CN107656425B - 工作台以及曝光装置 - Google Patents

Abstract

提供一种即使对产生了变形的工件也能够不造成工件的损伤地充分吸附并保持、即使对于不同尺寸的工件也容易应对的廉价的工作台。设置在供板状的工件W载置的工作台主体(1)的工件保持面的收缩片(3)为，包围设置有工件用真空吸附孔(21)的区域的边框状。在工件W)载置于工件保持面并利用通过工件用真空吸附孔(21)的真空吸引而被吸附时，收缩片(3)被夹在工件W与工作台主体(1)之间。收缩片(3)为沿着工件(W)的周边部延伸的形状，对应于工件(3)的变形，通过弹性在厚度方向上收缩，与工件(W)紧贴。

Description

工作台以及曝光装置

技术领域

本申请的发明涉及用于将作为处理对象物的工件保持在规定位置的工作台，另外还涉及安装了这种工作台的曝光装置。

背景技术

在进行各种处理的装置中，经常需要将处理的对象物(以下，称作工件。)保持在规定位置必要。此时，在工件为板状的情况下，使其载置并保持于具有平坦的表面的台状的部件(以下，称作台。)的情况较多，将这样的台称作工作台。

工作台为了可靠地进行工件的保持而大多具备吸附工件的机构，在该机构中，大多采用通过真空进行吸附的真空吸附机构。在工作台的工件保持面形成真空吸附孔，与真空吸附孔连通的真空排气路径被设于工作台内。在真空排气路径连接有真空泵，在工件封堵真空吸附孔而配置的状态下，通过真空吸附孔进行真空吸引，从而使工件被保持在工作台。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：特开2009－109553号公报

专利文献2：特开2011－81156号公报

专利文献3：专利4589198号公报

发明内容

在具备这样的真空吸附机构的工作台中，存在因工件变形导致不能充分进行真空吸附这一课题。

例如，在对基板进行电路图案的曝光的印刷基板用曝光装置中，为了将基板相对于曝光用光学系统保持在规定的位置而使用工作台。这样的印刷电路基板用曝光装置有时对利用聚酰亚胺或聚酯等形成的较薄的柔性基板进行曝光。这种基板容易受到前序工序中的热处理的影响，横向观察时弯曲、或呈波浪那样弯曲。另外，在环氧玻璃那样的刚性基板的情况下，由于基板为多层构造时材料间的热膨胀系数不同等，随着反复进行用于层叠的处理而容易在基板的周边部发生翘曲或弯曲。

对于像这样产生了翘曲或弯曲等的变形的工件，在配置在工作台上时，不能充分地封堵真空吸附孔，由于真空泄漏而不能真空吸附、或吸附不充分。其结果，在处理中成为工件可能位移的状态。曝光装置的情况下，曝光中的工件的位移直接与被曝光的图案的位置精度的降低相关，对产品的性能产生影响。因此，对于这样产生了变形的工件，也需要能够进行充分地真空吸附。

作为对即使产生了变形的工件也能够充分地进行真空吸附的以往的构成，经常采用从上侧按压工件的周边部的夹持机构。然而，这种机构有容易对工件造成损伤的缺点。另外，在由于从上侧覆盖工件的周边部、因此需要对周边部也进行处理(例如曝光)的情况下，在处理中需要使夹具退避，也可能产生在使其退避时工件恢复到原本的变形了的姿势而真空泄漏的问题。并且，这种机构易变得复杂、装置大型化、成本容易变高。

另外，在多品种少量生产的要求下，有时产生用一台装置处理不同尺寸的工件的需求。在这种情况下，上述夹持机构的话是难以应对不同尺寸的工件的，为了使其能够应对而存在机构上变得更加复杂或成本变得更高的问题。

本申请的发明为了解决上述各课题而做成，其目的在于，即使对产生了变形的工件也能充分地吸附、保持，并且，此时不会存在使工件损伤的问题，且对于不同尺寸的工件也能容易应对，进而能够以廉价的成本实现。

为了解决上述课题，本申请的权利要求1记载的发明为保持板状的工件的工作台，具有如下构成，该工作台具备：

工作台主体，在工件保持面具有工件用真空吸附孔；以及

排气系统，在工件抵接在设定于工件保持面的保持位置时，对工件用真空吸附孔进行真空吸引来吸附工件，

在工件保持面设置有收缩片，

收缩片为在设置了工件用真空吸附孔的区域的外侧将该区域包围的形状，并且是在工件在保持位置件抵接于工件保持面时以被夹在工件与工作台主体的工件保持面之间的状态沿该工件的周边部延伸的形状，

收缩片具有在与工件保持面抵接的工件被进行真空吸附时、在厚度方向上收缩而与工件紧贴的弹性所带来的柔性，

收缩片以能够装拆的方式安装于工件保持面。

另外，为了解决上述课题，技术方案2记载的发明在上述技术方案1的构成中具有如下构成：上述收缩片具有在以上述保持位置抵接于上述工件保持面的上述工件的周边部的整周上与上述工件重叠的形状。

另外，为了解决上述课题，技术方案3记载的发明在上述技术方案1的构成中具有如下构成：上述收缩片为如下形状：在以上述保持位置抵接于上述工件保持面的上述工件的周边部具有局部不重叠的区域，该不重叠的区域的周向的长度为10mm以下。

另外，为了解决上述课题，技术方案4记载的发明在上述技术方案1、2或者3的构成中具有如下构成：在与上述工件保持面抵接的工件被真空吸附时，在厚度方向上收缩的上述收缩片的平均的厚度为0.5mm以下。

另外，为了解决上述课题，技术方案5记载的发明在上述技术方案1至4中任一项所述的构成中具有如下构成：上述收缩片以延伸至框体的状态设置，

框体在上述工件与上述工件保持面抵接而被真空吸附时，在比该工件更靠外侧的位置固定上述收缩片。

另外，为了解决上述课题，技术方案6记载的发明在上述技术方案1至5中任一项所述的构成中具有如下构成：上述工作台主体在设置有上述工件用真空吸附孔的区域的外侧具有平坦面，上述收缩片设置于该平坦面。

另外，为了解决上述课题，技术方案7记载的发明为曝光装置的发明，其特征在于，具备：

光源；

光学系统，将来自光源的光作为规定的图案的像进行投影；以及

技术方案1至6中任一项所述的工作台，

上述保持位置为光学系统对规定的图案的像的投影位置。

另外，为了解决上述课题，技术方案8记载的发明在上述技术方案7的构成中具有如下构成：上在与上述工件保持面抵接的工件被真空吸附时，在厚度方向上收缩了的上述收缩片的平均的厚度为上述光学系统投影上述像时的焦点深度的1/2以下。

发明效果

如以下说明的那样，根据本申请的技术方案1记载的发明，在工件被真空吸附于工作台时，收缩片利用工件的周边部在厚度方向上被压缩而收缩，因此即使对于产生了变形的工件，收缩片与工件也会紧贴而防止真空吸附的误差。此时，由于不需要如夹持机构那样从相反的一侧按压工件，因此成为工件不被损伤、简单的构造、成本也较廉价的工作台。

另外，根据技术方案4记载的发明，除了上述效果以外，由于收缩了的收缩片的平均的厚度为0.5mm以下，因此被真空吸附的工件的弯曲变小。

另外，根据技术方案5记载的发明，除了上述效果以外，由于收缩片延伸至框体，因此收缩片的操作及定位变得容易。由于框体在收缩片与工件重叠的区域的外侧固了定收缩片，因此也不会阻碍收缩片与工件与的紧贴。

另外，根据技术方案6记载的发明，除了上述效果以外，由于收缩片设置在工作台主体的平坦面，因此可获得易于应对不同形状以及/或者尺寸的工件的效果。

另外，根据技术方案7记载的发明，能够在对工件进行曝光的曝光装置中获得上述效果。

另外，根据技术方案8记载的发明，除了上述效果以外，由于收缩了的收缩片的平均的厚度为光学系统的焦点深度的1/2以下，因此能够在防止像的虚化的同时获得上述效果。

附图说明

图1为实施方式的工作台的正面剖面概略图。

图2为图1所示的工作台的立体概略图。

图3为图1所示的工作台的主要部分的立体概略图。

图4为对收缩片具有的柔性进行表示的剖面概略图，且为图2的X－X处的剖面概略图。

图5为对收缩片具有的柔性进行表示的剖面概略图，且为图2的Y－Y处的剖面概略图。

图6为实施方式的曝光装置的正面剖面概略图。

附图标记的说明：

1 工作台主体

2 排气系统

21 工件用真空吸附孔

24 片材用真空吸附孔

3 收缩片

31 框体

4 工作台

5 曝光系统

6 搬运系统

W 工件。

具体实施方式

接下来，对用于实施本申请发明的方式(以下，实施方式)进行说明。

图1为实施方式的工作台的正面剖面概略图，图2为图1所示的工作台的立体概略图，图3为图1所示的工作台的主要部分的立体概略图。

图1～图3所示的实施方式的工作台是保持板状的工件W的工作台，并具备工作台主体1。工作台主体1为俯视呈方形的台状的部件。在该实施方式中，工作台主体1以水平的姿势保持工件W，作为水平的平坦面的上表面成为工件保持面。

如图1～图3所示，工作台主体1具有多个工件用真空吸附孔21。在工作台主体1的上表面，设定有工件W的保持位置，工件用真空吸附孔21被设置在保持位置。

如图1所示，在工作台主体1内形成有与各工件用真空吸附孔21连通的工件用排气路径22。工作台具备包含未图示的真空泵的排气系统2，排气系统2的工件用排气管23连接于工件用排气路径22。

在这样的实施方式的工作台中，考虑到工件W的变形的问题而设有收缩片3。如图2以及图3所示，收缩片3具有方形的框状的形状。此外，在图3中，为了易于理解收缩片3的整体的形状，省略了一部分部件的图示。

收缩片3以载置于工作台主体1的上表面的状态而设置。载置位置根据与工件W的保持位置的关系而成为规定的位置。

在该实施方式中，工件W为方形的板状。保持位置例如被设定为，被保持的工件W占据与工作台主体1的中心同心的方形区域的位置。在图2以及图3中用方形的虚拟线R表示保持位置。工件W以其轮廓与虚拟线R一致的方式被高精度地载置。以下，将由虚拟线R围起的区域称作保持区域。

收缩片3在工件W载置于保持位置时，设于工件W的周边部重叠的位置，因此成为被夹在工件W与工作台主体1的工件保持面之间的状态。更具体而言，收缩片3的内侧的边缘位于保持区域R的内侧，外侧的边缘位于保持区域R的外侧。因此，工件W被以轮廓与保持区域R一致的方式配置时，收缩片3被夹在工件W与工作台主体1的工件保持面之间，成为在工件W的周边的整周上与工件W重叠的状态。因此，收缩片3使内侧的边缘与外侧的边缘在各边中平行的方形的框状(以下，本说明书中将这样的形状称作边框状)。

作为这样的收缩片3，在该实施方式中，使用硅制的收缩片。厚度优选为0.1～10mm，更优选的是0.5～2mm左右。

收缩片3具有与工件保持面抵接的工件W被真空吸附时在厚度方向上收缩而与工件W紧贴的柔性，通过该收缩来防止真空的泄漏防止。以下，对于该点使用图4以及图5进行说明。图4以及图5为对收缩片3具有的柔性进行表示的剖面概略图。图4为图2的X－X处的剖面概略图，图5为Y－Y处的剖面概略图。图4(1)、图5(1)表示工件W被保持于工作台之前的状态，图4(2)、图5(2)表示工件被保持在工作台并被真空吸附的状态。

工件W被载置并保持于工作台主体1的保持位置。此时，在保持位置中工件W与工作台主体1接触，成为封堵工件用真空吸附孔21的状态。然后，通过利用设置在排气系统2的未图示的真空泵使工件用真空吸附孔21被真空吸引，使得如图4(2)所示那样工件W被真空吸附在工作台主体1上。

此时，如图5(2)所示，与工件W的周边部重叠的收缩片3对应于变形了的工件W的形状而在厚度方向上收缩。收缩后的收缩片3的剖面形状成为仿效变形了的工件W的剖面形状那样的形状，工件W与收缩片3相互紧贴。其结果，收缩片3的内侧的空间成为由工件W与收缩片3的紧贴而密闭的空间(被密封的空间)，防止真空的泄漏。

如上述那样，收缩片3的柔性是被真空吸引时工件W压缩收缩片3而能够紧贴的程度的柔性。实施方式的收缩片3为硅制，即作为所谓的硅胶片材而销售的产品能够利用在工件W被真空吸附时的吸引力而收缩，能够作为实施方式中的收缩片3来使用。例如，TigersPolymer Corporation公司制的SR板能够作为实施方式中的收缩片3来使用。此外，真空吸附时对工件W施加的吸引力通常为－50kPa～－80kPa左右，也可以设有以这种程度的力收缩的柔性。

收缩片3的厚度根据工件W在厚度方向的变形量来选择。收缩片3的厚度需要超过工件W在厚度方向的最大变形量。例如，工件W的厚度为0.3mm、最大变形量为0.7mm的情况下，收缩片3的厚度设为1mm左右。

此外，收缩片3根据工件W的变形进行的压缩需要是弹性变形而非塑性变形。其中，收缩片3只要至对下一个工件W进行真空吸附为止复原为原本的状态即可，因此也可以显示出所谓的低回弹弹性。

这样的收缩片3被以相对于工作台主体1不进行位移的状态(位置被固定了的状态)安装。在该实施方式中，收缩片3被真空吸附在工作台主体1。如图1所示，在工作台主体1设置有片材用真空吸附孔24。片材用真空吸附孔24连通于与工件用真空吸附孔21不同的系统的排气路径25，被控制成独立地进行排气、大气释放。即，在与片材用真空吸附孔连通而形成的片材用排气路径25连接有与工件用排气管23不同的系统的片材用排气管26。在片材用排气管26上，区别于工件用排气管23上的阀而设有开闭阀或大气释放阀。

另外，在该实施方式中，如图1以及图2所示，收缩片3以延伸到框体31的状态设置。收缩片3无需一定具备框体31，但为了容易进行操作以及对位而设置有框体31。

框体31是铝、不锈钢那种金属制的板状的部件。在该实施方式中，配合边框状的收缩片3地也将框体31设为边框状。框体31沿着内侧的边缘形成厚度变薄的台阶，在该部分中，收缩片3的外侧的边缘被固定。固定例如利用基于粘接部件的粘接来进行。

框体31的外侧的边缘的形状以及尺寸与工作台主体1的轮廓形状以及尺寸相同。因此，通过使收缩片3被延伸了的框体31的外侧的边缘与工作台主体1的边缘对位而载置于工作台主体1，从而完成收缩片3的对位。此外，为了使对位更容易，在工作台主体1的边缘的多个位置设置定位板32。

用于对上述收缩片3进行位置固定的真空吸附，直接针对框体31进行。即，片材用真空吸附孔24如上述那样形成于面向对位而被载置的框体31的位置，框体31被直接进行真空吸附。虽然也可以直接对收缩片3进行真空吸附，但若对柔软的收缩片3反复进行真空吸附则存在摩耗的情况，在耐久性这点上可能产生问题。

根据上述实施方式的工作台，在工件W被向工作台真空吸附时，如上所述那样通过工件W的周边部，收缩片3在厚度方向上被压缩而收缩。由于该收缩对应于厚度方向的工件W的形状，因此即使工件W在厚度方向上变形，收缩片3也与工件W紧贴。因此，即使是变形了的工件W，也可防止真空吸附的误差，可在工作台中无位移地进行适当的处理。

此时，无需如持具机构那样从相反的一侧按压工件W，工件W不会损伤。另外，通过在工件W的周边、在工件W与工作台主体1之间夹设收缩片3这种简单的构造，能够实现上述效果，因此不会大型化，在成本上较廉价。

另外，由于收缩片3能够装拆，容易应对工件W的尺寸形状不同的情况。即，工件W的形状以及/或者尺寸不同的情况下，可更换收缩片3。在使由片材用真空吸附孔24进行的真空吸附停止后，持框体31将收缩片3从工作台主体1分离。并且，不同形状以及/或者尺寸的收缩片3同样地通过框体31进行定位且设置于工作台主体1，利用在片材用真空吸附孔24处的真空吸附来固定位置。

此外，也能够通过以能够装拆地方式用螺纹固定将框体31固定于工作台主体1的构造来实施，通过真空吸附来固定位置的构造的交换作业较简便。

在上述实施方式中，收缩片3为硅制，但只要具有弹性变形而与工件W紧贴的柔性，则也能够使用由其他材料形成的片材。此外，收缩片3的材料优选具有导电性。工件W的吸附、保持与处理后的工件W的挑选被重复时，有时收缩片3带电(剥离带电等)。有时由于带电而吸引周围的尘埃，或产生放电而导致工件W损伤。收缩片3具有导电性的情况下，由于工作台主体1通常接地，即使带电也容易去除电荷，不容易产生问题。市售有各种具有导电性的硅胶片材，能够从中适当地选择来使用。

此外，在工件W的真空吸附时处于压缩后的状态的收缩片3的平均厚度优选较薄。这是因为，若压缩时的厚度较厚，则由于工件W成为在中央部与工作台主体紧贴的状态，会使工件W的弯曲变大(曲率变小)。具体而言，优选压缩时的压缩板3的平均厚度为0.5mm以下。

优选收缩片3在工件W的周边部的整周上与工件W重叠。其中，即使在一部分中存在没有重叠的位置，也能够实施本申请发明。例如，收缩片3设为虽然几乎是边框状，但存在至少一处间断了的位置的形状。收缩片3在厚度方向上收缩时，有时最好允许周向的延伸，存在有意制造间断的位置的情况。在这样的情况下，只要这样的间断为较短的距离，则由于导电的降低，收缩片3的内侧的空间与大气相比成为低压力，能够进行工件W的真空吸附，对于变形了的工件W也能够进行真空吸附。较短的距离是指例如能够设成10mm以下。

另外，在工件W中仅在周向的特定位置产生变形的情况下，仅在该位置使收缩片与工件W重叠即可，在这种情况下也无需使收缩片为环形的圆周状。

此外，收缩片3与工件W的重叠区域优选包含工件W的周边，但与周边相比稍微在内侧的周边部重叠也能够实施。但收缩片3与工件用真空吸附孔21重叠的话会阻碍工件W的真空吸附，因此需要设为不与工件用真空吸附孔21重叠。

另外，如上述那样，收缩片3优选设于工作台主体1的平坦面。通过在工作台主体1设置凹部、将收缩片3以落入该凹部的状态配置并使收缩片3的厚度大于凹部的深度的构造，也能实施本发明，但难以应对不同形状以及/或者尺寸的工件W。

接下来，作为实施方式的工作台的使用例，对安装了工作台的曝光装置的发明的实施方式进行说明。

图6为实施方式的曝光装置的正面剖面概略图。作为一个例子，图6所示的曝光装置为印刷基板用曝光装置。

图6所示的曝光装置具备将工件W保持在规定位置的工作台4、对被保持在工作台4的工件W照射规定的图案的光而曝光的曝光系统5、以及搬运系统6。曝光系统包括光源、以及将来自光源的光作为规定的图案的像进行投影的光学系统。

实施方式的曝光装置不特别选择曝光的方式，能够采用投影曝光、接触或者接近式曝光、以及DI(直接成像)曝光中的任一方式。例如在投影曝光的情况下，曝光系统5由光源、被照射来自光源的光的掩模、将掩模的像投影到工作台4上的光学系统等构成。在DI曝光的情况下可采用如下构成：设置多个具备激光光源、以及将来自激光光源的光进行空间调制而形成图案的DMD(Digital Mirror Device：数字微镜器件)那样的空间调制元件的曝光单元而成的构成。

作为搬运系统6，在该实施方式中，采用组合输送机与搬运臂而成的系统。在工作台4的两侧设置有搬运输送机61、62。搬运输送机61、62用于针对工作台4的工件W的搬入、搬出，为方便说明，将右侧的搬运输送机61作为第一搬运输送机，将左侧的搬运输送机62作为第二搬运输送机。

作为配合各搬运输送机61、62动作的机构，在工作台4的两侧设置有搬运臂63、64。关于搬运臂63、64，为了方便说明，也将右侧的搬运臂63作为第一搬运臂，将左侧的搬运臂64作为第二搬运臂。

各搬运臂63、64具备框架631、641、以及安装在框架631、641上的工件用吸附衬垫632、642。在各框架631、641设置有搬运驱动机构633、643。省略了搬运驱动机构633、643的详细图示，其为能够使框架631、641沿搬运方向(在图1的纸面上为左右方向)直线移动并定位到规定位置并且能够使框架631、641在上下方向上移动的机构。装置具备未图示的控制部，各搬运驱动机构633、643由未图示的控制部控制。

工件用吸附衬垫632、642等间隔地设置多个，以便在周边部吸附工件W。在各工件用吸附衬垫632、642连接有未图示的工件用吸引源。工件用吸引源的开启关闭也相同地由未图示的控制部控制。

此外，在工作台4设置有升降机构40。升降机构40除了在工件W的交接时被驱动以外，也出于调节工件W相对于曝光系统5的距离的目的而使用。升降机构40由包含伺服马达的直动机构构成，并由控制部控制。

接下来，对这样的实施方式的曝光装置的动作进行说明。

首先，第一搬运输送机61将工件W搬运至第一搬运臂63的下方位置。然后，第一搬运臂63下降，吸附并保持工件W。第一搬运臂63上升规定距离后，沿水平方向移动到达工作台4的上方位置。

之后，第一搬运臂63下降规定距离，将工件W载置于工作台4上。

第一搬运臂63设为稍微向工作台主体1的上表面按压工件W的状态，在该状态下，打开工件用排气管23上的开闭阀对工件用真空吸附孔21进行真空吸引，从而对工件W进行真空吸附。从该时刻起稍迟时，第一搬运臂63解除工件W的吸附，释放工件W并上升。

第一搬运臂63返回最初的待机位置。曝光系统5并行地动作，对工件W照射规定的图案的光来进行曝光。在规定时间的曝光后，第二搬运臂64位于工作台4的上方后，下降规定距离，并吸附工件W。从工件W的吸附起延迟少许时刻，关闭工件用排气管23上的开闭阀，并打开大气释放阀，使工件用排气路径22被大气释放。由此，工件W的真空吸附被解除。

之后，第二搬运臂64上升规定距离后，移动至第二搬运输送机62的上方。然后，第二搬运臂64下降规定距离，将工件W载置于第二搬运输送机62后，解除工件W的吸附。第二搬运输送机62将工件W搬出至用于对工件W进行接下来的处理或者操作的位置。重复这样的动作，来一张一张地对工件W进行曝光处理。

在实施方式的曝光装置中，如上述那样通过收缩片3防止工件W的真空吸附时的真空泄漏，因此能够无真空吸附误差地总是在正确的位置进行图案的投影。因此，可较高地维持产品的品质。

上述实施方式为印刷基板用曝光装置，但除此以外，液晶显示器用的曝光装置等只要以板状的工件W为对象物即可，对于其他的曝光装置也能够同样地实施。另外，作为曝光装置以外的工作台4的使用例，可列举基板检查装置、丝网印刷装置、打孔装置等。

此外，在曝光装置中采用实施方式的工作台4的情况下，在工件W的真空吸附时，收缩了的收缩片3的平均厚度优选设为通过光学系统投影像时的焦点深度的1/2以下。

实施方式的工作台成为在工作台主体1与工件W之间夹设收缩片3的状态，因此成为在该部分与光学系统接近收缩片3的厚度量的状态。因此，收缩了的收缩片3的厚度若大于焦点深度的1/2，则容易产生像的虚化。收缩片3介于其间的工件W的周边部多为非使用区域(在工件W中应投影图案的区域的外侧)，但为使用区域的情况下，可能会导致曝光图案虚化并成为产品不良的原因。因此，优选设为焦点深度的1/2以下。

Claims (10)

1.一种工作台，保持板状的工件，其特征在于，该工作台具备：

工作台主体，在工件保持面具有工件用真空吸附孔；以及

排气系统，在工件抵接在设定于工件保持面的保持位置时，对工件用真空吸附孔进行真空吸引来吸附工件，

在工件保持面设置有收缩片，

收缩片为在设置了工件用真空吸附孔的区域的外侧将该区域包围的形状，并且是在工件在保持位置处抵接于工件保持面时以被夹在工件与工作台主体的工件保持面之间的状态沿该工件的周边部延伸的形状，

收缩片具有在与工件保持面抵接的工件被进行真空吸附时、在厚度方向上收缩而与工件紧贴的弹性所带来的柔性，

收缩片以能够装拆的方式安装于工件保持面，

上述收缩片以延伸至框体的状态设置，

框体在上述工件与上述工件保持面抵接而被真空吸附时，在比该工件更靠外侧的位置固定上述收缩片。

2.如权利要求1所述的工作台，其特征在于，

上述收缩片具有在以上述保持位置抵接于上述工件保持面的上述工件的周边部的整周上与上述工件重叠的形状。

3.如权利要求1所述的工作台，其特征在于，

上述收缩片为如下形状：在以上述保持位置抵接于上述工件保持面的上述工件的周边部具有局部不重叠的区域，该不重叠的区域的周向上的长度为10mm以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的工作台，其特征在于，

在与上述工件保持面抵接的工件被真空吸附时，在厚度方向上收缩的上述收缩片的平均的厚度为0.5mm以下。

5.如权利要求1所述的工作台，其特征在于，

上述工作台主体在设置有上述工件用真空吸附孔的区域的外侧具有平坦面，上述收缩片设置于该平坦面。

6.如权利要求1所述的工作台，其特征在于，

上述收缩片为硅制。

7.如权利要求1所述的工作台，其特征在于，

上述工作台还设置有片材用真空吸附孔，该片材用真空吸附孔连通于与上述工件用真空吸附孔不同的系统的排气路径。

8.如权利要求1所述的工作台，其特征在于，

上述收缩片的材料具有导电性。

9.一种曝光装置，其特征在于，具备：

光源；

光学系统，将来自光源的光作为规定的图案的像进行投影；以及

权利要求1至8中任一项所述的工作台，

上述保持位置为光学系统对规定的图案的像的投影位置。

10.如权利要求9所述的曝光装置，其特征在于，

在与上述工件保持面抵接的工件被真空吸附时，在厚度方向上收缩了的上述收缩片的平均的厚度为上述光学系统投影上述像时的焦点深度的1/2以下。

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