CN106970173A - 产生气体分析方法以及产生气体分析装置 - Google Patents

产生气体分析方法以及产生气体分析装置 Download PDF

Info

Publication number
CN106970173A
CN106970173A CN201611015746.5A CN201611015746A CN106970173A CN 106970173 A CN106970173 A CN 106970173A CN 201611015746 A CN201611015746 A CN 201611015746A CN 106970173 A CN106970173 A CN 106970173A
Authority
CN
China
Prior art keywords
foregoing
sample
gas
gases
heating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201611015746.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106970173B (zh
Inventor
秋山秀之
山田健太郎
渡边将史
竹内俊公
丸冈干太郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Science Corp
Original Assignee
Hitachi High Tech Science Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi High Tech Science Corp filed Critical Hitachi High Tech Science Corp
Publication of CN106970173A publication Critical patent/CN106970173A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106970173B publication Critical patent/CN106970173B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/20—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity
    • G01N25/48—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity on solution, sorption, or a chemical reaction not involving combustion or catalytic oxidation
    • G01N25/4806—Details not adapted to a particular type of sample
    • G01N25/4826—Details not adapted to a particular type of sample concerning the heating or cooling arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/86—Signal analysis
    • G01N30/8665—Signal analysis for calibrating the measuring apparatus
    • G01N30/8668—Signal analysis for calibrating the measuring apparatus using retention times
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/62—Detectors specially adapted therefor
    • G01N30/72—Mass spectrometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/62—Detectors specially adapted therefor
    • G01N30/72—Mass spectrometers
    • G01N30/7206—Mass spectrometers interfaced to gas chromatograph

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

产生气体分析装置具备：试料架、加热试料而产生气体成分的加热部、将气体成分离子化而生成离子的离子源、对离子进行质量分析而检测气体成分的质量分析计、供气体成分与将其向质量分析计引导的运载气体的混合气体流通的气体流路，产生气体分析方法中具有：排出流量调整工序，调整分支路的混合气体向外部的排出流量；冷却工序，使试料架接触冷却部而对其进行冷却；补正工序，使用作为测定对象而包含气体成分的标准试料，（1）校正质谱的谱位置，（2）计算灵敏度补正系数Cs=Ss/S，（3）计算对测定实际的试料的气体成分时的加热部内的试料的加热速度进行补正的加热补正系数H=t/ts。

Description

产生气体分析方法以及产生气体分析装置
技术领域
本发明涉及将加热试料而产生的气体成分离子化而进行质量分析、进行试料的辨识、定量等的产生气体分析方法以及产生气体分析装置。
背景技术
为了确保树脂的柔软性，在树脂中包含有酞酸酯等可塑剂，对于四种酞酸酯，根据欧洲特定有害物质规制（RoHS）限制其2019年以后的使用。因此，需要对树脂中的酞酸酯进行辨识以及定量。
酞酸酯是挥发性成分，因此能应用以往众所周知的产生气体分析（EGA：EvolvedGas Analysis）来进行分析。该产生气体分析是将加热试料而产生的气体成分用气相色谱仪、质量分析等各种分析装置进行分析的方法。
此外，质量分析的灵敏度非常高，因此检测精度优良，但相应地需要正确地进行灵敏度的校正等。另外，质量分析计是通用分析设备，因此用户必须与测定对象相应地自行进行灵敏度调整、校正，需要烦杂的作业。
因此，公开有由标准试料的质谱来校正测定对象的质荷比m/z（质量数）的技术（专利文献1、2）。
专利文献1：日本特开2008-190898号公报。
专利文献2：日本特开2005-106524号公报。
但是，如图13所示，测定对象的气体成分的定量是基于色谱C的面积S而计算的，因此对于色谱C也需要进行校正、调整。色谱C的面积S会受到将气体成分离子化的离子源的劣化、测定温度等的影响。另外，色谱的形状（给出最大峰值的时间t）受到加热试料时的加热速度（升温速度）的影响，若色谱的形状变成C'则变化成时间t'，色谱C'的面积S'也会变化。
上述的校正、调整顺序能够按照测定设备的使用说明书进行，但一般的校正顺序对于各个测定对象物质的分析并不一定最适合，存在需要与各个测定对象物质相应地进行追加的补正、调整的情况。该补正、调整需要专业的知识、经验、以及适当的标准物质，作业烦杂而会导致作业效率的下降。
另外，在产生气体分析中，将试料载置于试料台、在加热炉内与试料台一起加热试料，或者将试料设置于保持件而投入到加热炉内产生气体成分来进行分析。接着，在分析之后，将试料台自然冷却至室温左右，更换试料而从常温附近加热，由此开始下一次分析，但到试料台冷却的等待时间长，导致分析作业整体的效率下降。
进一步地，在产生气体分析中，使产生的气体成分流到氮气等运载气体中而导入检测部。但是，若气体成分大量地产生而气体浓度变得过高，则存在超出检测器的检测范围而检测信号超量程、测定变得不正确的问题。
另外，在作为检测器使用质量分析计时，在其前段将气体成分离子化。但是，若气体成分中包含不是测定对象的副成分，则在气体成分大量地产生时副成分大量地离子化，而原本想令其离子化的测定对象的成分未充分地离子化，测定对象的检测信号反而下降（离子抑制）。
发明内容
因此，本发明是为了解决上述的课题而做成的，其目的在于提供能简便地对检测灵敏度的仪器误差、时刻误差变动等进行补正、以高精度和高作业效率对测定对象进行定量的产生气体分析方法以及产生气体分析装置。
为了实现上述目的，本发明为一种由产生气体分析装置进行的产生气体分析方法，所述产生气体分析装置具备：试料架，保持试料；加热部，将该试料架收纳于自身的内部，加热前述试料而产生气体成分；离子源，将在该加热部生成的前述气体成分离子化而生成离子；质量分析计，对前述离子进行质量分析而检测前述气体成分；气体流路，连接前述加热部与前述质量分析计之间，供前述气体成分与运载气体的混合气体流通，前述运载气体将该气体成分向前述质量分析计引导；所述产生气体分析方法的特征在于，具有：排出流量调整工序，基于来自前述质量分析计的检测信号，调整前述分支路的前述混合气体向外部的排出流量，使得该检测信号为既定的范围内；试料架冷却工序，在使前述试料架移动至前述加热部的外侧、能够取出或放入前述试料的排出位置时，使前述试料架直接或者间接地接触配置在前述加热部的外侧的冷却部而冷却该试料架；补正工序，使用作为测定对象而包含前述气体成分的标准试料，（1）进行校正使得关于前述标准试料的前述气体成分获得的质谱的与质荷比m/z对应的谱位置与基准谱位置相符，（2）在前述（1）的校正之后，由色谱的面积S与基准面积Ss计算测定实际的前述试料的前述气体成分的色谱的面积时的灵敏度补正系数Cs=Ss/S，所述色谱是关于前述标准试料的前述气体成分获得的，表示相对于保持时间的强度，（3）由前述色谱的给出最大峰值的时间t与基准时间ts计算对测定实际的前述试料的前述气体成分时的前述加热部内的前述试料的加热速度进行补正的加热补正系数H=t/ts。
根据该产生气体分析方法，首先，冷却部接触试料架而将试料架冷却，因此能比自然冷却更迅速地将试料架冷却，能提高分析作业的效率。由此，例如，能进行品质管理等的多种的试料的测定。另外，在加热部的外侧冷却试料架，因此不会将冷却部暴露于加热部内的高温环境中，因此不需要过大的冷却能力，能实现冷却部进而装置整体的小型化。另外，加热部内的环境温度不会由于冷却而下降，因此加热部的再次加热不需要额外的能量、时间。
进一步地，因不需要在加热部内设置冷却部，所以由此也能实现加热部进而装置整体的小型化。
进一步地，在气体成分大量地产生而气体浓度变得过高时，增加从分支路向外部排出的混合气体的流量，减少从气体流路向检测机构侧导入的混合气体的流量。由此，能抑制超出检测机构的检测范围而检测信号超量程、测定变得不正确的情况。
此时，只要调整从分支路向外部排出的流量即可，不需要增加运载气体流量，因此能在不增大运载气体的供给能力、不使装置大型化的情况下，提高气体成分的检测精度。
此外，根据上述（1）,对各气体成分的质谱的谱位置的检测灵敏度的仪器误差、时刻误差变动等进行校正，因此能高精度地获得（2）、（3）的各气体成分的色谱。
接着，色谱的面积会受到将气体成分离子化的离子源的劣化、测定温度等的影响，因此需要由（2）进行的校正。因此，借助（2），能用灵敏度补正系数Cs对实际的气体成分的色谱的面积进行补正，由该面积进行气体成分的正确的定量。
接着，若加热试料时的加热速度（升温速度）发生变化，则色谱的形状（给出最大峰值的时间t）会发生变化，色谱的面积也会发生变化，因此需要由（3）进行的校正。因此，借助（3）用加热补正系数H适当地对加热部的加热条件进行调整而进行测定，由此能获得正确的色谱，与由（2）进行的补正相辅相成，能进行气体成分的更正确的定量。
在测定实际的试料前，测定一次一个标准试料而进行这些（2）至（3）的校正，由此能以高精度对测定对象进行定量，能抑制仪器误差、时刻误差而以高的再现性进行定量。
在前述测定对象包含多种前述气体成分的情况下，也可以计算前述加热补正系数H=∑ai×ti/tsi（其中，i是表示各气体成分i的自然数，ai是各气体成分i的已知的加热灵敏度系数，ti是各气体成分i的色谱的给出最大峰值的时间，tsi是各气体成分i的色谱的给出最大峰值的基准时间。）
根据该产生气体分析方法，即使在测定对象包含多种前述气体成分时，也能进行气体成分的正确的定量。
也可以在前述补正工序结束后，测定既定的试验用试料而进行前述排出流量调整工序。
根据该产生气体分析方法，在补正工序结束而完成校正后进行排出流量调整工序，因此能更正确地调整质量分析计的检测水平。
本发明的产生气体分析装置具备：试料架，保持试料；加热部，将该试料架收纳于自身的内部，加热前述试料而产生气体成分；离子源，将在该加热部生成的前述气体成分离子化而生成离子；质量分析计，对前述离子进行质量分析而检测前述气体成分；气体流路，连接前述加热部与前述质量分析计之间，供前述气体成分与运载气体的混合气体流通，前述运载气体将该气体成分向前述质量分析计引导，所述产生气体分析装置的特征在于，前述气体流路具有向外部开放的分支路，前述分支路具有调整前述混合气体向外部的排出流量的排出流量调整机构，前述产生气体分析装置还具有：流量控制部，基于来自前述质量分析计的检测信号，控制前述排出流量调整机构，使得该检测信号在既定的范围内；试料架支承部，将前述试料架在前述加热部的内外的既定位置可移动地支承；冷却部，配置在前述加热部的外侧，在使前述试料架移动至前述加热部的外侧且能够取出或放入前述试料的排出位置时，直接或者间接地接触前述试料架而冷却该试料架；校正处理部，在使用作为测定对象而包含前述气体成分的标准试料时，（1）进行校正使得关于前述标准试料的前述气体成分获得的质谱的与质荷比m/z对应的谱位置与基准谱位置相符，（2）在前述（1）的校正之后，由色谱的面积S与基准面积Ss计算测定实际的前述试料的前述气体成分的色谱的面积时的灵敏度补正系数Cs=Ss/S，所述色谱是关于前述标准试料的前述气体成分获得的，表示相对于保持时间的强度，（3）由前述色谱的给出最大峰值的时间t与基准时间ts计算对测定实际的前述试料的前述气体成分时的前述加热部内的前述试料的加热速度进行补正的加热补正系数H=t/ts，上述计算都由计算机进行。
根据本发明，能简便地对产生气体分析装置的检测灵敏度的仪器误差、时刻误差变动等进行补正，以高精度和高作业效率对测定对象进行定量。另外，即使没有专业的知识和经验也能进行适于测定对象物质的装置的校正、调整。
附图说明
图1是表示涉及本发明的实施方式的产生气体分析装置的结构的立体图。
图2是表示气体产生部的结构的立体图。
图3是表示气体产生部的结构的纵剖视图。
图4是表示气体产生部的结构的横剖视图。
图5是表示借助产生气体分析装置进行的气体成分的分析动作的框图。
图6是表示试料架的排出位置和测定位置的图。
图7是表示加热部的加热模式、试料架以及冷却部的温度变化的一例的图。
图8是表示气体流路以及分支路的保温部的图。
图9是表示分支路的强制排气部的图。
图10是表示涉及本发明的实施方式的产生气体分析方法的图。
图11是表示涉及本发明的实施方式的产生气体分析方法的其他的图。
图12是表示表示借助加热补正系数H对加热炉内的试料的加热速度进行补正的一例的图。
图13是表示由于试料的加热速度的影响而质量分析中的色谱的形状变化的图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施方式。图1是表示涉及本发明的实施方式的产生气体分析装置200的结构的立体图，图2是表示气体产生部100的结构的立体图，图3是表示气体产生部100的结构的沿轴心O的纵剖视图，图4是表示气体产生部100的结构的沿轴心O的横剖视图。
产生气体分析装置200具备：成为框体的主体部202、安装于主体部202的正面的箱型的气体产生部安装部204、对整体进行控制的计算机（控制部）210。计算机210具有：进行数据处理的CPU；存储计算机程序、数据的存储部；监视器；键盘等输入部等。计算机210相当于权利要求书的“校正处理部”。
在气体产生部安装部204的内部收纳有气体产生部100，该气体产生部100是圆筒状的加热炉（加热部）10、试料架20、冷却部30、使气体分支的分流器40、离子源50作为组装件而形成一个装置而形成的。另外，在主体部202的内部，收纳有对加热试料而产生的气体成分进行分析的质量分析计（检测机构）110。
此外，从气体产生部安装部204的上表面朝向前表面设置开口204h，若使试料架20向加热炉10外侧的排出位置（后述）移动，则其位于开口204h，因此能够从开口204h向试料架20取出或放入试料。另外，在气体产生部安装部204的前表面处设置狭缝204s，通过使从狭缝204s向外部露出的开闭把手22H左右地移动而使试料架20在加热炉10的内外移动而设置于上述的排出位置，取出或放入试料。
此外，如果借助例如用计算机210控制的步进式马达等使试料架20在移动轨道204L（后述）上移动，则能将使试料架20在加热炉10的内外移动的功能自动化。
接着，参照图2至图5说明气体产生部100的各部分的结构。
首先，加热炉10以将轴心O设成水平的方式安装于气体产生部安装部204的安装板204a，具有：呈以轴心O为中心地开口的大致圆筒状的加热室12；加热块14；保温套16。
在加热室12的外周配置加热块14，在加热块14的外周配置保温套16。加热块14由铝形成，被沿着轴心O向加热炉10的外部延伸的一对加热部加热器14a（参照图4）通电加热。加热部加热器14a将加热块14进而被加热块14包围的加热室12的环境加热（保温）成既定温度。
此外，安装板204a在垂直于轴心O的方向上延伸，分流器40以及离子源50安装于加热炉10。进一步地，离子源50由在气体产生部安装部204的上下方向上延伸的支柱204b支承。
在加热炉10的与开口侧相反的一侧（图3的右侧）连接有分流器40。另外，在加热炉10的下侧连接运载气体保护管18，在运载气体保护管18的内部，收纳有与加热室12的下表面连通而将运载气体C向加热室12导入的运载气体流路18f。
并且，之后详细描述，在加热室12的与开口侧相反的一侧（图3的右侧）的端面处连通气体流路41，在加热炉10（加热室12）中生成的气体成分G与运载气体C的混合气体M在气体流路41中流通。
试料架20具有：台22，在安装于气体产生部安装部204的内部上表面的移动轨道204L上移动；托架24c，安装于台22上，上下地延伸；隔热件24b、26，安装于托架24c的前表面（图3的左侧）；试料保持部24a，从托架24c向加热室12侧沿轴心O方向延伸；加热器27，埋设于试料保持部24a的稍下方；试料盘28，在加热器27的稍上方处配置于试料保持部24a的上表面，收纳试料。
在此，移动轨道204L沿轴心O方向（图3的左右方向）延伸，试料架20与台22一起在轴心O方向上进退。另外，开闭把手22H在与轴心O方向垂直的方向上延伸并且安装于台22。
移动轨道204L相当于权利要求书的“试料架支承部”。
此外，托架24c呈上部呈半圆形的长条状，隔热件24b呈大致圆筒状而装配于托架24c上部的前表面（参照图2），加热器27的电极27a贯通隔热件24b而伸出到外部。隔热件26呈大致矩形状，在比隔热件24b更靠下方处装配于托架24c的前表面。另外，在托架24c的下方不装配隔热件26而托架24c的前表面露出，形成接触面24f。
托架24c形成为直径比加热室12稍大而将加热室12气密地闭塞，试料保持部24a收纳在加热室12的内部。
并且，载置于加热室12的内部的试料盘28的试料在加热炉10内被加热，生成气体成分G。
冷却部30以与试料架20的托架24c对置的方式配置于加热炉10的外侧（图3的加热炉10的左侧）。冷却部30具备：大致矩形且具有凹部32r的冷却块32；连接于冷却块32下表面的冷却翅片34；连接于冷却翅片34的下表面并向冷却翅片34供给空气的空冷风扇36。
并且，之后详细描述，若试料架20在移动轨道204L上沿轴心O方向朝向图3的左侧移动而向加热炉10外排出，则托架24c的接触面24f被收纳于冷却块32的凹部32r并与其接触，经由冷却块32带走托架24c的热，冷却试料架20（尤其是试料保持部24a）。
此外，在本实施方式中，试料架20（包括托架24c）以及冷却块32都由铝形成。
如图3、图4所示，分流器40具备：与加热室12连通的上述的气体流路41；连通于气体流路41并且向外部开放的分支路42；质量流量控制器（排出流量调整机构）42a，连接于分支路42的出口侧而调整自分支路42的混合气体M向外部的排出流量；在自身的内部气体流路41开口的框体部43；包围框体部43的保温部44。
如图4所示，从上表面观察时，气体流路41呈如下所述的弯曲状：在与加热室12连通并沿轴心O方向延伸后，垂直于轴心O方向地弯曲，进一步地向轴心O方向弯曲而到达终端部41e。另外，气体流路41中与轴心O方向垂直地延伸的部位的中央附近扩径而形成分支室41M。分支室41M延伸到框体部43的上表面，嵌合有比分支室41M直径稍小的分支路42。
气体流路41既可以呈与加热室12连通并沿着轴心O方向延伸而到达终端部41e的直线状，也可以与加热室12、离子源50的位置关系相应地呈各种曲线、与轴心O具有角度的线状等。
此外，在本实施方式中，气体流路41设成直径约2mm，分支室41M以及分支路42设成直径约1.5mm。并且，在气体流路41中流通到终端部41e的流量与向分支路42分支的流量的比（分流比）由各流路阻力确定，能向分支路42流出更多的混合气体M。并且，该分流比能通过调整质量流量控制器42a的开度而控制。
如图3、图4所示，离子源50具有：框体部53、包围框体部53的保温部54、放电针56、保持放电针56的支架55。框体部53呈板状，其板面沿着轴心O方向，并且在中央处贯通有小孔53C。并且，气体流路41的终端部41e穿过框体部53的内部而面临小孔53C的侧壁。另一方面，放电针56垂直于轴心O方向地延伸而面临小孔53C。
并且，在从终端部41e向小孔53C附近导入的混合气体M中，气体成分G借助放电针56被离子化。
离子源50是众所周知的装置，在本实施方式中，采用大气压化学离子化（APCI）类型。APCI不容易引起气体成分G的碎裂化，不会产生碎裂峰值，所以在色谱分析等中不分离也能由峰值质量辨识测定对象，因此是优选的。
被离子源50离子化后的气体成分G与运载气体C一起被导入质量分析计110而被分析。
此外，离子源50被收纳于保温部54的内部。
图5是表示由产生气体分析装置200进行的气体成分的分析动作的框图。
试料S在加热炉10的加热室12内被加热，生成气体成分G。加热炉10的加热状态（升温速度、最高到达温度等）由计算机210的加热控制部212控制。
气体成分G与被导入至加热室12的运载气体C混合而成为混合气体M，被导入分流器40。计算机210的检测信号判定部214从质量分析计110的检测器118（后述）接收检测信号。
流量控制部216判定从检测信号判定部214接收的检测信号的峰值强度是否为阈值的范围外。接着，在范围外时，流量控制部216控制质量流量控制器42a的开度从而调整在分流器40内从分支路42向外部排出的混合气体M的流量，进而调整从气体流路41向离子源50导入的混合气体M的流量，将质量分析计110的检测精度保持为最适宜。
质量分析计110具备：将被离子源50离子化的气体成分G导入的第一细孔111；与第一细孔111连接、气体成分G顺序地流通的第二细孔112；离子引导件114；四级滤质器116；检测从四级滤质器116出来的气体成分G的检测器118。
四级滤质器116使施加的高频电压变化从而能进行质量扫描，生成四级电场，使离子在该电场内振动运动从而检测离子。四级滤质器116呈仅令处于特定的质量范围的气体成分G透过的质量分离器，因此能用检测器118进行气体成分G的辨识以及定量。
此外，若使用仅检测测定对象的气体成分具有的特定的质荷比（m/z）的离子的选择离子检测（SIM）模式，则与检测某一范围的质荷比的离子的全离子检测（扫描）模式相比，检测对象的气体成分的检测精度提高，因此是优选的。
接着，参照图6说明作为本发明的特征部分之一的试料架20的冷却。在本发明中，试料架20经由台22在轴心O方向的既定的两个位置（图6（a）所示的向加热炉10的外侧排出而试料盘28露出在加热炉10外的排出位置、图6（b）所示的收纳于加热炉10内进行测定的测定位置）之间移动。
首先，在图6（a）所示的排出位置处，在与试料盘28一起将试料取出或放入时，更换试料盘28与试料而从常温附近加热从而开始下一次分析。此时，若试料架20是热的，则在设置试料盘28时，从开始分析之前试料被加热。因此，为了防止这种情况，冷却试料架20，但在仅将试料架20自然冷却的情况下，到被冷却的等待时间变长。
因此，如图6（a）所示，在使试料架20移动至排出位置时，托架24c的接触面24f与冷却块32的凹部（接触部）32r接触从而经由冷却块32带走托架24c的热，冷却试料架20。
由此，与自然冷却相比，能将试料架20迅速地冷却，能提高分析作业的效率。另外，因为在加热炉10的外侧对试料架20进行冷却，所以冷却部30不会被暴露于加热炉10内的高温环境中，因此不需要过大的冷却能力，能实现冷却部30进而装置整体的小型化。另外，加热块14的温度不会由于冷却而下降，因此加热炉10的再次加热不需要额外的能量、时间。
进一步地，因不需要在加热炉10内设置冷却部30，所以由此也能实现加热炉10进而装置整体的小型化。
图7表示被加热控制部212控制的加热炉10的加热模式、试料架20以及冷却块32的温度变化的一例。在此，令加热炉10的保持温度（最高到达温度）为300℃，令试料的加热开始温度为50℃以下。
首先，在时间0（试料架20移动至图6（a）所示的排出位置P时）处，在变成50℃的试料架20的试料盘28中设置试料。此时，冷却块32预先被空冷至室温左右，但因与试料架20接触所以上升到50℃附近，另一方面，试料架20被冷却至50℃附近。另外，加热炉10内的温度被加热部加热器14a控制成300℃。
接着，若被冷却至50℃附近的试料架20移动至图6（a）所示的测定位置而收纳于加热室12内，则借助来自被控制成300℃的加热炉10的加热和来自埋设于试料保持部24a的稍下方的试料侧加热器27的加热，试料架20变成300℃，对产生的气体成分进行分析。在分析期间，冷却块32被后述的空冷风扇36等冷却至不足50℃（室温附近）。
若分析结束，则试料架20再次移动至排出位置P，重复上述热循环。
在此，因为在加热炉10的外侧配置冷却部30，所以将冷却试料架20而被加热的冷却部30在分析期间慢慢地冷却即可。尤其是如图7所示，一般而言，分析时间比冷却时间更长。因此，不将冷却部30用水冷等骤冷，进行利用冷却翅片34进行的自然散热或者利用空冷风扇36进行的强制空冷就足够了，与后述的水冷等情况相比，冷却部30的构造变得简单，能实现装置整体的成本降低、小型化。
此外，如图6（a）所示，在从上方观察冷却块32时，从凹部（接触部）32r的两端，一对突出部32p以コ字状向加热炉10侧外伸地延伸，各突出部32p将试料架20包围。若设成这样，则能使试料架20后退至凹部32r而在加热炉10的外侧充分地移动，并且与没有设置各突出部32p的情况相比，冷却块32的容积（热容量）增加，因此冷却能力提高。
另外，为了在不设置各突出部32p的情况下令冷却块32的容积相同，需要使冷却块32进一步地向加热炉10的外侧（图6（a）的左侧）移动，装置整体的尺寸会变大。因此，能通过设置突出部32p实现装置整体的进一步的小型化。
另外，若冷却块32的热容量C1与试料架20的热容量C2的比（C1/C2）为5至20，则能同时实现装置整体的小型化和冷却能力的提高。若上述比不足5，则存在冷却块32的热容量C1变小而冷却能力下降的情况。存在冷却能力不足而不能充分地冷却到加热开始温度的情况。若上述比超过20，则存在冷却块32变得过大、装置整体变大的情况。
另外，冷却部30优选地具有将冷却块32冷却的空冷风扇36或者冷却翅片34。若设成这样，则与将冷却部30水冷或在冷却部30安装供冷却介质气体通过的配管的情况相比，冷却部30的构造变得简单，能实现装置整体的成本降低和小型化。
在冷却块32上安装有冷却翅片34、所谓的散热器的情况下，冷却翅片34自然散热而将冷却块32冷却。
但是，在冷却块32的散热来不及的情况下，优选为进一步地安装空冷风扇36而将冷却块32强制空冷。此外，在本实施方式中，如图2、图6所示，在冷却块32的下表面连接冷却翅片34，进而在冷却翅片34的下表面安装有空冷风扇36。
另外，在本实施方式中，加热炉10具备将加热炉（加热室12）内加热到既定温度的加热部加热器14a，并且，在加热部加热器14a之外，试料架20具备加热试料的试料侧加热器27。
由此，加热部加热器14a将加热炉（加热室12）内的环境整体加热（保温）为既定温度，因此防止加热室12内的试料的温度变动。另外，配置于试料的近旁的试料侧加热器27能局部地加热试料而使试料温度迅速地上升。
此外，从使试料温度迅速地上升的视角看，试料侧加热器27优选地位于配置试料的部件（例如试料盘28）的近旁。尤其优选为试料侧加热器27内置于试料盘28的稍下方的试料架20中。
在本发明中，如上述的图3、图4所示，气体流路41具有向外部开放的分支路42。并且，能通过控制安装于分支路42的质量流量控制器42a的开度而调整从分支路42向外部排出的混合气体M的流量，进而调整从气体流路41向离子源50导入的混合气体M的流量。
因此，在气体成分大量地产生而气体浓度变得过高时，增加从分支路42向外部排出的混合气体M的流量，减少从气体流路41向离子源50导入的混合气体M的流量。由此，能抑制超出质量分析计110的检测范围而检测信号超量程、测定变得不正确的情况。
此时，调整从分支路42向外部排出的流量即可而不需要增加运载气体流量，因此能在不增大运载气体的供给能力、不使装置大型化的情况下提高气体成分的检测精度。
另外，作为分析装置使用质量分析计时，在其前段的离子源50将气体成分离子化，在气体成分大量地产生时由于副成分的离子化而发生上述的离子抑制的情况下，检测信号反而会下降。
因此，在产生离子抑制时，从检测信号判定部214接收了质量分析计110的检测信号的峰值强度的流量控制部216判定检测信号的峰值强度不足阈值，向质量流量控制器42a发送增大开度的控制信号。由此，向离子源50导入的混合气体M的流量变少，所以能抑制副成分的离子化，抑制检测信号的下降而提高气体成分的检测精度。
此外，仅观察检测信号的峰值强度不能得知是否产生离子抑制，有时仅是测定对象的气体成分的含有量少。因此，需要从测定对象以外的夹杂物等的浓度高等其他现象判断离子抑制的有无。该判断可以由作业者进行或者如后所述地对每种试料或气体成分预先在表格中存储离子抑制的有无，流量控制部216基于表格进行判断。
接着，流量控制部216在检测信号的峰值强度超过阈值时（超量程），或者在峰值强度不足阈值时（判断为产生了离子抑制时），生成增加从分支路42向外部排出的混合气体M的流量的控制信号。
这时，也可以例如对每种气体成分预先在表格中存储离子抑制的有无，流量控制部216参照该表格判断离子抑制的有无，在判断为产生了离子抑制时，向质量流量控制器42a发送增大开度的控制信号。另外，也可以作业者在每次测定时从计算机210的输入部输入（选择按钮等）此测定是否为产生离子抑制的测定，流量控制部216基于该输入信号比较检测信号的峰值强度和阈值，向质量流量控制器42a发送增大开度的控制信号。
此外，作为使得产生离子抑制的情况，例示测定对象为钛酸酯、副成分为钛酸酐等添加剂的情况。
此外，有时在加热炉10中产生的气体成分被分支室41M近旁的气体流路41与分支路42的内壁冷却而冷凝而被捕集，此后再次气化而在离子源50的作用下被测定。在此情况下，不仅测定时间变长而作业效率下降，而且还存在冷凝后再次气化的气体成分会影响接下来的测定的可能性。
因此，如图8所示，也可以设置对分支室41M近旁的气体流路41与分支路42的至少一方的周围进行加热或者保温的保温部41H、42H。由此，能抑制气体成分被捕集于气体流路41和分支路42的内壁的情况。
此外，在图8中，保温部41H是加热分支室41M近旁的气体流路41的周围的盘管加热器，保温部42H是加热分支室41M近旁的分支路42的周围的盘管加热器。
另外，作为保温部41H、42H不限于加热器，只要是能防止气体成分凝固的部件即可，也可以是隔热件等。另外，既可以设置保温部41H、42H的至少一方，也可以设置两方。
另一方面，若用保温部41H、42H加热气体成分（混合气体），则有时从分支路42排出而在质量流量控制器42a流通的混合气体变成高温，需要耐热型的质量流量控制器42a。
因此，如图9所示，也可以代替设置保温部41H、42H，在比质量流量控制器42a更靠出口侧的分支路42中设置排气泵（强制排气部）42p。由此，能将在分支路42流通的混合气体M强制排气，降低分支室41M近旁的气体流路41与分支路42的气压，抑制被捕集的气体成分向离子源50侧逆流。
接着，参照图10说明涉及本发明的实施方式的产生气体分析方法。
首先，准备作为测定对象而包含气体成分的标准试料。在本实施方式中，测定对象包含多种气体成分，标准试料包含这些多种气体成分（例如，RoHS限制对象的DEHP、DBP、BBP、DIBP的四种成分的酞酸酯）。包含于标准试料的各气体成分的含有率不受限定，与关于实际的测定对象的气体成分设想的含有率接近（例如，DEHP、DBP、BBP、DIBP四种成分的RoHS限制值是1000ppm且相同，因此优选地将四种成分的含有率以相同的位数统一）即可。此外，含有率是（气体成分的质量）/（试料整体的质量）。
接着，以下述的顺序进行校正。
（1）进行校正使得关于标准试料的各气体成分获得的质谱的与质荷比m/z对应的谱位置与基准谱位置相符。例如，调整质量分析计110（四级滤质器116）的设定（例如高频电压），使得在图10中关于三种气体成分1、2、3分别获得的质谱的各谱位置落入基准谱位置m1、m2、m3的容许范围2L内。
此外，如图11所示，容许范围2L是以各基准谱位置m1、m2、m3为中心±L的范围，只要标准试料的各气体成分的谱位置分别落入这些容许范围2L内即可。这是因为在本实施方式中，包含于标准试料的各气体成分的种类预先确定，因此即使不像测定对象没有被限定的通用分析那样进行使与多种成分的基准谱位置的误差变为最小这样的调试，也没有问题。但是，使各谱位置与基准谱位置相符的方法不限于上述，当然也可以进行这样的调试等。
像这样地对各气体成分的质谱的谱位置的检测灵敏度的仪器误差、时刻误差变动等进行校正，因此能高精度地获得以下（2）、（3）的各气体成分的色谱。
（2）在（1）的校正后，从关于标准试料的气体成分获得的表示相对于保持时间的强度（离子强度）的色谱的面积S与基准面积Ss，计算灵敏度补正系数Cs=Ss/S。Cs成为此后测定实际的试料的气体成分的色谱的面积时的补正系数。色谱的面积S会受到将气体成分离子化的离子源的劣化、测定温度等的影响，因此需要由（2）进行的校正。
例如，在图10中，能关于三种气体成分1、2、3分别获得色谱C1、C2、C3，因此用计算机210的CPU求得各色谱C1、C2、C3的面积S1、S2、S3。另一方面，关于各气体成分C1、C2、C3，基准面积Ss1、Ss2、Ss3分别存储在计算机210的存储部。因此，CPU针对每种气体成分C1、C2、C3计算Cs（例如，在气体成分C1的情况下，Cs1=Ss1/S1），将实际的气体成分C1的色谱的面积乘以Cs1后的值视为面积。能从该面积进行气体成分C1的正确的定量。
（3）由上述色谱C1、C2、C3的给出最大峰值的时间t和基准时间ts计算对加热炉10内（实际上是监视温度的试料盘28上）的试料的加热速度进行补正的加热补正系数H=t/ts。H是调整此后测定实际的试料的气体成分时的加热炉10内的试料的加热速度的系数。若加热试料时的加热速度（升温速度）发生变化，则色谱的形状（给出最大峰值的时间t）会发生变化，色谱的面积也会发生变化，因此需要由（3）进行的校正。
例如在图10中，对各色谱C1、C2、C3，由CPU分别求出时间t1、t2、t3。另一方面，关于各气体成分C1、C2、C3，基准时间ts1、ts2、ts3分别存储于计算机210的存储部。因此，CPU针对每种气体成分C1、C2、C3计算H=t/ts。
借助H将加热炉10的加热条件适当地调整而测定实际的试料的气体成分C1，由此能获得正确的色谱。并且，将对于该色谱的面积乘以由（2）确定的气体成分C1的灵敏度补正系数Cs1后的值作为实际的面积值，从而能进行气体成分C1的更正确的定量。由此，通过使用标准试料能简便地对产生气体分析装置200的加热炉10、加热器27的加热能力、测定温度、检测灵敏度等的仪器误差、时刻误差变动等进行补正，提高测定精度（尤其是色谱的面积）。
此外，实际上在加热炉10内，加热炉10的自身的温度借助加热器14a全部被保持在既定温度，借助试料盘28稍下方的加热器27的阻抗监视试料温度，与监视到的试料温度相应地调整试料的加热速度的是加热器27。因此，“对加热炉内的试料的加热速度进行补正”是指至少与试料温度相应地对使加热状态变动的部位（在本例中是加热器27）的加热速度进行补正。
在此，在测定对象包含多种气体成分的情况下，作为H=∑ai×ti/tsi进行计算。其中，i是表示各气体成分i的自然数，在本实施方式中相当于气体成分1、2、3。另外，ai是各气体成分i的已知的加热灵敏度系数，表示各气体成分的峰值时间（给出最大峰值的时间t）相对于加热速度的变化而变化的容易度。ai在本实施方式中相当于每种气体成分1、2、3的加热灵敏度系数a1、a2、a3。tsi是各气体成分i的色谱的给出最大峰值的基准时间，在本实施方式中，相当于每种气体成分1、2、3的色谱C1、C2、C3的给出最大峰值的基准时间ts1、ts2、ts3。
因此，形成为H=（a1×t1/ts1）+（a2×t2/ts2）+（a3×t3/ts3）。
图12表示借助加热补正系数H对加热炉10内的试料的加热速度进行补正的一例。例如，实际的给出最大峰值的时间t比基准时间ts更短时（H<1时），加热速度过剩，与原加热模式U相比需要降低加热速度。因此，将加热补正系数H乘以原加热程序的斜率（加热速度）从而补正成降低了加热速度的加热模式U'。
一般而言，若加热器27的加热速度过快，则气体成分的气体浓度会急剧地增大，因此存在离子源中的离子化效率不能追从于此而峰值面积值变小的倾向。因此，通过补正成加热模式U'能获得正确的色谱。
此外，在上述（1）至（3）的处理由校正处理部210自动地进行的情况下，设成下述方式。
（1）检测信号判定部214基于接收到的检测信号，调整质量分析计110（四级滤质器116）的设定（例如高频电压），使得标准试料的各气体成分的谱位置落入预先设定于存储部的m1、m2、m3以及容许范围2L内。
（2）检测信号判定部214基于接收到的检测信号和设定于存储部的基准面积Ss1、Ss2、Ss3，计算灵敏度补正系数Cs。计算出的Cs存储于存储部。
（3）检测信号判定部214基于接收到的检测信号和设定于存储部的基准时间ts，计算加热补正系数H=t/ts。计算出的H存储于存储部。
接着，在进行实际的试料的气体成分的质量分析时，加热控制部212基于H借助加热器27控制而补正加热炉10内的试料的加热速度，在该状态下进行测定。并且，检测信号判定部214将获得的色谱的面积乘以Cs1后的值作为面积值输出。
设成如上所述，能在产生气体分析装置的校正结束之后，利用质量分析计110测定既定的试验用试料，确定分流比，使得其检测信号落入既定的范围内。并且，根据该分流比测定实际的测定试料即可。
另外，也可以将标准试料和试验用试料设置于后述的自动取样器并预先指定各位置，基于标准试料的测定值进行上述的校正，此后基于试验用试料的测定值确定分流比，根据该分流比测定实际的测定试料。
无需言明，本发明不限于上述实施方式，涉及包含于本发明的构思与范围内的各种变形以及等同物。
作为测定对象，除酞酸酯之外，还能例示出被欧洲特定有害物质规制（RoHS）限制的溴化物阻燃剂（多溴联苯（PBB）、多溴二苯醚（PBDE）），但不限于这些。
加热炉、试料架、冷却部、气体流路、分支路、分流器、离子源、质量分析计的结构、形状、配置状态等不限于上述的例子。校正成质谱的谱位置与基准谱位置相符的方法也不限于上述的例子，可以采用众所周知的方法。
另外，在本发明的产生气体分析装置中，还可以设置将试料自动地、连续地向加热部插入的自动取样器，并且在该自动取样器的既定部位处设置放置上述标准试料的场所，在最初将该标准试料测定一次，由此，自动地进行上述（1）至（3）的处理。
可移动地支承试料架的试料架支承部除了上述的轨道之外，还可以是臂等。
另外，不限于试料架直接接触冷却部的情况，也可以设置与试料架导热地连接的其它部件，该其它部件直接接触冷却部（即，试料架间接地接触冷却部）。
附图标记说明
10加热部（加热炉）；20试料架；30冷却部；41气体流路；42分支路；42a排出流量调整机构；41H、42H保温部；42p强制排气部；50离子源；110质量分析计；200产生气体分析装置；204L试料架支承部；210校正处理部（计算机）；216流量控制部；S试料；C运载气体；G气体成分；M混合气体；C1、C2、C3气体成分的色谱；m1、m2、m3基准谱位置。

Claims (4)

1.一种产生气体分析方法，由产生气体分析装置进行，所述产生气体分析装置具备：
试料架，保持试料；
加热部，将该试料架收纳于自身的内部，加热前述试料而产生气体成分；
离子源，将在该加热部生成的前述气体成分离子化而生成离子；
质量分析计，对前述离子进行质量分析而检测前述气体成分；
气体流路，连接前述加热部与前述质量分析计之间，供前述气体成分与运载气体的混合气体流通，前述运载气体将该气体成分向前述质量分析计引导；
所述产生气体分析方法的特征在于，具有：
排出流量调整工序，基于来自前述质量分析计的检测信号，调整前述分支路的前述混合气体向外部的排出流量，使得该检测信号为既定的范围内；
试料架冷却工序，在使前述试料架移动至前述加热部的外侧且能够取出、放入前述试料的排出位置时，使前述试料架直接或者间接地接触配置在前述加热部的外侧的冷却部而冷却该试料架；
补正工序，使用作为测定对象而包含前述气体成分的标准试料，
（1）进行校正使得关于前述标准试料的前述气体成分获得的质谱的与质荷比m/z对应的谱位置与基准谱位置相符，
（2）在前述（1）的校正之后，由色谱的面积S与基准面积Ss计算测定实际的前述试料的前述气体成分的色谱的面积时的灵敏度补正系数Cs=Ss/S，所述色谱是关于前述标准试料的前述气体成分获得的，表示相对于保持时间的强度，
（3）由前述色谱的给出最大峰值的时间t与基准时间ts计算对测定实际的前述试料的前述气体成分时的前述加热部内的前述试料的加热速度进行补正的加热补正系数H=t/ts。
2.如权利要求1所述的产生气体分析方法，其特征在于，
前述测定对象包含多种前述气体成分，
计算前述加热补正系数H=∑ai×ti/tsi，
其中，i是表示各气体成分i的自然数，ai是各气体成分i的已知的加热灵敏度系数，ti是各气体成分i的色谱的给出最大峰值的时间，tsi是各气体成分i的色谱的给出最大峰值的基准时间。
3.如权利要求1或2所述的产生气体分析方法，其特征在于，在前述补正工序结束后，测定既定的试验用试料而进行前述排出流量调整工序。
4.一种产生气体分析装置，具备：
试料架，保持试料；
加热部，将该试料架收纳于自身的内部，加热前述试料而产生气体成分；
离子源，将在该加热部生成的前述气体成分离子化而生成离子；
质量分析计，对前述离子进行质量分析而检测前述气体成分；
气体流路，连接前述加热部与前述质量分析计之间，供前述气体成分与运载气体的混合气体流通，前述运载气体将该气体成分向前述质量分析计引导；
所述产生气体分析装置的特征在于，
前述气体流路具有向外部开放的分支路，前述分支路具有调整前述混合气体向外部的排出流量的排出流量调整机构，
前述产生气体分析装置还具有：
流量控制部，基于来自前述质量分析计的检测信号，控制前述排出流量调整机构，使得该检测信号在既定的范围内；
试料架支承部，将前述试料架在前述加热部的内外的既定位置可移动地支承；
冷却部，配置在前述加热部的外侧，在使前述试料架移动至前述加热部的外侧且能够取出、放入前述试料的排出位置时，直接或者间接地接触前述试料架而冷却该试料架；
校正处理部，在使用作为测定对象而包含前述气体成分的标准试料时，
（1）进行校正使得关于前述标准试料的前述气体成分获得的质谱的与质荷比m/z对应的谱位置与基准谱位置相符，
（2）在前述（1）的校正之后，由色谱的面积S与基准面积Ss计算测定实际的前述试料的前述气体成分的色谱的面积时的灵敏度补正系数Cs=Ss/S，所述色谱是关于前述标准试料的前述气体成分获得的，表示相对于保持时间的强度，
（3）由前述色谱的给出最大峰值的时间t与基准时间ts计算对测定实际的前述试料的前述气体成分时的前述加热部内的前述试料的加热速度进行补正的加热补正系数H=t/ts，
上述计算都由计算机进行。
CN201611015746.5A 2015-11-20 2016-11-18 产生气体分析方法以及产生气体分析装置 Active CN106970173B (zh)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015227370 2015-11-20
JP2015-227370 2015-11-20
JP2015-227371 2015-11-20
JP2015227371 2015-11-20
JP2016-173394 2016-09-06
JP2016173394A JP6730140B2 (ja) 2015-11-20 2016-09-06 発生ガス分析方法及び発生ガス分析装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106970173A true CN106970173A (zh) 2017-07-21
CN106970173B CN106970173B (zh) 2020-06-19

Family

ID=59017981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611015746.5A Active CN106970173B (zh) 2015-11-20 2016-11-18 产生气体分析方法以及产生气体分析装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6730140B2 (zh)
KR (1) KR102252889B1 (zh)
CN (1) CN106970173B (zh)
TW (1) TWI704347B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114018370A (zh) * 2021-11-09 2022-02-08 中国科学院工程热物理研究所 一种多组分混合气体的流量校准系数标定方法
CN114729919A (zh) * 2019-03-27 2022-07-08 El株式会社 半导体及显示器工艺中排出的温室气体的减排设施的减排效率自动测量分析系统

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101973263B1 (ko) 2017-05-31 2019-04-30 주식회사 유니온알텍 미닫이창문용 미세먼지 제거 장치
JP6505167B2 (ja) * 2017-07-21 2019-04-24 株式会社日立ハイテクサイエンス 質量分析装置及び質量分析方法
JP7055323B2 (ja) * 2017-07-21 2022-04-18 株式会社日立ハイテクサイエンス 質量分析装置及び質量分析方法
JP6505268B1 (ja) * 2018-01-11 2019-04-24 株式会社日立ハイテクサイエンス 質量分析装置及び質量分析方法
JP6989484B2 (ja) * 2018-12-20 2022-01-05 株式会社堀場製作所 試料前処理装置及び分析システム
JP7281285B2 (ja) * 2019-01-28 2023-05-25 株式会社堀場エステック 濃度制御装置、及び、ゼロ点調整方法、濃度制御装置用プログラム
WO2022030032A1 (ja) * 2020-08-07 2022-02-10 株式会社 島津製作所 質量分析装置の機差補正方法
WO2023113163A1 (ko) * 2021-12-14 2023-06-22 주식회사 엘지화학 원격 챔버 및 이를 이용한 dart-ms 시스템

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6848439B2 (en) * 2001-11-08 2005-02-01 Hitachi Unisia Automotive, Ltd. Air-fuel ratio control apparatus, air-fuel ratio detecting apparatus and methods thereof for engine
EP1220284A3 (en) * 2000-10-11 2005-03-16 Pfizer Products Inc. Helium droplet mass spectrometery (HDMS)
WO2009030809A1 (en) * 2007-09-06 2009-03-12 Outotec Oyj Method and strand sintering equipment for continuous sintering and pre-reduction of pelletized mineral material
JP2010182763A (ja) * 2009-02-04 2010-08-19 Hitachi High-Technologies Corp プラズマ処理装置
CN101832923A (zh) * 2010-06-03 2010-09-15 中国石油集团川庆钻探工程有限公司长庆录井公司 一种适合储集层含油气的气体分析的红外气体检测系统
CN101871914A (zh) * 2009-04-24 2010-10-27 岛津分析技术研发（上海）有限公司 一种解吸电离方法及其装置
CN101943686A (zh) * 2010-09-03 2011-01-12 中国广州分析测试中心 一种聚二甲基硅氧烷的检测方法
CN103512943A (zh) * 2012-06-26 2014-01-15 吉林省维远科技有限公司 一种用于挥发性有机化合物在线检测专用质谱仪
CN103616450A (zh) * 2013-11-29 2014-03-05 湖州市中心医院 一种肺癌患者血清特异性代谢产物谱及其建立方法
US20140125301A1 (en) * 2012-11-06 2014-05-08 Shimadzu Research Laboratory (Europe) Ltd. Control circuitry
WO2014188359A1 (en) * 2013-05-23 2014-11-27 Saudi Basic Industries Corporation Method for the off-line determination of intrinsic reactivity of reactants in polycondensation reactions
CN104781659A (zh) * 2012-11-09 2015-07-15 株式会社岛津制作所 质量分析装置和质量校正方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5835974A (en) * 1994-08-22 1998-11-10 General Motors Corporation Method and means for blended multi-component gas calibration and diagnosis of multiple gas analyzers
JP3290893B2 (ja) * 1996-03-19 2002-06-10 フロンティア・ラボ株式会社 気相成分分析装置
JP2002350300A (ja) * 2001-05-30 2002-12-04 Tdk Corp ガストラップ装置、発生ガス分析装置及び発生ガス分析方法
US20030085714A1 (en) 2001-11-05 2003-05-08 Keyes Marion A. Mass flow control in a process gas analyzer
JP4221232B2 (ja) 2003-02-28 2009-02-12 キヤノンアネルバ株式会社 イオン付着を利用する質量分析装置および質量分析方法
JP3846800B2 (ja) * 2003-08-18 2006-11-15 株式会社リガク 発生ガス分析方法とその装置
JP2005106524A (ja) * 2003-09-29 2005-04-21 Tdk Corp 標準試料、ならびに校正方法、分析方法およびデバイスの製造方法
JP4958258B2 (ja) * 2006-03-17 2012-06-20 株式会社リガク ガス分析装置
JP2008190898A (ja) 2007-02-01 2008-08-21 Hitachi High-Technologies Corp 四重極型質量分析装置および四重極型質量分析装置の質量校正方法
US8296090B2 (en) * 2007-04-13 2012-10-23 Horiba Stec, Co., Ltd. Gas analyzer
JP5437831B2 (ja) * 2010-01-22 2014-03-12 旭化成ホームズ株式会社 ポリエーテル含有高分子の劣化度評価方法
JP5657904B2 (ja) * 2010-03-26 2015-01-21 株式会社日立ハイテクソリューションズ ガス分析装置及びガス分析方法
US8426212B2 (en) * 2010-10-06 2013-04-23 The Boeing Company Method and system for monitoring for the presence of phosphate esters in jet fuel
CN102590414B (zh) * 2012-01-18 2014-03-19 神华集团有限责任公司 利用气相色谱仪分析气相丙烯中痕量砷烷和磷烷含量的方法
AT13428U1 (de) * 2012-10-04 2013-12-15 Avl List Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Analyse eines Messgases, insbesondere des Abgases von Verbrennungskraftmaschinen
JP6152301B2 (ja) * 2013-06-03 2017-06-21 国立医薬品食品衛生研究所長 定量方法およびプログラム
JP2015011801A (ja) 2013-06-27 2015-01-19 株式会社日立ハイテクノロジーズ 質量分析方法及び質量分析装置
JP6079612B2 (ja) * 2013-12-18 2017-02-15 株式会社島津製作所 ガスクロマトグラフ
JP6115483B2 (ja) 2014-01-22 2017-04-19 株式会社島津製作所 炭素測定装置
JP6132067B2 (ja) 2014-03-03 2017-05-24 株式会社島津製作所 クロマトグラフ質量分析装置用データ処理装置及びプログラム

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1220284A3 (en) * 2000-10-11 2005-03-16 Pfizer Products Inc. Helium droplet mass spectrometery (HDMS)
US6848439B2 (en) * 2001-11-08 2005-02-01 Hitachi Unisia Automotive, Ltd. Air-fuel ratio control apparatus, air-fuel ratio detecting apparatus and methods thereof for engine
WO2009030809A1 (en) * 2007-09-06 2009-03-12 Outotec Oyj Method and strand sintering equipment for continuous sintering and pre-reduction of pelletized mineral material
JP2010182763A (ja) * 2009-02-04 2010-08-19 Hitachi High-Technologies Corp プラズマ処理装置
CN101871914A (zh) * 2009-04-24 2010-10-27 岛津分析技术研发（上海）有限公司 一种解吸电离方法及其装置
CN101832923A (zh) * 2010-06-03 2010-09-15 中国石油集团川庆钻探工程有限公司长庆录井公司 一种适合储集层含油气的气体分析的红外气体检测系统
CN101943686A (zh) * 2010-09-03 2011-01-12 中国广州分析测试中心 一种聚二甲基硅氧烷的检测方法
CN103512943A (zh) * 2012-06-26 2014-01-15 吉林省维远科技有限公司 一种用于挥发性有机化合物在线检测专用质谱仪
US20140125301A1 (en) * 2012-11-06 2014-05-08 Shimadzu Research Laboratory (Europe) Ltd. Control circuitry
CN104781659A (zh) * 2012-11-09 2015-07-15 株式会社岛津制作所 质量分析装置和质量校正方法
WO2014188359A1 (en) * 2013-05-23 2014-11-27 Saudi Basic Industries Corporation Method for the off-line determination of intrinsic reactivity of reactants in polycondensation reactions
CN103616450A (zh) * 2013-11-29 2014-03-05 湖州市中心医院 一种肺癌患者血清特异性代谢产物谱及其建立方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114729919A (zh) * 2019-03-27 2022-07-08 El株式会社 半导体及显示器工艺中排出的温室气体的减排设施的减排效率自动测量分析系统
CN114018370A (zh) * 2021-11-09 2022-02-08 中国科学院工程热物理研究所 一种多组分混合气体的流量校准系数标定方法
CN114018370B (zh) * 2021-11-09 2024-01-23 中国科学院工程热物理研究所 一种多组分混合气体的流量校准系数标定方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106970173B (zh) 2020-06-19
TWI704347B (zh) 2020-09-11
JP6730140B2 (ja) 2020-07-29
KR102252889B1 (ko) 2021-05-17
TW201734447A (zh) 2017-10-01
JP2017102100A (ja) 2017-06-08
KR20170059388A (ko) 2017-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106970173A (zh) 产生气体分析方法以及产生气体分析装置
CN107064396A (zh) 产生气体分析装置的校正方法以及产生气体分析装置
US20170148617A1 (en) Method for analyzing evolved gas and evolved gas analyzer
CN107037071A (zh) 产生气体分析装置以及产生气体分析方法
KR102556760B1 (ko) 질량 분석 장치 및 질량 분석 방법
CN106908307B (zh) 产生气体分析装置以及产生气体分析方法
US10401342B2 (en) Evolved gas analyzer and method for analyzing evolved gas
KR102556761B1 (ko) 발생 가스 분석 장치 및 발생 가스 분석 방법
US10969319B2 (en) Apparatus for and method of mass analysis
JP6505268B1 (ja) 質量分析装置及び質量分析方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant