳ２による実際の検出信号からエ
ンコーダ８４で測定して幅Ｗ１に相当する移動量に変換
するときの係数を補正値として入力する。この係数は、
Ｗ１を基板Ｐの実際の幅より若干大きくなるように補正
するものである。なおロッドレスエアシリンダ８２に代
えて回転量測定エンコーダ付きの駆動手段を使用した場
合には、上記基板Ｐの幅Ｗ１をセンサＳ２による実際の
検出信号からエンコーダ８４で測定するときの回転量を
幅Ｗ１に相当する移動量に変換するときの係数を補正値
として入力する。（２）基板幅寄せ部材２０及び２２の
所定の移動量から実際に減じる所定の補正量、すなわち
基板幅寄せ部材２０及び２２の各々のホームポジション
の幅Ｗ２−Ｗ１（基板Ｐの幅）／２から減じる所定の補
正量、を補正値として入力する。この場合の補正値の単
位は、ｍｍとする場合と、パルス数の場合が考えられ
る。

【００４５】この薄板モード制御が上記厚板モード制御
と相違するところは、コントローラ７０が、エンコーダ
８４からの数値信号に基づいて、パルスモータＰＭにセ
ンタリングに必要な所定の移動量より該所定の補正量だ
け少ない補正移動量を数値信号（本来のパルス数より少
ないパルス数）として出力して、パルスモータＰＭを図
３の時計方向に回転駆動させ、基板幅寄せ部材２０及び
２２の各々をホームポジションから相互に接近する方向
に該補正移動量だけ移動させるところである。したがっ
て基板幅寄せ部材２０及び２２の各々は、基板Ｐの対応
する側端に対し略所定の補正量に相当する隙間をもって
停止させられる。その結果、基板Ｐの厚さが所定の基準
値以下の薄板である場合であっても、基板幅寄せ部材２
０及び２２の各々によってたわみや損傷等を発生させる
ことが確実に防止され、基板Ｐの品質が確保される。そ
の他の説明は省略する。

【００４６】本発明においては、上記薄板モード制御と
同様な制御を他の実施形態で遂行することも可能であ
る。この制御の場合、上記薄板モード設定キー９２に代
えて、基板Ｐの厚さが所定の基準値以下の薄板であるこ
とを検出する基板厚検出手段（図示せず）が、基板搬送
装置２の搬送ローラ４により形成される基板搬送経路の
上流側に配設される。補正値設定キー９６は薄板モード
制御と同様に配設される。

【００４７】この制御においては、補正値設定キー９６
により上記の如き補正値を設定しておけば、基板厚検出
手段が基板Ｐが薄板であることを自動的に検出すると、
コントローラ７０が、エンコーダ８４からの数値信号に
基づいて、パルスモータＰＭにセンタリングに必要な所
定の移動量より該所定の補正量だけ少ない補正移動量を
補正数値信号として出力して、パルスモータＰＭを図３
の時計方向に回転駆動させ、基板幅寄せ部材２０及び２
２の各々をホームポジションから相互に接近する方向に
該補正移動量だけ移動させる。したがって基板幅寄せ部
材２０及び２２の各々は、上記薄板制御モードと同様
に、基板Ｐの対応する側端に対し略所定の補正量に相当
する隙間をもって停止させられる。その結果、基板Ｐの
厚さが所定の基準値以下の薄板である場合であっても、
基板幅寄せ部材２０及び２２の各々によってたわみや損
傷を発生させることが確実に防止され、基板Ｐの品質が
確保される。また、薄板の検出を自動的に遂行すること
ができるので、補正値設定手段９６により補正値を設定
しておくだけで、上記制御が自動的に遂行され、板厚に
よってモードを設定する必要がないので、自動制御に好
適である。その他の説明は省略する。

【００４８】以上、本発明による基板のセンタリング装
置の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱する
ことなく種々の変形あるいは修正が可能である。例え
ば、本発明は、上記実施形態の如くフィルム剥離装置の
基板搬送装置に配設された基板のセンタリング装置に限
定される理由はなく、他の装置の基板搬送装置に配設さ
れた基板のセンタリング装置にも適用されるものであ
る。

【００４９】更に、上記した実施形態において、基板幅
検出手段８０からの数値信号はコントローラ７０に出力
され、コントローラ７０により演算処理が遂行された後
にパルスモータＭに数値信号が出力されるよう構成され
ているが、基板幅検出手段８０から直接、パルスモータ
ＰＭに出力する手段もある。この実施形態の場合、パル
スモータＰＭ側にコントローラ７０に代わる制御部が配
設されることはいうまでもない。この実施形態において
上記補正値は、コントローラ７０に入力された後、必要
に応じてコントローラ７０からパルスモータＰＭ側の制
御部に出力される。そしてパルスモータＰＭ側の制御部
からパルスモータＰＭに対してセンタリングに必要な所
定の移動量より所定の補正量だけ少ない補正移動量を数
値信号として出力して、基板幅寄せ部材２０及び２２の
各々を相互に接近する方向に補正移動量だけ移動させ
る。本発明は、このような実施形態をも含むものであ
る。

【００５０】

【発明の効果】本発明に従って構成された基板のセンタ
リング装置によれば、基板のセンタリングを比較的短時
間でしかも正確に遂行することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従って構成されたセンタリング装置の
実施形態を概略的に示す側面図。

【図２】図１に示すセンタリング装置の斜視概略図。

【図３】図１及び図２にその一部が示されている、基板
幅寄せ部材及び基板幅寄せ部材移動手段を基板の搬送方
向下流側から見た概略図。

【図４】図１のＡ−Ａ矢視断面図であって、基板幅検出
手段の構成を概略的に示す図。

【図５】本発明に従って構成されたセンタリング装置に
含まれる制御手段とそれに関連する部材との信号径路を
概略的に示す図。

【図６】図５に示すコントローラの処理手順の一部を示
すフローチャート。

【図７】図５に示すコントローラの処理手順の一部を示
すフローチャート。

【符号の説明】

２ 基板搬送装置 ４ 搬送ローラ １０ 基板のセンタリング装置 ２０、２２ 基板幅寄せ部材 ２４ 基板幅寄せ部材移動手段 ４０、４２ 歯付きプーリ ４４ 歯付きベルト ５０ 基板停止手段 ５２ 停止部材 ５４、６３、６７ エアシリンダ ６０ クランプ手段 ６２、６４ 下側クランプ部材 ６５、６６ 上側クランプ部材 ７０ コントローラ ８０ 基板幅検出手段 ８２ ロッドレスエアシリンダ ８４ エンコーダ ９０ 操作部 Ｍ 電動モータ Ｐ 基板 ＰＬ 基板Ｐの搬送面 ＰＭ パルスモータ Ｓ１ センサ Ｓ２ センサ

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65G 43/00 - 43/10

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を所定の搬送方向に搬送する複数個
   の搬送ローラを含む基板搬送装置に配設され、該搬送方
   向の両側に配置された基板幅寄せ部材と、該基板幅寄せ
   部材の各々をホームポジションから該ホームポジション
   よりも相互に接近する方向に移動させることができる基
   板幅寄せ部材移動手段とを備えた基板のセンタリング装
   置において、 搬送された該基板を所定の位置に停止させる基板停止手
   段と、該基板を該所定の位置に保持するクランプ手段
   と、該基板幅寄せ部材移動手段を作動制御する制御手段
   と、該クランプ手段により該所定の位置に保持された該
   基板の幅を検出して該制御手段に数値信号を出力する基
   板幅検出手段と、該基板幅寄せ部材の各々のセンタリン
   グに必要な所定の移動量を所定の補正量だけ少なく補正
   するための補正値を設定する補正値設定手段とを備え、 該制御手段は、該基板幅検出手段からの該数値信号と該
   補正値設定手段からの設定信号に基づいて、該基板幅寄
   せ部材移動手段に、センタリングに必要な該所定の移動
   量より該所定の補正量だけ少ない補正移動量を数値信号
   として出力して、該基板幅寄せ部材の各々を相互に接近
   する方向に該補正移動量だけ移動させる、ことを特徴と
   する基板のセンタリング装置。
2. 【請求項２】 基板を所定の搬送方向に搬送する複数個
   の搬送ローラを含む基板搬送装置に配設され、該搬送方
   向の両側に配置された基板幅寄せ部材と、該基板幅寄せ
   部材の各々をホームポジションから該ホームポジション
   よりも相互に接近する方向に移動させることができる基
   板幅寄せ部材移動手段とを備えた基板のセンタリング装
   置において、 搬送された該基板を所定の位置に停止させる基板停止手
   段と、該基板を該所定の位置に保持するクランプ手段
   と、該基板幅寄せ部材移動手段を作動制御する制御手段
   と、該クランプ手段により該所定の位置に保持された該
   基板の幅を検出して該制御手段に数値信号を出力する基
   板幅検出手段と、 該基板の厚さが所定の基準値以下の薄
   板である場合の制御モードを設定する薄板モード設定手
   段と、該基板幅寄せ部材の各々のセンタリングに必要な
   所定の移動量を所定の補正量だけ少なく補正するための
   補正値を設定する補正値設定手段とを備え、 該制御手段は、該基板幅検出手段からの該数値信号と、
   該薄板モード設定手段及び該補正値設定手段からの設定
   信号に基づいて、該基板幅寄せ部材移動手段に、センタ
   リングに必要な該所定の移動量より該所定の補正量だけ
   少ない補正移動量を数値信号として出力して、該基板幅
   寄せ部材の各々を相互に接近する方向に該補正移動量だ
   け移動させる、ことを特徴とする基板のセンタリング装
   置。
3. 【請求項３】 基板を所定の搬送方向に搬送する複数個
   の搬送ローラを含む基板搬送装置に配設され、該搬送方
   向の両側に配置された基板幅寄せ部材と、該基板幅寄せ
   部材の各々をホームポジションから該ホームポジション
   よりも相互に接近する方向に移動させることができる基
   板幅寄せ部材移動手段とを備えた基板のセンタリング装
   置において、 搬送された該基板を所定の位置に停止させる基板停止手
   段と、該基板を該所定の位置に保持するクランプ手段
   と、該基板幅寄せ部材移動手段を作動制御する制御手段
   と、該クランプ手段により該所定の位置に保持された該
   基板の幅を検出して該制御手段に数値信号を出力する基
   板幅検出手段と、 該基板の厚さが所定の基準値以下の薄
   板であることを検出する基板厚検出手段と、該基板幅寄
   せ部材の各々のセンタリングに必要な所定の移動量を所
   定の補正量だけ少なく補正するための補正値を設定する
   補正値設定手段とを備え、 該制御手段は、該基板幅検出手段からの該数値信号と、
   該基板厚検出手段及び該補正値設定手段からの設定信号
   に基づいて、該基板幅寄せ部材移動手段に、センタリン
   グに必要な該所定の移動量より該所定の補正量だけ少な
   い補正移動量を数値信号として出力して、該基板幅寄せ
   部材の各々を相互に接近する方向に該補正移動量だけ移
   動させる、ことを特徴とする基板のセンタリング装置。