KR20230027872A - 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치 - Google Patents

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KR20230027872A
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강신교
장민호
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주식회사 에스디에이
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Abstract

본 발명은 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치에 관한 것으로, 진공홀을 포함하며 기판의 크기에 따라 복수 개의 구역으로 구획되어 있는 플레이트부, 상기 플레이트부 하측에 위치되며 상기 진공홀을 통해 상기 기판을 진공 흡착하는 진공펌프부, 및 일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 진공펌프부와 연결되는 밸브유닛을 포함하며, 상기 밸브유닛은 구역화된 상기 플레이트부를 상기 기판의 크기에 따라 구역별로 진공 흡착할 수 있다.

Description

구획화된 플레이트가 구비된 노광장치{EXPOSURE APPARATUS EQUIPPED WITH PARTITIONED PLATE}
개시된 내용은 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치에 관한 것이다.
본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 식별항목에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 식별항목에 기재된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.
표면에 감광층이 형성되어 있는 대상물을 노광하여 감광층을 감광시키는 노광 기술은 포토리소그래피의 주요 기술로서 각종 미세 회로나 미세 구조의 형성 등에 활발히 이용되고 있다. 대표적인 노광 기술은 노광 패턴과 동일한 패턴이 형성된 마스크에 광을 조사하여 마스크의 이미지를 대상물의 표면에 투영함으로써 노광 패턴의 광이 대상물에 조사되도록 하는 기술이다.
마스크를 사용한 노광 기술과는 별도로 공간광변조기를 사용하여 대상물의 표면에 직접적으로 이미지를 형성하여 노광하는 기술이 있다. 이하, 이를 직접 묘화식 노광이라고 부른다. 직접 묘화식 노광의 경우 마스크를 사용하지 않기 때문에 다품종 소량 생산에 있어 우수하다. 마스크를 사용한 노광의 경우 품종 마다 마스크를 준비할 필요가 있어 마스크의 보관 비용 등 큰 비용이 든다. 직접 묘화식 노광 장치에서는 노광 정밀도를 높이기 위해 기판이 스테이지에 진공 흡착되는 구성이 있다. 스테이지에는 다수의 진공 흡착 구멍이 형성되어 있으며 각 진공 흡착 구멍은 진공 펌프와 연결되며 진공 펌프를 작동시켜 기판이 스테이지에 진공 흡착된다.
진공 흡착을 행하는 직접 묘화식 노광 장치에서는 다품종 소량 생산에 적합하다는 우수성과 관련하여 특유의 문제가 있다. 다품종 소량 생산은 노광의 대상물인 기판이 다양한 사이즈가 있다는 것이다. 다양한 사이즈의 기판에 대해 양호하게 진공 흡착을 하는 것은 기술적으로 난해하다.
다양한 사이즈의 기판에 대해 진공 흡착하면서 노광 처리를 수행하는 경우, 통상은 가장 작은 사이즈의 기판에 맞추어 진공 흡착 구멍을 스테이지에 설치한다. 큰 사이즈의 기판에 맞추어 진공 흡착 구멍을 형성하면, 작은 사이즈의 기판을 처리하는 경우에 기판에 의해 막아지지 않는 진공 흡착 구멍이 생기게 되며, 진공 흡착 구멍이 막히지 않으면 배기계가 충분한 음압을 얻지 못하여 기판에 의해 막혀 있는 진공 흡착 구멍도 충분한 흡착력을 얻을 수 없게 된다. 이 때문에 가장 작은 사이즈의 기판에 맞추어 진공 흡착 구멍이 형성된다.
그러나, 가장 작은 사이즈의 기판에 맞추어 진공 흡착 구멍을 형성하면, 그것보다 큰 사이즈의 기판을 처리하는 경우에 기판의 주변부가 진공 흡착되지 않는 부분이 생겨 문제가 된다.
1. 대한민국 특허등록 제10-2229484호(2021.3.18. 공고)
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 플레이트부를 구획하여 밸브유닛을 통해 다양한 기판의 크기에 따라 각 구획에 맞춰 진공 흡착을 하고 기판 외부에서 진공 흡착하는 진공홀은 테이핑부로 차단하는 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 상술한 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 이하의 설명으로부터 또 다른 기술적 과제가 도출될 수도 있음은 자명하다.
본 발명에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치는 진공홀을 포함하며 기판의 크기에 따라 복수 개의 구역으로 구획되어 있는 플레이트부, 상기 플레이트부 하측에 위치되며 상기 진공홀을 통해 상기 기판을 진공 흡착하는 진공펌프부, 및 일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 진공펌프부와 연결되는 밸브유닛을 포함하며, 상기 밸브유닛은 구역화된 상기 플레이트부를 상기 기판의 크기에 따라 구역별로 진공 흡착할 수 있다.
상기 플레이트부는 직사각형 형태이며, 직사각형 형태인 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판이 위치되는 하나의 꼭짓점으로부터 직사각형 형태인 제1 구역과 이와 연접하여 'ㄱ'자 형태로 복수 개의 구역으로 크기가 확대되어 구획될 수 있다.
상기 진공펌프부는 작동시 구획된 상기 플레이트부의 가장 작은 구역인 제1 구역을 진공 흡착하고, 상기 밸브유닛은 상기 플레이트부의 'ㄱ'자 형태인 복수 개의 구역을 상기 기판 크기에 맞추어 개방하여 상기 기판 전체를 진공 흡착할 수 있다.
상기 플레이트부는 직사각형 형태이며, 직사각형 형태인 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판이 위치되는 하나의 꼭짓점으로부터 직사각형 형태인 제1 구역과 이와 연접하여 'ㄱ'자 형태로 제2 내지 제7 구역으로 크기가 확대되어 구획될 수 있다.
상기 진공펌프부는 작동시 구획된 상기 플레이트부의 가장 작은 구역인 제1 구역을 진공 흡착하고, 상기 밸브유닛은, 제2 구역을 개폐하는 제1 밸브부, 제3 구역을 개폐하는 제2 밸브부, 제4 구역을 개폐하는 제3 밸브부, 제5 구역을 개폐하는 제4 밸브부, 제6 구역을 개폐하는 제5 밸브부, 및 제7 구역을 개폐하는 제6 밸브부를 포함하며, 상기 제1 내지 제6 밸브부는 상기 기판 크기에 맞추어 개폐되어 상기 기판 전체를 진공 흡입할 수 있다.
상기 밸브유닛은, 일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제1 밸브부와 연결되며 상기 제1 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제1 컨트롤러부, 일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제2 밸브부와 연결되며 상기 제2 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제2 컨트롤러부, 일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제3 밸브부와 연결되며 상기 제3 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제3 컨트롤러부, 일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제4 밸브부와 연결되며 상기 제4 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제4 컨트롤러부, 일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제5 밸브부와 연결되며 상기 제5 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제5 컨트롤러부, 및 일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제6 밸브부와 연결되며 상기 제6 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제6 컨트롤러부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치는 상기 밸브유닛이 개방되어 진공 흡착하는 상기 플레이트부의 구역 중 상기 기판의 외부에서 진공 흡착하는 상기 진공홀을 차단하는 테이핑부를 더 포함하며, 상기 테이핑부는 상기 플레이트부의 상면에 부착되어 진공 흡착하는 상기 진공홀의 개방을 차단함으로써 상기 기판에 대한 흡착력을 유지할 수 있다.
플레이트부는 다양한 기판의 크기에 맞추어 기판이 위치되는 제1 구역과 제1 구역에 인접하는 'ㄱ'자 형태의 제2 구역 등 복수 개의 구역으로 구획되어 다양한 기판을 효율적이고 경제적으로 진공 흡착할 수 있다.
진공펌프부는 진공펌프부가 작동되는 경우에 밸브유닛의 개폐와 무관하게 언제나 제1 구역을 진공 흡착할 수 있어 효율적이다.
밸브유닛은 다양한 기판 크기에 따른 플레이트부의 'ㄱ'자 형태인 복수 개의 구역을 배치된 기판 크기에 맞추어 개방하여 기판 전체를 효율적이고 경제적으로 진공 흡착할 수 있다.
테이핑부는 밸브유닛이 개방되어 진공 흡착하는 플레이트부의 구역 중 기판의 외부에서 진공 흡착하는 진공홀을 차단하여 기판에 대한 흡착력을 효율적으로 강력하게 유지할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 개시된 내용의 일 실시예에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치의 사시도.
도 2는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치의 개략 측면도.
도 3은 개시된 내용의 일 실시예에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치에 대한 제1 내지 제7 구역의 개략도.
도 4는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치에 대한 테이핑부의 평면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예의 구성 및 작용효과에 대하여 살펴본다. 참고로, 이하 도면에서, 각 구성요소는 편의 및 명확성을 위하여 생략되거나 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 반영하는 것은 아니다. 또한 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭하며 개별 도면에서 동일 구성에 대한 도면 부호는 생략하기로 한다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 개시된 내용의 일 실시예에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)의 사시도이고, 도 3은 개시된 내용의 일 실시예에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)에 대한 제1 내지 제7 구역(10, 20, 30, 40, 50, 60, 70)의 개략도이다.
본 발명은 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)에 관한 것으로, 노광할 기판(90)의 크기에 따라 플레이트부(100)를 구획하고 각 구획을 기판(90)의 크기에 맞추어 진공 흡착하는 밸브유닛(300)을 통해 기판(90)을 진공 흡착하며 기판(90)의 외부에서 개방된 진공홀(110)은 테이핑부(400)로 차단하여 기판(90)에 대한 흡착력을 유지할 수 있다. 본 발명의 일례에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)는 플레이트부(100), 진공펌프부(200), 밸브유닛(300), 및 테이핑부(400) 등을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)는 진공홀(110)을 포함하며 기판(90)의 크기에 따라 복수 개의 구역으로 구획되어 있는 플레이트부(100), 플레이트부(100) 하측에 위치되며 진공홀(110)을 통해 기판(90)을 진공 흡착하는 진공펌프부(200), 및 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 진공펌프부(200)와 연결되는 밸브유닛(300)을 포함하며, 밸브유닛(300)은 구역화된 플레이트부(100)를 기판(90)의 크기에 따라 구역별로 진공 흡착하며, 플레이트부(100)는 직사각형 형태이며, 직사각형 형태인 기판(90)의 크기에 따라 기판(90)이 위치되는 하나의 꼭짓점으로부터 직사각형 형태인 제1 구역(10)과 이와 연접하여 'ㄱ'자 형태로 복수 개의 구역으로 크기가 확대되어 구획될 수 있으며, 플레이트부(100)는 직사각형 형태이며, 직사각형 형태인 기판(90)의 크기에 따라 기판(90)이 위치되는 하나의 꼭짓점으로부터 직사각형 형태인 제1 구역(10)과 이와 연접하여 'ㄱ'자 형태로 제2 내지 제7 구역(20, 30, 40, 50, 60, 70)으로 크기가 확대되어 구획될 수 있다.
도 1 또는 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 플레이트부(100)는 노광되는 기판(90)이 위치되는 것으로, 기판(90) 크기에 따라 여러 구역으로 구획되어 있으며, 진공홀(110)을 포함할 수 있다.
도 1 또는 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 플레이트부(100)는 직사각형 형태를 포함하며, 직사각형 형태인 기판(90)의 크기에 맞추어 기판(90)이 위치되는 하나의 꼭짓점으로부터 직사각형 형태인 제1 구역(10)과 제1 구역(10)의 플레이트부(100) 안쪽으로 위치되는 2개의 모서리에 인접하는 'ㄱ'자 형태의 제2 구역(20) 등 복수 개의 구역으로 크기가 확대되어 구획될 수 있다.
도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 플레이트부(100)는 제2 구역(20)의 제1 구역(10)과 연접하지 않는 2개의 모서리에 인접하는 'ㄱ'자 형태의 제3 구역(30), 제3 구역(30)의 제2 구역(20)과 연접하지 않는 2개의 모서리에 인접하는 'ㄱ'자 형태의 제4 구역(40), 제4 구역(40)의 제3 구역(30)과 연접하지 않는 2개의 모서리에 인접하는 'ㄱ'자 형태의 제5 구역(50), 제5 구역(50)의 제4 구역(40)과 연접하지 않는 2개의 모서리에 인접하는 'ㄱ'자 형태의 제6 구역(60), 제6 구역(60)의 제5 구역(50)과 연접하지 않는 2개의 모서리에 인접하는 'ㄱ'자 형태의 구역으로 플레이트부(100)의 나머지 구역인 제7 구역(70)으로 구획될 수 있다.
도 1의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 진공홀(110)은 플레이트부(100)에 일정한 간격을 두고 규칙적으로 배치되는 것으로, 후술하는 밸브유닛(300) 및 진공펌프부(200)와 연통되어 상기 기판(90)을 진공 흡착하는 역할을 할 수 있다. 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 진공홀(110)은 플레이트부(100)의 각 구역 마다 규칙적으로 배치될 수 있다.
도 2는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)의 개략 측면도이다.
진공펌프부(200)는 작동시 구획된 플레이트부(100)의 가장 작은 구역인 제1 구역(10)을 진공 흡착하고, 밸브유닛(300)은 플레이트부(100)의 'ㄱ'자 형태인 복수 개의 구역을 기판(90) 크기에 맞추어 개방하여 기판(90) 전체를 진공 흡착할 수 있으며, 또한, 밸브유닛(300)은, 제2 구역(20)을 개폐하는 제1 밸브부(310), 제3 구역(30)을 개폐하는 제2 밸브부(320), 제4 구역(40)을 개폐하는 제3 밸브부(330), 제5 구역(50)을 개폐하는 제4 밸브부(340), 제6 구역(60)을 개폐하는 제5 밸브부(350), 및 제7 구역(70)을 개폐하는 제6 밸브부(360)를 포함하며, 제1 내지 제6 밸브부(310, 320, 330, 340, 350, 360)는 기판(90) 크기에 맞추어 개폐되어 기판(90) 전체를 진공 흡입할 수 있으며, 밸브유닛(300)은, 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제1 밸브부(310)와 연결되며 제1 밸브부(310)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제1 컨트롤러부(311), 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제2 밸브부(320)와 연결되며 제2 밸브부(320)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제2 컨트롤러부(321), 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제3 밸브부(330)와 연결되며 제3 밸브부(330)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제3 컨트롤러부(331), 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제4 밸브부(340)와 연결되며 제4 밸브부(340)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제4 컨트롤러부(341), 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제5 밸브부(350)와 연결되며 제5 밸브부(350)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제5 컨트롤러부(351), 및 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제6 밸브부(360)와 연결되며 제6 밸브부(360)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제6 컨트롤러부(361)를 더 포함할 수 있다.
도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 진공펌프부(200)는 플레이트부(100)의 하측에 위치되는 것으로, 진공홀(110)을 통해 플레이트부(100)에 위치된 기판(90)을 진공 흡착하는 역할을 할 수 있다. 일례로, 진공펌프부(200)는 진공펌프부(200)가 작동되는 경우에 밸브유닛(300)의 개폐와 무관하게 언제나 전술한 제1 구역(10)을 진공흡착할 수 있다. 일례로, 제1 구역(10)은 규격화된 기판(90)의 가장 작은 기판(90)을 상정하여 구획된 구역으로 진공펌프부(200) 작동시 언제나 진공 흡착하도록 하는 것이 효율적이다.
도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 밸브유닛(300)은 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 진공펌프부(200)와 연결되는 것으로, 구역화된 플레이트부(100)를 기판(90)의 크기에 맞추어 구역별로 진공 흡착하는 역할을 할 수 있으며, 제1 내지 제6 밸브부(310, 320, 330, 340, 350, 360)와 제1 내지 제6 컨트롤러부(311, 321, 331, 341, 351, 361)를 포함할 수 있다.
일례로, 밸브유닛(300)은 기판(90) 크기에 따른 플레이트부(100)의 'ㄱ'자 형태인 복수 개의 구역을 배치된 기판(90) 크기에 맞추어 개방하여 기판(90) 전체를 효율적으로 진공 흡착할 수 있다.
도 2 또는 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제1 밸브부(310)는 제2 구역(20)을 개폐하여 제2 구역(20)에 위치되는 기판(90)을 진공 흡착하는 역할을 할 수 있다. 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제1 밸브부(310)는 제1 구역(10)과 제2 구역(20)의 경계 부분으로 플레이트부(100)의 모서리 부분에 배치될 수 있다.
도 2 또는 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제2 밸브부(320)는 제3 구역(30)을 개폐하여 제3 구역(30)에 위치되는 기판(90)을 진공 흡착하는 역할을 할 수 있다. 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제2 밸브부(320)는 제2 구역(20)과 제3 구역(30)의 경계 부분으로 플레이트부(100)의 모서리 부분에 배치될 수 있다.
도 2 또는 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제3 밸브부(330)는 제4 구역(40)을 개폐하여 제4 구역(40)에 위치되는 기판(90)을 진공 흡착하는 역할을 할 수 있다. 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제3 밸브부(330)는 제3 구역(30)과 제4 구역(40)의 경계 부분으로 플레이트부(100)의 모서리 부분에 위치될 수 있다.
도 2 또는 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제4 밸브부(340)는 제5 구역(50)을 개폐하여 제5 구역(50)에 위치되는 기판(90)을 진공 흡착하는 역할을 할 수 있다. 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제4 밸브부(340)는 제4 구역(40)과 제5 구역(50)의 경계 부분으로 플레이트부(100)의 모서리 부분에 위치될 수 있다.
도 2 또는 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제5 밸브부(350)는 제6 구역(60)을 개폐하여 제6 구역(60)에 위치되는 기판(90)을 진공 흡착하는 역할을 할 수 있다. 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제5 밸브부(350)는 제5 구역(50)과 제6 구역(60)의 경계 부분으로 플레이트부(100)의 모서리 부분에 위치될 수 있다.
도 2 또는 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제6 밸브부(360)는 제7 구역(70)을 개폐하여 제7 구역(70)에 위치되는 기판(90)을 진공 흡착하는 역할을 할 수 있다. 도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제6 밸브부(360)는 제6 구역(60)과 제7 구역(70)의 경계 부분으로 플레이트부(100)의 모서리 부분에 위치될 수 있다.
도 3의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 플레이트부(100)에 위치된 기판(90)의 크기에 따라 기판(90) 전체가 흡착될 수 있도록 제1 내지 제6 밸브부(310, 320, 330, 340, 350, 360) 중 일부 또는 전부를 개방하여 기판(90)을 흡착할 수 있다. 일례로, 기판(90)이 제1 구역(10)부터 제4 구역(40)까지 커버하는 크기를 갖는 경우 제1 내지 제3 밸브부(310, 320, 330)를 개방하여 기판(90) 전체를 진공 흡착할 수 있다.
일례로, 제1 내지 제6 밸브부(310, 320, 330, 340, 350, 360)는 공압밸브를 포함할 수 있다.
도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제1 컨트롤러부(311)는 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제1 밸브부(310)와 연결되는 것으로, 제1 밸브부(310)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 역할을 할 수 있다.
도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제2 컨트롤러부(321)는 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제2 밸브부(320)와 연결되는 것으로, 제2 밸브부(320)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 역할을 할 수 있다.
도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제3 컨트롤러부(331)는 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제3 밸브부(330)와 연결되는 것으로, 제3 밸브부(330)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 역할을 할 수 있다.
도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제4 컨트롤러부(341)는 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제4 밸브부(340)와 연결되는 것으로, 제4 밸브부(340)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 역할을 할 수 있다.
도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제5 컨트롤러부(351)는 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제5 밸브부(350)와 연결되는 것으로, 제5 밸브부(350)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 역할을 할 수 있다.
도 2의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 제6 컨트롤러부(361)는 일측이 플레이트부(100)와 연결되고 타측이 제6 밸브부(360)와 연결되는 것으로, 제6 밸브부(360)의 개폐시 압력 차이를 조절하는 역할을 할 수 있다.
일례로, 제1 내지 제6 컨트롤러부(311, 321, 331, 341, 351, 361)는 스피드 컨트롤러를 포함할 수 있다.
도 4는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)에 대한 테이핑부(400)의 평면도이다.
구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)는 밸브유닛(300)이 개방되어 진공 흡착하는 플레이트부(100)의 구역 중 기판(90)의 외부에서 진공 흡착하는 진공홀(110)을 차단하는 테이핑부(400)를 더 포함하며, 테이핑부(400)는 플레이트부(100)의 상면에 부착되어 진공 흡착하는 진공홀(110)의 개방을 차단함으로써 기판(90)에 대한 흡착력을 유지할 수 있다.
도 4의 예시에서 알 수 있는 바와 같이 일례로, 테이핑부(400)는 밸브유닛(300)이 개방되어 진공 흡착하는 플레이트부(100)의 구역 중 기판(90)의 외부에서 진공 흡착하는 진공홀(110)을 차단하는 것으로, 기판(90)에 대한 흡착력을 강력하게 유지하는 역할을 할 수 있다. 일례로, 테이핑부(400)는 플레이트부(100)의 상면에 부착되어 밸브부(310, 320, 330, 340, 350, 360)가 개방되어 진공 흡착 작용을 하고 있는 기판(90)의 외부에 위치한 진공홀(110)의 개방을 차단할 수 있다.
일례로, 테이핑부(400)는 구획된 플레이트부(100)의 각각의 구역보다 작은 기판(90)이 플레이트부(100)에 놓여 지는 경우, 기판(90)이 해당 구역을 커버하지 못하는 부분에 배치된 진공홀(110)을 폐쇄하는 역할을 할 수 있다. 일례로, 기판(90)이 제3 구역(30)보다 크고 제4 구역(40)의 제5 구역(50)과의 경계 부분보다 작은 경우, 플레이트부(100)의 안쪽에 위치하는 기판(90)의 2 모서리로부터 제4 구역(40)의 제5 구역(50)과의 경계 부분까지 위치하는 제4 구역(40)의 진공홀(110)을 테이핑부(400)로 차단할 수 있다.
본 발명은 노광장치에 관한 것으로, 노광할 기판(90)의 크기에 따라 구획된 플레이트부(100)의 구역을 기판(90)의 크기에 맞추어 각각 진공 흡착하는 밸브유닛(300)을 통해 기판(90)을 진공 흡착하고 기판(90) 외부에서 개방된 진공홀(110)은 테이핑부(400)로 차단하여 흡착력을 유지하는 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치(900)에 관한 것이다.
플레이트부(100)는 다양한 기판(90)의 크기에 맞추어 기판(90)이 위치되는 제1 구역(10)과 제1 구역(10)에 인접하는 'ㄱ'자 형태의 제2 구역(20) 등 복수 개의 구역으로 구획되어 다양한 기판(90)을 효율적이고 경제적으로 진공 흡착할 수 있다. 진공펌프부(200)는 진공펌프부(200)가 작동되는 경우에 밸브유닛(300)의 개폐와 무관하게 언제나 제1 구역(10)을 진공 흡착할 수 있어 효율적이다. 밸브유닛(300)은 다양한 기판(90) 크기에 따른 플레이트부(100)의 'ㄱ'자 형태인 복수 개의 구역을 배치된 기판(90) 크기에 맞추어 개방하여 기판(90) 전체를 효율적이고 경제적으로 진공 흡착할 수 있다. 테이핑부(400)는 밸브유닛(300)이 개방되어 진공 흡착하는 플레이트부(100)의 구역 중 기판(90)의 외부에서 진공 흡착하는 진공홀(110)을 차단하여 기판(90)에 대한 흡착력을 효율적으로 강력하게 유지할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 제1 구역
20 : 제2 구역
30 : 제3 구역
40 : 제4 구역
50 : 제5 구역
60 : 제6 구역
70 : 제7 구역
90 : 기판
100 : 플레이트부
110 : 진공홀
200 : 진공펌프부
300 : 밸브유닛
310 : 제1 밸브부
311 : 제1 컨트롤러부
320 : 제2 밸브부
321 : 제2 컨트롤러부
330 : 제3 밸브부
331 : 제3 컨트롤러부
340 : 제4 밸브부
341 : 제4 컨트롤러부
350 : 제5 밸브부
351 : 제5 컨트롤러부
360 : 제6 밸브부
361 : 제6 컨트롤러부
400 : 테이핑부
900 : 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치

Claims (7)

  1. 진공홀을 포함하며 기판의 크기에 따라 복수 개의 구역으로 구획되어 있는 플레이트부;
    상기 플레이트부 하측에 위치되며 상기 진공홀을 통해 상기 기판을 진공 흡착하는 진공펌프부; 및
    일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 진공펌프부와 연결되는 밸브유닛;을 포함하며,
    상기 밸브유닛은 구역화된 상기 플레이트부를 상기 기판의 크기에 따라 구역별로 진공 흡착하는 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 플레이트부는 직사각형 형태이며, 직사각형 형태인 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판이 위치되는 하나의 꼭짓점으로부터 직사각형 형태인 제1 구역과 이와 연접하여 'ㄱ'자 형태로 복수 개의 구역으로 크기가 확대되어 구획되는 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 진공펌프부는 작동시 구획된 상기 플레이트부의 가장 작은 구역인 제1 구역을 진공 흡착하고,
    상기 밸브유닛은 상기 플레이트부의 'ㄱ'자 형태인 복수 개의 구역을 상기 기판 크기에 맞추어 개방하여 상기 기판 전체를 진공 흡착하는 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 플레이트부는 직사각형 형태이며, 직사각형 형태인 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판이 위치되는 하나의 꼭짓점으로부터 직사각형 형태인 제1 구역과 이와 연접하여 'ㄱ'자 형태로 제2 내지 제7 구역으로 크기가 확대되어 구획되는 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 진공펌프부는 작동시 구획된 상기 플레이트부의 가장 작은 구역인 제1 구역을 진공 흡착하고,
    상기 밸브유닛은,
    제2 구역을 개폐하는 제1 밸브부;
    제3 구역을 개폐하는 제2 밸브부;
    제4 구역을 개폐하는 제3 밸브부;
    제5 구역을 개폐하는 제4 밸브부;
    제6 구역을 개폐하는 제5 밸브부; 및
    제7 구역을 개폐하는 제6 밸브부;를 포함하며,
    상기 제1 내지 제6 밸브부는 상기 기판 크기에 맞추어 개폐되어 상기 기판 전체를 진공 흡입하는 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 밸브유닛은,
    일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제1 밸브부와 연결되며 상기 제1 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제1 컨트롤러부;
    일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제2 밸브부와 연결되며 상기 제2 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제2 컨트롤러부;
    일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제3 밸브부와 연결되며 상기 제3 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제3 컨트롤러부;
    일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제4 밸브부와 연결되며 상기 제4 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제4 컨트롤러부;
    일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제5 밸브부와 연결되며 상기 제5 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제5 컨트롤러부; 및
    일측이 상기 플레이트부와 연결되고 타측이 상기 제6 밸브부와 연결되며 상기 제6 밸브부의 개폐시 압력 차이를 조절하는 제6 컨트롤러부;를 더 포함하는 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브유닛이 개방되어 진공 흡착하는 상기 플레이트부의 구역 중 상기 기판의 외부에서 진공 흡착하는 상기 진공홀을 차단하는 테이핑부;를 더 포함하며,
    상기 테이핑부는 상기 플레이트부의 상면에 부착되어 진공 흡착하는 상기 진공홀의 개방을 차단함으로써 상기 기판에 대한 흡착력을 유지하는 구획화된 플레이트가 구비된 노광장치.
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