JPS6299044A - 基板の搬送保持装置 - Google Patents

基板の搬送保持装置

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JPS6299044A
JPS6299044A JP60236862A JP23686285A JPS6299044A JP S6299044 A JPS6299044 A JP S6299044A JP 60236862 A JP60236862 A JP 60236862A JP 23686285 A JP23686285 A JP 23686285A JP S6299044 A JPS6299044 A JP S6299044A
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住 茂夫
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の目的 [産業上の利用分野コ 本発明は、基板の送り装置に係り、特に、薄膜張付装置
に使用される基板の送り′JA置に適用して有効な技術
に関するものである。
[従来の技術] コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。
この種のプリント配線板は、次の製造工程によりlaす
ることができる。
まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に。
感光性樹脂(フォトレジスト)層とそれを保護する透光
性樹脂フィルム(保護膜)とからなる積層体を熱圧着ラ
ミネート(張り付け)する。この熱圧着ラミネートは、
薄膜張付装置所謂ラミネータにより量産的に行われる。
この後、前記積層体に配線パターンフィルムを重ね、こ
の配線パターンフィルム及び透光性樹脂フィルムを通し
て、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性
樹脂フィルムを剥粟装置で剥離した後、露光された感光
性樹脂層を現像してエツチングマスクパターンを形成す
る。この後、前記導電層の不必要部分をエッチングによ
り除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定
の配線パターンを有するプリント配線板を形成する。
[発明が解決しようとする問題点] 前述のプリント配線板の製造工程においては。
絶縁性基板の両面に導電層を設けた基板に感光性樹脂層
と透光性樹脂フィルムとからなる積層体を圧若(通常、
熱圧着)ラミネートする工程が必要とされている。
基板に張り付けられる積層体は、薄膜張付装置の供給ロ
ーラに連続的に巻回されている積層体を引出して、基板
の]法に対応して切断したものである。
前記基板を圧着挟持部材(例えば、仮圧着挟持部材、熱
圧着口〜う)の位置に搬送する基板の送り装置は、複数
の円板状ローラ(ピンチローラ)を串差しにした回転体
を複数本設け、この回転体を回転させて基板を移動させ
、圧着挟持部材に近ずくと、基板を固定ガイド部材で搬
送方向のセンタラインに幅寄せして圧着挟持部材に噛み
込ませている。
しかしながら、前記基板が圧着挟持部材に装着される位
置まで搬送されて来て、基板がその装着位置に正確に設
定されていても、圧着挟持部材に装着された時、基板の
一部のみが支持されているだけであり、装着開始初期の
挟持衝撃によって基板が動いて(後退又は左右方向へ若
干動く)ラネミートさ九る薄膜の供給位置と基板の設定
位置とがずれてしまうという開運があった。
なお1本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は1本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。
(2)発明の構成 [問題点を解決するための手段] 本願において開示される発明のうち1代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち1本発明は、搬送ローラと押えローラによって
基板を搬送する基板の送り装置であって、前記基板が圧
着挟持部材に装着される位置まで搬送されて来た時、そ
の状態を保持してその位置に基板を一時的に固定するた
めの基板押え部材を設けたことを特徴とするものである
[作用コ 本発明は、搬送ローラを駆動して搬送ローラ上の基板を
押えローラで押えながら搬送する。前記基板が圧着挟持
部材に装着される位置まで搬送されて来た時に、基板押
え部材を突出させて基板を押えて固定する。圧着挟持部
材の挟持による初期衝撃が終了すると、JIII板押え
部材が引込む。これにより圧着挟持部材に基板が装着さ
れる時、ラネミー1−される薄膜の供給位置と基板の設
定位置とのずれを防止することができる。
また、基板が搬送センタラインに正確に設定さJしてい
ても、ラネミートされる薄膜の供給位置と基板の設定位
置とがずれている場合には、基板幅寄せ(基板進路修正
)装置移動機構により基板幅寄せ装置のセンタラインと
基板にラミネートされる薄膜のセンタラインとを合致さ
せてそのずれ量を補正することができる。
[実施例] 以下、本発明をプリント配線用基板に感光性樹脂層と透
光性樹脂フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネート
する薄膜張付装置(ラミネータ)に使用される基板の送
り装置に適用した一実施例について図面を用いて説明す
る。
なお、実施例の全回において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。
本発明の一実施例である基板の送り装置を使用した薄膜
張付@置の概略構成を第2図で示す。
本実施例の薄膜張付装置は、第2図に示すように、透光
性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルム
からなる3層の積層体1は、供給ローラ2に連続的に巻
回されている。供給ローラ2の積層体1は、剥離ローラ
3で、透光性樹脂フィルム(保護膜)IAと、−面(接
着面)が露出された感光性樹脂層及び透光性樹脂フィル
ムからなる積層体IBとに分離される。
分離された透光性樹脂フィルムIAは、巻取口−ラ4に
より巻き取られるように構成されている。
前記積層体IBの供給方向の先端部は、適度なテンショ
ンを与えるテンションローラ5を介してメインバキュー
ムプレート6に吸着されるように構成されている。メイ
ンバキュームプレート6は。
矢印A方向にその位置を変動できるエアーシリンダ7を
介してフレーム8に支持されている。メインバキューム
プレート6は、テンションローラ5とともにしわ等を生
じないように、積層体IBを基板17側に供給するよう
に構成されている。
メインバキュームプレート6の先端の円弧状部6Aは、
基板を圧着挟持する部材の一種に該当し、その内部にヒ
ータ6Bが設けられており、前記積層体IBの先端部を
基板17の導電層上に仮熱圧着ラミネートするように構
成されている。
前記円孤状部6Aに近接した位置には、連続的な積層体
IBを基板17の弓゛法に対応して切断するロータリカ
ッタ9が設けられている。
このロータリカッタ9に対向した位置には、切断された
積層体IBの先端部を前記円孤状部6Aに吸着させるサ
ブバキュームプレートIOが設けられている。このサブ
バキュームプレート10は、矢印B方向にその位置を変
動できるエアーシリンダ11を介してフレーム8に支持
されている。
メインバキュームプレート6とサブバキュームプレート
10を支持するフレーム8は、矢印C方向にその位にを
変動できるエアーシリンダ12を介して装置本体のフレ
ーム13に支持されている9前記基板17の導電層上に
円孤状部6Aでその先端部が仮熱圧着ラミネートされる
積層体IBは、熱圧着ローラ14でその全体が熱圧着ラ
ミネートされるように構成されている6熱圧着ローラ1
4は、基板を圧着挟持する部材の一種に該当し、積層体
IBの先端部を円孤状部6Aで仮熱圧着後、第2図に符
号14′を符した点線で示す位置から実線で示す位置に
移動するように構成されている。
前記ロータリカッタ9で切断された積層体IBの後端部
は、三角形状の回転バキュームプレート15でしわ等を
生じないようにガイドされ、熱圧着ローラ14で熱圧着
ラミネートされるように構成されている。
このように構成される薄膜張付装置は、前述した各構成
により、搬送ローラ16A、押えローラ16B等からな
る基板の送り装[16で搬送される絶縁性基板の両面(
又は片面)に導電層を設けた基板17上に、積層体IB
を熱圧着ラミネートするようになっている。積層体IB
は、透光性樹脂フィルムIAが剥離された感光性樹脂層
の接着面と導電層面とが接着するように、基板17上に
熱圧着ラミネートされるように構成されている。積層体
1[3が熱圧着ラミネートされた基板17は。
基板搬出装置l!1iaによって外部に搬出されるよう
になっている。
前記基板の送り装置H16の概略構成を第1図に示す。
基板の送り装置16は、第1図に示すように。
薄膜張(−J装置(ラミネータ)■に連結されている。
搬送ローラ16Δは、繊維強化プラスチック製の円柱状
部材(中実又は中空:好ましくは中空)からなっており
、複数の搬送ローラ16Aが基板の送す装置16本体の
フレーム20に回転自在に取すイ・」けている。この複
数の搬送ローラ16Aは、薄い基板17の端部が垂れ下
がらないように所定の間隔で配列されている。また、複
数の搬送ローラ16Aのうち1つおきの搬送ローラ16
Aだけを駆動源(図示していない)に連結している。ま
た、駆動源には、必要に応じて2つおきの搬送ローラ1
6A又は全部の搬送ローラ16Aに連結してもよい。
基板17は、前記搬送ローラ16A上に載置され、押え
ローラ16Bにより押えられて搬送されるようになって
おり、薄い基板17では、波打ちや反りを矯正するよう
になっている。この押えローラ16Bは、非常に薄(て
波打ちや反り易い基板17を使用する場合に、基板17
の端部が円板状部材で構成された回転体に引掛かって停
止しないように、搬送ローラ16Aと同様に円柱状部材
で構成しており、フレーム20に回転自在に取り付けら
れている。押えローラ16Bは駆動源には連結されてい
ないが、連結させてもよい。また、押えローラ16Bは
、あまり薄くなくて波打ちや反り易さの程度が小さい基
板17を使用する場合には、複数の円板状部材を串差し
にした回転体であってよい。
21は基板幅寄せ装置であり、I11送方向のセンタラ
インと基板17の搬送方向のセンタラインとを合致させ
るためのものである。この基板幅寄せ装置21は、第3
図(Y −Y線で切った断面図)及び第4図(斜視図)
に示すように、支持部材21Δ、21Δ′に基板幅寄せ
部材21B、21B’を支持して閘成さ扛ている。この
支持部材21A。
21Δ′は、それぞれ支持棒2ICに摺動自在に取り付
けられている。そして、前記支持部材21A、21A’
は、プーリ21Dとプーリ21D′に巻回されている無
端ベルト21Eに、その無端ベルト21Eが矢印り方向
に移動すると、互に近かづくように取り付られている。
支持部材21A。
21Δ・の摺動は、支持部材21A′に設けられたエア
ーシリンダ211により行われる。前記プーリ21D、
21D’はそれぞれ逆り字状支持部材21F、21F’
に支持されている。これらの逆り字状支持部材21F、
21F’はネジ捧21Gに係合されている。ネジ捧21
Gにはハンドル211−1が取り付けられており、この
ハンドル2114を回転させることにより、逆り字状支
持部材21F、21F’は、その間の距煎を一定に保持
したまま左右に移動するようになっている。この移動機
構(又は微調整機構)は、基板17の搬送方向のセンタ
ラインと、熱圧着ラミネートされる積層体IBの搬送方
向のセンタラインすなわち基板の送り装置16のセンタ
ラインとがずれた場合に、両者を合致させるために基板
幅寄せ装置21の位置を調整するものである。基板幅寄
せ装置16の位置の固定は、ネジ棒21Gの回転を固定
するネジ21Jで行われる。
22は基板17の先端(又は後端)を検出する基板位に
検出センサであり、基板幅寄せ装置21の基板幅寄せ部
材21B、21B’の駆動開始信号を発生するためのも
のである。この基板位置検出センサ22は、フレーム2
0に支持フレーム22△を介して取すイ・」けられてい
る。前記基板位置検出センサ22は、例えば1反射型光
センサを用いる。
23A、23Bは基板17の両側端をそれぞれ検出する
基板幅検出センサであり、基板幅寄せ装置21の基板幅
寄せ部材21B、21B’の駆動停止(i号を発生する
ためのものである。この基板幅検出センサ23A、23
Bは、前記支持部材21A、21Δ′の搬送方向の先端
部の近傍で、前記基板幅寄せ部材218.21B’より
内側に取すイ・」けられている。すなわち、基板幅検出
センサ23Δ、23Bは、基117のセンタラインと基
板の送り装F1116のセンタラインとが合致したとき
、11「2基板幅寄せ部材21B、21B’を停止させ
る位置に設けられている。基板幅寄せ装置21の制御は
、遅延回路を用いて基板幅検出センサ23Δ、2313
により基板17の両側端が検出されてから少し遅Jして
前記基板幅寄せ部材21B。
21B′の駆動動作停止信号を発生させるようにすれば
簡単に実現できる。基板幅検出センサ23A、23Bは
1例えば、透過型光センサを用いる。
このように、基板17の搬送方向のセンタラインと基板
の送り装置16の搬送方向のセンタラインを合致させる
基板幅寄せ装置21を設け、この基板幅寄せ装置21の
動作を開始させる基板位置検出センサ22、及び基板幅
寄せ装置i21の動作を停止させる基板幅検出センサ2
3A、23Bを設けることにより、基板17の搬送方向
のセンタラインと基板の送り装[16の搬送方向のセン
タラインとを、J!板17にたわみを生じることなく合
致させた状態で、基板17を成熱圧着開始位置に正確に
かつ容易に搬送することができる。
第1図に示す基板押え部材24は、基板17が成熱圧着
開始位置に来た時、基板17を固定するとともに落下し
ないように押えるためのものである。この基板押え部材
24は、第5図(側面図)に示すように、前記フレーム
20に取り付けられ、図示していないエアーシリンダと
スプリングにより矢印E方向に移動するようになってい
る。また。
この基板押え部材24の駆動動作と連動又は非運動して
基板支持部材25が矢印F方向に突出するようになって
いる。この基板支持部材25の矢印F方向の制御は、第
6図(側面図)に示すように、前記フレーム20に設け
られたエアーシリンダ25Aによって行っている。基板
押え部材24又は基板支持部材25の動作は1図示して
いない基板位置検出センサの駆動開始信号又は駆動停止
信号により制御されるようになっている。
このように基板押え部材24と基板支持部材25を設け
ることにより、基板17が成熱圧着開始位置に来た時、
基板17が落下しないように支持するとともに、円孤状
部6Aによる成熱圧着動作を経て、熱圧着ローラが基板
17を上下から挟持するまで基板17を所定位置に保持
することができるので、基板17上に積層体IBを正確
に熱圧着ラミネートすることができる。
次に、本実施例の基板の送り装置の動作を簡単に説明す
る。
第1図おいて、基板17は、複数の搬送ローラ16Aの
うちの所定搬送ローラl 6Ati−駆動させることに
より、熱圧着ローラ14方向に向けて搬送される。基板
17が搬送されて来てその先端が基板位置検出センサ2
2により検出されると、駆動開始信号により基板幅寄せ
装置21がその動作を開始する。基板幅寄せ装置21は
、基板幅寄せ部材21B、21B’で基板17のセンタ
ラインと基板の送り装置16のセンタラインとを合致す
るように動作する。その後基板幅検出センサ23A、2
3Bにより基板17の両側端が検出されると、この駆動
動作信号により基板幅寄せ装置21の動作が停止する。
これによって、基板17の搬送方向のセンタラインが基
板の送り装置i16の搬送方向のセンタラインに合致し
た状態で熱圧着位置まで搬送される。この時、図示して
いない基板位置検出センサより、搬送ローラ16Aの駆
動が停止され、押え部材24が下方向に移動して来て基
板17を押えて動かないようにする。これと同時に、基
板支持部材25が突出して来て基板17を落下しないよ
うに支持する。
その後、円孤状部6Aで仮圧着ラミネートし。
第2図に示すように、熱圧着ローラ14が基板17に向
って左方向に移動し、成熱圧着された積層体113を介
在して基板17を挟持する。この状態で熱圧着ローラ1
4及び搬送ローラ16Aが駆動して基板17上に積層体
IBが熱圧着ラミネートされる。
以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが1本
発明は、前記実施例に限定されるもので゛はなく、その
要旨を逸脱しない範囲において1種々変形し得ることは
いうまでもない。
例えば、本発明は、薄膜剥離装置に使用される基板の送
り装置に適用することができる。
[発明の効果コ 以上説明したように1本発明によれば、基板押え部材を
設けることにより、基板が成熱圧着開始位置に来て成熱
圧着用の円弧状部6Aが基板を上下から挟持する時、基
板が動かないように固定することができるので、基板上
に薄膜を正確に仮圧着ラミネート 熱圧着開始位置と熱圧着ローラによる熱圧着開始位置と
は同じ位置に設定されており、熱圧着開始時にも基板押
え部材を作動させているので、基板上に薄膜を正確に熱
圧着ラミネートすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は1本発明の一実施例の基板の送り装置の概略構
成を示す斜視図。 第2図は1本実施例の基板の送り装置に係る薄膜張付装
置の概略構成を示す模写図、 第3図は、第1図のY−Y線で切った断面図。 第4図は、第3図の基板幅寄せ装置の構成を示す斜視図
、 第5図は、第1図に示す基板幅検出センサ、押え部材及
び基板支持部材の構成を示す側面図、第6図は、第1図
に示す基板支持部材の構成を示す側面図である。 図中、16・・基板の送り装置、16A・・・搬送ロー
ラ、1613・・・押えローラ、20・・・基板の送り
装置本体のフレーム、17・・・基板、21・・・基板
幅寄せ装置、2LA、21A’・・・支持部材、21B
。 21B’・・基板幅寄せ部材、21C・・・支持棒、2
IE・・・無端ベルト、21D、21D’・・・プーリ
。 21F、21F’・・・逆り字状支持部材、21G・・
・ネジ棒、2111・・・ハンドル、21J・・・固定
ネジ。 22・・・基板位置検出センサ、23A、23B・・・
基板幅検出センサ、24・・・基板押え部材、25・・
・基板支持部材である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)搬送ローラと押えローラによって基板を搬送する
    基板の送り装置であって、前記基板が薄膜圧着挟持部材
    に装着される位置まで搬送されて来た時、その状態を保
    持してその位置に基板を一時的に固定するための基板押
    え部材を設けたことを特徴とする基板の送り装置。
  2. (2)前記基板押え部材は、前記基板が圧着挟持部材に
    装着される位置まで搬送されて来た時に基板を押え部材
    で押えるように突出し、基板が圧着挟持部材に装着され
    ると引込むように構成されていることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載の基板の送り装置。
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